JP7269107B2 - 電子銃 - Google Patents
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Description
図1は、この実施の形態に係る電子銃1の概略構成を示す断面図である。なお、この実施の形態に係る電子銃1は、2極電子銃である。この電子銃1は、主として、カソード2に貫通孔21が形成された上で耐熱部材8が設けられている点が従来の電子銃と構成が異なり、従来と同等の構成についての説明を省略するが、概略次のような構成となっている。
図4は、この実施の形態に係る電子銃1の概略構成を示す断面図である。この実施の形態では、実施の形態1と同等の構成に加え、ウェネルト5に対してグリッド6が接続されている。すなわち、この実施の形態に係る電子銃1は、3極電子銃である。なお、実施の形態1と同等の構成については、同一符号を付することでその説明を省略する。
図5は、この実施の形態に係る電子銃1の概略構成を示す断面図である。この実施の形態では、耐熱部材8が実施の形態1の耐熱部材8と構成が異なる。なお、実施の形態1と同等の構成については、同一符号を付することでその説明を省略する。
2 カソード
21 貫通孔
3 ヒータ
4 アノード
41 開口部
5 ウェネルト
6 グリッド
61 孔
8 耐熱部材
81 板状部
82 凸部
83 周端
84 切欠き部
85 円筒部
86 外周面
9 スリーブ
10 ポッティング材
101 従来の構成の電子銃
102 カソード
103 アノード
104 ウェネルト
105 ヒータ
106 グリッド
A 電子の放出方向(進行方向)
Claims (5)
- 電子を放出するカソードと、該カソードを昇温させるヒータと、前記カソードに対して正の電位を印加して電子を一定方向に引き出すアノードと、を備える電子銃であって、
前記カソードの、前記電子の進行方向に対する直交面視における中心位置に、前記電子の進行方向に沿う貫通孔が設けられ、
該貫通孔を塞ぐ第一の部分と、前記カソードと前記ヒータとの間に位置する第二の部分とを有する耐熱部材が配設されており、
前記耐熱部材の前記第一の部分が、前記第二の部分の一面から突出して前記カソードの前記貫通孔へと挿し入れられる円筒部として形成されている、
ことを特徴とする電子銃。 - 前記カソードに対して正の制御電圧を印加するために前記カソードと前記アノードとの間にグリッドを備え、
該グリッドの、前記カソードの前記貫通孔と同軸上に、孔が設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子銃。 - 前記耐熱部材の前記第一の部分よりも、前記第二の部分が薄くなっている、
ことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の電子銃。 - 前記耐熱部材の前記第二の部分に、1つもしくは複数の切欠き部もしくは穴が形成されている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の電子銃。 - 前記耐熱部材が、金属によって形成され、前記カソードと同電位となっている箇所に接続されている、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の電子銃。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019109692A JP7269107B2 (ja) | 2019-06-12 | 2019-06-12 | 電子銃 |
US16/897,828 US10950407B2 (en) | 2019-06-12 | 2020-06-10 | Electron gun |
CN202010536688.0A CN112086331A (zh) | 2019-06-12 | 2020-06-12 | 电子枪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019109692A JP7269107B2 (ja) | 2019-06-12 | 2019-06-12 | 電子銃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020202126A JP2020202126A (ja) | 2020-12-17 |
JP7269107B2 true JP7269107B2 (ja) | 2023-05-08 |
Family
ID=73735912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019109692A Active JP7269107B2 (ja) | 2019-06-12 | 2019-06-12 | 電子銃 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10950407B2 (ja) |
JP (1) | JP7269107B2 (ja) |
CN (1) | CN112086331A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115529710B (zh) * | 2022-09-28 | 2024-02-20 | 中国原子能科学研究院 | 一种电子帘加速器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002260522A (ja) | 2000-12-26 | 2002-09-13 | Sony Corp | 陰極構体とその製造方法及び電子銃並びに陰極線管 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4091311A (en) * | 1976-12-17 | 1978-05-23 | United Technologies Corporation | Modulatable, hollow beam electron gun |
JPS63211534A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-02 | Hitachi Ltd | 含浸形カソ−ド構体 |
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JP5350911B2 (ja) | 2008-07-31 | 2013-11-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | プラズマ発生装置及び成膜装置並びに成膜方法及び表示素子の製造方法 |
US8907550B2 (en) * | 2009-03-16 | 2014-12-09 | Molex Incorporated | Light module |
CN102484024B (zh) * | 2009-09-18 | 2015-08-12 | 株式会社爱发科 | 电子枪、真空处理装置 |
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CN202633200U (zh) | 2012-06-04 | 2012-12-26 | 山东新华医疗器械股份有限公司 | 一种驻波加速管用阴控两极电子枪 |
US9257253B1 (en) * | 2014-08-21 | 2016-02-09 | Altair Technologies, Inc. | Systems and methods utilizing a triode hollow cathode electron gun for linear particle accelerators |
CN109698102B (zh) * | 2017-10-20 | 2021-03-09 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 电子枪、掩膜版制备方法及半导体装置 |
CN109346205A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-02-15 | 房春 | 一种电子加速器辐照系统反馈控制方法及系统 |
-
2019
- 2019-06-12 JP JP2019109692A patent/JP7269107B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-10 US US16/897,828 patent/US10950407B2/en active Active
- 2020-06-12 CN CN202010536688.0A patent/CN112086331A/zh active Pending
Patent Citations (1)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020202126A (ja) | 2020-12-17 |
US20200395185A1 (en) | 2020-12-17 |
CN112086331A (zh) | 2020-12-15 |
US10950407B2 (en) | 2021-03-16 |
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