JP7266035B2 - 細胞とのインタフェースのためのナノ構造プラットフォーム及び対応する製造方法 - Google Patents
細胞とのインタフェースのためのナノ構造プラットフォーム及び対応する製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7266035B2 JP7266035B2 JP2020531128A JP2020531128A JP7266035B2 JP 7266035 B2 JP7266035 B2 JP 7266035B2 JP 2020531128 A JP2020531128 A JP 2020531128A JP 2020531128 A JP2020531128 A JP 2020531128A JP 7266035 B2 JP7266035 B2 JP 7266035B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- platform
- nanoprobes
- cells
- nanofets
- nanofet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N $l^{3}-silane;platinum Chemical compound [SiH3].[Pt] ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 230000037361 pathway Effects 0.000 claims description 9
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 2
- 238000006557 surface reaction Methods 0.000 claims description 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 78
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 25
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 25
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 16
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 13
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 12
- 238000003491 array Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 229910021339 platinum silicide Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 230000000392 somatic effect Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 7
- 230000003834 intracellular effect Effects 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 6
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 6
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 210000001082 somatic cell Anatomy 0.000 description 6
- 210000003050 axon Anatomy 0.000 description 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 5
- 210000001787 dendrite Anatomy 0.000 description 5
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 5
- 230000001537 neural effect Effects 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000036982 action potential Effects 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 4
- 230000010261 cell growth Effects 0.000 description 4
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 4
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 210000004413 cardiac myocyte Anatomy 0.000 description 3
- 230000004663 cell proliferation Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L iron(ii) gluconate Chemical compound [Fe+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 3
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 description 2
- 230000011712 cell development Effects 0.000 description 2
- 210000000170 cell membrane Anatomy 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 210000000805 cytoplasm Anatomy 0.000 description 2
- 230000003013 cytotoxicity Effects 0.000 description 2
- 231100000135 cytotoxicity Toxicity 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000036540 impulse transmission Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 210000000653 nervous system Anatomy 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000252506 Characiformes Species 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010039918 Polylysine Proteins 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000005667 attractant Substances 0.000 description 1
- 230000003376 axonal effect Effects 0.000 description 1
- 239000003124 biologic agent Substances 0.000 description 1
- 230000031018 biological processes and functions Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 description 1
- 239000006143 cell culture medium Substances 0.000 description 1
- 230000030833 cell death Effects 0.000 description 1
- 230000003833 cell viability Effects 0.000 description 1
- 210000002421 cell wall Anatomy 0.000 description 1
- 210000001638 cerebellum Anatomy 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 230000031902 chemoattractant activity Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004148 curcumin Substances 0.000 description 1
- 230000034994 death Effects 0.000 description 1
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 210000002257 embryonic structure Anatomy 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000001963 growth medium Substances 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000002064 heart cell Anatomy 0.000 description 1
- 210000001320 hippocampus Anatomy 0.000 description 1
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000011534 incubation Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007762 localization of cell Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000663 muscle cell Anatomy 0.000 description 1
- 210000005036 nerve Anatomy 0.000 description 1
- 210000003061 neural cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000004770 neurodegeneration Effects 0.000 description 1
- 208000015122 neurodegenerative disease Diseases 0.000 description 1
- 231100000189 neurotoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002887 neurotoxic effect Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001575 pathological effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000656 polylysine Polymers 0.000 description 1
- 108010055896 polyornithine Proteins 0.000 description 1
- 229920002714 polyornithine Polymers 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000035755 proliferation Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 210000001525 retina Anatomy 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 210000000278 spinal cord Anatomy 0.000 description 1
- 210000000130 stem cell Anatomy 0.000 description 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004173 sunset yellow FCF Substances 0.000 description 1
- 238000002054 transplantation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009279 wet oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/483—Physical analysis of biological material
- G01N33/4833—Physical analysis of biological material of solid biological material, e.g. tissue samples, cell cultures
- G01N33/4836—Physical analysis of biological material of solid biological material, e.g. tissue samples, cell cultures using multielectrode arrays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4145—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for biomolecules, e.g. gate electrode with immobilised receptors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/12—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements
- A61B2562/125—Manufacturing methods specially adapted for producing sensors for in-vivo measurements characterised by the manufacture of electrodes
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4146—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS involving nanosized elements, e.g. nanotubes, nanowires
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
- H01L29/0665—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body the shape of the body defining a nanostructure
- H01L29/0669—Nanowires or nanotubes
- H01L29/0673—Nanowires or nanotubes oriented parallel to a substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
- H01L29/0665—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body the shape of the body defining a nanostructure
- H01L29/0669—Nanowires or nanotubes
- H01L29/0676—Nanowires or nanotubes oriented perpendicular or at an angle to a substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/413—Nanosized electrodes, e.g. nanowire electrodes comprising one or a plurality of nanowires
Description
先に説明したように、本技術は、個々の細胞のレベルにおける細胞内インタフェースのための検出、測定及び刺激のプラットフォームに関する。このプラットフォームは、非常に大きい表面と体積の比を有するナノ構造(ナノワイヤ(NW)、垂直アレイ(クランプ)及び水平アレイ(ナノトランジスタ)を組み合わせたナノフィン(フィン))に基づくナノデバイスに依拠するものである。これらのナノデバイスは、高感度測定を行うために用いられる。
より詳細には、従来の手法(図1の符号AC)(M. Kwiat, R. Elnathan, A. Pevzner, A. Peretz, B. Barak, H. Peretz, T. Ducobni, D. Stein, L. Mittelman, U. Ashery, and F. Patolsky, “Highly Ordered Large-Scale Neuronal Networks of Individual Cells Toward Single Cell to 3D Nanowire Intracellular Interfaces,” ACS Appl. Mater. Interfaces, vol. 4, no. 7, pp. 3542-3549, Jul. 2012.)では、チップ上の誘引ゾーン及び反発ゾーンを定めるのに用いられるフォトリソグラフィのステップを、基板全体の疎水処理(HPhob)の後に行わなければならない。これは、必須のステップである。なぜならば、樹脂(RES)は、このような表面(HPhob)に接着するのに多大な困難が伴うためであり、かつ、フォトリソグラフィのステップに対応する疎水性のレベルを達成するために処理の品質をダウングレードさせなければならないためである。
本技術(図1の符号AP)によれば、イオン濃度及び電位の測定の能力に加えて、また、従来の手法の制限を考慮すると、相補的な化学機能処理方法が構築され、マイクロ製造プロトコル(FAB)及び生物学的プロトコル(BIO)を完全に切り離すと同時に、ダウングレードのない疎水処理を利用することが可能となる。接着分子(AM)が、リソグラフィによって形成される樹脂で覆われていないゾーンのみに配置される従来の手法とは異なり、接着分子の場所は、表面の親水性・疎水性のコントラストによってのみ制御される。
先に説明したように、本技術は、細胞、より詳細には電気反応性細胞(electro-sensitive cells)の検出、測定及び刺激のためのプラットフォームが定められるように実施される。本技術は、ナノプローブに基づく、検出、測定、刺激の少なくともいずれかのプラットフォームと、電気生理学的な測定を行うためのこのようなプラットフォームを使用する方法とに関する。本技術のプラットフォームのこの第1実施形態では、図2に示すように、ナノプローブとナノFETのペアは、プラットフォーム上で一様に埋め込まれている。この実施形態における目標は、細胞内の活動電位の測定値及びイオン濃度の測定値を得ることである。ナノプローブとナノFETの各ペアは、独立したナノセンサをなす。センサ内で、各ナノデバイスは別個にアドレス指定することができる。すなわち、各ナノデバイスは、必要に応じて、プラットフォームの周辺部からのアクセスラインを有する。この実施形態では、ナノFETは、フィンFETとも呼ばれるフィン型電界効果トランジスタである。ナノセンサは、必要に応じてレイアウトされる。すなわち、ナノセンサ同士の間隔は、特に、プラットフォームの目的に応じたものとすることができ、すなわち、プラットフォームの特化処理、特に、培養する細胞のタイプのレベルにおける目的に応じたものとすることができる。すなわち、或る特定のタイプの細胞では、例えば、2つのセンサが単一の細胞の下に位置しないようにするために、センサ同士の、より大きい間隔又はより小さい間隔が求められる可能性がある。ナノプローブは、互いに別々に作られた2つのナノデバイスによって構成されるのではなく、実際には、一緒に製造された2つのナノデバイスによって構成されるということがいえる。
本技術のプラットフォームのこの第2実施形態では、図3に示すように、神経細胞CN0(その軸索又は樹状突起をCN0aとする)が、プラットフォームP1の表面と接触した状態に置かれる。このプラットフォームは、体細胞ナノプローブ(100-1,...100-n)のアレイを有する。体細胞ナノプローブは、導電アクセスライン(101-1,...101-n)と直に接触した、1つ~9つ(例えば4つ)の垂直ナノワイヤを有する。基本となるこのアレイを、体細胞ナノプローブのアレイと呼ぶ。その理由は、以下に説明するように、経路上ナノプローブとは異なり、複数の細胞のうち体細胞を受け入れるためのものであるからである。各ナノプローブは、その先端部及び導電アクセスラインを除いて、絶縁層(不図示)でコーティングされている。体細胞ナノプローブ(100-1,...100-n)は、電気信号を生成又は検出する機器(同様に不図示)に電気的に接続可能な(接続されている)専用の導電アクセスライン(101-1,...101-n)を通じて、プラットフォームの周辺部とつながっている。したがって、かかるプラットフォームは、例えば、電気信号を、神経回路網のニューロンと電気的に接触している1つ以上のナノプローブを介して当該ニューロンに送り、その神経回路網の別のニューロンと接触しているナノプローブを介して当該別のニューロンの電気信号を検出することにより、ニューロン間の相互作用を調べるために用いることができる。
先に述べたナノワイヤに基づく測定のプラットフォームは、4インチの、シリコン・オン・インシュレータ(SOI:silicon-on-insulator)(活性Siが4μm、埋め込み酸化膜が1μm、基板が400μm)基板を用いて得られる。製造コストを削減し大量生産を容易にするために、i線ステッパフォトリピータを用いたUVフォトリソグラフィと、それに続くRIEプラズマエッチングとによる製造方法を用いたトップダウン手法が用いられる。基板全体の方法の再現性を高めるために、感光樹脂の下に反射防止膜(BARC)が用いられる。
○この作製は、フォトリソグラフィ技術に基づくものであり、従来の有機樹脂(例えば、ECI 3012タイプのもの)を用いた、保護マスク(直径500nmの抵抗性ナノパッド)として機能する樹脂パターンの局所的な堆積を含む。
○3.5μmのRIEエッチング(深掘り反応性イオンエッチング(deep reactive ion etching))、すなわち、(プラズマから由来する)イオン衝撃によるドライエッチング。この技術は、高エッチング異方性の利点を有する。エッチングされるエリアとエッチングされないエリアとの境界は、ほとんどの場合矩形及び垂直となり、残りの樹脂(先行するサブステップから由来する樹脂)は、化学エッチングによって除去される。
○この第1ステップの最後において、プラットフォームは、1つ~4つのナノワイヤによって構成されるとともにプラットフォーム上で分散するグループを構成する垂直ナノワイヤを有する。これにより初期のアレイが形成される。この初期のアレイは、求められている特性をナノワイヤに付加するために以下のステップにおいて再加工される。
○前段階で得られたナノワイヤを保護するとともにこのナノワイヤの損傷を回避するための厚い樹脂感光層(resin photo-layer)(5μm)を堆積させる。
○ナノFET(チャネル及びアクセスライン)、及びナノプローブのアクセスラインをプロットする前段階のステップの方法と同一の方法に従ってマスキングされることになるゾーンを定めるフォトリソグラフィ
○SOIの埋め込み酸化膜(BOx)に到達する、すなわち、シリコンが約0.5μmの深さに穿孔されるまでエッチングする
○この第2ステップの最後において、プラットフォームは、プラットフォームの縁部において、電気コンタクトへのアクセスラインによって接続された、垂直ナノワイヤ及びナノFETの初期構造体(embryo)を有する。これは、ナノワイヤのように、プラットフォーム上で分散され、ナノワイヤのグループの1以上のアレイが完成する。
○プレート全体上で、約850℃で60分間、湿式酸化が行われる。この処理により、ナノワイヤの直径の約500nmから約200nmへの減少の用意を整えるとともに、ナノFETのチャネルの約20nmへの薄膜化の用意を整えることができる。
○この処理により、プラズマエッチングによってもたらされる表面の欠陥を防ぐとともに、ナノプローブの異方性を向上させることも可能となる。
○その後、各ナノFETのチャネルは、フォトリソグラフィによって樹脂で保護される。
○その後、HFによる緩衝ウェットエッチング(5%)が行われる。これにより、ナノFETチャネルの表面を除き(樹脂は浸食されないため)、全ての表面上の酸化膜の除去が可能となる。加えて、各チャネルが酸化膜(SiO2)によりコーティングされる。
○本ステップは、ナノFETのチャネルを除くプラットフォーム全体への1020atm/cm3でのホウ素の注入からなる。ナノFETのチャネルは、前段階のステップの樹脂によって保護されたままである。
○チャネルは、その感度を保つためにドーピングされない。
○樹脂は、チャネルから除去され、ドーパントは、温度(約1000℃で約30分間)によって活性化する
○このアニーリング段階は、シリコン内のドーパントを電子的に活性化させる
○このステップの最後において、プラットフォームは、垂直ナノワイヤ、ナノFETのソース領域及びドレイン領域並びにドーピングされたSi製のアクセスラインを含む。チャネルのみが酸化膜によりコーティングされたままである。
○弱抵抗性のソース領域及びドレイン領域(ナノFET)を作製するとともに、ナノプローブと液体媒体との界面を改善するために、白金の等方性プレートの全体的な堆積のステップが行われる。
○この場合、合金であるPtSiを作製するために活性化アニーリング(500℃で3分間)が用いられる。ここでの利点は、PtSiは、PtがSiO2とではなくSiと直に接触している場合にのみ作製されることである。したがって、用いられる技術により、BOx(SiO2によって構成される)上にも、ナノFETのチャネル上にもPtSiがないようにすることができ、したがって、これらの要素の測定の感度が保たれる。
○これは、PtSiを浸食することなく、変わっていないPt(前段階のステップから由来する)のエッチングを可能にする選択的化学エッチングのステップである。したがって、(変わっていない)Ptは、BOx及びナノFETのチャネルから除去される。
○PtSiの有用性は2点ある。ナノプローブの観点でみれば、PtSiは(Si単体と比較して)酸化されず、時間が経過しても電解質とプローブとの界面において低インピーダンスを保つ。ナノFETの観点でみれば、PtSiは、ナノFETの感度を改善する表面と体積の低い接触抵抗をもたらす。
○Alu(500nm)のプラットフォーム全体上に適合した堆積と、それに続く、フォトリソグラフィ、及び、「エッチバック(etch-back)」樹脂によって保護されていないアルミニウムの化学エッチングが行われ、アクセスラインが金属化される。
○アルミニウムがアクセスライン上でのみ保たれる。
○その後、(未来の)培地のナノワイヤ及びナノFETを絶縁するために、適合したやり方で酸化膜(絶縁酸化膜)が堆積される。用いられる酸化膜は、SiO2、AL2O3若しくはHfO2、又は特定の誘電体とすることができる。
○(アクセスラインの)外部のコンタクト及びナノFETのチャネル(ソースとドレインとの間)において前段階で堆積した(絶縁)酸化膜をエッチングするために、厚い樹脂(5μm)によるフォトリソグラフィのステップが用いられる。
○その後、ナノプローブの頂部をクリアするためのO2プラズマエッチングにより、残りの樹脂の厚さが低減する。
○樹脂の高さは、ナノプローブのために求められる感応コンタクトの寸法に応じて1μm~3μmで変わり得る。
○樹脂の開口ゾーンは、HF緩衝液(5%)によって化学エッチングされる。このエッチングを用いて、ナノプローブの先端部をクリアし、外部コンタクトを還元し、チャネル上の酸化膜の厚さを低減させて、検出及び/又は測定を向上させる。
○その後、樹脂が排除される。
○このステップの最後において、プラットフォームは、ナノワイヤのグループ(1つのグループは1つ~4つのナノワイヤを含む)を構成するナノワイヤのアレイと、ナノプローブに近接して配置されたナノFETと、プラットフォームの周辺部からこれらの全要素へのアクセスラインとを有する。これは、そのマッピングを問わず達成される。
説明された全ての特徴は、組み合わせることができ、これは、任意の組み合わせで行うことができる。本明細書において開示される各特徴は、同じ目的に役立つ均等な特徴に置き換えることができる。したがって、特段の指定がない限り、説明される各特徴は、一般的な連続した均等な又は類似の特徴の1つの例にすぎない。
Claims (14)
- 細胞とのインタフェースのためのプラットフォーム(P1、P2)であって、
細胞と接触するための導電性端部を有する少なくとも1つのナノワイヤに基づいた少なくとも1つのナノプローブ(100-1、...100-n)と、
ナノセンサの組と
を備え、
各ナノセンサは、ナノプローブと、前記ナノプローブから所定の間隔を置いて配置された、ナノFETと呼ばれる電界効果トランジスタ(200-1、200-m)とのペアを有することを特徴とするプラットフォーム。 - 各ナノセンサにおいて、1マイクロメートルから5マイクロメートルの間隔を置いてナノプローブ(100-1)とナノFET(200-1)とが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のプラットフォーム。
- 前記プラットフォーム上に分散したナノプローブの組及びナノFETの組を備え、
少なくとも1つの所定の経路を含む少なくとも1つの、ナノセンサのアレイが構成されることを特徴とする請求項1に記載のプラットフォーム。 - 前記ナノプローブ及び少なくとも1つの前記ナノFETのレベルに置かれた親水性の領域を更に備えることを特徴とする請求項1に記載のプラットフォーム。
- 複数の所定の経路を有し、
所定の各経路は、前記ナノプローブのアレイ内の少なくとも2つのナノプローブをつなぐものであることを特徴とする請求項3に記載のプラットフォーム。 - 前記所定の経路のレベルに置かれた親水性の領域を更に有することを特徴とする請求項5に記載のプラットフォーム。
- 2つのナノプローブ間の所定の各経路は、複数のナノFETを含み、
各ナノFETは、前記経路に沿って規則的な間隔で埋め込まれていることを特徴とする請求項5に記載のプラットフォーム。 - 2つのナノプローブ間の所定の各経路は、複数の経路上ナノプローブを含み、
各経路上ナノプローブは、前記経路に沿って規則的な間隔で埋め込まれていることを特徴とする請求項5に記載のプラットフォーム。 - 少なくとも1つの前記ナノプローブは、1つから9つのナノワイヤを有することを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載のプラットフォーム。
- 前記ナノFETが、フィンFET型のフィン型トランジスタであることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載のプラットフォーム。
- トップダウン型の、細胞とのインタフェースのためのプラットフォームを製造する方法であって、
少なくとも1つの、ナノワイヤに基づいたナノプローブの垂直構造化のステップと、
前記ステップに続き、少なくとも1つの、ナノFETと呼ばれる電界効果トランジスタの平面構造化のステップと
を含み、
前記プラットフォームはナノセンサの組を有し、各ナノセンサは、ナノプローブ(100-1)と、前記ナノプローブから所定の間隔を置いて配置されたナノFET(200-1)とのペアを有することを特徴とする方法。 - 少なくとも1つの前記ナノFETの平面構造化のステップに続き、
少なくとも1つの前記ナノプローブと、少なくとも1つの前記ナノFETのソース領域(S)及びドレイン領域(D)とに対するケイ化白金(PtSi)層の注入を促進する白金ケイ素化のステップを含むことを特徴とする、請求項11に記載の細胞とのインタフェースのためのプラットフォームを製造する方法。 - 導電性有機材料を、少なくとも1つの前記ナノプローブの前記ナノワイヤに付加するステップを更に含むことを特徴とする、請求項11に記載の細胞とのインタフェースのためのプラットフォームを製造する方法。
- 少なくとも1つの前記ナノFETの平面構造化のステップに続き、複数の親水性領域を定める前記プラットフォームの表面機能処理のステップを含むことを特徴とする、請求項11に記載の細胞とのインタフェースのためのプラットフォームを製造する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1761651A FR3074489B1 (fr) | 2017-12-05 | 2017-12-05 | Plateforme de nanostructures pour l’interfacage cellulaire et procede de fabrication correspondant |
FR1761651 | 2017-12-05 | ||
PCT/EP2018/083305 WO2019110485A1 (fr) | 2017-12-05 | 2018-12-03 | Plateforme de nanostructures pour l'interfaçage cellulaire et procede de fabrication correspondant |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021505163A JP2021505163A (ja) | 2021-02-18 |
JPWO2019110485A5 JPWO2019110485A5 (ja) | 2023-03-06 |
JP7266035B2 true JP7266035B2 (ja) | 2023-04-27 |
Family
ID=61802066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020531128A Active JP7266035B2 (ja) | 2017-12-05 | 2018-12-03 | 細胞とのインタフェースのためのナノ構造プラットフォーム及び対応する製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200386710A1 (ja) |
EP (1) | EP3721224B1 (ja) |
JP (1) | JP7266035B2 (ja) |
FR (1) | FR3074489B1 (ja) |
WO (1) | WO2019110485A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3074489B1 (fr) * | 2017-12-05 | 2023-04-21 | Centre Nat Rech Scient | Plateforme de nanostructures pour l’interfacage cellulaire et procede de fabrication correspondant |
WO2022117880A2 (fr) | 2020-12-04 | 2022-06-09 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Plateforme de nanostructures pour l'interfaçage cellulaire et procédé de fabrication correspondant |
FR3117102B1 (fr) | 2020-12-04 | 2023-01-06 | Centre Nat Rech Scient | Plateforme de nanostructures pour l’interfaçage cellulaire et procédé de fabrication correspondant |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009540798A (ja) | 2006-03-15 | 2009-11-26 | プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ | ナノバイオエレクトロニクス |
JP2011519152A (ja) | 2008-04-11 | 2011-06-30 | サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス) | 相補型p、及びnMOSFETトランジスタの製造方法、このトランジスタを包含する電子デバイス、及び少なくとも1つのこのデバイスを包含するプロセッサ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5923421A (en) * | 1997-07-24 | 1999-07-13 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | Chemical detection using calorimetric spectroscopy |
CA2463422A1 (en) * | 2001-10-10 | 2003-04-24 | Koushi Yamaguchi | Photocatalytic material selectively inactivating biologically harmful substance and utilization thereof |
WO2006083349A2 (en) * | 2004-11-19 | 2006-08-10 | Science & Engineering Services, Inc. | Enhanced portable digital lidar system |
JP2008534018A (ja) * | 2005-03-29 | 2008-08-28 | アプレラ コーポレーション | 核酸分析ナノワイヤベースシステム |
US7905013B2 (en) | 2007-06-04 | 2011-03-15 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Method for forming an iridium oxide (IrOx) nanowire neural sensor array |
US20100216256A1 (en) * | 2009-02-17 | 2010-08-26 | Florida State University Research Foundation | Nanobelt-based sensors and detection methods |
KR101138011B1 (ko) * | 2009-08-05 | 2012-04-20 | 전북대학교산학협력단 | 자극?감지 일체형 바이오-메드 칩 및 그 제조방법 |
FR2968125B1 (fr) * | 2010-11-26 | 2013-11-29 | Centre Nat Rech Scient | Procédé de fabrication d'un dispositif de transistor a effet de champ implémenté sur un réseau de nanofils verticaux, dispositif de transistor résultant, dispositif électronique comprenant de tels dispositifs de transistors, et processeur comprenant au moins un tel dispositif électronique |
US11363979B2 (en) | 2016-01-19 | 2022-06-21 | The Regents Of The University Of California | Addressable vertical nanowire probe arrays and fabrication methods |
WO2017209821A2 (en) * | 2016-03-11 | 2017-12-07 | The Johns Hopkins University | Non-optical label-free biomolecular detection at electrially displaced liquid interfaces using interfacial electrokinetic transduction (iet) |
FR3074489B1 (fr) * | 2017-12-05 | 2023-04-21 | Centre Nat Rech Scient | Plateforme de nanostructures pour l’interfacage cellulaire et procede de fabrication correspondant |
-
2017
- 2017-12-05 FR FR1761651A patent/FR3074489B1/fr active Active
-
2018
- 2018-12-03 US US16/769,927 patent/US20200386710A1/en active Pending
- 2018-12-03 JP JP2020531128A patent/JP7266035B2/ja active Active
- 2018-12-03 WO PCT/EP2018/083305 patent/WO2019110485A1/fr unknown
- 2018-12-03 EP EP18808036.0A patent/EP3721224B1/fr active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009540798A (ja) | 2006-03-15 | 2009-11-26 | プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ | ナノバイオエレクトロニクス |
JP2011519152A (ja) | 2008-04-11 | 2011-06-30 | サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス) | 相補型p、及びnMOSFETトランジスタの製造方法、このトランジスタを包含する電子デバイス、及び少なくとも1つのこのデバイスを包含するプロセッサ |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
CASANOVA A. et al.,Probing electrical activity of single neurons based on 1D nanostructures: from extra to intrecellular interfacing, 2016 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference(NMDC), 2016, p. 1-2 |
KWIAT M. et al.,Highly Ordered Large-Scale Neuronal Networks of Individual Cells -Toward Single Cell to 3D Nanowire Intracellular Interfaces, ACS Appl. Mater. Interfaces 2012, vol. 4, p. 3542-3549 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR3074489A1 (fr) | 2019-06-07 |
WO2019110485A1 (fr) | 2019-06-13 |
EP3721224B1 (fr) | 2023-08-30 |
EP3721224C0 (fr) | 2023-08-30 |
FR3074489B1 (fr) | 2023-04-21 |
EP3721224A1 (fr) | 2020-10-14 |
JP2021505163A (ja) | 2021-02-18 |
US20200386710A1 (en) | 2020-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7266035B2 (ja) | 細胞とのインタフェースのためのナノ構造プラットフォーム及び対応する製造方法 | |
US8452369B2 (en) | CMOS compatible microneedle structures | |
JP4861584B2 (ja) | イオンチャネルの電気生理的性質を測定及び/または監視するための基体及び方法 | |
JP2009156572A (ja) | イオンチャンネルタンパク質バイオセンサー | |
US9551698B2 (en) | Microneedle | |
US20210008363A1 (en) | Nanopillar electrode devices and methods of recording action potentials | |
JP2003531592A (ja) | 超高速の核酸配列決定のための電界効果トランジスタ装置 | |
CN110623655A (zh) | 模拟失重大鼠的植入式微纳电极阵列芯片及其制备方法 | |
CN101652657A (zh) | 一种自动定位与传感的微电极阵列 | |
US20100330612A1 (en) | Biochip for electrophysiological measurements | |
Felderer et al. | Transistor needle chip for recording in brain tissue | |
US20190380635A1 (en) | Dual-Sided Biomorphic Polymer-based Microelectrode Array and Fabrication Thereof | |
KR20170082629A (ko) | 대규모, 저 비용 나노센서, 나노니들 및 나노펌프 어레이 | |
Ghelich et al. | Unprotected sidewalls of implantable silicon-based neural probes and conformal coating as a solution | |
CN107210319B (zh) | 大规模低成本纳米传感器、纳米针和纳米泵阵列 | |
JP2002522028A (ja) | 細胞外電気生理学的記録用アッセンブリと装置及びその使用 | |
KR101138011B1 (ko) | 자극?감지 일체형 바이오-메드 칩 및 그 제조방법 | |
US20240011940A1 (en) | Nanostructure platform for cellular interfacing and corresponding manufacturing method | |
CN110143569A (zh) | 微电极膜片的制备方法 | |
JP2024509341A (ja) | 細胞相互作用のためのナノ構造プラットフォームおよび対応する製造方法 | |
SJ et al. | Ion channels on silicon | |
KR20210044615A (ko) | 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법 | |
Kubow et al. | Microfabricated Patch-Clamp Array for Neural Mems Applications | |
Menezes et al. | Neurotransistors for biomedical nanotechnology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220823 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220824 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230123 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20230224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230317 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7266035 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |