JP7260578B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム - Google Patents
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Description
まず、本実施形態をより明確にするために、図1から図6を用いて、製品基板とダミー基板とについて説明する。図1は、基板支持部に載置された製品基板の断面図である。図2は、基板支持部に載置されたダミー基板の断面図である。図3は、図2のダミー基板の外周部分を拡大して示す図である。図4は、変形例1に係るダミー基板の断面図である。図5は、図2および図4に示したダミー基板を表面側から見た場合の平面図である。図6は、変形例2に係るダミー基板の平面図および断面図である。
図2には、実施形態に係るダミー基板100dを処理室の基板支持部(基板載置プレート)317の基板載置面311に載置した状態が示されている。ダミー基板100は、製品基板と異なり、トランジスタ等の電子部品を含まない基板である。ダミー基板100は、例えば、シリコンSi、アルミナ、酸化ケイ素、炭化ケイ素、または、窒化ケイ素で形成される。図2に示すように、ダミー基板100dの表面dmsと裏面dbsとにおいて、表面dmsの形状と裏面dbsの形状とは異なっている。即ち、ダミー基板の外周部分は、両面で形状が異なるように構成される。
次に、本態様に係る基板処理装置の構成について、主に図7、図8、図9を用いて説明する。図7は本態様に係る基板処理装置200を上方から見た横断面概略図である。図8は本態様に係る基板処理装置200の縦断面概略図であり、図7に示すチャンバ302のα-α’線断面図である。なお、α-α’線は、αからチャンバ302の中心を通ってα’に向かう線である。図9は基板支持機構を説明する説明図である。
続いて図11を用いてコントローラ400を説明する。図11は基板処理装置200のコントローラ400の構成例を示す図である。
次に、図12を用い、基板処理工程について説明する。図12は、本態様に係る基板処理工程を示すフロー図である。以下の説明において、基板処理装置200の構成各部の動作は、コントローラ400により制御される。
次に、図13を用い、クリーニング工程について説明する。図13は、本態様に係るクリーニング処理工程を示すフロー図である。以下の説明において、基板処理装置200の構成各部の動作は、コントローラ400により制御される。
次に、図14を用いて、基板処理装置の変形例を説明する。図14は、変形例に係る基板処理装置の構成例示す図である。図14に示す基板処理装置200aは、チャンバ202に対して、1つのシャワーヘッド(230)、1つのガス供給口(共通ガス供給管242)が設けられた枚葉式の基板処理装置の構成例である。なお、図14の基板処理装置200aの参照番号の一部(例えば、242、243、261など)が図7~図10で説明した基板処理装置200の参照番号と一致するものがあるが、異なる構成のものを示すものである。
まずチャンバを説明する。基板処理装置200aはチャンバ202を有する。チャンバ202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、チャンバ202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。チャンバ202内には、基板としてのシリコン基板等の基板100を処理する処理空間205と、基板100を処理空間205に搬送する際に基板100が通過する搬送空間206とが形成されている。チャンバ202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切り板208が設けられる。
続いてガス供給部を説明する。共通ガス供給管242には、第一ガス供給管243a、第二ガス供給管247a、第三ガス供給管249aが接続されている。
第一ガス供給管243aの上流には、上流方向から順に、第一ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。第一処理ガスをプラズマ状態とするには、バルブ244dの下流にプラズマ生成部としてのリモートプラズマユニット(RPU)243eを設ける。
第二ガス供給管247aには、上流方向から順に、第二ガス供給源247b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)247c、及び開閉弁であるバルブ247dが設けられている。
第三ガス供給管249aには、上流方向から順に、第三ガス源249b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)249c、及び開閉弁であるバルブ249dが設けられている。
チャンバ202の雰囲気を排気する排気部は、処理空間205の雰囲気を排気する排気部261で主に構成される。
製品基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される、基板処理装置。
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板は前記基板載置面に接しない外周幅を5mm以上とする、基板処理装置。
付記1または2に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記ダミー基板の外周に向かって小さくなるように構成される、基板処理装置。
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、基板処理装置。
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、基板処理装置。
付記1に記載の基板処理装置において、
前記基板支持部を回転させる回転部を更に有し、
前記基板支持部は、前記基板支持部の中心から同心円状に、前記基板載置面を複数有し、
前記ダミー基板の外周部分は、前記基板支持部の中心側と外周側とで、形状が異なる様に構成される、基板処理装置。
付記6に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅は、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、基板処理装置。
付記7に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板支持部の外周側における前記外周幅は、前記基板支持部の外周側における前記外周幅よりも大きく構成する、基板処理装置。
付記6乃至8のいずれか一項に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、基板処理装置。
付記9に記載の基板処理装置において、
前記基板支持部の外周側における前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記基板支持部の中心側における前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みよりも小さく構成される、基板処理装置。
製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる手順と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板は前記基板載置面に接しない外周幅を5mm以上とする、プログラム。
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、プログラム。
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、プログラム。
製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる工程と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板は前記基板支持部に接しない外周幅を5mm以上とする、半導体装置の製造方法。
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、半導体装置の製造方法。
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、半導体装置の製造方法。
100d、100d1、100d2:ダミー基板
200、200a:基板処理装置
240、250:処理ガス供給部
270:クリーニングガス供給部
311:基板載置面
317:基板支持部(基板載置プレート)
Claims (5)
- 製品基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成され、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、基板処理装置。 - 製品基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成され、
前記基板支持部を回転させる回転部を更に有し、
前記基板支持部は、前記基板支持部の中心から同心円状に、前記基板載置面を複数有し、
前記ダミー基板の外周部分は、前記基板支持部の中心側と外周側とで、形状が異なる様に構成される、基板処理装置。 - 前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅は、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、請求項2記載の基板処理装置。
- 製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いており、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる手順と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する手順と、をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。 - 製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いており、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる工程と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する工程と、をする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021046691A JP7260578B2 (ja) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム |
TW111103029A TWI823235B (zh) | 2021-03-19 | 2022-01-25 | 基板處理裝置、記錄媒體、基板處理方法及半導體裝置之製造方法 |
CN202210138220.5A CN115116926A (zh) | 2021-03-19 | 2022-02-15 | 基板处理装置和方法、半导体器件的制造方法及记录介质 |
KR1020220021965A KR20220131155A (ko) | 2021-03-19 | 2022-02-21 | 기판 처리 장치, 기록 매체, 기판 처리 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US17/679,966 US20220301850A1 (en) | 2021-03-19 | 2022-02-24 | Substrate Processing Apparatus, Non-transitory Computer-readable Recording Medium, Substrate Processing Method and Method of Manufacturing Semiconductor Device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021046691A JP7260578B2 (ja) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022145330A JP2022145330A (ja) | 2022-10-04 |
JP7260578B2 true JP7260578B2 (ja) | 2023-04-18 |
Family
ID=83284074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021046691A Active JP7260578B2 (ja) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220301850A1 (ja) |
JP (1) | JP7260578B2 (ja) |
KR (1) | KR20220131155A (ja) |
CN (1) | CN115116926A (ja) |
TW (1) | TWI823235B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7499105B2 (ja) * | 2020-08-03 | 2024-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のクリーニング方法及びプラズマ処理装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353619A (ja) | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および処理方法 |
JP2019087637A (ja) | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス基材の保護方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6296787B2 (ja) * | 2013-12-25 | 2018-03-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP6009513B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2016-10-19 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
WO2016043221A1 (ja) * | 2014-09-18 | 2016-03-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、クリーニング方法及び半導体装置の製造方法並びに記録媒体 |
GB201420935D0 (en) * | 2014-11-25 | 2015-01-07 | Spts Technologies Ltd | Plasma etching apparatus |
JP6062413B2 (ja) * | 2014-11-28 | 2017-01-18 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
JP6368732B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2018-08-01 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
-
2021
- 2021-03-19 JP JP2021046691A patent/JP7260578B2/ja active Active
-
2022
- 2022-01-25 TW TW111103029A patent/TWI823235B/zh active
- 2022-02-15 CN CN202210138220.5A patent/CN115116926A/zh active Pending
- 2022-02-21 KR KR1020220021965A patent/KR20220131155A/ko not_active Application Discontinuation
- 2022-02-24 US US17/679,966 patent/US20220301850A1/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353619A (ja) | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および処理方法 |
JP2019087637A (ja) | 2017-11-07 | 2019-06-06 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス基材の保護方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI823235B (zh) | 2023-11-21 |
JP2022145330A (ja) | 2022-10-04 |
KR20220131155A (ko) | 2022-09-27 |
CN115116926A (zh) | 2022-09-27 |
TW202238687A (zh) | 2022-10-01 |
US20220301850A1 (en) | 2022-09-22 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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