JP7260578B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム - Google Patents

基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム Download PDF

Info

Publication number
JP7260578B2
JP7260578B2 JP2021046691A JP2021046691A JP7260578B2 JP 7260578 B2 JP7260578 B2 JP 7260578B2 JP 2021046691 A JP2021046691 A JP 2021046691A JP 2021046691 A JP2021046691 A JP 2021046691A JP 7260578 B2 JP7260578 B2 JP 7260578B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
processing
gas supply
dummy
mounting surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021046691A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022145330A (ja
Inventor
幸永 栗林
立志 上田
克彦 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kokusai Electric Corp
Original Assignee
Kokusai Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kokusai Electric Corp filed Critical Kokusai Electric Corp
Priority to JP2021046691A priority Critical patent/JP7260578B2/ja
Priority to TW111103029A priority patent/TWI823235B/zh
Priority to CN202210138220.5A priority patent/CN115116926A/zh
Priority to KR1020220021965A priority patent/KR20220131155A/ko
Priority to US17/679,966 priority patent/US20220301850A1/en
Publication of JP2022145330A publication Critical patent/JP2022145330A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7260578B2 publication Critical patent/JP7260578B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/3244Gas supply means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041Cleaning
    • H01L21/02057Cleaning during device manufacture
    • H01L21/0206Cleaning during device manufacture during, before or after processing of insulating layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68757Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a coating or a hardness or a material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4405Cleaning of reactor or parts inside the reactor by using reactive gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • C23C16/4582Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
    • C23C16/4583Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally
    • C23C16/4584Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally the substrate being rotated
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32715Workpiece holder
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
    • H01J37/32853Hygiene
    • H01J37/32862In situ cleaning of vessels and/or internal parts
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32926Software, data control or modelling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02002Preparing wafers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02107Forming insulating materials on a substrate
    • H01L21/02109Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
    • H01L21/02112Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
    • H01L21/02123Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
    • H01L21/0217Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202Movement
    • H01J2237/20214Rotation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68771Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by supporting more than one semiconductor substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

本開示は、基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラムに関する。
基板支持部の上に載置した製品基板(半導体ウエハ)に成膜を行う基板処理装置がある。この種の基板処理装置では、成膜の際、基板支持部の製品基板と接しない面は製品基板上と同様に膜堆積が進行する。このため、基板支持部(基板置き台、サセプタ)をクリーニングする技術が提案されている(例えば、特許文献1)。
特開2005-353619号公報
基板支持部の基板載置面において、製品基板と接しない面(非基板接地面)は製品基板上と同様に膜堆積が進行する。一方、基板支持部の基板載置面において、基板支持部の製品基板と接する面(基板接地面)では膜堆積は進行しない。そのため、基板支持部の非基板接地面と基板接地面の両方の表面を一様にクリーニングした場合、基板支持部の基板接地面で過剰クリーニングが発生することがある。
一方で、基板接地面の外周部分は完全に処理ガスが遮断されていないため、基板接地面の外周部分に徐々に膜堆積が発生する。製品基板と同じ外観形状のダミー基板を基板載置面に載置してクリーニングを実施した場合、ダミー基板の裏面と接する基板接地面の外周部分に堆積した膜はクリーニングで除去することが困難なため、パーティクルの発生が課題となる。
本開示の課題は、基板載置面内の外周部分に薄く堆積した膜をクリーニングすることが可能な技術を提供することにある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本開示のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
即ち、製品基板を処理する処理室と、処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、基板載置面に製品基板が載置された状態で、処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、ダミー基板は、基板載置面に支持された状態では、ダミー基板の外周が基板載置面に接触しないように構成される技術が提供される。
上記技術によれば、基板支持部の基板載置面内の外周部分に薄く堆積した膜をクリーニングすることが可能である。
図1は、基板支持部に載置された製品基板の断面図である。 図2は、基板支持部に載置されたダミー基板の断面図である。 図3は、図2のダミー基板の外周部分を拡大して示す図である。 図4は、変形例1に係るダミー基板の断面図である。 図5は、図2および図4に示したダミー基板を表面側から見た場合の平面図である。 図6は、変形例2に係るダミー基板の平面図および断面図である。 図7は、実施態様に係る基板処理装置を上方から見た横断面概略図である。 図8は、実施態様に係る基板処理装置の縦断面概略図である。 図9は、基板支持機構を説明する説明図である。 図10はガス供給部を示す図であり、図10(a)は第1ガス供給部を示す図であり、図10(b)は第2ガス供給部を示す図であり、図10(c)はパージガス供給部を示す図であり、図10(d)は第3ガス供給部を示す図である。 図11は、基板処理装置のコントローラの構成例を示す図である。 図12は、実施態様に係る基板処理工程を示すフロー図である。 図13は、実施態様に係るクリーニング処理工程を示すフロー図である。 図14は、変形例に係る基板処理装置の構成例示す図である。 図15は、変形例に係る基板支持部に載置されたダミー基板の断面図である。
以下、実施形態について、図面を用いて説明する。ただし、以下の説明において、同一構成要素には同一符号を付し繰り返しの説明を省略することがある。なお、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本開示の解釈を限定するものではない。
(実施態様)
まず、本実施形態をより明確にするために、図1から図6を用いて、製品基板とダミー基板とについて説明する。図1は、基板支持部に載置された製品基板の断面図である。図2は、基板支持部に載置されたダミー基板の断面図である。図3は、図2のダミー基板の外周部分を拡大して示す図である。図4は、変形例1に係るダミー基板の断面図である。図5は、図2および図4に示したダミー基板を表面側から見た場合の平面図である。図6は、変形例2に係るダミー基板の平面図および断面図である。
本実施形態に係る基板処理装置は、製品基板を処理する処理室と、処理室内に設けられた基板支持部と、基板支持部に製品基板を支持した状態で、処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、基板支持部にダミー基板を支持した状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有する。ダミー基板は、基板支持部に支持された状態では、ダミー基板の外周が基板支持部に接触しないように構成される。ここで、処理ガスは、原料ガス、反応ガスのいずれか又はその両方を含むガスとすることができる。クリーニングガスは、塩素ガス(Cl)、フッ素ガス(F)のいずれか又は両方を含むガスであり、堆積膜のエッチングに利用する。
図1には、製品基板(ウエハ)100を処理室の基板支持部(基板載置プレート)317の基板載置面311に載置した状態が示されている。この状態で、処理室内に処理ガスを供給してウエハ100に成膜工程を実施すると、基板載置面311のウエハ100と接しない面(非基板接地面)328にも処理ガスが供給されるため、ウエハ100上と同様に、非基板接地面328上にも膜が形成される(膜の堆積が進行する)。一方、基板載置プレート317のウエハ100と接する面(基板接地面)326では、ガスがウエハ100の裏面に回り込むことがなく、ガスの供給が遮断されているため、膜堆積は進行しない。そのため、基板載置プレート317の上面(表面)全体を一様にクリーニングした場合は、非基板接地面328では堆積物がクリーニングされるものの、基板載置プレート317の基板接地面326においては過剰クリーニングが発生する場合がある。
一方で、ウエハ100と接した基板載置面311の基板接地面326の外周部分327は完全に処理ガスが遮断されていない、即ちガスが外周部分に回り込むため、基板接地面326の外周部分327の全周に沿って膜堆積が発生する。これに対して、基板載置プレート317のクリーニング処理において、ウエハ100と同一形状の一般的なダミー基板を基板載置面311に載置し、クリーニング処理を行うことが考えられる。しかしながら、ダミー基板を載置した状態でクリーニング処理を行ったとしても、ウエハ100と同様のガスの回り込み状態は発生しにくいため、ダミー基板と接した基板載置面311上の堆積膜(基板接地面326の外周部分327の全周に沿って堆積した膜)をクリーニングで除去することが困難である。その理由としては、例えば加工精度の都合によりウエハ100の側面とダミー基板の側面とが全く同じ形状ではないことが考えられる。このように、通常のダミー基板を載置した状態でクリーニングしても堆積物は残る恐れがあり、それらの堆積物はウエハ100と接触した際等で剥がれ、パーティクルの発生の原因となる場合がある。
(ダミー基板の構成例)
図2には、実施形態に係るダミー基板100dを処理室の基板支持部(基板載置プレート)317の基板載置面311に載置した状態が示されている。ダミー基板100は、製品基板と異なり、トランジスタ等の電子部品を含まない基板である。ダミー基板100は、例えば、シリコンSi、アルミナ、酸化ケイ素、炭化ケイ素、または、窒化ケイ素で形成される。図2に示すように、ダミー基板100dの表面dmsと裏面dbsとにおいて、表面dmsの形状と裏面dbsの形状とは異なっている。即ち、ダミー基板の外周部分は、両面で形状が異なるように構成される。
ダミー基板100dの裏面dbsは、基板載置面311に対して接触する内部領域Cdbsと、内部領域Cdbsを囲むように内部領域Cdbsの外周部分に設けられ、かつ、基板載置プレート317の基板載置面311に対して非接触の外部領域Edbsと、を有している。外部領域Edbsは、図3に拡大して示すように、ダミー基板100dの上下方向Dの厚みdがダミー基板100dの中心から半径方向Rに離れるにしたがって、薄くなるように構成されている。外部領域Edbsの幅(外周幅)Wは、この例では、5mm以上とされている。これにより、基板載置プレート317の基板載置面311内の(基板接地面326の)外周部分327に堆積した膜を効率的に除去することができるように構成されている。また、外部領域Edbsの幅(外周幅)Wが5mm以上で構成するとともに、Wの部分の厚みdが、ダミー基板100dの外周に向かって小さくなるように構成する。この様に構成することで、基板載置面311の外周部分327に堆積した膜の膜厚が、基板載置面311のR方向で異なる場合に、外周部分327に堆積した膜を効率的に除去することができる。例えば、外周部分327に堆積した膜は、基板載置面311のR方向に向かって膜厚が厚く堆積する。この様な場合において、例えば、図2,3に示すようなダミー基板110dを用いることにより、外周部分327の基板載置面311の外周側に供給されるクリーニングガス量を多くでき、外周部分327の基板載置面311の中心側に供給されるクリーニングガス量を少なくすることができる。
図2に示す状態で、ダミー基板100dにクリーニングガスを供給してクリーニング工程を実施すると、基板載置面311の非基板接地面328およびダミー基板100dの裏面dbsの外部領域Edbsの裏面側と基板載置面311の基板接地面326の外周部分327の表面側との間にも、クリーニングガスが導入される。したがって、成膜工程において成膜された非基板接地面328の上の堆積した膜、および、基板載置面311の基板接地面326の外周部分327の全周に沿って堆積した膜がクリーニングガスにより除去される。
したがって、ダミー基板100dの裏面dbsの内部領域Cdbsと接触する基板載置面311の基板接地面326内がクリーニングガスに晒されることを防ぐことができる。
また、ダミー基板100dの裏面dbsに、基板接地面326の外周部分327に対して非接触とされる外部領域Edbsを設けたことにより、基板載置プレート317の基板接地面326内の外周部分327に薄く堆積した膜を効率的にクリーニング(除去)することができる。
ウエハ100は基板載置プレート317に載置されて処理を行うので、基板載置プレート317の基板接地面326内には膜堆積が起こらない。しかし、基板接地面326内の外周部分327は、わずかな処理ガスの回り込みによって膜堆積が発生する。その膜厚は、基板接地面326以外(非基板載置面325(図7参照)、非基板接地面328、基板接地面326の外周部分327)>>基板接地面326内となる。
これにより、基板載置プレート317の基板接地面326の過剰なクリーニングを防ぐことができるので、基板載置プレート317の交換寿命を延命するとともに、326内の外周部分327の膜堆積を除去することで、堆積膜の膜剥がれによるパーティクルの発生を抑制することができる。
図4に示す変形例1のダミー基板100d1において、外部領域Edbsの上下方向Dの厚みdは、ダミー基板100dの中心から半径方向Rに離れても、ほぼ一定の厚みd1にされている。ダミー基板100d1を用いたクリーニング工程でも、ダミー基板100dを用いたクリーニング工程と同様な効果を得ることができる。
図5には、ダミー基板100d、100d1を表面dms側から見た場合の平面図が示されている。図5に示すように、ダミー基板100d、100d1の外部領域Edbsは、ダミー基板100d、100d1の内部領域Cdbsを囲むように、円形形状のダミー基板100d、100d1の外周の全域(全周)に沿って設けられている。
図6に示す変形例2のダミー基板100d2では、ダミー基板100d2の外周部の4か所に、貫通孔OPが設けられている。ダミー基板100d2の構成でも、ダミー基板100dを用いたクリーニング工程と同様な効果を得ることができる。なお、この貫通孔は5個以上設けられていても良い。ダミー基板100d2の外周部分327に開口した貫通孔OPは基板表面から裏面へのクリーニングガス導入に寄与する。貫通孔OPを通って供給したクリーニングガスはダミー基板100d2の裏面部で拡散することで、基板載置面311内の外周部分327に薄く堆積した膜を除去する。なお、図6に示すダミー基板100d2の外周部分の形状を、本開示のダミー基板100d、100d1の外部領域Edbsの形状に構成しても良い。
(基板処理装置の構成例)
次に、本態様に係る基板処理装置の構成について、主に図7、図8、図9を用いて説明する。図7は本態様に係る基板処理装置200を上方から見た横断面概略図である。図8は本態様に係る基板処理装置200の縦断面概略図であり、図7に示すチャンバ302のα-α’線断面図である。なお、α-α’線は、αからチャンバ302の中心を通ってα’に向かう線である。図9は基板支持機構を説明する説明図である。
基板処理装置200の具体的構成を説明する。基板処理装置200は、後述するコントローラ400により制御される。
図7および図8に示されているように、基板処理装置200は、主に円筒状の気密容器であるチャンバ302で構成される。チャンバ302内には、基板(製品基板、ウエハ)100を処理する処理室301が構成されている。チャンバ302にはゲートバルブ305が接続されており、ゲートバルブ305を介して基板100が搬入出される。ゲートバルブ305は通路305aに隣接する。基板100は通路305aを介して移動される。
処理室301は、処理ガスを供給する処理領域306とパージガスを供給するパージ領域307を有する。ここでは処理領域306とパージ領域307は、円周状に交互に配される。例えば、第1処理領域306a、第1パージ領域307a、第2処理領域306bおよび第2パージ領域307bの順に配される。後述するように、第1処理領域306a内には第1ガスが供給され、第2処理領域306b内には第2ガスが供給され、また第1パージ領域307aおよび第2パージ領域307bには不活性ガスが供給される。これにより、それぞれの領域内に供給されるガスに応じて、基板100に対して所定の処理が施される。
パージ領域307は、第1処理領域306aと第2処理領域306bとを空間的に切り分ける領域である。パージ領域307の天井308は処理領域306の天井309よりも低くなるよう構成されている。第1パージ領域307aには天井308aが設けられ、第2パージ領域307bには天井308bが設けられる。各天井を低くすることで、パージ領域307の空間の圧力を高くする。この空間にパージガスを供給することで、隣り合う処理領域306を区画している。なお、パージガスは基板100上の余分なガスを除去する役割も有する。
チャンバ302の中央には、チャンバ302の中心に回転軸を有し、回転自在に構成される基板載置プレート317が設けられている。基板載置プレート317は熱を透過する性質を有し、後述するヒータ380から放射される熱を透過させる。透過された熱は基板100を加熱する。
基板載置プレート317は、チャンバ302内に、複数枚(例えば5枚)の基板100を同一面上に、且つ回転方向に沿って同一円周状に配置可能なよう構成される。
基板載置プレート317の表面は、図2に示すように、基板載置面311と非基板載置面325とで構成される。基板載置面311には基板100が載置される。基板載置面311は、基板載置プレート317の中心から同心円状の位置に互いに等間隔(例えば72°の間隔)で配置されている。なお、図7においては、説明の便宜上図示を省略している。
図8に示すように、基板載置面311は、凹部312の底面に設けられる。それぞれの凹部312は、例えば基板載置プレート317の上面から見て円形状であり、側面から見て凹形状である。凹部312の直径は基板100の直径よりもわずかに大きくなるように構成することが好ましい。凹部312内に基板100を載置することで、基板100を基板載置面311に載置できる。
基板載置プレート317の表面のうち、基板載置面311面以外の面を、非基板載置面325と呼ぶ。非基板載置面325は基板100が載置されない面であり、例えば複数の凹部312の間の面や、凹部312から見てチャンバ302の中心側の面、凹部312から見てチャンバ302の外周側の領域を指す。
各凹部312には、ピン320が貫通する貫通孔317aが複数設けられている。基板載置プレート317下方であってゲートバルブ305と向かい合う箇所には、図9に記載の基板保持機構316が設けられている。基板保持機構316は、基板100の搬入・搬出時に、基板100を突き上げて、基板100の裏面を支持するピン320を複数有する。ピン320は延伸可能な構成であって、例えば基板保持機構316の本体に収納可能である。基板100を移載する際には、ピン320が延伸され基板100を保持する。その後、ピン320の先端が下方に移動することで、基板100は凹部312に載置される。基板保持機構316は、基板載置時にピン320を孔317aに挿入可能な構成であればよい。
基板載置プレート317はコア部321に固定される。コア部321は基板載置プレート317の中心に設けられ、基板載置プレート317を固定する役割を有する。コア部321の下方にはシャフト322が配される。シャフト322はコア部321を支持する。
シャフト322の下方は、容器302の底部に設けられた孔323を貫通し、チャンバ302外で気密可能なベローズ304で覆われている。また、シャフト322の下端には、回転部319が設けられる。なお、シャフト322を昇降させる機能も有する場合は、昇降回転部と呼んでもよい。回転部319はコントローラ400の指示によって基板載置プレート317を回転可能に構成される。
基板載置プレート317の下方には、加熱部としてのヒータ380を内包するヒータユニット381が配される。ヒータ380は、基板載置プレート317に載置した各基板100を加熱する。ヒータ380は、チャンバ302の形状に沿って円周状に配される。ヒータ380には、ヒータ制御部387が接続される。ヒータ380はコントローラ400に電気的に接続され、コントローラ400の指示によってヒータ380への電力供給を制御し、温度制御を行う。
基板載置プレート317の外周には排気バッファ構造386が配される。排気バッファ構造386は、排気溝388と排気バッファ空間389とを有する。排気溝388、排気バッファ空間389は、チャンバ302の形状に沿って円周状に構成される。なお、この様な構成では、上述の基板載置面311の外周部分327に堆積する膜の膜厚は、基板載置プレート317の中心側よりも外周側の方が、厚くなることがある。これは、基板載置プレート317の中心側から、外周側に向かって後述の処理ガスが流れ、基板載置プレート317の外周側(排気バッファ構造386側)で、処理ガスの濃度が高くなるためである。更に、図9に示す様に、基板載置面311が、凹部312の底面に設けられている場合、凹部312内の基板載置面311の外周部分327に堆積する膜の厚さが厚くなることがある。これは、凹部312と、基板100の間で、処理ガスが滞留する場合に顕著に発生する。更には、この様な凹部312内であって、基板載置プレー317の径方向で、基板載置面311の外周部分327に堆積する膜厚が異なることが有る。例えば、図15の(a)に示す様に基板載置プレート317の外周側(排気バッファ構造386側)の基板載置面311の外周部分327bに堆積する膜の膜厚が、基板載置プレート317の中心側(コア部321側)の基板載置面311の外周部分327aに堆積する膜の膜厚よりも厚くなることがある。
この様な構成に対し、ダミー基板100dの外部領域Edbsの形状を、基板載置プレート317の中心側と外周側とで異ならせることが好ましい。この様に構成することで、板載置面311の外周部分327の基板載置プレート317の中心側と外周側とで、均一にクリーニングすることができる。
更に、ダミー基板100dの外部領域Edbsの幅(外周幅)Wが基板載置プレート317の中心側と外周側とで異ならせることが好ましい。この様に構成することで、板載置面311の外周部分327の基板載置プレート317の中心側と外周側とで、均一にクリーニングすることができる。例えば、図15の(b)に示す様に、ダミー基板100dの基板載置プレート317外周側のW1を、基板載置プレート317中心側のW2よりも大きく構成する(W1>W2)。
更に、ダミー基板100dの外部領域Edbsの厚みdが、基板載置プレート317の中心側と外周側とで異ならせることが好ましい。この様に構成することで、板載置面311の外周部分327の基板載置プレート317の中心側と外周側とで、均一にクリーニングすることができる。例えば、図15の(c)に示す様に、ダミー基板100dの基板載置プレート317外周側の厚みd1を、基板載置プレート317中心側の厚みd2よりも小さく構成する。更に、ダミー基板100dの基板載置プレート317外周側のエッジEdbs1を、ダミー基板100dの基板載置プレート317中心側のエッジEdbs2よりも鋭利に構成しても良い。この様に構成することで、外周部分327bに供給されるクリーニングガスの量を、外周部分327aに供給されるクリーニングガスの量よりも多くすることができ、外周部分327aと外周部分327bとで均一にクリーニングすることができる。
排気バッファ構造386の底には、排気孔392が設けられる。排気孔392は処理室301内に供給されるガスを排気する。各ガスは排気溝388、排気バッファ空間389を介して排気孔392から排気される。
排気バッファ構造386のうち、パージ領域307と隣接する箇所には、凸部390が設けられる。凸部390は、排気バッファ構造386の外周から、基板支持部317に向けて延伸される構造である。
凸部390を設けることで、パージ領域307から供給される不活性ガスが排気バッファ内に大量に流れることを防げるので、確実に上流側から流れるガスを遮断できる。
続いて図10を用いてガス供給部を説明する。図10(a)はガス供給部の一部である第1ガス供給部240を示す図である。図10(b)は、ガス供給部の一部である第2ガス供給部250を示す図である。図10(c)は、ガス供給部の一部であるパージガス供給部260を示す図である。図10(d)は、ガス供給部の一部である第3ガス供給部270を示す図である。
チャンバ302にはノズル341、ノズル342、ノズル344、ノズル345、ノズル346が設けられる。図7のAは図10(a)のAと接続される。即ち、ノズル341は供給管241に接続される。図7のBは図10(b)のBと接続される。即ち、ノズル342は供給管251に接続される。図7のCは図10(c)のCと接続される。即ち、ノズル344、ノズル345はそれぞれ供給管261に接続される。図8のDは図10(d)のDと接続される。即ち、ノズル346は供給管271に接続される。
図10(a)を用いて、ガス供給部の一部である第1ガス供給部240を説明する。第1ガス供給管241からは第1ガスが主に供給される。
第1ガス供給管241には、上流方向から順に、第1ガス供給源242、流量制御器(流量制御部)であるMFC243、及び開閉弁であるバルブ244が設けられている。
第1ガス供給管241から第1元素を含有するガス(以下、「第1ガス」)が、MFC243、バルブ244、第1ガス供給管241を介してノズル341に供給される。
第1ガスは、原料ガス、即ち、処理ガスの一つである。ここで、第1元素は、例えばシリコン(Si)である。即ち、第1ガスは、Siガス(Si含有ガスとも呼ぶ)であり、Siを主成分としたガスである。具体的には、ジクロロシラン(DCS、SiHCl)ガスが用いられる。
主に、第1ガス供給管241、MFC243、バルブ244、ガス供給構造410により第1ガス供給部240が構成される。更には、第1ガス供給源242を第1ガス供給部(第1処理ガス供給部)240に含めて考えてもよい。
続いて図10(b)を用いて、ガス供給部の一部である第2ガス供給部250を説明する。第2ガス供給管251には、上流方向から順に、第2ガス供給源252、流量制御器であるMFC253、バルブ254が設けられる。
そして、第2ガス供給管251から、第1ガスと反応する反応ガスがシャワーヘッド230内に供給される。反応ガスは第2ガスとも呼ぶ。第2ガスは処理ガスの一つであり、例えば窒素を主成分とした窒素含有ガスである。窒素含有ガスとしては、例えばアンモニア(NH)ガスが用いられる。
主に、第2ガス供給管251、MFC253、バルブ254、ノズル342で第2ガス供給部250が構成される。なお、第2ガス供給部250は、反応ガスを供給する構成であるので、反応ガス供給部とも呼ぶ。更には、第2ガス供給源252を第2ガス供給部(第2処理ガス供給部)250に含めてもよい。
続いて図10(c)を用いて、ガス供給部の一部であるパージガス供給部260を説明する。パージガス供給管261には、上流方向から順に、パージガス供給源262、流量制御器(流量制御部)であるMFC263、バルブ264が設けられる。
そして、パージガス供給管261からは、パージガスがシャワーヘッド230内に供給される。パージガスは、第1ガスや第2ガスと反応しないガスであり、処理室301中の雰囲気をパージするパージガスの一つであり、例えば窒素(N)ガスである。
主に、パージガス供給管261、MFC263、バルブ264、ノズル344、ノズル345でパージガス供給部260が構成される。パージガス供給源262をパージガス供給部260に含めてもよい。
第一ガス供給部240、第二ガス供給部250をまとめて処理ガス供給部と呼ぶ。処理ガス供給部には、パージガス供給部260を含めてもよい。
続いて図10(d)を用いて、ガス供給部の一部である第三ガス供給部270を説明する。第三ガス供給管271には、上流方向から順に、第三ガス供給源272、流量制御器であるMFC273、バルブ274が設けられる。
そして、第三ガス供給管271から、基板載置プレート317上に形成された膜を除去するためのクリーニングガスを供給する。クリーニングガスとしては、例えば塩素ガス(Cl)またはフッ素ガス(F)または塩素ガス(Cl)とフッ素ガス(F)の混合ガスを用いる。
主に、第三ガス供給管271、MFC273、バルブ274、ノズル346で第三ガス供給部270が構成される。なお、第三ガス供給部270は、クリーニングガスを供給する構成であるので、クリーニングガス供給部とも呼ぶ。更には、第三ガス供給源272を第三ガス供給部270に含めてもよい。
次に排気部を説明する。チャンバ302の下方には排気孔392が設けられる。排気口392は処理領域306毎に設けられる。第1処理領域306aに対応して排気孔392aが設けられ、第2処理領域306bに対応して排気孔392bが設けられる。
排気孔392aと連通するよう、排気部334の一部である排気管334aが設けられる。排気管334aには、開閉弁としてのバルブ334d、圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ334cを介して、真空排気装置としての真空ポンプ334bが接続されており、処理室301内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。
排気孔392bも同様に、排気口392aと連通するよう、排気部335が接続される。排気管335a、バルブ335d、APCバルブ335cをまとめて排気部335と呼ぶ。なお、真空ポンプ335bを第2の排気部335に含めてもよい。
(コントローラの構成例)
続いて図11を用いてコントローラ400を説明する。図11は基板処理装置200のコントローラ400の構成例を示す図である。
基板処理装置200は、マイクロ波供給部、昇降回転部、バルブ、MFC等、各部の動作を制御するコントローラ400を有している。コントローラ400は、演算部(CPU)401、一時記憶部402、記憶部403、送受信部404を少なくとも有する。コントローラ400は、送受信部404を介して基板処理装置200の各構成に接続され、上位コントローラや使用者の指示に応じて記憶部403からプログラムやレシピを呼び出し、その内容に応じて各構成の動作を制御する。なお、コントローラ400は、専用のコンピュータとして構成してもよいし、汎用のコンピュータとして構成してもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置(例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、CDやDVD等の光ディスク、MO等の光磁気ディスク、USBメモリ(USB Flash Drive)やメモリカード等の半導体メモリ)412を用意し、外部記憶装置412を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすることにより、本態様に係るコントローラ400を構成できる。また、コンピュータにプログラムを供給するための手段は、外部記憶装置412を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用回線等の通信手段を用いても良いし、上位装置420から送受信部411を介して情報を受信し、外部記憶装置412を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。また、キーボードやタッチパネル等の入出力装置413を用いて、コントローラ400に指示をしても良い。
なお、記憶部402や外部記憶装置412は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶部402単体のみを含む場合、外部記憶装置412単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。
(基板処理工程)
次に、図12を用い、基板処理工程について説明する。図12は、本態様に係る基板処理工程を示すフロー図である。以下の説明において、基板処理装置200の構成各部の動作は、コントローラ400により制御される。
ここでは、第1ガスとしてシリコン含有ガスを用い、第2ガスとしてアンモニアガスを用い、基板100に薄膜として窒化シリコン(SiN)膜を形成する例について説明する。
基板搬入・載置工程を説明する。図12においては図示を省略する。基板載置プレート317を回転させ、凹部312をゲートバルブ305と隣接する位置に移動さする。次に、リフトピン320を上昇させ、基板載置プレート317の貫通孔317aに貫通させる。続いて、ゲートバルブ305を開いてチャンバ302と真空搬送室(図示せず)と連通させる。そして、この移載室からウエハ移載機(図示せず)を用いて基板100をリフトピン320上に移載し、その後リフトピン320を下降させる。これにより、基板100は基板載置面311上に支持される。
基板100が基板載置面311上に載置されたら、基板100が載置されていない基板載置面311がゲートバルブ305と向かい合うよう、基板載置プレート317を回転させる。その後、同様に基板載置面311に基板を載置する。すべての基板載置面311に基板100が載置されるまで繰り返す。
基板100を基板載置プレート317に載置する際は、予めヒータ380に電力を供給し、基板100の表面が所定の温度となるよう制御する。基板100の温度は、例えば400℃以上であって500℃以下である。ヒータ380から放射された熱は、基板載置プレート317を介して基板100の裏面に照射される。ヒータ380は、少なくとも基板搬入・載置工程から後述する基板搬出工程が終了するまでの間は、常に通電させた状態とする。
基板載置プレート回転開始工程S110を説明する。基板100が各凹部312に載置されたら、回転部324は基板載置プレート317をR方向に回転させる。基板載置プレート317を回転させることにより、基板100は、第1処理領域306a、第1パージ領域307a、第2処理領域306b、第2パージ領域307bの順に移動する。
ガス供給開始工程S120を説明する。基板100を加熱して所望とする温度に達し、基板載置プレート317が所望とする回転速度に到達したら、バルブ244を開けて第1処理領域306a内にシリコン含有ガスの供給を開始する。それと併行して、バルブ254を開けて第2処理領域306b内にNHガスを供給する。
このとき、シリコン含有ガスの流量が所定の流量となるように、MFC243を調整する。なお、シリコン含有ガスの供給流量は、例えば50sccm以上500sccm以下である。
また、NHガスの流量が所定の流量となるように、MFC253を調整する。なお、NHガスの供給流量は、例えば100sccm以上5000sccm以下である。
なお、基板搬入・載置工程後、継続して、第1の排気部33により処理室301内が排気されるとともに、不活性ガス供給部260から第1パージ領域307a内および第2パージ領域307b内にパージガスとしてのNガスが供給されている。
成膜工程S130を説明する。成膜工程S130では、各基板100は、第1処理領域306aにてシリコン含有層が形成され、更に回転後の第2処理領域306bにて、シリコン含有層とNHガスとが反応し、基板100上にシリコン含有膜を形成する。所望の膜厚となるよう、基板載置プレート317を所定回数回転させる。このとき、非基板載置面325にもガスが供給されるため、非基板載置面325上にも膜が形成される。
ガス供給停止工程S140を説明する。所定回数回転させた後、バルブ244,バルブ254を閉じ、第1処理領域306aへのシリコン含有ガスの供給、第2処理領域306bへのNHガスの供給を停止する。
基板載置プレート回転停止工程S150を説明する。ガス供給停止工程S140の後、基板載置プレート317の回転を停止する。
基板搬出工程を説明する。図12では図示を省略している。ゲートバルブ305と隣接する位置に搬出したい基板100を移動するよう基板載置プレートを回転させる。その後、基板搬入時と逆の方法で基板を搬出する。これらの動作を繰り返し、すべての基板100を搬出する。
(クリーニング工程)
次に、図13を用い、クリーニング工程について説明する。図13は、本態様に係るクリーニング処理工程を示すフロー図である。以下の説明において、基板処理装置200の構成各部の動作は、コントローラ400により制御される。
クリーニング工程は、図12の基板処理工程によって定められた基板処理枚数を実施したのちに、実施される。つまり、クリーニング工程は、成膜した膜厚の累積値(累積成膜膜厚値)などで定められた一定数の半導体基板(ウエハ)を基板処理装置200によって成膜処理(図12の基板処理工程)した時点で、基板処理装置200に対して実施される。クリーニング工程の終了後、再度、図12の基板処理工程を実施することができる。
クリーニングガスとしては、Cl(塩素)、F(フッ素)のいずれか又は両方を含むガスを利用することができる。クリーニングカスにより、基板載置プレート317の堆積膜のエッチングを行う。ダミー基板としては、図2で説明されたダミー基板100dを用いた場合を説明するが、図4、図6で説明されたダミー基板100d1、100d2を利用してよい。
タミー基板搬入・載置工程を説明する。図13においては図示を省略する。基板載置プレート317を回転させ、凹部312をゲートバルブ305と隣接する位置に移動さする。次に、リフトピン320を上昇させ、基板載置プレート317の貫通孔317aに貫通させる。続いて、ゲートバルブ305を開いてチャンバ302と真空搬送室(図示せず)と連通させる。そして、この移載室からウエハ移載機(図示せず)を用いてダミー基板100dをリフトピン320上に移載し、その後リフトピン320を下降させる。これにより、ダミー基板100dは基板載置面311上に支持される。
ダミー基板100dが基板載置面311上に載置されたら、ダミー基板100dが載置されていない基板載置面311がゲートバルブ305と向かい合うよう、基板載置プレート317を回転させる。その後、同様に基板載置面311にダミー基板を載置する。すべての基板載置面311にダミー基板100dが載置されるまで繰り返す。
ダミー基板100dを基板載置プレート317に載置する際は、予めヒータ380に電力を供給し、ダミー基板100dの表面が所定の温度となるよう制御する。ダミー基板100dの温度は、例えば400℃以上であって500℃以下である。ヒータ380から放射された熱は、基板載置プレート317を介してダミー基板100dの裏面に照射される。ヒータ380は、少なくとも基板搬入・載置工程から後述する基板搬出工程が終了するまでの間は、常に通電させた状態とする。
基板載置プレート回転開始工程S210を説明する。ダミー基板100dが各凹部312に載置されたら、回転部324は基板載置プレート317をR方向に回転させる。基板載置プレート317を回転させる。
クリーニングガス供給開始工程S220を説明する。ダミー基板100dを加熱して所望とする温度に達し、基板載置プレート317が所望とする回転速度に到達したら、バルブ274を開けてチャンバ302内にクリーニングガスの供給を開始する。このとき、クリーニングガスの流量が所定の流量となるように、MFC273を調整する。
クリーニング工程S230を説明する。クリーニング工程S230では、各ダミー基板100dは、基板載置プレート317を所定回数回転させる。このとき、各ダミー基板100の裏面の外周部Edbsの下側に対応する基板載置プレート317の基板載置面311内の外周部分327や非基板載置面325にクリーニングガスが供給されるため、基板載置プレート317の基板載置面311内の外周部分327に薄く堆積した膜、および、非基板載置面325上に形成された膜がクリーニング(除去)される。一方、各ダミー基板100dの裏面の内周部分Cdbs(外周部分Edbsを除く領域の部分)は基板載置プレート317の基板載置面311内の内周部分に接しているため、クリーニングガスに晒されることを防ぐことができる。これにより、基板載置プレート317の基板載置面311内の過剰なクリーニングを防ぐことができ、基板載置プレート317の交換寿命を延命するとともに、基板載置面311内の外周部分327の堆積膜を除去することで、膜剥がれによるパーティクル発生を抑制することができる。
クリーニングガス供給停止工程S240を説明する。所定回数回転させた後、バルブ274を閉じ、クリーニングガスの供給を停止する。
基板載置プレート回転停止工程S250を説明する。クリーニングガス供給停止工程S240の後、基板載置プレート317の回転を停止する。
基板搬出工程を説明する。図8では図示を省略している。ゲートバルブ305と隣接する位置に搬出したいダミー基板100dを移動するよう基板載置プレートを回転させる。その後、ダミー基板搬入時と逆の方法でダミー基板を搬出する。これらの動作を繰り返し、すべてのダミー基板100dを搬出する。
(基板処理装置の変形例)
次に、図14を用いて、基板処理装置の変形例を説明する。図14は、変形例に係る基板処理装置の構成例示す図である。図14に示す基板処理装置200aは、チャンバ202に対して、1つのシャワーヘッド(230)、1つのガス供給口(共通ガス供給管242)が設けられた枚葉式の基板処理装置の構成例である。なお、図14の基板処理装置200aの参照番号の一部(例えば、242、243、261など)が図7~図10で説明した基板処理装置200の参照番号と一致するものがあるが、異なる構成のものを示すものである。
(チャンバ)
まずチャンバを説明する。基板処理装置200aはチャンバ202を有する。チャンバ202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、チャンバ202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。チャンバ202内には、基板としてのシリコン基板等の基板100を処理する処理空間205と、基板100を処理空間205に搬送する際に基板100が通過する搬送空間206とが形成されている。チャンバ202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切り板208が設けられる。
下部容器202bの側面には、ゲートバルブ149に隣接した基板搬入出口148が設けられており、基板100は基板搬入出口148を介して図示しない真空搬送室との間を移動する。下部容器202bの底部には、リフトピン207が複数設けられている。更に、下部容器202bは接地されている。
処理空間205を構成する処理室は、基板載置台(基板支持部)212とシャワーヘッド230で構成される。処理空間205内には、基板100が載置される基板載置部210が設けられている。基板載置部210は、基板100を載置する基板載置面211と、基板載置面211を表面に持つ基板載置台212、基板載置台212に内包された加熱源としてのヒータ213を主に有する。基板載置台212には、リフトピン207が貫通する貫通孔214が、リフトピン207と対応する位置にそれぞれ設けられている。ヒータ213には、ヒータ213の温度を制御する温度制御部220が接続される。
基板載置台212はシャフト217によって支持される。シャフト217の支持部はチャンバ202の底壁に設けられた穴215を貫通しており、更には支持板216を介してチャンバ202の外部で昇降機構218に接続されている。昇降機構218を作動させてシャフト217及び基板載置台212を昇降させることにより、基板載置面211上に載置される基板100を昇降させることが可能となっている。尚、シャフト217下端部の周囲はベローズ219により覆われている。チャンバ202内は気密に保持されている。
基板載置台212は、基板100の搬送時には、基板載置面211が基板搬入出口148に対向する位置まで下降し、基板100の処理時には、図14で示されるように、基板100が処理空間205内の処理位置となるまで上昇する。
具体的には、基板載置台212を基板搬送位置まで下降させた時には、リフトピン207の上端部が基板載置面211の上面から突出して、リフトピン207が基板100を下方から支持するようになっている。また、基板載置台212を基板処理位置まで上昇させたときには、リフトピン207は基板載置面211の上面から埋没して、基板載置面211が基板100を下方から支持するようになっている。
処理空間205の上部(上流側)には、シャワーヘッド230が設けられている。シャワーヘッド230は、蓋231を有する。蓋231はフランジ232を有し、フランジ232は上部容器202a上に支持される。更に、蓋231は位置決め部233を有する。位置決め部233が上部容器202aに勘合されることで、蓋231が固定される。
シャワーヘッド230は、バッファ空間234を有する。バッファ空間234は、蓋231と位置決め部233で構成される空間をいう。バッファ空間234と処理空間205は連通している。バッファ空間234に供給されたガスはバッファ空間内232で拡散し、処理空間205に均一に供給される。ここではバッファ空間234と処理空間205を別の構成として説明したが、それに限るものではなく、バッファ空間234を処理空間205に含めてもよい。
処理空間205は、主に上部容器202a、基板処理ポジションにおける基板載置台212の上部構造で構成される。処理空間205を構成する構造を処理室と呼ぶ。尚、処理室は処理空間205を構成する構造であればよく、上記構造にとらわれないことは言うまでもない。
搬送空間206は、主に下部容器202b、基板処理ポジションにおける基板載置台212の下部構造で構成される。搬送空間206を構成する構造を搬送室と呼ぶ。搬送室は処理室の下方に配される。尚、搬送室は搬送空間205を構成する構造であればよく、上記構造にとらわれないことは言うまでもない。
(ガス供給部)
続いてガス供給部を説明する。共通ガス供給管242には、第一ガス供給管243a、第二ガス供給管247a、第三ガス供給管249aが接続されている。
第一ガス供給管243aを含む第一ガス供給系243からは第一処理ガスが主に供給され、第二ガス供給管247aを含む第二ガス供給系247からは主に第二処理ガス(クリーニングガス)が供給され、第三ガス供給管249aを含む第三ガス供給系249からは主に不活性ガスが供給される。
(第一ガス供給系)
第一ガス供給管243aの上流には、上流方向から順に、第一ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。第一処理ガスをプラズマ状態とするには、バルブ244dの下流にプラズマ生成部としてのリモートプラズマユニット(RPU)243eを設ける。
そして、第一ガス供給管243aからは、第一ガスが、MFC243c、バルブ243d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。第一処理ガスはRPU243eによりプラズマ状態とされる。
第一処理ガスは処理ガスの一つであり、シリコン含有ガスである。シリコン含有ガスは、例えば、ジクロロシラン(DCS、SiHCl)ガスが用いられる。
主に、第一ガス供給管243a、MFC243c、バルブ243、RPU243eにより、第一処理ガス供給系243が構成される。
第一ガス供給管243aのバルブ243dよりも下流側には、窒素含有ガス供給管245aの下流端が接続されている。窒素含有ガス供給管245aには、上流方向から順に、窒素含有ガス供給源245b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)245c、及び開閉弁であるバルブ245dが設けられている。そして、窒素含有ガス供給管245aからは、窒素含有ガスが、MFC245c、バルブ245d、第一ガス供給管243a、RPU243eを介して、シャワーヘッド230内に供給される。
窒素含有ガスは、例えば、例えばアンモニア(NH)ガスが用いられる。
主に、窒素含有ガス供給管245a、MFC245c、及びバルブ245dにより、窒素含有ガス供給系が構成される。尚、窒素含有ガス供給系は、窒素含有ガス供給源245b、第一ガス供給管243a、RPU243eを含めて考えてもよい。また、窒素含有ガス供給系は、第一ガス供給系243に含めて考えてもよい。
(第二ガス供給系)
第二ガス供給管247aには、上流方向から順に、第二ガス供給源247b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)247c、及び開閉弁であるバルブ247dが設けられている。
第二ガス供給管247aから、第二元素を含有するガス(以下、「第二処理ガス」)が、マスフローコントローラ247c、バルブ247d、共通ガス供給管242を介してシャワーヘッド230に供給される。
第二処理ガスは、塩素ガス(Cl)、フッ素ガス(F)のいずれか又は両方を含むクリーニングガスである。
主に、第二ガス供給管247a、マスフローコントローラ247c、バルブ247dにより、第二処理ガス供給系247(クリーニングガス供給系ともいう)が構成される。
(第三ガス供給系)
第三ガス供給管249aには、上流方向から順に、第三ガス源249b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)249c、及び開閉弁であるバルブ249dが設けられている。
第三ガス源249bは不活性ガス源である。不活性ガスは、例えば窒素(N)ガスである。
主に、第三ガス供給管249a、マスフローコントローラ249c、バルブ249dにより、第三ガス供給系249が構成される。
不活性ガス源249bから供給される不活性ガスは、基板処理工程では、容器202やシャワーヘッド230内に留まったガスをパージするパージガスとして作用する。
(排気部)
チャンバ202の雰囲気を排気する排気部は、処理空間205の雰囲気を排気する排気部261で主に構成される。
排気部261は、処理空間205に接続される排気管261aを有する。排気管261aは、処理空間205に連通するよう設けられる。排気管261aには、処理空間205内を所定の圧力に制御する圧力制御器であるAPC(AutoPressure Controller)261c、処理空間205の圧力を計測する第一の圧力検出部261dが設けられる。APC261cは開度調整可能な弁体(図示せず)を有し、後述するコントローラ280からの指示に応じて排気管261aのコンダクタンスを調整する。また、排気管261aにおいてAPC261cの上流側にはバルブ261bが設けられる。排気管261とバルブ261b、APC261c、圧力検出部261dをまとめて処理室排気部261と呼ぶ。
排気管261aの下流側には、DP(Dry Pump。ドライポンプ)278が設けられる。DP278は、排気管261aを介して、処理空間205の雰囲気を排気する。
基板処理装置200aでは、基板処理工程を実施することにより、基板100に薄膜として窒化シリコン(SiN)膜を形成することができる。また、基板処理装置200aでは、クリーニング処理工程を実施することにより、基板載置台212のクリーニングを行うことができる。基板載置台212のクリーニングを行う場合、図2で説明したダミー基板100dを基板載置台212の基板載置面211に載置した状態で、チャンバ202へクリーニングガス供給系247からクリーニングガスを供給して行われる。
実施形態によれば、以下の1または複数の効果を得ることができる。
1)基板支持部にダミー基板を支持した状態でクリーニングガス供給部からクリーニングガスを供給するので、基板支持部の基板載置面内がクリーニングガスに晒されることを防ぐことができる。
2)ダミー基板は、基板支持部に支持された状態では、ダミー基板の外周が基板支持部に接触しないように構成する。これによって、基板支持部の基板載置面内外周部分に薄く堆積した膜をクリーニングすることができる。
3)上記1)および上記2)により、基板支持部の基板載置面内の過剰なクリーニングを防ぐことができる。
4)上記3)により、基板支持部の交換寿命を延命することができる。
5)基板載置面内外周の膜堆積を除去できるので、膜剥がれによるパーティクルの発生を抑制することができる。
以上、本件開示者によってなされた技術を実施例に基づき具体的に説明したが、本開示は、上記実施形態および実施例に限定されるものではなく、種々変更可能であることはいうまでもない。
以下、本開示の好ましい形態について付記する。
(付記1)
製品基板を処理する処理室と、
前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される、基板処理装置。
(付記2)
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板は前記基板載置面に接しない外周幅を5mm以上とする、基板処理装置。
(付記3)
付記1または2に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板は、前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記ダミー基板の外周に向かって小さくなるように構成される、基板処理装置。
(付記4)
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、基板処理装置。
(付記5)
付記1に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、基板処理装置。
(付記6)
付記1に記載の基板処理装置において、
前記基板支持部を回転させる回転部を更に有し、
前記基板支持部は、前記基板支持部の中心から同心円状に、前記基板載置面を複数有し、
前記ダミー基板の外周部分は、前記基板支持部の中心側と外周側とで、形状が異なる様に構成される、基板処理装置。
(付記7)
付記6に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅は、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、基板処理装置。
(付記8)
付記7に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板支持部の外周側における前記外周幅は、前記基板支持部の外周側における前記外周幅よりも大きく構成する、基板処理装置。
(付記9)
付記6乃至8のいずれか一項に記載の基板処理装置において、
前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、基板処理装置。
(付記10)
付記9に記載の基板処理装置において、
前記基板支持部の外周側における前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みは、前記基板支持部の中心側における前記基板載置面に接しない外周幅の部分の厚みよりも小さく構成される、基板処理装置。
(付記11)
製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる手順と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
(付記12)
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板は前記基板載置面に接しない外周幅を5mm以上とする、プログラム。
(付記13)
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、プログラム。
(付記14)
付記11に記載のプログラムにおいて、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、プログラム。
(付記15)
製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる工程と、
前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
(付記16)
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板は前記基板支持部に接しない外周幅を5mm以上とする、半導体装置の製造方法。
(付記17)
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板の外周部分は両面で形状が異なる、半導体装置の製造方法。
(付記18)
付記15に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、半導体装置の製造方法。
100:基板(製品基板、ウエハ)
100d、100d1、100d2:ダミー基板
200、200a:基板処理装置
240、250:処理ガス供給部
270:クリーニングガス供給部
311:基板載置面
317:基板支持部(基板載置プレート)

Claims (5)

  1. 製品基板を処理する処理室と、
    前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
    前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
    前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
    前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成され、
    前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いている、基板処理装置。
  2. 製品基板を処理する処理室と、
    前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、
    前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
    前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、
    前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成され、
    前記基板支持部を回転させる回転部を更に有し、
    前記基板支持部は、前記基板支持部の中心から同心円状に、前記基板載置面を複数有し、
    前記ダミー基板の外周部分は、前記基板支持部の中心側と外周側とで、形状が異なる様に構成される、基板処理装置。
  3. 前記ダミー基板の前記基板載置面に接しない外周幅は、前記基板支持部の中心側と外周側とで異なる様に構成される、請求項記載の基板処理装置。
  4. 製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いており、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる手順と、
    前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する手順と、をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
  5. 製品基板を処理する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記製品基板が載置される基板載置面を有する基板支持部と、前記基板載置面に前記製品基板が載置された状態で、前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記基板載置面にダミー基板が載置された状態でクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、を有し、前記ダミー基板の外周部分は少なくとも4個以上の表面から裏面への貫通孔が空いており、前記ダミー基板は、前記基板載置面に載置された状態では、前記ダミー基板の外周が前記基板載置面に接触しないように構成される基板処理装置の前記処理室内の前記基板載置面に前記ダミー基板を載置させる工程と、
    前記処理室内に前記クリーニングガス供給部から前記クリーニングガスを供給する工程と、をする半導体装置の製造方法。
JP2021046691A 2021-03-19 2021-03-19 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム Active JP7260578B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021046691A JP7260578B2 (ja) 2021-03-19 2021-03-19 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム
TW111103029A TWI823235B (zh) 2021-03-19 2022-01-25 基板處理裝置、記錄媒體、基板處理方法及半導體裝置之製造方法
CN202210138220.5A CN115116926A (zh) 2021-03-19 2022-02-15 基板处理装置和方法、半导体器件的制造方法及记录介质
KR1020220021965A KR20220131155A (ko) 2021-03-19 2022-02-21 기판 처리 장치, 기록 매체, 기판 처리 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US17/679,966 US20220301850A1 (en) 2021-03-19 2022-02-24 Substrate Processing Apparatus, Non-transitory Computer-readable Recording Medium, Substrate Processing Method and Method of Manufacturing Semiconductor Device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021046691A JP7260578B2 (ja) 2021-03-19 2021-03-19 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022145330A JP2022145330A (ja) 2022-10-04
JP7260578B2 true JP7260578B2 (ja) 2023-04-18

Family

ID=83284074

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021046691A Active JP7260578B2 (ja) 2021-03-19 2021-03-19 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220301850A1 (ja)
JP (1) JP7260578B2 (ja)
KR (1) KR20220131155A (ja)
CN (1) CN115116926A (ja)
TW (1) TWI823235B (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7499105B2 (ja) * 2020-08-03 2024-06-13 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置のクリーニング方法及びプラズマ処理装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005353619A (ja) 2004-06-08 2005-12-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および処理方法
JP2019087637A (ja) 2017-11-07 2019-06-06 日本特殊陶業株式会社 セラミックス基材の保護方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6296787B2 (ja) * 2013-12-25 2018-03-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP6009513B2 (ja) * 2014-09-02 2016-10-19 株式会社日立国際電気 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム
WO2016043221A1 (ja) * 2014-09-18 2016-03-24 株式会社日立国際電気 基板処理装置、クリーニング方法及び半導体装置の製造方法並びに記録媒体
GB201420935D0 (en) * 2014-11-25 2015-01-07 Spts Technologies Ltd Plasma etching apparatus
JP6062413B2 (ja) * 2014-11-28 2017-01-18 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
JP6368732B2 (ja) * 2016-03-29 2018-08-01 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005353619A (ja) 2004-06-08 2005-12-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および処理方法
JP2019087637A (ja) 2017-11-07 2019-06-06 日本特殊陶業株式会社 セラミックス基材の保護方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI823235B (zh) 2023-11-21
JP2022145330A (ja) 2022-10-04
KR20220131155A (ko) 2022-09-27
CN115116926A (zh) 2022-09-27
TW202238687A (zh) 2022-10-01
US20220301850A1 (en) 2022-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5941491B2 (ja) 基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びにプログラム
US20090014127A1 (en) Systems for plasma enhanced chemical vapor deposition and bevel edge etching
US10546761B2 (en) Substrate processing apparatus
KR20010034921A (ko) 정화 가스 채널과 펌핑 시스템을 갖는 기판 지지 부재
US20150376789A1 (en) Vertical heat treatment apparatus and method of operating vertical heat treatment apparatus
CN108690970B (zh) 金属污染防止方法和成膜装置
JP7260578B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム
KR102584230B1 (ko) 성막 장치 및 성막 방법
KR20190104884A (ko) 성막 방법 및 성막 장치
KR20170007066A (ko) 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 장치의 운전 방법
US11373876B2 (en) Film forming method and film forming apparatus
WO2019235282A1 (ja) 基板処理装置およびシャワーヘッド
TWI802005B (zh) 基板處理裝置,半導體裝置的製造方法及程式
JP7242612B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
JP4404666B2 (ja) 基板支持体、基板処理装置および半導体装置の製造方法
JP7446189B2 (ja) 処理装置及び処理方法
US11380540B2 (en) Substrate processing apparatus
US20220389581A1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP7223047B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム
TW202315685A (zh) 控制製程飄移的製程系統與方法
CN115116824A (zh) 半导体器件的制造方法、衬底处理装置及记录介质

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210924

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230404

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7260578

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150