JP7259278B2 - Vibration device and electronic equipment - Google Patents

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Description

本発明の一つの態様は、振動デバイス及び電子機器に関する。 One aspect of the present invention relates to vibration devices and electronic equipment.

特許文献1には、圧電素子と、圧電素子と電気的に接続されている配線部材と、を備える音響発生器が記載されている。この音響発生器では、配線部材が屈曲部又は湾曲部を有している。これにより、配線部材の振動が湾曲部又は屈曲部で吸収されるので、配線部材の振動を抑制することができる。 Patent Literature 1 describes an acoustic generator including a piezoelectric element and a wiring member electrically connected to the piezoelectric element. In this acoustic generator, the wiring member has a bent portion or curved portion. As a result, the vibration of the wiring member is absorbed by the curved portion or the bent portion, so that the vibration of the wiring member can be suppressed.

特許第6016945号公報Japanese Patent No. 6016945

本発明の一つの態様は、振幅を増大させることが可能な振動デバイス及び電子機器を提供する。 One aspect of the present invention provides a vibrating device and electronics capable of increasing amplitude.

本発明の一つの態様に係る振動デバイスは、長方形状の主面を有している圧電素体と、圧電素体の内部に配置されている内部電極と、主面上に配置され、かつ、内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を含む圧電素子を有する振動部と、外部電極に接続された配線部材と、を備え、主面に直交する直交方向から見て、配線部材は、主面の長辺に沿って延在して、主面の短辺と交差し、配線部材は、振動部により支持されている第一領域と、支持部により支持されている第二領域と、第一領域と第二領域とに接続されている第三領域と、を有し、第三領域は、湾曲部を含んでいる。 A vibration device according to one aspect of the present invention includes a piezoelectric element having a rectangular main surface, internal electrodes arranged inside the piezoelectric element, arranged on the main surface, and a vibrating portion having a piezoelectric element including an external electrode electrically connected to the internal electrode; extends along the long side of the main surface and intersects the short side of the main surface, and the wiring member has a first region supported by the vibrating portion and a second region supported by the supporting portion and a third region connected to the first region and the second region, the third region including a bend.

上記一つの態様では、主面は、長方形状を有しているので、圧電素体の変位量は、主面の長辺方向の中央で最も大きくなり、主面の長辺方向の両端で最も小さくなる。配線部材は、振動部により支持されている第一領域と、支持部により支持されている第二領域と、第一領域と第二領域とに接続されている第三領域と、を有している。第一領域は、振動部により支持されているので、振動部の変位に伴って変位する。第三領域は、第一領域に接続されているので、第一領域の変位に伴って変位しようとする。第三領域は、第二領域にも接続されている。第二領域は、支持部により支持され、変位しない。したがって、第三領域の振動は、圧電素子の振動とは一致せず、圧電素子の振動を阻害するおそれがある。 In the above aspect, since the main surface has a rectangular shape, the amount of displacement of the piezoelectric element is the largest at the center in the long side direction of the main surface and the largest at both ends in the long side direction of the main surface. become smaller. The wiring member has a first area supported by the vibration part, a second area supported by the support part, and a third area connected to the first area and the second area. there is Since the first region is supported by the vibrating portion, it is displaced with the displacement of the vibrating portion. Since the third area is connected to the first area, it tries to displace along with the displacement of the first area. The third area is also connected to the second area. The second region is supported by the support and does not move. Therefore, the vibration of the third region does not match the vibration of the piezoelectric element, and may impede the vibration of the piezoelectric element.

配線部材は、圧電素体の主面の長辺に沿って延在して、圧電素体の主面の短辺と交差している。したがって、第三領域は、圧電素体の主面の短辺部分で第一領域に接続されている。上述のように、主面の変位量は、主面の長辺方向の両端で最も小さくなる。よって、配線部材が、圧電素体の主面の短辺に沿って延在して、圧電素体の主面の長辺と交差している場合、すなわち、第三領域が圧電素子の主面の長辺部分で第一領域に接続されている場合と比べ、第三領域の振動が抑制される。この結果、圧電素子の振動が阻害され難く、圧電素子の振幅を増大させることができる。第三領域は、湾曲しているので、第三領域には、遊びが生じる。このため、外部の振動が配線部材を通じて圧電素子に伝達されることが抑制される。この結果、圧電素子の振動が更に阻害され難く、圧電素子の振幅を更に増大させることができる。 The wiring member extends along the long side of the main surface of the piezoelectric element and crosses the short side of the main surface of the piezoelectric element. Therefore, the third region is connected to the first region at the short side portion of the main surface of the piezoelectric body. As described above, the amount of displacement of the main surface is the smallest at both ends in the long side direction of the main surface. Therefore, when the wiring member extends along the short side of the main surface of the piezoelectric element and intersects the long side of the main surface of the piezoelectric element, that is, the third region is the main surface of the piezoelectric element. Vibration of the third region is suppressed compared to the case where the long side of is connected to the first region. As a result, the vibration of the piezoelectric element is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element can be increased. Since the third area is curved, there is play in the third area. Therefore, transmission of external vibration to the piezoelectric element through the wiring member is suppressed. As a result, the vibration of the piezoelectric element is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element can be further increased.

上記一つの態様では、直交方向における第三領域の長さは、直交方向における圧電素体の長さよりも長くてもよい。この場合、第三領域の遊びが大きくなり易い。したがって、圧電素体の振幅が一層増大する。 In the above aspect, the length of the third region in the orthogonal direction may be longer than the length of the piezoelectric element in the orthogonal direction. In this case, the play in the third area tends to increase. Therefore, the amplitude of the piezoelectric element is further increased.

上記一つの態様では、湾曲部の曲率半径は、圧電素子の振幅よりも大きくてもよい。この場合、残響の影響を抑制することができる。 In the one aspect described above, the radius of curvature of the curved portion may be greater than the amplitude of the piezoelectric element. In this case, the influence of reverberation can be suppressed.

上記一つの態様では、主面の長辺方向における振動部の両端部を保持している保持部を更に備えてもよい。この場合、振動部の長辺方向の中央部における振幅を更に増大させることができる。 The one aspect may further include holding portions that hold both end portions of the vibrating portion in the long-side direction of the main surface. In this case, it is possible to further increase the amplitude at the central portion in the long side direction of the vibrating portion.

上記一つの態様では、振動部は、圧電素子が接合された振動部材を更に有していてもよい。この場合、この場合、圧電素子の振動を増大させることができる。 In the one aspect described above, the vibrating section may further include a vibrating member to which the piezoelectric element is joined. In this case, in this case, the vibration of the piezoelectric element can be increased.

上記一つの態様では、外部電極は、主面の中央部に配置されてもよい。この場合、圧電素子をバランスよく振動させることができる。 In the one aspect described above, the external electrode may be arranged in the central portion of the main surface. In this case, the piezoelectric element can be vibrated in a well-balanced manner.

本発明の一つの態様に係る電子機器は、上記振動デバイスを備える。 An electronic device according to one aspect of the present invention includes the vibration device described above.

上記一つの態様では、上記振動デバイスを備えるので、圧電素子の振動が阻害され難い。 In the one aspect, since the vibration device is provided, the vibration of the piezoelectric element is less likely to be hindered.

本発明の一つの態様によれば、圧電素子の振動が阻害され難い振動デバイス及び電子機器を提供することができる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to provide a vibrating device and electronic equipment in which vibration of a piezoelectric element is less likely to be disturbed.

実施形態に係る振動デバイスの斜視図である。1 is a perspective view of a vibration device according to an embodiment; FIG. 図1の振動デバイスの分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of the vibration device of FIG. 1; FIG. 図1のIII-III線に沿っての断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view along line III-III of FIG. 1; 図3の一部を拡大して示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing an enlarged part of FIG. 3; FIG. 圧電素子の構成を示す分解斜視図である。3 is an exploded perspective view showing the configuration of a piezoelectric element; FIG. 接続構造体及び圧電素子の上面図である。FIG. 4 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element; 接続構造体の下面図である。It is a bottom view of a connection structure. 変形例に係る振動デバイスの一部拡大断面図である。It is a partially enlarged cross-sectional view of a vibrating device according to a modification.

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same functions, and overlapping descriptions are omitted.

図1は、実施形態に係る振動デバイスの斜視図である。図2は、図1の振動デバイスの分解斜視図である。図3は、図1のIII-III線に沿っての断面図である。図4は、図3の一部を拡大して示す断面図である。図1~図4に示されるように、振動デバイス100は、振動部1と、振動部1に接続された接続構造体2と、振動部1が配置されるケース3と、を備えている。振動デバイス100は、例えば、スピーカー、又はブザーとして用いられる。振動デバイス100は、テレビ、スマートフォン等の電子機器に設けられる。 FIG. 1 is a perspective view of a vibration device according to an embodiment. 2 is an exploded perspective view of the vibration device of FIG. 1. FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view along line III--III in FIG. 4 is a cross-sectional view showing an enlarged part of FIG. 3. FIG. As shown in FIGS. 1 to 4, the vibrating device 100 includes a vibrating portion 1, a connection structure 2 connected to the vibrating portion 1, and a case 3 in which the vibrating portion 1 is arranged. Vibration device 100 is used, for example, as a speaker or a buzzer. The vibration device 100 is provided in electronic devices such as televisions and smartphones.

ケース3は、たとえば、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、成型樹脂等の樹脂材料からなる。ケース3は、たとえば、上面が開放された直方体形状の箱部材である。ケース3は、矩形板状の底部3aと、互いに対向している一対の側部3bと、互いに対向している一対の側部3cと、を有している。 The case 3 is made of, for example, a resin material such as acrylic resin, vinyl chloride resin, molding resin, or the like. The case 3 is, for example, a rectangular parallelepiped box member with an open top. The case 3 has a rectangular plate-shaped bottom portion 3a, a pair of side portions 3b facing each other, and a pair of side portions 3c facing each other.

底部3aは、厚さ方向から見て、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。長方形状には、正方形状も含まれる。以下では、底部3aの長辺方向をX方向、底部3aの短辺方向をY方向、底部3aの厚さ方向をZ方向とする。 The bottom portion 3a has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides when viewed in the thickness direction. Rectangular shapes include, for example, shapes with chamfered corners and shapes with rounded corners. A rectangular shape also includes a square shape. Hereinafter, the long side direction of the bottom portion 3a is the X direction, the short side direction of the bottom portion 3a is the Y direction, and the thickness direction of the bottom portion 3a is the Z direction.

底部3aのX方向での長さは、たとえば、33mmである。底部3aのY方向での長さは、たとえば、18mmである。底部3aのZ方向での長さは、たとえば、1.5mmである。底部3aの上面の中央部には、Z方向から見て、長方形状の凹部3dが形成されている。凹部3dのX方向での長さは、たとえば、15mmである。凹部3dのY方向での長さは、たとえば、10mmである。凹部3dのZ方向での長さ(深さ)は、たとえば、1.0mmである。 The length of the bottom portion 3a in the X direction is, for example, 33 mm. The length of the bottom portion 3a in the Y direction is, for example, 18 mm. The length of the bottom portion 3a in the Z direction is, for example, 1.5 mm. A rectangular concave portion 3d is formed in the central portion of the upper surface of the bottom portion 3a as viewed from the Z direction. The length of the concave portion 3d in the X direction is, for example, 15 mm. The length of the recess 3d in the Y direction is, for example, 10 mm. The length (depth) of the concave portion 3d in the Z direction is, for example, 1.0 mm.

一対の側部3bは、矩形板状を呈し、底部3aの長辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3bの対向方向は、Y方向と一致している。一方の側部3bには、側部3bを厚さ方向(Y方向)に貫通する長方形状の貫通孔3eが形成されている。図3では、貫通孔3eの図示が省略されている。振動デバイス100で発生した音は、主に貫通孔3eを通じてケース3の外部に伝わる。一対の側部3cは、矩形板状を呈し、底部3aの短辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3cの対向方向は、X方向と一致している。側部3b,3cのZ方向での長さは同等であり、たとえば、7.6mmである。 The pair of side portions 3b has a rectangular plate shape and extends along the Z direction from the long side portions of the bottom portion 3a. The facing direction of the pair of side portions 3b coincides with the Y direction. One side portion 3b is formed with a rectangular through-hole 3e penetrating through the side portion 3b in the thickness direction (Y direction). In FIG. 3, illustration of the through hole 3e is omitted. Sound generated by the vibrating device 100 is transmitted to the outside of the case 3 mainly through the through holes 3e. The pair of side portions 3c has a rectangular plate shape and extends along the Z direction from the short sides of the bottom portion 3a. The facing direction of the pair of side portions 3c coincides with the X direction. The lengths of the sides 3b and 3c in the Z direction are the same, for example 7.6 mm.

ケース3は、接続構造体2を支持している支持部3fを更に有している。支持部3fは、一方の側部3cにおける底部3aと反対側の端部から、ケース3の外側にX方向に沿って張り出している。 The case 3 further has a support portion 3f that supports the connecting structure 2. As shown in FIG. The support portion 3f protrudes outward from the case 3 along the X direction from the end portion of the one side portion 3c opposite to the bottom portion 3a.

振動部1は、底部3aに配置されている。本実施形態では、振動部1は、底部3a上において、一対の側部3b及び一対の側部3cに囲まれている。振動部1は、ケース3に収容されている。振動部1は、圧電素子10と、圧電素子10に接合されている振動部材12と、を有している。 The vibrating portion 1 is arranged on the bottom portion 3a. In this embodiment, the vibrating portion 1 is surrounded by a pair of side portions 3b and a pair of side portions 3c on the bottom portion 3a. The vibrating section 1 is housed in the case 3 . The vibration section 1 has a piezoelectric element 10 and a vibration member 12 joined to the piezoelectric element 10 .

振動部材12は、たとえば、Ni-Fe合金、Ni、黄銅、又はステンレス鋼等金属からなる。本実施形態では、振動部材12は、板状部材である。振動部材12は、Z方向において互いに対向している一対の主面12a,12bを有している。振動部材12は、Z方向から見て、振動部材12の外縁が凹部3dの外縁の外側に位置するように配置されている。振動部材12は、凹部3dを完全に覆っている。 The vibrating member 12 is made of metal such as Ni--Fe alloy, Ni, brass, or stainless steel. In this embodiment, the vibrating member 12 is a plate-like member. The vibrating member 12 has a pair of main surfaces 12a and 12b facing each other in the Z direction. The vibrating member 12 is arranged so that the outer edge of the vibrating member 12 is positioned outside the outer edge of the recess 3d when viewed from the Z direction. The vibrating member 12 completely covers the recess 3d.

主面12bは、底部3aとZ方向で対向している。主面12bは、たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる接着層60によって底部3aに接合(接着)されている。接着層60は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。主面12bは、底部3aのうち、凹部3dの周縁部に接合され、凹部3dの周縁部によって支持されている。 The main surface 12b faces the bottom portion 3a in the Z direction. The main surface 12b is joined (adhered) to the bottom portion 3a by an adhesive layer 60 made of, for example, epoxy resin or acrylic resin. The adhesive layer 60 does not contain a conductive filler and has electrical insulation. The main surface 12b is joined to the periphery of the recess 3d in the bottom 3a and supported by the periphery of the recess 3d.

換言すると、底部3aは、主面12aの長辺方向(X方向)における振動部1の両端部1aと、主面12aの短辺方向(Y方向)における振動部1の両端部1bと、を保持している保持部として機能している。本実施形態では、端部1aは振動部材12の長辺方向(X方向)の端部であり、端部1bは振動部材12の短辺方向(Y方向)の端部である。底部3aは、両端部1bを保持していなくてもよい。 In other words, the bottom portion 3a connects both ends 1a of the vibrating portion 1 in the long side direction (X direction) of the main surface 12a and both ends 1b of the vibrating portion 1 in the short side direction (Y direction) of the main surface 12a. It functions as a holding part that holds. In this embodiment, the end portion 1a is the end portion of the vibrating member 12 in the long side direction (X direction), and the end portion 1b is the end portion of the vibrating member 12 in the short side direction (Y direction). Bottom 3a may not hold both ends 1b.

各主面12a,12bは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動部材12は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面12a,12bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面12a,12bの短辺方向は、Y方向と一致している。 Each principal surface 12a, 12b has a rectangular shape with a pair of long sides and a pair of short sides. That is, the vibrating member 12 has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides in a plan view (as viewed in the Z direction). In this embodiment, the long side direction of each of the main surfaces 12a and 12b matches the X direction. The direction of the short side of each main surface 12a, 12b coincides with the Y direction.

振動部材12のX方向での長さは、たとえば、30mmである。振動部材12のY方向での長さは、たとえば、15mmである。振動部材12のZ方向での長さは、たとえば、100μmである。 The length of the vibrating member 12 in the X direction is, for example, 30 mm. The length of the vibrating member 12 in the Y direction is, for example, 15 mm. The length of the vibrating member 12 in the Z direction is, for example, 100 μm.

圧電素子10は、圧電素体11と、複数の外部電極13,15と、を有している。本実施形態では、圧電素子10は、二つの外部電極13,15を有している。外部電極13及び外部電極15は、互いに極性が異なっている。 The piezoelectric element 10 has a piezoelectric body 11 and a plurality of external electrodes 13 and 15 . In this embodiment, the piezoelectric element 10 has two external electrodes 13 and 15 . The external electrodes 13 and 15 have different polarities.

圧電素体11は、直方体形状を呈している。直方体形状には、たとえば、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電素体11は、Z方向において互いに対向している一対の主面11a,11bを有している。主面11bは、主面12aとZ方向で対向している。主面11bは、接着層61によって主面12aの中央部に接合(接着)されている。 The piezoelectric element 11 has a rectangular parallelepiped shape. The rectangular parallelepiped shape includes, for example, a rectangular parallelepiped shape with chamfered corners and edges, and a rectangular parallelepiped shape with rounded corners and edges. The piezoelectric body 11 has a pair of main surfaces 11a and 11b facing each other in the Z direction. The main surface 11b faces the main surface 12a in the Z direction. The main surface 11b is joined (adhered) to the central portion of the main surface 12a by an adhesive layer 61 .

各主面11a,11bは、長方形状を呈している。各主面11a,11bは、一対の長辺11cと一対の短辺11dとを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子10(圧電素体11)は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面11a,11bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面11a,11bの短辺方向は、Y方向と一致している。 Each main surface 11a, 11b has a rectangular shape. Each principal surface 11a, 11b has a rectangular shape with a pair of long sides 11c and a pair of short sides 11d. That is, the piezoelectric element 10 (piezoelectric body 11) has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides in a plan view (as seen from the Z direction). In this embodiment, the long-side direction of each of the main surfaces 11a and 11b matches the X direction. The short side direction of each of the main surfaces 11a and 11b matches the Y direction.

圧電素体11のX方向での長さは、たとえば、20mmである。圧電素体11のY方向での長さは、たとえば、10mmである。圧電素体11のZ方向での長さは、たとえば、200μmである。 The length of the piezoelectric body 11 in the X direction is, for example, 20 mm. The length of the piezoelectric body 11 in the Y direction is, for example, 10 mm. The length of the piezoelectric body 11 in the Z direction is, for example, 200 μm.

図5は、圧電素子の構成を示す分解斜視図である。図4及び図5に示されるように、圧電素体11は、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されて構成されている。すなわち、圧電素体11は、積層されている複数の圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。本実施形態では、圧電素体11は、四つの圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。圧電素体11では、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されている方向がZ方向と一致している。圧電体層17aは、主面11aを有している。圧電体層17dは、主面11bを有している。圧電体層17b,17cは、圧電体層17aと圧電体層17dとの間に位置している。 FIG. 5 is an exploded perspective view showing the configuration of the piezoelectric element. As shown in FIGS. 4 and 5, the piezoelectric body 11 is constructed by stacking a plurality of piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d. That is, the piezoelectric body 11 has a plurality of stacked piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d. In this embodiment, the piezoelectric body 11 has four piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d. In the piezoelectric body 11, the direction in which the plurality of piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d are laminated coincides with the Z direction. The piezoelectric layer 17a has a main surface 11a. The piezoelectric layer 17d has a main surface 11b. The piezoelectric layers 17b and 17c are located between the piezoelectric layers 17a and 17d.

各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、たとえば、PZT[Pb(Zr、Ti)O]、PT(PbTiO)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O]、又はチタン酸バリウム(BaTiO)が用いられる。各圧電体層17a,17b,17c,17dは、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体11では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、各圧電体層17a,17b,17c,17dの間の境界が認識できない程度に一体化されている。 Each piezoelectric layer 17a, 17b, 17c, 17d is made of a piezoelectric material. In this embodiment, each piezoelectric layer 17a, 17b, 17c, 17d is made of a piezoelectric ceramic material. Piezoelectric ceramic materials include, for example, PZT[Pb(Zr,Ti) O3 ], PT( PbTiO3 ), PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti) O3 ], or barium titanate ( BaTiO3 ). is used. Each of the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d is composed of, for example, a sintered ceramic green sheet containing the piezoelectric ceramic material described above. In the actual piezoelectric body 11, the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c and 17d are integrated to such an extent that the boundaries between the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c and 17d cannot be recognized.

圧電素子10は、圧電素体11内に配置されている複数の内部電極19,21,23を備えている。本実施形態では、圧電素子10は、三つの内部電極19,21,23を備えている。各内部電極19,21,23は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各内部電極19,21,23は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。本実施形態では、各内部電極19,21,23の外形形状は、長方形状である。 The piezoelectric element 10 has a plurality of internal electrodes 19 , 21 , 23 arranged inside the piezoelectric body 11 . In this embodiment, the piezoelectric element 10 has three internal electrodes 19 , 21 , 23 . Each internal electrode 19, 21, 23 is made of a conductive material. Ag, Pd, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. Each of the internal electrodes 19, 21, 23 is configured, for example, as a sintered body of a conductive paste containing the conductive material. In this embodiment, the outer shape of each internal electrode 19, 21, 23 is rectangular.

各内部電極19,21,23は、Z方向において異なる位置(層)に配置されている。内部電極19と内部電極21とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極21と内部電極23とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極19は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極21は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極23は、圧電体層17cと圧電体層17dとの間に位置している。各内部電極19,21,23は、圧電素体11の表面には露出していない。すなわち、各内部電極19,21,23は、各側面には露出していない。各内部電極19,21,23は、Z方向から見て、主面11a,11bの全ての縁(四辺)から離間している。 The internal electrodes 19, 21, 23 are arranged at different positions (layers) in the Z direction. The internal electrode 19 and the internal electrode 21 face each other with a gap in the Z direction. The internal electrode 21 and the internal electrode 23 face each other with a gap in the Z direction. The internal electrode 19 is positioned between the piezoelectric layers 17a and 17b. The internal electrode 21 is positioned between the piezoelectric layer 17b and the piezoelectric layer 17c. The internal electrode 23 is positioned between the piezoelectric layer 17c and the piezoelectric layer 17d. Each internal electrode 19 , 21 , 23 is not exposed on the surface of the piezoelectric body 11 . That is, each internal electrode 19, 21, 23 is not exposed on each side surface. Each of the internal electrodes 19, 21, 23 is separated from all edges (four sides) of the main surfaces 11a, 11b when viewed in the Z direction.

複数の外部電極13,15は、主面11a上に配置されている。外部電極13と外部電極15とは、X方向に並んでいる。外部電極13と外部電極15とは、X方向で隣り合っている。複数の外部電極13,15は、主面11aの中央部に配置されている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、主面11aの全ての縁(四辺)から離間している。各外部電極13,15は、Z方向から見て、長方形状を呈している。各外部電極13,15は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各外部電極13,15は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。 A plurality of external electrodes 13 and 15 are arranged on main surface 11a. The external electrodes 13 and the external electrodes 15 are arranged in the X direction. The external electrodes 13 and 15 are adjacent to each other in the X direction. A plurality of external electrodes 13 and 15 are arranged in the central portion of main surface 11a. The plurality of external electrodes 13 and 15 are separated from all edges (four sides) of the main surface 11a when viewed in the Z direction. Each of the external electrodes 13 and 15 has a rectangular shape when viewed from the Z direction. Each external electrode 13, 15 is made of a conductive material. Ag, Pd, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. Each of the external electrodes 13 and 15 is configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the conductive material.

外部電極13は、ビア導体31を通して接続導体25と電気的に接続されている。接続導体25は、内部電極19と同じ層に位置している。接続導体25は、内部電極19の内側に位置している。内部電極19には、Z方向から見て、外部電極13に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体25は、内部電極19に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体25の全縁が、内部電極19で囲まれている。 The external electrode 13 is electrically connected to the connection conductor 25 through the via conductor 31 . The connection conductor 25 is located in the same layer as the internal electrode 19 . The connection conductor 25 is positioned inside the internal electrode 19 . An opening is formed in the internal electrode 19 at a position corresponding to the external electrode 13 when viewed from the Z direction. The connection conductor 25 is positioned within an opening formed in the internal electrode 19 . The entire edge of the connection conductor 25 is surrounded by the internal electrode 19 when viewed from the Z direction.

接続導体25は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極19と接続導体25とは、離間している。接続導体25は、Z方向で、外部電極13と対向している。ビア導体31は、外部電極13と接続されていると共に、接続導体25と接続されている。接続導体25は、ビア導体33を通して内部電極21と電気的に接続されている。接続導体25は、Z方向で、内部電極21と対向している。ビア導体33は、接続導体25と接続されていると共に、内部電極21と接続されている。 The connection conductor 25 is positioned between the piezoelectric layers 17a and 17b. The internal electrode 19 and the connection conductor 25 are separated from each other. The connection conductor 25 faces the external electrode 13 in the Z direction. The via conductors 31 are connected to the external electrodes 13 as well as to the connection conductors 25 . The connection conductors 25 are electrically connected to the internal electrodes 21 through via conductors 33 . The connection conductor 25 faces the internal electrode 21 in the Z direction. The via conductors 33 are connected to the connection conductors 25 and the internal electrodes 21 .

内部電極21は、ビア導体35を通して接続導体27と電気的に接続されている。接続導体27は、内部電極23と同じ層に位置している。接続導体27は、内部電極23の内側に位置している。内部電極23には、Z方向から見て、外部電極13(接続導体25)に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体27は、内部電極23に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体27の全縁が、内部電極23で囲まれている。 Internal electrodes 21 are electrically connected to connection conductors 27 through via conductors 35 . The connection conductor 27 is located in the same layer as the internal electrode 23 . The connection conductor 27 is positioned inside the internal electrode 23 . An opening is formed in the internal electrode 23 at a position corresponding to the external electrode 13 (connection conductor 25) when viewed from the Z direction. The connection conductor 27 is positioned within an opening formed in the internal electrode 23 . The entire edge of the connection conductor 27 is surrounded by the internal electrode 23 when viewed from the Z direction.

外部電極15は、ビア導体37を通して内部電極19と電気的に接続されている。内部電極19は、Z方向で、外部電極15と対向している。ビア導体37は、外部電極15と接続されていると共に、内部電極19と接続されている。 The external electrodes 15 are electrically connected to the internal electrodes 19 through via conductors 37 . The internal electrode 19 faces the external electrode 15 in the Z direction. The via conductors 37 are connected to the external electrodes 15 as well as to the internal electrodes 19 .

内部電極19は、ビア導体39を通して接続導体29と電気的に接続されている。接続導体29は、内部電極21と同じ層に位置している。接続導体29は、内部電極21の内側に位置している。内部電極21には、Z方向から見て、外部電極15に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体29は、内部電極21に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体29の全縁が、内部電極21で囲まれている。 The internal electrode 19 is electrically connected to the connection conductor 29 through the via conductor 39 . The connection conductor 29 is located in the same layer as the internal electrode 21 . The connection conductor 29 is positioned inside the internal electrode 21 . An opening is formed in the internal electrode 21 at a position corresponding to the external electrode 15 when viewed from the Z direction. The connection conductor 29 is positioned within an opening formed in the internal electrode 21 . The entire edge of the connection conductor 29 is surrounded by the internal electrode 21 when viewed in the Z direction.

接続導体29は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極21と接続導体29とは、離間している。接続導体29は、Z方向で、内部電極19と対向している。ビア導体39は、内部電極19と接続されていると共に、接続導体29と接続されている。接続導体29は、ビア導体41を通して内部電極23と電気的に接続されている。接続導体29は、Z方向で、内部電極23と対向している。ビア導体41は、接続導体29と接続されていると共に、内部電極23と接続されている。 The connection conductor 29 is located between the piezoelectric layer 17b and the piezoelectric layer 17c. The internal electrode 21 and the connection conductor 29 are separated from each other. The connection conductor 29 faces the internal electrode 19 in the Z direction. The via conductors 39 are connected to the internal electrodes 19 as well as to the connection conductors 29 . The connection conductors 29 are electrically connected to the internal electrodes 23 through via conductors 41 . The connection conductor 29 faces the internal electrode 23 in the Z direction. The via conductors 41 are connected to the connection conductors 29 and the internal electrodes 23 .

外部電極13は、ビア導体31、接続導体25、及び、ビア導体33を通して、内部電極21と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37を通して、内部電極19と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37、内部電極19、ビア導体39、接続導体29、及び、ビア導体41を通して、内部電極23と電気的に接続されている。 The external electrodes 13 are electrically connected to the internal electrodes 21 through via conductors 31 , connection conductors 25 , and via conductors 33 . The external electrodes 15 are electrically connected to the internal electrodes 19 through via conductors 37 . The external electrodes 15 are electrically connected to the internal electrodes 23 through via conductors 37 , internal electrodes 19 , via conductors 39 , connection conductors 29 , and via conductors 41 .

接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、導電性材料からなる。ビア導体31,33,35,37,39,41のそれぞれは、複数のビア導体からなるビア導体群であるが、単体のビア導体であってもよい。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17a,17bに配置されたビア導体31,33は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17a,17bに配置されたビア導体37,39は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17b,17cに配置されたビア導体33,35は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17b,17cに配置されたビア導体39,41は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。 The connection conductors 25, 27, 29 and via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are made of a conductive material. Each of via conductors 31, 33, 35, 37, 39, and 41 is a via conductor group consisting of a plurality of via conductors, but may be a single via conductor. The via conductors 31 and 33 arranged in the piezoelectric layers 17a and 17b adjacent to each other in the Z direction are spaced apart from each other when viewed in the Z direction and are arranged so as not to overlap each other. The via conductors 37 and 39 arranged in the piezoelectric layers 17a and 17b are spaced apart from each other when viewed in the Z direction and are arranged so as not to overlap each other. The via conductors 33 and 35 arranged in the piezoelectric layers 17b and 17c adjacent to each other in the Z direction are spaced apart from each other when viewed in the Z direction and are arranged so as not to overlap each other. The via conductors 39 and 41 arranged in the piezoelectric layers 17b and 17c are spaced apart from each other when viewed in the Z direction and are arranged so as not to overlap each other.

導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。接続導体25,27,29は、長方形状を呈している。ビア導体31,33,35,37,39,41は、対応する圧電体層17a,17b,17cを形成するためのセラミックグリーンシートに形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが焼結することにより形成される。 Ag, Pd, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. The connection conductors 25, 27, 29 and the via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are formed, for example, as sintered bodies of conductive paste containing the conductive material. The connection conductors 25, 27, 29 are rectangular. The via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are formed by sintering the conductive paste filled in the through holes formed in the ceramic green sheets for forming the corresponding piezoelectric layers 17a, 17b, 17c. It is formed by

圧電素体11の主面11bには、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、主面11bをZ方向から見たとき、主面11bの全体が露出している。主面11a,11bは、自然面である。自然面とは、焼成により成長した結晶粒の表面により構成される面である。 A conductor electrically connected to the internal electrodes 19 and 23 and a conductor electrically connected to the internal electrode 21 are not arranged on the main surface 11 b of the piezoelectric element 11 . In this embodiment, the main surface 11b is entirely exposed when viewed from the Z direction. The main surfaces 11a and 11b are natural surfaces. A natural surface is a surface formed by the surfaces of crystal grains grown by firing.

圧電素体11の各側面にも、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、圧電素体11の各側面をX方向及びY方向から見たとき、各側面の全体が露出している。本実施形態では、これらの各側面も、自然面である。 Neither the conductors electrically connected to the internal electrodes 19 and 23 nor the conductors electrically connected to the internal electrode 21 are disposed on each side surface of the piezoelectric element 11 . In this embodiment, when each side surface of the piezoelectric body 11 is viewed from the X direction and the Y direction, the entire side surface is exposed. In this embodiment, each of these sides is also a natural side.

圧電体層17bにおける内部電極19と内部電極21とで挟まれた領域と、圧電体層17cにおける内部電極21と内部電極23とで挟まれた領域とは、圧電的に活性な領域を構成する。本実施形態では、圧電的に活性な領域は、Z方向から見て、複数の外部電極13,15を囲むように位置している。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15との間に位置している領域に、圧電的に活性な領域を含んでいる。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15とが位置している領域の外側にも、圧電的に活性な領域を含んでいる。 A region sandwiched between the internal electrode 19 and the internal electrode 21 in the piezoelectric layer 17b and a region sandwiched between the internal electrode 21 and the internal electrode 23 in the piezoelectric layer 17c constitute a piezoelectrically active region. . In this embodiment, the piezoelectrically active regions are located so as to surround the plurality of external electrodes 13 and 15 when viewed in the Z direction. Viewed in the Z-direction, the piezoelectric body 11 includes a piezoelectrically active region in the region located between the outer electrodes 13 and 15 . Viewed in the Z-direction, the piezoelectric body 11 also includes piezoelectrically active regions outside the regions in which the external electrodes 13 and 15 are located.

図1~図4に示されるように、接続構造体2は、振動部1に接続された帯状の配線部材50と、配線部材50に接続された複数のリード線80と、を有している。本実施形態では、接続構造体2は、二つのリード線80を有している。 As shown in FIGS. 1 to 4, the connection structure 2 has a strip-shaped wiring member 50 connected to the vibrating portion 1 and a plurality of lead wires 80 connected to the wiring member 50. . In this embodiment, the connection structure 2 has two lead wires 80 .

図6は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図1~図6に示されるように、配線部材50は、主面11aに直交する直交方向(Z方向)から見て、主面11aの長辺11cに沿って延在して、主面11aの短辺11dと交差している。本実施形態では、配線部材50は、主面11aの短辺11dと直交するように配置されている。配線部材50が延在している方向は、Y方向と直交している。配線部材50は、X方向に延在している。配線部材50は、圧電素子10と電気的かつ物理的に接続されている一端部と、リード線80と電気的かつ物理的に接続される他端部とを有している。 FIG. 6 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. As shown in FIGS. 1 to 6, the wiring member 50 extends along the long side 11c of the principal surface 11a when viewed from the orthogonal direction (Z direction) perpendicular to the principal surface 11a. intersects with the short side 11d of . In this embodiment, the wiring member 50 is arranged so as to be orthogonal to the short side 11d of the main surface 11a. The direction in which the wiring member 50 extends is orthogonal to the Y direction. The wiring member 50 extends in the X direction. The wiring member 50 has one end electrically and physically connected to the piezoelectric element 10 and the other end electrically and physically connected to the lead wire 80 .

配線部材50は、複数の外部電極13,15上に位置している。配線部材50は、接合部材70によって複数の外部電極13,15と電気的に接続されている。接合部材70は、Z方向から見て複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、配線部材50の一端部と圧電素子10との間に設けられている。接合部材70は、複数の導電性粒子(不図示)を含む樹脂層である。導電性粒子は、例えば、金属粒子、金めっき粒子である。接合部材70は、例えば熱硬化性エラストマーを含んでいる。接合部材70は、例えば、異方性導電ペースト又は異方性導電性膜が硬化することにより形成される。 The wiring member 50 is positioned above the plurality of external electrodes 13 and 15 . The wiring member 50 is electrically connected to the plurality of external electrodes 13 and 15 by the joint members 70 . The joining member 70 is provided between one end of the wiring member 50 and the piezoelectric element 10 so as to integrally cover the plurality of external electrodes 13 and 15 when viewed in the Z direction. The joining member 70 is a resin layer containing a plurality of conductive particles (not shown). Conductive particles are, for example, metal particles and gold-plated particles. The joining member 70 contains thermosetting elastomer, for example. The joining member 70 is formed, for example, by curing an anisotropic conductive paste or an anisotropic conductive film.

配線部材50は、接合部材71によっても主面11aに接合されている。配線部材50は、接合部材71によって主面11aに接合されている。接合部材71は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。接合部材71は、主面11aの一方の短辺11dに沿って配置されている。接合部材71は、配線部材50の幅方向(Y方向)の全体を主面11aに接合している。接合部材71は、接合部材70から離間している。接合部材71は、たとえば、ニトリルゴムを含んでいる。接合部材71は、接合部材70に含まれる樹脂材料と同じ樹脂材料を含んでいてもよい。 The wiring member 50 is also joined to the main surface 11 a by a joining member 71 . The wiring member 50 is joined to the main surface 11 a by a joining member 71 . The joining member 71 does not contain a conductive filler and has electrical insulation. The joining member 71 is arranged along one short side 11d of the main surface 11a. The joining member 71 joins the entire width direction (Y direction) of the wiring member 50 to the main surface 11a. The joint member 71 is separated from the joint member 70 . The joining member 71 contains nitrile rubber, for example. The joint member 71 may contain the same resin material as the resin material contained in the joint member 70 .

配線部材50は、互いに連続し、一体化された第一領域R1、第二領域R2、及び第三領域R3を有している。 The wiring member 50 has a first region R1, a second region R2, and a third region R3 that are continuous and integrated.

第一領域R1は、振動部1により支持されている。第一領域R1は、主面11a上に配置されている。第一領域R1は、後述する接合部材70及び接合部材71によって、主面11aに接合(接着)されている。第一領域R1は、主面11aに固定されている。これにより、第一領域R1は、主面11aと一体的に変位する。第一領域R1のX方向の一方の端部は、主面11aのX方向の一方の端部と、接合部材71に接着されている。第一領域R1は、Z方向から見て、主面11aと重なっている。 The first region R1 is supported by the vibrating section 1. As shown in FIG. The first region R1 is arranged on the main surface 11a. The first region R1 is joined (bonded) to the main surface 11a by a joining member 70 and a joining member 71, which will be described later. The first region R1 is fixed to the main surface 11a. Thereby, the first region R1 is displaced integrally with the main surface 11a. One end of the first region R1 in the X direction is bonded to one end of the main surface 11a in the X direction and the joining member 71 . The first region R1 overlaps the main surface 11a when viewed from the Z direction.

第一領域R1は、Z方向から見て、長方形状を呈している。第一領域R1の長辺方向は、X方向であり、主面11aの長辺方向と一致している。第一領域R1の短辺方向は、Y方向であり、主面11aの短辺方向と一致している。第一領域R1は、主面11aの長辺11cに沿って延在し、主面11aの一方の短辺11dに至っている。第一領域R1は、複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、接合部材70によって圧電素子10に接合されている。第一領域R1は、複数の外部電極13,15の全体を覆っている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、第一領域R1から露出していない。 The first region R1 has a rectangular shape when viewed from the Z direction. The long side direction of the first region R1 is the X direction and coincides with the long side direction of the main surface 11a. The short side direction of the first region R1 is the Y direction and coincides with the short side direction of the main surface 11a. The first region R1 extends along the long side 11c of the main surface 11a and reaches one short side 11d of the main surface 11a. The first region R1 is joined to the piezoelectric element 10 by a joining member 70 so as to integrally cover the plurality of external electrodes 13 and 15. As shown in FIG. The first region R1 entirely covers the plurality of external electrodes 13 and 15 . The plurality of external electrodes 13 and 15 are not exposed from the first region R1 when viewed from the Z direction.

第二領域R2は、支持部3fにより支持されている。第二領域R2は、Z方向から見て、支持部3fと重なっている。第二領域R2は、接合部材72によって支持部3fに接合(接着)されている。第二領域R2は、支持部3fに固定されている。接合部材72は、たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなっている。接合部材72は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。接合部材72は、第二領域R2のカバー57の表面に設けられている。 The second region R2 is supported by the support portion 3f. The second region R2 overlaps the support portion 3f when viewed from the Z direction. The second region R2 is joined (bonded) to the support portion 3f by a joining member 72. As shown in FIG. The second region R2 is fixed to the support portion 3f. The joining member 72 is made of, for example, epoxy resin or acrylic resin. The joining member 72 does not contain a conductive filler and has electrical insulation. The joint member 72 is provided on the surface of the cover 57 in the second region R2.

第三領域R3は、第一領域R1と第二領域R2とに接続されている。第三領域R3は、第一領域R1と第二領域R2との間に配置され、第一領域R1と第二領域R2とを互いに接続している。第三領域R3は、第一領域R1及び第二領域R2のそれぞれと隣り合っている。第三領域R3は、Z方向から見て、主面11aと重なっていない。 The third region R3 is connected to the first region R1 and the second region R2. The third region R3 is arranged between the first region R1 and the second region R2 and connects the first region R1 and the second region R2 to each other. The third region R3 is adjacent to each of the first region R1 and the second region R2. The third region R3 does not overlap the main surface 11a when viewed from the Z direction.

第三領域R3は、互いに連続し、一体化された第一延在部E1、第二延在部E2、第三延在部E3、第一湾曲部C1、及び、第二湾曲部C2を有している。第一延在部E1は、X方向に沿って延在し、第一領域R1と第一湾曲部C1とを互いに接続している。第一湾曲部C1は、湾曲して第一延在部E1と第二延在部E2とを互いに接続している。第二延在部E2は、斜め上方に向かって延在し、第一湾曲部C1と第二湾曲部C2とを互いに接続している。第二湾曲部C2は、湾曲して第二延在部E2と第三延在部E3とを互いに接続している。第三延在部E3は、X方向に沿って延在し、第二湾曲部C2と第二領域R2とを互いに接続している。 The third region R3 has a first extension portion E1, a second extension portion E2, a third extension portion E3, a first curved portion C1, and a second curved portion C2 that are continuous and integrated with each other. are doing. The first extending portion E1 extends along the X direction and connects the first region R1 and the first curved portion C1 to each other. The first curved portion C1 curves to connect the first extension portion E1 and the second extension portion E2 to each other. The second extending portion E2 extends obliquely upward and connects the first curved portion C1 and the second curved portion C2 to each other. The second curved portion C2 curves to connect the second extension portion E2 and the third extension portion E3 to each other. The third extending portion E3 extends along the X direction and connects the second curved portion C2 and the second region R2 to each other.

配線部材50は帯状なので、第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2は湾曲面を構成している。主面11aの直交方向(Z方向)における第三領域R3の長さL1は、Z方向における圧電素体11の長さL2よりも長い。長さL1は、例えば5mm以上7mm以下である。長さL2は、例えば0.2mm以上1.0mm以下である。第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2の曲率半径は、圧電素子10の振幅(変位量)よりも大きい。第一湾曲部C1の曲率半径は、例えば1mm以上3mm以下である。第二湾曲部C2の曲率半径は、例えば1mm以上3mm以下である。圧電素子10の振幅は、例えば20μm以上200μm以下である。 Since the wiring member 50 is strip-shaped, the first curved portion C1 and the second curved portion C2 form curved surfaces. The length L1 of the third region R3 in the orthogonal direction (Z direction) to the main surface 11a is longer than the length L2 of the piezoelectric body 11 in the Z direction. The length L1 is, for example, 5 mm or more and 7 mm or less. The length L2 is, for example, 0.2 mm or more and 1.0 mm or less. The curvature radii of the first curved portion C1 and the second curved portion C2 are larger than the amplitude (displacement amount) of the piezoelectric element 10 . The radius of curvature of the first curved portion C1 is, for example, 1 mm or more and 3 mm or less. The radius of curvature of the second curved portion C2 is, for example, 1 mm or more and 3 mm or less. The amplitude of the piezoelectric element 10 is, for example, 20 μm or more and 200 μm or less.

図6は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図7は、接続構造体の下面図である。図1~図7に示されるように、配線部材50は、ベース51、複数の導体層53,55、カバー57、及び補強部材59を有している。本実施形態では、配線部材50は、二つの導体層53,55を備えている。配線部材50は、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)又はフレキシブルフラットケーブル(FFC)である。 FIG. 6 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. FIG. 7 is a bottom view of the connecting structure. As shown in FIGS. 1 to 7, the wiring member 50 has a base 51, a plurality of conductor layers 53, 55, a cover 57, and a reinforcing member 59. As shown in FIG. In this embodiment, the wiring member 50 has two conductor layers 53 and 55 . The wiring member 50 is, for example, a flexible printed circuit board (FPC) or a flexible flat cable (FFC).

ベース51は、帯状を呈し、互いに対向している一対の主面51a,51bを有している。ベース51は、電気絶縁性を有している。ベース51は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。ベース51の厚さは、たとえば100μmである。 The base 51 has a strip shape and has a pair of main surfaces 51a and 51b facing each other. The base 51 has electrical insulation. The base 51 is, for example, a resin layer made of resin such as polyimide resin. The thickness of base 51 is, for example, 100 μm.

各導体層53,55は、ベース51の主面51a上に配置されている。各導体層53,55は、接着層(不図示)によって、主面51aに接合(接着)されている。各導体層53,55は、たとえば、Cuからなる。各導体層53,55は、たとえば、Cu層上にNiメッキ層及びAuメッキ層がこの順に設けられた構成であってもよい。導体層53と導体層55とは、互いに離間して配置されている。各導体層53,55の厚さは、たとえば20μmである。 Each conductor layer 53 , 55 is arranged on the major surface 51 a of the base 51 . Each conductor layer 53, 55 is joined (adhered) to the main surface 51a by an adhesive layer (not shown). Each conductor layer 53, 55 is made of Cu, for example. Each of the conductor layers 53 and 55 may have, for example, a configuration in which a Ni plated layer and an Au plated layer are provided in this order on a Cu layer. The conductor layer 53 and the conductor layer 55 are arranged apart from each other. The thickness of each conductor layer 53, 55 is, for example, 20 μm.

導体層53は、リード線80に接続された端部53aと、外部電極13に接続された端部53bと、端部53aと端部53bとを接続している接続部53cと、を含んでいる。接続部53cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部53aは、接続部53cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部53bは、接続部53cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。 The conductor layer 53 includes an end portion 53a connected to the lead wire 80, an end portion 53b connected to the external electrode 13, and a connection portion 53c connecting the end portions 53a and 53b. there is The connecting portion 53c extends in the direction in which the wiring member 50 extends (X direction). The end portion 53a is adjacent to one end portion of the connection portion 53c in the direction in which the wiring member 50 extends. The end portion 53 b is adjacent to the other end portion of the connection portion 53 c in the width direction (Y direction) of the wiring member 50 .

導体層55は、リード線80に接続された端部55aと、外部電極15に接続された端部55bと、端部55aと端部55bとを接続している接続部55cと、を含んでいる。接続部55cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部55aは、接続部55cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部55bは、接続部55cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。 The conductor layer 55 includes an end portion 55a connected to the lead wire 80, an end portion 55b connected to the external electrode 15, and a connection portion 55c connecting the end portions 55a and 55b. there is The connecting portion 55c extends in the direction in which the wiring member 50 extends (X direction). The end portion 55a is adjacent to one end portion of the connection portion 55c in the direction in which the wiring member 50 extends. The end portion 55 b is adjacent to the other end portion of the connection portion 55 c in the width direction (Y direction) of the wiring member 50 .

端部53aと端部55aとは、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。端部53bと端部55bとは、配線部材50の延在している方向において互いに離間して配置されている。接続部53cと接続部55cとは、互いに平行、かつ、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。 The end portion 53 a and the end portion 55 a are arranged apart from each other in the width direction of the wiring member 50 . The end portion 53b and the end portion 55b are arranged apart from each other in the direction in which the wiring member 50 extends. The connecting portion 53 c and the connecting portion 55 c are arranged parallel to each other and spaced apart from each other in the width direction of the wiring member 50 .

端部53aと外部電極13との間には、接合部材70が存在している。端部53aと外部電極13とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。端部55aと外部電極15との間には、接合部材70が存在している。端部55aと外部電極15とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。 A joint member 70 is present between the end portion 53 a and the external electrode 13 . The end portion 53 a and the external electrode 13 are electrically connected through conductive particles contained in the joint member 70 . A joint member 70 is present between the end portion 55 a and the external electrode 15 . The end portion 55 a and the external electrode 15 are electrically connected through conductive particles contained in the joint member 70 .

カバー57は、特に図7に示されるように、主面51a上に配置されている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aとを覆っている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aのうち、各導体層53,55から露出している領域とに接着層(不図示)によって接合(接着)されている。カバー57は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。カバー57の厚さは、たとえば25μmである。 The cover 57 is arranged on the main surface 51a, as particularly shown in FIG. The cover 57 covers the conductor layers 53, 55 and the main surface 51a. The cover 57 is joined (adhered) to the conductor layers 53 and 55 and to the regions exposed from the conductor layers 53 and 55 on the main surface 51a by adhesive layers (not shown). The cover 57 is, for example, a resin layer made of resin such as polyimide resin. The thickness of cover 57 is, for example, 25 μm.

導体層53の端部53a,53bと、導体層55の端部55a,55bと、主面51aの一部領域は、カバー57から露出している。主面51aの一部領域は、Z方向から見て、端部53aと端部55aとの間に配置された領域、及び、端部53bと端部55bとの間に配置された領域である。各端部53a,53b,55a,55bには、たとえば、ニッケルめっき及び金フラッシュめっきが施されている。 Edges 53 a and 53 b of the conductor layer 53 , edges 55 a and 55 b of the conductor layer 55 , and a partial region of the main surface 51 a are exposed from the cover 57 . The partial regions of the main surface 51a are a region arranged between the ends 53a and 55a and a region arranged between the ends 53b and 55b when viewed from the Z direction. . Each end 53a, 53b, 55a, 55b is plated with, for example, nickel plating and gold flash plating.

補強部材59は、配線部材50の他端部に配置されている。補強部材59は、ベース51の主面51b上に配置されている。補強部材59は、接着層(不図示)によって、主面51bに接合(接着)されている。補強部材59は、電気絶縁性を有する矩形板状の部材である。補強部材59は、たとえば、ポリイミド樹脂からなる。 The reinforcing member 59 is arranged at the other end of the wiring member 50 . The reinforcing member 59 is arranged on the principal surface 51 b of the base 51 . The reinforcing member 59 is joined (adhered) to the main surface 51b by an adhesive layer (not shown). The reinforcing member 59 is a rectangular plate-shaped member having electrical insulation. Reinforcing member 59 is made of, for example, polyimide resin.

リード線80は、複数の心線の束81と、束81を被覆する被覆部材82と、を有している。本実施形態では、リード線80は、12本の心線を有している。被覆部材82は、束81の外周を覆っている。被覆部材82は、複数の心線の全体をまとめて覆っている。束81の端部は、被覆部材82から露出し、各導体層53,55の端部53a,55aに接続されている。束81の端部は、導電性接着剤により各端部53a,55aに接続されている。導電性接着剤は、たとえば、はんだなどの熱溶融性金属である。導電性接着剤は、導電性材料としてAu、Cu等を含む導電性ペーストを用いて形成されていてもよい。 The lead wire 80 has a bundle 81 of a plurality of core wires and a covering member 82 covering the bundle 81 . In this embodiment, the lead wire 80 has 12 core wires. A covering member 82 covers the outer circumference of the bundle 81 . The covering member 82 collectively covers the plurality of core wires. The ends of the bundle 81 are exposed from the covering member 82 and connected to the ends 53a and 55a of the conductor layers 53 and 55, respectively. The ends of bundle 81 are connected to respective ends 53a, 55a by conductive adhesive. A conductive adhesive is, for example, a hot-melt metal such as solder. The conductive adhesive may be formed using a conductive paste containing Au, Cu, or the like as a conductive material.

振動デバイス100を備える電子機器では、圧電素子10を振動させることによって音を発生させる。圧電素子10の振動により、音だけでなく、触感を生じさせてもよい。 An electronic device having the vibrating device 100 generates sound by vibrating the piezoelectric element 10 . Vibration of the piezoelectric element 10 may produce not only sound but also tactile sensation.

以上説明したように、圧電素子10は、圧電素体11がZ方向に変位するように、屈曲振動する。主面11aは、長方形状を有しているので、圧電素体11の変位量は、主面11aの長辺方向(X方向)の中央で最も大きくなり、主面11aの長辺方向の両端で最も小さくなる。配線部材50は、振動部1により支持されている第一領域R1と、支持部3fにより支持されている第二領域R2と、第一領域R1と第二領域R2とに接続されている第三領域R3と、を有している。第一領域R1は、振動部1により支持されているので、振動部1の変位に伴って変位する。第三領域R3は、第一領域R1に接続されているので、第一領域R1の変位に伴って変位しようとする。第三領域R3は、第二領域R2にも接続されている。第二領域R2は、支持部3fにより支持され、変位しない。したがって、第三領域R3の振動は、圧電素子10の振動とは一致せず、圧電素子10の振動を阻害するおそれがある。 As described above, the piezoelectric element 10 bends and vibrates so that the piezoelectric body 11 is displaced in the Z direction. Since the main surface 11a has a rectangular shape, the amount of displacement of the piezoelectric body 11 is the largest at the center in the long side direction (X direction) of the main surface 11a, and both ends of the main surface 11a in the long side direction. becomes smallest at The wiring member 50 includes a first region R1 supported by the vibrating portion 1, a second region R2 supported by the support portion 3f, and a third region R2 connected to the first region R1 and the second region R2. and a region R3. Since the first region R1 is supported by the vibrating portion 1, it is displaced as the vibrating portion 1 is displaced. Since the third region R3 is connected to the first region R1, it tries to displace along with the displacement of the first region R1. The third region R3 is also connected to the second region R2. The second region R2 is supported by the support portion 3f and is not displaced. Therefore, the vibration of the third region R3 does not match the vibration of the piezoelectric element 10, and there is a possibility that the vibration of the piezoelectric element 10 is inhibited.

配線部材50は、圧電素体11の主面11aの長辺11cに沿って延在して、圧電素体11の主面11aの短辺11dと交差している。したがって、第三領域R3は、圧電素体11の主面11aの短辺部分で第一領域R1に接続されている。上述のように、主面11aの変位量は、主面11aの長辺方向の両端で最も小さくなる。よって、配線部材50が、圧電素体11の主面11aの短辺11dに沿って延在して、圧電素体11の主面11aの長辺11cと交差している場合、すなわち、第三領域R3が圧電素体11の主面11aの長辺部分で第一領域R1に接続されている場合と比べ、第三領域R3の振動が抑制される。この結果、圧電素子10の振動が阻害され難く、圧電素子10の振幅を増大させることができる。第三領域R3は、湾曲しているので、第三領域R3には遊びが生じる。このため、外部の振動が配線部材50を通じて圧電素子10に伝達されることが抑制される。この結果、圧電素子10の振動が更に阻害され難く、圧電素子10の振幅を更に増大させることができる。 The wiring member 50 extends along the long side 11c of the principal surface 11a of the piezoelectric element 11 and intersects the short side 11d of the principal surface 11a of the piezoelectric element 11 . Therefore, the third region R3 is connected to the first region R1 at the short side portion of the main surface 11a of the piezoelectric body 11. As shown in FIG. As described above, the amount of displacement of the main surface 11a is the smallest at both ends in the long side direction of the main surface 11a. Therefore, when the wiring member 50 extends along the short side 11d of the main surface 11a of the piezoelectric element 11 and intersects the long side 11c of the main surface 11a of the piezoelectric element 11, that is, the third Compared to the case where the region R3 is connected to the first region R1 at the long side portion of the main surface 11a of the piezoelectric body 11, the vibration of the third region R3 is suppressed. As a result, the vibration of the piezoelectric element 10 is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element 10 can be increased. Since the third region R3 is curved, there is play in the third region R3. Therefore, transmission of external vibration to the piezoelectric element 10 through the wiring member 50 is suppressed. As a result, the vibration of the piezoelectric element 10 is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element 10 can be further increased.

第三領域R3に遊びが生じることで、圧電素子10の振動が阻害され難く、その点でも圧電素子10の振幅を更に増大させることができる。また、外部の振動及び圧電素子10の振動により接合部材71にかかる負荷を抑制することができる。したがって、配線部材50が主面11aから剥離することを抑制できる。 The play in the third region R3 makes it difficult for the vibration of the piezoelectric element 10 to be disturbed, and in this respect the amplitude of the piezoelectric element 10 can be further increased. Also, the load applied to the joint member 71 due to external vibration and vibration of the piezoelectric element 10 can be suppressed. Therefore, it is possible to prevent the wiring member 50 from peeling off from the main surface 11a.

Z方向における第三領域R3の長さL1は、Z方向における圧電素体11の長さL2よりも長い。第三領域R3の遊びは、長さL2に対し、長さL1が長いほど、大きくなり易い。このため、本実施形態では、圧電素体11の振幅が一層増大する。また、配線部材50の剥離を更に抑制できる。長さL1が長いほど、振動デバイス100の発生力(振動)に対する影響が小さくなる。 The length L1 of the third region R3 in the Z direction is longer than the length L2 of the piezoelectric body 11 in the Z direction. The play of the third region R3 tends to increase as the length L1 is longer than the length L2. Therefore, in this embodiment, the amplitude of the piezoelectric element 11 is further increased. Moreover, peeling of the wiring member 50 can be further suppressed. The longer the length L1, the smaller the influence on the generated force (vibration) of the vibrating device 100 becomes.

第三領域R3は、第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2を有しているので、第三領域R3に遊びが生じる。遊びが外部の振動を吸収するので、圧電素子10の振動が阻害され難い。第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2の曲率半径が、圧電素子10の振幅よりも小さい場合、配線部材50の直線状の各延在部E1,E2,E3の長さが長くなるので、ケース3以外の場所に仮想的な壁が生まれ、ばらつきの大きな空室共振が発生し易い。したがって、配線部材50由来の空室共振によって残響(固有振動数)が発生した各延在部E1,E2,E3の影響が大きくなる。これに対し、本実施形態では、第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2の曲率半径は、圧電素子10の振幅よりも大きい。このため、残響の影響を抑制することができる。第一湾曲部C1及び第二湾曲部C2の曲率半径は、各延在部E1,E2,E3の長さよりも長くてもよい。 Since the third region R3 has the first curved portion C1 and the second curved portion C2, there is play in the third region R3. Since the play absorbs external vibration, the vibration of the piezoelectric element 10 is less likely to be disturbed. When the radii of curvature of the first curved portion C1 and the second curved portion C2 are smaller than the amplitude of the piezoelectric element 10, the lengths of the linear extending portions E1, E2, and E3 of the wiring member 50 are increased. Virtual walls are created in places other than case 3, and room resonance with large variations is likely to occur. Therefore, the influence of each of the extensions E1, E2, and E3 in which reverberation (eigenfrequency) is generated due to room resonance derived from the wiring member 50 is increased. In contrast, in the present embodiment, the radii of curvature of the first curved portion C1 and the second curved portion C2 are larger than the amplitude of the piezoelectric element 10 . Therefore, the influence of reverberation can be suppressed. The radius of curvature of the first curved portion C1 and the second curved portion C2 may be longer than the length of each extension E1, E2, E3.

ケース3の底部3aは、X方向における振動部1の両端部1aを保持している。このため、振動部1のX方向の中央部における振幅を更に増大させることができる。 A bottom portion 3a of the case 3 holds both end portions 1a of the vibrating portion 1 in the X direction. Therefore, it is possible to further increase the amplitude at the central portion of the vibrating portion 1 in the X direction.

外部電極13,15は、主面11aの中央部に配置されている。このため、圧電素子10をバランスよく振動させることができる。 The external electrodes 13 and 15 are arranged in the central portion of the main surface 11a. Therefore, the piezoelectric element 10 can be vibrated in a well-balanced manner.

本実施形態に係る電子機器は、振動デバイス100を備えるので、圧電素子10の振幅を増大させることができる。 Since the electronic device according to this embodiment includes the vibration device 100, the amplitude of the piezoelectric element 10 can be increased.

本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible without departing from the scope of the invention.

図8は、変形例に係る振動デバイスの一部拡大断面図である。図8に示されるように、変形例に係る振動デバイス100Aは、ケース3に凹部3dが設けられておらず、振動部材12の主面12bの全面が接着層60により底部3aに接合(接着)されている点で、振動デバイス100と相違している。この場合であっても、圧電素子10の振動が阻害され難い。 FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional view of a vibration device according to a modification. As shown in FIG. 8, in a vibrating device 100A according to the modified example, the recess 3d is not provided in the case 3, and the entire main surface 12b of the vibrating member 12 is bonded (bonded) to the bottom portion 3a by the adhesive layer 60. It is different from the vibration device 100 in that Even in this case, the vibration of the piezoelectric element 10 is less likely to be disturbed.

振動デバイス100,100Aでは、配線部材50の第三領域R3は、第一延在部E1を有していなくてもよい。この場合、第一湾曲部C1と第一領域R1とが直接接続される。第三領域R3は、第二延在部E2を有していなくてもよい。この場合、第一湾曲部C1と第二湾曲部C2とが直接接続される。第三領域R3は、第三延在部E3を有していなくてもよい。この場合、第二湾曲部と第三領域R3とが直接接続される。第三領域R3は、少なくとも第一湾曲部C1を有していればよい。第一湾曲部C1により生じる遊びで、外部の振動が吸収される。 In the vibrating devices 100 and 100A, the third region R3 of the wiring member 50 does not have to have the first extending portion E1. In this case, the first curved portion C1 and the first region R1 are directly connected. The third region R3 may not have the second extension E2. In this case, the first curved portion C1 and the second curved portion C2 are directly connected. The third region R3 may not have the third extension E3. In this case, the second curved portion and the third region R3 are directly connected. It is sufficient that the third region R3 has at least the first curved portion C1. The play generated by the first curved portion C1 absorbs external vibrations.

振動デバイス100,100Aでは、振動部1は振動部材12を備えているが、振動部1は振動部材12を備えていなくてもよい。この場合、振動部1の構造を簡単にすることができる。 In the vibrating devices 100 and 100A, the vibrating section 1 includes the vibrating member 12, but the vibrating section 1 does not have to include the vibrating member 12. FIG. In this case, the structure of the vibrating section 1 can be simplified.

1…振動部、1a…端部、3a…底部(保持部)、10…圧電素子、11…圧電素体、11a…主面、11c…長辺、11d…短辺、12…振動部材、13,15…外部電極、19,21,23…内部電極、50…配線部材、100,100A…振動デバイス、C1…第一湾曲部、C2…第二湾曲部、R1…第一領域、R2…第二領域、R3…第三領域。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Vibration part 1a... End part 3a... Bottom part (holding part) 10... Piezoelectric element 11... Piezoelectric body 11a... Main surface 11c... Long side 11d... Short side 12... Vibration member 13 , 15... External electrode, 19, 21, 23... Internal electrode, 50... Wiring member, 100, 100A... Vibration device, C1... First curved portion, C2... Second curved portion, R1... First region, R2... Second Two regions, R3... third region.

Claims (7)

長方形状の主面を有している圧電素体と、前記圧電素体の内部に配置されている内部電極と、前記主面上に配置され、かつ、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を含む圧電素子を有する振動部と、
前記外部電極に接続された配線部材と、を備え、
前記主面に直交する直交方向から見て、前記配線部材は、前記主面の長辺に沿って延在して、前記主面の短辺と交差し、
前記配線部材は、導電性を有する第一接合部材と電気絶縁性を有する第二接合部材とにより前記振動部に接合されることで前記振動部により支持されている第一領域と、支持部により支持されている第二領域と、前記第一領域のうち前記第二接合部材に接合された部分と前記第二領域とに接続されている第三領域と、を有し、
前記第三領域は、湾曲部を含んでおり、
前記配線部材は、互いに対向している第一主面及び第二主面を有しているベースと、前記第一主面上に配置されている導電層と、を含み、
前記第一領域おいて、前記第二主面が空間に面して設けられている、振動デバイス。
a piezoelectric element having a rectangular main surface; an internal electrode arranged inside the piezoelectric element; a vibrating portion having a piezoelectric element including an external electrode,
and a wiring member connected to the external electrode,
When viewed in an orthogonal direction orthogonal to the main surface, the wiring member extends along the long side of the main surface and intersects the short side of the main surface,
The wiring member includes a first region supported by the vibrating portion by being joined to the vibrating portion by a conductive first joining member and an electrically insulating second joining member; a supported second region; and a third region connected to a portion of the first region that is joined to the second joining member and the second region;
The third region includes a curved portion,
The wiring member includes a base having a first main surface and a second main surface facing each other, and a conductive layer disposed on the first main surface,
The vibrating device, wherein in the first region, the second main surface is provided facing the space.
前記直交方向における第三領域の長さは、前記直交方向における前記圧電素体の長さよりも長い、請求項1に記載の振動デバイス。 2. The vibration device according to claim 1, wherein the length of the third region in the orthogonal direction is longer than the length of the piezoelectric body in the orthogonal direction. 前記湾曲部の曲率半径は、前記圧電素子の振幅よりも大きい、請求項2に記載の振動デバイス。 3. The vibration device according to claim 2, wherein the radius of curvature of said curved portion is greater than the amplitude of said piezoelectric element. 前記主面の長辺方向における前記振動部の両端部を保持している保持部を更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibrating device according to any one of claims 1 to 3, further comprising holding portions that hold both ends of the vibrating portion in the long side direction of the main surface. 前記振動部は、前記圧電素子が接合された振動部材を更に有している、請求項1~4のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibrating device according to any one of claims 1 to 4, wherein the vibrating portion further includes a vibrating member to which the piezoelectric element is bonded. 二つの前記外部電極は、前記主面の中央部に配置されている、請求項1~5のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibration device according to any one of claims 1 to 5, wherein the two external electrodes are arranged in the central portion of the main surface. 請求項1~6のいずれか一項に記載の振動デバイスを備える、電子機器。 An electronic device comprising the vibration device according to any one of claims 1 to 6.
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