JP7087942B2 - Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices - Google Patents

Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices Download PDF

Info

Publication number
JP7087942B2
JP7087942B2 JP2018215663A JP2018215663A JP7087942B2 JP 7087942 B2 JP7087942 B2 JP 7087942B2 JP 2018215663 A JP2018215663 A JP 2018215663A JP 2018215663 A JP2018215663 A JP 2018215663A JP 7087942 B2 JP7087942 B2 JP 7087942B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
main surface
piezoelectric element
viewed
external electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018215663A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020088006A (en
Inventor
佳生 太田
英也 坂本
一志 立本
寿一 志村
徹行 谷口
茂 坂野
知洋 武田
明丈 武田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2018215663A priority Critical patent/JP7087942B2/en
Priority to PCT/JP2019/044167 priority patent/WO2020100824A1/en
Publication of JP2020088006A publication Critical patent/JP2020088006A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7087942B2 publication Critical patent/JP7087942B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Description

本発明の一つの態様は、振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの駆動方法に関する。 One aspect of the present invention relates to a vibrating device, an electronic device, and a method of driving the vibrating device.

特許文献1には、圧電素子と、圧電素子の一方主面に接合されたフレキシブル基板と、を備える圧電アクチュエータが記載されている。圧電素子の一方主面において、フレキシブル基板が接合されている領域の平坦度は、圧電素子の他方主面の平坦度よりも低い。したがって、圧電素子の平坦度が高い領域にフレキシブル基板が接合されている場合に比べて、フレキシブル基板の剥離が抑制できる。 Patent Document 1 describes a piezoelectric actuator including a piezoelectric element and a flexible substrate bonded to one main surface of the piezoelectric element. On one main surface of the piezoelectric element, the flatness of the region to which the flexible substrate is joined is lower than the flatness of the other main surface of the piezoelectric element. Therefore, peeling of the flexible substrate can be suppressed as compared with the case where the flexible substrate is bonded to the region where the flatness of the piezoelectric element is high.

特許第5474261号公報Japanese Patent No. 5474261

特許文献1に記載の圧電アクチュエータは、残響を抑制することができない。 The piezoelectric actuator described in Patent Document 1 cannot suppress reverberation.

本発明の一つの態様は、残響を抑制することが可能な振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの駆動方法を提供する。 One aspect of the present invention provides a vibrating device, an electronic device, and a method for driving the vibrating device capable of suppressing reverberation.

本発明の一つの態様に係る振動デバイスは、長方形状の主面を有している圧電素体と、主面上に配置されている外部電極と、を有している圧電素子と、外部電極上に位置し、かつ、外部電極と電気的に接続されている配線部材と、を備え、配線部材は、主面に直交する直交方向から見て、主面と重なっている長方形状の第一領域を有し、第一領域は、外部電極を覆うように、圧電素子に接合されている第二領域を含み、直交方向から見て、第二領域は、第一領域のいずれか一つの角部寄りに配置されている。 The vibration device according to one aspect of the present invention is a piezoelectric element having a piezoelectric element having a rectangular main surface, an external electrode arranged on the main surface, and an external electrode. It comprises a wiring member located above and electrically connected to an external electrode, the wiring member having a rectangular first surface that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface. It has a region, the first region includes a second region bonded to the piezoelectric element so as to cover the external electrode, and the second region is one corner of the first region when viewed from an orthogonal direction. It is located closer to the department.

上記一つの態様では、配線部材は、圧電素子の主面に直交する直交方向から見て、主面と重なっている第一領域を有している。第一領域は、圧電素子の複数の外部電極を一体的に覆うように、圧電素子に接合されている第二領域を含んでいる。第二領域は、長方形状の第一領域のいずれか一つの角部寄りに偏って配置されている。すなわち、第一領域のうち、第二領域以外の領域の配置が、第二領域の周りで偏っている。これにより、第一領域のうち、第二領域以外の領域の共振点がずれる。この結果、残響を抑制することができる。 In one aspect described above, the wiring member has a first region that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface of the piezoelectric element. The first region includes a second region bonded to the piezoelectric element so as to integrally cover the plurality of external electrodes of the piezoelectric element. The second region is unevenly arranged near the corner of any one of the rectangular first regions. That is, the arrangement of the regions other than the second region in the first region is biased around the second region. As a result, the resonance points of the regions other than the second region of the first region are shifted. As a result, reverberation can be suppressed.

上記一つの態様では、長方形状の主面を有している圧電素体と、主面上に配置されている外部電極と、を有している圧電素子と、外部電極上に位置し、かつ、外部電極と電気的に接続されている配線部材と、を備え、配線部材は、主面に直交する直交方向から見て、主面と重なっている第一領域を有し、第一領域は、外部電極を覆うように、圧電素子に接合されている第二領域を含み、直交方向から見て、第一領域の主面の短辺方向の一端と、第二領域の短辺方向の一端との間の第一長さは、第一領域の短辺方向の他端と、第二領域の短辺方向の他端との間の第二長さと異なり、第一領域の主面の長辺方向の一端と、第二領域の長辺方向の一端との間の第三長さは、第一領域の長辺方向の他端と、第二領域の長辺方向の他端との間の第四長さと異なる。 In one of the above aspects, a piezoelectric element having a piezoelectric element having a rectangular main surface, an external electrode arranged on the main surface, and a piezoelectric element located on the external electrode and The wiring member comprises a wiring member that is electrically connected to an external electrode, and the wiring member has a first region that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface, and the first region is A second region joined to the piezoelectric element so as to cover the external electrode is included, and one end in the short side direction of the main surface of the first region and one end in the short side direction of the second region when viewed from the orthogonal direction. The first length between and is different from the second length between the other end in the short side direction of the first region and the other end in the short side direction of the second region, and is the length of the main surface of the first region. The third length between one end in the side direction and one end in the long side direction of the second region is between the other end in the long side direction of the first region and the other end in the long side direction of the second region. It is different from the fourth length of.

上記一つの態様では、配線部材は、圧電素子の主面に直交する直交方向から見て、主面と重なっている第一領域を有している。第一領域は、圧電素子の複数の外部電極を一体的に覆うように、圧電素子に接合されている第二領域を含んでいる。直交方向から見て、第一長さは第二長さと異なり、第三長さは第四長さと異なっている。すなわち、第一領域のうち、第二領域以外の領域の配置が、第二領域の周りで偏っている。これにより、第一領域のうち、第二領域以外の領域の共振点がずれる。この結果、残響を抑制することができる。 In one aspect described above, the wiring member has a first region that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface of the piezoelectric element. The first region includes a second region bonded to the piezoelectric element so as to integrally cover the plurality of external electrodes of the piezoelectric element. Seen from the orthogonal direction, the first length is different from the second length and the third length is different from the fourth length. That is, the arrangement of the regions other than the second region in the first region is biased around the second region. As a result, the resonance points of the regions other than the second region of the first region are shifted. As a result, reverberation can be suppressed.

上記一つの態様では、直交方向から見て、配線部材は、主面の短辺と交差するように、主面の長辺に沿って延在していてもよい。この場合、配線部材が主面の長辺と交差するように、主面の短辺に沿って延在している場合に比べて、配線部材が圧電素子の振動を阻害することを抑制可能となる。 In one aspect described above, the wiring member may extend along the long side of the main surface so as to intersect the short side of the main surface when viewed from the orthogonal direction. In this case, it is possible to suppress the wiring member from inhibiting the vibration of the piezoelectric element as compared with the case where the wiring member extends along the short side of the main surface so as to intersect the long side of the main surface. Become.

上記一つの態様では、直交方向から見て、第二領域は、外部電極の全体を覆っていてもよい。この場合、複数の外部電極は、第二領域から露出していないので、短絡の発生を抑制することができる。 In one aspect described above, the second region may cover the entire external electrode when viewed from the orthogonal direction. In this case, since the plurality of external electrodes are not exposed from the second region, the occurrence of a short circuit can be suppressed.

上記一つの態様では、直交方向から見て、第二領域は、主面の中央部に配置されていてもよい。この場合、複数の外部電極も主面の中央部に配置される。よって、圧電素子をバランスよく振動させることができる。 In one aspect described above, the second region may be arranged in the central portion of the main surface when viewed from the orthogonal direction. In this case, a plurality of external electrodes are also arranged in the central portion of the main surface. Therefore, the piezoelectric element can be vibrated in a well-balanced manner.

上記一つの態様では、圧電素子に接合されている振動部材を更に備えてもよい。この場合、振動を増大させることができる。 In one of the above embodiments, a vibrating member bonded to the piezoelectric element may be further provided. In this case, vibration can be increased.

本発明の一つの態様に係る電子機器は、上記振動デバイスを備える。 The electronic device according to one aspect of the present invention includes the above-mentioned vibration device.

上記一つの態様では、上記振動デバイスを備えるので、残響を抑制することができる。 In one of the above embodiments, the vibration device is provided, so that reverberation can be suppressed.

本発明の一つの態様に係る振動デバイスの駆動方法は、上記振動デバイスの駆動方法であって、圧電素子を振動させることによって音を発生させる。 The method for driving a vibration device according to one aspect of the present invention is the method for driving the vibration device, in which sound is generated by vibrating the piezoelectric element.

上記一つの態様では、上記振動デバイスを駆動するので、残響を抑制することができる。 In one of the above embodiments, the vibration device is driven, so that reverberation can be suppressed.

本発明の一つの態様によれば、残響を抑制することが可能な振動デバイス、電子機器、及び、振動デバイスの駆動方法を提供することができる。 According to one aspect of the present invention, it is possible to provide a vibration device, an electronic device, and a method for driving the vibration device, which can suppress reverberation.

実施形態に係る振動デバイスの斜視図である。It is a perspective view of the vibration device which concerns on embodiment. 図1の振動デバイスの分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the vibration device of FIG. 図1のIII-III線に沿っての断面図である。It is sectional drawing along the line III-III of FIG. 図3の一部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which shows the part of FIG. 3 enlarged. 圧電素子の構成を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view which shows the structure of a piezoelectric element. 接続構造体及び圧電素子の上面図である。It is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. 接続構造体及び圧電素子の上面図である。It is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. 接続構造体の下面図である。It is a bottom view of the connection structure. 変形例に係る振動デバイスの一部拡大断面図である。It is a partially enlarged sectional view of the vibration device which concerns on a modification.

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and duplicate description is omitted.

図1は、実施形態に係る振動デバイスの斜視図である。図2は、図1の振動デバイスの分解斜視図である。図3は、図1のIII-III線に沿っての断面図である。図4は、図3の一部を拡大して示す断面図である。図1~図4に示されるように、振動デバイス100は、振動部1と、振動部1に接続された接続構造体2と、振動部1が配置されるケース3と、を備えている。振動デバイス100は、例えば、スピーカー、又はブザーとして用いられる。振動デバイス100は、テレビ、スマートフォン等の電子機器に設けられる。 FIG. 1 is a perspective view of the vibration device according to the embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of the vibration device of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a part of FIG. As shown in FIGS. 1 to 4, the vibration device 100 includes a vibration unit 1, a connection structure 2 connected to the vibration unit 1, and a case 3 in which the vibration unit 1 is arranged. The vibration device 100 is used, for example, as a speaker or a buzzer. The vibration device 100 is provided in an electronic device such as a television or a smartphone.

ケース3は、たとえば、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、成型樹脂等の樹脂材料からなる。ケース3は、たとえば、上面が開放された直方体形状の箱部材である。ケース3は、矩形板状の底部3aと、互いに対向している一対の側部3bと、互いに対向している一対の側部3cと、を有している。 The case 3 is made of a resin material such as an acrylic resin, a vinyl chloride resin, or a molding resin. The case 3 is, for example, a rectangular parallelepiped box member having an open upper surface. The case 3 has a rectangular plate-shaped bottom portion 3a, a pair of side portions 3b facing each other, and a pair of side portions 3c facing each other.

底部3aは、厚さ方向から見て、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。長方形状には、正方形状も含まれる。以下では、底部3aの長辺方向をX方向、底部3aの短辺方向をY方向、底部3aの厚さ方向をZ方向とする。 The bottom portion 3a has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides when viewed from the thickness direction. The rectangular shape includes, for example, a shape in which each corner is chamfered and a shape in which each corner is rounded. The rectangular shape also includes a square shape. In the following, the long side direction of the bottom 3a is the X direction, the short side direction of the bottom 3a is the Y direction, and the thickness direction of the bottom 3a is the Z direction.

底部3aのX方向での長さは、たとえば、33mmである。底部3aのY方向での長さは、たとえば、18mmである。底部3aのZ方向での長さは、たとえば、1.5mmである。底部3aの上面の中央部には、Z方向から見て、長方形状の凹部3dが形成されている。凹部3dのX方向での長さは、たとえば、15mmである。凹部3dのY方向での長さは、たとえば、10mmである。凹部3dのZ方向での長さ(深さ)は、たとえば、1.0mmである。 The length of the bottom portion 3a in the X direction is, for example, 33 mm. The length of the bottom portion 3a in the Y direction is, for example, 18 mm. The length of the bottom portion 3a in the Z direction is, for example, 1.5 mm. A rectangular recess 3d is formed in the center of the upper surface of the bottom 3a when viewed from the Z direction. The length of the recess 3d in the X direction is, for example, 15 mm. The length of the recess 3d in the Y direction is, for example, 10 mm. The length (depth) of the recess 3d in the Z direction is, for example, 1.0 mm.

一対の側部3bは、矩形板状を呈し、底部3aの長辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3bの対向方向は、Y方向と一致している。一方の側部3bには、側部3bを厚さ方向(Y方向)に貫通する長方形状の貫通孔3eが形成されている。図3では、貫通孔3eの図示が省略されている。振動デバイス100で発生した音は、主に貫通孔3eを通じてケース3の外部に伝わる。一対の側部3cは、矩形板状を呈し、底部3aの短辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3cの対向方向は、X方向と一致している。側部3b,3cのZ方向での長さは同等であり、たとえば、7.6mmである。 The pair of side portions 3b have a rectangular plate shape and extend along the Z direction from the long side portion of the bottom portion 3a. The facing direction of the pair of side portions 3b coincides with the Y direction. A rectangular through hole 3e that penetrates the side portion 3b in the thickness direction (Y direction) is formed in one side portion 3b. In FIG. 3, the through hole 3e is not shown. The sound generated by the vibration device 100 is mainly transmitted to the outside of the case 3 through the through hole 3e. The pair of side portions 3c have a rectangular plate shape and extend along the Z direction from the short side portion of the bottom portion 3a. The facing direction of the pair of side portions 3c coincides with the X direction. The lengths of the side portions 3b and 3c in the Z direction are the same, for example, 7.6 mm.

ケース3は、接続構造体2を支持している支持部3fを更に有している。支持部3fは、一方の側部3cにおける底部3aと反対側の端部から、ケース3の外側にX方向に沿って張り出している。ケース3は、少なくとも底部3aを有していればよく、各側部3c,3b及び支持部3fを有していなくてもよい。 The case 3 further has a support portion 3f that supports the connection structure 2. The support portion 3f projects from the end portion of one side portion 3c opposite to the bottom portion 3a to the outside of the case 3 along the X direction. The case 3 may have at least a bottom portion 3a, and may not have the side portions 3c, 3b and the support portion 3f.

振動部1は、底部3aに配置されている。本実施形態では、振動部1は、底部3a上において、一対の側部3b及び一対の側部3cに囲まれている。振動部1は、ケース3に収容されている。振動部1は、圧電素子10と、圧電素子10に接合されている振動部材12と、を有している。 The vibrating portion 1 is arranged at the bottom portion 3a. In the present embodiment, the vibrating portion 1 is surrounded by a pair of side portions 3b and a pair of side portions 3c on the bottom portion 3a. The vibrating unit 1 is housed in the case 3. The vibrating unit 1 has a piezoelectric element 10 and a vibrating member 12 joined to the piezoelectric element 10.

振動部材12は、たとえば、Ni-Fe合金、Ni、黄銅、又はステンレス鋼等金属からなる。本実施形態では、振動部材12は、板状部材である。振動部材12は、Z方向において互いに対向している一対の主面12a,12bを有している。振動部材12は、Z方向から見て、振動部材12の外縁が凹部3dの外縁の外側に位置するように配置されている。振動部材12は、凹部3dを完全に覆っている。 The vibrating member 12 is made of, for example, a metal such as a Ni—Fe alloy, Ni, brass, or stainless steel. In the present embodiment, the vibrating member 12 is a plate-shaped member. The vibrating member 12 has a pair of main surfaces 12a and 12b facing each other in the Z direction. The vibrating member 12 is arranged so that the outer edge of the vibrating member 12 is located outside the outer edge of the recess 3d when viewed from the Z direction. The vibrating member 12 completely covers the recess 3d.

主面12bは、底部3aとZ方向で対向している。主面12bは、たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる接着層60によって底部3aに接合(接着)されている。接着層60は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。主面12bは、底部3aのうち、凹部3dの周縁部に接合され、凹部3dの周縁部によって支持されている。 The main surface 12b faces the bottom 3a in the Z direction. The main surface 12b is bonded (adhered) to the bottom portion 3a by, for example, an adhesive layer 60 made of an epoxy resin or an acrylic resin. The adhesive layer 60 does not contain a conductive filler and has electrical insulation. The main surface 12b is joined to the peripheral edge of the recess 3d in the bottom 3a and is supported by the peripheral edge of the recess 3d.

各主面12a,12bは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動部材12は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面12a,12bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面12a,12bの短辺方向は、Y方向と一致している。 Each of the main surfaces 12a and 12b has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides. That is, the vibrating member 12 has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides in a plan view (viewed from the Z direction). In the present embodiment, the long side directions of the main surfaces 12a and 12b coincide with the X direction. The short side direction of each of the main surfaces 12a and 12b coincides with the Y direction.

振動部材12のX方向での長さは、たとえば、30mmである。振動部材12のY方向での長さは、たとえば、15mmである。振動部材12のZ方向での長さは、たとえば、100μmである。 The length of the vibrating member 12 in the X direction is, for example, 30 mm. The length of the vibrating member 12 in the Y direction is, for example, 15 mm. The length of the vibrating member 12 in the Z direction is, for example, 100 μm.

圧電素子10は、圧電素体11と、複数の外部電極13,15と、を有している。本実施形態では、圧電素子10は、二つの外部電極13,15を有している。外部電極13及び外部電極15は、互いに極性が異なっている。 The piezoelectric element 10 has a piezoelectric element 11 and a plurality of external electrodes 13 and 15. In this embodiment, the piezoelectric element 10 has two external electrodes 13 and 15. The external electrode 13 and the external electrode 15 have different polarities from each other.

圧電素体11は、直方体形状を呈している。直方体形状には、たとえば、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電素体11は、Z方向において互いに対向している一対の主面11a,11bを有している。主面11bは、主面12aとZ方向で対向している。主面11bは、接着層61によって主面12aの中央部に接合(接着)されている。 The piezoelectric element 11 has a rectangular parallelepiped shape. The rectangular parallelepiped shape includes, for example, the shape of a rectangular parallelepiped having chamfered corners and ridges, and the shape of a rectangular parallelepiped having rounded corners and ridges. The piezoelectric element 11 has a pair of main surfaces 11a and 11b facing each other in the Z direction. The main surface 11b faces the main surface 12a in the Z direction. The main surface 11b is joined (adhered) to the central portion of the main surface 12a by the adhesive layer 61.

各主面11a,11bは、長方形状を呈している。各主面11a,11bは、一対の長辺11cと一対の短辺11dとを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子10(圧電素体11)は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面11a,11bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面11a,11bの短辺方向は、Y方向と一致している。 Each of the main surfaces 11a and 11b has a rectangular shape. Each of the main surfaces 11a and 11b has a rectangular shape having a pair of long sides 11c and a pair of short sides 11d. That is, the piezoelectric element 10 (piezoelectric element 11) has a rectangular shape having a pair of long sides and a pair of short sides in a plan view (viewed from the Z direction). In the present embodiment, the long side directions of the main surfaces 11a and 11b coincide with the X direction. The short side direction of each of the main surfaces 11a and 11b coincides with the Y direction.

圧電素体11のX方向での長さは、たとえば、20mmである。圧電素体11のY方向での長さは、たとえば、10mmである。圧電素体11のZ方向での長さは、たとえば、200μmである。 The length of the piezoelectric element 11 in the X direction is, for example, 20 mm. The length of the piezoelectric element 11 in the Y direction is, for example, 10 mm. The length of the piezoelectric element 11 in the Z direction is, for example, 200 μm.

図5は、圧電素子の構成を示す分解斜視図である。図4及び図5に示されるように、圧電素体11は、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されて構成されている。すなわち、圧電素体11は、積層されている複数の圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。本実施形態では、圧電素体11は、四つの圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。圧電素体11では、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されている方向がZ方向と一致している。圧電体層17aは、主面11aを有している。圧電体層17dは、主面11bを有している。圧電体層17b,17cは、圧電体層17aと圧電体層17dとの間に位置している。 FIG. 5 is an exploded perspective view showing the configuration of the piezoelectric element. As shown in FIGS. 4 and 5, the piezoelectric element 11 is configured by laminating a plurality of piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d. That is, the piezoelectric element 11 has a plurality of laminated piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, 17d. In the present embodiment, the piezoelectric element 11 has four piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d. In the piezoelectric element 11, the direction in which the plurality of piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d are laminated coincides with the Z direction. The piezoelectric layer 17a has a main surface 11a. The piezoelectric layer 17d has a main surface 11b. The piezoelectric layers 17b and 17c are located between the piezoelectric layer 17a and the piezoelectric layer 17d.

各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、たとえば、PZT[Pb(Zr、Ti)O]、PT(PbTiO)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O]、又はチタン酸バリウム(BaTiO)が用いられる。各圧電体層17a,17b,17c,17dは、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体11では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、各圧電体層17a,17b,17c,17dの間の境界が認識できない程度に一体化されている。 Each of the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, 17d is made of a piezoelectric material. In this embodiment, each of the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, 17d is made of a piezoelectric ceramic material. Piezoelectric ceramic materials include, for example, PZT [Pb (Zr, Ti) O 3 ], PT (PbTIO 3 ), PLZT [(Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ], or barium titanate (BaTIO 3 ). Is used. Each of the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, 17d is composed of, for example, a sintered body of a ceramic green sheet containing the above-mentioned piezoelectric ceramic material. In the actual piezoelectric element 11, the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d are integrated to such an extent that the boundary between the piezoelectric layers 17a, 17b, 17c, and 17d cannot be recognized.

圧電素子10は、圧電素体11内に配置されている複数の内部電極19,21,23を備えている。本実施形態では、圧電素子10は、三つの内部電極19,21,23を備えている。各内部電極19,21,23は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各内部電極19,21,23は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。本実施形態では、各内部電極19,21,23の外形形状は、長方形状である。 The piezoelectric element 10 includes a plurality of internal electrodes 19, 21, 23 arranged in the piezoelectric element 11. In this embodiment, the piezoelectric element 10 includes three internal electrodes 19, 21, 23. Each of the internal electrodes 19, 21, 23 is made of a conductive material. As the conductive material, for example, Ag, Pd, or Ag—Pd alloy is used. Each of the internal electrodes 19, 21, 23 is configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the above conductive material. In the present embodiment, the outer shapes of the internal electrodes 19, 21, 23 are rectangular.

各内部電極19,21,23は、Z方向において異なる位置(層)に配置されている。内部電極19と内部電極21とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極21と内部電極23とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極19は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極21は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極23は、圧電体層17cと圧電体層17dとの間に位置している。各内部電極19,21,23は、圧電素体11の表面には露出していない。すなわち、各内部電極19,21,23は、各側面には露出していない。各内部電極19,21,23は、Z方向から見て、主面11a,11bの全ての縁(四辺)から離間している。 The internal electrodes 19, 21, 23 are arranged at different positions (layers) in the Z direction. The internal electrode 19 and the internal electrode 21 face each other with a gap in the Z direction. The internal electrode 21 and the internal electrode 23 face each other with a gap in the Z direction. The internal electrode 19 is located between the piezoelectric layer 17a and the piezoelectric layer 17b. The internal electrode 21 is located between the piezoelectric layer 17b and the piezoelectric layer 17c. The internal electrode 23 is located between the piezoelectric layer 17c and the piezoelectric layer 17d. The internal electrodes 19, 21, 23 are not exposed on the surface of the piezoelectric element 11. That is, each of the internal electrodes 19, 21, 23 is not exposed on each side surface. The internal electrodes 19, 21, 23 are separated from all the edges (four sides) of the main surfaces 11a and 11b when viewed from the Z direction.

複数の外部電極13,15は、主面11a上に配置されている。外部電極13と外部電極15とは、X方向に並んでいる。外部電極13と外部電極15とは、X方向で隣り合っている。複数の外部電極13,15は、主面11aの中央部に配置されている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、主面11aの全ての縁(四辺)から離間している。各外部電極13,15は、Z方向から見て、長方形状を呈している。各外部電極13,15は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各外部電極13,15は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。 The plurality of external electrodes 13 and 15 are arranged on the main surface 11a. The external electrode 13 and the external electrode 15 are arranged in the X direction. The external electrode 13 and the external electrode 15 are adjacent to each other in the X direction. The plurality of external electrodes 13 and 15 are arranged in the central portion of the main surface 11a. The plurality of external electrodes 13 and 15 are separated from all the edges (four sides) of the main surface 11a when viewed from the Z direction. Each of the external electrodes 13 and 15 has a rectangular shape when viewed from the Z direction. Each of the external electrodes 13 and 15 is made of a conductive material. As the conductive material, for example, Ag, Pd, or Ag—Pd alloy is used. Each of the external electrodes 13 and 15 is configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the above conductive material.

外部電極13は、ビア導体31を通して接続導体25と電気的に接続されている。接続導体25は、内部電極19と同じ層に位置している。接続導体25は、内部電極19の内側に位置している。内部電極19には、Z方向から見て、外部電極13に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体25は、内部電極19に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体25の全縁が、内部電極19で囲まれている。 The external electrode 13 is electrically connected to the connecting conductor 25 through the via conductor 31. The connecting conductor 25 is located on the same layer as the internal electrode 19. The connecting conductor 25 is located inside the internal electrode 19. An opening is formed in the internal electrode 19 at a position corresponding to the external electrode 13 when viewed from the Z direction. The connecting conductor 25 is located in the opening formed in the internal electrode 19. When viewed from the Z direction, the entire edge of the connecting conductor 25 is surrounded by the internal electrode 19.

接続導体25は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極19と接続導体25とは、離間している。接続導体25は、Z方向で、外部電極13と対向している。ビア導体31は、外部電極13と接続されていると共に、接続導体25と接続されている。接続導体25は、ビア導体33を通して内部電極21と電気的に接続されている。接続導体25は、Z方向で、内部電極21と対向している。ビア導体33は、接続導体25と接続されていると共に、内部電極21と接続されている。 The connecting conductor 25 is located between the piezoelectric layer 17a and the piezoelectric layer 17b. The internal electrode 19 and the connecting conductor 25 are separated from each other. The connecting conductor 25 faces the external electrode 13 in the Z direction. The via conductor 31 is connected to the external electrode 13 and is also connected to the connecting conductor 25. The connecting conductor 25 is electrically connected to the internal electrode 21 through the via conductor 33. The connecting conductor 25 faces the internal electrode 21 in the Z direction. The via conductor 33 is connected to the connecting conductor 25 and is also connected to the internal electrode 21.

内部電極21は、ビア導体35を通して接続導体27と電気的に接続されている。接続導体27は、内部電極23と同じ層に位置している。接続導体27は、内部電極23の内側に位置している。内部電極23には、Z方向から見て、外部電極13(接続導体25)に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体27は、内部電極23に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体27の全縁が、内部電極23で囲まれている。 The internal electrode 21 is electrically connected to the connecting conductor 27 through the via conductor 35. The connecting conductor 27 is located on the same layer as the internal electrode 23. The connecting conductor 27 is located inside the internal electrode 23. An opening is formed in the internal electrode 23 at a position corresponding to the external electrode 13 (connecting conductor 25) when viewed from the Z direction. The connecting conductor 27 is located in the opening formed in the internal electrode 23. When viewed from the Z direction, the entire edge of the connecting conductor 27 is surrounded by the internal electrode 23.

外部電極15は、ビア導体37を通して内部電極19と電気的に接続されている。内部電極19は、Z方向で、外部電極15と対向している。ビア導体37は、外部電極15と接続されていると共に、内部電極19と接続されている。 The external electrode 15 is electrically connected to the internal electrode 19 through the via conductor 37. The internal electrode 19 faces the external electrode 15 in the Z direction. The via conductor 37 is connected to the external electrode 15 and is connected to the internal electrode 19.

内部電極19は、ビア導体39を通して接続導体29と電気的に接続されている。接続導体29は、内部電極21と同じ層に位置している。接続導体29は、内部電極21の内側に位置している。内部電極21には、Z方向から見て、外部電極15に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体29は、内部電極21に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体29の全縁が、内部電極21で囲まれている。 The internal electrode 19 is electrically connected to the connecting conductor 29 through the via conductor 39. The connecting conductor 29 is located on the same layer as the internal electrode 21. The connecting conductor 29 is located inside the internal electrode 21. An opening is formed in the internal electrode 21 at a position corresponding to the external electrode 15 when viewed from the Z direction. The connecting conductor 29 is located in the opening formed in the internal electrode 21. When viewed from the Z direction, the entire edge of the connecting conductor 29 is surrounded by the internal electrode 21.

接続導体29は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極21と接続導体29とは、離間している。接続導体29は、Z方向で、内部電極19と対向している。ビア導体39は、内部電極19と接続されていると共に、接続導体29と接続されている。接続導体29は、ビア導体41を通して内部電極23と電気的に接続されている。接続導体29は、Z方向で、内部電極23と対向している。ビア導体41は、接続導体29と接続されていると共に、内部電極23と接続されている。 The connecting conductor 29 is located between the piezoelectric layer 17b and the piezoelectric layer 17c. The internal electrode 21 and the connecting conductor 29 are separated from each other. The connecting conductor 29 faces the internal electrode 19 in the Z direction. The via conductor 39 is connected to the internal electrode 19 and is also connected to the connecting conductor 29. The connecting conductor 29 is electrically connected to the internal electrode 23 through the via conductor 41. The connecting conductor 29 faces the internal electrode 23 in the Z direction. The via conductor 41 is connected to the connecting conductor 29 and is also connected to the internal electrode 23.

外部電極13は、ビア導体31、接続導体25、及び、ビア導体33を通して、内部電極21と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37を通して、内部電極19と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37、内部電極19、ビア導体39、接続導体29、及び、ビア導体41を通して、内部電極23と電気的に接続されている。 The external electrode 13 is electrically connected to the internal electrode 21 through the via conductor 31, the connecting conductor 25, and the via conductor 33. The external electrode 15 is electrically connected to the internal electrode 19 through the via conductor 37. The external electrode 15 is electrically connected to the internal electrode 23 through the via conductor 37, the internal electrode 19, the via conductor 39, the connecting conductor 29, and the via conductor 41.

接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、導電性材料からなる。ビア導体31,33,35,37,39,41のそれぞれは、複数のビア導体からなるビア導体群であるが、単体のビア導体であってもよい。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17a,17bに配置されたビア導体31,33は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17a,17bに配置されたビア導体37,39は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17b,17cに配置されたビア導体33,37は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17b,17cに配置されたビア導体39,41は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。 The connecting conductors 25, 27, 29 and the via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are made of a conductive material. Each of the via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 is a via conductor group composed of a plurality of via conductors, but may be a single via conductor. The via conductors 31 and 33 arranged on the piezoelectric layers 17a and 17b adjacent to each other in the Z direction are arranged so as to be separated from each other and not overlap each other when viewed from the Z direction. The via conductors 37 and 39 arranged on the piezoelectric layers 17a and 17b are arranged so as to be separated from each other and not overlap each other when viewed from the Z direction. The via conductors 33 and 37 arranged on the piezoelectric layers 17b and 17c adjacent to each other in the Z direction are arranged so as to be separated from each other and not overlap each other when viewed from the Z direction. The via conductors 39 and 41 arranged on the piezoelectric layers 17b and 17c are arranged so as to be separated from each other and not overlap each other when viewed from the Z direction.

導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。接続導体25,27,29は、長方形状を呈している。ビア導体31,33,35,37,39,41は、対応する圧電体層17a,17b,17cを形成するためのセラミックグリーンシートに形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが焼結することにより形成される。 As the conductive material, for example, Ag, Pd, or Ag—Pd alloy is used. The connecting conductors 25, 27, 29 and the via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are configured as, for example, a sintered body of a conductive paste containing the above conductive material. The connecting conductors 25, 27, and 29 have a rectangular shape. The via conductors 31, 33, 35, 37, 39, 41 are sintered by the conductive paste filled in the through holes formed in the ceramic green sheet for forming the corresponding piezoelectric layers 17a, 17b, 17c. It is formed by.

圧電素体11の主面11bには、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、主面11bをZ方向から見たとき、主面11bの全体が露出している。主面11a,11bは、自然面である。自然面とは、焼成により成長した結晶粒の表面により構成される面である。 On the main surface 11b of the piezoelectric element 11, the conductor electrically connected to the internal electrodes 19 and 23 and the conductor electrically connected to the internal electrode 21 are not arranged. In the present embodiment, when the main surface 11b is viewed from the Z direction, the entire main surface 11b is exposed. The main surfaces 11a and 11b are natural surfaces. The natural surface is a surface composed of the surfaces of crystal grains grown by firing.

圧電素体11の各側面にも、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、圧電素体11の各側面をX方向及びY方向から見たとき、各側面の全体が露出している。本実施形態では、これらの各側面も、自然面である。 Also on each side surface of the piezoelectric element 11, the conductor electrically connected to the internal electrodes 19 and 23 and the conductor electrically connected to the internal electrode 21 are not arranged. In the present embodiment, when each side surface of the piezoelectric element 11 is viewed from the X direction and the Y direction, the entire side surface is exposed. In this embodiment, each of these aspects is also a natural aspect.

圧電体層17bにおける内部電極19と内部電極21とで挟まれた領域と、圧電体層17cにおける内部電極21と内部電極23とで挟まれた領域とは、圧電的に活性な領域を構成する。本実施形態では、圧電的に活性な領域は、Z方向から見て、複数の外部電極13,15を囲むように位置している。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15との間に位置している領域に、圧電的に活性な領域を含んでいる。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15とが位置している領域の外側にも、圧電的に活性な領域を含んでいる。 The region sandwiched between the internal electrode 19 and the internal electrode 21 in the piezoelectric layer 17b and the region sandwiched between the internal electrode 21 and the internal electrode 23 in the piezoelectric layer 17c form a piezoelectrically active region. .. In the present embodiment, the piezoelectrically active region is located so as to surround the plurality of external electrodes 13 and 15 when viewed from the Z direction. When viewed from the Z direction, the piezoelectric element 11 includes a piezoelectrically active region in a region located between the external electrode 13 and the external electrode 15. When viewed from the Z direction, the piezoelectric element 11 also includes a piezoelectrically active region outside the region where the external electrode 13 and the external electrode 15 are located.

図1~図4に示されるように、接続構造体2は、振動部1に接続された帯状の配線部材50と、配線部材50に接続された複数のリード線80と、を有している。本実施形態では、接続構造体2は、二つのリード線80を有している。 As shown in FIGS. 1 to 4, the connection structure 2 has a band-shaped wiring member 50 connected to the vibrating portion 1 and a plurality of lead wires 80 connected to the wiring member 50. .. In this embodiment, the connection structure 2 has two lead wires 80.

図6は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図1~図6に示されるように、配線部材50は、主面11aの短辺11dと交差するように、主面11aの長辺11cに沿って延在している。本実施形態では、配線部材50は、主面11aの短辺11dと直交するように配置されている。配線部材50が延在している方向は、Y方向と直交している。配線部材50は、X方向に延在している。配線部材50は、圧電素子10と電気的かつ物理的に接続されている一端部と、リード線80と電気的かつ物理的に接続される他端部とを有している。 FIG. 6 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. As shown in FIGS. 1 to 6, the wiring member 50 extends along the long side 11c of the main surface 11a so as to intersect the short side 11d of the main surface 11a. In the present embodiment, the wiring member 50 is arranged so as to be orthogonal to the short side 11d of the main surface 11a. The direction in which the wiring member 50 extends is orthogonal to the Y direction. The wiring member 50 extends in the X direction. The wiring member 50 has one end that is electrically and physically connected to the piezoelectric element 10, and the other end that is electrically and physically connected to the lead wire 80.

配線部材50は、複数の外部電極13,15上に位置している。配線部材50は、接合部材70によって複数の外部電極13,15と電気的に接続されている。接合部材70は、Z方向から見て複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、配線部材50の一端部と圧電素子10との間に設けられている。接合部材70は、複数の導電性粒子(不図示)を含む樹脂層である。導電性粒子は、例えば、金属粒子、金めっき粒子である。接合部材70は、例えば熱硬化性エラストマーを含んでいる。接合部材70は、例えば、異方性導電ペースト又は異方性導電性膜が硬化することにより形成される。 The wiring member 50 is located on the plurality of external electrodes 13 and 15. The wiring member 50 is electrically connected to the plurality of external electrodes 13 and 15 by the joining member 70. The joining member 70 is provided between one end of the wiring member 50 and the piezoelectric element 10 so as to integrally cover the plurality of external electrodes 13 and 15 when viewed from the Z direction. The joining member 70 is a resin layer containing a plurality of conductive particles (not shown). The conductive particles are, for example, metal particles and gold-plated particles. The joining member 70 contains, for example, a thermosetting elastomer. The joining member 70 is formed, for example, by curing an anisotropic conductive paste or an anisotropic conductive film.

配線部材50は、接合部材71によっても主面11aに接合されている。配線部材50は、接合部材71によって主面11aに接合されている。接合部材71は絶縁性を有している。接合部材71は、主面11aの一方の短辺11dに沿って配置されている。接合部材71は、配線部材50の幅方向(Y方向)の全体を主面11aに接合している。接合部材71は、接合部材70から離間している。接合部材71は、たとえば、ニトリルゴムを含んでいる。接合部材71は、接合部材70に含まれる樹脂材料と同じ樹脂材料を含んでいてもよい。 The wiring member 50 is also joined to the main surface 11a by the joining member 71. The wiring member 50 is joined to the main surface 11a by the joining member 71. The joining member 71 has an insulating property. The joining member 71 is arranged along one short side 11d of the main surface 11a. The joining member 71 joins the entire width direction (Y direction) of the wiring member 50 to the main surface 11a. The joining member 71 is separated from the joining member 70. The joining member 71 contains, for example, nitrile rubber. The joining member 71 may contain the same resin material as the resin material contained in the joining member 70.

配線部材50は、主面11aに直交する直交方向(Z方向)から見て、主面11aと重なっている第一領域R1を有している。第一領域R1は、第二領域R2を含んでいる。第二領域R2は、複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、接合部材70によって圧電素子10に接合されている。第二領域R2は、複数の外部電極13,15の全体を覆っている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、第二領域R2から露出していない。 The wiring member 50 has a first region R1 that overlaps with the main surface 11a when viewed from an orthogonal direction (Z direction) orthogonal to the main surface 11a. The first region R1 includes the second region R2. The second region R2 is joined to the piezoelectric element 10 by a joining member 70 so as to integrally cover the plurality of external electrodes 13 and 15. The second region R2 covers the entire plurality of external electrodes 13 and 15. The plurality of external electrodes 13 and 15 are not exposed from the second region R2 when viewed from the Z direction.

本実施形態では、Z方向から見て、第一領域R1及び第二領域R2は長方形状を呈している。第一領域R1及び第二領域R2の長辺方向は、X方向であり、主面11aの長辺方向と一致している。Z方向から見て、第一領域R1及び第二領域R2の短辺方向は、Y方向であり、主面11aの短辺方向と一致している。 In the present embodiment, the first region R1 and the second region R2 have a rectangular shape when viewed from the Z direction. The long side direction of the first region R1 and the second region R2 is the X direction, which coincides with the long side direction of the main surface 11a. When viewed from the Z direction, the short side direction of the first region R1 and the second region R2 is the Y direction, which coincides with the short side direction of the main surface 11a.

Z方向から見て、第二領域R2は、第一領域R1のいずれか一つの角部A1寄りに配置されている。すなわち、Z方向から見て、第二領域R2は、第一領域R1に対して偏って配置されている。本実施形態では、角部A1は、第一領域R1の一方の長辺及び一方の短辺がなす角部である。 When viewed from the Z direction, the second region R2 is arranged closer to any one corner portion A1 of the first region R1. That is, when viewed from the Z direction, the second region R2 is biased with respect to the first region R1. In the present embodiment, the corner portion A1 is a corner portion formed by one long side and one short side of the first region R1.

Z方向から見て、第一領域R1のY方向の一端(すなわち、第一領域R1の一方の長辺)と、第二領域R2のY方向の一端(すなわち、第二領域R2の一方の長辺)との間の長さL1は、第一領域R1のY方向の他端(すなわち、第一領域R1の他方の長辺)と、第二領域R2のY方向の他端(すなわち、第二領域R2の他方の長辺)との間の長さL2と異なる。長さL1は、長さL2よりも短い。長さL1は0であってもよい。すなわち、Z方向から見て、第一領域R1のY方向の一端と、第二領域R2のY方向の一端とは、重なっていてもよい。長さL1,L2は、例えばY方向の最短長さである。 One end of the first region R1 in the Y direction (that is, one long side of the first region R1) and one end of the second region R2 in the Y direction (that is, the length of one of the second regions R2) when viewed from the Z direction. The length L1 between the first region R1 and the other end in the Y direction of the first region R1 (that is, the other long side of the first region R1) and the other end of the second region R2 in the Y direction (that is, the first side). It is different from the length L2 between the two regions R2 (the other long side). The length L1 is shorter than the length L2. The length L1 may be 0. That is, when viewed from the Z direction, one end of the first region R1 in the Y direction and one end of the second region R2 in the Y direction may overlap. The lengths L1 and L2 are, for example, the shortest lengths in the Y direction.

Z方向から見て、第一領域R1のX方向の一端(すなわち、第一領域R1の一方の短辺)と、第二領域R2のX方向の一端(すなわち、第二領域R2の一方の短辺)との間の長さL3は、第一領域R1のX方向の他端(すなわち、第一領域R1の他方の短辺)と、第二領域R2のX方向の他端(すなわち、第二領域R2の他方の短辺)との間の長さL4と異なる。長さL3は、長さL4よりも短い。長さL3は0であってもよい。すなわち、Z方向から見て、第一領域R1のX方向の一端と、第二領域R2のX方向の一端とは、重なっていてもよい。長さL3,L4は、例えばX方向の最短長さである。 One end of the first region R1 in the X direction (that is, one short side of the first region R1) and one end of the second region R2 in the X direction (that is, one short side of the second region R2) when viewed from the Z direction. The length L3 between the first region R1 and the other end in the X direction of the first region R1 (that is, the other short side of the first region R1) and the other end of the second region R2 in the X direction (that is, the first side). The length L4 between the other short side of the two regions R2) is different. The length L3 is shorter than the length L4. The length L3 may be 0. That is, when viewed from the Z direction, one end of the first region R1 in the X direction and one end of the second region R2 in the X direction may overlap. The lengths L3 and L4 are, for example, the shortest lengths in the X direction.

Z方向から見て、第一領域R1は、主面11aのいずれか一つの角部A2寄りに配置されている。すなわち、Z方向から見て、第一領域R1は、主面11aに対して偏って配置されている。本実施形態では、角部A2は、主面11aの他方の長辺11c及び他方の短辺11dがなす角部である。 When viewed from the Z direction, the first region R1 is arranged closer to any one corner A2 of the main surface 11a. That is, when viewed from the Z direction, the first region R1 is biased with respect to the main surface 11a. In the present embodiment, the corner portion A2 is a corner portion formed by the other long side 11c and the other short side 11d of the main surface 11a.

Z方向から見て、主面11aのY方向の他端(すなわち、主面11aの他方の長辺11c)と、第一領域R1のY方向の他端(すなわち、第一領域R1の他方の長辺)との間の長さL5は、主面11aのY方向の一端(すなわち、主面11aの一方の長辺11c)と、第一領域R1のY方向の一端(すなわち、第一領域R1の一方の長辺)との間の長さL6と異なる。長さL5は、長さL6よりも短い。長さL5は0であってもよい。すなわち、Z方向から見て、主面11aのY方向の他端と、第一領域R1のY方向の他端とは、重なっていてもよい。長さL5,L6は、例えばY方向の最短長さである。 The other end of the main surface 11a in the Y direction (that is, the other long side 11c of the main surface 11a) and the other end of the first region R1 in the Y direction (that is, the other end of the first region R1) when viewed from the Z direction. The length L5 between the long side (long side) is one end of the main surface 11a in the Y direction (that is, one long side 11c of the main surface 11a) and one end of the first region R1 in the Y direction (that is, the first region). It is different from the length L6 between the one long side of R1). The length L5 is shorter than the length L6. The length L5 may be 0. That is, when viewed from the Z direction, the other end of the main surface 11a in the Y direction and the other end of the first region R1 in the Y direction may overlap. The lengths L5 and L6 are, for example, the shortest lengths in the Y direction.

Z方向から見て、主面11aのX方向の他端(すなわち、主面11aの他方の短辺11d)と、第一領域R1のX方向の他端(すなわち、第一領域R1の他方の短辺)との間の長さL7(不図示)は、主面11aのX方向の一端(すなわち、主面11aの一方の短辺11d)と、第一領域R1のX方向の一端(すなわち、第一領域R1の一方の短辺)との間の長さL8と異なる。長さL7は、長さL8よりも短い。長さL7は0であるが、0でなくてもよい。すなわち、Z方向から見て、主面11aのX方向の他端と、第一領域R1のX方向の他端とは、重なっているが、重なっていなくてもよい。長さL7,L8は、例えばX方向の最短長さである。 The other end of the main surface 11a in the X direction (that is, the other short side 11d of the main surface 11a) and the other end of the first region R1 in the X direction (that is, the other end of the first region R1) when viewed from the Z direction. The length L7 (not shown) between the short side (not shown) is one end of the main surface 11a in the X direction (that is, one short side 11d of the main surface 11a) and one end of the first region R1 in the X direction (that is, the short side). , One short side of the first region R1) is different from the length L8. The length L7 is shorter than the length L8. The length L7 is 0, but it does not have to be 0. That is, when viewed from the Z direction, the other end of the main surface 11a in the X direction and the other end of the first region R1 in the X direction overlap, but may not overlap. The lengths L7 and L8 are, for example, the shortest lengths in the X direction.

図7は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図8は、接続構造体の下面図である。図1~図8に示されるように、配線部材50は、ベース51、複数の導体層53,55、カバー57、及び補強部材59を有している。本実施形態では、配線部材50は、二つの導体層53,55を備えている。配線部材50は、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)又はフレキシブルフラットケーブル(FFC)である。 FIG. 7 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. FIG. 8 is a bottom view of the connection structure. As shown in FIGS. 1 to 8, the wiring member 50 has a base 51, a plurality of conductor layers 53, 55, a cover 57, and a reinforcing member 59. In this embodiment, the wiring member 50 includes two conductor layers 53 and 55. The wiring member 50 is, for example, a flexible printed circuit board (FPC) or a flexible flat cable (FFC).

ベース51は、帯状を呈し、互いに対向している一対の主面51a,51bを有している。ベース51は、電気絶縁性を有している。ベース51は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。ベース51の厚さは、たとえば100μmである。 The base 51 has a band shape and has a pair of main surfaces 51a and 51b facing each other. The base 51 has electrical insulation. The base 51 is a resin layer made of a resin such as a polyimide resin. The thickness of the base 51 is, for example, 100 μm.

各導体層53,55は、ベース51の主面51a上に配置されている。各導体層53,55は、接着層(不図示)によって、主面51aに接合(接着)されている。各導体層53,55は、たとえば、Cuからなる。各導体層53,55は、たとえば、Cu層上にNiメッキ層及びAuメッキ層がこの順に設けられた構成であってもよい。導体層53と導体層55とは、互いに離間して配置されている。各導体層53,55の厚さは、たとえば20μmである。 The conductor layers 53 and 55 are arranged on the main surface 51a of the base 51. The conductor layers 53 and 55 are joined (bonded) to the main surface 51a by an adhesive layer (not shown). Each conductor layer 53, 55 is made of, for example, Cu. Each of the conductor layers 53 and 55 may have, for example, a configuration in which a Ni plating layer and an Au plating layer are provided in this order on the Cu layer. The conductor layer 53 and the conductor layer 55 are arranged apart from each other. The thickness of each conductor layer 53, 55 is, for example, 20 μm.

導体層53は、リード線80に接続された端部53aと、外部電極13に接続された端部53bと、端部53aと端部53bとを接続している接続部53cと、を含んでいる。接続部53cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部53aは、接続部53cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部53bは、接続部53cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。 The conductor layer 53 includes an end portion 53a connected to the lead wire 80, an end portion 53b connected to the external electrode 13, and a connection portion 53c connecting the end portion 53a and the end portion 53b. There is. The connection portion 53c extends in the direction (X direction) in which the wiring member 50 extends. The end portion 53a is adjacent to one end portion of the connection portion 53c in the direction in which the wiring member 50 extends. The end portion 53b is adjacent to the other end portion of the connection portion 53c in the width direction (Y direction) of the wiring member 50.

導体層55は、リード線80に接続された端部55aと、外部電極15に接続された端部55bと、端部55aと端部55bとを接続している接続部55cと、を含んでいる。接続部55cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部55aは、接続部55cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部55bは、接続部55cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。 The conductor layer 55 includes an end portion 55a connected to the lead wire 80, an end portion 55b connected to the external electrode 15, and a connection portion 55c connecting the end portion 55a and the end portion 55b. There is. The connection portion 55c extends in the direction (X direction) in which the wiring member 50 extends. The end portion 55a is adjacent to one end portion of the connection portion 55c in the direction in which the wiring member 50 extends. The end portion 55b is adjacent to the other end portion of the connection portion 55c in the width direction (Y direction) of the wiring member 50.

端部53aと端部55aとは、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。端部53bと端部55bとは、配線部材50の延在している方向において互いに離間して配置されている。接続部53cと接続部55cとは、互いに平行、かつ、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。 The end portion 53a and the end portion 55a are arranged apart from each other in the width direction of the wiring member 50. The end portion 53b and the end portion 55b are arranged apart from each other in the extending direction of the wiring member 50. The connecting portion 53c and the connecting portion 55c are arranged parallel to each other and separated from each other in the width direction of the wiring member 50.

端部53aと外部電極13との間には、接合部材70が存在している。端部53aと外部電極13とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。端部55aと外部電極15との間には、接合部材70が存在している。端部55aと外部電極15とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。 A joining member 70 exists between the end portion 53a and the external electrode 13. The end portion 53a and the external electrode 13 are electrically connected to each other through conductive particles contained in the joining member 70. A joining member 70 exists between the end portion 55a and the external electrode 15. The end portion 55a and the external electrode 15 are electrically connected to each other through conductive particles contained in the joining member 70.

カバー57は、特に図7に示されるように、主面51a上に配置されている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aとを覆っている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aのうち、各導体層53,55から露出している領域とに接着層(不図示)によって接合(接着)されている。カバー57は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。カバー57の厚さは、たとえば25μmである。 The cover 57 is arranged on the main surface 51a, particularly as shown in FIG. The cover 57 covers each of the conductor layers 53 and 55 and the main surface 51a. The cover 57 is bonded (adhered) to each of the conductor layers 53 and 55 and a region of the main surface 51a exposed from each of the conductor layers 53 and 55 by an adhesive layer (not shown). The cover 57 is a resin layer made of a resin such as a polyimide resin. The thickness of the cover 57 is, for example, 25 μm.

導体層53の端部53a,53bと、導体層55の端部55a,55bと、主面51aの一部領域は、カバー57から露出している。主面51aの一部領域は、Z方向から見て、端部53aと端部55aとの間に配置された領域、及び、端部53bと端部55bとの間に配置された領域である。各端部53a,53b,55a,55bには、たとえば、ニッケルめっき及び金フラッシュめっきが施されている。 The ends 53a and 53b of the conductor layer 53, the ends 55a and 55b of the conductor layer 55, and a part of the main surface 51a are exposed from the cover 57. A part of the main surface 51a is a region arranged between the end portion 53a and the end portion 55a and a region arranged between the end portion 53b and the end portion 55b when viewed from the Z direction. .. The ends 53a, 53b, 55a, 55b are, for example, nickel-plated and gold flash-plated.

補強部材59は、配線部材50の他端部に配置されている。補強部材59は、ベース51の主面51b上に配置されている。補強部材59は、接着層(不図示)によって、主面51bに接合(接着)されている。補強部材59は、電気絶縁性を有する矩形板状の部材である。補強部材59は、たとえば、ポリイミド樹脂からなる。 The reinforcing member 59 is arranged at the other end of the wiring member 50. The reinforcing member 59 is arranged on the main surface 51b of the base 51. The reinforcing member 59 is joined (adhered) to the main surface 51b by an adhesive layer (not shown). The reinforcing member 59 is a rectangular plate-shaped member having electrical insulation. The reinforcing member 59 is made of, for example, a polyimide resin.

リード線80は、複数の心線の束81と、束81を被覆する被覆部材82と、を有している。本実施形態では、リード線80は、12本の心線を有している。被覆部材82は、束81の外周を覆っている。被覆部材82は、複数の心線の全体をまとめて覆っている。束81の端部は、被覆部材82から露出し、各導体層53,55の端部53a,55aに接続されている。束81の端部は、導電性接着剤により各端部53a,55aに接続されている。導電性接着剤は、たとえば、はんだなどの熱溶融性金属である。導電性接着剤は、導電性材料としてAu、Cu等を含む導電性ペーストを用いて形成されていてもよい。 The lead wire 80 has a bundle 81 of a plurality of core wires and a covering member 82 that covers the bundle 81. In this embodiment, the lead wire 80 has 12 core wires. The covering member 82 covers the outer circumference of the bundle 81. The covering member 82 collectively covers the entire plurality of core wires. The ends of the bundle 81 are exposed from the covering member 82 and are connected to the ends 53a, 55a of the conductor layers 53, 55. The ends of the bundle 81 are connected to the ends 53a, 55a by a conductive adhesive. The conductive adhesive is, for example, a heat-meltable metal such as solder. The conductive adhesive may be formed by using a conductive paste containing Au, Cu or the like as the conductive material.

振動デバイス100の駆動方法、及び振動デバイス100を備える電子機器では、圧電素子10を振動させることによって音を発生させる。圧電素子10の振動により、音だけでなく、触感を生じさせてもよい。 In the driving method of the vibration device 100 and the electronic device provided with the vibration device 100, sound is generated by vibrating the piezoelectric element 10. The vibration of the piezoelectric element 10 may generate not only sound but also tactile sensation.

以上説明したように、振動デバイス100では、配線部材50は、Z方向から見て、主面11aと重なっている第一領域R1を有している。第一領域R1は、圧電素子10の複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、圧電素子10に接合されている第二領域R2を含んでいる。第二領域R2は、長方形状の第一領域R1のいずれか一つの角部A1寄りに偏って配置されている。言い換えると、Z方向から見て、長さL1は長さL2よりも短く、長さL3は長さL4よりも短い。 As described above, in the vibration device 100, the wiring member 50 has a first region R1 that overlaps with the main surface 11a when viewed from the Z direction. The first region R1 includes a second region R2 bonded to the piezoelectric element 10 so as to integrally cover the plurality of external electrodes 13 and 15 of the piezoelectric element 10. The second region R2 is unevenly arranged near the corner A1 of any one of the rectangular first regions R1. In other words, when viewed from the Z direction, the length L1 is shorter than the length L2, and the length L3 is shorter than the length L4.

すなわち、第一領域R1のうち、第二領域R2以外の領域(以下、周囲領域という)は、Z方向から見て、第二領域R2のY方向の一端側よりも、他端側に多く配置されていると共に、第二領域R2のX方向の一端側よりも、他端側に多く配置されている。このように、振動デバイス100では、周囲領域の配置が第二領域R2の周りで偏っている。これにより、周囲領域の共振点がずれる。この結果、残響を抑制することができる。 That is, in the first region R1, the regions other than the second region R2 (hereinafter referred to as peripheral regions) are arranged more on the other end side of the second region R2 than on one end side in the Y direction when viewed from the Z direction. In addition, more are arranged on the other end side of the second region R2 than on one end side in the X direction. As described above, in the vibration device 100, the arrangement of the peripheral region is biased around the second region R2. As a result, the resonance point in the surrounding region shifts. As a result, reverberation can be suppressed.

配線部材50の第一領域R1は、接合部材70及び接合部材71によって、主面11aに接合されている。このため、第一領域R1は圧電素子10と一緒に振動する。したがって、第一領域R1は、圧電素子10の振動を阻害し難い。これに対し、配線部材50における第一領域R1以外の領域は、圧電素子10の振動を阻害する場合がある。圧電素子10の振動は、主面11aのX方向の両端、つまり短辺11dで最も小さく、主面11aのX方向の中央で最も大きくなる。したがって、配線部材50における第一領域R1以外の領域を、圧電素子10の振動が最も小さくなる短辺11d側に配置することにより、圧電素子10の振動への影響を抑制することができる。 The first region R1 of the wiring member 50 is joined to the main surface 11a by the joining member 70 and the joining member 71. Therefore, the first region R1 vibrates together with the piezoelectric element 10. Therefore, the first region R1 is unlikely to inhibit the vibration of the piezoelectric element 10. On the other hand, the region other than the first region R1 in the wiring member 50 may hinder the vibration of the piezoelectric element 10. The vibration of the piezoelectric element 10 is the smallest at both ends of the main surface 11a in the X direction, that is, the short side 11d, and is the largest at the center of the main surface 11a in the X direction. Therefore, by arranging the region other than the first region R1 in the wiring member 50 on the short side 11d side where the vibration of the piezoelectric element 10 is the smallest, the influence on the vibration of the piezoelectric element 10 can be suppressed.

本実施形態では、Z方向から見て、配線部材50は、主面11aの短辺11dと交差するように、主面11aの長辺11cに沿って延在している。したがって、配線部材50における第一領域R1以外の領域が、圧電素子10の振動が最も小さくなる短辺11d側に配置されている。このため、配線部材50が長辺11cと交差するように、短辺11dに沿って延在している場合に比べて、配線部材50が圧電素子10の振動を阻害することを抑制可能となる。 In the present embodiment, when viewed from the Z direction, the wiring member 50 extends along the long side 11c of the main surface 11a so as to intersect the short side 11d of the main surface 11a. Therefore, the region other than the first region R1 in the wiring member 50 is arranged on the short side 11d side where the vibration of the piezoelectric element 10 is minimized. Therefore, it is possible to suppress the wiring member 50 from inhibiting the vibration of the piezoelectric element 10 as compared with the case where the wiring member 50 extends along the short side 11d so as to intersect the long side 11c. ..

第二領域R2は、複数の外部電極13,15の全体を覆っている。つまり、複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、第二領域R2から露出していない。よって、複数の外部電極13,15が第二領域R2から露出している場合に比べて、短絡の発生を抑制することができる。また、複数の外部電極13,15の全体が覆われているので、配線部材50の剥離を抑制することができる。 The second region R2 covers the entire plurality of external electrodes 13 and 15. That is, the plurality of external electrodes 13 and 15 are not exposed from the second region R2 when viewed from the Z direction. Therefore, the occurrence of a short circuit can be suppressed as compared with the case where the plurality of external electrodes 13 and 15 are exposed from the second region R2. Further, since the entire plurality of external electrodes 13 and 15 are covered, peeling of the wiring member 50 can be suppressed.

Z方向から見て、第二領域R2は、主面11aの中央部に配置されている。これにより、複数の外部電極13,15も主面11aの中央部に配置される。複数の外部電極13,15が主面11aの端部に配置されている場合に比べて、圧電的に活性な領域を偏りなく配置することができる。よって、圧電素子10をバランスよく振動させることができる。 The second region R2 is arranged in the central portion of the main surface 11a when viewed from the Z direction. As a result, the plurality of external electrodes 13 and 15 are also arranged in the central portion of the main surface 11a. Compared with the case where the plurality of external electrodes 13 and 15 are arranged at the end of the main surface 11a, the piezoelectrically active region can be arranged without bias. Therefore, the piezoelectric element 10 can be vibrated in a well-balanced manner.

振動デバイス100は、圧電素子10に接合されている振動部材12を備えている。このため、振動を増大させることができる。 The vibration device 100 includes a vibration member 12 joined to the piezoelectric element 10. Therefore, the vibration can be increased.

本実施形態に係る電子機器は、振動デバイス100を備えるので、残響を抑制することができる。振動デバイス100の駆動方法では、振動デバイス100を駆動するので、残響を抑制することができる。 Since the electronic device according to the present embodiment includes the vibration device 100, reverberation can be suppressed. In the method of driving the vibration device 100, since the vibration device 100 is driven, reverberation can be suppressed.

本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present invention is not necessarily limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.

図9は、変形例に係る振動デバイスの一部拡大断面図である。図9に示されるように、変形例に係る振動デバイス100Aは、ケース3に凹部3dが設けられておらず、振動部材12の主面12bの全面が接着層60により底部3aに接合(接着)されている点で、振動デバイス100と相違している。この場合であっても、第二領域R2が第一領域R1に対して偏って配置されているので、残響を抑制することができる。 FIG. 9 is a partially enlarged cross-sectional view of the vibration device according to the modified example. As shown in FIG. 9, in the vibration device 100A according to the modified example, the case 3 is not provided with the recess 3d, and the entire surface of the main surface 12b of the vibration member 12 is bonded (adhered) to the bottom 3a by the adhesive layer 60. It differs from the vibration device 100 in that it is used. Even in this case, since the second region R2 is biased with respect to the first region R1, the reverberation can be suppressed.

振動デバイス100,100Aでは、Z方向から見て、第一領域R1及び第二領域R2は長方形状を呈しているが、それ以外の形状を呈していてもよい。 In the vibration devices 100 and 100A, the first region R1 and the second region R2 have a rectangular shape when viewed from the Z direction, but may have other shapes.

10…圧電素子、11…圧電素体、11a…主面、11c…長辺、11d…短辺、12…振動部材、13,15…外部電極、50…配線部材、100,100A…振動デバイス、A1…角部、R1…第一領域、R2…第二領域。 10 ... Piezoelectric element, 11 ... Piezoelectric element, 11a ... Main surface, 11c ... Long side, 11d ... Short side, 12 ... Vibration member, 13,15 ... External electrode, 50 ... Wiring member, 100, 100A ... Vibration device, A1 ... corner, R1 ... first region, R2 ... second region.

Claims (8)

長方形状の主面を有している圧電素体と、前記主面上に配置されている外部電極と、を有している圧電素子と、
前記外部電極上に位置し、かつ、前記外部電極と電気的に接続されている配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記主面に直交する直交方向から見て、前記主面と重なっている長方形状の第一領域を有し、
前記第一領域は、前記外部電極を覆うように、前記圧電素子に接合部材によって接合されている第二領域を含み、
前記直交方向から見て、前記第二領域は、前記第一領域の三つの角部よりも残り一つの角部寄りに配置されている、振動デバイス。
A piezoelectric element having a rectangular main surface and an external electrode arranged on the main surface.
A wiring member located on the external electrode and electrically connected to the external electrode is provided.
The wiring member has a rectangular first region that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface.
The first region includes a second region bonded to the piezoelectric element by a bonding member so as to cover the external electrode.
A vibration device in which the second region is arranged closer to the remaining one corner than the three corners of the first region when viewed from the orthogonal direction.
長方形状の主面を有している圧電素体と、前記主面上に配置されている外部電極と、を有している圧電素子と、
前記外部電極上に位置し、かつ、前記外部電極と電気的に接続されている配線部材と、
を備え、
前記配線部材は、前記主面に直交する直交方向から見て、前記主面と重なっている第一領域を有し、
前記第一領域は、前記外部電極を覆うように、前記圧電素子に接合部材によって接合されている第二領域を含み、
前記直交方向から見て、
前記第一領域の前記主面の短辺方向の一端と、前記第二領域の前記短辺方向の一端との間の第一長さは、前記第一領域の前記短辺方向の他端と、前記第二領域の前記短辺方向の他端との間の第二長さと異なり、
前記第一領域の前記主面の長辺方向の一端と、前記第二領域の前記長辺方向の一端との間の第三長さは、前記第一領域の前記長辺方向の他端と、前記第二領域の前記長辺方向の他端との間の第四長さと異なる、振動デバイス。
A piezoelectric element having a rectangular main surface and an external electrode arranged on the main surface.
A wiring member located on the external electrode and electrically connected to the external electrode.
Equipped with
The wiring member has a first region that overlaps the main surface when viewed from an orthogonal direction orthogonal to the main surface.
The first region includes a second region bonded to the piezoelectric element by a bonding member so as to cover the external electrode.
Seen from the orthogonal direction
The first length between one end of the main surface of the first region in the short side direction and one end of the second region in the short side direction is the other end of the first region in the short side direction. , Unlike the second length between the second region and the other end in the short side direction.
The third length between one end of the main surface of the first region in the long side direction and one end of the second region in the long side direction is the other end of the first region in the long side direction. , A vibrating device different from the fourth length between the second region and the other end in the long side direction.
前記直交方向から見て、前記配線部材は、前記主面の短辺と交差するように、前記主面の長辺に沿って延在している、請求項1又は2に記載の振動デバイス。 The vibration device according to claim 1 or 2, wherein the wiring member extends along the long side of the main surface so as to intersect the short side of the main surface when viewed from the orthogonal direction. 前記直交方向から見て、前記第二領域は、前記外部電極の全体を覆っている、請求項1~3のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibration device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second region covers the entire external electrode when viewed from the orthogonal direction. 前記直交方向から見て、前記第二領域は、前記主面の中央部に配置されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibration device according to any one of claims 1 to 4, wherein the second region is arranged in the central portion of the main surface when viewed from the orthogonal direction. 前記圧電素子に接合されている振動部材を更に備える、請求項1~5のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The vibration device according to any one of claims 1 to 5, further comprising a vibration member bonded to the piezoelectric element. 請求項1~6のいずれか一項に記載の振動デバイスを備える、電子機器。 An electronic device comprising the vibration device according to any one of claims 1 to 6. 請求項1~6のいずれか一項に記載の振動デバイスの駆動方法であって、
前記圧電素子を振動させることによって音を発生させる、振動デバイスの駆動方法。
The method for driving a vibration device according to any one of claims 1 to 6.
A method for driving a vibrating device that generates sound by vibrating the piezoelectric element.
JP2018215663A 2018-11-16 2018-11-16 Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices Active JP7087942B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018215663A JP7087942B2 (en) 2018-11-16 2018-11-16 Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices
PCT/JP2019/044167 WO2020100824A1 (en) 2018-11-16 2019-11-11 Vibration device, electronic equipment, and, drive method for vibration device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018215663A JP7087942B2 (en) 2018-11-16 2018-11-16 Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020088006A JP2020088006A (en) 2020-06-04
JP7087942B2 true JP7087942B2 (en) 2022-06-21

Family

ID=70730261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018215663A Active JP7087942B2 (en) 2018-11-16 2018-11-16 Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7087942B2 (en)
WO (1) WO2020100824A1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012175499A (en) 2011-02-23 2012-09-10 Seiko Epson Corp Piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic equipment
WO2013150667A1 (en) 2012-04-05 2013-10-10 Necトーキン株式会社 Piezoelectric element, piezoelectric vibration module, and manufacturing method of these
WO2014091785A1 (en) 2012-12-12 2014-06-19 京セラ株式会社 Audio generator, audio-generation apparatus, and electronic device
WO2014097668A1 (en) 2012-12-17 2014-06-26 京セラ株式会社 Acoustic generator, acoustic genera tion device, and electronic device
JP2017221042A (en) 2016-06-08 2017-12-14 Tdk株式会社 Piezoelectric element

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012175499A (en) 2011-02-23 2012-09-10 Seiko Epson Corp Piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic equipment
WO2013150667A1 (en) 2012-04-05 2013-10-10 Necトーキン株式会社 Piezoelectric element, piezoelectric vibration module, and manufacturing method of these
WO2014091785A1 (en) 2012-12-12 2014-06-19 京セラ株式会社 Audio generator, audio-generation apparatus, and electronic device
WO2014097668A1 (en) 2012-12-17 2014-06-26 京セラ株式会社 Acoustic generator, acoustic genera tion device, and electronic device
JP2017221042A (en) 2016-06-08 2017-12-14 Tdk株式会社 Piezoelectric element

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020100824A1 (en) 2020-05-22
JP2020088006A (en) 2020-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6933054B2 (en) Vibration device
JP6822380B2 (en) Vibration device
JP7087942B2 (en) Vibration devices, electronic devices, and how to drive vibration devices
JP6825404B2 (en) Vibration device
JP7088341B2 (en) Vibration device
JP7259278B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP7234594B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP7354575B2 (en) Piezoelectric elements, vibration devices and electronic equipment
JP7167653B2 (en) Vibration device, connection structure, and method for manufacturing vibration device
JP7294006B2 (en) vibration device
JP7415400B2 (en) Audio devices and speaker equipment
JP7276019B2 (en) vibration device
JP6733641B2 (en) Vibrating device
JP7268477B2 (en) acoustic device
JP7268478B2 (en) acoustic device
JP7003741B2 (en) Vibration devices and piezoelectric elements
JP7200796B2 (en) Piezoelectric element
JP7455533B2 (en) acoustic device
JP6780630B2 (en) Vibration device
JP2021087135A (en) Fixture and vibration device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210921

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20211119

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211221

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220510

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220523

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7087942

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150