JP7255952B2 - イオンビーム源 - Google Patents
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Description
図1は、イオンビーム源1を示す概略図である。図2は、イオンビーム源1のガスアイソレータ32を示す断面図である。
前述のように、イオンビーム源1は、本体としてのハウジング10と、ハウジング10に収容され、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部21と、ハウジング10に収容され、マイクロ波発生部21からのマイクロ波を導入してイオンビームを放出するプラズマ室41と、ハウジング10に収容され、プラズマ室41に供給するガスを貯留するガス貯留部31と、ハウジング10に収容され、ガス貯留部31とプラズマ室41とを連通するガス貯留部31と、を備えている。
ガス貯留部31には、ガス貯留部31とハウジング10とを電気的に絶縁するガスアイソレータ32が設けられている。ガスアイソレータ32は、ガス貯留部31を形成する絶縁性の管部材としてのガス管331の内部に配置されたカーボン部材222により構成される。
また、本体、マイクロ波発生部、プラズマ室、ガス貯留部、ガス流路、カーボン部材、アイソレータ等の構成は、本実施形態におけるハウジング10、マイクロ波発生部21、プラズマ室41、ガス貯留部31、ガス流路33、カーボン部材222、ガスアイソレータ32等の構成に限定されない。
10 ハウジング
21 マイクロ波発生部
31 ガス貯留部
32 ガスアイソレータ(アイソレータ)
33 ガス流路
41 プラズマ室
222 カーボン部材
331 ガス管(管部材)
Claims (7)
- 本体と、
前記本体に収容され、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、
前記本体に収容され、前記マイクロ波発生部からのマイクロ波を導入してイオンビームを放出するプラズマ室と、
前記本体に収容され、前記プラズマ室に供給するガスを貯留するガス貯留部と、
前記本体に収容され、前記ガス貯留部と前記プラズマ室とを連通するガス流路と、を備え、
前記ガス流路には、前記ガス貯留部と前記本体とを電気的に絶縁するアイソレータが設けられ、
前記アイソレータは、前記ガス流路を形成する絶縁性の管部材の内部に配置されたカーボン部材により構成されるイオンビーム源。 - 前記カーボン部材は、多孔質カーボンにより構成される請求項1に記載のイオンビーム源。
- 前記カーボン部材は、前記ガス流路の流路面積の全体にわたって存在するように配置されている請求項1又は請求項2に記載のイオンビーム源。
- 前記カーボン部材は、前記管部材の内部に所定の間隔で3つ以上設けられる請求項1~請求項3のいずれかに記載のイオンビーム源。
- 前記管部材は、フッ化炭素樹脂チューブ又はポリイミドチューブにより構成される請求項1~請求項4のいずれかに記載のイオンビーム源。
- 本体と、
前記本体に収容され、高周波を発生させる高周波発生部と、
前記本体に収容され、前記高周波発生部からの高周波を導入してイオンビームを放出するプラズマ室と、
前記本体に収容され、前記プラズマ室に供給するガスを貯留するガス貯留部と、
前記本体に収容され、前記ガス貯留部と前記プラズマ室とを連通するガス流路と、を備え、
前記ガス流路には、前記ガス貯留部と前記本体とを電気的に絶縁するアイソレータが設けられ、
前記アイソレータは、前記ガス流路を形成する絶縁性の管部材の内部に配置されたカーボン部材により構成されるイオンビーム源。 - 本体と、
前記本体に収容され、電子を発生させる電子発生部と、
前記本体に収容され、前記電子発生部からの電子を導入してイオンビームを放出するプラズマ室と、
前記本体に収容され、前記プラズマ室に供給するガスを貯留するガス貯留部と、
前記本体に収容され、前記ガス貯留部と前記プラズマ室とを連通するガス流路と、を備え、
前記ガス流路には、前記ガス貯留部と前記本体とを電気的に絶縁するアイソレータが設けられ、
前記アイソレータは、前記ガス流路を形成する絶縁性の管部材の内部に配置されたカーボン部材により構成されるイオンビーム源。
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JP2019114993A JP7255952B2 (ja) | 2019-06-20 | 2019-06-20 | イオンビーム源 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (3)
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JP2007324095A (ja) | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Canon Inc | プラズマ処理装置及び方法 |
JP2011510458A (ja) | 2008-01-22 | 2011-03-31 | セムイクウィップ・インコーポレーテッド | イオン源ガス反応器 |
JP2014505322A (ja) | 2010-11-30 | 2014-02-27 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 遠隔ドーパント源を含むイオン注入機システム及び当該イオン注入機システムを備える方法 |
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JPH06223756A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Japan Steel Works Ltd:The | イオン源 |
JPH10275695A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Nissin Electric Co Ltd | プラズマ装置へのガス供給方法及びプラズマ処理装置並びにイオンビーム装置 |
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2019
- 2019-06-20 JP JP2019114993A patent/JP7255952B2/ja active Active
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JP2021002455A (ja) | 2021-01-07 |
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