JP7253447B2 - Component mounting device and its mounting head - Google Patents

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Description

この発明は、部品実装装置およびその実装ヘッドに関し、特に、並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルを備える部品実装装置およびその実装ヘッドに関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus and its mounting head, and more particularly to a component mounting apparatus and its mounting head having a plurality of nozzles arranged side by side for picking up a component and mounting it on a board.

従来、並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルを備える部品実装装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a component mounting apparatus provided with a plurality of nozzles arranged side by side for picking up components and mounting them on a substrate (see, for example, Patent Document 1).

上記特許文献1には、並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数の吸着ノズル(ノズル)を備える表面実装機(部品実装装置)が開示されている。この表面実装機は、複数の吸着ノズルが配置される実装シャフト装置を備えている。 The aforementioned Patent Document 1 discloses a surface mounter (component mounting apparatus) that includes a plurality of suction nozzles (nozzles) that are arranged side by side to suck and mount components on a substrate. This surface mounter has a mounting shaft device on which a plurality of suction nozzles are arranged.

上記特許文献1の実装シャフト装置は、スプラインシャフトと、ノズル保持部材とを含んでいる。スプラインシャフトは、スプラインシャフトの軸線回りの回転動作、および、軸線に沿った直動動作の両方を動作可能に構成されている。ノズル保持部材は、スプラインシャフトの先端に取り付けられている。ノズル保持部材は、複数のノズルのうちの1つを保持している。 The mounting shaft device of Patent Document 1 includes a spline shaft and a nozzle holding member. The spline shaft is configured to be capable of both rotational motion about the axis of the spline shaft and linear motion along the axis. The nozzle holding member is attached to the tip of the spline shaft. The nozzle holding member holds one of the plurality of nozzles.

上記特許文献1の実装シャフト装置は、スプラインシャフトの軸線の延びる方向に対向するシャフト側対向面および保持側対向面を有している。シャフト側対向面は、スプラインシャフトに設けられる。保持側対向面は、ノズル保持部材に設けられている。 The mounting shaft device of Patent Document 1 has a shaft-side facing surface and a holding-side facing surface that face each other in the direction in which the axis of the spline shaft extends. The shaft-side facing surface is provided on the spline shaft. The holding-side facing surface is provided on the nozzle holding member.

上記特許文献1の実装シャフト装置では、スプラインシャフトを軸線の延びる方向の上側の端部まで移動させた際、シャフト側対向面と保持側対向面とが近接する。 In the mounting shaft device of Patent Document 1, when the spline shaft is moved to the upper end in the direction in which the axis extends, the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface come close to each other.

国際公開第2017/081775号WO2017/081775

ここで、上記特許文献1には明記されていないが、シャフト側対向面および保持側対向面の各々には、スプラインシャフトを軸線の延びる方向の上側の端部まで移動させた状態でスプラインシャフトの軸線回りの回転した場合にシャフト側対向面と保持側対向面との接触面に生じる抵抗を低減するために潤滑剤が塗布されていると考えられる。 Here, although not specified in Patent Document 1, each of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface has a spline shaft in a state where the spline shaft is moved to the upper end in the direction in which the axis extends. It is considered that the lubricant is applied in order to reduce the resistance generated on the contact surface between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface when rotating around the axis.

しかしながら、スプラインシャフトは付勢部材により上方に付勢されており、シャフト側対向面および保持側対向面の各々に塗布された潤滑剤は、シャフト側対向面と保持側対向面とに挟まれて圧縮される。これに起因して、潤滑剤は、シャフト側対向面と保持側対向面との間の部分の外側に逃げる。したがって、この状態でスプラインシャフトを軸線回りに回転させると、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されていないので、シャフト側対向面と保持側対向面との間に上記付勢による力に比例して大きな抵抗が生じたままスプラインシャフトが回転するという不都合がある。このため、上記のような構成を有する従来の部品実装装置では、シャフト側対向面と保持側対向面とを近接させた状態でスプラインシャフト(ノズルシャフト)を回転させた際に、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することが望まれている。 However, the spline shaft is urged upward by the urging member, and the lubricant applied to each of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is sandwiched between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Compressed. Due to this, the lubricant escapes to the outside of the portion between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Therefore, when the spline shaft is rotated around the axis in this state, a lubricating film having a sufficient thickness is not formed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. There is an inconvenience that the spline shaft rotates while a large resistance is generated between the spline shaft and the surface in proportion to the force due to the biasing. For this reason, in the conventional component mounting apparatus having the configuration described above, when the spline shaft (nozzle shaft) is rotated in a state in which the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface are brought close to each other, the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is desired to be sufficiently reduced.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することが可能な部品実装装置およびその実装ヘッドを提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and provides a component mounting apparatus and its mounting head capable of sufficiently reducing the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. is to provide

上記目的を達成するために、本願発明者が鋭意検討した結果、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方に潤滑剤を保持する複数の凹部を設けることによって、保持側対向面とシャフト側対向面との間の抵抗を十分に低減できることを見い出した。すなわち、この発明の第1の局面による部品実装装置は、並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルを含む実装ヘッドを備え、実装ヘッドは、複数のノズルの各々の中心軸線回りの周方向に回転するとともに昇降する移動部と、中心軸線の延びる方向と直交するシャフト側対向面を有するノズルシャフトと、移動部に取り付けられて複数のノズルの各々を保持し、中心軸線の延びる方向においてシャフト側対向面に対向する保持側対向面を有するノズル保持部材とを含み、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方には、周方向に沿って断続的に配置されて中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されている。 In order to achieve the above object, the inventors of the present application conducted intensive studies. It was found that the resistance between the opposing surfaces can be sufficiently reduced. That is, a component mounting apparatus according to a first aspect of the present invention comprises a mounting head including a plurality of nozzles arranged side by side for picking up a component and mounting it on a substrate, and the mounting head is located at the center of each of the plurality of nozzles. a nozzle shaft having a moving portion that rotates in the circumferential direction around the axis and moves up and down; a shaft-side facing surface perpendicular to the direction in which the central axis extends; a nozzle holding member having a holding-side facing surface facing the shaft-side facing surface in the direction in which the axis extends, and arranged intermittently along the circumferential direction on at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface. A plurality of recesses are formed to hold the lubricant by recessing in the direction in which the central axis extends.

この発明の第1の局面による部品実装装置では、上記のように、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方に、周方向に沿って断続的に配置されて中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部を形成する。これにより、シャフト側対向面と保持側対向面とに挟まれて圧縮されることにより、潤滑剤がシャフト側対向面と保持側対向面との間の外側に逃げたとしても、ノズルシャフトの周方向への回転の際、複数の凹部に保持された潤滑剤が凹部以外の領域に進入することにより生じる浮上力によって、シャフト側対向面と保持側対向面との間隔が広げられるので、圧縮状態が緩和されることにより逃げた潤滑剤を内側に戻すことができるという知見を得た。その結果、シャフト側対向面と保持側対向面とを近接させた状態でノズルシャフトを回転させた際、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されるので、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することができる。ここで、浮上力は、凹部から凹部以外の領域に潤滑剤が進入する際、進入した潤滑剤が圧縮されて高圧の潤滑剤になり、凹部の縁が高圧の潤滑剤によりテーパ形状に変形すると考えられることにより、より多くの潤滑剤が凹部以外の領域に進入する結果生じる(くさび効果)と考えられる。なお、浮上力は、シャフト側対向面と保持側対向面とを離間するように作用すると考えられる。また、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されることにより、シャフト側対向面と保持側対向面との接触を抑制することができるので、シャフト側対向面と保持側対向面との接触により発生する粉塵の量を減少させることができる。また、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されることにより、シャフト側対向面および保持側対向面の各々の摩耗を減少させることができるので、シャフト側対向面および保持側対向面の表面粗さの増加を抑制することができる。その結果、シャフト側対向面と保持側対向面とを近接させた状態でノズルシャフトを回転させた際、ノズルシャフトが振動することを抑制することができるので、振動に起因してノズルから部品が落下することによる実装品質の低下を抑制することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect of the present invention, as described above, at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is intermittently arranged along the circumferential direction and has depressions extending in the direction of the central axis. , forming a plurality of recesses that retain lubricant. As a result, even if the lubricant escapes to the outside between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface because it is sandwiched and compressed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, the lubricant does not flow around the nozzle shaft. When rotating in the direction, the lubricant held in the plurality of recesses enters the region other than the recesses, and the levitation force causes the distance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface to widen. It was found that the escaped lubricant can be returned to the inside by relaxing the As a result, when the nozzle shaft is rotated with the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface brought close to each other, a sufficiently thick lubricating film is formed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Therefore, the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be sufficiently reduced. Here, the levitation force is defined as, when the lubricant enters from the concave portion to the area other than the concave portion, the lubricant that has entered is compressed into a high-pressure lubricant, and the edge of the concave portion is deformed into a tapered shape by the high-pressure lubricant. It is believed that this is the result of more lubricant entering areas other than the recesses (wedge effect). In addition, it is considered that the levitation force acts to separate the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Further, by forming a sufficiently thick lubricating film between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, contact between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be suppressed. The amount of dust generated by contact between the side facing surface and the holding side facing surface can be reduced. Further, by forming a sufficiently thick lubricating film between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, it is possible to reduce the wear of each of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. It is possible to suppress an increase in the surface roughness of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. As a result, when the nozzle shaft is rotated while the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface are brought close to each other, the vibration of the nozzle shaft can be suppressed. It is possible to suppress deterioration in mounting quality due to dropping.

この発明の第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、凹部は、シャフト側対向面に対して相対的に移動部とともにノズル保持部材の保持側対向面が回転した際に、保持側対向面とシャフト側対向面との間に、凹部に保持した潤滑剤が進入されることにより発生される浮上力によって、保持側対向面をシャフト側対向面に対して相対的に浮上させて離間させるように構成されている。このように構成すれば、シャフト側対向面と保持側対向面とに挟まれることにより、シャフト側対向面と保持側対向面との間の外側に逃げたとしても、ノズルシャフトの周方向への回転の際に生じる浮上力により、シャフト側対向面と保持側対向面とを相対的に浮上させて離間させることによって、シャフト側対向面と保持側対向面との間隔を十分に確保することができる。その結果、シャフト側対向面と保持側対向面との間の外側に逃げた潤滑剤を内側に戻すことができるので、シャフト側対向面と保持側対向面とを近接させた状態でノズルシャフトを回転させた際、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されるので、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect of the present invention, preferably, the recess is configured such that when the holding-side facing surface of the nozzle holding member rotates together with the moving part relative to the shaft-side facing surface , the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface so that the holding-side facing surface is relatively floated and separated from the shaft-side facing surface by the levitation force generated by the entry of the lubricant held in the recess. is configured to With such a configuration, even if the nozzle escapes to the outside between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, the nozzle shaft is prevented from moving in the circumferential direction by being sandwiched between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. A sufficient distance can be ensured between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface by relatively floating and separating the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface by the levitation force generated during rotation. can. As a result, the lubricant that has escaped to the outside between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be returned to the inside. When rotated, a sufficiently thick lubricating film is formed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, so that the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is sufficiently reduced. be able to.

この場合、好ましくは、実装ヘッドは、ノズルシャフトが取り付けられるハウジングと、ノズルシャフトの移動部を上昇方向に付勢し、ノズルシャフトの移動部を上端位置に位置決めする付勢部材とをさらに含み、ノズルシャフトは、ハウジングに固定され、シャフト側対向面が設けられた固定部と、周方向に回転および中心軸線の延びる方向に昇降可能に固定部に配置される移動部とをさらに有し、凹部は、付勢部材によりノズルシャフトの移動部が上端位置に位置した状態において、固定部に設けられたシャフト側対向面に対して相対的に移動部とともにノズル保持部材の保持側対向面が回転した際に、固定部に設けられたシャフト側対向面に対して保持側対向面を浮上させて離間させるように構成されている。このように構成すれば、ハウジングに固定された固定部に対する移動部の相対的な周方向および中心軸線の延びる方向への移動を利用して、凹部により保持側対向面をシャフト側対向面に対して浮上させて離間させることができるので、簡易な構造により保持側対向面をシャフト側対向面に対して浮上させることができる。また、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されることにより、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することができるつまり、ノズルシャフトを上端位置に位置させた状態で回転させたとしても、シャフト側対向面と保持側対向面との間にノズルシャフトを付勢する力に比例した大きな抵抗が生じない。したがって、付勢部材の付勢力を増加させることができる。その結果、移動部の中心軸線の延びる方向への移動をより速くすることができるので、実装作業時間を短縮することができる。 In this case, preferably, the mounting head further includes a housing to which the nozzle shaft is attached, and a biasing member that biases the moving portion of the nozzle shaft in an upward direction to position the moving portion of the nozzle shaft at the upper end position, The nozzle shaft is fixed to the housing and further has a fixed portion provided with a shaft-side facing surface, and a moving portion disposed on the fixed portion so as to rotate in the circumferential direction and move up and down in the direction in which the central axis extends. In the state in which the moving portion of the nozzle shaft is positioned at the upper end position by the biasing member, the holding-side opposing surface of the nozzle holding member rotates together with the moving portion relative to the shaft-side opposing surface provided on the fixed portion. In this case, the holding-side facing surface is lifted and separated from the shaft-side facing surface provided on the fixed portion. With this configuration, by utilizing the relative movement of the moving portion in the circumferential direction and the direction in which the central axis extends with respect to the fixed portion fixed to the housing, the concave portion causes the holding side facing surface to move toward the shaft side facing surface. Therefore, the holding-side facing surface can be floated from the shaft-side facing surface with a simple structure. In addition, since a sufficiently thick lubricating film is formed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be sufficiently reduced. In other words, even if the nozzle shaft is rotated at the upper end position, a large resistance proportional to the force urging the nozzle shaft does not occur between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Therefore, the biasing force of the biasing member can be increased. As a result, the movement of the moving part in the direction in which the center axis extends can be made faster, so that the mounting work time can be shortened.

上記浮上力により保持側対向面をシャフト側対向面に対して相対的に浮上させて離間させるように構成された部品実装装置において、好ましくは、保持側対向面とシャフト側対向面との間の凹部以外の領域には、シャフト側対向面と保持側対向面とを離間させることにより、潤滑剤を含む潤滑膜が形成されている。このように構成すれば、シャフト側対向面と保持側対向面とを離間させることにより、シャフト側対向面と保持側対向面との間の外側に逃げた潤滑剤を充填させて潤滑膜を形成することができるので、ノズルシャフトの回転の際に生じる抵抗を低減することができる。その結果、ノズルシャフトを回転させるための駆動源の発熱の低減を図ることができるとともに、抵抗を低減するために玉軸受けを設ける場合と比較して実装ヘッドの小型化を図り、かつ、同じ駆動源により回転可能なノズルシャフトの数の増加および同じ駆動源によるノズルシャフトの回転の高速化を図ることができる。 In the component mounting apparatus configured to float and separate the holding-side facing surface relative to the shaft-side facing surface by the levitation force, it is preferable that a gap between the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is A lubricating film containing a lubricant is formed in a region other than the recess by separating the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. With this configuration, by separating the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface, the lubricant escaped to the outside between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is filled to form a lubricating film. Therefore, the resistance generated when the nozzle shaft rotates can be reduced. As a result, it is possible to reduce the heat generation of the drive source for rotating the nozzle shaft, and to reduce the size of the mounting head compared to the case where a ball bearing is provided to reduce the resistance, and the same drive. It is possible to increase the number of nozzle shafts rotatable by the source and to speed up the rotation of the nozzle shafts by the same drive source.

この場合、好ましくは、実装ヘッドは、ノズルシャフトを介してノズル保持部材に保持された複数のノズルのうちの所望のノズルを選択的に上下移動させるノズル押圧部材と、所望のノズルを周方向に回転させるとともに、所望のノズル以外の他のノズルも所望のノズルの回転に伴って周方向に回転させる回転機構とをさらに含み、潤滑膜は、他のノズルが保持されたノズル保持部材の保持側対向面と、他のノズルが取り付けられたノズルシャフトのシャフト側対向面との間に形成されている。このように構成すれば、所望のノズル以外の他のノズルにおいて生じるノズルシャフトの回転の際に生じる抵抗を低減することができるので、回転機構の負荷を軽減することができる。 In this case, preferably, the mounting head includes a nozzle pressing member for selectively moving up and down desired nozzles among a plurality of nozzles held by the nozzle holding member via the nozzle shaft, and a nozzle pressing member for moving the desired nozzles in the circumferential direction. and a rotating mechanism for rotating other nozzles than the desired nozzle in the circumferential direction along with the rotation of the desired nozzle, wherein the lubricating film is formed on the holding side of the nozzle holding member holding the other nozzles. It is formed between the facing surface and the shaft-side facing surface of the nozzle shaft to which another nozzle is attached. With this configuration, it is possible to reduce the resistance generated when the nozzle shaft rotates in nozzles other than the desired nozzle, so that the load on the rotation mechanism can be reduced.

上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方に形成された凹部は、中心軸線の延びる方向に沿って延びる中心線に対して線対称な形状を有している。このように構成すれば、ノズルシャフトのいずれの方向の回転においても同様の浮上力を発生させることができるので、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を安定して十分に低減することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the concave portion formed in at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is line-symmetrical with respect to the center line extending along the direction in which the center axis extends. have a shape. With this configuration, the same levitation force can be generated in any direction of rotation of the nozzle shaft, so that the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be stably and sufficiently reduced. can do.

上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、凹部は、半球形状に形成され、周方向に間隔を隔てて周状に配置された複数の半球形状部を有し、複数の半球形状部は、中心軸線の延びる方向から視て中心軸線の延びる方向に直交する径方向に間隔を隔てて放射状にも配置されている。このように構成すれば、複数の半球形状部が周状および放射状に全体にわたって分散して形成されているので、浮上力の偏りを抑制することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the concave portion is formed in a hemispherical shape and has a plurality of hemispherical portions circumferentially arranged at intervals in the circumferential direction, and the plurality of hemispherical portions are also radially arranged at intervals in a radial direction orthogonal to the direction in which the central axis extends when viewed from the direction in which the central axis extends. With this configuration, the plurality of hemispherical portions are circumferentially and radially distributed over the entire surface, so that uneven lifting force can be suppressed.

この場合、好ましくは、複数の半球形状部の各々の直径は、径方向の外側に向かうにしたがって大きくなるように形成されている。このように構成すれば、相対的に回転速度が速いノズルシャフトの外側端部ほど半球形状部以外の領域に半球形状部内の潤滑剤が多く進入しやすく、より多量の潤滑剤が必要となる領域ほど保持する潤滑剤の量を大きくすることができるので、複数の半球形状部に保持されている潤滑剤を保持側対向面とシャフト側対向面との間の半球形状部以外の領域全体に確実に行き渡らせることができる。 In this case, preferably, the diameter of each of the plurality of hemispherical portions is formed so as to increase radially outward. With this configuration, the lubricant in the hemispherical portion tends to enter the area other than the hemispherical portion in a larger amount at the outer end of the nozzle shaft where the rotation speed is relatively high, and a larger amount of lubricant is required in the area. Since the amount of lubricant retained can be increased as much as can be distributed to

上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、凹部は、周方向に間隔を隔てて複数配置され、複数の凹部は、周方向に間隔を隔てて配置された複数の溝部を有し、複数の溝部は、中心軸線の延びる方向から視て、複数の溝部の各々が中心軸線の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置されている。このように構成すれば、複数の溝部が周方向に間隔を隔てて形成され、かつ、径方向にも延びていることによって、全体にわたって配置された状態になるので、浮上力の偏りを抑制することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, a plurality of recesses are arranged at intervals in the circumferential direction, the plurality of recesses have a plurality of grooves arranged at intervals in the circumferential direction, The plurality of grooves are radially arranged by each extending in a radial direction orthogonal to the direction in which the central axis extends when viewed from the direction in which the central axis extends. With this configuration, the plurality of grooves are formed at intervals in the circumferential direction and also extend in the radial direction. be able to.

この場合、好ましくは、複数の溝部の各々の周方向の幅は、径方向の外側に向かうにしたがって大きく形成されている。このように構成すれば、相対的に回転速度が速いノズルシャフトの外側端部ほど溝部以外の領域に溝部内の潤滑剤が多く進入しやすく、より多量の潤滑剤が必要となる領域ほど保持する潤滑剤の量を大きくすることができるので、複数の溝部に保持されている潤滑剤を保持側対向面とシャフト側対向面との間の溝部以外の領域全体に確実に行き渡らせることができる。 In this case, preferably, the width of each of the plurality of grooves in the circumferential direction increases toward the outer side in the radial direction. With this configuration, more lubricant in the grooves is likely to enter areas other than the grooves at the outer end of the nozzle shaft where the rotational speed is relatively high, and the areas requiring a larger amount of lubricant are retained. Since the amount of lubricant can be increased, the lubricant held in the plurality of grooves can be spread over the entire region other than the grooves between the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface.

上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方には、周方向に沿って延びて複数の凹部同士を互いに接続し、中心軸線の延びる方向に向かって窪む接続溝が形成され、中心軸線の延びる方向において、凹部の深さは、接続溝の深さよりも大きい。このように構成すれば、接続溝を凹部間における潤滑剤の経路として機能させることができるので、接続溝により複数の凹部に潤滑剤を行き渡らせやすくすることができる。その結果、複数の凹部に保持される潤滑剤を略均一にすることができるので、保持側対向面とシャフト側対向面との間の凹部以外の領域に略均一に潤滑剤を行き渡らせやすくすることができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface has a plurality of recesses extending along the circumferential direction and connecting the plurality of recesses to each other, and the direction in which the central axis extends. A connection groove is formed that is recessed toward the center axis, and the depth of the recess is greater than the depth of the connection groove in the direction in which the central axis extends. With this configuration, the connecting groove can function as a path for the lubricant between the recesses, so that the lubricant can be easily distributed to the plurality of recesses by the connecting groove. As a result, the lubricant held in the plurality of recesses can be made substantially uniform, so that the lubricant can be spread substantially uniformly over the regions other than the recesses between the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface. be able to.

この発明の第2の局面による実装ヘッドは、並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルと、複数のノズルの各々の中心軸線回りの周方向に回転するとともに昇降する移動部と、中心軸線の延びる方向と直交するシャフト側対向面を有するノズルシャフトと、移動部に取り付けられて複数のノズルの各々を保持し、中心軸線の延びる方向においてシャフト側対向面に対向する保持側対向面を有するノズル保持部材とを備え、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方には、周方向に沿って断続的に配置されて中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されている。 A mounting head according to a second aspect of the present invention comprises a plurality of nozzles arranged side by side for picking up a component and mounting it on a substrate, and the plurality of nozzles rotating in the circumferential direction around the central axis and moving up and down. and a shaft-side facing surface perpendicular to the direction in which the central axis extends; and a nozzle shaft attached to the moving portion to hold each of the plurality of nozzles, facing the shaft-side facing surface in the direction in which the central axis extends. and a nozzle holding member having a holding-side facing surface, at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface being intermittently arranged along the circumferential direction and recessed in the direction in which the central axis extends to receive the lubricant. A plurality of holding recesses are formed.

この発明の第2の局面による実装ヘッドでは、上記のように、保持側対向面およびシャフト側対向面の少なくとも一方に、周方向に沿って断続的に配置されて中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部を形成する。これにより、シャフト側対向面と保持側対向面とに挟まれることにより、シャフト側対向面および保持側対向面の少なくともいずれかに塗布した潤滑剤がシャフト側対向面および保持側対向面の各々の外側に逃げたとしても、ノズルシャフトの周方向への回転の際、複数の凹部に保持された潤滑剤が凹部以外の領域に進入することにより生じる浮上力によって、シャフト側対向面と保持側対向面との間隔が広げられるので、逃げた潤滑剤を内側に戻すことができるという知見を得た。その結果、シャフト側対向面と保持側対向面とを近接させた状態でノズルシャフトを回転させた際、シャフト側対向面と保持側対向面との間に十分な厚さの潤滑膜が形成されるので、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することが可能な実装ヘッドを得ることができる。 In the mounting head according to the second aspect of the present invention, as described above, at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is intermittently arranged along the circumferential direction and recessed in the direction in which the central axis extends, A plurality of recesses are formed to hold the lubricant. As a result, the lubricant applied to at least one of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is applied to each of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface by being sandwiched between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Even if the lubricant escapes to the outside, when the nozzle shaft rotates in the circumferential direction, the lubricant held in the plurality of recesses enters the region other than the recesses, and the levitation force generated causes the lubricant to move between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. We have learned that the escaped lubricant can be returned to the inside because the space between the surfaces is widened. As a result, when the nozzle shaft is rotated with the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface brought close to each other, a sufficiently thick lubricating film is formed between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. Therefore, it is possible to obtain a mounting head capable of sufficiently reducing the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface.

本発明によれば、上記のように、シャフト側対向面と保持側対向面との間の抵抗を十分に低減することができる。 According to the present invention, as described above, the resistance between the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface can be sufficiently reduced.

第1および第2実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。1 is a plan view showing an outline of a component mounting apparatus according to first and second embodiments; FIG. 第1および第2実施形態による部品実装装置の実装ヘッドを示した斜視図である。1 is a perspective view showing a mounting head of a component mounting apparatus according to first and second embodiments; FIG. 第1実施形態による部品実装装置の実装ヘッドを示した正面図である。It is a front view showing a mounting head of the component mounting apparatus according to the first embodiment. 第1実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトおよびノズル保持部材を示した正面図である。4 is a front view showing the nozzle shaft and nozzle holding member of the mounting head according to the first embodiment; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドにおいてノズルシャフトを下端位置に配置した状態を示した拡大断面図である。4 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle shaft is arranged at the lower end position in the mounting head according to the first embodiment; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを上端位置に配置した状態を示した拡大断面図である。4 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle shaft of the mounting head according to the first embodiment is arranged at the upper end position; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを上端位置に配置するとともに、ノズルシャフトを自転させた状態を示した拡大断面図である。4 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle shaft of the mounting head according to the first embodiment is arranged at the upper end position and the nozzle shaft is rotated; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドのノズル保持部材を示した斜視図である。4 is a perspective view showing a nozzle holding member of the mounting head according to the first embodiment; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドのノズル保持部材を示した平面図である。4 is a plan view showing a nozzle holding member of the mounting head according to the first embodiment; FIG. 第1実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを上端位置に配置した状態のシャフト側対向面および保持側対向面を示した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface of the mounting head according to the first embodiment when the nozzle shaft is arranged at the upper end position; 第1実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを上端位置に配置するとともにノズルシャフトを自転させた状態のシャフト側対向面および保持側対向面を示した断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface of the mounting head according to the first embodiment, with the nozzle shaft arranged at the upper end position and the nozzle shaft rotated. 図11のK部分の拡大図である。11. It is an enlarged view of the K part of FIG. 第1実施形態の第1変形例による実装ヘッドの保持部材を示した斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a holding member of the mounting head according to the first modified example of the first embodiment; 第1実施形態の第2変形例による実装ヘッドのノズル保持部材を示した斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a nozzle holding member of a mounting head according to a second modified example of the first embodiment; 第2実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを下端位置に配置した状態を示した拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle shaft of the mounting head according to the second embodiment is arranged at the lower end position; 第2実施形態による実装ヘッドのノズルシャフトを上端位置に配置するとともに、ノズルシャフトを自転させた状態を示した拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle shaft of the mounting head according to the second embodiment is arranged at the upper end position and the nozzle shaft is rotated. 第2実施形態による実装ヘッドの凹部が形成された固定部を示した斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a fixing portion having a concave portion of the mounting head according to the second embodiment; 第2実施形態の変形例による実装ヘッドの凹部が形成された固定部を示した斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a fixing portion having a concave portion of a mounting head according to a modified example of the second embodiment; 図19(A)~(D)は、それぞれ、第1実施形態の第3変形例による実装ヘッドにおいて、凹部の数を1、2、4および8個にした保持側対向面を示した平面図である。FIGS. 19A to 19D are plan views showing the holding-side facing surface with 1, 2, 4, and 8 recesses in the mounting head according to the third modification of the first embodiment, respectively. is. 図20(A)および図20(B)は、それぞれ、第1実施形態の第4変形例による実装ヘッドにおいて、凹部の径方向の大きさを外側に向かうにしたがって大きくした保持側対向面を示した平面図である。FIGS. 20(A) and 20(B) each show a holding-side facing surface in which the size of the concave portion in the radial direction increases toward the outside in the mounting head according to the fourth modification of the first embodiment. is a plan view. 図21(A)は第1実施形態による第5変形例の実装ヘッドの保持側対向面を示した平面図である。図21(B)は第1実施形態による第5変形例の実装ヘッドの保持側対向面におけるR2方向に沿った断面図である。FIG. 21A is a plan view showing the holding side facing surface of the mounting head of the fifth modification according to the first embodiment. FIG. 21B is a cross-sectional view along the R2 direction of the holding-side facing surface of the mounting head of the fifth modification according to the first embodiment. 図22(A)~(D)は、それぞれ、第1実施形態の第6変形例による実装ヘッドにおいて、凹部の数を1、2、4および8個にした保持側対向面を示した平面図である。FIGS. 22A to 22D are plan views showing the holding-side opposing surface of the mounting head according to the sixth modification of the first embodiment, with the number of recesses being 1, 2, 4, and 8, respectively. is. 図23(A)~(D)は、それぞれ、第1実施形態の第7変形例による実装ヘッドにおいて、径方向に5個並べた凹部の組を周方向に1、2、4および8組配置した保持側対向面を示した平面図である。FIGS. 23A to 23D respectively show 1, 2, 4, and 8 sets of recesses arranged in the radial direction in the mounting head according to the seventh modification of the first embodiment. FIG. 10 is a plan view showing the holding-side facing surface. 図24(A)および図24(B)は、それぞれ、第1実施形態の第8変形例による実装ヘッドにおいて、凹部の径方向の大きさを外側に向かうにしたがって大きくし、径方向に5個並べた凹部の組を周方向に4および8組配置したシャフト側対向面を示した平面図である。24(A) and 24(B) respectively show, in the mounting head according to the eighth modification of the first embodiment, the size of the concave portion in the radial direction increases toward the outside, and there are five concave portions in the radial direction. FIG. 4 is a plan view showing a shaft-side facing surface in which four and eight groups of recesses are arranged in the circumferential direction;

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。 Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

[第1実施形態]
図1~図12を参照して、第1実施形態による部品実装装置100の構成について説明する。
[First embodiment]
The configuration of a component mounting apparatus 100 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 12. FIG.

図1に示すように、部品実装装置100は、IC、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品Eをプリント基板などの基板Bに実装するように構成されている。なお、電子部品Eは、特許請求の範囲の「部品」の一例である。 As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 100 is configured to mount electronic components E such as ICs, transistors, capacitors and resistors on a substrate B such as a printed circuit board. Note that the electronic component E is an example of the "component" in the scope of claims.

ここで、部品実装装置100において、基板Bを搬送する搬送方向をX1方向とし、基板Bを搬送する搬送方向の逆方向をX2方向とし、X1方向およびX2方向を合わせた方向をX方向とする。また、水平方向のうちのX方向に直交する方向をY方向とし、Y方向の一方をY1方向とし、Y方向の他方をY2方向とする。また、X方向およびY方向に直交する上下方向をZ方向(上下方向)とし、Z方向の一方をZ1方向(上方向)とし、Z方向の他方をZ2方向(下方向)とする。なお、Z方向は、特許請求の範囲の「中心軸線の延びる方向」の一例である。 Here, in the component mounting apparatus 100, the direction in which the board B is transported is defined as the X1 direction, the direction opposite to the direction in which the board B is transported is defined as the X2 direction, and the combined direction of the X1 direction and the X2 direction is defined as the X direction. . Also, of the horizontal directions, the direction orthogonal to the X direction is the Y direction, one of the Y directions is the Y1 direction, and the other Y direction is the Y2 direction. The vertical direction perpendicular to the X and Y directions is defined as the Z direction (vertical direction), one of the Z directions is defined as the Z1 direction (upward), and the other Z direction is defined as the Z2 direction (downward). Note that the Z direction is an example of "the direction in which the central axis extends" in the scope of claims.

部品実装装置100は、基台1と、フィーダ配置部2と、基板搬送部3と、支持部4と、レール部5と、実装ヘッド6と、部品認識カメラ7と、基板認識カメラ8と、制御部9とを備えている。 The component mounting apparatus 100 includes a base 1, a feeder placement section 2, a board transfer section 3, a support section 4, a rail section 5, a mounting head 6, a component recognition camera 7, a board recognition camera 8, and a control unit 9 .

(基台)
基台1は、部品実装装置100において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台1上には、構成要素として、基板搬送部3、レール部5、および、部品認識カメラ7が設けられている。また、基台1内には、制御部9が設けられている。また、基台1には、Y方向の両側(Y1方向側およびY2方向側)に、複数のテープフィーダ21を配置可能なフィーダ配置部2が設けられている。
(base)
The base 1 is a base on which components are arranged in the component mounting apparatus 100 . A board transfer section 3, a rail section 5, and a component recognition camera 7 are provided on the base 1 as constituent elements. Further, a control unit 9 is provided inside the base 1 . Further, the base 1 is provided with feeder placement portions 2 on which a plurality of tape feeders 21 can be placed on both sides in the Y direction (the Y1 direction side and the Y2 direction side).

(テープフィーダ)
テープフィーダ21は、基板Bに実装される電子部品Eを供給する装置である。テープフィーダ21は、複数の電子部品Eを所定の間隔を隔てて保持したテープを巻き回したリール(図示せず)を保持している。また、テープフィーダ21は、実装ヘッド6による電子部品Eの取り出しのための部品保持動作に応じて、リールを回転させてテープを送り出すように構成されている。テープフィーダ21は、テープを送り出すことにより、作業位置側の先端部から電子部品Eを供給するように構成されている。
(tape feeder)
The tape feeder 21 is a device that supplies electronic components E to be mounted on the substrate B. As shown in FIG. The tape feeder 21 holds a reel (not shown) wound with a tape holding a plurality of electronic components E at predetermined intervals. Further, the tape feeder 21 is configured to rotate the reel and feed the tape in accordance with the component holding operation for taking out the electronic component E by the mounting head 6 . The tape feeder 21 is configured to feed the electronic component E from the leading end on the working position side by feeding the tape.

(基板搬送部)
基板搬送部3は、部品実装装置100の外部から基板Bを搬入し、基板Bを搬送方向(X1方向)に搬送するように構成されている。基板搬送部3は、一対のコンベア部31と、一対のコンベア部31を回転駆動させるための駆動モータ(図示せず)とを含んでいる。一対のコンベア部31の各々は、プーリ(図示せず)と、プーリに掛け回された輪状の搬送ベルトとを有している。制御部9は、駆動モータを制御することにより、一対のコンベア部31上に載置された基板Bの搬送速度を制御するように構成されている。
(substrate transfer unit)
The board transfer unit 3 is configured to load the board B from outside the component mounting apparatus 100 and transfer the board B in the transfer direction (X1 direction). The substrate transfer section 3 includes a pair of conveyor sections 31 and a drive motor (not shown) for rotating the pair of conveyor sections 31 . Each of the pair of conveyor units 31 has a pulley (not shown) and a loop-shaped conveying belt that is looped around the pulley. The control unit 9 is configured to control the transport speed of the substrate B placed on the pair of conveyor units 31 by controlling the drive motor.

(支持部)
支持部4は、実装ヘッド6をX方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、支持部4は、X方向に延びるボールねじ軸41と、ボールねじ軸41を回転させるX軸モータ42とを含んでいる。実装ヘッド6には、支持部4のボールねじ軸41と係合するボールナット(図示せず)が設けられている。実装ヘッド6は、X軸モータ42によりボールねじ軸41が回転されることにより、ボールねじ軸41と係合するボールナットとともに、X方向に移動可能に構成されている。
(support part)
The support portion 4 is configured to support the mounting head 6 so as to be movable in the X direction. Specifically, the support portion 4 includes a ball screw shaft 41 extending in the X direction and an X-axis motor 42 that rotates the ball screw shaft 41 . The mounting head 6 is provided with a ball nut (not shown) that engages with the ball screw shaft 41 of the support portion 4 . When the ball screw shaft 41 is rotated by the X-axis motor 42 , the mounting head 6 is configured to be movable in the X direction together with the ball nut that engages with the ball screw shaft 41 .

(レール部)
一対のレール部5は、支持部4をY方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、レール部5は、Y方向に延びるボールねじ軸51と、ボールねじ軸51を回転させるY軸モータ52と、一対のガイドレール53とを含んでいる。支持部4には、レール部5のボールねじ軸51と係合するボールナット(図示せず)が設けられている。一対のガイドレール53は、Y方向に延びている。支持部4は、Y軸モータ52によりボールねじ軸51が回転されることにより、ボールねじ軸51と係合するボールナットとともに、一対のガイドレール53に沿ってY方向に移動可能に構成されている。
(Rail part)
The pair of rail portions 5 are configured to support the support portion 4 so as to be movable in the Y direction. Specifically, the rail portion 5 includes a ball screw shaft 51 extending in the Y direction, a Y-axis motor 52 that rotates the ball screw shaft 51 , and a pair of guide rails 53 . The support portion 4 is provided with a ball nut (not shown) that engages with the ball screw shaft 51 of the rail portion 5 . A pair of guide rails 53 extends in the Y direction. When the ball screw shaft 51 is rotated by the Y-axis motor 52 , the support portion 4 is configured to be movable in the Y direction along the pair of guide rails 53 together with the ball nut engaged with the ball screw shaft 51 . there is

このような構成により、実装ヘッド6は、基台1上を水平面内で(X方向およびY方向に)移動可能に構成されている。 With such a configuration, the mounting head 6 is configured to be movable on the base 1 in the horizontal plane (in the X direction and the Y direction).

(実装ヘッド)
実装ヘッド6は、図2に示すように、部品実装用のユニットであり、作業位置において固定された基板Bに電子部品Eを実装するように構成されている。具体的には、実装ヘッド6は、複数のノズル6aと、ノズル押圧部材6bと、第1付勢部材6cと、周方向移動機構6dと、昇降機構6eと、自転機構6fと、公転機構6gと、ハウジング6hと、第2付勢部材6iと、ノズルシャフト6jと、ノズル保持部材6kとを含んでいる。なお、第2付勢部材6iは、特許請求の範囲の「付勢部材」の一例である。また、自転機構6fは、特許請求の範囲の「回転機構」の一例である。
(mounting head)
The mounting head 6, as shown in FIG. 2, is a component mounting unit and is configured to mount an electronic component E on a substrate B fixed at a working position. Specifically, the mounting head 6 includes a plurality of nozzles 6a, a nozzle pressing member 6b, a first biasing member 6c, a circumferential moving mechanism 6d, an elevating mechanism 6e, a rotating mechanism 6f, and a revolving mechanism 6g. , a housing 6h, a second biasing member 6i, a nozzle shaft 6j, and a nozzle holding member 6k. The second biasing member 6i is an example of a "biasing member" in the scope of claims. Also, the rotation mechanism 6f is an example of a "rotation mechanism" in the scope of claims.

複数のノズル6aは、円周状に並んで配置され、電子部品Eを吸着して基板Bに実装するように構成されている。複数のノズル6aの各々は、先細り形状となっている。複数のノズル6aの各々は、圧力発生装置(図示せず)に接続されており、圧力発生装置により生じる負圧によって、電子部品Eを保持(吸着)可能に構成されている。ここで、電子部品Eを保持(吸着)する際、複数のノズル6aのうちの所望のノズル6aが、ノズルシャフト5jを下端位置Dw(図4参照)に配置することにより、吸着位置に配置される。また、複数のノズル6aの各々は、圧力発生装置による負圧を正圧に切り換えることによって、電子部品Eを基板Bに実装可能に構成されている。電子部品Eを実装した後、所望のノズル6aは、第2付勢部材6iによりノズルシャフト5jを上端位置Up(図3参照)に配置することによって、上昇位置に配置される。 The plurality of nozzles 6a are arranged in a circle and configured to pick up the electronic component E and mount it on the substrate B. As shown in FIG. Each of the plurality of nozzles 6a has a tapered shape. Each of the plurality of nozzles 6a is connected to a pressure generator (not shown), and configured to hold (adsorb) the electronic component E by negative pressure generated by the pressure generator. Here, when holding (sucking) the electronic component E, a desired nozzle 6a out of the plurality of nozzles 6a is arranged at the suction position by arranging the nozzle shaft 5j at the lower end position Dw (see FIG. 4). be. Further, each of the plurality of nozzles 6a is configured so that the electronic component E can be mounted on the substrate B by switching the negative pressure generated by the pressure generator to positive pressure. After mounting the electronic component E, the desired nozzle 6a is placed in the raised position by placing the nozzle shaft 5j in the upper end position Up (see FIG. 3) by means of the second biasing member 6i.

複数のノズル6aは、回転軸線C1回りに等角度間隔(約30度間隔)において12本配置されている。複数のノズル6aの各々は、ノズル保持部材6kに保持されている。 Twelve nozzles 6a are arranged at equal angular intervals (approximately 30 degree intervals) around the rotation axis C1. Each of the plurality of nozzles 6a is held by a nozzle holding member 6k.

図3に示すように、ノズル押圧部材6bは、ノズルシャフト6jを介してノズル保持部材6kに保持された複数のノズル6aのうち所望のノズル6aを選択的に上下移動させるように構成されている。 As shown in FIG. 3, the nozzle pressing member 6b is configured to selectively vertically move a desired nozzle 6a out of a plurality of nozzles 6a held by the nozzle holding member 6k via a nozzle shaft 6j. .

具体的には、ノズル押圧部材6bは、回転軸線C1回りを回転可能に構成されている。ノズル押圧部材6bは、周方向移動機構6dに接続されている。ノズル押圧部材6bは、周方向移動機構6dの駆動力により、回転軸線C1回りに回転可能である。また、ノズル押圧部材6bは、回転軸線C1の延びる方向(Z方向)に移動可能に構成されている。具体的には、ノズル押圧部材6bは、昇降機構6eに接続されている。ノズル押圧部材6bは、昇降機構6eの駆動力により、回転軸線C1の延びる方向に移動可能である。 Specifically, the nozzle pressing member 6b is configured to be rotatable around the rotation axis C1. The nozzle pressing member 6b is connected to the circumferential movement mechanism 6d. The nozzle pressing member 6b is rotatable around the rotation axis C1 by the driving force of the circumferential movement mechanism 6d. Further, the nozzle pressing member 6b is configured to be movable in the direction (Z direction) in which the rotation axis C1 extends. Specifically, the nozzle pressing member 6b is connected to an elevating mechanism 6e. The nozzle pressing member 6b is movable in the direction in which the rotation axis C1 extends by the driving force of the lifting mechanism 6e.

第1付勢部材6cは、ノズル押圧部材6bをZ1方向(上方向)に付勢するように構成されている。具体的には、第1付勢部材6cは、コイルスプリングにより形成されている。第1付勢部材6cは、ノズル押圧部材6bをZ1方向(上方向)に付勢することによりノズル押圧部材6bのZ方向における上端位置に位置決めしている。 The first biasing member 6c is configured to bias the nozzle pressing member 6b in the Z1 direction (upward). Specifically, the first biasing member 6c is formed of a coil spring. The first biasing member 6c biases the nozzle pressing member 6b in the Z1 direction (upward) to position it at the upper end position in the Z direction of the nozzle pressing member 6b.

このように、ノズル押圧部材6bは、複数のノズル6aのうちの所望のノズル6aの位置まで周方向移動機構6dにより移動し、昇降機構6eにより下降することにより、複数のノズル6aのうちの所望のノズル6aを選択的に下降させる。ノズル押圧部材6bは、昇降機構6eにより下降した後、第1付勢部材6cにより上端位置Upに移動することに伴って、所望のノズル6aを選択的に上昇させる。 In this manner, the nozzle pressing member 6b is moved by the circumferential movement mechanism 6d to the position of the desired nozzle 6a out of the plurality of nozzles 6a, and is lowered by the lifting mechanism 6e to move the desired nozzle out of the plurality of nozzles 6a. of the nozzle 6a is selectively lowered. After being lowered by the lifting mechanism 6e, the nozzle pressing member 6b is moved to the upper end position Up by the first biasing member 6c, thereby selectively raising the desired nozzles 6a.

周方向移動機構6dは、ノズル押圧部材6bを回転軸線C1回りの回転方向であるR1方向に沿って移動させるように構成されている。具体的には、周方向移動機構6dは、回転用モータ60、回転用駆動ギア61、回転用従動ギア62および回転軸63を有している。回転用駆動ギア61、回転用従動ギア62および回転軸63の各々は、Z方向に延びる中心軸線回りに回転する。回転用駆動ギア61と回転用従動ギア62とは、機械的に噛み合って接続されている。回転軸63は、回転用従動ギア62に固定されている。回転軸63は、回転用モータ60の駆動に伴って、回転用駆動ギア61および回転用従動ギア62が回転することにより、回転軸線C1回りに回転する。 The circumferential movement mechanism 6d is configured to move the nozzle pressing member 6b along the R1 direction, which is the direction of rotation about the rotation axis C1. Specifically, the circumferential movement mechanism 6 d has a rotating motor 60 , a rotating driving gear 61 , a rotating driven gear 62 and a rotating shaft 63 . Each of the driving gear 61 for rotation, the driven gear 62 for rotation, and the rotating shaft 63 rotates around a central axis extending in the Z direction. The driving gear 61 for rotation and the driven gear 62 for rotation are mechanically meshed and connected. The rotating shaft 63 is fixed to the driven gear 62 for rotation. The rotation shaft 63 rotates around the rotation axis C1 as the rotation drive gear 61 and the rotation driven gear 62 rotate as the rotation motor 60 is driven.

昇降機構6eは、ノズル押圧部材6bをZ方向に移動させるように構成されている。具体的には、昇降機構6eは、昇降用モータ64と、昇降用ボールねじ65と、昇降部66とを有している。昇降用ボールねじ65は、昇降用モータ64からの駆動力により、Z方向に延びる中心軸線回りに回転する。昇降部66は、ノズル押圧部材6bをZ1方向側から押圧するように設けられている。昇降部66は、昇降用ボールねじ65と一体的に回転することなく、Z方向に移動するように構成されている。昇降部66は、昇降用モータ64の駆動に伴って、昇降用ボールねじ65が回転して昇降部66がZ方向に移動する。 The lifting mechanism 6e is configured to move the nozzle pressing member 6b in the Z direction. Specifically, the elevating mechanism 6 e includes an elevating motor 64 , an elevating ball screw 65 , and an elevating section 66 . The lifting ball screw 65 rotates around the center axis extending in the Z direction by the driving force from the lifting motor 64 . The lifting section 66 is provided so as to press the nozzle pressing member 6b from the Z1 direction side. The lifting section 66 is configured to move in the Z direction without rotating integrally with the lifting ball screw 65 . As the elevation motor 64 is driven, the elevation ball screw 65 rotates and the elevation section 66 moves in the Z direction.

自転機構6fは、所望のノズル6aを中心軸線C2回りのR2方向に回転させるとともに、所望のノズル6a以外も所望のノズル6aの回転に伴ってR2方向に回転させるように構成されている。これにより、所望のノズル6aに吸着された電子部品Eの姿勢が修正される。 The rotation mechanism 6f is configured to rotate the desired nozzle 6a in the R2 direction around the central axis C2, and to rotate other nozzles in the R2 direction along with the rotation of the desired nozzle 6a. As a result, the posture of the electronic component E sucked by the desired nozzle 6a is corrected.

自転機構6fは、自転用モータ160と、自転用駆動ギア161と、第1自転用従動ギア162と、自転用シャフト163と、第2自転用従動ギア164と、第3自転用従動ギア165とを有している。 The rotation mechanism 6f includes a rotation motor 160, a rotation drive gear 161, a first rotation driven gear 162, a rotation shaft 163, a second rotation driven gear 164, and a third rotation driven gear 165. have.

自転用駆動ギア161、第1自転用従動ギア162、第2自転用従動ギア164、自転用シャフト163および第3自転用従動ギア165の各々は、Z方向に延びる中心軸線回りに回転する。第1自転用従動ギア162および第2自転用従動ギア164の各々は、自転用シャフト163に取り付けられている。第3自転用従動ギア165は、ノズルシャフト6jに取り付けられている。自転用駆動ギア161と第1自転用従動ギア162とは、機械的に噛み合っている。自転用シャフト163は、第1自転用従動ギア162と第2自転用従動ギア164とを接続している。第2自転用従動ギア164と第3自転用従動ギア165とは、機械的に噛み合っている。 Each of the rotation driving gear 161, the first rotation driven gear 162, the second rotation driven gear 164, the rotation shaft 163, and the third rotation driven gear 165 rotates around a central axis extending in the Z direction. Each of the first rotation driven gear 162 and the second rotation driven gear 164 is attached to the rotation shaft 163 . The third rotation driven gear 165 is attached to the nozzle shaft 6j. The rotation drive gear 161 and the first rotation driven gear 162 are mechanically meshed. The rotation shaft 163 connects the first rotation driven gear 162 and the second rotation driven gear 164 . The second rotation driven gear 164 and the third rotation driven gear 165 are mechanically meshed.

ノズルシャフト6jは、自転用モータ160の駆動に伴って、自転用駆動ギア161、第1自転用従動ギア162、第2自転用従動ギア164、自転用シャフト163および第3自転用従動ギア165が回転することにより、中心軸線C2回りのR2方向に自転する。このように、複数のノズルシャフト6jの全ては、同期して自転する。また、複数のノズル6aの全ても、同期して自転する。 In the nozzle shaft 6j, as the rotation motor 160 is driven, the rotation drive gear 161, the first rotation driven gear 162, the second rotation driven gear 164, the rotation shaft 163, and the third rotation driven gear 165 are rotated. By rotating, it rotates in the R2 direction around the center axis C2. In this way, all of the multiple nozzle shafts 6j rotate synchronously. Also, all of the plurality of nozzles 6a rotate synchronously.

公転機構6gは、複数のノズル6aを回転軸線C1回りのR1方向に回転させるように構成されている。公転機構6gは、公転用モータ166と、公転用シャフト167とを有している。 The revolving mechanism 6g is configured to rotate the plurality of nozzles 6a in the R1 direction around the rotation axis C1. The revolution mechanism 6g has a motor 166 for revolution and a shaft 167 for revolution.

公転用シャフト167は、Z方向に延びる回転軸線C1回りに回転する。公転用シャフト167は、公転用モータ166とハウジング6hとを接続している。ハウジング6hは、公転用モータ166の駆動に伴って、公転用シャフト167が回転することにより、回転軸線C1回りのR1方向に回転する。これにより、複数のノズル6aは、公転用モータ166の駆動に伴って、公転用シャフト167が回転することにより、回転軸線C1回りのR1方向に公転する。 The revolution shaft 167 rotates around a rotation axis C1 extending in the Z direction. The revolution shaft 167 connects the revolution motor 166 and the housing 6h. As the revolution motor 166 is driven, the revolution shaft 167 rotates, so that the housing 6h rotates in the R1 direction around the rotation axis C1. As a result, the plurality of nozzles 6a revolves around the rotation axis C1 in the direction R1 as the revolving motor 166 is driven and the revolving shaft 167 rotates.

ハウジング6hは、自転用シャフト163および複数のノズルシャフト6jを取り付け可能に構成されている。詳細には、ハウジング6hには、自転用シャフト163および複数のノズルシャフト6jを取り付けるための貫通孔(図示せず)が複数形成されている。 The housing 6h is configured such that the rotation shaft 163 and the plurality of nozzle shafts 6j can be attached. Specifically, the housing 6h is formed with a plurality of through holes (not shown) for mounting the rotation shaft 163 and the plurality of nozzle shafts 6j.

第2付勢部材6iは、ノズルシャフト6jをZ1方向(上昇方向)に付勢するように構成されている。具体的には、第2付勢部材6iは、コイルスプリングにより形成されている。 The second biasing member 6i is configured to bias the nozzle shaft 6j in the Z1 direction (upward direction). Specifically, the second biasing member 6i is formed of a coil spring.

〈ノズルシャフト〉
図4に示すように、ノズルシャフト6jは、複数のノズル6aの各々の中心軸線C2回りのR2方向に回転するとともに昇降するように構成されている。すなわち、ノズルシャフト6jは、固定部68と、移動部69とを有している。固定部68は、Z方向に延びる円筒状に形成されている。固定部68は、ハウジング6hの貫通孔に固定されている。移動部69は、Z方向に延びる円筒状に形成されている。Z方向において、移動部69の長さは、固定部68の長さよりも大きい。移動部69は、R2方向および中心軸線C2の延びる方向に移動可能に固定部68の内部に配置されている。詳細には、移動部69は、固定部68の内部に複数のボール(図示せず)を介して固定部68により移動可能に支持されている。すなわち、ノズルシャフト6jは、移動部69を固定部68の内部に配置した二重筒形状を有している。ここで、ノズルシャフト6jは、第2付勢部材6iにより上端位置Upに位置決めされるように構成されている。
<Nozzle shaft>
As shown in FIG. 4, the nozzle shaft 6j is configured to rotate in the R2 direction around the center axis C2 of each of the plurality of nozzles 6a and to move up and down. That is, the nozzle shaft 6j has a fixed portion 68 and a moving portion 69. As shown in FIG. The fixed portion 68 is formed in a cylindrical shape extending in the Z direction. The fixed portion 68 is fixed to a through hole of the housing 6h. The moving part 69 is formed in a cylindrical shape extending in the Z direction. The length of the moving portion 69 is greater than the length of the fixed portion 68 in the Z direction. The moving portion 69 is arranged inside the fixed portion 68 so as to be movable in the R2 direction and the extending direction of the center axis C2. Specifically, the moving part 69 is movably supported by the fixing part 68 via a plurality of balls (not shown) inside the fixing part 68 . That is, the nozzle shaft 6j has a double cylinder shape in which the moving portion 69 is arranged inside the fixed portion 68. As shown in FIG. Here, the nozzle shaft 6j is configured to be positioned at the upper end position Up by the second biasing member 6i.

また、ノズルシャフト6jは、Z方向において、後述する保持側対向面168aと対向するシャフト側対向面68aを有している。シャフト側対向面68aは、固定部68に設けられている。シャフト側対向面68aは、中心軸線C2の延びる方向と直交している。すなわち、シャフト側対向面68aは、中心軸線C2の延びる方向と直交するように延びる面である。 The nozzle shaft 6j also has a shaft-side facing surface 68a that faces a holding-side facing surface 168a, which will be described later, in the Z direction. The shaft-side facing surface 68 a is provided on the fixed portion 68 . The shaft-side facing surface 68a is perpendicular to the extending direction of the center axis C2. That is, the shaft-side facing surface 68a is a surface extending perpendicular to the extending direction of the central axis C2.

また、シャフト側対向面68aは、ノズルシャフト6jのZ1方向への移動を規制する規制面である。すなわち、ノズルシャフト6jがZ1方向に上昇した際、上端位置Upにおいて、ノズル保持部材6kの保持側対向面168aとノズルシャフト6jの固定部68のシャフト側対向面68aとが当接することにより、ノズルシャフト6jのZ1方向への移動が規制される。また、固定部68のZ1方向側の端面は、ノズルシャフト6jのZ2方向への移動を規制する規制面である。すなわち、ノズルシャフト6jがZ2方向に下降した際、下端位置Dwにおいて、ノズル押圧部材6bとノズルシャフト6jの固定部68のZ1方向側の面とが当接することにより、ノズルシャフト6jのZ2方向への移動が規制される。 Further, the shaft-side facing surface 68a is a restricting surface that restricts movement of the nozzle shaft 6j in the Z1 direction. That is, when the nozzle shaft 6j rises in the Z1 direction, the holding-side facing surface 168a of the nozzle holding member 6k and the shaft-side facing surface 68a of the fixed portion 68 of the nozzle shaft 6j abut on each other at the upper end position Up. Movement of the shaft 6j in the Z1 direction is restricted. The end surface of the fixing portion 68 on the Z1 direction side is a restricting surface that restricts the movement of the nozzle shaft 6j in the Z2 direction. That is, when the nozzle shaft 6j descends in the Z2 direction, the nozzle pressing member 6b and the surface of the fixing portion 68 of the nozzle shaft 6j on the Z1 direction side come into contact with each other at the lower end position Dw. movement is restricted.

〈ノズル保持部材〉
図5に示すように、ノズル保持部材6kは、ノズルシャフト6jの先端に取り付けられて複数のノズル6aの各々を保持するように構成されている。具体的には、ノズル保持部材6kのZ1方向側の部分には、ノズルシャフト6jのZ1方向側の端部が圧入される圧入凹部169aが形成されている。ノズル保持部材6kのZ2方向側の部分には、ノズル6aを螺合するためのねじ孔169bが形成されている。
<Nozzle holding member>
As shown in FIG. 5, the nozzle holding member 6k is attached to the tip of the nozzle shaft 6j and configured to hold each of the plurality of nozzles 6a. Specifically, a press-fit recess 169a into which the Z1-direction end of the nozzle shaft 6j is press-fitted is formed in the Z1-direction side portion of the nozzle holding member 6k. A threaded hole 169b into which the nozzle 6a is screwed is formed in a portion of the nozzle holding member 6k on the Z2 direction side.

また、ノズル保持部材6kは、Z方向において、シャフト側対向面68aと対向する保持側対向面168aを有している。保持側対向面168aは、Z方向において、圧入凹部169aとねじ孔169bとの境界部分に設けられている。保持側対向面168aは、中心軸線C2の延びる方向と直交している。すなわち、保持側対向面168aは、中心軸線C2の延びる方向と直交するように延びる面である。 The nozzle holding member 6k also has a holding-side facing surface 168a that faces the shaft-side facing surface 68a in the Z direction. The holding-side facing surface 168a is provided at the boundary between the press-fit recess 169a and the screw hole 169b in the Z direction. The holding side facing surface 168a is orthogonal to the extending direction of the center axis C2. That is, the holding-side facing surface 168a is a surface extending perpendicular to the extending direction of the center axis C2.

〈凹部〉
図5および図6に示すように、保持側対向面168aには、ノズルシャフト6jが上端位置Upに位置した際に、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとが接触し摺れ(摺動し)ないようにするため潤滑剤Gが塗布されている。ここで、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとは、ノズルシャフト6jがノズル押圧部材6bにより押圧されてZ2方向に移動し、ノズルシャフト6jが下端位置Dw(図4参照)に位置した際において当接しない。ここで、保持側対向面168aには、くさび効果によってシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとが離間する量の潤滑剤Gが塗布されている。
<Recess>
As shown in FIGS. 5 and 6, when the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up, the holding side facing surface 168a contacts and slides (sliding). Lubricant G is applied to prevent movement. Here, the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a move in the Z2 direction as the nozzle shaft 6j is pressed by the nozzle pressing member 6b, and the nozzle shaft 6j is positioned at the lower end position Dw (see FIG. 4). do not touch each other. Here, the lubricant G is applied to the holding side facing surface 168a in such an amount that the shaft side facing surface 68a and the holding side facing surface 168a are separated by a wedge effect.

シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとは、下端位置Dwからノズルシャフト6jが第2付勢部材6iの付勢力により移動し、ノズルシャフト6jが上端位置Upに位置した際において互いに近接している。この際、シャフト側対向面68aが保持側対向面168aと接触する領域である近接領域に付着していた潤滑剤Gは、第2付勢部材6iの付勢力によりシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとに挟まれて圧縮されることによって、中心軸線C2に直交する方向に逃げていく。そして、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の内側部分および外側部分の近傍領域Dの部分に、逃げてきた潤滑剤Gが溜まっている。なお、潤滑剤Gは、グリスなどの半固形(ジェル状)の潤滑剤Gであってもよいし、液状の潤滑剤Gであってもよい。 The shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a come close to each other when the nozzle shaft 6j is moved from the lower end position Dw by the biasing force of the second biasing member 6i and the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up. ing. At this time, the lubricant G adhering to the adjacent region , which is the region where the shaft-side facing surface 68a contacts the holding-side facing surface 168a, is retained on the shaft-side facing surface 68a by the biasing force of the second biasing member 6i. By being sandwiched and compressed with the side facing surface 168a, it escapes in the direction perpendicular to the center axis C2. Then, the escaped lubricant G is accumulated in the vicinity area D of the inner portion and the outer portion between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. The lubricant G may be a semi-solid (gel-like) lubricant G such as grease, or may be a liquid lubricant G.

図7に示すように、第1実施形態のシャフト側対向面68aおよび保持側対向面168aは、上端位置Upにノズルシャフト6jが位置してノズルシャフト6jが自転機構6fにより自転した際、近傍領域Dに溜まった潤滑剤Gを近接領域に戻すように構成されている。すなわち、シャフト側対向面68aおよび保持側対向面168aは、上端位置Upにノズルシャフト6jが位置してシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとに挟まれて薄くなった潤滑膜Mを、ノズルシャフト6jの自転を利用して、シャフト側対向面68aおよび保持側対向面168aの各々の表面粗さよりも大きな潤滑膜Mを形成するように構成されている。 As shown in FIG. 7, when the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up and the nozzle shaft 6j is rotated by the rotation mechanism 6f, the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a of the first embodiment are in the vicinity area. It is configured to return the lubricant G accumulated in D to the adjacent area . That is, the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a are sandwiched between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a with the nozzle shaft 6j positioned at the upper end position Up, and the lubricating film M becomes thin. The rotation of the nozzle shaft 6j is used to form a lubricating film M having a larger surface roughness than each of the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a.

具体的には、図8および図9に示すように、保持側対向面168aには、R2方向に沿って断続的に配置されてZ2方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数(6個)の凹部10が形成されている。詳細には、複数の凹部10の各々は、溝部11により構成されている。すなわち、保持側対向面168aには、複数(6個)の溝部11が形成されている。複数の溝部11は、R2方向に間隔を隔てて配置されている。複数の溝部11の各々は、中心軸線C2の延びる方向に直交する方向に沿って直線状に設けられている。複数の溝部11の各々は、中心軸線C2の延びる方向から視て、中心軸線C2の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置されている。ここで、複数の溝部11の各々は、保持側対向面168aの径方向の端部を貫通している。複数の溝部11は、R2方向において略等角度間隔に配置されている。このように、保持側対向面168aのR2方向の断面では、周期的に複数の溝部11の各々および平面が形成されている。 Specifically, as shown in FIGS. 8 and 9, on the holding-side facing surface 168a, a plurality (six) of lubricant G are intermittently arranged along the R2 direction and recessed in the Z2 direction to hold the lubricant G. is formed. Specifically, each of the plurality of concave portions 10 is configured by a groove portion 11 . That is, a plurality (six) of grooves 11 are formed in the holding side facing surface 168a. The plurality of grooves 11 are arranged at intervals in the R2 direction. Each of the plurality of grooves 11 is linearly provided along a direction perpendicular to the direction in which the central axis C2 extends. Each of the plurality of grooves 11 is radially arranged by extending in a radial direction orthogonal to the extending direction of the central axis C2 when viewed from the extending direction of the central axis C2. Here, each of the plurality of grooves 11 penetrates the radial end of the holding side facing surface 168a. The plurality of grooves 11 are arranged at approximately equal angular intervals in the R2 direction. In this manner, in the R2-direction cross section of the holding-side facing surface 168a, each of the plurality of grooves 11 and planes are periodically formed.

また、図10に示すように、複数の溝部11の各々は、R2方向に沿った断面において、Z2方向側に窪んだ略円弧形状を有している。詳細には、図10に示す複数の溝部11は、図9のV1線を基準としてV2線に沿った断面を展開することにより示されている。なお、図10に示す複数の溝部11の一部を省略している。ここで、複数の凹部10の各々の内周面のR2方向の両側の部分は、保持側対向面168aである。保持側対向面168aに形成された凹部10は、中心軸線C2の延びる方向に沿って延びる中心線C3に対して線対称な形状を有している。 Further, as shown in FIG. 10, each of the plurality of grooves 11 has a generally arcuate shape recessed toward the Z2 direction in a cross section along the R2 direction. Specifically, the plurality of grooves 11 shown in FIG. 10 are shown by developing a cross section along line V2 with line V1 in FIG. 9 as a reference. Note that some of the plurality of grooves 11 shown in FIG. 10 are omitted. Here, the portions on both sides in the R2 direction of the inner peripheral surface of each of the plurality of recesses 10 are holding side facing surfaces 168a. The recessed portion 10 formed in the holding-side facing surface 168a has a shape symmetrical with respect to the center line C3 extending along the direction in which the center axis C2 extends.

図11に示すように、凹部10は、ノズル保持部材6kに対して相対的にノズルシャフト6jが回転した際に、保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間に、凹部10に保持した潤滑剤Gが進入されることにより発生される浮上力によって、保持側対向面168aをシャフト側対向面68aに対して相対的に浮上させて離間させるように構成されている。具体的には、凹部10は、第2付勢部材6iによりノズルシャフト6jが上端位置Upに位置した状態において、ノズル保持部材6kに対して相対的にノズルシャフト6jが回転した際に、保持側対向面168aを固定部68に設けられたシャフト側対向面68aに対して相対的に浮上させて離間させるように構成されている。 As shown in FIG. 11, the recess 10 is held between the holding-side facing surface 168a and the shaft-side facing surface 68a when the nozzle shaft 6j rotates relative to the nozzle holding member 6k. The holding-side facing surface 168a is relatively lifted and separated from the shaft-side facing surface 68a by the floating force generated by the entry of the lubricating agent G. Specifically, when the nozzle shaft 6j is rotated relative to the nozzle holding member 6k in a state in which the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up by the second biasing member 6i, the recess 10 is formed on the holding side. The opposing surface 168a is configured to be relatively floated and spaced apart from the shaft-side opposing surface 68a provided on the fixing portion 68 .

つまり、内側部分および外側部分の近傍領域Dに溜まった潤滑剤Gは、ノズル保持部材6kに対してノズルシャフト6jが回転した際に、第2付勢部材6iの付勢力によりシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとにより挟まれて生じた圧縮力よりも大きな力である浮上力により、保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の隙間を広げることによって圧縮状態が緩和されるので、近接領域に引き込まれる。ここで、浮上力は、ノズルシャフト6jが上端位置Upに位置し、移動部69とともにノズル保持部材6kが自転することにより生じる力である。 That is, when the nozzle shaft 6j rotates with respect to the nozzle holding member 6k, the lubricant G accumulated in the vicinity area D of the inner portion and the outer portion moves toward the shaft side facing surface 68a due to the biasing force of the second biasing member 6i. and the holding-side facing surface 168a, the compressed state is alleviated by expanding the gap between the holding-side facing surface 168a and the shaft-side facing surface 68a. Therefore, it is drawn into the proximity area . Here, the levitation force is a force generated when the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up and the nozzle holding member 6k rotates together with the moving portion 69. FIG.

すなわち、図12に示すように、ノズル保持部材6kがR2方向のうちのR21の向きに回転した場合を例示すると、凹部10内に保持された潤滑剤Gは、保持側対向面168aの自転により保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間における凹部10以外の領域Aに進入する際の急激な流速変化により、高圧の潤滑剤Gになると考えられる。潤滑剤は保持側対向面に対し相対的にR21と反対の向きに移動するため、凹部10のR21の向きとは反対の向きの縁部が、高圧の潤滑剤Gによりテーパ形状に弾性変形することになると考えられる。そして、上記テーパ形状により、さらに潤滑剤Gが保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間における凹部10以外の領域Aに進入しやすくなるという知見を得た。この結果、R21の向きとは反対の向きの速度をもって進入する潤滑剤Gによって、浮上力が生じている。なお、上記した例では、ノズル保持部材6kが周方向RのうちのR21の向きに回転した場合を例示したが、ノズル保持部材6kが周方向RのうちのR21の向きとは反対向きに回転した場合も同様の浮上力が生じる。 That is, as shown in FIG. 12, when the nozzle holding member 6k rotates in the direction R21 of the directions R2, the lubricant G held in the recess 10 is It is considered that the lubricant G becomes a high pressure due to a sudden change in flow velocity when entering the region A other than the recess 10 between the holding side facing surface 168a and the shaft side facing surface 68a. Since the lubricant moves in the direction opposite to R21 relative to the holding-side facing surface, the edge portion of the concave portion 10 in the direction opposite to the direction of R21 is elastically deformed into a tapered shape by the high-pressure lubricant G. It is thought that it will happen. Further, the inventors have found that the tapered shape makes it easier for the lubricant G to enter the region A other than the recessed portion 10 between the holding-side facing surface 168a and the shaft-side facing surface 68a. As a result, levitation force is generated by the lubricant G entering at a speed opposite to the direction of R21. In the above example, the nozzle holding member 6k rotates in the direction R21 of the circumferential direction R, but the nozzle holding member 6k rotates in the direction opposite to the direction R21 in the circumferential direction R. Similar levitation force also occurs when

このように、保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の凹部10以外の領域Aには、シャフト側対向面68aに対して相対的に保持側対向面168aを浮上させて離間させることにより、潤滑剤Gを含む潤滑膜Mが形成されている。つまり、潤滑膜Mは、浮上力により保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の隙間を広げた際に近接領域に引き込まれる内側部分および外側部分の近傍領域Dに溜まった潤滑剤Gにより形成されている。 In this way, in the area A between the holding side facing surface 168a and the shaft side facing surface 68a other than the recess 10, the holding side facing surface 168a is raised and separated from the shaft side facing surface 68a. As a result, a lubricating film M containing the lubricant G is formed. In other words, the lubricating film M is the lubrication accumulated in the vicinity area D of the inner portion and the outer portion that is drawn into the adjacent area when the gap between the holding side facing surface 168a and the shaft side facing surface 68a is widened by the levitation force. It is formed by agent G.

ここで、複数のノズルシャフト6jの全ては自転機構6fにより同期して自転するので、潤滑膜Mは、所望のノズルシャフト6jの移動部69およびノズル保持部材6kを自転機構6fに自転させた際、所望のノズルシャフト6j以外の他のノズルシャフト6jの固定部68とノズル保持部材6kとの間においても形成されている。すなわち、潤滑膜Mは、他のノズル6aが保持されたノズル保持部材6kの保持側対向面168aと、他のノズル6aが取り付けられたノズルシャフト6jのシャフト側対向面68aとの間に形成されている。 Here, since all of the plurality of nozzle shafts 6j are rotated synchronously by the rotation mechanism 6f, the lubricating film M is formed when the moving portion 69 of the desired nozzle shaft 6j and the nozzle holding member 6k are rotated by the rotation mechanism 6f. , are also formed between the fixed portion 68 of the nozzle shaft 6j other than the desired nozzle shaft 6j and the nozzle holding member 6k. That is, the lubricating film M is formed between the holding side facing surface 168a of the nozzle holding member 6k holding the other nozzle 6a and the shaft side facing surface 68a of the nozzle shaft 6j to which the other nozzle 6a is attached. ing.

(部品認識カメラ)
部品認識カメラ7は、図1に示すように、基板Bへの電子部品Eの実装に先立ってノズル6aに保持(吸着)された電子部品Eを撮像する部品撮像用のカメラである。部品認識カメラ7は、基台1上に固定されており、電子部品Eの下方(Z2方向)から、ノズル6aに保持(吸着)された電子部品Eを撮像するように構成されている。
(Component recognition camera)
The component recognition camera 7 is a camera for capturing an image of the electronic component E held (adsorbed) by the nozzle 6a prior to mounting the electronic component E on the substrate B, as shown in FIG. The component recognition camera 7 is fixed on the base 1 and configured to capture an image of the electronic component E held (adsorbed) by the nozzle 6a from below the electronic component E (Z2 direction).

(基板認識カメラ)
基板認識カメラ8は、実装ヘッド6に取り付けられ、基板Bへの電子部品Eの実装に先立って、基板Bの上面に付されたFIマーク(Fiducial Mark(フィデューシャルマーク):図示せず)を撮像するマーク撮像用のカメラである。FIマークは、基板Bの位置を確認するためのマークである。
(PCB recognition camera)
The board recognition camera 8 is attached to the mounting head 6, and prior to mounting the electronic component E on the board B, the FI mark (Fiducial Mark: not shown) put on the upper surface of the board B is used. It is a camera for capturing a mark. The FI mark is a mark for confirming the position of the substrate B. FIG.

(制御部)
制御部9は、CPU(Central Processing Unit)および記憶部などを含み、部品実装装置100の動作を制御する制御回路である。制御部9は、テープフィーダ21、基板搬送部3、実装ヘッド6、部品認識カメラ7、基板認識カメラ8、X軸モータ42およびY軸モータ52に電気的に接続されている。
(control part)
The control unit 9 is a control circuit that includes a CPU (Central Processing Unit), a storage unit, and the like, and controls the operation of the component mounting apparatus 100 . The control section 9 is electrically connected to the tape feeder 21 , the board transfer section 3 , the mounting head 6 , the component recognition camera 7 , the board recognition camera 8 , the X-axis motor 42 and the Y-axis motor 52 .

記憶部には、基板B上に実装される電子部品Eの実装処理に基づく実装プログラムが記憶されている。 A mounting program based on the mounting process of the electronic component E to be mounted on the board B is stored in the storage unit.

(第1実施形態の効果)
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of the first embodiment)
The following effects can be obtained in the first embodiment.

第1実施形態では、上記のように、保持側対向面168aに、R2方向に沿って断続的に配置されて中心軸線C2の延びる方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数の凹部10を形成する。これにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとに挟まれて圧縮されることにより、潤滑剤Gがシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の近傍領域Dに逃げたとしても、ノズルシャフト6jのR2方向への回転の際、複数の凹部10に保持された潤滑剤Gが凹部10以外の領域Aに進入することにより生じる浮上力によって、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間隔が広げられるので、圧縮状態が緩和されることにより逃げた潤滑剤Gをシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に形成された近接領域に戻すことができる。この結果、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとを近接させた状態でノズルシャフト6jを回転させた際、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されることにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の抵抗を十分に低減することができる。また、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されることにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの接触を抑制することができるので、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの接触により発生する粉塵の量を減少させることができる。また、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されることにより、シャフト側対向面68aおよび保持側対向面168aの各々の摩耗を減少させることができるので、シャフト側対向面68aおよび保持側対向面168aの表面粗さの増加を抑制することができる。この結果、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとを近接させた状態でノズルシャフト6jを回転させた際、ノズルシャフト6jが振動することを抑制することができるので、振動に起因してノズル6aから部品が落下することによる実装品質の低下を抑制することができる。 In the first embodiment, as described above, the holding-side facing surface 168a is intermittently arranged along the direction R2 and recessed in the direction in which the central axis C2 extends to form a plurality of recesses 10 for holding the lubricant G. do. As a result, the lubricant G escapes to the vicinity region D between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a by being sandwiched and compressed between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. However, when the nozzle shaft 6j rotates in the R2 direction, the lubricant G held in the plurality of recesses 10 enters the area A other than the recesses 10, and the levitation force generated causes the shaft-side facing surface 68a to be held. Since the gap with the side facing surface 168a is widened, the lubricant G that has escaped due to the relaxation of the compressed state is returned to the adjacent region formed between the shaft side facing surface 68a and the holding side facing surface 168a. can be done. As a result, when the nozzle shaft 6j is rotated while the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a are brought close to each other, a sufficient thickness is formed between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. By forming the lubricating film M, the resistance between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a can be sufficiently reduced. In addition, since the lubricant film M having a sufficient thickness is formed between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a, contact between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a can be suppressed. Therefore, the amount of dust generated by contact between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a can be reduced. In addition, since the lubricant film M having a sufficient thickness is formed between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a, wear of each of the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a is reduced. Therefore, it is possible to suppress an increase in the surface roughness of the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. As a result, when the nozzle shaft 6j is rotated while the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a are brought close to each other, it is possible to suppress the vibration of the nozzle shaft 6j. It is possible to suppress deterioration in mounting quality due to components dropping from the nozzle 6a.

また、第1実施形態では、上記のように、凹部10を、ノズル保持部材6kに対して相対的にノズルシャフト6jが回転した際に、浮上力によって、保持側対向面168aをシャフト側対向面68aに対して相対的に浮上させて離間させるように構成する。これにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとに挟まれることにより、潤滑剤Gがシャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の近傍領域Dに逃げたとしても、ノズルシャフト6jのR2方向への回転の際に生じる浮上力により、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとを相対的に浮上させて離間させることによって、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間隔を十分に確保することができる。この結果、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の近傍領域Dに逃げた潤滑剤Gを近接領域に戻すことができるので、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとを近接させた状態でノズルシャフト6jを回転させた際、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されるので、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の抵抗を十分に低減することができる。 Further, in the first embodiment, as described above, when the nozzle shaft 6j rotates the concave portion 10 relative to the nozzle holding member 6k, the floating force causes the holding side facing surface 168a to become the shaft side facing surface. It is constructed so as to be relatively floated and separated from 68a. As a result, even if the lubricant G is sandwiched between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a and escapes to the vicinity region D between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a, the nozzle is The lifting force generated when the shaft 6j rotates in the R2 direction relatively floats the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a, thereby separating the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. 168a can be sufficiently secured. As a result, the lubricant G that has escaped to the neighboring region D between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a can be returned to the neighboring region . When the nozzle shaft 6j is rotated with It is possible to sufficiently reduce the resistance with the holding side facing surface 168a.

また、第1実施形態では、上記のように、凹部10を、第2付勢部材6iによりノズルシャフト6jが上端位置Upに位置した状態において、ノズル保持部材6kに対して相対的にノズルシャフト6jが回転した際に、固定部68に設けられたシャフト側対向面68aに対して保持側対向面168aを浮上させて離間させるように構成する。これにより、ハウジング6hに固定された固定部68に対する移動部69の相対的なR2方向および中心軸線C2の延びる方向への移動を利用して、凹部10により保持側対向面168aをシャフト側対向面68aに対して浮上させて離間させることができるので、簡易な構造により保持側対向面168aをシャフト側対向面68aに対して浮上させることができる。また、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されることにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の抵抗を十分に低減することができる。つまり、ノズルシャフト6jを上端位置Upに位置させた状態で回転させたとしても、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間にノズルシャフト6jを付勢する力に比例した大きな抵抗が生じない。したがって、第2付勢部材6iの付勢力を増加させることができる。この結果、移動部69の中心軸線C2の延びる方向への移動をより速くすることができるので、実装作業時間を短縮することができる。 Further, in the first embodiment, as described above, the concave portion 10 is moved relative to the nozzle shaft 6j with respect to the nozzle holding member 6k in a state in which the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up by the second biasing member 6i. The holding-side facing surface 168a is lifted from the shaft-side facing surface 68a provided on the fixed portion 68 and separated from the shaft-side facing surface 68a when the shaft rotates. As a result, by utilizing the movement of the moving portion 69 relative to the fixed portion 68 fixed to the housing 6h in the R2 direction and the direction in which the center axis C2 extends, the recess 10 moves the holding side facing surface 168a to the shaft side facing surface. Since it can be floated and separated from 68a, the holding side facing surface 168a can be floated with respect to the shaft side facing surface 68a with a simple structure. Further, since the lubricant film M having a sufficient thickness is formed between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a, the resistance between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a is sufficiently reduced. can be reduced to That is, even if the nozzle shaft 6j is rotated in the state of being positioned at the upper end position Up, a large resistance proportional to the force urging the nozzle shaft 6j is generated between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. does not occur. Therefore, the biasing force of the second biasing member 6i can be increased. As a result, the movement of the moving part 69 in the direction in which the central axis C2 extends can be made faster, so that the mounting work time can be shortened.

また、第1実施形態では、上記のように、保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の凹部10以外の領域Aに、シャフト側対向面68aに対して相対的に保持側対向面168aを浮上させて離間させることにより、潤滑剤Gを含む潤滑膜Mを形成する。これにより、シャフト側対向面68aに対して相対的に保持側対向面168aを浮上させて離間させることにより、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の近傍領域Dに逃げた潤滑剤Gを充填させて潤滑膜Mを形成することによって、ノズルシャフト6jの回転の際に生じる抵抗を低減することができる。この結果、ノズルシャフト6jを回転させるための駆動源の発熱の低減を図ることができるとともに、抵抗を低減するために玉軸受けを設ける場合と比較して実装ヘッド6の小型化を図り、かつ、同じ駆動源により回転可能なノズルシャフト6jの数の増加および同じ駆動源によるノズルシャフト6jの回転の高速化を図ることができる。 In addition, in the first embodiment, as described above, in the area A other than the recess 10 between the holding side facing surface 168a and the shaft side facing surface 68a, the holding side facing surface 68a is provided relatively to the shaft side facing surface 68a. A lubricating film M containing the lubricant G is formed by floating the surfaces 168a and separating them. As a result, the holding-side facing surface 168a is lifted and separated from the shaft-side facing surface 68a, so that the lubrication that has escaped to the neighboring region D between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a. By filling the agent G and forming the lubricating film M, it is possible to reduce the resistance generated when the nozzle shaft 6j rotates. As a result, it is possible to reduce the heat generated by the drive source for rotating the nozzle shaft 6j, and to reduce the size of the mounting head 6 compared to the case where a ball bearing is provided to reduce the resistance. It is possible to increase the number of nozzle shafts 6j rotatable by the same drive source and speed up the rotation of the nozzle shafts 6j by the same drive source.

また、第1実施形態では、上記のように、潤滑膜Mを、他のノズル6aが保持されたノズル保持部材6kの保持側対向面168aと、他のノズル6aが取り付けられたノズルシャフト6jのシャフト側対向面68aとの間に形成する。これにより、所望のノズル6a以外の他のノズル6aにおいて生じるノズルシャフト6jの回転の際に生じる抵抗を低減することができるので、自転機構6fの負荷を軽減することができる。 Further, in the first embodiment, as described above, the lubricating film M is applied to the holding side facing surface 168a of the nozzle holding member 6k holding the other nozzle 6a and the nozzle shaft 6j to which the other nozzle 6a is mounted. It is formed between the shaft-side facing surface 68a. As a result, the resistance generated when the nozzle shaft 6j rotates in nozzles 6a other than the desired nozzle 6a can be reduced, so the load on the rotation mechanism 6f can be reduced.

また、第1実施形態では、上記のように、保持側対向面168aに形成された凹部10を、中心軸線C2の延びる方向に沿って延びる中心線C3に対して線対称な形状に形成する。これにより、ノズルシャフト6jのいずれの方向の回転においても同様の浮上力を発生させることができるので、シャフト側対向面68aと保持側対向面168aとの間の抵抗を安定して十分に低減することができる。 Further, in the first embodiment, as described above, the recess 10 formed in the holding side facing surface 168a is formed in a shape symmetrical with respect to the center line C3 extending along the direction in which the center axis C2 extends. As a result, the same levitation force can be generated in any direction of rotation of the nozzle shaft 6j, so that the resistance between the shaft-side facing surface 68a and the holding-side facing surface 168a can be stably and sufficiently reduced. be able to.

また、第1実施形態では、上記のように、複数の溝部11を、中心軸線C2の延びる方向から視て、複数の溝部11の各々が中心軸線C2の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置する。これにより、複数の溝部11がR2方向に間隔を隔てて形成され、かつ、径方向にも延びていることによって、全体にわたって配置された状態になるので、浮上力の偏りを抑制することができる。 Further, in the first embodiment, as described above, when the plurality of grooves 11 are viewed from the direction in which the central axis C2 extends, each of the plurality of grooves 11 extends in the radial direction orthogonal to the direction in which the central axis C2 extends. arranged radially by As a result, the plurality of grooves 11 are formed at intervals in the R2 direction and also extend in the radial direction, so that the grooves 11 are arranged over the entire surface, so that unevenness in the levitation force can be suppressed. .

ここで、上記第1実施形態の部品実装装置100は、図13に示す第1変形例および図14に示す第2変形例のように、複数の凹部10が溝形状ではない凹部210および凹部310をさらに含んでいる。 Here, in the component mounting apparatus 100 of the first embodiment, as in the first modification shown in FIG. 13 and the second modification shown in FIG. further includes

図13に示す第1変形例のように、保持側対向面168aには、R2方向に沿って断続的に配置されてZ2方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数の凹部210が形成されている。詳細には、複数の凹部210の各々は、半球形状に形成され、周方向Rに間隔を隔てて周状に配置された複数の半球形状部212を有していてもよい。 As in the first modification shown in FIG. 13, the holding-side facing surface 168a is provided with a plurality of recesses 210 intermittently arranged along the R2 direction and recessed in the Z2 direction to hold the lubricant G. there is Specifically, each of the plurality of recesses 210 may have a plurality of hemispherical portions 212 that are formed in a hemispherical shape and are circumferentially arranged in the circumferential direction R at intervals.

また、図14に示す第2変形例のように、凹部310は、半球形状に形成され、R2方向に間隔を隔てて周状に配置された複数の半球形状部312を有している。加えて、複数の半球形状部312は、中心軸線C2の延びる方向から視てR2方向に間隔を隔てて放射状にも配置されてもよい。すなわち、複数の半球形状部312は、R2方向において略等角度間隔に配置されていることが好ましい。 Further, like the second modification shown in FIG. 14, the concave portion 310 is formed in a hemispherical shape and has a plurality of hemispherical portions 312 circumferentially arranged at intervals in the R2 direction. In addition, the plurality of hemispherical portions 312 may be radially arranged at intervals in the R2 direction when viewed from the direction in which the central axis C2 extends. That is, it is preferable that the plurality of hemispherical portions 312 be arranged at approximately equal angular intervals in the R2 direction.

[第2実施形態]
次に、図1、図2および図15~図17を参照して、第2実施形態の部品実装装置400について説明する。第2実施形態の部品実装装置400は、詳細には、複数の凹部10が、ノズル保持部材6kの保持側対向面168aに形成されていた上記第1実施形態の部品実装装置100とは異なり、複数の凹部410が、ノズルシャフト6jのシャフト側対向面468aに形成されている。なお、第2実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。
[Second embodiment]
Next, a component mounting apparatus 400 of a second embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 15-17. Specifically, the component mounting apparatus 400 of the second embodiment differs from the component mounting apparatus 100 of the first embodiment in which a plurality of recesses 10 are formed in the holding-side facing surface 168a of the nozzle holding member 6k. A plurality of recesses 410 are formed in the shaft-side facing surface 468a of the nozzle shaft 6j. In addition, in 2nd Embodiment, the same code|symbol is attached|subjected regarding the structure similar to the said 1st Embodiment, and description is abbreviate|omitted.

第2実施形態の部品実装装置400は、基台1と、フィーダ配置部2と、基板搬送部3と、支持部4と、レール部5と、実装ヘッド406と、部品認識カメラ7と、基板認識カメラ8と、制御部9とを備えている。 A component mounting apparatus 400 of the second embodiment includes a base 1, a feeder placement section 2, a board transfer section 3, a support section 4, a rail section 5, a mounting head 406, a component recognition camera 7, a board A recognition camera 8 and a control unit 9 are provided.

〈複数の凹部〉
図15および図16に示すように、第2実施形態のシャフト側対向面468aおよび保持側対向面168aは、上端位置Upにノズルシャフト6jが位置してシャフト側対向面468aと保持側対向面168aとにより挟まれて薄くなった潤滑膜Mを、ノズルシャフト6jの自転を利用して、シャフト側対向面468aおよび保持側対向面168aの各々の表面粗さよりも大きな潤滑膜Mを形成するように構成されている。
<Multiple recesses>
As shown in FIGS. 15 and 16, the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a of the second embodiment are arranged such that the nozzle shaft 6j is positioned at the upper end position Up and the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a are separated from each other. By utilizing the rotation of the nozzle shaft 6j, the lubricating film M thinned by being sandwiched between and is formed into a lubricating film M larger in surface roughness than each of the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a. It is configured.

具体的には、図17に示すように、シャフト側対向面468aには、R2方向に沿って断続的に配置されてZ1方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数(12個)の凹部410が形成されている。詳細には、複数の凹部410の各々は、半球形状部412により構成されている。半球形状部412は、半球形状に形成されている。複数の半球形状部412は、周方向R2に間隔を隔てて周状に配置された複数の半球形状部412を有していてもよい。なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。 Specifically, as shown in FIG. 17, the shaft-side facing surface 468a has a plurality of (12) recesses 410 intermittently arranged along the R2 direction and recessed in the Z1 direction to hold the lubricant G. is formed. Specifically, each of the plurality of recesses 410 is configured by a hemispherical portion 412 . The hemispherical portion 412 is formed in a hemispherical shape. The plurality of hemispherical portions 412 may have a plurality of hemispherical portions 412 circumferentially arranged at intervals in the circumferential direction R2. Other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.

(第2実施形態の効果)
第2実施形態の効果について説明する。
(Effect of Second Embodiment)
Effects of the second embodiment will be described.

第2実施形態では、上記のように、シャフト側対向面468aに、R2方向に沿って断続的に配置されて中心軸線C2の延びる方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数の凹部410を形成する。これにより、シャフト側対向面468aと保持側対向面168aとを近接させた状態でノズルシャフト6jを回転させた際、シャフト側対向面468aと保持側対向面168aとの間に十分な厚さの潤滑膜Mが形成されることにより、シャフト側対向面468aと保持側対向面168aとの間の抵抗を十分に低減することができる。 In the second embodiment, as described above, the shaft-side facing surface 468a is provided with a plurality of recesses 410 intermittently arranged along the R2 direction and recessed in the direction in which the central axis C2 extends to retain the lubricant G. do. As a result, when the nozzle shaft 6j is rotated with the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a close to each other, a sufficient thickness is formed between the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a. By forming the lubricating film M, the resistance between the shaft-side facing surface 468a and the holding-side facing surface 168a can be sufficiently reduced.

また、第2実施形態では、上記のように、複数の半球形状部412は、中心軸線C2の延びる方向から視て中心軸線C2の延びる方向に直交する径方向に間隔を隔てて放射状に配置してもよい。これにより、複数の半球形状部412が周状および放射状に全体にわたって分散して形成されているので、浮上力の偏りを抑制することができる。なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。 Further, in the second embodiment, as described above, the plurality of hemispherical portions 412 are radially arranged at intervals in the radial direction perpendicular to the direction in which the central axis C2 extends when viewed from the direction in which the central axis C2 extends. may As a result, since the plurality of hemispherical portions 412 are formed circumferentially and radially in a dispersed manner, uneven lifting force can be suppressed. Other effects of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.

ここで、上記第2実施形態の部品実装装置400は、図18に示す変形例のように、複数の凹部510が半球形状ではない実装ヘッド506をさらに含んでいる。 Here, the component mounting apparatus 400 of the second embodiment further includes a mounting head 506 having a plurality of concave portions 510 that are not hemispherical like the modification shown in FIG.

図18に示す変形例のように、シャフト側対向面568aには、複数の凹部510として、R2方向に間隔を隔てて配置された複数の溝部511が形成されている。複数の溝部511は、中心軸線C2の延びる方向から視て、複数の溝部511の各々が中心軸線C2の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置されていてもよい。すなわち、複数の溝部511は、R2方向において略等角度間隔に配置されていることが好ましい。 As in the modification shown in FIG. 18 , a plurality of grooves 511 are formed as a plurality of recesses 510 in the shaft-side facing surface 568a and spaced apart in the R2 direction. The plurality of grooves 511 may be radially arranged by extending in a radial direction perpendicular to the direction in which the central axis C2 extends when viewed from the direction in which the central axis C2 extends. That is, it is preferable that the plurality of grooves 511 be arranged at approximately equal angular intervals in the R2 direction.

[変形例]
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
[Modification]
It should be noted that the embodiments disclosed this time should be considered as examples and not restrictive in all respects. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the description of the above-described embodiments, and includes all modifications (modifications) within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

たとえば、上記第1実施形態では、保持側対向面168aに、潤滑剤Gを保持する複数の凹部10を形成する例を示し、上記第2実施形態では、シャフト側対向面68aに、潤滑剤Gを保持する複数の凹部10を形成する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シャフト側対向面および保持側対向面の少なくとも一方に、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されればよく、シャフト側対向面および保持側対向面の両方に、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されてもよい。 For example, in the above-described first embodiment, an example in which a plurality of recesses 10 for holding the lubricant G are formed in the holding-side facing surface 168a is shown, and in the above-described second embodiment, the shaft-side facing surface 68a is provided with the lubricant G Although an example of forming a plurality of recesses 10 for holding is shown, the present invention is not limited to this. In the present invention, it is sufficient that at least one of the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface is formed with a plurality of recesses for holding the lubricant, and both the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface hold the lubricant. A plurality of recesses may be formed.

また、上記第1および第2実施形態では、保持側対向面168aに、潤滑剤Gが塗布されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シャフト側対向面に潤滑剤が塗布されていてもよい。 Further, in the above-described first and second embodiments, an example in which the lubricant G is applied to the holding side facing surface 168a was shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, a lubricant may be applied to the shaft-side facing surface.

また、上記第1および第2実施形態では、凹部10は、中心軸線C2の延びる方向に沿って延びる中心線C3に対して線対称な形状を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、凹部は、中心軸線の延びる方向に沿って延びる中心線に対して線対称な形状以外の形状であってもよい。 Further, in the first and second embodiments described above, the recess 10 has a shape symmetrical with respect to the center line C3 extending along the direction in which the center axis C2 extends. It is not limited to this. In the present invention, the recess may have a shape other than a shape that is line-symmetrical with respect to the center line extending along the direction in which the center axis extends.

また、第1実施形態では、複数の凹部10の各々は、R2方向(周方向)に沿った断面において、Z2方向側に窪んだ円弧形状を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、複数の凹部の各々は、周方向に沿った断面において、略矩形形状などを有していてもよい。 In the first embodiment, each of the plurality of recesses 10 has an arc shape recessed toward the Z2 direction in the cross section along the R2 direction (circumferential direction). It is not limited to this. For example, each of the plurality of recesses may have a substantially rectangular shape or the like in a cross section along the circumferential direction.

また、第1実施形態では、保持側対向面168aに、R2方向に沿って断続的に配置されてZ2方向に窪み、潤滑剤Gを保持する複数(6個)の凹部10である溝部11が形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、溝部は、1~5個または7個以上であってもよい。たとえば、図19(A)~(D)に示す第3変形例では、保持側対向面168aに、1個、2個、4個および8個の溝部611が形成されている。 In the first embodiment, the holding-side facing surface 168a is provided with grooves 11, which are a plurality of (six) recesses 10 intermittently arranged along the R2 direction and recessed in the Z2 direction to hold the lubricant G. Although the formed example is shown, the present invention is not limited to this. In the present invention, the number of grooves may be 1 to 5 or 7 or more. For example, in the third modification shown in FIGS. 19A to 19D, one, two, four and eight grooves 611 are formed in the holding side facing surface 168a.

また、第1実施形態では、複数の溝部11の各々は、保持側対向面168aの径方向の端部を貫通している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図19(A)~(D)に示す第3変形例では、保持側対向面168aに、複数の溝部611の各々は、の径方向の端部を貫通することなく形成されてもよい。 Further, in the first embodiment, an example in which each of the plurality of grooves 11 penetrates the radial end of the holding-side facing surface 168a is shown, but the present invention is not limited to this. According to the present invention, in the third modification shown in FIGS. 19A to 19D, each of the plurality of grooves 611 is formed in the holding side facing surface 168a without penetrating the radial end thereof. good too.

また、第1実施形態では、複数の凹部10の各々は、中心軸線C2の延びる方向に直交する方向に沿って直線状に設けられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図20に示す第4変形例のように、保持側対向面168aの複数の溝部711の各々の周方向の幅は、径方向の外側に向かうにしたがって大きく形成されていてもよい。これにより、相対的に回転速度が速いノズルシャフト6jの外側端部ほど溝部711以外の領域に溝部711内の潤滑剤Gが多く進入しやすく、より多量の潤滑剤Gが必要となる領域ほど保持する潤滑剤Gの量を大きくすることができるので、複数の溝部711に保持されている潤滑剤Gを保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の溝部711以外の領域A全体に確実に行き渡らせることができる。 Further, in the first embodiment, each of the plurality of recesses 10 is provided linearly along the direction orthogonal to the direction in which the central axis C2 extends, but the present invention is not limited to this. . In the present invention, as in a fourth modification shown in FIG. 20, the circumferential width of each of the plurality of grooves 711 of the holding-side facing surface 168a may be formed to increase radially outward. . As a result, a larger amount of the lubricant G in the groove 711 enters the area other than the groove 711 at the outer end of the nozzle shaft 6j where the rotation speed is relatively high, and the area where a larger amount of the lubricant G is required is retained. Since the amount of the lubricant G to be applied can be increased, the lubricant G held in the plurality of grooves 711 is spread over the entire region A other than the grooves 711 between the holding-side facing surface 168a and the shaft-side facing surface 68a. You can pass it around for sure.

また、第1実施形態では、複数の溝部11の各々は、中心軸線C2の延びる方向から視て、中心軸線C2の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図21(A)および図21(B)に示す第5変形例のように、保持側対向面168aには、R2方向に沿って延びて複数の凹部810同士を互いに接続し、中心軸線C2の延びる方向に向かって窪む接続溝813が形成されてもよい。そして、中心軸線C2の延びる方向において、凹部810の深さD1は、接続溝813の深さD2よりも大きいことが好ましい。これにより、接続溝813を凹部810間における潤滑剤Gの経路として機能させることができるので、接続溝813により複数の凹部810に潤滑剤Gを行き渡らせやすくすることができる。その結果、複数の凹部810に保持される潤滑剤Gを略均一にすることができるので、保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の凹部10以外の領域Aに略均一に潤滑剤Gを行き渡らせやすくすることができる。 Further, in the first embodiment, each of the plurality of grooves 11 is radially arranged by extending in a radial direction perpendicular to the direction in which the central axis C2 extends when viewed from the direction in which the central axis C2 extends. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, as in a fifth modification shown in FIGS. 21A and 21B, the holding side facing surface 168a has a plurality of concave portions 810 extending along the R2 direction and connected to each other. A connection groove 813 may be formed that is recessed in the direction in which the central axis C2 extends. It is preferable that the depth D1 of the recess 810 is greater than the depth D2 of the connection groove 813 in the direction in which the center axis C2 extends. As a result, the connection grooves 813 can function as paths for the lubricant G between the recesses 810 , so that the connection grooves 813 can facilitate the distribution of the lubricant G to the plurality of recesses 810 . As a result, the lubricant G held in the plurality of recesses 810 can be made substantially uniform, so that the region A other than the recesses 10 between the holding side facing surface 168a and the shaft side facing surface 68a is substantially uniformly lubricated. It is possible to facilitate spreading of the agent G.

また、第1実施形態の第1変形例では、凹部210として、複数(12個)の半球形状部212が形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、半球形状部は、1~11個または13個以上であってもよい。たとえば、図22(A)~(D)に示す第6変形例では、保持側対向面168aに、1個、2個、4個および8個の半球形状部912が形成されている。 Also, in the first modification of the first embodiment, an example in which a plurality of (twelve) hemispherical portions 212 are formed as the concave portion 210 was shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the number of hemispherical portions may be 1 to 11 or 13 or more. For example, in a sixth modification shown in FIGS. 22A to 22D, one, two, four and eight hemispherical portions 912 are formed on the holding side facing surface 168a.

また、第1実施形態の第2変形例では、凹部310として、半球形状部213が中心軸線C2に直交する方向に4個並んだ組が、R2方向に8個形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、凹部として、半球形状部が中心軸線に直交する方向に2、3または5個以上並んだ組が、周方向に1~7個または9個以上形成されていてもよい。たとえば、図23(A)~(D)に示す第7変形例では、保持側対向面168aに、半球形状部1012が5個並んだ組が、周方向に1、2、4または8個形成されている。 In addition, in the second modification of the first embodiment, as the concave portion 310, a group of four hemispherical portions 213 arranged in a direction perpendicular to the central axis C2 is formed in the R2 direction. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, 1 to 7 or 9 or more sets of 2, 3, or 5 or more hemispherical portions arranged in the direction orthogonal to the central axis may be formed as the recesses in the circumferential direction. For example, in the seventh modification shown in FIGS. 23A to 23D, 1, 2, 4, or 8 sets of five hemispherical portions 1012 are arranged in the holding side facing surface 168a in the circumferential direction. It is

また、この第7変形例では、中心軸線C2に直交する方向において、略同じ大きさの半球形状部1012が、並んで配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図24(A)および図24(B)に示す第8変形例のように、複数の半球形状部1112の各々の直径は、径方向の外側に向かうにしたがって大きくなるように形成されてもよい。これにより、相対的に回転速度が速いノズルシャフト6jの外側端部ほど半球形状部1112以外の領域Aに半球形状部1112内の潤滑剤Gが多く進入しやすく、より多量の潤滑剤Gが必要となる領域Aほど保持する潤滑剤Gの量を大きくすることができるので、複数の半球形状部1112に保持されている潤滑剤Gを保持側対向面168aとシャフト側対向面68aとの間の半球形状部1112以外の領域A全体に確実に行き渡らせることができる。なお、図19~図24に示す構成は、シャフト側対向面に凹部を設ける場合に適用されてもよい。 In addition, in the seventh modification, the hemispherical portions 1012 having approximately the same size are arranged side by side in the direction perpendicular to the central axis C2, but the present invention is not limited to this. For example, as in an eighth modification shown in FIGS. 24A and 24B, the diameter of each of the plurality of hemispherical portions 1112 is formed so as to increase radially outward. good too. As a result, a larger amount of the lubricant G in the hemispherical portion 1112 tends to enter the region A other than the hemispherical portion 1112 at the outer end portion of the nozzle shaft 6j where the rotation speed is relatively high, and a larger amount of the lubricant G is required. Since the amount of the lubricant G retained in the region A can be increased as the area A becomes It can be ensured that the entire area A other than the hemispherical portion 1112 is covered. Note that the configurations shown in FIGS. 19 to 24 may be applied when a recess is provided in the shaft-side facing surface.

また、第1および第2実施形態の実装ヘッド6(406)は、円周状に並んで配置される複数のノズル6aを有する実装ヘッドである例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、実装ヘッドは、所定の間隔をあけて水平方向にライン上に並んで配置された複数のノズルを有する実装ヘッドでもよい。 In addition, although the mounting head 6 (406) of the first and second embodiments is a mounting head having a plurality of nozzles 6a arranged in a circumferential manner, the present invention is not limited to this. do not have. In the present invention, the mounting head may be a mounting head having a plurality of nozzles horizontally arranged in a line at predetermined intervals.

6、406 実装ヘッド
6a ノズル
6b ノズル押圧部材
6f 自転機構(回転機構)
6h ハウジング
6i 第2付勢部材(付勢部材)
6j ノズルシャフト
6k ノズル保持部材
10、210、310、410、510、810 凹部
11、511、611、711 溝部
68 固定部
68a、468a シャフト側対向面
69 移動部
100、400 部品実装装置
168a 保持側対向面
212、312、412、912、1012、1112 半球形状部
813 接続溝
A (凹部以外の)領域
B 基板
C2 中心軸線
E 電子部品(部品)
G 潤滑剤
M 潤滑膜
R2 (周)方向
6, 406 mounting head 6a nozzle 6b nozzle pressing member 6f rotation mechanism (rotation mechanism)
6h housing 6i second biasing member (biasing member)
6j Nozzle shaft 6k Nozzle holding member 10, 210, 310, 410, 510, 810 Recess 11, 511, 611, 711 Groove 68 Fixing part 68a, 468a Shaft side facing surface 69 Moving part 100, 400 Component mounting device 168a Holding side facing Surfaces 212, 312, 412, 912, 1012, 1112 Hemispherical portion 813 Connection groove A Region (other than recessed portion) B Board C2 Central axis E Electronic component (component)
G Lubricant M Lubricating film R2 (Circumferential) direction

Claims (12)

並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルを含む実装ヘッドを備え、
前記実装ヘッドは、
前記複数のノズルの各々の中心軸線回りの周方向に回転するとともに昇降する移動部と、前記中心軸線の延びる方向と直交するシャフト側対向面を有するノズルシャフトと、
前記移動部に取り付けられて前記複数のノズルの各々を保持し、前記中心軸線の延びる方向において前記シャフト側対向面に対向する保持側対向面を有するノズル保持部材とを含み、
前記保持側対向面および前記シャフト側対向面の少なくとも一方には、前記周方向に沿って断続的に配置されて前記中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されている、部品実装装置。
Equipped with a mounting head that includes a plurality of nozzles that are arranged side by side to pick up components and mount them on the board,
The mounting head is
a nozzle shaft having a moving portion that rotates and ascends and descends in a circumferential direction around the central axis of each of the plurality of nozzles; and a shaft-side facing surface perpendicular to the direction in which the central axis extends;
a nozzle holding member attached to the moving part to hold each of the plurality of nozzles and having a holding-side facing surface facing the shaft-side facing surface in the direction in which the central axis extends;
At least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is provided with a plurality of recesses that are intermittently arranged along the circumferential direction and recessed in the direction in which the central axis extends to hold a lubricant. There is a component mounter.
前記凹部は、前記シャフト側対向面に対して相対的に前記移動部とともに前記ノズル保持部材の前記保持側対向面が回転した際に、前記保持側対向面と前記シャフト側対向面との間に、前記凹部に保持した前記潤滑剤が進入されることにより発生される浮上力によって、前記保持側対向面を前記シャフト側対向面に対して相対的に浮上させて離間させるように構成されている、請求項1に記載の部品実装装置。 The recess is formed between the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface when the holding-side facing surface of the nozzle holding member rotates together with the moving portion relative to the shaft-side facing surface. and the holding-side facing surface is relatively lifted and separated from the shaft-side facing surface by a lifting force generated by the entry of the lubricant held in the recess. , The component mounting apparatus according to claim 1. 前記実装ヘッドは、
前記ノズルシャフトが取り付けられるハウジングと、
前記ノズルシャフトの前記移動部を上昇方向に付勢し、前記ノズルシャフトの前記移動部を上端位置に位置決めする付勢部材とをさらに含み、
前記ノズルシャフトは、
前記ハウジングに固定され、前記シャフト側対向面が設けられた固定部と、
記周方向に回転および前記中心軸線の延びる方向に昇降可能に前記固定部に配置される前記移動部とをさらに有し、
前記凹部は、前記付勢部材により前記ノズルシャフトの前記移動部が前記上端位置に位置した状態において、前記固定部に設けられた前記シャフト側対向面に対して相対的に前記移動部とともに前記ノズル保持部材の前記保持側対向面が回転した際に、前記固定部に設けられた前記シャフト側対向面に対して前記保持側対向面を浮上させて離間させるように構成されている、請求項2に記載の部品実装装置。
The mounting head is
a housing to which the nozzle shaft is attached;
a biasing member that biases the moving portion of the nozzle shaft in an upward direction to position the moving portion of the nozzle shaft at an upper end position;
The nozzle shaft is
a fixed portion fixed to the housing and provided with the shaft-side facing surface;
and the moving part arranged on the fixed part so as to rotate in the circumferential direction and move up and down in the direction in which the central axis extends,
In a state in which the moving portion of the nozzle shaft is positioned at the upper end position by the biasing member, the concave portion moves the nozzle together with the moving portion relatively to the shaft-side facing surface provided on the fixed portion. 3. The holding member is configured such that when the holding side facing surface of the holding member rotates, the holding side facing surface is lifted and separated from the shaft side facing surface provided on the fixed portion. The component mounting device described in .
前記保持側対向面と前記シャフト側対向面との間の前記凹部以外の領域には、前記シャフト側対向面と前記保持側対向面とを離間させることにより、前記潤滑剤を含む潤滑膜が形成されている、請求項2または3に記載の部品実装装置。 A lubricating film containing the lubricant is formed in a region other than the recess between the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface by separating the shaft-side facing surface and the holding-side facing surface. 4. The component mounting apparatus according to claim 2 or 3, wherein 前記実装ヘッドは、
前記ノズルシャフトを介して前記ノズル保持部材に保持された前記複数のノズルのうちの所望のノズルを選択的に上下移動させるノズル押圧部材と、
前記所望のノズルを前記周方向に回転させるとともに、前記所望のノズル以外の他のノズルも前記所望のノズルの回転に伴って前記周方向に回転させる回転機構とをさらに含み、
前記潤滑膜は、前記他のノズルが保持された前記ノズル保持部材の前記保持側対向面と、前記他のノズルが取り付けられた前記ノズルシャフトの前記シャフト側対向面との間に形成されている、請求項4に記載の部品実装装置。
The mounting head is
a nozzle pressing member for selectively moving up and down a desired nozzle among the plurality of nozzles held by the nozzle holding member via the nozzle shaft;
a rotation mechanism that rotates the desired nozzle in the circumferential direction and rotates nozzles other than the desired nozzle in the circumferential direction along with the rotation of the desired nozzle;
The lubricating film is formed between the holding-side facing surface of the nozzle holding member holding the other nozzle and the shaft-side facing surface of the nozzle shaft to which the other nozzle is attached. 5. The component mounting apparatus according to claim 4.
前記保持側対向面および前記シャフト側対向面の少なくとも一方に形成された前記凹部は、前記中心軸線の延びる方向に沿って延びる中心線に対して線対称な形状を有している、請求項1~5のいずれか1項に記載の部品実装装置。 2. The concave portion formed in at least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface has a shape symmetrical with respect to a center line extending along the direction in which the center axis extends. 6. The component mounting apparatus according to any one of 1 to 5. 前記凹部は、半球形状に形成され、前記周方向に間隔を隔てて周状に配置された複数の半球形状部を有し、
前記複数の半球形状部は、前記中心軸線の延びる方向から視て前記中心軸線の延びる方向に直交する径方向に間隔を隔てて放射状にも配置されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の部品実装装置。
The recess is formed in a hemispherical shape and has a plurality of hemispherical portions circumferentially arranged at intervals in the circumferential direction,
7. Any one of claims 1 to 6, wherein the plurality of hemispherical portions are also radially arranged at intervals in a radial direction orthogonal to the direction in which the central axis extends when viewed from the direction in which the central axis extends. The component mounting device according to the item.
前記複数の半球形状部の各々の直径は、前記径方向の外側に向かうにしたがって大きくなるように形成されている、請求項7に記載の部品実装装置。 8. The component mounting apparatus according to claim 7, wherein the diameter of each of said plurality of hemispherical portions is formed so as to increase toward the outer side in said radial direction. 前記凹部は、前記周方向に間隔を隔てて複数配置され、
複数の前記凹部は、前記周方向に間隔を隔てて配置された複数の溝部を有し、
前記複数の溝部は、前記中心軸線の延びる方向から視て、前記複数の溝部の各々が前記中心軸線の延びる方向に直交する径方向に延びることによって放射状に配置されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の部品実装装置。
A plurality of the recesses are arranged at intervals in the circumferential direction,
The plurality of recesses have a plurality of grooves spaced apart in the circumferential direction,
Claims 1 to 6, wherein the plurality of grooves are radially arranged by extending in a radial direction perpendicular to the direction in which the central axis extends when viewed from the direction in which the central axis extends. The component mounting apparatus according to any one of Claims 1 to 3.
前記複数の溝部の各々の前記周方向の幅は、前記径方向の外側に向かうにしたがって大きく形成されている、請求項9に記載の部品実装装置。 10. The component mounting apparatus according to claim 9, wherein the circumferential width of each of said plurality of grooves increases toward the outer side in said radial direction. 前記保持側対向面および前記シャフト側対向面の少なくとも一方には、
前記周方向に沿って延びて前記複数の凹部同士を互いに接続し、前記中心軸線の延びる方向に向かって窪む接続溝が形成され、
前記中心軸線の延びる方向において、前記凹部の深さは、前記接続溝の深さよりも大きい、請求項1~10のいずれか1項に記載の部品実装装置。
At least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface has
forming a connection groove extending along the circumferential direction to connect the plurality of recesses to each other and recessed in the direction in which the central axis extends;
11. The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein the depth of said recess is greater than the depth of said connection groove in the direction in which said central axis extends.
並んで配置され、部品を吸着して基板に実装する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々の中心軸線回りの周方向に回転するとともに昇降する移動部と、前記中心軸線の延びる方向と直交するシャフト側対向面を有するノズルシャフトと、
前記移動部に取り付けられて前記複数のノズルの各々を保持し、前記中心軸線の延びる方向において前記シャフト側対向面に対向する保持側対向面を有するノズル保持部材とを備え、
前記保持側対向面および前記シャフト側対向面の少なくとも一方には、前記周方向に沿って断続的に配置されて前記中心軸線の延びる方向に窪み、潤滑剤を保持する複数の凹部が形成されている、実装ヘッド。
a plurality of nozzles arranged side by side for picking up components and mounting them on the substrate;
a nozzle shaft having a moving portion that rotates and ascends and descends in a circumferential direction around the central axis of each of the plurality of nozzles; and a shaft-side facing surface perpendicular to the direction in which the central axis extends;
a nozzle holding member attached to the moving part to hold each of the plurality of nozzles and having a holding-side facing surface facing the shaft-side facing surface in the direction in which the central axis extends;
At least one of the holding-side facing surface and the shaft-side facing surface is provided with a plurality of recesses that are intermittently arranged along the circumferential direction and recessed in the direction in which the central axis extends to hold a lubricant. There is a mounting head.
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