JP7251909B1 - 拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム - Google Patents
拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7251909B1 JP7251909B1 JP2023003144A JP2023003144A JP7251909B1 JP 7251909 B1 JP7251909 B1 JP 7251909B1 JP 2023003144 A JP2023003144 A JP 2023003144A JP 2023003144 A JP2023003144 A JP 2023003144A JP 7251909 B1 JP7251909 B1 JP 7251909B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- wafers
- diffusion layer
- thickness
- diffusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 361
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 406
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 346
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 252
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 246
- 238000000034 method Methods 0.000 description 43
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 36
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 10
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 8
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 4
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
上記拡散ウエハの製造方法において、前記第1ステップで前記非拡散層の厚さを計測した前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さ順に並び替えた後に、前記第3ステップで、並び替えた前記複数のウエハを予め定めた前記ウエハの研磨枚数ごとに順次研磨する構成とすることができる。
上記拡散ウエハの製造方法において、前記第3ステップにおいて、前記複数のウエハは1枚ずつ、または、複数枚ずつ保持されて研磨され、前記複数のウエハの研磨枚数が1枚である場合は、前記複数のウエハのそれぞれについて算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて前記複数のウエハを1枚ずつ順次研磨し、前記複数のウエハの研磨枚数が複数枚である場合は、同時に保持される前記複数枚のウエハの研磨量または研磨時間を、当該複数枚のウエハの研磨量または研磨時間の代表値に基づいて算出し、算出した研磨量または研磨時間に基づいて、前記複数枚のウエハを同時に研磨する構成とすることができる。
上記拡散ウエハの製造方法において、前記第3ステップ後の、前記複数のウエハの前記非拡散層の厚さの代表値の標準偏差が0.6μm以下である構成とすることができる。
本発明に係る拡散ウエハの製造システムは、不純物が拡散された拡散層と、非拡散層とが形成されたウエハの前記非拡散層の露出面を研磨することで、拡散ウエハを製造する、拡散ウエハの製造システムであって、研磨対象である複数のウエハのそれぞれについて前記非拡散層の厚さを計測する計測手段と、前記複数のウエハのそれぞれについて、前記計測手段により計測された前記非拡散層の厚さと、予め定めた前記非拡散層の規格厚さとの差を算出し、前記差に基づいて研磨量または研磨時間を算出する算出手段と、前記算出手段により算出した前記複数のウエハの全ての研磨量または研磨時間を出力する出力手段と、前記複数のウエハを、前記複数のウエハのそれぞれに算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて研磨する研磨手段と、を有し、前記研磨手段は、前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さの順で、予め定めた前記ウエハの研磨枚数ごと研磨する。
上記拡散ウエハの製造システムにおいて、前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さに応じて並び替える仕分け手段をさらに有し、前記研磨手段は、前記複数のウエハを、前記仕分け手段により前記非拡散層の厚さの順に並び替えられた順に研磨する構成とすることができる。
上記拡散ウエハの製造システムにおいて、前記計測手段は、前記複数のウエハの全数に対して、非破壊的に、ウエハの表面から拡散層と非拡散層との境界までの距離を、前記非拡散層の厚さとして計測する構成とすることができる。
上記拡散ウエハの製造システムにおいて、前記複数のウエハを1枚ずつ、または、複数枚ずつ保持して研磨し、前記ウエハの研磨枚数が1枚である場合は、前記ウエハのそれぞれについて算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて前記ウエハを1枚ずつ順次研磨し、前記ウエハの研磨枚数が複数枚である場合は、同時に研磨される前記複数枚のウエハの研磨量または研磨時間を、当該複数枚のウエハの研磨量または研磨時間の代表値に基づいて算出し、算出した研磨量または研磨時間に基づいて前記複数枚のウエハを同時に研磨する構成とすることができる。
図1は、本実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1を示す構成図である。本実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1は、ドーパント(リンなどの不純物)が拡散され、非拡散層を露出して研削した半導体ウエハWを前工程から受け取り、受け取った半導体ウエハWを研磨することで、拡散ウエハDWを製造するシステムである。図1に示すように、第1実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1は、ドーパントが拡散された半導体ウエハWの全体厚さTHを測定するTH測定装置10と、非拡散層の厚さXiを測定するXi測定装置20と、TH測定装置10およびXi測定装置20により測定した半導体ウエハWの全体厚さTHおよび非拡散層の厚さXiに基づいて、半導体ウエハWを研磨する研磨装置30とを有する。
まず、半導体ウエハWの表層にドーパント(たとえばリンなどの不純物)を定着させた後に、ドーパントを所定の深さまで拡散させることで、ドーパントが拡散された拡散層と、ドーパントが拡散されていない非拡散層とが形成された半導体ウエハWを生成する拡散工程が行われる。具体的には、拡散工程では、半導体ウエハWを熱処理炉内に収容し、熱処理炉内に高濃度のドーパントを含むキャリアガスを導入し、半導体ウエハWの表層にドーパントを定着させるデポジション処理と、熱処理炉内で長時間加熱することで、半導体ウエハWの表層に定着したドーパントを半導体ウエハWの所定の深さまで浸透させ拡散させるドライブイン工程とが行われる。これにより、図2(B)に示すように、両方の表層に拡散層が形成された半導体ウエハWが構成されることとなる。
次に、拡散層が形成された半導体ウエハWの非拡散層を露出させる露出工程が行われる。具体的には、半導体ウエハWを非拡散層の中央位置(たとえば図2(B)に示すPの位置)でダイヤモンドブレードやワイヤーソーなどによりスライスし二分割することで、図2(C)に示すように、非拡散層が露出した半導体ウエハWを得ることができる。
なお、露出工程においては、非拡散層を形成した半導体ウエハWを2分割する上記構成に代えて、半導体ウエハWの片面を研削して、片面の拡散層を除去することで、非拡散層を露出させる構成を採用することもできる。
研磨工程では、露出工程を経た複数の半導体ウエハWについて、非拡散層の鏡面研磨が行われる。特に、本実施形態においては、以下に説明する第1ステップないし第3ステップを経て半導体ウエハWの鏡面研磨が行われる。
第1ステップでは、TH測定装置10およびXi測定装置20により、研磨対象である複数の半導体ウエハWの全てについて、半導体ウエハWの全体厚さTHと、非拡散層の厚さXiとが測定される。なお、本実施形態において、Xi測定装置20は、FT-IR法を用いて、非拡散層の厚さXiを測定することができる。測定された各半導体ウエハWの全体厚さTHおよび非拡散層の厚さXiのデータは、半導体ウエハWを識別するための識別データに関連付けられて、TH測定装置10およびXi測定装置20に記憶される。
第2ステップでは、研磨装置30の制御部33により、研磨対象である全ての半導体ウエハWのそれぞれについて、研磨量または研磨時間が算出される。具体的には、制御部33は、まず、研磨対象である全ての半導体ウエハWのそれぞれについて、第1ステップで測定した非拡散層の厚さXiの測定値と、非拡散層の厚さXiの規定値との差を算出する。そして、制御部33は、算出した非拡散層の厚さの差に基づいて、研磨量または研磨時間を算出する。
第3ステップでは、研磨装置30により、第2ステップで算出した研磨量または研磨時間に基づいて、研磨対象である全ての半導体ウエハWについて鏡面研磨が行われる。本実施形態では、研磨装置30において、定盤31の表面に研磨布(あるいは研磨パッド)を貼り付け、研磨ヘッド32A,32Bで保持した1枚または複数枚の半導体ウエハWを研磨布に押し付けながら定盤31を回転させることで、研磨布により半導体ウエハWを研磨することができる。また、本実施形態では、研磨装置30は、2つの研磨ヘッド32A,32Bを有しており、各研磨ヘッド32A,32Bは、それぞれ4つのチャックテーブルを有し、4つの半導体ウエハWを同時に保持することが可能となっている。チャックテーブルは、真空吸引により半導体ウエハWを保持することができ、半導体ウエハWの拡散層側をチャックテーブルに真空吸着して保持しながら、半導体ウエハWの非拡散層を定盤31に貼付した研磨布で研磨することで、半導体ウエハWの非拡散層を研磨することができる。
試験例1では、非拡散層の厚さXiに基づく研磨量制御の有無と、半導体ウエハW間における非拡散層の厚さXiのばらつきとの関係を説明する。ここで、「非拡散層の厚さXiに基づく研磨量制御」とは、研磨対象の半導体ウエハWを、非拡散層の厚さXiに基づいて算出した研磨量(研磨量=非拡散層の厚さXiの計測値-目標とする非拡散層の厚さの規定値Xa)で研磨することをいい、このような研磨処理を行うものを研磨量制御有りとし、反対に、研磨対象の半導体ウエハWを一律の研磨量で研磨するものを研磨量制御無しとした(後述する第2,第3実施形態においても同様。)。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態では、第1実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1を用い、研磨処理時に、半導体ウエハWを非拡散層の厚さXiの順に研磨すること以外は、第1実施形態と同様に拡散ウエハDWを製造する。
もよい。これにより、研磨装置30は、非拡散層の厚さXiの順に、半導体ウエハWを研磨することができる。
試験例2では、半導体ウエハWの研磨量制御および研磨順制御の有無と、半導体ウエハWの非拡散層の厚さXiのばらつきとの関係を説明する。なお、「研磨順制御の有無」とは、研磨処理時に、半導体ウエハWを非拡散層の厚さXiの順に研磨するか否かを示し、半導体ウエハWを非拡散層の厚さXiの順に研磨する場合は「研磨順制御」は有りとなり、一方、前工程の加工順に半導体ウエハWを研磨する場合は「研磨順制御」は無しとなる。
次に、第2実施形態に係る拡散ウエハDWの製造方法による研磨ロス時間の削減効果について説明する。ここで、研磨ロス時間とは、複数の研磨ヘッドで半導体ウエハWを研磨する場合において、研磨ヘッドごとに研磨時間が異なる場合に、いずれかの研磨ヘッドで最初に研磨が完了してから、全ての研磨ヘッドで研磨が完了するまでの時間をいう。試験例3では、研磨装置30は、2つの研磨ヘッド32A,32Bを有し、2つの研磨ヘッド32A,32Bで半導体ウエハWを4枚ずつ保持し同時に研磨するため、仮に、一方の研磨ヘッド32Aで保持する半導体ウエハWの研磨時間が300秒であり、もう一方の研磨ヘッド32Bで保持する半導体ウエハWの研磨時間が400秒であった場合、研磨ロス時間は100秒となることとなる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図11は、第3実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1bを示す構成図である。第3実施形態に係る拡散ウエハDWの製造システム1bでは、TH測定装置10およびXi測定装置20に加えて、仕分け装置40を有する。仕分け装置40は、ロボットアームやコンベアなどの搬送部を有しており、非拡散層の厚さXiを測定した複数の半導体ウエハWを、非拡散層の厚さXiの順に並び替える機能を有する。
10…TH測定装置
20…Xi測定装置
30…研磨装置
31…定盤
32A,32B…研磨ヘッド
33‥制御部
40…仕分け装置
Claims (8)
- 複数のウエハの両面に不純物を拡散し、不純物が拡散された拡散層と、非拡散層とを形成する拡散工程と、
非拡散層を露出させる露出工程と、
非拡散層の露出面を研磨する研磨工程と、を実行する、拡散ウエハの製造方法であり、
前記研磨工程において、
研磨対象である複数のウエハのそれぞれについて前記非拡散層の厚さを計測する第1ステップと、
前記複数のウエハのそれぞれについて、前記非拡散層の厚さの計測値と、前記非拡散層の厚さの規定値との差を求め、前記差に基づいて研磨量または研磨時間を算出する第2ステップと、
前記複数のウエハを、前記複数のウエハのそれぞれについて算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて研磨する第3ステップと、を有し、
前記第3ステップにおいて、前記複数のウエハを前記非拡散層の厚さの順で、予め定めた前記ウエハの研磨枚数ごと研磨する、拡散ウエハの製造方法。 - 前記第1ステップで前記非拡散層の厚さを計測した前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さ順に並び替えた後に、前記第3ステップで、並び替えた前記複数のウエハを予め定めた前記ウエハの研磨枚数ごとに順次研磨する、請求項1に記載の拡散ウエハの製造方法。
- 前記第3ステップにおいて、前記複数のウエハは1枚ずつ、または、複数枚ずつ保持されて研磨され、
前記複数のウエハの研磨枚数が1枚である場合は、前記複数のウエハのそれぞれについて算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて前記複数のウエハを1枚ずつ順次研磨し、
前記複数のウエハの研磨枚数が複数枚である場合は、同時に保持される前記複数枚のウエハの研磨量または研磨時間を、当該複数枚のウエハの研磨量または研磨時間の代表値に基づいて算出し、算出した研磨量または研磨時間に基づいて前記複数枚のウエハを同時に研磨する、請求項1に記載の拡散ウエハの製造方法。 - 前記第3ステップ後の、前記複数のウエハの前記非拡散層の厚さの代表値の標準偏差が0.6μm以下である、請求項1に記載の拡散ウエハの製造方法。
- 不純物が拡散された拡散層と、非拡散層とが形成されたウエハの前記非拡散層の露出面を研磨することで、拡散ウエハを製造するための拡散ウエハの製造システムであって、
研磨対象である複数のウエハのそれぞれについて前記非拡散層の厚さを計測する計測手段と、
前記複数のウエハのそれぞれについて、前記計測手段により計測された前記非拡散層の厚さと、予め定めた前記非拡散層の規格厚さとの差を算出し、前記差に基づいて研磨量または研磨時間を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出した前記複数のウエハの全ての研磨量または研磨時間を出力する出力手段と、
前記複数のウエハを、前記複数のウエハのそれぞれに算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて研磨する研磨手段と、を有し、
前記研磨手段は、前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さの順で、予め定めた前記ウエハの研磨枚数ごと研磨する、拡散ウエハの製造システム。 - 前記複数のウエハを、前記非拡散層の厚さに応じて並び替える仕分け手段をさらに有し、
前記研磨手段は、前記複数のウエハを、前記仕分け手段により前記非拡散層の厚さの順に並び替えられた順に研磨する、請求項5に記載の拡散ウエハの製造システム。 - 前記計測手段は、前記複数のウエハの全数に対して、非破壊的に、ウエハの表面から拡散層と非拡散層との境界までの距離を、前記非拡散層の厚さとして計測する、請求項5に記載の拡散ウエハの製造システム。
- 前記研磨手段は、前記複数のウエハを1枚ずつ、または、複数枚ずつ保持して研磨し、
前記ウエハの研磨枚数が1枚である場合は、前記ウエハのそれぞれについて算出した前記研磨量または前記研磨時間に基づいて前記ウエハを1枚ずつ順次研磨し、
前記ウエハの研磨枚数が複数枚である場合は、同時に研磨される前記複数枚のウエハの研磨量または研磨時間を、当該複数枚のウエハの研磨量または研磨時間の代表値に基づいて算出し、算出した研磨量または研磨時間に基づいて前記複数枚のウエハを同時に研磨する、請求項5に記載の拡散ウエハの製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023003144A JP7251909B1 (ja) | 2023-01-12 | 2023-01-12 | 拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023003144A JP7251909B1 (ja) | 2023-01-12 | 2023-01-12 | 拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7251909B1 true JP7251909B1 (ja) | 2023-04-04 |
Family
ID=85779530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023003144A Active JP7251909B1 (ja) | 2023-01-12 | 2023-01-12 | 拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7251909B1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05113319A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-05-07 | Toshiba Corp | ウエハ層厚さ測定方法 |
JPH06260546A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | 半導体ウェーハの厚さ分類装置 |
JP2010141166A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Covalent Materials Corp | 拡散ウェーハの製造方法 |
JP2018182211A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層厚の測定方法、及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
-
2023
- 2023-01-12 JP JP2023003144A patent/JP7251909B1/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05113319A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-05-07 | Toshiba Corp | ウエハ層厚さ測定方法 |
JPH06260546A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Mitsubishi Materials Shilicon Corp | 半導体ウェーハの厚さ分類装置 |
JP2010141166A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Covalent Materials Corp | 拡散ウェーハの製造方法 |
JP2018182211A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層厚の測定方法、及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6852012B2 (en) | Cluster tool systems and methods for in fab wafer processing | |
US5389579A (en) | Method for single sided polishing of a semiconductor wafer | |
US5400548A (en) | Process for manufacturing semiconductor wafers having deformation ground in a defined way | |
TWI680507B (zh) | 晶圓研磨方法 | |
EP0823308A1 (en) | Method for fabricating silicon semiconductor discrete wafer | |
KR101624151B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 가공 프로세스 | |
US11948789B2 (en) | Wafer production method | |
JP2007067179A (ja) | 半導体ウエーハの鏡面研磨方法及び鏡面研磨システム | |
TWI722164B (zh) | 模板組件的選別方法以及工件的研磨方法及模板組件 | |
JP7251909B1 (ja) | 拡散ウエハの製造方法および拡散ウエハの製造システム | |
US20020052169A1 (en) | Systems and methods to significantly reduce the grinding marks in surface grinding of semiconductor wafers | |
KR102264085B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 래핑 방법 | |
CN110140195B (zh) | 硅晶圆的研磨方法、硅晶圆的制造方法和硅晶圆 | |
TW201545222A (zh) | 矽晶圓之製造方法及矽晶圓 | |
JP7215412B2 (ja) | 半導体ウェーハ用研磨布の使用開始時期の判定方法及びそれを用いた半導体ウェーハの研磨方法、並びに半導体ウェーハ研磨システム | |
JPH05315305A (ja) | ウェーハ研磨方法 | |
JP2009027095A (ja) | 半導体ウェハの評価方法、半導体ウェハの研削方法、及び半導体ウェハの加工方法 | |
US20010023082A1 (en) | Grind and single wafer etch process to remove metallic contamination in silicon wafers | |
TW201806701A (zh) | 研磨裝置以及晶圓的研磨方法 | |
CN114667594A (zh) | 晶片的研磨方法及硅晶片 | |
JP4615182B2 (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
TWI742711B (zh) | 單結晶矽的氧濃度或碳濃度的測定方法 | |
JP2002166357A (ja) | ウェーハ研磨加工方法 | |
JP6123150B2 (ja) | シリコンウェーハ加工量の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 | |
JP2628448B2 (ja) | 半導体基板の鏡面研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230112 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230302 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230322 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7251909 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |