JP7244747B2 - 液浸槽及び液浸冷却装置 - Google Patents

Description

本発明は、液浸槽及び液浸冷却装置に関する。

動作に伴い発熱するサーバ等の電子装置を冷却する技術の１つとして、槽に貯留されるフッ素系不活性液体等の冷却液に電子装置を浸漬して冷却する液浸冷却装置を用いるものが知られている。例えば、このような液浸冷却装置に関し、冷却液が貯留される液浸槽の気相部と連通するように、気相部の内圧に応じて体積又は内容積が変化する袋状の容器等を設け、気相部の内圧の変動を抑える技術が知られている。

特開２０１８－０１０９８０号公報

ところで、液浸冷却装置では、一定量の冷却液が貯留される液浸槽内に電子装置を設置したり、液浸槽内に設置されている電子装置を液浸槽外に撤去したりすると、電子装置の種類や個数によって、槽内に貯留される冷却液の液面高さが変位する。液浸槽内に貯留される冷却液の液面高さの変位は、液浸槽内への電子装置の設置による液浸槽外への冷却液の溢れ出しや、液浸槽外への電子装置の撤去後に冷却液中に残存する電子装置の冷却液からの露出、それによる冷却不良等を招く恐れがある。

１つの側面では、本発明は、液浸槽内に貯留される冷却液の液面高さの変位を抑えることを目的とする。

１つの態様では、冷却液が貯留される槽本体と、前記槽本体内に設けられ、前記槽本体の底部に接続され、前記槽本体の上部側への膨張、及び膨張した状態から前記底部側への収縮が可能な第１エアバッグと、前記槽本体内の、前記第１エアバッグの外側に設けられ、膨張時及び収縮時の前記第１エアバッグをガイドするガイド部とを含み、前記冷却液に浸漬される電子装置が前記第１エアバッグの前記上部側上に設置される液浸槽が提供される。

また、１つの態様では、上記のような液浸槽を備える液浸冷却装置が提供される。

１つの側面では、液浸槽内に貯留される冷却液の液面高さの変位を抑えることが可能になる。

第１の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。 第１の実施の形態に係る液浸槽における冷却液の液面高さについて説明する図である。 液浸槽の別の例について説明する図である。 冷却液の液面高さを調整するシステムを採用した液浸槽について説明する図である。 第２の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その１）である。 第２の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その２）である。 第２の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その３）である。 第２の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その４）である。 第３の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その１）である。 第３の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その２）である。 第４の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その１）である。 第４の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その２）である。 第４の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その３）である。 第５の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その１）である。 第５の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その２）である。 第６の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その１）である。 第６の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図（その２）である。 第７の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。 第７の実施の形態に係る液浸槽の第１の変形例について説明する図である。 第７の実施の形態に係る液浸槽の第２の変形例について説明する図である。 第８の実施の形態に係る液浸冷却装置の一例について説明する図である。

［第１の実施の形態］
図１は第１の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図１には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。

図１に示す液浸槽１は、槽本体１０、エアバッグ２０及びガイド部３０を備える。
槽本体１０は、底部１１、底部１１から上方に立ち上がる側壁部１２、並びに底部１１及び側壁部１２を覆う蓋部１３を有する。槽本体１０には、金属材料、樹脂材料、炭素材料、或いはガラス材料や炭素材料のファイバーやクロスと樹脂材料との複合材料等が用いられる。

槽本体１０には、冷却液４０が貯留される。冷却液４０には、熱伝導性及び絶縁性を有するものが用いられる。冷却液４０には、例えば、フッ素系不活性液体が用いられる。槽本体１０に貯留される冷却液４０に、動作に伴い発熱するサーバやストレージ等の電子装置２が浸漬される。電子装置２で発生する熱が冷却液４０に伝達され、電子装置２が冷却される。槽本体１０の冷却液４０と蓋部１３との間には、気相部１４が設けられる。気相部１４には、空気や、電子装置２からの熱によって冷却液４０から蒸発する蒸気等の気体が含まれ得る。

槽本体１０には、気相部１４の気体を外部に排出する排出ラインが設けられてもよく、その排出ライン上には、気相部１４の内圧を調整するバルブが設けられてもよい。
エアバッグ２０は、槽本体１０内に設けられる。エアバッグ２０は、袋体の一例である。エアバッグ２０には、例えば、上下方向に伸縮可能な蛇腹状の袋体や、伸縮性を有する素材（弾性体等）を用いて形成された袋体等が用いられる。エアバッグ２０には、例えば、樹脂材料、弾性材料等が用いられる。エアバッグ２０の材料には、槽本体１０に貯留される冷却液４０の浸透を抑える材料、冷却液４０の浸透を抑える表面加工を施した材料等を用いることができる。エアバッグ２０は、槽本体１０内の、冷却液４０に浸漬される電子装置２が設置される箇所に設けられる。設置される電子装置２は、エアバッグ２０上に設置（載置）される。エアバッグ２０の体積は、例えば、その上に設置される電子装置２の寸法や体積に基づいて設定される。

エアバッグ２０は、その一端が、槽本体１０の底部１１に接続され、固定される。エアバッグ２０は、図１の槽本体１０内左側に示すように、一端が槽本体１０の底部１１に接続された状態で、槽本体１０の上部側（蓋部１３側又は気相部１４側）に膨張する。例えば、エアバッグ２０は、その内部に設けられたばね等の弾性体の付勢部によって上方に付勢されることで、或いは内部に空気が供給されることで、膨張する。また、エアバッグ２０は、膨張した状態から、図１の槽本体１０内右側に示すように、槽本体１０の底部１１側に収縮する。例えば、エアバッグ２０は、膨張した状態から、その上に電子装置２が設置され、内部に設けられた弾性体の付勢力に抗して電子装置２の重量で下方に押されることで、或いは電子装置２の重量で下方に押されて内部の空気が排出されることで、収縮する。

図１には、断面視で２つのエアバッグ２０が設けられる例を示すが、槽本体１０内には、１つ又は３つ以上のエアバッグ２０が設けられてもよい。また、図１には、断面視で１つの電子装置２が設置される箇所に１つのエアバッグ２０が設けられる例を示すが、当該箇所には複数のエアバッグ２０が設けられてもよい。また、エアバッグ２０の内部には、冷却液４０の圧力によってエアバッグ２０が潰れることを抑える支持部が設けられてもよい。

ガイド部３０は、槽本体１０内の、エアバッグ２０の外側に設けられる。ガイド部３０には、膨張時及び収縮時のエアバッグ２０がガイド可能であれば、各種材料及び各種形状のものを用いることができる。ガイド部３０には、例えば、エアバッグ２０を囲むフレーム状の部材が用いられる。槽本体１０内には、例えば、底部１１からの高さが異なる位置に、複数（一例として３個）のガイド部３０（図１の点線枠で囲んだものが１個に相当）が設けられる。ガイド部３０は、エアバッグ２０と同様に、槽本体１０内の、冷却液４０に浸漬される電子装置２が設置される箇所に設けられる。設置される電子装置２は、エアバッグ２０上及びガイド部３０（複数の場合は最上位のガイド部３０）上に設置（載置）される。

ガイド部３０（複数の場合は各々のガイド部３０）は、図１の槽本体１０内左側に示すように、エアバッグ２０の膨張に伴い槽本体１０の蓋部１３側に上昇し、図１の槽本体１０内右側に示すように、エアバッグ２０の収縮に伴い槽本体１０の底部１１側に下降する。但し、ガイド部３０は、エアバッグ２０とは独立した構造になっている。例えば、ガイド部３０は、ばね等の弾性体の付勢部によって上方に付勢されることで、上昇する。ガイド部３０は、上昇した状態から、その上に電子装置２が設置され、弾性体の付勢力に抗して電子装置２の重量で下方に押されることで、下降する。ガイド部３０は、エアバッグ２０の膨張及び収縮に伴って上昇及び下降することで、膨張時及び収縮時のエアバッグ２０をガイドする。ガイド部３０の昇降により、膨縮時のエアバッグ２０の折れや倒れが抑えられる。

液浸槽１の槽本体１０内には、設置される冷却対象の電子装置２全体が浸漬される量の冷却液４０、例えば、図１に示すような液面高さＳの冷却液４０が貯留される。液浸槽１では、仕様変更やメンテナンスの際等、既に設置されている電子装置２が冷却液４０から撤去される場合や、別の電子装置が冷却液４０に設置（増設）される場合にも、槽本体１０内に貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

図２は第１の実施の形態に係る液浸槽における冷却液の液面高さについて説明する図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）にはそれぞれ、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。

図２（Ａ）は、上記図１に示したようなエアバッグ２０上の電子装置２が、エアバッグ２０上から撤去された状態の一例を示したものである。電子装置２の重量で下方に押されて収縮していたエアバッグ２０（１つ又は２つ以上）は、電子装置２の撤去に伴い、その重量による押さえが取り除かれ、内部に設けられた弾性体の付勢力或いは内部への空気の供給によって、膨張する。エアバッグ２０と共に電子装置２の重量で下方に押されていたガイド部３０もまた、電子装置２の撤去に伴い、その重量による押さえが取り除かれ、弾性体の付勢力によって、上昇する。エアバッグ２０は、上昇するガイド部３０でガイドされて膨張する。液浸槽１では、冷却液４０に浸漬されていた電子装置２の体積が、電子装置２の撤去に伴い膨張するエアバッグ２０の体積（膨張による増加分の体積）で置換される。これにより、電子装置２を撤去することで生じる冷却液４０の液面低下が抑えられ、電子装置２の撤去前の液面高さＳからの変位が抑えられる。

図２（Ｂ）は、上記図１に示したような膨張したエアバッグ２０上に、電子装置２ａが増設された状態の一例を示したものである。膨張したエアバッグ２０（１つ又は２つ以上）は、その上への電子装置２ａの増設に伴い、その重量で下方に押され、内部に設けられた弾性体の付勢力に抗した押圧或いは内部からの空気の排出によって、収縮する。エアバッグ２０を囲むガイド部３０もまた、電子装置２ａの増設に伴い、その重量で下方に押され、弾性体の付勢力に抗した押圧によって、下降する。エアバッグ２０は、下降するガイド部３０でガイドされて収縮する。液浸槽１では、電子装置２ａの増設に伴い収縮するエアバッグ２０の体積（収縮による減少分の体積）が、増設される電子装置２ａの体積で置換される。これにより、電子装置２ａを増設することで生じる冷却液４０の液面上昇が抑えられ、電子装置２ａの増設前の液面高さＳからの変位が抑えられる。

このように液浸槽１では、膨張によってエアバッグ２０が冷却液４０中で占有する体積と、撤去される電子装置２又は増設される電子装置２ａが冷却液４０中で占有する体積とが、互いに置換される。これにより、液浸槽１の槽本体１０に貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が効果的に抑えられる。

比較のため、上記のようなエアバッグ２０を用いない液浸槽について、図３及び図４を参照して説明する。
図３は液浸槽の別の例について説明する図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）にはそれぞれ、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。

図３（Ａ）は、一定量の冷却液４０が貯留されてその冷却液４０に電子装置１００２，１００２ａが浸漬された液浸槽１０００から、一方の電子装置１００２ａを撤去した例を示したものである。図３（Ａ）には、電子装置１００２ａの撤去前の冷却液４０の液面を点線で示している。液浸槽１０００では、図３（Ａ）に実線太矢印で示すように、撤去された電子装置１００２ａの体積分、冷却液４０の液面が低下する。冷却液４０の液面が低下し、図３（Ａ）に示すような液面高さＳ１となった時に、電子装置１００２ａの撤去後の液浸槽１０００内に残る電子装置１００２が、冷却液４０から露出してしまうと、電子装置１００２の冷却不足、それによる過熱、過熱に起因した性能低下や破損を招く恐れがある。

図３（Ｂ）は、一定量の冷却液４０が貯留されてその冷却液４０に電子装置１００２が浸漬された液浸槽１０００に、更に電子装置１００２ａが増設された例を示したものである。図３（Ｂ）には、電子装置１００２ａの増設前の冷却液４０の液面を点線で示している。液浸槽１０００では、図３（Ｂ）に実線太矢印で示すように、増設された電子装置１００２ａの体積分、冷却液４０の液面が上昇する。冷却液４０の液面が上昇し、図３（Ｂ）に示すような、液浸槽１０００の貯留可能な冷却液４０の液面高さＳ２（最大値）を超えると、冷却液４０の液浸槽１０００外への溢れ出しが発生するか、或いは溢れ出しを抑えるためのポンプ等による汲み出しを要することが起こり得る。

このように液浸槽１０００では、電子装置１００２ａの撤去及び増設に際し、冷却液４０の液面高さが変位し、冷却液４０中に残る電子装置１００２の冷却不足、冷却液４０の外部への溢れ出し等が生じる可能性がある。

そのため、液浸槽１０００では、電子装置１００２ａの撤去又は増設の際、冷却液４０が補充又は排出され、冷却液４０の液面高さが、撤去前又は増設前と同じか或いは同等となるように、調整される。例えば、次の図４に示すようなシステムが採用され、冷却液４０の補充又は排出による液面高さの調整が行われる。

図４は冷却液の液面高さを調整するシステムを採用した液浸槽について説明する図である。
例えば、上記のような液浸槽１０００（図３（Ａ）及び図３（Ｂ））に、図４に示すようなシステム１０５０が採用される。システム１０５０は、液浸槽１０００に貯留される冷却液４０の液面高さを監視するセンサ１０５１を備える。液浸槽１０００は更に、冷却液４０を補充又は排出する配管１０５２及びポンプ１０５３、センサ１０５１で検知される情報に基づいてポンプ１０５３を制御する制御部１０５４、並びに補充又は排出する冷却液４０を貯留する予備槽１０５５を備える。

例えば、電子装置１００２ａを撤去する場合であれば、撤去に伴う冷却液４０の液面低下がセンサ１０５１で検知され、その情報に基づき制御部１０５４でポンプ１０５３の駆動が制御され、予備槽１０５５から配管１０５２を通じて液浸槽１０００に冷却液４０が補充される。また、電子装置１００２ａを増設する場合であれば、増設に伴う冷却液４０の液面上昇がセンサ１０５１で検知され、その情報に基づき制御部１０５４でポンプ１０５３の駆動が制御され、液浸槽１０００から配管１０５２を通じて予備槽１０５５に冷却液４０が排出される。液浸槽１０００では、このようなシステム１０５０によって、電子装置１００２ａの撤去時又は増設時に冷却液４０が補充又は排出され、液浸槽１０００に貯留される冷却液４０が、撤去前又は増設前の一定の液面高さＳ０となるように調整される。

しかし、このようなシステム１０５０を採用する場合には、液浸槽１０００へのシステム１０５０の組み込みに要するコスト、システム１０５０の運用に要するコスト、システム１０５０の配置スペースの確保等が生じ得る。

システム１０５０を用いずに、電子装置１００２ａの撤去時及び増設時の冷却液４０の液面高さの変位を抑え、冷却液４０中に残る電子装置１００２の冷却不足、冷却液４０の外部への溢れ出し等を抑えるために、次のような手法を用いることも考えられる。例えば、電子装置１００２ａが撤去されても冷却液４０中に残る電子装置１００２が露出しない量の冷却液４０が貯留され、電子装置１００２ａが増設されても冷却液４０が溢れない空間が冷却液４０上に確保されるような、大型の液浸槽１０００を用いる手法である。

しかし、この手法では、液浸槽１０００が大型化されるため、より広い配置スペースを確保することを要する。更に、冷却液４０には、前述のように熱伝導性及び絶縁性を有するものが用いられ、このような冷却液４０は、水に比べて比重が大きく、また高価である。そのため、液浸槽１０００が大型化され、貯留される冷却液４０が増量されると、冷却液４０が貯留されて更にそこに電子装置１００２等が浸漬される液浸槽１０００の重量が増大し、配置場所の床耐荷重を超えたり、配置場所が制限されたりする。また、液浸槽１０００が大型化され、貯留される冷却液４０が増量されると、使用する冷却液４０に要するコストが増大する。このような重量やコストの観点では、液浸槽１０００に貯留される冷却液４０は、極力少量である方が好ましいが、そうすると、上記図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示したような状況が生じたり、上記図４に示したようなシステム１０５０の採用を要したりすることになる。

これに対し、第１の実施の形態に係る液浸槽１（図１、図２（Ａ）及び図２（Ｂ））では、上記のように、電子装置２，２ａが設置されない時（又は設置される前）に膨張し、電子装置２，２ａが設置された時に収縮するエアバッグ２０が設けられる。例えば、液浸槽１では、電子装置２の撤去時には、撤去される電子装置２の体積と、電子装置２の撤去に伴い膨張するエアバッグ２０の体積（膨張による増加分の体積）とが、互いに置換される。これにより、電子装置２の撤去時における冷却液４０の液面高さＳの変位（液面低下）が効果的に抑えられる。また、液浸槽１では、電子装置２ａの増設時には、電子装置２ａの増設に伴い収縮するエアバッグ２０の体積（収縮による減少分の体積）と、増設される電子装置２ａの体積とが、互いに置換される。これにより、電子装置２ａの増設時における冷却液４０の液面高さＳの変位（液面上昇）が効果的に抑えられる。

液浸槽１では、このように膨張及び収縮するエアバッグ２０が設けられ、その膨張及び収縮によって冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。そのため、電子装置２の撤去時に液浸槽１に冷却液４０を補充すること、及び電子装置２ａの増設時に液浸槽１から冷却液４０を排出することを要しない。液浸槽１では、貯留される冷却液４０の量が比較的少量、例えば、液浸槽１に最大数の電子装置群が設置された時にそれら電子装置群を全て冷却液４０に浸漬可能な量（即ち最少量）に設定される。液浸槽１によれば、冷却液４０の補充及び排出を行う上記のようなシステム１０５０を採用することを要しないため、システム１０５０の採用に伴うコストの発生、システム１０５０の配置スペースの確保といった問題が回避される。また、液浸槽１によれば、その槽本体１０を上記のように大型化すること、及び使用する冷却液４０を増量することを要しないため、配置スペースの確保、重量増及び床耐荷重、冷却液４０のコストの増大といった問題が回避される。

エアバッグ２０の膨張及び収縮を利用して、貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位を抑える液浸槽１によれば、その小型化、軽量化、低コスト化を実現することが可能になる。

［第２の実施の形態］
ここでは、上記第１の実施の形態で述べたような構成を採用した液浸槽の一例を、第２の実施の形態として説明する。

図５～図８は第２の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図５には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。図６には、エアバッグの一例の要部斜視図を模式的に示している。図７には、エアバッグ及びガイド部の一例の要部斜視図を模式的に示している。図８（Ａ）及び図８（Ｂ）には、液浸槽の一例の要部分解斜視図を模式的に示している。

図５に示す液浸槽１００Ａは、槽本体１１０、エアバッグ１２０及びガイド部１３０を備える。
槽本体１１０は、図５に示すように、底部１１１、底部１１１から上方に立ち上がる側壁部１１２、並びに底部１１１及び側壁部１１２を覆う蓋部１１３を有する。槽本体１１０には、金属材料、樹脂材料、炭素材料、或いはガラス材料や炭素材料のファイバーやクロスと樹脂材料との複合材料等が用いられる。

槽本体１１０には、熱伝導性及び絶縁性を有するフッ素系不活性液体等の冷却液４０が貯留される。槽本体１１０に貯留される冷却液４０に、動作に伴い発熱するサーバやストレージ等の電子装置２が浸漬される。電子装置２で発生する熱が冷却液４０に伝達され、電子装置２が冷却される。槽本体１１０の冷却液４０と蓋部１１３との間には、空気や、電子装置２からの熱で蒸発した冷却液４０の蒸気等の気体が含まれ得る気相部１１４が設けられる。

槽本体１１０には、気相部１１４の気体を外部に排出する排出ラインが設けられてもよく、その排出ライン上には、気相部１１４の内圧を調整するバルブが設けられてもよい。
エアバッグ１２０は、図５に示すように、槽本体１１０内に設けられる。エアバッグ１２０は、袋体の一例である。エアバッグ１２０には、例えば、上下方向に伸縮可能な蛇腹状の袋体や、伸縮性を有する素材（弾性体等）を用いて形成された袋体等が用いられる。エアバッグ１２０には、例えば、樹脂材料、弾性材料等が用いられる。エアバッグ１２０の材料には、槽本体１１０に貯留される冷却液４０の浸透を抑える材料、冷却液４０の浸透を抑える表面加工を施した材料等を用いることができる。この例では、槽本体１１０内に、複数（一例として断面視で７個）のエアバッグ１２０が設けられる。複数のエアバッグ１２０は、槽本体１１０内の、冷却液４０に浸漬される電子装置２が設置される箇所に設けられる。複数のエアバッグ１２０上に電子装置２が設置（載置）される。尚、図５には、断面視で１つの電子装置２が設置される箇所に複数（一例として３個）のエアバッグ１２０が設けられる例を示すが、当該箇所に設けられるエアバッグ１２０の個数はこれに限定されるものではない。

エアバッグ１２０は、図５に示すように、その一端が、槽本体１１０の底部１１１に接続され、固定される。底部１１１に接続されるエアバッグ１２０の一端には、図５及び図６に示すように、底部１１１を貫通して槽本体１１０の外部に通じる通気口１２１が設けられる。槽本体１１０の外部から通気口１２１を通じてエアバッグ１２０の内部に空気が供給され、また、エアバッグ１２０の内部から通気口１２１を通じて槽本体１１０の外部に空気が排出される。エアバッグ１２０は、一端が底部１１１に接続された状態で、槽本体１１０の上部側（蓋部１１３側又は気相部１１４側）へ膨張し（図５の槽本体１１０内左側の４個）、また、膨張した状態から、底部１１１側に収縮する（図５の槽本体１１０内右側の３個）。

図６は、膨張した状態のエアバッグ１２０の一例である。液浸槽１００Ａのエアバッグ１２０には、例えば、膨張した時の外形が概ね直方体形状又は略直方体形状となるものが用いられる。エアバッグ１２０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、高さＨ）やそれが膨張した時の体積は、その上に設置される電子装置２の寸法や体積に基づいて設定することができる。例えば、電子装置２にラックが用いられる場合、エアバッグ１２０の幅Ｗ及び長さＬは、そのラックのユニットシャーシーの規格（１９インチラックの単位規格高さ１Ｕ（４４．４５ｍｍ）等）又はその倍数にする。このようにすると、１つの電子装置２の設置に対して使用するエアバッグ１２０の個数の設定、槽本体１１０内に設けるエアバッグ１２０の総数の設定等が容易になる。尚、図５に示すエアバッグ１２０は、図６に示すようなエアバッグ１２０をその幅Ｗの面側から見たもの（図５の紙面奥行き方向が図６の長さＬの方向となるもの）に相当する。

エアバッグ１２０の内部には、図５及び図６に示すように、エアバッグ１２０を上方に付勢する付勢部としてばね１２２が設けられる。ばね１２２は、エアバッグ１２０の内部に設けられ、エアバッグ１２０を上方に付勢する付勢力によって、エアバッグ１２０を膨張させる機能を有する。ばね１２２には、各種材料及び各種形状のものを用いることができる。例えば、ばね１２２には、図６に示すような、エアバッグ１２０の内面に沿って巻回されたコイル状のばねが用いられる。このほか、ばね１２２には、板状のばねが用いられてもよい。

エアバッグ１２０の内部には更に、図５及び図６に示すように、支持部１２３が設けられる。支持部１２３は、エアバッグ１２０の内部に設けられ、槽本体１１０に貯留される冷却液４０の圧力によってエアバッグ１２０が内側に潰れることを抑える機能を有する。支持部１２３には、各種材料及び各種形状のものを用いることができる。支持部１２３は、エアバッグ１２０の膨張及び収縮に影響しない程度の大きさで、エアバッグ１２０が内側に潰れることを抑えることができるような形状とされる。例えば、複数（一例として１１個）のフレーム状の支持部１２３が、エアバッグ１２０の内面に、その高さ方向（又は上下方向若しくは膨縮方向）に一定間隔で取り付けられる。

図５に示す液浸槽１００Ａにおいて、電子装置２が設置されない（又は設置される前の）エアバッグ１２０は、内部に設けられたばね１２２の付勢力によって上方に付勢され、通気口１２１から外部の空気が取り込まれ、膨張する。電子装置２が設置されないエアバッグ１２０は、内部のばね１２２で槽本体１１０の底部１１１から蓋部１１３に向かってエアバッグ１２０の最大高さまで延伸され、内部の支持部１２３で外側に向かって広げられることで、エアバッグ１２０の最大体積で膨張する。膨張したエアバッグ１２０上に電子装置２が設置されると、エアバッグ１２０は、内部のばね１２２の付勢力に抗して電子装置２の重量で下方に押され、通気口１２１から内部の空気が排出され、収縮する。

ガイド部１３０は、図５及び図７に示すように、槽本体１１０内の、エアバッグ１２０の外側に設けられる。ガイド部１３０には、膨張時及び収縮時のエアバッグ１２０がガイド可能であれば、各種材料及び各種形状のものを用いることができる。ガイド部１３０には、例えば、エアバッグ１２０を囲むフレーム状の部材が用いられる。槽本体１１０内には、例えば、底部１１１からの高さが異なる位置に、複数（一例として６個）のガイド部１３０が設けられる。ガイド部１３０は、エアバッグ１２０と同様に、槽本体１１０内の、冷却液４０に浸漬される電子装置２が設置される箇所に、設けられる。設置される電子装置２は、エアバッグ１２０上及び最上位のガイド部１３０上に設置（載置）される。

各ガイド部１３０は、エアバッグ１２０の膨張に伴い槽本体１１０の側壁部１１２に沿って上昇し、エアバッグ１２０の収縮に伴い側壁部１１２に沿って下降する。例えば、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように、槽本体１１０の対向する側壁部１１２にそれぞれ、上下方向に延びる溝１１２ａ（一方の側壁部１１２につき一対の溝１１２ａ）が設けられ、各ガイド部１３０には、その側壁部１１２の溝１１２ａに上下移動可能に嵌合される嵌合部１３１が設けられる。各ガイド部１３０は、嵌合部１３１が側壁部１１２の溝１１２ａに嵌合され、嵌合部１３１を溝１１２ａにガイドされて、槽本体１１０内を側壁部１１２に沿って昇降する。

側壁部１１２の溝１１２ａに嵌合される最下位のガイド部１３０の嵌合部１３１と底部１１１との間、溝１１２ａに嵌合されるガイド部１３０の嵌合部１３１同士の間には、各ガイド部１３０を上方に付勢する付勢部としてばね１３２が設けられる。例えば、図８（Ｂ）に示すような、側壁部１１２の溝１１２ａ（その拡幅部１１２ａａ）内に挿入可能なコイル状のばね１３２が用いられる。このようなばね１３２が、底部１１１と最下位のガイド部１３０の嵌合部１３１との間の溝１１２ａ、ガイド部１３０の嵌合部１３１同士の間の溝１１２ａに挿入されることで、各ガイド部１３０が、ばね１３２によって上方に付勢される。

図５に示す液浸槽１００Ａにおいて、電子装置２が設置されないエアバッグ１２０は、その内部に設けられたばね１２２の付勢力によって上方に付勢され、通気口１２１から外部の空気が取り込まれ、膨張する。このエアバッグ１２０を囲む複数のガイド部１３０は、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように嵌合部１３１が嵌合される側壁部１１２の溝１１２ａに挿入されたばね１３２の付勢力によって上方に付勢され、上昇する。このように複数のガイド部１３０は、エアバッグ１２０の膨張に伴い上昇し、膨張時のエアバッグ１２０をガイドし、その折れや倒れを抑える機能を有する。

膨張したエアバッグ１２０上に電子装置２が設置されると、エアバッグ１２０は、その内部のばね１２２の付勢力に抗して電子装置２の重量で下方に押され、通気口１２１から内部の空気が排出され、収縮する。このエアバッグ１２０を囲む上昇した複数のガイド部１３０のうちの最上位のガイド部１３０上にも、電子装置２が設置される。電子装置２が設置されると、複数のガイド部１３０は、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように嵌合部１３１が嵌合される側壁部１１２の溝１１２ａに挿入されたばね１３２の付勢力に抗して電子装置２の重量で下方に押され、下降する。このように複数のガイド部１３０は、エアバッグ１２０の収縮に伴い下降し、収縮時のエアバッグ１２０をガイドし、その折れや倒れを抑える機能を有する。

液浸槽１００Ａの槽本体１１０内には、設置される電子装置２全体が浸漬される量の冷却液４０が貯留される。液浸槽１００Ａでは、既に設置されている電子装置２が撤去される場合や、別の電子装置が増設される場合にも、槽本体１１０内に貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

例えば、電子装置２が撤去される場合、電子装置２の設置により収縮していたその設置箇所の複数のエアバッグ１２０は、電子装置２の重量による押さえが取り除かれることで、内部のばね１２２の付勢力によって付勢され、通気口１２１から空気が取り込まれ、膨張する。その膨張の際、各エアバッグ１２０は、内部の支持部１２３で冷却液４０の圧力による潰れが抑えられる。収縮していた各エアバッグ１２０を囲み電子装置２の重量で下方に押されていた複数のガイド部１３０もまた、電子装置２の重量による押さえが取り除かれることで、ばね１３２（図８（Ｂ））の付勢力によって付勢され、上昇する。膨張する各エアバッグ１２０は、上昇する複数のガイド部１３０でガイドされ、膨張時の折れや倒れが抑えられる。

液浸槽１００Ａでは、撤去される電子装置２の体積が、その撤去に伴い膨張する複数のエアバッグ１２０の体積（膨張による増加分の体積）で置換される。液浸槽１００Ａでは、複数のエアバッグ１２０の膨張による増加分の体積（収縮していた状態と膨張した状態との体積差）が、撤去される電子装置２の体積と同じか或いは同等となるように、撤去箇所の複数のエアバッグ１２０の個数や各エアバッグ１２０の寸法が調整される。これにより、電子装置２を撤去することで生じる冷却液４０の液面低下が抑えられ、電子装置２の撤去前の液面高さＳからの変位が抑えられる。

膨張した複数のエアバッグ１２０上に電子装置２が増設される場合、その増設箇所の複数のエアバッグ１２０は、内部のばね１２２の付勢力に抗して電子装置２の重量により下方に押され、通気口１２１から空気が排出され、収縮する。その収縮の際、各エアバッグ１２０は、内部の支持部１２３で冷却液４０の圧力による潰れが抑えられる。各エアバッグ１２０を囲む複数のガイド部１３０もまた、ばね１３２（図８（Ｂ））の付勢力に抗して電子装置２の重量により下方に押され、下降する。収縮する各エアバッグ１２０は、下降する複数のガイド部１３０でガイドされ、収縮時の折れや倒れが抑えられる。

液浸槽１００Ａでは、電子装置２の増設に伴い収縮する複数のエアバッグ１２０の体積（収縮による減少分の体積）が、増設される電子装置２の体積で置換される。液浸槽１００Ａでは、複数のエアバッグ１２０の収縮による減少分の体積（膨張していた状態と収縮した状態との体積差）が、増設される電子装置２の体積と同じか或いは同等となるように、増設箇所の複数のエアバッグ１２０の個数や各エアバッグ１２０の寸法が調整される。これにより、電子装置２を増設することで生じる冷却液４０の液面上昇が抑えられ、電子装置２の増設前の液面高さＳからの変位が抑えられる。

このように液浸槽１００Ａでは、電子装置２が撤去又は増設される箇所の複数のエアバッグ１２０が膨張により冷却液４０中で占有する体積と、撤去又は増設される電子装置２が冷却液４０中で占有する体積とが、互いに置換される。これにより、液浸槽１００Ａの槽本体１１０に貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が効果的に抑えられる。電子装置２の撤去又は増設に伴うエアバッグ１２０の膨張及び収縮を利用して、貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられるため、冷却液４０の補充及び排出、槽本体１１０の大型化、冷却液４０の使用量の増大等の発生が抑えられる。これにより、小型、軽量、低コストの液浸槽１００Ａが実現される。

［第３の実施の形態］
ここでは、上記第２の実施の形態で述べたようなエアバッグ１２０を調整可能にした液浸槽の一例を、第３の実施の形態として説明する。

図９及び図１０は第３の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図９には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。図１０には、液浸槽の一例の要部分解斜視図を模式的に示している。

図９に示す液浸槽１００Ｂは、電子装置が設置されない（又は設置される前の）、膨張した状態のエアバッグ１２０の上端位置（高さ）Ｈ１を、そのエアバッグ１２０の最大膨張時の上端位置（高さ）Ｈよりも低い位置に調整する調整部１５０を備える。液浸槽１００Ｂは、このような点で、上記第２の実施の形態で述べた液浸槽１００Ａ（図５～図８）と相違する。

液浸槽１００Ｂの調整部１５０の構成例について、図１０を参照して説明する。
液浸槽１００Ｂでは、上端位置Ｈ１が調整されるエアバッグ１２０を囲む複数のガイド部１３０（図９）のうちの最上位のガイド部１３０について、図１０に示すように、そのエアバッグ１２０の通る開口１３０ａが、金網等のカバー１５１で塞がれる。槽本体１１０の側壁部１１２の溝１１２ａには、最上位のガイド部１３０を上方に付勢するばね１３２が挿入され、ばね１３２が挿入された溝１１２ａに、開口１３０ａがカバー１５１で塞がれた最上位のガイド部１３０の嵌合部１３１が嵌合される。尚、最上位のガイド部１３０よりも下位のガイド部１３０群も同様に、側壁部１１２の溝１１２ａにばね１３２が挿入され、嵌合部１３１が嵌合されて、槽本体１１０内に設けられる。この上に、上記のように、ばね１３２が挿入され、最上位のガイド部１３０が嵌合される。

最上位のガイド部１３０の嵌合部１３１が嵌合された側壁部１１２の溝１１２ａの対には更に、図１０に示すような高さ調整用のコマ（駒）１５２の対が挿入される。例えば、溝１１２ａの対に複数のコマ１５２の対が挿入される。この場合、複数のコマ１５２の対のうちの異なるもの同士は、必ずしも同じ高さであることを要しない。コマ１５２の対が溝１１２ａの対に挿入された状態で、オサエ（押さえ）１５３がねじ１５４で側壁部１１２の上面１１２ｂ（そこに設けられたねじ穴１１２ｂｂ）に固定される。

これにより、最上位のガイド部１３０は、側壁部１１２の溝１１２ａの対に挿入されたコマ１５２の対の高さ（コマ１５２が複数対の場合はそれらの合計の高さ）分、側壁部１１２の上面１１２ｂよりも下に位置するようになり、それよりも上への上昇が規制されるようになる。最上位のガイド部１３０の、エアバッグ１２０が通る開口１３０ａは、カバー１５１で塞がれているため、ばね１２２の付勢力によって上方に付勢されて膨張するエアバッグ１２０の、カバー１５１よりも上への膨張が規制されるようになる。

尚、カバー１５１は、それよりも上へのエアバッグ１２０の膨張を規制することができるものであれば、各種材料及び各種形態のものを用いることができる。但し、カバー１５１によってその上下間の冷却液４０の流通が塞き止められ、それによって設置される電子装置の冷却に影響が生じるような場合には、金網等、上下間を冷却液４０が流通可能な孔を備えたカバー１５１を用いることが好ましい。

液浸槽１００Ｂでは、上記のような調整部１５０が用いられ、カバー１５１で膨張が規制されたエアバッグ１２０の上端位置Ｈ１が、カバー１５１で膨張が規制されないエアバッグ１２０の最大膨張時の上端位置Ｈよりも低い位置に調整される。このように調整されたエアバッグ１２０が、図９に示すように、液面高さＳの冷却液４０が貯留される槽本体１１０内に設けられる。

液浸槽１００Ｂでは、槽本体１１０の側壁部１１２の溝１１２ａの対に挿入されるコマ１５２の対（図１０）の高さ及び個数が調整されることで、カバー１５１で膨張を規制するエアバッグ１２０の上端位置Ｈ１が調整される。カバー１５１で膨張を規制するエアバッグ１２０の上端位置Ｈ１（即ちコマ１５２の対の高さ及び個数）は、その上に設置される電子装置の寸法や体積に基づいて設定される。

冷却液４０に浸漬される冷却対象の電子装置の中には、他の電子装置と外形寸法が同じであっても、実装される装置ユニット等の実装密度が異なるために、冷却液４０中で占有する体積が他の電子装置とは異なってくるものがある。電子装置が設置されることで収縮するエアバッグ１２０の収縮量は、設置される電子装置の外形寸法で決まる。そのため、電子装置の外形寸法及び実装密度によっては、その電子装置が冷却液４０中で占有する体積と、その電子装置で収縮されるエアバッグ１２０の体積（収縮による減少分の体積）とが不一致となり、冷却液４０の液面高さＳが変位することが起こり得る。或いは、電子装置の外形寸法及び実装密度によっては、撤去される電子装置が冷却液４０中で占有していた体積と、撤去により膨張するエアバッグ１２０の体積（膨張による増加分の体積）とが不一致となり、冷却液４０の液面高さＳが変位することが起こり得る。

このような点に鑑み、液浸槽１００Ｂでは、冷却液４０中に浸漬されて設置される電子装置の実装密度、換言すれば、その電子装置が冷却液４０中で占有する体積（実効体積）に基づき、電子装置の設置前の膨張した状態のエアバッグ１２０の上端位置Ｈ１が、予め調整される。例えば、外形寸法が同じで実装密度が異なる電子装置群を含む冷却対象のうち、実装密度の低い電子装置が設置される箇所のエアバッグ１２０に対し、上記調整部１５０により、膨張した状態での上端位置Ｈ１を、最大膨張時の上端位置Ｈよりも低くする調整が行われる。実装密度が低く実効体積が小さい電子装置が冷却液４０中で占有する体積と、電子装置の設置によりその外形寸法で決まる位置まで収縮するエアバッグ１２０の減少分の体積とを一致させることで、電子装置の設置前の液面高さＳからの変位が抑えられる。また、その電子装置の撤去時には、撤去に伴うエアバッグ１２０の膨張が、調整された上端位置Ｈ１までに規制される。膨張によるエアバッグ１２０の増加分の体積と、電子装置が冷却液４０中で占有していた体積とを一致させることで、電子装置の撤去前の液面高さＳからの変位が抑えられる。

このように液浸槽１００Ｂでは、冷却対象の電子装置の実装密度に基づき、その設置前の膨張した状態のエアバッグ１２０の上端位置Ｈ１が予め調整され、冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

尚、液浸槽１００Ｂにおいて、エアバッグ１２０は、最大膨張時の上端位置Ｈよりも低い上端位置Ｈ１に調整される、即ち最大膨張時の体積から減らす方向に調整される。そのため、調整前の元々のエアバッグ１２０の体積を大きくしておき、その上に設置される電子装置の実装密度に基づき、上記のようなコマ１５２の対の高さ及び個数によって上端位置Ｈ１を調整することが好ましい。

［第４の実施の形態］
ここでは、上記第２の実施の形態で述べたようなエアバッグ１２０の１個分を複数に分割した液浸槽の一例を、第４の実施の形態として説明する。

図１１～図１３は第４の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図１１には、液浸槽の一例の要部平面図を模式的に示している。図１２には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。ここで、図１２は、図１１のXII－XII断面を模式的に示したものである。図１３には、液浸槽の一例の要部分解斜視図を模式的に示している。

図１１及び図１２に示す液浸槽１００Ｃは、仕切り１３３で仕切られて分割された複数の分割領域１３４を備えるガイド部１３０Ｃと、そのガイド部１３０Ｃの各々の分割領域１３４を通る寸法の複数のエアバッグ１２０Ｃとを備える。液浸槽１００Ｃは、このような点で、上記第２の実施の形態で述べた液浸槽１００Ａ（図５～図８）と相違する。

液浸槽１００Ｃでは、図１１及び図１３に示すような、上記第２の実施の形態で述べたガイド部１３０の開口１３０ａを仕切り１３３で仕切って複数（一例として１０個）の分割領域１３４に分割したガイド部１３０Ｃが用いられる。図１３に示すように、ガイド部１３０Ｃに設けられた嵌合部１３１が、槽本体１１０の側壁部１１２に設けられた溝１１２ａに嵌合される。側壁部１１２の溝１１２ａには、ガイド部１３０Ｃを上方に付勢するばね１３２が挿入され、その上にガイド部１３０Ｃの嵌合部１３１が嵌合される。側壁部１１２の溝１１２ａに対するばね１３２の挿入、及びガイド部１３０Ｃの嵌合部１３１の嵌合が繰り返され、図１２に示すように、複数（一例として６個）のガイド部１３０Ｃが、槽本体１１０の高さ方向に並設される。高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組において、各々の分割領域１３４同士は、平面視で重複するように位置される。液浸槽１００Ｃには、図１２に示すような、高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組が、図１１に示すように、槽本体１１０の平面方向に複数列（一例として７列）並設される。

液浸槽１００Ｃでは、図１１及び図１２に示すような、上記第２の実施の形態で述べたエアバッグ１２０を複数（各ガイド部１３０Ｃの分割領域１３４の個数分、一例として１０個）に分割したエアバッグ１２０Ｃが用いられる。各エアバッグ１２０Ｃには、例えば、上下方向に伸縮可能な蛇腹状の袋体や、伸縮性を有する素材（弾性体等）を用いて形成された袋体等が用いられる。各エアバッグ１２０Ｃは、槽本体１１０の高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組の、重複する分割領域１３４群を通るように、設けられる。各エアバッグ１２０Ｃの底部には、通気口１２１が設けられ、各エアバッグ１２０Ｃの内部には、エアバッグ１２０を上方に付勢するばね１２２、及び外部からの圧力によるエアバッグ１２０の潰れを抑える支持部１２３が設けられる。

液浸槽１００Ｃにおいて、高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組（図１２に示す６個）は、電子装置２が設置されない場合（又は設置される前）、側壁部１１２の溝１１２ａに挿入されるばね１３２の付勢力によって上方に付勢され、上昇する。高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組は、その最上位のガイド部１３０Ｃ上に電子装置２が設置されると、ばね１３２の付勢力に抗して電子装置２の重量で押され、下降する。

高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組の、重複する分割領域１３４群を通る、１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組（図１２に示す１０個）は、電子装置２が設置されない場合、ばね１２２の付勢力によって上方に付勢され、通気口１２１から空気が供給され、膨張する。１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組は、それらの上に電子装置２が設置されると、ばね１２２の付勢力に抗して電子装置２の重量で押され、通気口１２１から空気が排出され、収縮する。

高さ方向に並設される複数のガイド部１３０Ｃの組は、１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組の膨張及び収縮に伴ってそれぞれ上昇及び下降し、１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組の膨張及び収縮をガイドする。

液浸槽１００Ｃでは、電子装置２の実装密度（実効体積）に基づき、槽本体１１０内に予め設ける１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの個数（それらが通されるガイド部１３０Ｃの分割領域１３４の個数も同様）が調整されてもよい。

液浸槽１００Ｃでも、電子装置２が撤去又は増設される箇所の複数のエアバッグ１２０Ｃ（１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組を単位とする）が膨張により冷却液４０中で占有する体積と、撤去又は増設される電子装置２が冷却液４０中で占有する体積とが、互いに置換される。これにより、槽本体１１０に貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

［第５の実施の形態］
ここでは、上記第４の実施の形態で述べたようなエアバッグ１２０Ｃを調整可能にした液浸槽の第１の例を、第５の実施の形態として説明する。

図１４及び図１５は第５の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図１４（Ａ）には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。図１４（Ｂ）には、１列分の複数のエアバッグの組及びその各エアバッグを囲む分割領域を備えたガイド部の一例の要部平面図を模式的に示している。図１５には、液浸槽に設けられる調整部の一例の要部分解斜視図を模式的に示している。

上記第４の実施の形態で述べた液浸槽１００Ｃでは、１列分の複数のエアバッグ１２０Ｃの組を膨縮単位とする場合、その１列中のエアバッグ１２０Ｃの個数、及び冷却対象の電子装置の種類によっては、上記第３の実施の形態で述べたのと同様のことが起こり得る。即ち、冷却対象の電子装置の実装密度（実効体積）によっては、設置される電子装置が冷却液４０中で占有する体積と、電子装置の設置によりその外形寸法で決まる位置まで収縮するエアバッグ１２０Ｃ群の減少分の体積とが不一致となり得る。或いは、撤去される電子装置が冷却液４０中で占有していた体積と、電子装置の撤去によりその外形寸法で決まった位置から膨張するエアバッグ１２０Ｃ群の増加分の体積とが不一致となり得る。

これに対し、第５の実施の形態に係る液浸槽１００Ｄでは、電子装置の実装密度に基づき、槽本体１１０内に設けた複数のエアバッグ１２０Ｃのうち、使用する又は使用しないエアバッグ１２０Ｃが、調整部１６０を用いて後から調整可能とされる。液浸槽１００Ｄは、このような点で、上記第４の実施の形態で述べた液浸槽１００Ｃ（図１１～図１３）と相違する。

液浸槽１００Ｄでは、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用する又は使用しないエアバッグ１２０Ｃの個数が調整される。例えば、冷却液４０に浸漬される電子装置の実装密度に基づき、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示すように、１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうち、６個のエアバッグ１２０Ｃを使用し、残りの４個のエアバッグ１２０Ｃを使用しないようにする。このようにエアバッグ１２０Ｃの個数を調整することで、設置される電子装置の体積と、その設置により収縮するエアバッグ１２０Ｃ群の減少分の体積とを一致させる。或いは、撤去される電子装置の体積と、その撤去により膨張するエアバッグ１２０Ｃ群の増加分の体積とを一致させる。これにより、貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）の例に示すように、１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうち、４個のエアバッグ１２０Ｃを使用しないようにするために、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）並びに図１５に示すような調整部１６０が用いられる。調整部１６０は、図１５に示すように、槽本体１１０の底部１１１の、エアバッグ１２０Ｃの外側に設けられるＬ字状の引掛け部１６１と、収縮した状態のエアバッグ１２０Ｃを収納可能な大きさのキャップ状のオサエ（押さえ）１６２とを含む。オサエ１６２には、その側壁部に設けられて引掛け部１６１が嵌合される溝１６２ａと、天井部に設けられて回転工具１６３によるオサエ１６２の押し込み及び回転を可能にする突起１６２ｂとが設けられる。溝１６２ａは、オサエ１６２をエアバッグ１２０Ｃに被せる時に引掛け部１６１が嵌合される溝１６２ａａと、その溝１６２ａａから折れ曲がって延び、エアバッグ１２０Ｃに被せたオサエ１６２を回転する時に引掛け部１６１が嵌合される溝１６２ａｂとを有する。

液浸槽１００Ｄでは、槽本体１１０の底部１１１上の、使用しない、膨張した状態のエアバッグ１２０Ｃに対し、オサエ１６２が被せられる。そのオサエ１６２の天井部の突起１６２ｂに回転工具１６３が嵌合され、回転工具１６３でオサエ１６２が底部１１１側に押し込まれ、エアバッグ１２０Ｃが収縮される。そして、オサエ１６２の溝１６２ａａと、底部１１１の引掛け部１６１とが嵌合され、その状態から回転工具１６３を用いてオサエ１６２が回転されることで、溝１６２ａａから折れ曲がるオサエの溝１６２ａｂに引掛け部１６１が嵌合される。これにより、オサエ１６２が引掛け部１６１に固定され、使用しないエアバッグ１２０Ｃが収縮した状態で保持される。

このように調整部１６０が用いられ、使用しないエアバッグ１２０Ｃ、この例では１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうちの４個のエアバッグ１２０Ｃ群が、収縮した状態で保持される。使用しないエアバッグ１２０Ｃ群が収縮した状態で保持されることで、使用するエアバッグ１２０Ｃ群の膨張時及び収縮時の体積変化と、冷却対象の電子装置の実効体積とが一致される。これにより、貯留される冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。

液浸槽１００Ｄでは、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用しないエアバッグ１２０Ｃの個数を調整することができるため、冷却対象の電子装置の実装密度に精度良く対応することができる。また、液浸槽１００Ｄでは、使用しないエアバッグ１２０Ｃと、使用するエアバッグ１２０Ｃとの比率が、使用するエアバッグ１２０Ｃが膨張及び収縮する範囲では変わらない。そのため、電子装置の外形寸法の考慮なしで、冷却液４０の液面高さＳの変位を抑えることができる。液浸槽１００Ｄでは、冷却液４０に対する電子装置の出し入れの途中における、冷却液４０の液面高さＳの変位を抑えることができる。

尚、液浸槽１００Ｄにおいて、上記第３の実施の形態で述べた調整部１５０（図９及び図１０）を用い、最上位のガイド部１３０Ｃの上昇を規制し、１列分の使用するエアバッグ１２０Ｃの、電子装置の設置前の上端位置を、最大膨張時よりも低い位置に調整してもよい。このような調整を更に行い、冷却対象の電子装置の実装密度に対応することもできる。

［第６の実施の形態］
ここでは、上記第４の実施の形態で述べたようなエアバッグ１２０Ｃを調整可能にした液浸槽の第２の例を、第６の実施の形態として説明する。

図１６及び図１７は第６の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図１６には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。図１７には、ガイド部の一例の要部分解斜視図を模式的に示している。

図１６に示す液浸槽１００Ｅでは、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用する又は使用しないエアバッグ１２０Ｃの個数が調整される。液浸槽１００Ｅでは更に、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用するエアバッグ１２０Ｃの、電子装置の設置前の上端位置が、最大膨張時の上端位置よりも低い位置に調整される。液浸槽１００Ｅは、このような点で、上記第５の実施の形態で述べた液浸槽１００Ｄ（図１４及び図１５）と相違する。

例えば、図１６に示すように、液浸槽１００Ｅでは、上記液浸槽１００Ｄと同様に、調整部１６０（図１５）が用いられ、１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうち、使用しない４個のエアバッグ１２０Ｃが、収縮した状態で保持される。そして、液浸槽１００Ｅでは更に、使用する６個のエアバッグ１２０Ｃのうち、電子装置の設置前の２個の上端位置が、それぞれ最大膨張時の上端位置よりも低い位置に調整される。その２個のエアバッグ１２０Ｃの上端位置の調整は、図１７に示すように、ガイド部１３０Ｃの所定の位置の分割領域１３４が、上記第３の実施の形態で述べたような調整部１５０の例に従い、金網等のカバー１５１で塞がれることで行われる。

図１６及び図１７に示す例では、１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうち、左から５番目のエアバッグ１２０Ｃについて、上から２番目のガイド部１３０Ｃの、左から５番目の分割領域１３４が、カバー１５１で塞がれる。１列分の１０個のエアバッグ１２０Ｃの組のうち、左から６番目のエアバッグ１２０Ｃについては、上から４番目のガイド部１３０Ｃの、左から６番目の分割領域１３４が、カバー１５１で塞がれる。このようにすることで、左から５番目及び６番目のエアバッグ１２０Ｃは、それぞれカバー１５１よりも上への膨張が規制される。

このように液浸槽１００Ｅでは、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用しないエアバッグ１２０Ｃの個数を調整することが可能になるほか、個々のエアバッグ１２０Ｃ単位で、使用するエアバッグ１２０Ｃの膨張量を調整することが可能になる。これにより、冷却対象の電子装置の実装密度に、よりいっそう精度良く対応することが可能になる。

［第７の実施の形態］
図１８は第７の実施の形態に係る液浸槽の一例について説明する図である。図１８には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。

図１８に示す液浸槽１００Ｆは、槽本体１１０内に設けられたエアバッグ１２０と、槽本体１１０外に設けられ、通気口１２１を通じてエアバッグ１２０と連通するエアバッグ１７０とを含む。

槽本体１１０外のエアバッグ１７０は、例えば、槽本体１１０の底部１１１の下方に設けられる。槽本体１１０外のエアバッグ１７０は、液浸槽１００Ｆが配置される床等の支持体１８０上に設けられた弾性体の付勢力、例えば、ばね１７２の付勢力によって、槽本体１１０内のエアバッグ１２０側に付勢され、常時圧縮される方向に加圧される。支持体１８０上に設けられたばね１７２は、槽本体１１０外のエアバッグ１７０を圧縮する圧縮部としての機能を有する。電子装置２が設置されない（又は設置される前の）槽本体１１０内のエアバッグ１２０は、ばね１７２による圧縮によって槽本体１１０外のエアバッグ１７０から押し出される空気が供給されることで、最大高さまで膨張する。膨張した槽本体１１０内のエアバッグ１２０上に電子装置２が設置されると、その重量でエアバッグ１２０は収縮し、それにより押し出される空気が槽本体１１０外のエアバッグ１７０に移動し、エアバッグ１７０がばね１７２の付勢力に抗して膨張する。

液浸槽１００Ｆは、このような構成を有する点で、上記第２の実施の形態で述べた液浸槽１００Ａ（図５～図８）と相違する。
液浸槽１００Ｆにおいて、個々のエアバッグ１２０は、上記液浸槽１００Ａと同様に、ばね１３２の付勢力によって上方に付勢される複数のガイド部１３０（図７及び図８）で囲まれる。各エアバッグ１２０を囲む複数のガイド部１３０は、エアバッグ１２０の膨張及び収縮に伴い上昇及び下降し、膨張時及び収縮時のエアバッグ１２０をガイドし、その折れや倒れを抑える。

液浸槽１００Ｆでは、例えば、ばね１７２の付勢力（線径、コイル径、巻き数、ばね定数等）を調整することで、電子装置２が設置される前のエアバッグ１２０の膨張量を調整することができる。

液浸槽１００Ｆでは、槽本体１１０外のエアバッグ１７０の圧縮に伴い槽本体１１０内のエアバッグ１２０が膨張し、槽本体１１０内のエアバッグ１２０の収縮に伴い槽本体１１０外のエアバッグ１７０が膨張する。液浸槽１００Ｆでは、このような仕組みで槽本体１１０内のエアバッグ１２０が膨張及び収縮するため、槽本体１１０内のエアバッグ１２０を膨張及び収縮させる目的で、必ずしもその内部に上記のようなばね１２２及び支持部１２３を設けることを要しない。そのため、エアバッグ１２０の内部の構造を簡便にすることができ、液浸槽１００Ｆの製造コストを低減することが可能になる。但し、槽本体１１０内のエアバッグ１２０の内部には、上記のようなばね１２２及び支持部１２３を設けることもできる。

また、エアバッグ１２０の内部にばね１２２及び支持部１２３を設けない場合、エアバッグ１２０には、上下方向（高さ方向）に膨張及び収縮するほか、左右（幅方向）方向にも膨張及び収縮するものが用いられてもよい。

図１９は第７の実施の形態に係る液浸槽の第１の変形例について説明する図である。図１９には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。
図１９に示す液浸槽１００Ｆａでは、槽本体１１０内に、高さ方向及び幅方向に膨張及び収縮するエアバッグ１２０ａが設けられる。液浸槽１００Ｆａは、このような点で、上記液浸槽１００Ｆと相違する。

電子装置２が設置されない槽本体１１０内のエアバッグ１２０ａは、ばね１７２の付勢力による圧縮によって槽本体１１０外のエアバッグ１７０から押し出される空気が供給され、最大高さ及び最大幅まで膨張する。膨張した槽本体１１０内のエアバッグ１２０ａ上に電子装置２が設置されると、その重量でエアバッグ１２０ａは高さ方向及び幅方向に収縮し、それにより押し出される空気が槽本体１１０外のエアバッグ１７０に移動し、エアバッグ１７０がばね１７２の付勢力に抗して膨張する。複数のガイド部１３０は、このように膨張及び収縮するエアバッグ１２０ａを囲むように設けられ、エアバッグ１２０ａの膨張及び収縮に伴い上昇及び下降し、膨張時及び収縮時のエアバッグ１２０ａをガイドする。

液浸槽１００Ｆａでは、例えば、ばね１７２の付勢力（線径、コイル径、巻き数、ばね定数等）を調整することで、電子装置２が設置される前のエアバッグ１２０ａの膨張量を調整することができる。

上記のようなばね１２２及び支持部１２３を設けない構造を採用する場合には、用いるエアバッグ１２０ａの形状の自由度を高めることができる。例えば、この液浸槽１００Ｆａのように、高さ方向のほか、幅方向にも膨張及び収縮するエアバッグ１２０ａを用いることもできる。

また、槽本体１１０外に設けるエアバッグ１７０は、必ずしも槽本体１１０の底部１１１の下方に設けられることを要しない。
図２０は第７の実施の形態に係る液浸槽の第２の変形例について説明する図である。図２０には、液浸槽の一例の要部断面図を模式的に示している。

図２０に示す液浸槽１００Ｆｂでは、槽本体１１０外であってその側壁部１１２の側方にエアバッグ１７０が設けられ、そのエアバッグ１７０を側壁部１１２側に加圧するように、ばね１７２及び支持体１８０が設けられる。液浸槽１００Ｆｂは、このような点で、上記液浸槽１００Ｆと相違する。

槽本体１１０内のエアバッグ１２０は、柔軟性を有する又は有しない管等を用いて側壁部１１２まで通気口１２１が引き出され、通気口１２１を通じて槽本体１１０外のエアバッグ１７０と連通される。ばね１７２及び支持体１８０を槽本体１１０の底部１１１の下方に設けるスペースがないような場合や、槽本体１１０の側壁部１１２の側方に設けることが液浸槽１００Ｆｂのレイアウト上好ましいような場合には、この図２０に示すような構成を採用してもよい。

液浸槽１００Ｆｂのエアバッグ１２０として、上記液浸槽１００Ｆａ（図１９）について述べたような、高さ方向のほか、幅方向にも膨張及び収縮するエアバッグ１２０ａが用いられてもよい。

第７の実施の形態で述べた液浸槽１００Ｆ，１００Ｆａ，１００Ｆｂにおいて、エアバッグ１２０，１２０ａは、上記第３の実施の形態（図９及び図１０）で述べた例に従い、電子装置２の実装密度（実効体積）に対する調整が行われてもよい。

また、第７の実施の形態で述べた液浸槽１００Ｆ，１００Ｆａ，１００Ｆｂにおいて、エアバッグ１２０，１２０ａとして、上記第４の実施の形態（図１１～図１３）で述べた例に従い、複数に分割されたものが用いられてもよい。その場合、複数に分割されたものに対し、上記第５の実施の形態（図１４及び図１５）又は上記第６の実施の形態（図１６及び図１７）で述べた例に従い、電子装置２の実装密度（実効体積）に対する調整が行われてもよい。

［第８の実施の形態］
上記第１～第７の実施の形態で述べたような液浸槽１，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｆａ，１００Ｆｂ等は、冷却液４０を循環して冷却する機構を備える液浸冷却装置に採用することができる。ここでは、液浸冷却装置の一例を、第８の実施の形態として説明する。

図２１は第８の実施の形態に係る液浸冷却装置の一例について説明する図である。図２１には、液浸冷却装置の一例の構成図を示している。
図２１に示す液浸冷却装置２００は、例えば、上記第２の実施の形態で述べたような液浸槽１００Ａを備える。液浸槽１００Ａの槽本体１１０には、冷却液４０の供給口１１０ａ及び排出口１１０ｂが設けられる。槽本体１１０内に貯留される冷却液４０に電子装置２が浸漬される。電子装置２が設置されるエアバッグ１２０は、ガイド部１３０でガイドされて収縮し、電子装置２が設置されない（又は設置される前の）エアバッグ１２０は、ガイド部１３０でガイドされて膨張する。

槽本体１１０に設けられた供給口１１０ａ及び排出口１１０ｂにはそれぞれ、配管２１０ａ及び配管２１０ｂが接続される。供給口１１０ａに接続された配管２１０ａは、冷却液４０を冷却する冷却装置の１つである熱交換器２２０の冷却液４０の出口２２０ａに接続され、排出口１１０ｂに接続された配管２１０ｂは、熱交換器２２０の冷却液４０の入口２２０ｂに接続される。供給口１１０ａ及び配管２１０ａは、熱交換器２２０から槽本体１１０に冷却液４０を送る流路として機能し、排出口１１０ｂ及び配管２１０ｂは、槽本体１１０から熱交換器２２０に冷却液４０を送る流路として機能する。

液浸冷却装置２００では、熱交換器２２０で冷却された比較的低温の冷却液４０が、配管２１０ａを通って供給口１１０ａから槽本体１１０内に供給される。供給口１１０ａから槽本体１１０内に供給された冷却液４０には、電子装置２で発生する熱が伝達され、それによって電子装置２が冷却される。電子装置２で発生する熱が伝達された比較的高温の冷却液４０は、排出口１１０ｂから槽本体１１０外に排出され、配管２１０ｂを通って熱交換器２２０に送られる。熱交換器２２０に送られた比較的高温の冷却液４０は、熱交換器２２０で冷却される。そして、熱交換器２２０で冷却された冷却液４０が、配管２１０ａを通って再び槽本体１１０へと送られる。液浸冷却装置２００では、このように冷却液４０が熱交換器２２０で冷却されながら循環されることで、槽本体１１０内に設置された電子装置２が継続的に冷却される。

液浸槽１００Ａでは、エアバッグ１２０の膨張、及び電子装置２の設置に伴うエアバッグ１２０の収縮によって、槽本体１１０内の冷却液４０の液面高さＳの変位が抑えられる。これにより、冷却液４０の補充及び排出、槽本体１１０の大型化、冷却液４０の使用量の増大等の発生を抑えて、槽本体１１０内に設置される電子装置２を十分に冷却することができる。このような液浸槽１００Ａを採用することで、電子装置２の冷却性能に優れる液浸冷却装置２００を実現することができる。このような液浸冷却装置２００は、例えば、発熱密度や実装密度の比較的高い、スーパーコンピュータやハイパフォーマンスコンピュータといったコンピュータシステムを構成する電子装置の冷却に用いることが可能である。

ここでは、上記第２の実施の形態で述べた液浸槽１００Ａを例にしたが、上記第１，第３～第７の実施の形態で述べた液浸槽１，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｆａ，１００Ｆｂ等を用い、上記同様の液浸冷却装置を実現することができる。

以上説明した実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１） 冷却液が貯留される槽本体と、
前記槽本体内に設けられ、前記槽本体の底部に接続され、前記槽本体の上部側への膨張、及び膨張した状態から前記底部側への収縮が可能な第１エアバッグと、
前記槽本体内の、前記第１エアバッグの外側に設けられ、膨張時及び収縮時の前記第１エアバッグをガイドするガイド部と
を含むことを特徴とする液浸槽。

（付記２） 前記第１エアバッグ及び前記ガイド部は、前記槽本体内の、前記冷却液に浸漬される電子装置が設置される箇所に設けられ、
前記第１エアバッグは、膨張した状態から、前記電子装置の設置に伴い収縮し、
前記ガイド部は、前記第１エアバッグの膨張に伴い上昇し、前記第１エアバッグの収縮に伴い下降することを特徴とする付記１に記載の液浸槽。

（付記３） 前記第１エアバッグ内に設けられ、前記第１エアバッグを前記上部側に付勢する第１付勢部を含むことを特徴とする付記２に記載の液浸槽。
（付記４） 前記第１エアバッグ内に設けられ、前記第１エアバッグを前記冷却液の圧力に抗して支持する支持部を含むことを特徴とする付記２又は３に記載の液浸槽。

（付記５） 前記槽本体外に設けられ、前記第１エアバッグと連通する第２エアバッグと、
前記槽本体外に設けられ、前記第２エアバッグを圧縮する圧縮部と
を含み、
前記第１エアバッグは、前記第２エアバッグの前記圧縮部による圧縮により膨張し、
前記第２エアバッグは、前記第１エアバッグの収縮により、前記圧縮部による圧縮に抗して膨張することを特徴とする付記２に記載の液浸槽。

（付記６） 前記ガイド部を前記上部側に付勢する第２付勢部を含むことを特徴とする付記２乃至５のいずれかに記載の液浸槽。
（付記７） 前記電子装置が設置される前の前記第１エアバッグの上端位置を、前記第１エアバッグの最大膨張時の上端位置よりも低い位置に調整する調整部を含むことを特徴とする付記２乃至６のいずれかに記載の液浸槽。

（付記８） 前記第１エアバッグは、前記冷却液中において、膨張した状態で、設置される前記電子装置に相当する体積を占有することを特徴とする付記２乃至７のいずれかに記載の液浸槽。

（付記９） 前記槽本体内の、前記電子装置が設置される箇所に、前記第１エアバッグが複数設けられることを特徴とする付記２乃至７のいずれかに記載の液浸槽。
（付記１０） 前記ガイド部は、複数の前記第１エアバッグの外側に設けられ、隣り合う前記第１エアバッグ同士の間に仕切りを有することを特徴とする付記２乃至７及び９のいずれかに記載の液浸槽。

（付記１１） 複数の前記第１エアバッグは、前記冷却液中において、少なくとも１つが膨張した状態で、設置される前記電子装置に相当する体積を占有することを特徴とする付記９又は１０に記載の液浸槽。

（付記１２） 冷却液が貯留される槽本体と、
前記槽本体内に設けられ、前記槽本体の底部に接続され、前記槽本体の上部側への膨張、及び膨張した状態から前記底部側への収縮が可能な第１エアバッグと、
前記槽本体内の、前記第１エアバッグの外側に設けられ、膨張時及び収縮時の前記第１エアバッグをガイドするガイド部と
を含む液浸槽と、
前記槽本体内に前記冷却液を供給する第１流路と、
前記槽本体内から前記冷却液を排出する第２流路と、
前記第２流路から排出される前記冷却液を冷却して前記第１流路に送る冷却装置と
を備えることを特徴とする液浸冷却装置。

１，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｆａ，１００Ｆｂ，１０００ 液浸槽
２，２ａ，１００２，１００２ａ 電子装置
１０，１１０ 槽本体
１１，１１１ 底部
１２，１１２ 側壁部
１３，１１３ 蓋部
１４，１１４ 気相部
２０，１２０，１２０ａ，１２０Ｃ，１７０ エアバッグ
３０，１３０，１３０Ｃ ガイド部
４０ 冷却液
１１０ａ 供給口
１１０ｂ 排出口
１１２ａ，１６２ａ，１６２ａａ，１６２ａｂ 溝
１１２ａａ 拡幅部
１１２ｂ 上面
１１２ｂｂ ねじ穴
１２１ 通気口
１２２，１３２，１７２ ばね
１２３ 支持部
１３０ａ 開口
１３１ 嵌合部
１３３ 仕切り
１３４ 分割領域
１５０，１６０ 調整部
１５１ カバー
１５２ コマ
１５３，１６２ オサエ
１５４ ねじ
１６１ 引掛け部
１６２ｂ 突起
１６３ 回転工具
１８０ 支持体
２００ 液浸冷却装置
２１０ａ，２１０ｂ 配管
２２０ 熱交換器
２２０ａ 出口
２２０ｂ 入口
１０５０ システム
１０５１ センサ
１０５２ 配管
１０５３ ポンプ
１０５４ 制御部
１０５５ 予備槽

Claims (11)

1. 冷却液が貯留される槽本体と、
   前記槽本体内に設けられ、前記槽本体の底部に接続され、前記槽本体の上部側への膨張、及び膨張した状態から前記底部側への収縮が可能な第１エアバッグと、
   前記槽本体内の、前記第１エアバッグの外側に設けられ、膨張時及び収縮時の前記第１エアバッグをガイドするガイド部と
   を含み、
   前記冷却液に浸漬される電子装置が前記第１エアバッグの前記上部側上に設置されることを特徴とする液浸槽。
2. 前記第１エアバッグ及び前記ガイド部は、前記槽本体内の、前記冷却液に浸漬される前記電子装置が設置される箇所に設けられ、
   前記第１エアバッグは、膨張した状態から、前記上部側上への前記電子装置の設置に伴い収縮し、
   前記ガイド部は、前記第１エアバッグの膨張に伴い上昇し、前記第１エアバッグの収縮に伴い下降することを特徴とする請求項１に記載の液浸槽。
3. 前記第１エアバッグ内に設けられ、前記第１エアバッグを前記上部側に付勢する第１付勢部を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の液浸槽。
4. 前記第１エアバッグ内に設けられ、前記第１エアバッグを前記冷却液の圧力に抗して支持する支持部を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液浸槽。
5. 前記槽本体外に設けられ、前記第１エアバッグと連通する第２エアバッグと、
   前記槽本体外に設けられ、前記第２エアバッグを圧縮する圧縮部と
   を含み、
   前記第１エアバッグは、前記第２エアバッグの前記圧縮部による圧縮により膨張し、
   前記第２エアバッグは、前記第１エアバッグの収縮により、前記圧縮部による圧縮に抗して膨張することを特徴とする請求項１又は２に記載の液浸槽。
6. 前記ガイド部を前記上部側に付勢する第２付勢部を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の液浸槽。
7. 前記ガイド部は、前記第１エアバッグの膨張に伴い前記第２付勢部の付勢力によって上昇し、前記第１エアバッグの収縮に伴い前記第２付勢部の付勢力に抗して下降することを特徴とする請求項６に記載の液浸槽。
8. 前記電子装置が設置される前の前記第１エアバッグの上端位置を、前記第１エアバッグの最大膨張時の上端位置よりも低い位置に調整する調整部を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の液浸槽。
9. 前記第１エアバッグは、前記冷却液中において、膨張した状態で、設置される前記電子装置に相当する体積を占有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の液浸槽。
10. 前記ガイド部は、複数の前記第１エアバッグの外側に設けられ、隣り合う前記第１エアバッグ同士の間に仕切りを有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の液浸槽。
11. 冷却液が貯留される槽本体と、
    前記槽本体内に設けられ、前記槽本体の底部に接続され、前記槽本体の上部側への膨張、及び膨張した状態から前記底部側への収縮が可能な第１エアバッグと、
    前記槽本体内の、前記第１エアバッグの外側に設けられ、膨張時及び収縮時の前記第１エアバッグをガイドするガイド部と
    を含み、
    前記冷却液に浸漬される電子装置が前記第１エアバッグの前記上部側上に設置される液浸槽と、
    前記槽本体内に前記冷却液を供給する第１流路と、
    前記槽本体内から前記冷却液を排出する第２流路と、
    前記第２流路から排出される前記冷却液を冷却して前記第１流路に送る冷却装置と
    を備えることを特徴とする液浸冷却装置。

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