JP7081368B2

JP7081368B2 - 液浸槽及び電子装置

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Publication number: JP7081368B2
Application number: JP2018138715A
Authority: JP
Inventors: 稔石鍋
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2018-07-24
Filing date: 2018-07-24
Publication date: 2022-06-07
Anticipated expiration: 2038-07-24
Also published as: US20200037467A1; US10893629B2; JP2020017599A

Description

本願の開示する技術は、液浸槽及び電子装置に関する。

近年、冷媒を貯留すると共に、複数の電子機器を格納し、この複数の電子機器を冷媒に浸漬することで冷却する液浸槽が利用され始めている（例えば、特許文献１参照）。一般に、このような液浸槽において、槽本体の内側には、電子機器を格納する格納部が設けられており、この格納部の下側には、複数の整流穴を有する整流板が水平に配置されている。

また、槽本体には、槽本体の内側に冷媒を流入させる冷媒流入口が形成されており、この冷媒流入口は、整流板よりも下側に位置している。そして、この液浸槽では、冷媒流入口から槽本体の内側に冷媒が流入されると、冷媒が複数の整流穴を通り、複数の電子機器に供給される。

特開２０１７－１６３０６５号公報特開２０１４－４０９７０号公報

しかしながら、複数の電子機器で実装密度が異なる等、複数の電子機器が異なる形態である場合、各電子機器に供給される冷媒の流量が異なることが想定される。すなわち、発熱量が多く圧力損失の大きい高実装密度の電子機器は、冷媒が流れにくいため、発熱量が少なく圧力損失の小さい低実装密度の電子機器に比して、冷媒の流量が相対的に少なくなる可能性がある。

そこで、本願の開示する技術は、一つの側面として、電子機器に応じて電子機器に供給される冷媒の流量を調整できるようにすることを目的とする。

上記目的を達成するために、本願の開示する技術によれば、槽本体と、格納部と、整流板と、流量調整板とを備える液浸槽が提供される。槽本体は、冷媒を貯留する。格納部は、槽本体の内側に設けられて電子機器を格納する。整流板は、格納部の下側に水平に配置されている。流量調整板は、整流板に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から整流板に対して下側に離間した離間位置に移動可能である。整流板は、上下方向に貫通する複数の整流穴を有し、流量調整板は、それぞれ整流穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する複数の流量調整穴を有する。整流板及び流量調整板が重なり合う範囲において、複数の流量調整穴の合計開口面積は、複数の整流穴の合計開口面積よりも小さい。

本願の開示する技術によれば、電子機器に応じて電子機器に供給される冷媒の流量を調整できる。

本実施形態に係る液浸槽が適用された冷却システムを示す図である。図１の液浸槽を拡大して示す縦断面図である。図２の整流板、複数の流量調整板、及び、複数の開閉板の分解斜視図である。図２の整流板、流量調整板、開閉板、及び、複数の付勢部材を拡大して示す縦断面図である。図４の流量調整板及び開閉板が押し下げられて下側に移動した状態を示す縦断面図である。図４の開閉板が押し下げられて下側に移動した状態を示す縦断面図である。本実施形態で用いられる二種類の電子機器を比較して示す図である。図７の係止突起と図４の整流部に形成された貫通穴との関係を説明する図である。図７の係止突起と図４の流量調整板に形成された第一係止穴との関係を説明する図である。図７の係止突起と図４の開閉板に形成された第二係止穴との関係を説明する図である。図２の液浸槽に図７の二種類の電子機器が格納された状態を示す縦断面図である。図１１の高密度実装の電子機器の下部及びその周辺部を拡大して示す縦断面図である。図１１の低密度実装の電子機器の下部及びその周辺部を拡大して示す縦断面図である。図４の複数の整流穴と複数の流量調整穴との関係の変形例を示す縦断面図である。図７の電子機器の第一変形例を示す正面図である。図７の電子機器の第二変形例を示す正面図である。

以下、本願の開示する技術の一実施形態を説明する。

図１には、本実施形態に係る液浸槽１０が適用された冷却システム１００が示されている。冷却システム１００は、液浸槽１０と、循環ポンプ１０２と、熱交換器１０４と、チラー１０６とを備える。

液浸槽１０は、箱形の槽本体１２を有しており、この槽本体１２には、冷媒１４が貯留される。冷媒１４（冷媒液）には、絶縁性を有し冷却効率の高い液体として、例えば、フッ素系不活性液体や油が用いられる。槽本体１２の内側には、複数の電子機器が格納され、この複数の電子機器は、冷媒１４に浸漬されることで冷却される。図１では、複数の電子機器が格納されていない状態が示されている。

槽本体１２は、複数の側壁部１６を有している。この複数の側壁部１６のうちいずれかの側壁部１６の下部には、槽本体１２の内側に冷媒１４を流入させる冷媒流入口１８が形成されており、側壁部１６の上部には、槽本体１２の内側から冷媒１４を排出する冷媒排出口２０が形成されている。槽本体１２と熱交換器１０４との間には、冷媒循環回路１０８が設けられている。

冷媒循環回路１０８は、往き管１１０と戻り管１１２とを有しており、往き管１１０は、冷媒流入口１８に接続され、戻り管１１２は、冷媒排出口２０に接続されている。この冷媒循環回路１０８は、熱交換器１０４に熱的に接続されている。循環ポンプ１０２は、一例として、往き管１１０に設けられている。チラー１０６と熱交換器１０４との間には、冷水循環回路１１４が設けられている。

そして、この冷却システム１００では、循環ポンプ１０２が作動すると、冷媒循環回路１０８を通じて液浸槽１０と熱交換器１０４との間を冷媒１４が循環する。また、チラー１０６と熱交換器１０４との間では、冷水循環回路１１４を通じて冷水が循環する。熱交換器１０４では、冷水によって冷媒１４が冷却され、この冷却された冷媒１４は液浸槽１０に供給される。液浸槽１０では、冷媒流入口１８から槽本体１２の内側に冷媒１４が流入し、この槽本体１２の内側に流入した冷媒１４は、槽本体１２の下側から上側へ流れ、冷媒排出口２０から槽本体１２の外側に排出される。

続いて、液浸槽１０の構成を詳細に説明する。

図２には、図１の液浸槽１０が拡大して示されている。各図に示される矢印Ｘ、矢印Ｙ、矢印Ｚは、液浸槽１０の横方向、奥行き方向、高さ方向を示している。図２に示されるように、槽本体１２の内側には、複数の格納部２２（スロット）が設けられている。図２では、複数の格納部２２がそれぞれ想像線で示されている。複数の格納部２２は、水平方向に並んで配置されている。この複数の格納部２２には、電子機器がそれぞれ格納される。図２では、図１と同様に、複数の電子機器が格納されていない状態が示されている。複数の格納部２２は、例えば、電子機器の両側の側部を支持する一対のレールの間のスペースによってそれぞれ形成される。この複数の格納部２２は、冷媒排出口２０よりも下側に位置する。

槽本体１２の内側には、複数層の板が設けられている。本実施形態では、一例として、三層の板、すなわち、整流板２４、複数の流量調整板２６、及び、複数の開閉板２８が用いられている。整流板２４は、複数の格納部２２の下側に水平に配置されている。この整流板２４は、冷媒流入口１８よりも上側に位置する。複数の流量調整板２６は、整流板２４の下側に配置されており、複数の開閉板２８は、複数の流量調整板２６のそれぞれの下側に配置されている。

図３には、図２の整流板２４、複数の流量調整板２６、及び、複数の開閉板２８が分解斜視図で示されている。図３に示されるように、整流板２４は、複数の整流穴３０と、複数の貫通穴３２とを有する。複数の整流穴３０と複数の貫通穴３２とは、いずれも上下方向（整流板２４の板厚方向）に貫通している。複数の整流穴３０は、整流板２４の全体に分布している。整流板２４は、平面視で長方形状に形成されており、複数の貫通穴３２は、整流板２４の一対の長辺部３４に沿って形成されている。

複数の流量調整板２６は、それぞれ平面視で整流板２４の短手方向を長手方向とする長方形状である。この複数の流量調整板２６は、水平方向の一例である整流板２４の長手方向に並んで配置されている。各流量調整板２６は、複数の流量調整穴３６と、複数の第一係止穴３８とを有する。複数の流量調整穴３６と複数の第一係止穴３８とは、いずれも上下方向（流量調整板２６の板厚方向）に貫通している。複数の流量調整穴３６は、流量調整板２６の全体に分布している。複数の第一係止穴３８は、流量調整板２６の一対の短辺部４０に沿って形成されている。

開閉板２８の外形形状は、流量調整板２６の外形形状と同様である。複数の開閉板２８は、複数の流量調整板２６と同様に、水平方向の一例である整流板２４の長手方向に並んで配置されている。各開閉板２８は、複数の第二係止穴４２を有する。複数の第二係止穴４２は、いずれも上側に開口している。複数の第二係止穴４２は、開閉板２８の一対の短辺部４４に沿って形成されている。なお、開閉板２８には、流量調整穴が形成されていない。

図４には、図２の整流板２４、流量調整板２６、開閉板２８、及び、複数の付勢部材４６が拡大して示されている。図４では、整流板２４における流量調整板２６と重なり合う部分のみが示されている。以降、この整流板２４における流量調整板２６と重なり合う部分を整流部４８と称する。整流板２４は、複数の流量調整板２６とそれぞれ重なり合う複数の整流部４８を有する。この整流部４８、流量調整板２６、開閉板２８、及び、複数の付勢部材４６は、流量調整機構５０を形成している。各格納部２２には、流量調整機構５０がそれぞれ対応して設けられている。複数の流量調整機構５０は、一例として、同一の構成である。

図４に示されるように、各流量調整機構５０において、流量調整板２６における複数の流量調整穴３６の合計個数は、整流部４８における複数の整流穴３０の個数よりも少ない。流量調整板２６における複数の流量調整穴３６は、整流部４８における複数の整流穴３０のうちいずれか複数の整流穴３０と整合する位置に形成されている。整流部４８における複数の整流穴３０のうち残りの複数の整流穴３０は、流量調整板２６における流量調整穴３６及び第一係止穴３８以外の部分とそれぞれ上下方向に対向している。

整流穴３０及び流量調整穴３６は、いずれも上下方向に一定の断面で形成されている。流量調整穴３６の径は、整流穴３０の径と同じであるが、上述のように、流量調整板２６における複数の流量調整穴３６の合計個数は、整流部４８における複数の整流穴３０の個数よりも少ない。このため、各流量調整機構５０において、流量調整板２６における複数の流量調整穴３６の合計開口面積は、整流部４８における複数の整流穴３０の合計開口面積よりも小さい。つまり、整流板２４及び流量調整板２６が重なり合う範囲において、複数の流量調整穴３６の合計開口面積は、複数の整流穴３０の合計開口面積よりも小さい。

開閉板２８には、上述のように、流量調整穴が形成されていない。このため、流量調整板２６における複数の流量調整穴３６は、開閉板２８における複数の流量調整穴３６と整合する部分とそれぞれ上下方向に対向している。

流量調整板２６における複数の第一係止穴３８は、整流部４８における複数の貫通穴３２とそれぞれ整合する位置に形成されている。貫通穴３２は、上下方向に一定の断面で形成されているが、第一係止穴３８は、下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されている。第一係止穴３８の上端開口の径は、貫通穴３２の下端開口の径と同じであるが、「第一係止穴の径が貫通穴の径よりも小さい」ことの一例として、第一係止穴３８の下端開口の径は、貫通穴３２の下端開口の径よりも小さい。

開閉板２８における複数の第二係止穴４２は、流量調整板２６における複数の第一係止穴３８とそれぞれ整合する位置に形成されている。第二係止穴４２は、下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されている。第二係止穴４２の上端開口の径は、第一係止穴３８の下端開口の径と同じであるが、「第二係止穴の径が第一係止穴の径よりも小さい」ことの一例として、第二係止穴４２の上端開口の径は、第一係止穴３８の上端開口の径よりも小さい。

図４の整流部４８を複数有する整流板２４は、図２に示されるように、槽本体１２の複数の側壁部１６に固定されている。この整流板２４は、複数の側壁部１６に固定されることにより、上下方向に対して固定されている。一方、複数の流量調整板２６及び複数の開閉板２８は、複数の側壁部１６に固定されておらず、それぞれ独立して上下方向に移動可能になっている。

図４に示されるように、各流量調整機構５０において、開閉板２８と槽本体１２の底壁部５２との間には、複数の付勢部材４６が設けられている。付勢部材４６は、一例として、上下方向を軸方向として配置されたコイルスプリングである。開閉板２８は、上述のように平面視で長方形状に形成されており、この開閉板２８の四隅には、付勢部材４６がそれぞれ配置されている。

開閉板２８は、複数の付勢部材４６によって上側に付勢されることにより、流量調整板２６に下側から重ね合わされている。また、流量調整板２６は、開閉板２８によって上側に押圧されることにより、整流板２４の整流部４８に下側から重ね合わされている。

流量調整板２６及び開閉板２８は、上述の通り、それぞれ独立して上下方向に移動可能となっている。図５には、図４の流量調整板２６及び開閉板２８が押し下げられて下側に移動した状態が示されており、図６には、図４の開閉板２８が押し下げられて下側に移動した状態が示されている。

図４（図６も参照）、図５に示されるように、流量調整板２６は、整流部４８に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から整流部４８に対して下側に離間した離間位置に移動可能となっている。つまり、図４（図６も参照）には、流量調整板２６が整流部４８に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置にある状態が示されている。また、図５には、流量調整板２６が整流部４８に対して下側に離間した離間位置にある状態が示されている。

また、図４、図６に示されるように、開閉板２８は、流量調整板２６に下側から重ね合わされて複数の流量調整穴３６を閉止する閉止位置から流量調整板２６に対して下側に離間して複数の流量調整穴３６を開放する開放位置に移動可能となっている。つまり、図４には、開閉板２８が流量調整板２６に下側から重ね合わされて複数の流量調整穴３６を閉止する閉止位置にある状態が示されている。また、図６には、開閉板２８が流量調整板２６に対して下側に離間して複数の流量調整穴３６を開放する開放位置にある状態が示されている。

図５、図６に示されるように、流量調整板２６及び開閉板２８は、いずれも冷媒流入口１８よりも下側に位置するまで移動可能となっている。なお、流量調整板２６は、冷媒１４よりも密度の低い材料で形成されている。このため、図６に示されるように、開閉板２８が開放位置にある場合でも、冷媒流入口１８から流入した冷媒１４の圧力を受けて流量調整板２６が整流板２４に下側から重ね合わされる。

続いて、液浸槽１０の格納部２２に格納される電子機器６０の構成を詳細に説明する。

図７には、本実施形態で用いられる二種類の電子機器６０が比較して示されている。図７に示されるように、本実施形態では、一例として、二種類の電子機器６０が用いられる。図７の（Ａ）に示される電子機器６０は、発熱量が多く圧力損失の大きい高実装密度の電子機器であり、図７の（Ｂ）に示される電子機器６０は、発熱量が少なく圧力損失の小さい低実装密度の電子機器である。

図７の（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、電子機器６０の底面部には、ダクト６２が設けられている。ダクト６２は、上下方向に貫通する環状に形成されている。また、電子機器６０は、押し下げ部６４を有する。この押し下げ部６４は、複数の押し下げ部材６６を有する。複数の押し下げ部材６６は、例えば、電子機器６０の底面部の四隅にそれぞれ設けられている。

押し下げ部材６６は、棒状部６８と係止突起７０を有する。棒状部６８は、電子機器６０の下方に向けて延びており、係止突起７０は、棒状部６８の下端部に形成されている。係止突起７０は、下側に向かうに従って縮径するテーパ状（逆円錐状）に形成されている。係止突起７０の上端部（係止突起７０における最も径が大きい部分）の径は、棒状部６８の径よりも大きい。図７の（Ａ）に示される電子機器６０に設けられた係止突起７０の径（上端部の径）は、図７の（Ｂ）に示される電子機器６０に設けられた係止突起７０の径（上端部の径）よりも大きい。

なお、以降、図７の（Ａ）に示される高実装密度の電子機器６０と、図７の（Ｂ）に示される低実装密度の電子機器６０とを区別する場合には、高実装密度の電子機器６０を電子機器６０Ａと称し、低実装密度の電子機器６０を電子機器６０Ｂと称する。また、電子機器６０Ａに設けられた係止突起７０と、電子機器６０Ｂに設けられた係止突起７０とを区別する場合には、電子機器６０Ａに設けられた係止突起７０を係止突起７０Ａと称し、電子機器６０Ｂに設けられた係止突起７０を係止突起７０Ｂと称する。

図８には、図７の係止突起７０Ａ及び係止突起７０Ｂと図４の整流部４８に形成された貫通穴３２との関係が示されている。図８の（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、係止突起７０Ａを有する複数の押し下げ部材６６、及び、係止突起７０Ｂを有する複数の押し下げ部材６６は、複数の貫通穴３２とそれぞれ整合する位置に配置されている。係止突起７０Ａ及び係止突起７０Ｂの径は、いずれも貫通穴３２の径よりも小さい。

図９には、図７の係止突起７０Ａ及び係止突起７０Ｂと図４の流量調整板２６に形成された第一係止穴３８との関係が示されている。図９の（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、係止突起７０Ａを有する複数の押し下げ部材６６、及び、係止突起７０Ｂを有する複数の押し下げ部材６６は、複数の第一係止穴３８とそれぞれ整合する位置に配置されている。係止突起７０Ａの上端部（係止突起７０Ａにおける最も径が大きい部分）の径は、第一係止穴３８の下端開口の径よりも大きく、係止突起７０Ａは、第一係止穴３８と係止可能となっている。一方、係止突起７０Ｂの径は、第一係止穴３８の径よりも小さく、係止突起７０Ｂは、第一係止穴３８を通過可能となっている。

図１０には、図７の係止突起７０Ａ係止突起７０Ｂと図４の開閉板２８に形成された第二係止穴４２との関係が示されている。図１０の（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、係止突起７０Ａを有する複数の押し下げ部材６６、及び、係止突起７０Ｂを有する複数の押し下げ部材６６は、複数の第二係止穴４２とそれぞれ整合する位置に配置されている。係止突起７０Ａ及び係止突起７０Ｂは、いずれも第二係止穴４２に係止される形状及び大きさで形成されており、第二係止穴４２と係止可能となっている。

続いて、液浸槽１０の使用方法と併せて、本実施形態の作用及び効果を説明する。

図１１には、図２の液浸槽１０に図７の二種類の電子機器６０Ａ、６０Ｂが格納された状態が示されている。なお、図１１では、一例として、二つの電子機器６０のみが格納されているが、液浸槽１０には、各格納部２２（図２参照）に電子機器６０を独立して格納することが可能である。液浸槽１０と、この液浸槽１０に格納された電子機器６０は、電子装置９０を形成する。

図１２には、図１１の高密度実装の電子機器６０Ａの下部及びその周辺部が拡大して示されている。図１２に示されるように、電子機器６０Ａが格納部２２に上側から格納されると、これに伴って、係止突起７０Ａは、貫通穴３２を通過して第一係止穴３８及び第二係止穴４２と係止される。そして、電子機器６０Ａの下側への移動に伴い流量調整板２６が開閉板２８と共に押し下げられ、流量調整板２６が整流部４８に対して下側に離間した離間位置に移動する。この状態では、冷媒流入口１８から流入した冷媒１４が複数の整流穴３０を通じて電子機器６０Ａに供給される。

ここで、各流量調整機構５０において、複数の整流穴３０の個数は、複数の流量調整穴３６の個数よりも多い。したがって、電子機器６０Ａに供給される冷媒１４の流量が多くなるので、高実装密度である電子機器６０Ａを適切に冷却することができる。

一方、図１３には、図１１の低密度実装の電子機器６０Ｂの下部及びその周辺部が拡大して示されている。図１３に示されるように、電子機器６０Ｂが格納部２２に上側から格納されると、これに伴って、係止突起７０Ｂは、貫通穴３２及び第一係止穴３８を通過して第二係止穴４２と係止される。そして、電子機器６０Ｂの下側への移動に伴い開閉板２８が押し下げられ、開閉板２８が流量調整板２６に対して下側に離間した開放位置に移動する。この状態では、冷媒流入口１８から流入した冷媒１４が複数の流量調整穴３６を通じて電子機器６０Ａに供給される。

ここで、各流量調整機構５０において、複数の流量調整穴３６の個数は、複数の整流穴３０の個数よりも少ない。したがって、電子機器６０Ｂに供給される冷媒１４の流量が少なくなるので、低実装密度である電子機器６０Ｂが過冷却になることを抑制できる。

このように、本実施形態によれば、電子機器６０の実装密度に応じて電子機器６０に供給される冷媒１４の流量が調整される。これにより、電子機器６０に応じた適切な流量の冷媒１４で電子機器６０を冷却することができる。

また、電子機器６０は、複数の押し下げ部材６６を有する。複数の押し下げ部材６６は、電子機器６０が格納部２２に上側から格納されることに伴って、流量調整板２６を開閉板２８と共に押し下げて流量調整板２６を離間位置に移動させるか、又は、開閉板２８を押し下げて開閉板２８を開放位置に移動させる。したがって、電子機器６０を格納部２２に格納することにより、流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げることができる。これにより、例えば、電子機器６０を格納する作業の他に、流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げる作業が別に必要である場合に比して、利便性を向上させることができる。

また、高実装密度の電子機器６０Ａには、流量調整板２６を押し下げる押し下げ部材６６が設けられており、低実装密度の電子機器６０Ｂには、開閉板２８を押し下げる押し下げ部材６６が設けられている。このように、電子機器６０の実装密度に応じて、流量調整板２６を押し下げる押し下げ部材６６と、開閉板２８を押し下げる押し下げ部材６６とが各電子機器６０に予め割り振られている。したがって、電子機器６０の実装密度に応じて流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げることができるので、電子機器６０の実装密度に応じた適切な流量を確保することができる。

また、流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げるための機構は、押し下げ部材６６と、貫通穴３２と、第一係止穴３８と、第二係止穴４２を有する機械的な構成である。したがって、例えば、流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げるための機構として電動アクチュエータ等を有する電気的な構成が用いられる場合に比して、消費電力を抑えることができる。これにより、冷却システム１００の運用コストを低減することができる。

また、図１２、図１３に示されるように、電子機器６０が格納部２２に格納された状態から、この電子機器６０を格納部２２から取り出すと、複数の付勢部材４６によって開閉板２８が流量調整板２６と共に押し上げられる。そして、流量調整板２６が整流部４８に下側から重ね合わされると共に、開閉板２８が流量調整板２６に下側から重ね合わされる（図４参照）。この状態では、開閉板２８によって複数の流量調整穴３６が閉止されるので、電子機器６０が格納されていない格納部２２への冷媒１４の供給が停止される。したがって、他の格納部２２に格納された電子機器６０を冷却し得る回転数で循環ポンプ１０２を作動させれば良いので、循環ポンプ１０２の回転数を必要最小限にすることができる。この結果、このことによっても、消費電力を抑えることができるので、冷却システム１００の運用コストを低減することができる。また、他の格納部２２に冷媒１４を効率良く供給できるので、他の格納部２２に格納された電子機器６０に対する冷却性能を向上させることができる。

また、開閉板２８を上側に付勢する複数の付勢部材４６が用いられているので、電子機器６０を格納部２２から取り出した際には、複数の付勢部材４６の押し上げ力によって開閉板２８及び流量調整板２６を元の位置に戻すことができる。これにより、開閉板２８及び流量調整板２６を上側に移動させる作業が不要になるので、このことによっても、利便性を向上させることができる。

次に、本実施形態の変形例を説明する。

上記実施形態では、各流量調整機構５０において、複数の流量調整穴３６の個数が複数の整流穴３０の個数よりも少ない。そして、これにより、各流量調整機構５０において、複数の流量調整穴３６の合計開口面積は、複数の整流穴３０の合計開口面積よりも小さい。しかしながら、図１４に示されるように、流量調整穴３６の径は、整流穴３０の径よりも小さくても良い。そして、各流量調整機構５０において、複数の流量調整穴３６の合計開口面積は、複数の整流穴３０の合計開口面積よりも小さくても良い。また、この場合に、複数の流量調整穴３６の個数は、複数の整流穴３０の個数と同じでも良く、また、複数の整流穴３０の個数よりも少なくても良い。

また、上記実施形態において、貫通穴３２は、上下方向に一定の断面で形成されているが、下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されても良い。また、第一係止穴３８は、下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されているが、上下方向に一定の断面で形成されていても良い。同様に、第二係止穴４２は、下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されているが、上下方向に一定の断面で形成されていても良い。そして、このように、貫通穴３２、第一係止穴３８、及び、第二係止穴４２が上下方向に一定の断面で形成された構成において、第一係止穴３８の径は、貫通穴３２の径よりも小さく、第二係止穴４２の径は、第一係止穴３８の径よりも小さくても良い。

また、上記実施形態において、整流穴３０は、上下方向に一定の断面で形成されているが、上側又は下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されても良い。同様に、流量調整穴３６は、上下方向に一定の断面で形成されているが、上側又は下側に向かうに従って縮径するテーパ状に形成されても良い。

また、上記実施形態において、液浸槽１０は、一層の流量調整板２６を有しているが、上下方向に重なり合う複数層の流量調整板２６を有していても良い。また、この場合に、下層の流量調整板２６における第一係止穴３８の径が上層の流量調整板２６における第一係止穴３８の径よりも小さくても良い。このように構成されていると、電子機器６０の実装密度（発熱量）に応じて電子機器６０に供給される冷媒１４の流量をより細かく調整することができる。

また、上記実施形態において、液浸槽１０には、各格納部２２に流量調整機構５０が一つずつ設けられているが、各格納部２２に複数の流量調整機構５０が設けられても良い。

また、上記実施形態において、液浸槽１０は、複数の格納部２２を有するが、格納部２２の個数は、一つでも良い。

また、上記実施形態において、電子機器６０は、一つの格納部２２に格納される大きさで形成されている。しかしながら、例えば、図１５に示されるように、電子機器６０は、二つの格納部２２に格納される大きさで形成されても良く、また、図１６に示されるように、電子機器６０は、四つの格納部２２に格納される大きさで形成されても良い。このように、電子機器６０は、複数の格納部２２に格納される大きさで形成されても良い。

また、図１５に示されるように、電子機器６０には、複数の押し下げ部６４が設けられても良い。このように構成されていると、流量調整板２６及び開閉板２８（図１２、図１３参照）を選択的に押し下げることができるので、複数の格納部２２に亘って格納された電子機器６０の全体に冷媒を供給することができる。

また、図１６に示されるように、電子機器６０の低密度実装部位７２の下側には、押し下げ部６４が設けられず、電子機器６０の高密度実装部位７４、７６、７８の下側には、押し下げ部６４が設けられても良い。このように構成されていると、低密度実装部位７２に冷媒が供給されることを抑制しつつ、高密度実装部位７４、７６、７８に冷媒を供給できるので、この高密度実装部位７４、７６、７８を効率良く冷却することができる。

また、図１６に示されるように、高密度実装部位７４、７６、７８で発熱量が異なる場合、例えば、発熱量の少ない高密度実装部位７４の下側には、係止突起７０Ｂを有する押し下げ部６４が設けられても良い。また、発熱量の多い高密度実装部位７６、７８の下側には、係止突起７０Ａを有する押し下げ部６４が設けられても良い。このように構成されていると、高密度実装部位７４、７６、７８の発熱量に適した流量の冷媒で高密度実装部位７４、７６、７８をそれぞれ適切に冷却することができる。

また、上記実施形態において、電子機器６０は、押し下げ部６４（複数の押し下げ部材６６）を有し、液浸槽１０は、押し下げ部６４に対応する構成として、貫通穴３２、第一係止穴３８、及び、第二係止穴４２を有する。しかしながら、押し下げ部６４、貫通穴３２、第一係止穴３８、及び、第二係止穴４２が省かれても良い。また、この場合に、電子機器６０に応じて流量調整板２６及び開閉板２８（図１２、図１３参照）を選択的に押し下げる機構を別途設けて、電子機器６０に応じて流量調整板２６及び開閉板２８を選択的に押し下げる作業を手動で行っても良い。

なお、上記複数の変形例のうち組み合わせ可能な変形例は、適宜、組み合わされても良い。

以上、本願の開示する技術の一実施形態を説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。

なお、上述の本願の開示する技術の一実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。

（付記１）
冷媒を貯留する槽本体と、
前記槽本体の内側に設けられて電子機器を格納する格納部と、
前記格納部の下側に水平に配置された整流板と、
前記整流板に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から前記整流板に対して下側に離間した離間位置に移動可能な流量調整板と、
を備え、
前記整流板は、上下方向に貫通する複数の整流穴を有し、
前記流量調整板は、それぞれ前記整流穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する複数の流量調整穴を有し、
前記整流板及び前記流量調整板が重なり合う範囲において、前記複数の流量調整穴の合計開口面積は、前記複数の整流穴の合計開口面積よりも小さい、
液浸槽。
（付記２）
前記整流板及び前記流量調整板が重なり合う範囲において、前記複数の流量調整穴の個数は、前記複数の整流穴の個数よりも少ない、
付記１に記載の液浸槽。
（付記３）
前記流量調整穴の径は、前記整流穴の径よりも小さい、
付記１又は付記２に記載の液浸槽。
（付記４）
前記流量調整板に下側から重ね合わされて前記複数の流量調整穴を閉止する閉止位置から前記流量調整板に対して下側に離間して前記複数の流量調整穴を開放する開放位置に移動可能な開閉板を備える、
付記１～付記３のいずれか一項に記載の液浸槽。
（付記５）
前記整流板は、上下方向に貫通する貫通穴を有し、
前記流量調整板は、前記貫通穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する第一係止穴を有し、
前記開閉板は、前記第一係止穴と整合する位置に形成された第二係止穴を有し、
前記第一係止穴の径は、前記貫通穴の径よりも小さく、
前記第二係止穴の径は、前記第一係止穴の径よりも小さい、
付記４に記載の液浸槽。
（付記６）
前記開閉板を上側に付勢する付勢部材を備える、
付記４又は付記５に記載の液浸槽。
（付記７）
前記流量調整板の密度は、前記冷媒の密度よりも低い、
付記１～付記６のいずれか一項に記載の液浸槽。
（付記８）
前記槽本体には、前記槽本体の内側に前記冷媒を流入させる冷媒流入口が形成され、
前記整流板は、前記冷媒流入口よりも上側に位置する、
付記１～付記７のいずれか一項に記載の液浸槽。
（付記９）
複数の前記流量調整板を備え、
前記複数の流量調整板は、前記整流板に下側から重ね合わされている、
付記１～付記８のいずれか一項に記載の液浸槽。
（付記１０）
液浸槽及び電子機器を備え、
前記液浸槽は、
冷媒を貯留する槽本体と、
前記槽本体の内側に設けられて前記電子機器を格納する格納部と、
前記格納部の下側に水平に配置された整流板と、
前記整流板に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から前記整流板に対して下側に離間した離間位置に移動可能な流量調整板と、
を備え、
前記整流板は、上下方向に貫通する複数の整流穴を有し、
前記流量調整板は、それぞれ前記整流穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する複数の流量調整穴を有し、
前記整流板及び前記流量調整板が重なり合う範囲において、前記複数の流量調整穴の合計開口面積は、前記複数の整流穴の合計開口面積よりも小さい、
電子装置。
（付記１１）
前記流量調整板に下側から重ね合わされて前記複数の流量調整穴を閉止する閉止位置から前記流量調整板に対して下側に離間して前記複数の流量調整穴を開放する開放位置に移動可能な開閉板を備え、
前記電子機器は、前記電子機器が前記格納部に上側から格納されることに伴って、前記流量調整板を前記開閉板と共に押し下げて前記流量調整板を前記離間位置に移動させるか、又は、前記開閉板を押し下げて前記開閉板を前記開放位置に移動させる押し下げ部材を有する、
付記１０に記載の電子装置。
（付記１２）
前記整流板は、上下方向に貫通する貫通穴を有し、
前記流量調整板は、前記貫通穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する第一係止穴を有し、
前記開閉板は、前記第一係止穴と整合する位置に形成された第二係止穴を有し、
前記第一係止穴の径は、前記貫通穴の径よりも小さく、
前記第二係止穴の径は、前記第一係止穴の径よりも小さく、
前記押し下げ部材は、前記第一係止穴に係止されるか、又は、前記第一係止穴を通過して前記第二係止穴に係止される係止突起を有する、
付記１１に記載の電子装置。

１０液浸槽
１２槽本体
１４冷媒
１８冷媒流入口
２０冷媒排出口
２２格納部
２４整流板
２６流量調整板
２８開閉板
３０整流穴
３２貫通穴
３６流量調整穴
３８第一係止穴
４２第二係止穴
４６付勢部材
４８整流部
５０流量調整機構
６０電子機器
６６押し下げ部材
７０係止突起
９０電子装置

Claims

冷媒を貯留する槽本体と、
前記槽本体の内側に設けられて電子機器を格納する格納部と、
前記格納部の下側に水平に配置された整流板と、
前記整流板に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から前記整流板に対して下側に離間した離間位置に移動可能な流量調整板と、
を備え、
前記整流板は、上下方向に貫通する複数の整流穴を有し、
前記流量調整板は、それぞれ前記整流穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する複数の流量調整穴を有し、
前記整流板及び前記流量調整板が重なり合う範囲において、前記複数の流量調整穴の合計開口面積は、前記複数の整流穴の合計開口面積よりも小さい、
液浸槽。
前記流量調整板に下側から重ね合わされて前記複数の流量調整穴を閉止する閉止位置から前記流量調整板に対して下側に離間して前記複数の流量調整穴を開放する開放位置に移動可能な開閉板を備える、
請求項１に記載の液浸槽。
前記整流板は、上下方向に貫通する貫通穴を有し、
前記流量調整板は、前記貫通穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する第一係止穴を有し、
前記開閉板は、前記第一係止穴と整合する位置に形成された第二係止穴を有し、
前記第一係止穴の径は、前記貫通穴の径よりも小さく、
前記第二係止穴の径は、前記第一係止穴の径よりも小さい、
請求項２に記載の液浸槽。
前記開閉板を上側に付勢する付勢部材を備える、
請求項２又は請求項３に記載の液浸槽。
液浸槽及び電子機器を備え、
前記液浸槽は、
冷媒を貯留する槽本体と、
前記槽本体の内側に設けられて前記電子機器を格納する格納部と、
前記格納部の下側に水平に配置された整流板と、
前記整流板に下側から重ね合わされた重ね合わせ位置から前記整流板に対して下側に離間した離間位置に移動可能な流量調整板と、
を備え、
前記整流板は、上下方向に貫通する複数の整流穴を有し、
前記流量調整板は、それぞれ前記整流穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する複数の流量調整穴を有し、
前記整流板及び前記流量調整板が重なり合う範囲において、前記複数の流量調整穴の合計開口面積は、前記複数の整流穴の合計開口面積よりも小さい、
電子装置。
前記流量調整板に下側から重ね合わされて前記複数の流量調整穴を閉止する閉止位置から前記流量調整板に対して下側に離間して前記複数の流量調整穴を開放する開放位置に移動可能な開閉板を備え、
前記電子機器は、前記電子機器が前記格納部に上側から格納されることに伴って、前記流量調整板を前記開閉板と共に押し下げて前記流量調整板を前記離間位置に移動させるか、又は、前記開閉板を押し下げて前記開閉板を前記開放位置に移動させる押し下げ部材を有する、
請求項５に記載の電子装置。
前記整流板は、上下方向に貫通する貫通穴を有し、
前記流量調整板は、前記貫通穴と整合する位置に形成されて上下方向に貫通する第一係止穴を有し、
前記開閉板は、前記第一係止穴と整合する位置に形成された第二係止穴を有し、
前記第一係止穴の径は、前記貫通穴の径よりも小さく、
前記第二係止穴の径は、前記第一係止穴の径よりも小さく、
前記押し下げ部材は、前記第一係止穴に係止されるか、又は、前記第一係止穴を通過して前記第二係止穴に係止される係止突起を有する、
請求項６に記載の電子装置。