JP7237863B2 - 情報処理装置および情報処理方法 - Google Patents
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Description
12B シャッフル部
12C 生成部
12D 導出部
12E 判定部
12F 分類部
Claims (10)
- 対象値がN次元配列された(Nは1以上の整数)対象マップに含まれる前記対象値の少なくとも一部の位置をランダムに入れ替えた複数のシャッフルマップを生成するシャッフル部と、
前記対象マップの周波数領域の特徴量を表す対象ベクトル、および、複数の前記シャッフルマップの各々の周波数領域の特徴量を表すランダムベクトルを生成する生成部と、
前記対象ベクトルと複数の前記ランダムベクトルの各々との特徴差の統計的仮説検定の検定結果を、前記対象マップがランダム特性である評価値として導出する導出部と、
を備える情報処理装置。 - 前記対象マップは、
半導体ウェハに搭載された複数のチップの各々の特性値である前記対象値が、複数の前記チップの各々の前記半導体ウェハ上の位置に応じて2次元配列されたデータである、
請求項1に記載の情報処理装置。 - 前記シャッフル部は、
前記対象マップにおける特定領域内の前記対象値の位置を該特定領域内でランダムに入れ替えた複数の前記シャッフルマップを生成する、
請求項1または請求項2に記載の情報処理装置。 - 前記対象ベクトルおよび前記ランダムベクトルは、周波数スペクトル、パワースペクトル密度、または自己相関関数である、請求項1~請求項3の何れか1項に記載の情報処理装置。
- 前記導出部は、
前記対象ベクトルと複数の前記ランダムベクトルの各々との特徴差から、偏回帰係数が0でないことを帰無仮説とするt検定のt値またはp値である前記検定結果を導出する、
請求項1~請求項4の何れか1項に記載の情報処理装置。 - 前記導出部は、
前記対象ベクトルと複数の前記ランダムベクトルの各々との特徴差から、ウィルコクソンの符号順位検定の統計値またはp値である前記検定結果を導出する、
請求項1~請求項4の何れか1項に記載の情報処理装置。 - 前記検定結果が閾値以上である前記対象マップを前記ランダム特性であると判定し、前記検定結果が前記閾値未満である前記対象マップを非ランダム特性であると判定する判定部、
を備える請求項1~請求項6の何れか1項に記載の情報処理装置。 - 複数の前記対象マップの各々の前記検定結果を前記評価値の高い順に配列し、前記評価値の高い順に予め定めた数の複数の前記検定結果の各々に対応する前記対象マップを、前記ランダム特性であると判定し、該ランダム特性と判定した前記対象マップ以外の他の前記対象マップを非ランダム特性であると判定する判定部、
を備える請求項1~請求項6の何れか1項に記載の情報処理装置。 - 複数の前記対象マップの内、前記非ランダム特性と判定された前記対象マップを、該対象マップ間の特徴量の距離または該対象マップ間の類似度に基づいて分類する分類部、
を備える請求項7または請求項8に記載の情報処理装置。 - コンピュータによって実行される情報処理方法であって、
対象値がN次元配列された(Nは1以上の整数)対象マップに含まれる前記対象値の少なくとも一部の位置をランダムに入れ替えた複数のシャッフルマップを生成するステップと、
前記対象マップの周波数領域の特徴量を表す対象ベクトル、および、複数の前記シャッフルマップの各々の周波数領域の特徴量を表すランダムベクトルを生成するステップと、
前記対象ベクトルと複数の前記ランダムベクトルの各々との特徴差の統計的仮説検定の検定結果を、前記対象マップがランダム特性である評価値として導出するステップと、
を含む情報処理方法。
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JP2006216739A (ja) | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の欠陥解析方法 |
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