JP7234850B2 - 異物除去装置及びコイル装置 - Google Patents

Description

本開示は、異物除去装置及びコイル装置に関する。

コイル装置は、例えば、非接触給電システムに用いられる。非接触給電システムは、送電コイルと受電コイルとを備えている。これらコイル同士は、電磁誘導又は磁界共鳴といった原理に基づき磁気的に互いに結合する。これらコイル同士の磁気的結合を利用して、非接触による送電が実現されている。非接触給電システムは、例えば、自動車などの地上の移動体、或いは水中航走体などの水中移動体に用いられる。

特許文献１は、水中移動体に用いられる非接触給電システムを開示する。この非接触給電システムでは、受電コイルは、水中移動体（無人水中航走体）に設置され、送電コイルは、水中移動体が帰還するプラットフォーム（水上の船舶又は水中の基地）に設置される。受電コイルは、水中移動体に設けられたカバー部材によって覆われ、このカバー部材の外面にはスクレーパ部材が取り付けられている。送電コイルは、プラットフォームに設けられたカバー部材によって覆われ、このカバー部材の外面には別のスクレーパ部材が取り付けられている。これらスクレーパ部材は、水中移動体とプラットフォームとの相対移動に伴って、各カバー部材に付着した異物を除去する。

特開２０１５－２３１３０７号公報

送電コイルと受電コイルとの間に異物が存在すると、次のような問題が生じ得る。例えば水中移動体の充電設備として非接触給電システムを利用する場合など、送電コイルが水中に設置されるような場合、送電コイル上には、例えば、貝類などの生物、又は導電性を有する浮遊物といった異物が付着し得る。送電コイル上に異物が付着して堆積物を形成すると、その堆積物が妨げとなって、受電コイルを送電コイルに十分に接近させることができなくなり、給電効率が低下するという問題が生じ得る。また、その異物が導電性を有する場合、受電時及び送電時に、送電コイルの磁束が異物に錯交することによって異物の内部に大きな渦電流が生じ、ジュール損失による給電効率の低下の問題を招き得る。

このような問題に対し、特許文献１のように、受電コイル側のカバー部材に、生物を物理的に除去するためのスクレーパ部材を取り付けると共に、送電コイル側のカバー部材にも、当該スクレーパ部材を取り付ける構成が考えられる。しかし、スクレーパ部材にも異物が付着してしまうと、スクレーパ部材によるカバー部材上の異物の除去を行い難くなり、異物の除去を確実に行うことが難しくなる可能性がある。

本開示は、異物の除去をより確実に行うことができる異物除去装置及びコイル装置を説明する。

本開示の異物除去装置は、非接触給電のためのコイル装置に用いられる異物除去装置であって、コイル装置が含むコイルを覆う露出面、及び、露出面の互いに異なる位置に設けられた複数の流体噴出孔を含む本体と、複数の流体噴出孔に接続されており、流体噴出孔から噴出される流体によって露出面に付着した異物を除去する除去部と、を備え、除去部は、流体噴出孔に接続された流路に設けられており、流路を流れる流体の流量又は圧力を、露出面上に異物が存在するか否かを判定するための検出値としてそれぞれ検出する複数のセンサを有する。

この異物除去装置は、本体の露出面の互いに異なる位置にそれぞれ設けられた複数の流体噴出孔から流体を噴出させることにより、露出面上から異物を除去する。更に、流体噴出孔に接続された流路上にセンサが設けられており、センサは、流路を流れる流体の流量又は圧力を検出値として検出する。異物が流体噴出孔上に存在する場合、当該流体噴出孔に対応する検出値が変動して異常な値となる。したがって、この検出値を監視することによって、当該流体噴出孔上に異物が存在するか否かを判定できる。つまり、流体の噴出による異物の除去を行うことができたか否かを確認できる。その結果、露出面上からの異物の除去をより確実に行うことができる。

いくつかの態様において、除去部は、流路に接続されて、流路を介して流体を流体噴出孔に提供する流体供給部と、検出値に基づいて流体供給部の出力を制御する制御部と、を有してもよい。この場合、制御部は、異物が流体噴出孔上に存在する場合に、当該流体噴出孔に対応する流体供給部の出力が大きくなるように制御することができる。これにより、当該流体噴出孔から噴出する流体の流速を大きくすることができる。その結果、流体噴出孔上からの異物の除去をより確実に行うことができる。

いくつかの態様において、制御部は、検出値が所定の条件を満たすか否かを判定することによって、露出面上に異物が存在するか否かを判定する判定部と、判定部による判定結果に基づいて、流体供給部の出力を調整する調整部と、を含み、調整部は、複数のセンサから得た全ての検出値が所定の条件を満たすことにより、露出面上に異物が存在しないと判定された場合には、各流体供給部の出力を第１の出力に設定し、複数のセンサから得た少なくとも一つの検出値が所定の条件を満たさないことにより、露出面上に異物が存在すると判定された場合には、所定の条件を満たさない検出値を出力したセンサに対応する流体噴出孔を特定し、特定された流体噴出孔に対応する流体供給部の出力を第１の出力よりも大きい第２の出力に設定してもよい。このように、調整部が、露出面上に異物が存在すると判定された場合に、特定された流体噴出孔に対応する流体供給部の出力を大きくすることによって、特定された流体噴出孔から噴出する流体の流速を大きくすることができる。これにより、特定された流体噴出孔上からの異物の除去をより確実に行うことができる。また、上記の構成によれば、露出面上から異物を除去するために全ての流体供給部の出力を大きくする必要が無いので、露出面上からの異物の除去を効率良く行うことができる。

いくつかの態様において、調整部は、露出面上に異物が存在すると判定された場合に、特定された流体噴出孔に対応する流体供給部の出力を第２の出力に設定すると共に、特定されなかった流体噴出孔に対応する流体供給部の出力を、第２の出力よりも小さい第３の出力に設定してもよい。この場合、特定された流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速を最も大きくすることができ、特定されなかった流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速を、特定されなかった流体噴出孔が特定された流体噴出孔から遠ざかるにつれて小さくすることができる。このように、流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速に勾配を持たせることによって、露出面の外側（縁部側）に異物を移動させやすくすることができる。これにより、露出面上に異物が留まる事態を抑制できる。その結果、露出面上からの異物の除去をより確実に行うことができる。

いくつかの態様において、複数の流体噴出孔は、１個の第１流体噴出孔と、第１流体噴出孔を囲む複数の第２流体噴出孔と、を含み、第２流体噴出孔の内径は、第１流体噴出孔の内径よりも大きく、且つ、第２流体噴出孔が第１流体噴出孔から遠ざかるにつれて大きくなってもよい。この場合、第１流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速を最も大きくすることができ、第２流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速を、第２流体噴出孔が第１流体噴出孔から遠ざかるにつれて小さくすることができる。このように、第１及び第２流体噴出孔の開口から噴出する流体の流速に勾配を持たせることによって、露出面の外側（縁部側）に異物を移動させやすくすることができる。これにより、露出面上に異物が留まる事態を抑制できる。その結果、露出面上からの異物の除去をより確実に行うことができる。

本開示のコイル装置は、上述したいずれかの異物除去装置と、コイルと、を備える。

このコイル装置は、上述したいずれかの異物除去装置を備えるので、上述したように、露出面上からの異物の除去をより確実に行うことができる。これにより、露出面への異物の付着を抑制でき、当該露出面に異物の堆積物が形成される事態を抑制できる。その結果、受電及び送電時に、コイル装置に相手方コイル装置を十分に接近させることができるので、コイル装置と相手方コイル装置との給電効率の低下を抑制できる。

本開示のいくつかの態様によれば、異物の除去をより確実に行うことができる異物除去装置及びコイル装置が提供される。

図１は、一実施形態に係るコイル装置を備える非接触給電システムを示す正面図である。 図２は、図１に示すコイル装置を示す断面図である。 図３は、図１に示すコイル装置を示す平面図である。 図４は、図２に示す制御部の構成を示すブロック図である。 図５は、図４に示す制御部による制御方法を示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照しながら本発明を実施するための形態を詳細に説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。以下の説明において、「上」及び「下」との語は、鉛直方向を基準として用いられる。

図１及び図２を参照して、本実施形態に係るコイル装置１０を備えた非接触給電システム１について説明する。コイル装置１０は、例えば、非接触給電システム１における送電装置１２として用いられる。非接触給電システム１は、受電装置１１と送電装置１２との間の磁気的結合を利用して送電装置１２から受電装置１１へ電力を供給する。非接触給電システム１は、例えば、地上又は水中を移動する移動体に搭載されるバッテリを充電する。

本実施形態では、海中を移動する移動体２に非接触給電システム１を適用した場合を例示する。この場合、受電装置１１は、海中を移動する移動体２に設けられている。移動体２は、例えば自律型の無人潜水艇などの水中航走体である。移動体２は、例えば、前後方向に延びる円筒状をなす筐体２ａを有する。受電装置１１は、例えば、筐体２ａの内部に配置されている。受電装置１１は、例えば、筐体２ａの内周面２ｂに取り付けられている。受電装置１１は、受電回路及び充電回路などを介して筐体２ａの内部に配置されたバッテリに電気的に接続されている。なお、受電装置１１は、筐体２ａの内部に配置されていなくてもよい。受電装置１１は、例えば、筐体２ａの外周面２ｃから露出していてもよく、外周面２ｃから突出していてもよい。

一方、送電装置１２は、海中に設置されたプラットフォーム３に設けられている。プラットフォーム３は、移動体２のバッテリを充電するための施設である。プラットフォーム３は、例えば、平坦な壁部３ａを有する。送電装置１２は、壁部３ａ上に設けられている。送電装置１２は、例えば、壁部３ａから突出しており、壁部３ａから露出している。送電装置１２は、壁部３ａから突出せずに壁部３ａに埋め込まれていてもよい。送電装置１２は、送電回路及び整流回路などを介して外部電源に電気的に接続されている。

図１に示すように、送電時には、プラットフォーム３の壁部３ａ上に移動体２が移動し、移動体２の内周面２ｂに取り付けられた受電装置１１と、壁部３ａ上に設けられた送電装置１２とが、上下方向において所定の間隔で互いに対面する。受電装置１１と送電装置１２とが上下方向に対面すると、受電装置１１の内部の受電コイルＣ１と送電装置１２の内部の送電コイルＣ２とが、電磁気的に互いに結合して電磁結合回路を形成する。これにより、送電コイルＣ２から受電コイルＣ１への送電が行われる。言い換えれば、受電装置１１は、送電装置１２から非接触で電力を受け取る。「電磁誘導方式」で送電及び受電を行う回路であってもよく、「磁界共鳴方式」で送電及び受電を行う回路であってもよい。

以下、コイル装置１０を送電装置１２として利用する態様を例に、コイル装置１０について更に詳細に説明する。

上述したように、移動体２の充電設備として非接触給電システム１を利用するとき、コイル装置１０は、海中に設置されたプラットフォーム３に設置される。したがって、コイル装置１０上には、意図しない異物Ｍが存在することがあり得る。異物Ｍとしては、例えば、貝類などの生物、又は、金属片などの導電性を有する浮遊物が挙げられる。コイル装置１０上に貝類などの生物が付着して堆積物を形成すると、その堆積物が妨げとなって、受電コイルＣ１を送電コイルＣ２に十分に接近させることができなくなり、給電効率が低下することがあり得る。また、電力の供給が行われるとき、受電コイルＣ１と送電コイルＣ２との間には磁束が発生する。このとき、受電コイルＣ１と送電コイルＣ２との間に金属片などの導電性を有する浮遊物が存在すると、送電コイルＣ２の磁束が当該浮遊物に錯交することによって当該浮遊物の内部に大きな渦電流が生じ、ジュール損失によって給電効率が低下することがあり得る。したがって、異物Ｍの存在によって所望の給電効率が得られない場合が生じ得る。

そこで、図２に示すように、コイル装置１０は、送電コイルＣ２上に存在する異物Ｍを除去する異物除去装置２０を備える。異物除去装置２０は、送電コイルＣ２を収容する筐体２５（本体）と、筐体２５に接続される除去部３０とを備える。本実施形態では、筐体２５は、コイル装置１０の筐体を構成している。つまり、筐体２５は、コイル装置１０の筐体と一体化している。しかし、筐体２５は、コイル装置１０の筐体とは別体であってもよい。この場合、筐体２５は、コイル装置１０の筐体を覆うように取り付けられてもよい。筐体２５は、例えば扁平な円筒形状をなしている。筐体２５は、カバー２６とベース２７とを含む。カバー２６は、送電コイルＣ２の表面側に配置された箱体である。送電コイルＣ２の表面とは、コイル装置１０に対面する受電装置１１に近い面を指す。

カバー２６は、送電コイルＣ２を含む内装部品を覆っている。カバー２６は、例えば、非磁性且つ非導電性の材料により形成される。カバー２６の材料として、例えばガラス繊維強化樹脂（ＧＦＲＰ：Carbon Fiber Reinforced Plastics）を採用してもよい。カバー２６は、上下方向において互いに対面する表面２６ａ及び裏面２６ｂを含んでいる。表面２６ａは、カバー２６の外側に露出する露出面（外面）である。表面２６ａは、送電コイルＣ２上に配置されている。つまり、表面２６ａは、上下方向において送電コイルＣ２と対向する位置に配置されており、送電コイルＣ２とは反対側を向いている。表面２６ａは、上下方向において受電装置１１と対面する。表面２６ａには、異物Ｍが付着している。裏面２６ｂは、カバー２６の内面であり、送電コイルＣ２側を向いている。また、カバー２６には、複数の流体噴出孔Ｈが設けられている。複数の流体噴出孔Ｈの具体的な構成については後述する。

ベース２７は、送電コイルＣ２の裏面側に配置された板状部材である。送電コイルＣ２の裏面とは、受電装置１１から遠い面、すなわち上下方向において表面とは反対側の面を指す。ベース２７は、コイル装置１０の全体としての剛性を確保する。ベース２７は、例えば、非磁性材料であって導電性を有する材料により形成される。ベース２７の材料として、比較的剛性の高い材料を採用してもよい。また、ベース２７の材料として、例えば透磁率の低い金属材料であるアルミニウムを採用してもよい。このようなベース２７の材料の選択によれば、ベース２７は、漏えい磁束の外部流出を遮蔽することができる。換言すると、ベース２７は、磁気シールド特性を有する。これらのカバー２６及びベース２７によって、送電コイルＣ２などを収容する収容空間が形成されている。

送電コイルＣ２は、受電コイルＣ１（図１参照）への送電のための磁束を発生させる。送電コイルＣ２は、例えば、同一平面内で渦巻状に巻回された導線１５によって形成される。送電コイルＣ２は、例えばサーキュラー型のコイルである。サーキュラー型のコイルにおいて、導線１５は、巻軸（コイル軸）の周りを囲むように巻線方向に巻かれている。この場合、導線１５の巻線方向は、巻軸に垂直な平面において渦巻状に延びる方向である。送電コイルＣ２は、導線１５が渦巻状に巻回された態様であればよく、一層であっても多層であってもよい。

巻軸方向から見た送電コイルＣ２の形状は、例えば矩形、円形、又は楕円形等の種々の形状を採り得る。導線１５としては、例えば、互いに絶縁された複数の導体素線が撚り合わされたリッツ線が用いられてもよく、表皮効果による高周波抵抗を抑えたリッツ線が用いられてもよい。導線１５は、例えば、銅又はアルミニウムの単線であってもよい。

送電コイルＣ２は、例えば、平板状の部材であるボビン（不図示）の溝にはめ込まれている。ボビンは、非磁性且つ非導電性の材料（例えばシリコーン又はポリフェニレンサルファイド樹脂など）によって形成される。そして、ボビンがベース２７に固定されることにより、筐体２５の収容空間の内部における送電コイルＣ２の位置が定まる。なお、必要に応じて、ボビンとベース２７との間に、フェライト板が設けられてもよい。換言すると、フェライト板は、送電コイルＣ２とベース２７との間に配置されてもよい。

ここで、複数の流体噴出孔Ｈの構成について具体的に説明する。複数の流体噴出孔Ｈのそれぞれは、例えば、表面２６ａから裏面２６ｂまでカバー２６を上下方向に貫通している。流体噴出孔Ｈの内径は、例えば、裏面２６ｂから表面２６ａに近づくにつれて徐々に大きくなっている。したがって、表面２６ａにおける流体噴出孔Ｈの開口Ｈａは、裏面２６ｂにおける流体噴出孔Ｈの開口よりも大きい。

図３に示すように、複数の流体噴出孔Ｈの開口Ｈａは、表面２６ａの互いに異なる位置にそれぞれ設けられている。流体噴出孔Ｈの開口Ｈａは、例えば円形状をなしているが、他の形状をなしていてもよい。図３に示す例では、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａは、表面２６ａの中心点を中心として放射状に並ぶように設けられている。言い換えると、各流体噴出孔Ｈは、表面２６ａの中心点を中心とする周方向に沿って所定の間隔を空けて並ぶと共に、当該中心点を中心とする径方向に沿って所定の間隔を空けて並んでいる。なお、表面２６ａの法線方向から見て、表面２６ａの中心点が導線１５の巻軸上に位置する場合、当該中心点は、表面２６ａと導線１５の巻軸との交点に一致する。

図３において、複数の流体噴出孔Ｈのうち１つの流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａは、表面２６ａにおける中心に配置されている。複数の流体噴出孔Ｈのうち流体噴出孔Ｈ１を除く複数の流体噴出孔Ｈ２及びＨ３の開口Ｈａは、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａを取り囲むように配置されている。各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａは、表面２６ａの中心点を中心とする径方向において流体噴出孔Ｈ１から一定距離離れており、当該中心点を中心とする周方向において等間隔で並んでいる。

各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａは、各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａを取り囲んでいる。具体的には、各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａは、上記中心点を中心とする径方向において各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａよりも遠い位置に配置されており、当該中心点を中心とする周方向において等間隔で並んでいる。なお、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａの配置は、図３に示す例に限られない。例えば、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａは、表面２６ａの中心点以外の点を中心として放射状に並んでもよいし、放射状に並ばずに不規則に並んでいてもよい。以下の説明において、流体噴出孔Ｈ１，Ｈ２及びＨ３のそれぞれを特に区別して説明しない場合には、流体噴出孔Ｈ１，Ｈ２及びＨ３のそれぞれを単に流体噴出孔Ｈと呼ぶ。

また、図３は、表面２６ａの中心点付近に異物Ｍが付着した例を示している。図３に示す例では、異物Ｍは、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａの一部を塞いでいる。異物Ｍが表面２６ａに付着する箇所は図３に示す例に限られず、異物Ｍは、表面２６ａのあらゆる位置に付着することが想定される。例えば、異物Ｍは、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａの一部のみではなく流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａの全部を塞ぐ場合もあり得るし、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａではなく流体噴出孔Ｈ２及び／又はＨ３の開口Ｈａを塞ぐ場合もあり得る。

図２に示すように、除去部３０は、各流体噴出孔Ｈに接続されている。除去部３０は、各流体噴出孔Ｈに流体Ｆを供給し、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから流体Ｆを噴出させる。流体Ｆは、例えば海水である。しかし、流体Ｆは、河川水又は湖水などの海水以外の水であってもよいし、水以外の物質を含んでもよい。或いは、流体Ｆは、空気などの気体であってもよい。なお、図２に示す例では、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから噴出する流体Ｆを流体Ｆ１として示し、各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａから噴出する流体Ｆを流体Ｆ２として示し、各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａから噴出する流体Ｆを流体Ｆ３として示している。以下の説明において、流体Ｆ１，Ｆ２及びＦ３のそれぞれを特に区別して説明しない場合には、流体Ｆ１，Ｆ２及びＦ３のそれぞれを単に流体Ｆと呼ぶ。

除去部３０は、例えば、ポンプ３１と、複数の配管３２と、複数のバルブ３３と、複数のセンサ３４と、制御部３５と、を含んでいる。ポンプ３１及び複数のバルブ３３は、流体供給部３６を構成する。ポンプ３１は、制御部３５と電気的に接続されている。ポンプ３１は、制御部３５から入力される制御信号Ｓ１に従って、コイル装置１０の外部の流体Ｆを吸い上げ、吸い上げた流体Ｆを各配管３２に供給する。ポンプ３１は、流体Ｆを各配管３２に供給可能なものであれば、どのような構成を有してもよい。

各配管３２は、ポンプ３１を各流体噴出孔Ｈに接続している。配管３２の一端はバルブ３３に接続されており、配管３２の他端は、裏面２６ｂにおける各流体噴出孔Ｈの開口に接続されている。配管３２の一端側の部分は、コイル装置１０の外部に設けられており、配管３２の他端側の部分は、コイル装置１０の内部に設けられている。配管３２は、例えば、その全体が樹脂などの非磁性且つ非導電性の材料によって構成されている。しかし、コイル装置１０の外部に設けられる配管３２の一端側の部分と、コイル装置１０の内部に設けられる配管３２の他端側の部分とが、互いに異なる材料によって構成されてもよい。例えば、配管３２の他端側の部分のみが、送電コイルＣ２が発生する磁束に影響を与えないよう非磁性且つ非導電性の材料によって構成される一方、配管３２の一端側の部分は、導電性及び／又は磁性を有する材料であってもよい。

複数のバルブ３３は、複数の配管３２にそれぞれ設けられている。すなわち、各バルブ３３は、ポンプ３１と各流体噴出孔Ｈとの間の各流路上に設けられている。バルブ３３は、ポンプ３１と流体噴出孔Ｈとの間の流路を開閉する自動弁であり、例えば電磁弁である。バルブ３３は、制御部３５により開閉制御される。バルブ３３の出力は、制御部３５から入力される制御信号Ｓ２に従って制御される。本実施形態において、バルブ３３の「出力」とは、バルブ３３の「開度」を意味する。バルブ３３は、その開度を変更することにより、流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量又は圧力を調整することができる。したがって、バルブ３３の「出力」をバルブ３３から流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの「流量」又は「圧力」と置き換えてもよい。

複数のセンサ３４は、複数の配管３２にそれぞれ設けられている。具体的には、各センサ３４は、各バルブ３３と各流体噴出孔Ｈとの間の各流路上に設けられている。センサ３４は、バルブ３３から配管３２に供給される流体Ｆの流量又は圧力を検出値として検出し、当該検出値を示すデータＤを制御部３５に出力する。本実施形態では、センサ３４として、流体Ｆの流量を検出する流量センサ（フローメータ）が用いられる場合を例示する。したがって、本実施形態では、センサ３４は、バルブ３３から流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量を示すデータＤを制御部３５に出力する。各センサ３４は、各バルブ３３から流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量を示す各データＤをまとめて制御部３５に出力してもよいし、各データＤを制御部３５に順次出力してもよい。なお、センサ３４は、流体Ｆの圧力を検出する圧力センサであってもよい。この場合、センサ３４は、バルブ３３から流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの圧力を示すデータＤを制御部３５に出力する。

制御部３５は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit)、ＲＯＭ(Read Only Memory)、及びＲＡＭ(Random Access Memory)等のハードウェアと、ＲＯＭに記憶されたプログラムなどのソフトウェアとより構成されたコンピュータである。制御部３５は、ポンプ３１、各バルブ３３、及び各センサ３４と電気的に接続されている。制御部３５は、ポンプ３１の動作を制御すると共に、各センサ３４から出力される各データＤに基づいて各バルブ３３の開度を制御する。

図４に示すように、制御部３５は、例えば、設定部４０と、判定部４１と、調整部４２とを含んでいる。設定部４０は、ポンプ３１の動作条件を設定する。具体的には、設定部４０は、ポンプ３１が吸い上げる流体Ｆの流量又は圧力、ポンプ３１が吸い上げるタイミング、及びポンプ３１が吸い上げる時間などを指定する制御信号Ｓ１をポンプ３１に出力する。また、調整部４２は、各バルブ３３の開度を指定する制御信号Ｓ２を各バルブ３３に出力する。調整部４２は、制御信号Ｓ２によって、各バルブ３３の開度を第１の開度（第１の出力）に設定する。

設定部４０がポンプ３１の動作条件を設定し、調整部４２が各バルブ３３の開度を調整することによって、各流体噴出孔Ｈから噴出する流体Ｆの流量又は圧力、各流体噴出孔Ｈから流体Ｆが噴出するタイミング、及び、各流体噴出孔Ｈから流体Ｆが噴出する時間などが設定される。これに従って、一定の流量の流体Ｆが各流体噴出孔Ｈから連続的又は間欠的に噴出する。調整部４２が各バルブ３３の開度を上記の第１の開度に設定するとき、第１の開度に応じた流量又は圧力の流体Ｆが各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから噴出する。第１の開度は、表面２６ａ上の異物Ｍの有無を確認するために必要な流量又は圧力の流体Ｆを送出できる開度であればよい。

判定部４１は、センサ３４からのデータＤが示す検出値が所定の条件を満たすか否かを判定することによって、表面２６ａ上に異物Ｍが存在するか否かを判定する。本実施形態のように検出値が流体Ｆの流量を示す場合、「所定の条件」は、流体Ｆの流量が所定の閾値以上であることである。「所定の閾値」とは、バルブ３３の開度が第１の開度であるときに、異物Ｍによって塞がれていない状態の流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量値である。「所定の閾値」は、異物Ｍによって塞がれていない状態の流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量値のばらつき範囲の下限値としてもよい。本実施形態では、判定部４１は、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量が所定の閾値以上であるか否かを判定する。判定部４１は、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量を各流体噴出孔Ｈごとに１つずつ順次判定してもよいし、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量をまとめて一度に判定してもよい。

なお、検出値が流体Ｆの圧力を示す場合、「所定の条件」は、流体Ｆの圧力が所定の閾値以下であることである。この場合、「所定の閾値」とは、バルブ３３の開度が第１の開度であるときに、異物Ｍによって塞がれていない状態の流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの圧力値である。「所定の閾値」は、異物Ｍによって塞がれていない状態の流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの圧力値のばらつき範囲の上限値としてもよい。

判定部４１が、流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量が所定の閾値以上であると判定した場合、つまり検出値が所定の条件を満たすと判定した場合、調整部４２は、各バルブ３３の開度を第１の開度に保持する。一方、判定部４１が、流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量が所定の閾値以上でないと判定した場合、つまり、検出値が所定の条件を満たさないと判定した場合、調整部４２は、複数の流体噴出孔Ｈのうち、所定の閾値以上でないと判定された流量の流体Ｆが供給される対象流体噴出孔を特定する。

図２及び図３に示す例では、表面２６ａの中心に位置する流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａのみが異物Ｍによって塞がれているので、判定部４１は、流体噴出孔Ｈ１に供給される流体Ｆの流量のみが所定の閾値以上でないと判定する。この場合、調整部４２は、複数の流体噴出孔Ｈのうち流体噴出孔Ｈ１のみを対象流体噴出孔として特定する。調整部４２が対象流体噴出孔を特定することによって、表面２６ａにおける異物Ｍの位置を把握することができる。所定の閾値以上でないと判定された流量の流体Ｆが供給される流体噴出孔Ｈが複数存在する場合には、調整部４２は、その複数の流体噴出孔Ｈのそれぞれを対象流体噴出孔として特定する。この場合、調整部４２が各対象流体噴出孔を特定することによって、表面２６ａ上に存在する異物Ｍの大きさ、或いは異物Ｍが付着している領域を把握することができる。

調整部４２が流体噴出孔Ｈ１を対象流体噴出孔として特定すると、調整部４２は、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を変更する。具体的には、調整部４２は、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を、第１の開度から第１の開度よりも大きい第２の開度（第２の出力）に変更する。第２の開度は、第１の開度よりも大きければよく、バルブの開度が最も大きい全開開度であってもよいし、全開開度よりも小さい開度であってもよい。このように、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を大きくすることによって、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ１の流速を大きくすることができる。これにより、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａを塞いでいた異物Ｍを引き剥しやすくすることができる。

更に、調整部４２は、流体噴出孔Ｈ１を取り囲む各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３に対応する各バルブ３３の開度も変更する。具体的には、調整部４２は、各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３に対応する各バルブ３３の開度を、各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３が流体噴出孔Ｈ１から遠ざかるにつれて小さくなるように調整する。より具体的には、調整部４２は、各流体噴出孔Ｈ２に対応する各バルブ３３の開度を第１の開度から第２の開度よりも小さい第３の開度（第３の出力）に変更し、各流体噴出孔Ｈ３に対応する各バルブ３３の開度を第１の開度から第３の開度よりも更に小さい第４の開度（第３の出力）に変更する。

その結果、図２に示すように、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ１の流速が最大となり、各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ２の流速が流体Ｆ１の流速よりも小さくなり、各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ３の流速が流体Ｆ２の流速よりも更に小さくなる。つまり、各流体噴出孔Ｈから噴出する流体Ｆの流速は、流体噴出孔Ｈが流体噴出孔Ｈ１から遠ざかるにつれて徐々に小さくなる。このように、流体噴出孔Ｈ１から遠い流体噴出孔Ｈほど流体Ｆの流速が小さくなることによって、流体噴出孔Ｈ１から引き剥した異物Ｍを、流体噴出孔Ｈ１の外方、すなわち表面２６ａの中心から周縁に向かう方向に移動させやすくすることができる。これにより、引き剥した異物Ｍが再度表面２６ａに付着して別の流体噴出孔Ｈ２及びＨ３を塞いでしまうような事態を抑制できる。なお、調整部４２は、必ずしも、各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３に対応する各バルブ３３の開度を変更する必要は無く、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度のみを変更してもよい。

上記のように、調整部４２がバルブの開度を調整することによって、各流体噴出孔Ｈから噴出する流体Ｆの流速を調整することが可能であるが、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａの内径を調整することによって、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから噴出する流体Ｆの流速を調整することも可能である。例えば、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａの内径を、流体噴出孔Ｈが流体噴出孔Ｈ１（第１流体噴出孔）から遠ざかるにつれて大きくする。具体的には、流体噴出孔Ｈ２（第２流体噴出孔）の開口Ｈａの内径を、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａの内径よりも大きくし、流体噴出孔Ｈ３（第２流体噴出孔）の開口Ｈａの内径を、流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａの内径よりも更に大きくする。流体噴出孔Ｈの開口Ｈａの内径が大きくするほど、流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから噴出する流体Ｆの流速を小さくすることができる。

したがって、上記のように各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａの内径を調整すると、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ１の流速が最大となり、各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ２の流速が流体Ｆ１の流速よりも小さくなり、各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ３の流速が流体Ｆ２の流速よりも更に小さくなる。つまり、各流体噴出孔Ｈから噴出する流体Ｆの流速は、流体噴出孔Ｈが流体噴出孔Ｈ１から遠ざかるにつれて徐々に小さくなる。よって、このような構成であっても、流体噴出孔Ｈ１から遠い流体噴出孔Ｈほど流体Ｆの流速を小さくする態様を実現できる。

続いて、制御部３５による制御方法を説明する。まず、図５に示すように、制御部３５は、ポンプ３１の動作条件を設定すると共に、各バルブ３３の開度を第１の開度に設定する（手順Ｐ１）。ポンプ３１は、設定部４０からの制御信号Ｓ１に従って、コイル装置１０の外部から一定の流量の流体Ｆを吸い上げ、吸い上げた流体Ｆを各バルブ３３を介して各流体噴出孔Ｈに供給する。各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量又は圧力は、制御信号Ｓ２に従って設定された各バルブ３３の開度に応じた流量となる。このようにして、制御部３５は、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから一定の流量の流体Ｆを連続的又は間欠的に噴出させ、表面２６ａ上に異物Ｍが存在するか否かの点検を行う（手順Ｐ２）。

次に、センサ３４が、流体噴出孔Ｈに供給された流体Ｆの流量を検出値として検出し、当該検出値を示すデータＤを制御部３５に出力する（手順Ｐ３）。例えば、各センサ３４は、各流体噴出孔Ｈに対する検出値を流体噴出孔Ｈごとに検出し、各検出値を示す各データＤをまとめて制御部３５に出力する。

次に、制御部３５の判定部４１が、各検出値に基づいて異物Ｍが表面２６ａ上に存在するか否かを判定し、これにより、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量が所定の閾値以上か否かを判定する（手順Ｐ４）。例えば、判定部４１は、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量をまとめて判定する。そして、判定部４１は、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量が全て所定の閾値以上であると判定した場合（手順Ｐ４においてＹｅｓ）、異物Ｍが表面２６ａ上に存在しないと判定する。この場合、調整部４２は、各バルブ３３の開度を第１の開度に維持する。その後、手順Ｐ１、手順Ｐ２及び手順Ｐ３が再度繰り返される。

一方、判定部４１は、所定の閾値以上でないと判定された流量の流体Ｆが供給される流体噴出孔Ｈが１つでもあった場合（手順Ｐ４においてＮｏ）、異物Ｍが表面２６ａ上に存在すると判定する。この場合、調整部４２は、複数の流体噴出孔Ｈのうち、所定の閾値以上でないと判定された流量の流体Ｆが供給される対象流体噴出孔を特定する（手順Ｐ５）。本実施形態では、調整部４２は、流体噴出孔Ｈ１を対象流体噴出孔として特定する。その後、調整部４２は、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を第１の開度から第２の開度に変更する（手順Ｐ６）。このとき、調整部４２は、各流体噴出孔Ｈ２に流体Ｆを供給する各バルブ３３の開度を第３の開度に変更し、各流体噴出孔Ｈ３に流体Ｆを供給する各バルブ３３の開度を第４の開度に変更する。

その後、手順Ｐ２に再度戻り、手順Ｐ２，Ｐ３及びＰ４が再度繰り返される。そして、手順Ｐ４において流体Ｆの流量が所定の閾値以上であると判定された場合、表面２６ａに付着していた異物Ｍが除去されたと判断できる。この場合、手順Ｐ１に戻り、各バルブ３３の開度が第１の開度に再度設定され、手順Ｐ２，Ｐ３及びＰ４が再度繰り返される。一方、手順Ｐ４において流体Ｆの流量が所定の閾値以上でないと判定された場合は、表面２６ａに付着していた異物Ｍを引き剥すことができていないか、或いは、引き剥した異物Ｍが表面２６ａの別の位置に移動して再度付着したと判断できる。この場合、手順Ｐ５及びＰ６が再度繰り返される。なお、手順Ｐ５及びＰ６が繰り返される度に、手順Ｐ６において、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の第２の開度の大きさを徐々に大きくしてもよい。これにより、表面２６ａ上からの異物Ｍの除去をより確実に行なうことができる。

図５の示す例では、手順Ｐ３において、各センサ３４が、各検出値を示す各データＤをまとめて制御部３５に出力し、手順Ｐ４において、判定部４１が、各流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量をまとめて判定している。しかし、各センサ３４は、各データＤを流体噴出孔Ｈごとに順次出力してもよく、判定部４１は、流体Ｆの流量の判定を流体噴出孔Ｈごとに順次行ってもよい。つまり、判定部４１は、いずれか１つの流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量の判定を行った後、次の流体噴出孔Ｈに供給される流体Ｆの流量の判定を行い、これを繰り返してもよい。このように、判定部４１が流体Ｆの流量の判定を各流体噴出孔Ｈに対して１つずつ行う場合、調整部４２は、対象流体噴出孔の特定を行う必要が無いので、上記の手順Ｐ５を省略できる。

以上説明した、本実施形態に係る異物除去装置２０及びコイル装置１０の作用・効果について説明する。異物除去装置２０では、表面２６ａの互いに異なる位置に開口Ｈａがそれぞれ設けられた複数の流体噴出孔Ｈに除去部３０が接続されている。除去部３０は、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから流体Ｆを噴出させる。これにより、表面２６ａ上に異物Ｍが存在する場合に、表面２６ａ上から異物Ｍを除去することが可能となる。更に、流体噴出孔Ｈの開口Ｈａにバルブ３３を接続する流路上にセンサ３４が設けられており、センサ３４は、流路を流れる流体Ｆの流量を検出値として検出する。異物Ｍが流体噴出孔Ｈ上に存在する場合、流体噴出孔Ｈに対応する検出値が変動して異常な値となる。したがって、この検出値を監視することによって、流体噴出孔Ｈ上に異物Ｍが存在するか否かを判定できる。つまり、流体Ｆの噴出による異物Ｍの除去を行うことができたか否かを確認できる。その結果、流体噴出孔Ｈ上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。

除去部３０は、検出値に基づいてバルブ３３の出力を制御する制御部３５を含んでいる。制御部３５は、異物Ｍが流体噴出孔Ｈ上に存在する場合に、流体噴出孔Ｈに対応するバルブ３３の出力を大きくなるように制御することができる。これにより、流体噴出孔Ｈから噴出する流体Ｆの流速を大きくすることができる。その結果、流体噴出孔Ｈ上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。

制御部３５は、検出値が所定の条件を満たすか否かを判定することによって、表面２６ａ上に異物Ｍが存在するか否かを判定する判定部４１と、判定部４１による判定結果に基づいて、バルブ３３の開度を調整する調整部４２と、を含み、調整部４２は、表面２６ａ上に異物Ｍが存在しないと判定された場合には、各バルブ３３の開度を第１の開度に設定し、表面２６ａ上に異物Ｍが存在すると判定された場合には、複数の流体噴出孔Ｈのうち、検出値が所定の条件を満たさないと判定された流体噴出孔Ｈ１を特定し、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を第１の開度よりも大きい第２の開度に設定する。このように、調整部４２が、表面２６ａ上に異物Ｍが存在すると判定された場合に、流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３の開度を大きくすることによって、流体噴出孔Ｈ１から噴出する流体Ｆの流速を大きくすることができる。これにより、流体噴出孔Ｈ１上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。また、上記の構成によれば、表面２６ａ上から異物Ｍを除去するために全てのバルブ３３の開度を大きくする必要が無いので、表面２６ａ上からの異物Ｍの除去を効率良く行うことができる。

調整部４２は、表面２６ａ上に異物Ｍが存在すると判定された場合に、複数の流体噴出孔Ｈのうち流体噴出孔Ｈ１を除く各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３に対応する各バルブ３３の開度を、第２の開度よりも小さく、且つ、各流体噴出孔Ｈ２及びＨ３の開口Ｈａが流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから遠ざかるにつれて小さくなるように調整している。これにより、上述したように、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ１の流速を最も大きくすると共に、各流体噴出孔Ｈ２の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ２の流速を流体Ｆ１の流速よりも小さくし、更に、各流体噴出孔Ｈ３の開口Ｈａから噴出する流体Ｆ３の流速を流体Ｆ２の流速よりも小さくすることができる。このように、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから噴出する流体Ｆの流速に勾配を持たせることによって、表面２６ａの外側（縁部側）に異物Ｍを移動させやすくすることができる。これにより、表面２６ａ上に異物Ｍが留まる事態を抑制できる。その結果、表面２６ａ上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。

また、複数の流体噴出孔Ｈのうちの１つである流体噴出孔Ｈ１は、複数の流体噴出孔Ｈのうち流体噴出孔Ｈ１を除く複数の流体噴出孔Ｈ２及びＨ３によって取り囲まれており、複数の流体噴出孔Ｈ２及びＨ３の開口Ｈａの内径は、流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａの内径よりも小さく、且つ、複数の流体噴出孔Ｈ２及びＨ３の開口Ｈａが流体噴出孔Ｈ１の開口Ｈａから遠ざかるにつれて小さくしてもよい。このような形態であっても、上述したように、各流体噴出孔Ｈの開口Ｈａから噴出する流体Ｆの流速に勾配を持たせることができる。これにより、表面２６ａの外側（縁部側）に異物Ｍを移動させやすくすることができ、表面２６ａ上に異物Ｍが留まる事態を抑制できる。その結果、表面２６ａ上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。

コイル装置１０は、異物除去装置２０を備えるので、上述したように、表面２６ａ上からの異物Ｍの除去をより確実に行うことができる。これにより、表面２６ａへの異物Ｍの付着を抑制でき、表面２６ａに異物Ｍの堆積物が形成される事態を抑制できる。その結果、受電及び送電時に、コイル装置１０に相手方コイル装置を十分に接近させることができるので、コイル装置１０と相手方コイル装置との給電効率の低下を抑制できる。

上記実施形態及び変形例では、海中に設置されたプラットフォームに設けられた送電装置を例にコイル装置について説明した。しかし、コイル装置は、海中を移動する移動体に設けられた受電装置に採用してもよく、送電装置及び受電装置の両方に採用してもよい。上記実施形態及び変形例では、海中を移動する移動体のバッテリに給電するための非接触給電システムに用いられる送電装置を例に説明したが、本発明はこの態様に限定されない。コイル装置は、海以外の水中を移動する移動体のバッテリに給電するための非接触給電システムに用いられてもよく、水上を移動する移動体のバッテリに給電するための非接触給電システムに用いられてもよい。

異物除去装置及びコイル装置の構成は、上記実施形態に限られず、特許請求の範囲の記載の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、カバー２６に設けられた流体噴出孔Ｈは、その内径がカバー２６の表面２６ａに近づくにつれて徐々に広がっている。しかし、流体噴出孔の内径は一定（定径）であってもよい。また、上記実施形態では、ポンプ３１と各流体噴出孔Ｈとの間の流路上に各バルブ３３が設けられているが、各バルブ３３が設けられず、複数の流体噴出孔Ｈのそれぞれに対応して複数のポンプが直接設けられてもよい。また、コイル装置の送電コイルは、サーキュラー型に限られず、ソレノイド型のコイルなど他の形状を有するコイルであってもよい。

上記実施形態では、制御部３５は、表面２６ａの中心に位置する流体噴出孔Ｈ１に対応するバルブ３３のみを第２の開度に設定している。しかし、制御部は、流体噴出孔Ｈ２又はＨ３に異物が付着している場合は、流体噴出孔Ｈ２又はＨ３に対応するバルブのみを第２の開度に設定することもあるし、例えば、流体噴出孔Ｈ１に加えてＨ２にも異物が付着している場合は、流体噴出孔Ｈ１及びＨ２に対応するバルブのみを第２の開度に設定することもある。

１ 非接触給電システム
１０ コイル装置
１１ 受電装置
１２ 送電装置
２０ 異物除去装置
２５ 筐体（本体）
２６ カバー
２６ａ 表面
３０ 除去部
３１ ポンプ
３２ 配管
３３ バルブ
３４ センサ
３５ 制御部
３６ 流体供給部
４０ 設定部
４１ 判定部
４２ 調整部
Ｃ１ 受電コイル
Ｃ２ 送電コイル
Ｆ，Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３ 流体
Ｈ 流体噴出孔
Ｈ１ 流体噴出孔（第１流体噴出孔）
Ｈ２，Ｈ３ 流体噴出孔（第２流体噴出孔）
Ｈａ 開口
Ｍ 異物

Claims (6)

1. 非接触給電のためのコイル装置に用いられる異物除去装置であって、
   前記コイル装置が含むコイルを覆う露出面、及び、前記露出面の互いに異なる位置に設けられた複数の流体噴出孔を含む本体と、
   前記複数の流体噴出孔に接続されており、前記流体噴出孔から噴出される流体によって前記露出面に付着した異物を除去する除去部と、を備え、
   前記除去部は、前記流体噴出孔に接続された流路に設けられており、前記流路を流れる前記流体の流量又は圧力を、前記露出面上に前記異物が存在するか否かを判定するための検出値としてそれぞれ検出する複数のセンサを有する、異物除去装置。
2. 前記除去部は、
   前記流路に接続されて、前記流路を介して前記流体を前記流体噴出孔に提供する流体供給部と、
   前記検出値に基づいて前記流体供給部の出力を制御する制御部と、を有する、請求項１に記載の異物除去装置。
3. 前記制御部は、
   前記検出値が所定の条件を満たすか否かを判定することによって、前記露出面上に前記異物が存在するか否かを判定する判定部と、
   前記判定部による判定結果に基づいて、前記流体供給部の出力を調整する調整部と、を含み、
   前記調整部は、
   前記複数のセンサから得た全ての前記検出値が前記所定の条件を満たすことにより、前記露出面上に前記異物が存在しないと判定された場合には、各前記流体供給部の出力を第１の出力に設定し、
   前記複数のセンサから得た少なくとも一つの前記検出値が前記所定の条件を満たさないことにより、前記露出面上に前記異物が存在すると判定された場合には、前記所定の条件を満たさない前記検出値を出力した前記センサに対応する前記流体噴出孔を特定し、特定された前記流体噴出孔に対応する前記流体供給部の出力を前記第１の出力よりも大きい第２の出力に設定する、請求項２に記載の異物除去装置。
4. 前記調整部は、
   前記露出面上に前記異物が存在すると判定された場合に、特定された前記流体噴出孔に対応する前記流体供給部の出力を前記第２の出力に設定すると共に、特定されなかった前記流体噴出孔に対応する前記流体供給部の出力を、前記第２の出力よりも小さい第３の出力に設定する、請求項３に記載の異物除去装置。
5. 前記複数の流体噴出孔は、１個の第１流体噴出孔と、前記第１流体噴出孔を囲む複数の第２流体噴出孔と、を含み、
   前記第２流体噴出孔の内径は、前記第１流体噴出孔の内径よりも大きく、且つ、前記第２流体噴出孔が前記第１流体噴出孔から遠ざかるにつれて大きくなっている、請求項１に記載の異物除去装置。
6. 請求項１～５のいずれか一項に記載の異物除去装置と、
   前記コイルと、
   を備える、コイル装置。

Images