JP7231560B2 - 光学素子の移動装置、狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
光学素子の移動装置、狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Description
1.比較例
1.1 狭帯域化レーザ装置の構成
1.1.1 チャンバ及びパルスパワーモジュール
1.1.2 レーザ共振器
1.1.3 センサユニット
1.1.4 レーザ制御部
1.2 狭帯域化レーザ装置の動作
1.2.1 チャンバ及びパルスパワーモジュール
1.2.2 レーザ共振器
1.2.3 センサユニット
1.2.4 レーザ制御部
1.3 スペクトル幅可変部に含まれる移動装置
1.3.1 構成
1.3.2 動作
1.4 課題
2.弾性部材を第1の面内に配置した移動装置
2.1 構成
2.2 作用
3.弾性部材を第1の直線上に配置した移動装置
3.1 構成
3.2 作用
4.ガイド部を構成するレールを第1の面内に配置した移動装置
4.1 構成
4.2 作用
5.その他
1.1 狭帯域化レーザ装置の構成
図1は、比較例に係る狭帯域化レーザ装置の構成を模式的に示す。図1に示される狭帯域化レーザ装置は、チャンバ10と、一対の放電電極11a及び11bと、パルスパワーモジュール(PPM)13と、狭帯域化モジュール14と、スペクトル幅可変部15と、を含む。狭帯域化レーザ装置は、さらに、センサユニット16と、レーザ制御部30と、を含む。狭帯域化レーザ装置は、露光装置4等の外部装置に入射させるためのパルスレーザ光を出力するエキシマレーザ装置である。
チャンバ10は、例えば、レアガスとしてアルゴンガスやクリプトンガス、ハロゲンガスとしてフッ素ガスや塩素ガス、バッファガスとしてネオンガスやヘリュームガスを含むレーザガスを封入している。
狭帯域化モジュール14及びスペクトル幅可変部15が、レーザ共振器を構成する。
狭帯域化モジュール14は、2つのプリズム14a及び14bと、グレーティング14cと、を含む。プリズム14a、プリズム14b、及びグレーティング14cは、それぞれ図示しないホルダに支持されている。プリズム14a、プリズム14b、及びグレーティング14cは、本開示の波長選択素子を構成する。
グレーティング14cは、表面の物質が高反射率の材料によって構成され、表面に多数の溝が所定間隔で形成されている。各溝の方向はV方向と平行である。各溝のHZ面に平行な断面の形状は、例えば直角三角形である。
平凹シリンドリカルレンズ152のシリンドリカル凹面154の中心軸は、V方向と平行である。平凹シリンドリカルレンズ152の平面は、Z方向と垂直である。平凹シリンドリカルレンズ152は、移動装置50によって、+Z方向又は-Z方向に移動可能とされている。移動装置50は、ドライバ65によって駆動される。
センサユニット16は、ビームスプリッタ16a、16b及び16cと、パルスエネルギー検出器16dと、スペクトル幅検出器16eと、波長検出器16fと、を含む。
スペクトル幅検出器16eは、ビームスプリッタ16cによって反射されたパルスレーザ光の光路に配置されている。スペクトル幅検出器16eは、エタロン分光器を含む。
波長検出器16fは、ビームスプリッタ16cを透過したパルスレーザ光の光路に配置されている。波長検出器16fは、エタロン分光器を含む。
露光装置4は、露光装置制御部40を含んでいる。露光装置制御部40は、後述のワークピーステーブルWTの移動などの制御を行うように構成されている。露光装置制御部40は、レーザ制御部30に対し、目標パルスエネルギーのデータと、目標スペクトル幅のデータと、目標波長のデータと、トリガ信号とを出力する。
1.2.1 チャンバ及びパルスパワーモジュール
レーザ制御部30は、露光装置制御部40からトリガ信号を受信する。レーザ制御部30は、露光装置制御部40から受信したトリガ信号に基づいて、パルスパワーモジュール13にトリガ信号を送信する。
チャンバ10内で発生した光は、ウインドウ10a及び10bを介してチャンバ10の外部に出射する。
1.2.2 レーザ共振器
プリズム14a及び14bは、チャンバ10のウインドウ10aから出射した光のH方向のビーム幅を拡大させて、その光をグレーティング14cに入射させる。また、プリズム14a及び14bは、グレーティング14cからの反射光のH方向のビーム幅を縮小させるとともに、その光を、ウインドウ10aを介して、チャンバ10内の放電空間に戻す。
センサユニット16に含まれるパルスエネルギー検出器16dは、ビームスプリッタ16bによって反射されたパルスレーザ光のパルスエネルギーを検出する。パルスエネルギー検出器16dは、検出されたパルスエネルギーのデータを、レーザ制御部30に出力する。
レーザ制御部30に含まれるパルスエネルギー制御部30aは、パルスエネルギー検出器16dから受信したパルスエネルギーのデータと、露光装置制御部40から受信した目標パルスエネルギーのデータとに基づいて、充電器12の充電電圧を設定する。これにより、狭帯域化レーザ装置から出力されるパルスレーザ光のパルスエネルギーが目標パルスエネルギーに近づけられる。
1.3.1 構成
図2A~図2Cは、比較例におけるスペクトル幅可変部15の具体的構成を示す。図2Aは、スペクトル幅可変部15を-V方向に見た一部断面図であり、図1と同じ方向から見た図に相当する。図2Bは、スペクトル幅可変部15を-H方向に見た図である。図2Cは、スペクトル幅可変部15を+Z方向に見た図である。
スペクトル幅可変部15に含まれる移動装置は、第1の保持部51と、第2の保持部52と、第1のレール531と、第2のレール532と、弾性部材54と、を含む。
第1のレール531及び第2のレール532は、それぞれの長手方向がZ方向と平行である。
傾斜面529が押圧されると、第2の保持部52が、第1のレール531及び第2のレール532に沿って移動する。傾斜面529が押圧されたときの第2の保持部52の移動方向は、第1の保持部51に近づく方向、すなわち、+Z方向である。これにより、平凹シリンドリカルレンズ152が平凸シリンドリカルレンズ151に近づく方向に移動する。また、このとき、弾性部材54が圧縮される。
平凹シリンドリカルレンズ152が移動させられるとき、平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢は第1のレール531及び第2のレール532によって規制される。すなわち、シリンドリカル凹面154の中心軸がV方向と平行である状態がほぼ維持され、平凹シリンドリカルレンズ152の平面がZ方向と垂直である状態がほぼ維持される。
しかしながら、スペクトル線幅を高速に制御するために、第2の保持部52を高速に移動させようとすると、第2の保持部52への負荷が大きくなる。これにより、第2の保持部52が弾性変形する場合がある。第2の保持部52が弾性変形すると、平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢が変化する場合がある。
しかしながら、スペクトル線幅を高速に制御する場合、平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢の変化に起因する波長の変化に、狭帯域化モジュール14の制御が十分に追い付けない場合がある。
2.1 構成
図3A~図3Cは、本開示の第1の実施形態におけるスペクトル幅可変部15の具体的構成を示す。図3Aは、スペクトル幅可変部15を-V方向に見た一部断面図であり、図1及び図2Aと同じ方向から見た図に相当する。図3Bは、スペクトル幅可変部15を-H方向に見た図であり、図2Bと同じ方向から見た図に相当する。図3Cは、スペクトル幅可変部15を+Z方向に見た図であり、図2Cと同じ方向から見た図に相当する。
他の点については、第1の実施形態は比較例と同様である。
第2の保持部52は、車輪61からの押圧力と、弾性部材54からの反発力とを受ける。これらの力は、第2の保持部52の変位量、第2の保持部52の加速度等によって変動する。上述の比較例においては、これらの力の作用線は、それぞれVZ面に平行な別々の面内に位置している。すなわち、比較例において、これらの力の作用線は、H方向に異なる面内に位置している。このため、これらの力の変動に伴い、第2の保持部52にはV方向と平行な軸周りの偶力が発生していた。これにより、V方向と平行な軸周りに平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢が変化し、狭帯域化モジュール14によって選択される光の波長が変化することがあった。
3.1 構成
図4A~図4Cは、本開示の第2の実施形態におけるスペクトル幅可変部15の具体的構成を示す。図4Aは、スペクトル幅可変部15を-V方向に見た一部断面図であり、図1、図2A、及び図3Aと同じ方向から見た図に相当する。図4Bは、スペクトル幅可変部15を-H方向に見た図であり、図2B及び図3Bと同じ方向から見た図に相当する。図4Cは、スペクトル幅可変部15を+Z方向に見た図であり、図2C及び図3Cと同じ方向から見た図に相当する。
他の点については、第2の実施形態は第1の実施形態と同様である。
第2の保持部52が車輪61から受ける押圧力は、+Z方向の分力と-V方向の分力とに分けることができる。これらの分力のうちの+Z方向の分力が、第2の保持部52を+Z方向に移動させる。上述の第1の実施形態において、第2の保持部52が車輪61から受ける押圧力の+Z方向の分力の作用線と、第2の保持部52が弾性部材54から受ける反発力の作用線とは、第1の面P1内でV方向にずれて位置している。このため、これらの力の変動に伴い、第2の保持部52の傾斜面構成部522にはH方向と平行な軸周りの偶力が発生していた。第2の保持部52の傾斜面構成部522にH方向と平行な軸周りの偶力が発生すると、第2の保持部52がねじれて、平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢が変化する。第2の保持部52がねじれることによる平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢の変化は、V方向と平行な軸周りの回転成分を含むことがある。
4.1 構成
図5A~図5Cは、本開示の第3の実施形態におけるスペクトル幅可変部15の具体的構成を示す。図5Aは、スペクトル幅可変部15を-V方向に見た一部断面図であり、図1、図2A、図3A、及び図4Aと同じ方向から見た図に相当する。図5Bは、スペクトル幅可変部15を-H方向に見た図であり、図2B、図3B、及び図4Bと同じ方向から見た図に相当する。図5Cは、スペクトル幅可変部15を+Z方向に見た図であり、図2C、図3C、及び図4Cと同じ方向から見た図に相当する。
さらに、第2のレール532は、第2の直線L2が通る位置に配置されていることが望ましい。
また、平凹シリンドリカルレンズ152が、第1ガイドフォロア部525と第2ガイドフォロア部526との間に位置することが望ましい。
他の点については、第3の実施形態は第2の実施形態と同様である。
上述の第2の実施形態においては、第2の保持部52のレンズ保持部521が、傾斜面構成部522が車輪61から受ける押圧力のうちの-V方向の分力によって、弾性変形することがある。レンズ保持部521が弾性変形すると、平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢が変化する。平凹シリンドリカルレンズ152の姿勢の変化は、V方向と平行な軸周りの回転成分を含むことがある。
これにより、狭帯域化モジュール14によって選択される光の波長の変化が低減される。
図6は、狭帯域化レーザ装置1に接続された露光装置4の構成を概略的に示す。上述のように、狭帯域化レーザ装置1はレーザ光を生成して露光装置4に出力する。
図6において、露光装置4は、照明光学系41と投影光学系42とを含む。照明光学系41は、狭帯域化レーザ装置1から入射したレーザ光によって、レチクルステージRTのレチクルパターンを照明する。投影光学系42は、レチクルを透過したレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルWT上に配置された図示しないワークピースに結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置4は、レチクルステージRTとワークピーステーブルWTとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにデバイスパターンを転写することで電子デバイスを製造することができる。
Claims (13)
- 第1の光学素子を保持する第1の保持部と、
第2の光学素子を保持し、前記第1の保持部に近づく第1の方向に対して傾斜した傾斜面を有する第2の保持部と、
前記傾斜面に押圧力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向に移動させる押圧部と、
前記第2の保持部の前記第1の方向と垂直な方向成分の移動を規制し、前記第2の保持部を前記第1の方向と平行に移動可能にするガイド部と、
前記第1の保持部と前記第2の保持部との間の位置に配置され、かつ、前記傾斜面と垂直に交差し前記第1の方向に平行な第1の面が通る領域に収まるように配置され、前記第2の保持部に弾性力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向と逆方向に移動させる弾性部材と、
を備え、
前記ガイド部の少なくとも一部が、前記第1の面が通る位置であって、前記第1の方向に垂直で前記傾斜面と交差する直線が通る位置に配置された、
光学素子の移動装置。 - 請求項1に記載の光学素子の移動装置であって、
前記弾性部材は、前記第1の方向に平行で前記傾斜面と交差する直線が通る位置に配置された、光学素子の移動装置。 - 請求項1に記載の光学素子の移動装置であって、
前記ガイド部が、前記第1の保持部に保持された第1のレールと第2のレールとを含み、
前記第2の保持部が、前記第1のレールに沿って移動する第1部分と前記第2のレールに沿って移動する第2部分とを含み、
前記第2の光学素子は、前記第1部分と前記第2部分との間に保持される、
光学素子の移動装置。 - 請求項1に記載の光学素子の移動装置であって、
前記第1の光学素子はシリンドリカル凸レンズであり、
前記第2の光学素子はシリンドリカル凹レンズであり、
前記シリンドリカル凸レンズのシリンドリカル凸面の中心軸と、前記シリンドリカル凹レンズのシリンドリカル凹面の中心軸は、前記第1の面内で前記第1の方向に垂直な第2の方向と平行である、
光学素子の移動装置。 - 請求項1に記載の光学素子の移動装置であって、
車輪と、
前記車輪を支持するロッド部と、
前記車輪が前記傾斜面を押圧するように前記ロッド部を移動させるアクチュエータと、
をさらに備える光学素子の移動装置。 - 請求項5に記載の光学素子の移動装置であって、
前記アクチュエータは、前記第1の面内で前記第1の方向に垂直な第2の方向に前記ロッド部を移動させる、光学素子の移動装置。 - レーザ共振器と、
前記レーザ共振器に配置され、レーザガスを収容するチャンバと、
前記チャンバに配置された一対の電極と、
前記レーザ共振器に配置された波長選択素子と、
前記レーザ共振器に配置されたスペクトル幅可変部と、
を備える狭帯域化レーザ装置であって、
前記スペクトル幅可変部が、
第1の光学素子と、
前記第1の光学素子を保持する第1の保持部と、
第2の光学素子と、
前記第2の光学素子を保持し、前記第1の保持部に近づく第1の方向に対して傾斜した傾斜面を有する第2の保持部と、
前記傾斜面に押圧力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向に移動させる押圧部と、
前記第2の保持部の前記第1の方向と垂直な方向成分の移動を規制し、前記第2の保持部を前記第1の方向と平行に移動可能にするガイド部と、
前記第1の保持部と前記第2の保持部との間の位置に配置され、かつ、前記傾斜面と垂直に交差し前記第1の方向に平行な第1の面が通る領域に収まるように配置され、前記第2の保持部に弾性力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向と逆方向に移動させる弾性部材と、
を備え、
前記ガイド部の少なくとも一部が、前記第1の面が通る位置であって、前記第1の方向に垂直で前記傾斜面と交差する直線が通る位置に配置された、
狭帯域化レーザ装置。 - 請求項7に記載の狭帯域化レーザ装置であって、
前記弾性部材は、前記第1の方向に平行で前記傾斜面と交差する直線が通る位置に配置された、狭帯域化レーザ装置。 - 請求項7に記載の狭帯域化レーザ装置であって、
前記ガイド部が、前記第1の保持部に保持された第1のレールと第2のレールとを含み、
前記第2の保持部が、前記第1のレールに沿って移動する第1部分と前記第2のレールに沿って移動する第2部分とを含み、
前記第2の光学素子は、前記第1部分と前記第2部分との間に保持される、
狭帯域化レーザ装置。 - 請求項7に記載の狭帯域化レーザ装置であって、
前記第1の光学素子はシリンドリカル凸レンズであり、
前記第2の光学素子はシリンドリカル凹レンズであり、
前記シリンドリカル凸レンズのシリンドリカル凸面の中心軸と、前記シリンドリカル凹レンズのシリンドリカル凹面の中心軸は、前記第1の面内で前記第1の方向に垂直な第2の方向と平行である、
狭帯域化レーザ装置。 - 請求項7に記載の狭帯域化レーザ装置であって、
車輪と、
前記車輪を支持するロッド部と、
前記車輪が前記傾斜面を押圧するように前記ロッド部を移動させるアクチュエータと、
をさらに備える狭帯域化レーザ装置。 - 請求項11に記載の狭帯域化レーザ装置であって、
前記アクチュエータは、前記第1の面内で前記第1の方向に垂直な第2の方向に前記ロッド部を移動させる、狭帯域化レーザ装置。 - 電子デバイスの製造方法であって、
レーザ共振器と、
前記レーザ共振器に配置され、レーザガスを収容するチャンバと、
前記チャンバに配置された一対の電極と、
前記レーザ共振器に配置された波長選択素子と、
前記レーザ共振器に配置されたスペクトル幅可変部と、
を備える狭帯域化レーザ装置であって、
前記スペクトル幅可変部が、
第1の光学素子と、
前記第1の光学素子を保持する第1の保持部と、
第2の光学素子と、
前記第2の光学素子を保持し、前記第1の保持部に近づく第1の方向に対して傾斜した傾斜面を有する第2の保持部と、
前記傾斜面に押圧力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向に移動させる押圧部と、
前記第2の保持部の前記第1の方向と垂直な方向成分の移動を規制し、前記第2の保持部を前記第1の方向と平行に移動可能にするガイド部と、
前記第1の保持部と前記第2の保持部との間の位置に配置され、かつ、前記傾斜面と垂直に交差し前記第1の方向に平行な第1の面が通る領域に収まるように配置され、前記第2の保持部に弾性力を加えて前記第2の保持部を前記第1の方向と逆方向に移動させる弾性部材と、
を備え、
前記ガイド部の少なくとも一部が、前記第1の面が通る位置であって、前記第1の方向に垂直で前記傾斜面と交差する直線が通る位置に配置された
前記狭帯域化レーザ装置によってレーザ光を生成し、
前記レーザ光を露光装置に出力し、
電子デバイスを製造するために、前記露光装置内で感光基板上に前記レーザ光を露光すること
を含む電子デバイスの製造方法。
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