JP7229825B2 - dust core - Google Patents

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Description

本発明は、圧粉磁心に関する。 The present invention relates to dust cores.

形状自由度の高さと、高周波帯域への適用可能性から圧粉磁心の開発が盛んに行われている。
特許文献1では、結晶質磁性材料と、非晶質磁性材料とを均一に混合し、分散させた複合磁性材料粉末に、絶縁材として、シリコーン系樹脂、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂等の有機高分子樹脂、水ガラスを使用し、作製された高周波用圧粉磁芯が開示されている。
The development of powder magnetic cores is actively carried out due to their high degree of freedom in shape and applicability to high-frequency bands.
In Patent Document 1, a composite magnetic material powder obtained by uniformly mixing and dispersing a crystalline magnetic material and an amorphous magnetic material is added with an organic material such as silicone-based resin, phenol-based resin, or epoxy-based resin as an insulating material. A powder magnetic core for high frequency produced using polymer resin and water glass is disclosed.

特開2005-294458号公報JP 2005-294458 A

しかし、この圧粉磁芯の鉄損は必ずしも十分に抑制されておらず、更なる鉄損の抑制が望まれていた。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、更なる鉄損の抑制を目的とし、以下の形態として実現することが可能である。
However, the iron loss of the dust core is not necessarily sufficiently suppressed, and further suppression of the iron loss has been desired.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and aims to further suppress iron loss, and can be implemented as the following modes.

〔1〕平均粒子径5μm~30μmの軟磁性金属粒子と、Al及びSiの少なくとも1つを含む結晶性物質が存在する粒界相と、を備えてなる圧粉磁心であって、
前記軟磁性金属粒子と前記粒界相との界面の断面構造を10μm×10μmの正方形の第1視野で観察した場合に、前記軟磁性金属粒子の表面粗さRaが0.05μm以上0.20μm以下であり、Rzが0.20μm以上0.70μm以下であることを特徴とする圧粉磁心。
[1] A powder magnetic core comprising soft magnetic metal particles having an average particle size of 5 μm to 30 μm and a grain boundary phase in which a crystalline substance containing at least one of Al and Si is present,
When the cross-sectional structure of the interface between the soft magnetic metal particles and the grain boundary phase is observed in a square first field of view of 10 μm×10 μm, the surface roughness Ra of the soft magnetic metal particles is 0.05 μm or more and 0.20 μm. below and Rz is 0.20 μm or more and 0.70 μm or less.

〔2〕前記軟磁性金属粒子は、表面に酸化被膜が形成され、
前記酸化被膜と前記粒界相との間に反応相が存在することを特徴とする〔1〕に記載の圧粉磁心。
[2] The soft magnetic metal particles have oxide films formed on their surfaces,
The dust core according to [1], wherein a reaction phase exists between the oxide film and the grain boundary phase.

〔3〕前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第2視野で観察した場合に、気孔が前記第2視野を占める割合を互いに相違する10カ所で測定して平均値を求めた平均気孔率が8%以下であることを特徴とする〔1〕又は〔2〕に記載の圧粉磁心。 [3] When the cross-sectional structure of the powder magnetic core was observed in a square second field of view of 50 µm × 50 µm, the ratio of pores occupying the second field of view was measured at ten different points, and an average value was obtained. The dust core according to [1] or [2], which has an average porosity of 8% or less.

〔4〕前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第3視野にて、互いの視野が重ならないように上下又は左右方向に連続して10視野観察した場合に、
3つ以上の前記軟磁性金属粒子によって囲まれた粒界多重点について、
[1]互いに隣接する前記軟磁性金属粒子の表面間を最も近接した部位同士で結んだ第1結合線、及び[2]互いに隣り合う前記第1結合線の端部同士を、前記軟磁性金属粒子の外形線のうちの前記粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ第2結合線、によって囲まれた領域から気孔を除いた前記粒界相の領域の面積をS1とし、
前記3つ以上の前記軟磁性金属粒子の1つあたりの平均面積をS2とすると、
1/10≦S1/S2≦1/3
を充足する前記粒界多重点が1視野あたり平均して5カ所以上存在することを特徴とする〔1〕~〔3〕のいずれか1項に記載の圧粉磁心。
[4] When the cross-sectional structure of the powder magnetic core is observed in a third field of view of a square of 50 μm × 50 µm for 10 consecutive fields in the vertical or horizontal direction so that the fields of view do not overlap each other,
For grain boundary multiple points surrounded by three or more of the soft magnetic metal grains,
[1] a first bonding line connecting the surfaces of the soft magnetic metal particles adjacent to each other at the closest portions, and [2] connecting the ends of the first bonding lines adjacent to each other to the soft magnetic metal Let S1 be the area of the region of the grain boundary phase obtained by excluding pores from the region surrounded by the second bonding line connecting the inner part of the outline of the grain on the side of the grain boundary multiple point, and
When the average area per one of the three or more soft magnetic metal particles is S2,
1/10≤S1/S2≤1/3
The dust core according to any one of [1] to [3], wherein there are five or more grain boundary multiple points on average per field of view.

〔5〕前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第4視野で観察した際に、
前記粒界相が前記第4視野を占める面積割合を互いに相違する3カ所で測定して平均値を求めた平均面積割合が5~10%であることを特徴とする〔1〕~〔4〕のいずれか1項に記載の圧粉磁心。
[5] When observing the cross-sectional structure of the powder magnetic core in a square fourth field of view of 50 μm × 50 μm,
[1] to [4] characterized in that the average area ratio obtained by measuring the area ratio of the grain boundary phase occupying the fourth field of view at three different points and calculating the average value is 5 to 10% [1] to [4] The dust core according to any one of the items.

上記〔1〕の発明によれば、鉄損が抑制される。
上記〔2〕の発明によれば、渦電流損失をより小さくすることができる。
上記〔3〕の発明によれば、ヒステリシス損失をより小さくすることができる。
上記〔4〕の発明によれば、渦電流損失を更に小さくすることができる。
上記〔5〕の発明によれば、ヒステリシス損失を更に小さくすることができる。
According to the above invention [1], iron loss is suppressed.
According to the above invention [2], the eddy current loss can be further reduced.
According to the above invention [3], the hysteresis loss can be further reduced.
According to the above invention [4], the eddy current loss can be further reduced.
According to the above invention [5], the hysteresis loss can be further reduced.

圧粉磁心を示す模式図である。右図は、圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の視野で観察した際の模式図を示す。It is a schematic diagram which shows a powder magnetic core. The figure on the right shows a schematic diagram of the cross-sectional structure of the powder magnetic core observed in a square field of view of 50 μm×50 μm. 軟磁性金属粒子3と粒界相6の界面付近を拡大して示す模式図である。3 is a schematic diagram showing an enlarged view of the vicinity of the interface between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6. FIG. 粒界多重点に関する要件を説明するために、粒界多重点付近を拡大して示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an enlarged vicinity of a grain boundary multiple point for explaining requirements related to the grain boundary multiple point; 粒界多重点に関する要件を説明するために、粒界多重点を囲む軟磁性金属粒子3A,3B,3Cを示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing soft magnetic metal grains 3A, 3B, and 3C surrounding grain boundary multiple points, in order to explain requirements related to grain boundary multiple points; 気孔35に関する要件を説明するための圧粉磁心の斜視図である。図5は、軸線に沿って半分に切断した圧粉磁心の斜視図が示されている。FIG. 3 is a perspective view of a powder magnetic core for explaining requirements regarding pores 35; FIG. 5 shows a perspective view of a dust core cut in half along the axis. D1の場所について、100μm×100μmの正方形の視野で観察した際の模式図を示す。A schematic diagram of the location D1 observed in a square field of view of 100 μm×100 μm is shown. D2の場所について、100μm×100μmの正方形の視野で観察した際の模式図を示す。A schematic view of the location D2 observed in a square field of view of 100 μm×100 μm is shown. 圧粉磁心の製造方法の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing method of a powder magnetic core.

以下、本発明を詳しく説明する。なお、本明細書において、数値範囲について「~」を用いた記載では、特に断りがない限り、下限値及び上限値を含むものとする。例えば、「10~20」という記載では、下限値である「10」、上限値である「20」のいずれも含むものとする。すなわち、「10~20」は、「10以上20以下」と同じ意味である。 The present invention will be described in detail below. In this specification, the description using "-" for the numerical range includes the lower limit and the upper limit unless otherwise specified. For example, the description “10 to 20” includes both the lower limit “10” and the upper limit “20”. That is, "10 to 20" has the same meaning as "10 or more and 20 or less".

1.圧粉磁心1の構成
圧粉磁心1は、図1の右図(断面図)に示すように、平均粒子径5μm以上30μm以下の軟磁性金属粒子3と、Al(アルミニウム)及びSi(ケイ素)の少なくとも1つを含む結晶性物質が存在する粒界相6と、を備えてなる。
軟磁性金属粒子3と粒界相6との界面の断面構造を10μm×10μmの正方形の第1視野で観察した場合に、軟磁性金属粒子3の表面粗さRaが0.05μm以上0.20以下であり、Rzが0.20μm以上0.70以下である。
1. Configuration of dust core 1 As shown in the right diagram (cross-sectional view) of FIG. and a grain boundary phase 6 in which a crystalline material containing at least one of
When the cross-sectional structure of the interface between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 is observed in a square first field of view of 10 μm×10 μm, the surface roughness Ra of the soft magnetic metal particles 3 is 0.05 μm or more and 0.20. and Rz is 0.20 μm or more and 0.70 or less.

図1では、トロイダル形状の圧粉磁心1を例として挙げる。なお、圧粉磁心1の形状は、特に限定されない。図1は、圧粉磁心1を、その軸方向に沿って切断した断面を示している。 In FIG. 1, a toroidal dust core 1 is taken as an example. The shape of the dust core 1 is not particularly limited. FIG. 1 shows a cross section of a dust core 1 taken along its axial direction.

(1)軟磁性金属粒子3
軟磁性金属粒子3は、軟磁性の金属粒子であれば、特に限定されず、幅広く用いることができる。軟磁性金属粒子3として、軟磁性である純鉄の粒子、鉄基合金の粒子を幅広く用いることができる。鉄基合金としては、Fe-Si-Cr合金、Fe-Si-Al合金(センダスト)、Ni-Fe合金(パーマロイ)、Ni-Fe-Mo合金(スーパーマロイ)、Fe基アモルファス合金、Fe-Si合金、Ni-Fe合金、Fe-Co合金等を好適に用いることができる。これらの中でもFe-Si-Cr合金、Ni-Fe合金(パーマロイ)、Ni-Fe-Mo合金(スーパーマロイ)、Fe基アモルファス合金が透磁率、保磁力、周波数特性の観点から好ましい。
Fe-Si-Cr合金を用いる場合には、例えば、Si:0.1質量%~10質量%、Cr:0.1質量%~10質量%、残部:Fe及び不可避的不純物の組成の合金を用いることができる。
軟磁性金属粒子3の平均粒子径は、5μm以上30μm以下であり、10μm以上25μm以下が好ましく、15μm以上22μm以下がより好ましい。軟磁性金属粒子3の平均粒子径は、使用する周波数帯域によって適宜変更することができる。特に100kHzを超える高周波帯域での使用を想定した場合は10μm以上25μm以下であることがより好ましい。なお、軟磁性金属粒子3の平均粒子径は、圧粉磁心1の断面をFE-SEM JSM-6330Fによって観察した粒子面積から面積円相当径を算出し、平均粒子径とする。
(1) Soft magnetic metal particles 3
The soft magnetic metal particles 3 are not particularly limited as long as they are soft magnetic metal particles, and can be widely used. As the soft magnetic metal particles 3, a wide range of soft magnetic pure iron particles and iron-based alloy particles can be used. As iron-based alloys, Fe--Si--Cr alloys, Fe--Si--Al alloys (sendust), Ni--Fe alloys (permalloy), Ni--Fe--Mo alloys (supermalloy), Fe-based amorphous alloys, Fe--Si Alloys, Ni--Fe alloys, Fe--Co alloys, etc. can be suitably used. Among these, Fe--Si--Cr alloys, Ni--Fe alloys (permalloy), Ni--Fe--Mo alloys (supermalloy) and Fe-based amorphous alloys are preferable from the viewpoint of magnetic permeability, coercive force and frequency characteristics.
When using an Fe—Si—Cr alloy, for example, Si: 0.1% by mass to 10% by mass, Cr: 0.1% by mass to 10% by mass, balance: Fe and unavoidable impurities. can be used.
The average particle size of the soft magnetic metal particles 3 is 5 μm or more and 30 μm or less, preferably 10 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 15 μm or more and 22 μm or less. The average particle size of the soft magnetic metal particles 3 can be appropriately changed depending on the frequency band used. In particular, when assuming use in a high frequency band exceeding 100 kHz, the thickness is more preferably 10 μm or more and 25 μm or less. The average particle diameter of the soft magnetic metal particles 3 is obtained by calculating the equivalent circle diameter from the particle area of the powder magnetic core 1 observed by FE-SEM JSM-6330F.

軟磁性金属粒子3は、表面に酸化被膜(金属酸化物層、不動態被膜)が形成されていてもよい。酸化被膜が、表面に形成されることによって、粒界相との密着性をよくすることができる。
酸化被膜を構成する金属酸化物は特に限定されない。例えば、酸化クロム、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、及び酸化タングステンからなる群より選ばれた1種以上の金属酸化物が好ましい。特に、金属酸化物に、酸化クロム及び酸化アルミニウムのうちの少なくとも1つを含むことが好ましい。これらの好ましい金属酸化物を用いることで、渦電流損失が効果的に抑制される。
なお、軟磁性金属粒子3として、Fe-Si-Cr合金の粒子を用いた場合には、酸化クロムCrを有する酸化被膜を容易に形成することができる。すなわち、Fe-Si-Cr合金中のCrが酸化することにより軟磁性金属粒子3の外縁部に金属酸化物層が形成される。
また、酸化被膜の厚みは、特に限定されない。厚みは、好ましくは1nm以上20nm以下、より好ましくは5nm以上15nm以下とすることができる。
なお、酸化被膜の厚みは、XPS(X線光電子分光法)を用いて測定できる。
The soft magnetic metal particles 3 may have an oxide film (metal oxide layer, passive film) formed on the surface. By forming an oxide film on the surface, adhesion to the grain boundary phase can be improved.
The metal oxide forming the oxide film is not particularly limited. For example, one or more metal oxides selected from the group consisting of chromium oxide, aluminum oxide, molybdenum oxide, and tungsten oxide are preferred. In particular, the metal oxide preferably contains at least one of chromium oxide and aluminum oxide. By using these preferred metal oxides, eddy current loss is effectively suppressed.
When Fe--Si--Cr alloy particles are used as the soft magnetic metal particles 3, an oxide coating containing chromium oxide Cr.sub.2 O.sub.3 can be easily formed. That is, a metal oxide layer is formed on the outer edges of the soft magnetic metal particles 3 by oxidizing Cr in the Fe—Si—Cr alloy.
Moreover, the thickness of the oxide film is not particularly limited. The thickness is preferably 1 nm or more and 20 nm or less, more preferably 5 nm or more and 15 nm or less.
The thickness of the oxide film can be measured using XPS (X-ray photoelectron spectroscopy).

また、酸化被膜と粒界相6との間に反応相が存在していてもよい。酸化被膜と粒界相6との間に反応相が存在すると、軟磁性金属粒子3と粒界相6の界面抵抗が高くなり、粒界相6の絶縁抵抗も高くなる。この結果、渦電流損失を低減する効果が期待できる。反応相は、酸化被膜に含まれる元素と、粒界相6中に含まれる元素が反応して生成した生成物からなる。反応相は、酸化被膜に近い程酸化被膜由来の元素の含有量が多く、粒界相6に近い程粒界相6由来の元素の含有量が多い組成勾配を有している。なお、各図においては、酸化被膜と反応相とからなる層を、単一の層4として描いている。
反応相は、10nm以下であることが好ましく、8nm以下であることがより好ましい。
なお、反応相の存在及び組成は、XPSにより確認できる。また、反応相の厚みは、XPSを用いて測定できる。
Moreover, a reaction phase may exist between the oxide film and the grain boundary phase 6 . If a reaction phase exists between the oxide film and the grain boundary phase 6, the interfacial resistance between the soft magnetic metal grains 3 and the grain boundary phase 6 increases, and the insulation resistance of the grain boundary phase 6 also increases. As a result, an effect of reducing eddy current loss can be expected. The reaction phase consists of a product produced by the reaction of the elements contained in the oxide film and the elements contained in the grain boundary phase 6 . The reaction phase has a composition gradient in which the content of elements derived from the oxide film increases as it approaches the oxide film, and the content of elements derived from the grain boundary phase 6 increases as it approaches the grain boundary phase 6 . In addition, in each figure, the layer composed of the oxide film and the reaction phase is drawn as a single layer 4 .
The reaction phase is preferably 10 nm or less, more preferably 8 nm or less.
The existence and composition of the reaction phase can be confirmed by XPS. Also, the thickness of the reaction phase can be measured using XPS.

また、軟磁性金属粒子3のアスペクト比は、特に限定されない。軟磁性金属粒子3のアスペクト比は、1.15以上1.40以下であることが好ましく、1.2以上1.35以下であることがより好ましい。
軟磁性金属粒子3のアスペクト比をこの範囲とすると、ヒステリシス損失をより小さくすることができる。
Moreover, the aspect ratio of the soft magnetic metal particles 3 is not particularly limited. The aspect ratio of the soft magnetic metal particles 3 is preferably 1.15 or more and 1.40 or less, more preferably 1.2 or more and 1.35 or less.
By setting the aspect ratio of the soft magnetic metal particles 3 within this range, the hysteresis loss can be further reduced.

(1.2)軟磁性金属粒子3の表面粗さに関する要件
本発明の圧粉磁心1は、軟磁性金属粒子3と粒界相6との界面の断面構造を10μm×10μmの正方形の第1視野で観察した場合に、軟磁性金属粒子3の表面粗さRaが0.05μm以上0.20μm以下であり、Rzが0.20μm以上0.70μm以下である。
なお、Raは、JIS B0601(2001年)で定義された算術平均粗さである。Rzは、JIS B0601(2001年)で定義された最大高さ粗さである。軟磁性金属粒子3のRaとRzの測定方法としては、JIS B0601(2001年)に準拠した測定方法を用いればよい。例えば、図2に示すような軟磁性金属粒子3と粒界相6との界面の断面のTEM(透過型電子顕微鏡)画像から、軟磁性金属粒子3の表面の断面曲線を得て、RaとRzを算出する方法等を挙げることができる。
なお、このRaとRzの要件は、圧粉磁心1の断面構造を観察した際に、10μm×10μmの正方形の視野を複数観察して、そのうちの少なくとも1つの視野において満たしていればよい。
本要件は、軟磁性金属粒子の原料となる軟磁性金属粉末(軟磁性金属粒子3)の表面粗さを適宜設定することでコントロールできる。圧粉磁心1のプレス成形時に軟磁性金属粒子3同士の摩擦等により凹凸形状が付与される場合には、プレス成形時に付与されうる凹凸形状を勘案して原料の表面粗さを設定しておけばよい。
(1.2) Requirements for Surface Roughness of Soft Magnetic Metal Particles 3 In the dust core 1 of the present invention, the cross-sectional structure of the interface between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 is a 10 μm × 10 μm square first When observed in the field of view, the soft magnetic metal particles 3 have a surface roughness Ra of 0.05 μm or more and 0.20 μm or less, and a surface roughness Rz of 0.20 μm or more and 0.70 μm or less.
Ra is the arithmetic mean roughness defined in JIS B0601 (2001). Rz is the maximum height roughness defined in JIS B0601 (2001). As a method for measuring Ra and Rz of the soft magnetic metal particles 3, a method based on JIS B0601 (2001) may be used. For example, from a TEM (transmission electron microscope) image of the cross section of the interface between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 as shown in FIG. A method for calculating Rz can be used.
The requirements for Ra and Rz may be satisfied in at least one of a plurality of 10 μm×10 μm square fields of view when observing the cross-sectional structure of the dust core 1 .
This requirement can be controlled by appropriately setting the surface roughness of the soft magnetic metal powder (soft magnetic metal particles 3) that is the raw material of the soft magnetic metal particles. When the powder magnetic core 1 is given an uneven shape due to friction between the soft magnetic metal particles 3 during press molding, etc., the surface roughness of the raw material should be set in consideration of the uneven shape that may be imparted during press molding. Just do it.

(1.3)圧粉磁心1の鉄損抑制の推測理由
本発明者らは、圧粉磁心1の鉄損を抑制すべく鋭意検討を重ねた。この際、従来の無機物からなる粒界相や無機物にセラミックス粒子を分散させた粒界相では、軟磁性金属粒子と粒界相との間の界面における絶縁抵抗が十分ではない点に着目し、軟磁性金属粒子3のRaとRzと圧粉磁心1の鉄損との関係について研究した。そして、平均粒子径が特定範囲の軟磁性金属粒子3を用いた圧粉磁心1では、粒界相6にAl及びSiの少なくとも1つを含む結晶性物質が存在し、かつ、上述の軟磁性金属粒子3の表面粗さに関する要件を満たすと、圧粉磁心1の鉄損を抑制できるという新たな知見を得た。本発明は、この知見に基づいてなされたものである。
このように本実施形態において、所望の効果が得られる理由は定かではないが、次のように推測される。
Ra及びRzが上記範囲の下限値以上では、軟磁性金属粒子3の比表面積が大きくなり、軟磁性金属粒子3と粒界相6との界面抵抗を高くすることができる。さらに、Ra及びRzが上記範囲の下限値以上では、軟磁性金属粒子3と粒界相6との結着性が向上する。これらの結果、渦電流損を抑制して、圧粉磁心1の鉄損を抑制できると推測される。
また、Ra及びRzが上記範囲の上限値以下では、軟磁性金属粒子3の表面に粗大な凹凸形状がないから、軟磁性金属粒子3の表面の凹みに粒界相6が十分に入り込み、軟磁性金属粒子3と粒界相6との間に気孔35ができにくい。さらに、Ra及びRzが上記範囲の上限値以下では、圧粉磁心1をプレス成形する際に、軟磁性金属粒子3同士が引っ掛かりにくく、軟磁性金属粒子3を密に充填することができる。これらの結果、ヒステリシス損失を抑制して、圧粉磁心1の鉄損を抑制できると推測される。
(1.3) Guessing Reasons for Suppression of Iron Loss of Dust Core 1 The present inventors have made extensive studies to suppress the iron loss of the dust core 1 . At this time, focusing on the fact that the conventional grain boundary phase made of an inorganic substance or a grain boundary phase in which ceramic particles are dispersed in an inorganic substance does not have sufficient insulation resistance at the interface between the soft magnetic metal particles and the grain boundary phase. The relationship between the Ra and Rz of the soft magnetic metal particles 3 and the core loss of the dust core 1 was studied. Then, in the powder magnetic core 1 using the soft magnetic metal particles 3 having an average particle size in a specific range, the grain boundary phase 6 contains a crystalline substance containing at least one of Al and Si, and the above soft magnetic A new finding was obtained that the core loss of the powder magnetic core 1 can be suppressed when the requirements for the surface roughness of the metal particles 3 are satisfied. The present invention has been made based on this finding.
Although the reason why the desired effect is obtained in this embodiment is not clear, it is presumed as follows.
When Ra and Rz are equal to or higher than the lower limits of the above ranges, the specific surface area of the soft magnetic metal particles 3 increases, and the interfacial resistance between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 can be increased. Furthermore, when Ra and Rz are at least the lower limits of the above ranges, the binding properties between the soft magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 are improved. As a result, it is presumed that eddy current loss can be suppressed and iron loss of the dust core 1 can be suppressed.
Further, when Ra and Rz are equal to or lower than the upper limits of the above ranges, since the surfaces of the soft magnetic metal particles 3 do not have coarse uneven shapes, the grain boundary phase 6 sufficiently enters the depressions on the surfaces of the soft magnetic metal particles 3, Pores 35 are less likely to form between the magnetic metal particles 3 and the grain boundary phase 6 . Furthermore, when Ra and Rz are equal to or lower than the upper limits of the above ranges, the soft magnetic metal particles 3 are less likely to be caught by each other when the dust core 1 is press-molded, and the soft magnetic metal particles 3 can be densely packed. As a result, it is presumed that the iron loss of the dust core 1 can be suppressed by suppressing the hysteresis loss.

(2)粒界相6
粒界相6は、上述のように、Al及びSiの少なくとも1種を含む結晶が存在する。
Al及びSiの少なくとも1種を含む結晶の一例は、シリケート化合物であり、例えば、AlSiO、YSi、ZnSiO、CaSiO、及びMgSiOからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
また、Al(アルミニウム)を含む結晶として、アルミナゾルに由来する結晶性の化合物を例示できる。Al(アルミニウム)を含む結晶は、アルミナゾルを熱処理することで生成する。なお、Al(アルミニウム)を含む結晶は、α-Alとは異なる化合物であり、例えばベーマイトが挙げられる。
Al及びSiの少なくとも1種を含む結晶の粒子径は、渦電流抑制の観点から、25nm以上200nm以下が好ましい。
なお、結晶は、圧粉磁心1の断面をFE-SEM(例えば、JSM-6330F)によって、検出できる。結晶の粒径は、FE-SEMで観察した粒子面積から面積円相当径を算出し、粒子径とする。
なお、粒界相6は、高抵抗という性質を有している。
(2) Grain boundary phase 6
The grain boundary phase 6 includes crystals containing at least one of Al and Si, as described above.
An example of the crystal containing at least one of Al and Si is a silicate compound, for example, selected from the group consisting of Al2SiO5, Y2Si2O7 , Zn2SiO4 , CaSiO3 , and MgSiO3 . At least one is preferred.
Further, as a crystal containing Al (aluminum), a crystalline compound derived from alumina sol can be exemplified. Crystals containing Al (aluminum) are produced by heat-treating alumina sol. The crystal containing Al (aluminum) is a compound different from α-Al 2 O 3 , such as boehmite.
From the viewpoint of eddy current suppression, the particle size of the crystal containing at least one of Al and Si is preferably 25 nm or more and 200 nm or less.
The crystal can be detected by FE-SEM (for example, JSM-6330F) on the cross section of the powder magnetic core 1 . The grain diameter of the crystal is obtained by calculating the area circle equivalent diameter from the grain area observed by FE-SEM.
The grain boundary phase 6 has a property of high resistance.

(2.1)粒界相6の面積割合に関する要件
圧粉磁心1は、ヒステリシス損失を更に小さくするという観点から、次の面積割合(占有率)(%)に関する要件を満たしていることが更に好ましい。
圧粉磁心1の断面構造を50μm×50μmの正方形の第4視野で観察した際に、粒界相6が第4視野を占める面積割合を互いに相違する3カ所で測定して平均値を求めた平均面積割合が5~10%であることが好ましく、6~9%であることがより好ましい。なお、粒界相6の面積には、気孔35の面積は含まれないものとする。
ここで、図1を参照しつつ、この要件を説明する。図1に示すような圧粉磁心1の断面のSEM(走査型電子顕微鏡)画像上で、50μm×50μmの正方形の領域を第4視野とする。この第4視野の範囲内でEPMA(Electron Probe Micro Analyser)を用いた画像解析を行い、粒界相6が第4視野全体に占める面積割合(%)を求める。この粒界相6の面積割合(%)を3カ所において求め、その平均値を算出する。算出された平均値が粒界相6の平均面積割合(%)である。
なお、この面積割合(%)の要件は、圧粉磁心1の断面構造を観察した際に、50μm×50μmの正方形の視野を3カ所以上観察して、そのうちから任意に選ばれる3つの視野において満たしていればよい。
本要件は、粒界相6を形成する材料の配合量を調整することでコントロールできる。
(2.1) Requirements for Area Ratio of Grain Boundary Phase 6 From the viewpoint of further reducing the hysteresis loss, the powder magnetic core 1 further satisfies the following area ratio (occupancy) (%) requirements: preferable.
When the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 was observed in a 50 μm×50 μm square fourth field of view, the area ratio of the grain boundary phase 6 occupying the fourth field of view was measured at three different points, and an average value was obtained. The average area ratio is preferably 5 to 10%, more preferably 6 to 9%. Note that the area of the grain boundary phase 6 does not include the area of the pores 35 .
This requirement will now be described with reference to FIG. On the SEM (scanning electron microscope) image of the cross section of the dust core 1 as shown in FIG. 1, a square area of 50 μm×50 μm is defined as the fourth visual field. An image analysis using an EPMA (Electron Probe Micro Analyzer) is performed within the range of the fourth field of view to determine the area ratio (%) of the grain boundary phase 6 in the entire fourth field of view. The area ratio (%) of the grain boundary phase 6 is determined at three locations, and the average value is calculated. The calculated average value is the average area ratio (%) of the grain boundary phase 6 .
The requirement for this area ratio (%) is that when observing the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1, three or more square fields of view of 50 μm × 50 µm are observed, and three fields of view arbitrarily selected from among them are observed. as long as it is satisfied.
This requirement can be controlled by adjusting the amount of the material that forms the grain boundary phase 6 .

(3)気孔35に関する要件
(3.1)気孔率に関する要件
圧粉磁心1は、ヒステリシス損失をより小さくするという観点から、次の気孔率(%)に関する要件を満たしていることがより好ましい。
圧粉磁心1の断面構造を50μm×50μmの正方形の第2視野で観察した場合に、気孔35が第2視野を占める割合を互いに相違する10カ所で測定して平均値を求めた平均気孔率が10%以下であることが好ましく、8%以下であることがより好ましく、5%以下であることが更に好ましい。平均気孔率の下限値は特に定めるものではないが、1%以上としてもよい。
気孔率(%)は、(2.1)粒界相6の面積割合に関する要件と同様の解析手段を用いて算出する。圧粉磁心1の断面のSEM画像上で、50μm×50μmの正方形の領域を第2視野とする。この第2視野の範囲内でEPMAを用いた画像解析を行い、気孔35が第2視野全体に占める面積割合(%)を求める。この気孔35の面積割合(%)を10カ所において求め、その平均値を算出する。算出された平均値が気孔35の平均気孔率(%)である。
なお、この気孔率(%)の要件は、圧粉磁心1の断面構造を観察した際に、50μm×50μmの正方形の視野を10カ所以上観察して、そのうちから任意に選ばれる10の視野において満たしていればよい。
本要件は、プレス成形時の成形圧を調整することでコントロールできる。
(3) Requirements for Pores 35 (3.1) Requirements for Porosity From the viewpoint of further reducing hysteresis loss, the dust core 1 more preferably satisfies the following requirements for porosity (%).
When the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 is observed in a 50 μm×50 μm square second field of view, the ratio of the pores 35 occupying the second field of view is measured at 10 different points, and the average porosity is calculated. is preferably 10% or less, more preferably 8% or less, and even more preferably 5% or less. Although the lower limit of the average porosity is not particularly defined, it may be 1% or more.
The porosity (%) is calculated using the same analysis means as (2.1) Requirements for the area ratio of the grain boundary phase 6 . On the SEM image of the cross section of the dust core 1, a square area of 50 μm×50 μm is defined as a second field of view. Image analysis using EPMA is performed within the range of the second field of view to obtain the area ratio (%) of the pores 35 in the entire second field of view. The area ratio (%) of the pores 35 is determined at 10 locations, and the average value is calculated. The calculated average value is the average porosity (%) of the pores 35 .
The requirement for this porosity (%) is that when observing the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1, 10 or more 50 μm×50 μm square fields of view are observed, and 10 fields of view arbitrarily selected from among them are observed. as long as it is satisfied.
This requirement can be controlled by adjusting the molding pressure during press molding.

(3.2)気孔率差に関する要件
圧粉磁心1は、ヒステリシス損失を更に小さくするという観点から、次の気孔率差(%)に関する要件を満たしていることが更に好ましい。
圧粉磁心1の断面構造を100μm×100μmの正方形の第5視野で観察して、気孔35が第5視野を占める面積割合P(%)を求める。面積割合Pの最大値をP1、面積割合Pの最小値をP2とすると、P1とP2の差(気孔率差)は3%以下であることが好ましく、2%以下であることがより好ましく、0.5%以下であることが更に好ましい。平均気孔率の下限値は特に定めるものではないが、0%以上としてもよい。
ここで、図5~図7を参照してこの要件を説明する。
まず、圧粉磁心1の断面構造を観察する際に、気孔35が第5視野を占める面積割合Pが最大の場所D1と、気孔35が第5視野を占める面積割合Pが最小の場所D2の決定方法を説明する。圧粉磁心1は、一対の型でプレス成形することで製造される。一対の型によって、圧力が加えられた面は、圧粉磁心1の形状によって特定される。例えば、図5のトロイダル形状の圧粉磁心1では、圧力が加えられた面は、プレス面PS1及びプレス面PS2である。そして、最も高い圧力が加えられた場所はプレス面PS1,PS2の近傍であり、当業者であればシミュレーションや経験等により一義的に特定可能である。例えば、図5の圧粉磁心1の場合には、符号D2で示さる場所が最も高い圧力が加えられた場所である。他方、最も低い圧力が加えられた場所は、当業者であればシミュレーションや経験等により一義的に特定可能である。例えば、図5の圧粉磁心1の場合には、符号D1で示さる場所が最も低い圧力が加えられた場所である。
最も低い圧力が加えられた場所D1において、圧粉磁心1の断面構造を100μm×100μmの正方形の第5視野で観察して、気孔35が第5視野を占める面積割合P(%)を求める(図6参照)。この最も低い圧力が加えられた場所D1における面積割合P(%)が、面積割合Pの最大値たるP1(%)に該当する。すなわち、D1の場所は、最も加えられた圧力が低く、気孔35が最も多く残っている可能性がある場所となる。
他方、最も高い圧力が加えられた場所D2において、圧粉磁心1の断面構造を100μm×100μmの正方形の第5視野で観察して、気孔35が第5視野を占める面積割合P(%)を求める(図7参照)。この最も低い圧力が加えられた場所D2における面積割合P(%)が、面積割合Pの最小値たるP2(%)に該当する。すなわち、D2の場所は、最も加えられた圧力が高く、気孔35が最も少ない場所となる。
このようにして、面積割合Pの最大値をP1、面積割合Pの最小値をP2として、P1とP2の差を求めることができる。
(3.2) Requirements for Porosity Difference From the viewpoint of further reducing hysteresis loss, the dust core 1 more preferably satisfies the following requirements for porosity difference (%).
The cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 is observed in a 100 μm×100 μm square fifth field of view, and the area ratio P (%) of the pores 35 in the fifth field of view is determined. When the maximum value of the area ratio P is P1 and the minimum value of the area ratio P is P2, the difference (porosity difference) between P1 and P2 is preferably 3% or less, more preferably 2% or less. It is more preferably 0.5% or less. Although the lower limit of the average porosity is not particularly defined, it may be 0% or more.
This requirement will now be described with reference to FIGS.
First, when observing the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1, a location D1 where the area ratio P of the pores 35 occupying the fifth field of view is the largest, and a location D2 where the area ratio P of the pores 35 occupying the fifth field of view is the smallest. Explain how to decide. The dust core 1 is manufactured by press molding with a pair of dies. The surface to which the pressure is applied by the pair of dies is specified by the shape of the dust core 1 . For example, in the toroidal dust core 1 of FIG. 5, the surfaces to which pressure is applied are the press surface PS1 and the press surface PS2. The places where the highest pressure is applied are in the vicinity of the press surfaces PS1 and PS2, and can be uniquely identified by a person skilled in the art through simulation, experience, or the like. For example, in the case of the dust core 1 of FIG. 5, the location indicated by symbol D2 is the location where the highest pressure is applied. On the other hand, the place where the lowest pressure is applied can be uniquely identified by a person skilled in the art through simulation, experience, or the like. For example, in the case of the dust core 1 of FIG. 5, the location indicated by symbol D1 is the location where the lowest pressure is applied.
At the location D1 where the lowest pressure is applied, the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 is observed in a 100 μm × 100 μm square fifth field of view, and the area ratio P (%) of the pores 35 occupying the fifth field of view is obtained ( See Figure 6). The area ratio P (%) at the location D1 where the lowest pressure is applied corresponds to the maximum value of the area ratio P, P1 (%). That is, location D1 has the lowest applied pressure and is the location where most of the pores 35 are likely to remain.
On the other hand, at the location D2 where the highest pressure is applied, the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 is observed in a 100 μm×100 μm square fifth field of view, and the area ratio P (%) of the pores 35 occupying the fifth field of view is calculated. (see Figure 7). The area ratio P (%) at the location D2 where the lowest pressure is applied corresponds to the minimum value of the area ratio P, P2 (%). That is, location D2 has the highest applied pressure and the fewest pores 35 .
In this manner, the difference between P1 and P2 can be obtained by setting the maximum value of the area ratio P to P1 and the minimum value of the area ratio P to P2.

(4)粒界多重点に関する要件
圧粉磁心1は、渦電流損失を更に小さくするという観点から、次の粒界多重点に関する要件を満たしていることが更に好ましい。ここで粒界多重点とは、圧粉磁心1の断面を観察した像において、3つ以上の軟磁性金属粒子3によって囲まれた部分であり、3つの軟磁性金属粒子3によって囲まれた粒界三重点や、4つの軟磁性金属粒子3によって囲まれた粒界四重点等が含まれる(通常、5つ以下の軟磁性金属粒子3によって囲まれた部分である)。
圧粉磁心1の断面構造を50μm×50μmの正方形の第3視野にて、互いの視野が重ならないように上下又は左右方向に連続して10視野観察した場合に、3つ以上の軟磁性金属粒子3によって囲まれた粒界多重点について、以下[1][2]に規定する第1結合線及び第2結合線によって囲まれた領域から気孔35を除いた粒界相6の領域の面積をS1とする。
[1]第1結合線は、互いに隣接する軟磁性金属粒子3の表面間を最も近接した部位同士で結んだ線とする。
[2]第2結合線は、互いに隣り合う第1結合線の端部同士を、軟磁性金属粒子3の外形線のうちの粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ線とする。
また、3つ以上の軟磁性金属粒子3の1つあたりの平均面積をS2とする。
なお、粒界相6の領域の面積S1を算出するにあたって、第1結合線と第2結合線によって囲まれた領域の一部が第3視野から欠ける場合には、その領域についてはS1を算出しない。また、軟磁性金属粒子3の平均面積S2を算出するにあたって、軟磁性金属粒子3の一部が第3視野から欠ける場合には、観察視野を拡大して軟磁性金属粒子3全体の面積を求める。面積S1及び面積S2は、(2.1)粒界相6の面積割合に関する要件と同様に、圧粉磁心1の断面のSEM画像上で、EPMAを用いた画像解析によって算出する。
圧粉磁心1は、1/10≦S1/S2≦1/3を充足する粒界多重点が1視野あたり平均して5カ所以上存在することが好ましく、平均して8カ所以上存在することがより好ましい。なお、1/10≦S1/S2≦1/3を充足する粒界多重点の1視野あたりの平均箇所数(凝集部の平均個数)は、小数点以下を四捨五入して整数で求める。なお、凝集部の平均個数は、通常、15カ所以下である。
1/10≦S1/S2≦1/3の範囲において、下限値以上である場合には、気孔35が生じやすい粒界多重点に粒界相6が凝集して凝集部7が形成され、粒界相6の絶縁抵抗を確保することができる。
1/10≦S1/S2≦1/3の範囲において、上限値以下である場合には、隣接する軟磁性金属粒子3同士が十分に近接して配置されることで、圧粉磁心1における軟磁性金属粒子3の充填率を十分なものとすることができる。
凝集部7の平均個数が5個以上の圧粉磁心1では、気孔35が生じやすい粒界多重点が粒界相6によって十分に埋められることで、粒界相6の絶縁抵抗を確保して、渦電流損失を低減できる。
ここで、図3、図4を参照してこの要件を説明する。
粒界相6の面積S1を求める方法について説明する。図3に示すように、軟磁性金属粒子3A、軟磁性金属粒子3B、軟磁性金属粒子3Cによって囲まれた粒界三重点において、軟磁性金属粒子3Aと軟磁性金属粒子3Bの表面間を最も近接した部位A2,B1同士で結んだ線と、軟磁性金属粒子3Bと軟磁性金属粒子3Cの表面間を最も近接した部位B2,C1同士で結んだ線と、軟磁性金属粒子3Cと軟磁性金属粒子3Aの表面間を最も近接した部位C2,A1同士で結んだ線を第1結合線L1とする。A1とA2同士を、軟磁性金属粒子3Aの外形線のうちの粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ線と、B1とB2同士を、軟磁性金属粒子3Bの外形線のうちの粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ線と、C1とC2同士を、軟磁性金属粒子3Cの外形線のうちの粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ線を第2結合線L2とする。そして、第1結合線L1と第2結合線L2によって囲まれた領域から気孔35を除いた面積を算出して、粒界相6の面積S1を求める。なお、軟磁性金属粒子3の表面に酸化被膜や反応相からなる層4が形成されている場合には、この層4の面積についてもS1に含める。
軟磁性金属粒子3A,3B,3Cの1つあたりの平均面積S2を求める方法について説明する。図4に示すように、軟磁性金属粒子3Aの面積S2Aと、軟磁性金属粒子3Bの面積S2Bと、軟磁性金属粒子3Cの面積S2Cをそれぞれ算出する。そして、これらの面積を合算し、粒子数で除して平均面積S2を求める(S2=(S2A+S2B+S2C)/3)。
そして、観察した連続する10視野について、視野ごとに1/10≦S1/S2≦1/3の要件を充足する粒界多重点の数を数える。各視野の上記要件を充足する粒界多重点の数を合算し、観察した視野数である10で除することにより、1視野あたりの平均箇所数(凝集部7の平均個数)を求めることができる。
なお、1/10≦S1/S2≦1/3の要件を充足する粒界多重点の数は、粒界相6を形成する材料の流動性、粒界相6を形成する材料の配合量、圧粉磁心1製造時のプレス圧等によって制御できる。
(4) Requirements for Grain Boundary Multiple Points From the viewpoint of further reducing eddy current loss, the dust core 1 more preferably satisfies the following requirements for grain boundary multiple points. Here, the grain boundary multiple point is a portion surrounded by three or more soft magnetic metal particles 3 in an image obtained by observing the cross section of the dust core 1, and is a grain surrounded by three soft magnetic metal particles 3 A boundary triple point, a grain boundary quadruple point surrounded by four soft magnetic metal particles 3, and the like are included (usually, a portion surrounded by five or less soft magnetic metal particles 3).
When the cross-sectional structure of the powder magnetic core 1 is observed in a 50 μm × 50 μm square third field of view for 10 consecutive fields in the vertical or horizontal direction so that the fields do not overlap each other, three or more soft magnetic metals For the grain boundary multiple points surrounded by the grains 3, the area of the grain boundary phase 6 region excluding the pores 35 from the region surrounded by the first bonding line and the second bonding line defined in [1] [2] below is S1.
[1] The first bonding line is a line connecting the surfaces of the soft magnetic metal particles 3 adjacent to each other at the closest portions.
[2] The second bond line is a line that connects the ends of the first bond lines that are adjacent to each other by following the inner part of the outline of the soft magnetic metal grain 3 on the grain boundary multiple point side.
Also, let S2 be the average area per one of the three or more soft magnetic metal particles 3 .
In calculating the area S1 of the region of the grain boundary phase 6, if part of the region surrounded by the first bonding line and the second bonding line is missing from the third field of view, S1 is calculated for that region. do not. Further, when calculating the average area S2 of the soft magnetic metal particles 3, if a part of the soft magnetic metal particles 3 is missing from the third visual field, the observation field is expanded to obtain the area of the entire soft magnetic metal particles 3. . The area S1 and the area S2 are calculated by image analysis using EPMA on the SEM image of the cross section of the powder magnetic core 1 in the same manner as (2.1) Requirements for the area ratio of the grain boundary phase 6 .
In the powder magnetic core 1, it is preferable that grain boundary multiple points satisfying 1/10≦S1/S2≦1/3 exist on average at 5 or more locations per field of view, and 8 or more on average exist. more preferred. The average number of grain boundary multiple points per field of view (average number of agglomerates) that satisfies 1/10≦S1/S2≦1/3 is obtained by rounding off to the nearest whole number. The average number of aggregated portions is usually 15 or less.
In the range of 1/10≦S1/S2≦1/3, when the value is equal to or more than the lower limit, the grain boundary phase 6 aggregates at the grain boundary multiple points where pores 35 are likely to occur, forming aggregated portions 7. The insulation resistance of the interface phase 6 can be ensured.
In the range of 1/10 ≤ S1/S2 ≤ 1/3, when the value is equal to or less than the upper limit, the adjacent soft magnetic metal particles 3 are arranged sufficiently close to each other, so that the softness in the dust core 1 The filling rate of the magnetic metal particles 3 can be made sufficient.
In the powder magnetic core 1 in which the average number of aggregated portions 7 is 5 or more, the grain boundary multiple points where the pores 35 are likely to occur are sufficiently filled with the grain boundary phase 6, thereby ensuring the insulation resistance of the grain boundary phase 6. , eddy current loss can be reduced.
This requirement will now be described with reference to FIGS.
A method for obtaining the area S1 of the grain boundary phase 6 will be described. As shown in FIG. 3, at the grain boundary triple point surrounded by the soft magnetic metal particles 3A, the soft magnetic metal particles 3B, and the soft magnetic metal particles 3C, the distance between the surfaces of the soft magnetic metal particles 3A and the soft magnetic metal particles 3B is the maximum. A line connecting the adjacent portions A2 and B1, a line connecting the surfaces of the soft magnetic metal particles 3B and the soft magnetic metal particles 3C between the surfaces of the soft magnetic metal particles 3B and the soft magnetic metal particles 3C and connecting the closest portions B2 and C1, and the soft magnetic metal particles 3C and the soft magnetic A line connecting the closest portions C2 and A1 between the surfaces of the metal particles 3A is defined as a first bonding line L1. A line that connects A1 and A2 along the inner part of the outline of the soft magnetic metal particle 3A on the side of the grain boundary multiple point, and B1 and B2 along the outline of the soft magnetic metal particle 3B. A line connecting the inner part on the side of the field multiple point and a line connecting C1 and C2 by tracing the inner part on the side of the grain boundary multiple point of the outline of the soft magnetic metal particle 3C are the second coupling line L2. and Then, the area S1 of the grain boundary phase 6 is obtained by calculating the area excluding the pores 35 from the area surrounded by the first bonding line L1 and the second bonding line L2. If the surface of the soft magnetic metal particles 3 is formed with a layer 4 made of an oxide film or a reaction phase, the area of this layer 4 is also included in S1.
A method for obtaining the average area S2 of each of the soft magnetic metal particles 3A, 3B, and 3C will be described. As shown in FIG. 4, the area S2A of the soft magnetic metal particles 3A, the area S2B of the soft magnetic metal particles 3B, and the area S2C of the soft magnetic metal particles 3C are calculated. Then, these areas are summed up and divided by the number of particles to obtain an average area S2 (S2=(S2A+S2B+S2C)/3).
Then, the number of grain boundary multiple points that satisfy the requirement of 1/10≦S1/S2≦1/3 is counted for each of the 10 consecutive visual fields observed. By adding up the number of grain boundary multiple points that satisfy the above requirements in each field of view and dividing by 10, which is the number of observed fields of view, the average number of points per field of view (average number of aggregated portions 7) can be obtained. can.
The number of grain boundary multiple points satisfying the requirement of 1/10≦S1/S2≦1/3 depends on the fluidity of the material forming the grain boundary phase 6, the blending amount of the material forming the grain boundary phase 6, It can be controlled by the press pressure or the like when the powder magnetic core 1 is manufactured.

2.圧粉磁心1の製造方法
圧粉磁心1の製造方法は、特に限定されない。図8に、圧粉磁心1の製造方法の一例を示し、この製造方法について以下に説明する。
(1)軟磁性金属粉末の準備
まず、原料としての軟磁性金属粉末(軟磁性金属粒子3)を用意する(ステップS1)。
(2)熱処理
次に、軟磁性金属粉末を熱処理する(ステップS2)。この熱処理の条件は、特に限定されない。熱処理条件として、例えば、熱処理温度:700℃~900℃、昇温速度:1℃~10℃/min、保持時間:1分~120分、不活性雰囲気(N雰囲気、Ar雰囲気)の条件が好適に採用される。
(3)バインダーコーティング
次に、軟磁性金属粉末にバインダーをコーティングする(ステップS3)。コーティング方法は、特に限定されず、例えば、スプレーコーティング法、ディッピング法、湿式混合法が好適に用いられる。バインダーは、アルミ化合物粒子を含んでいる。すなわち、バインダーは、アルミナ水和物のコロイド溶液であるアルミナゾルを好適に用いることができる。コーティングした軟磁性金属粉末は、例えば乾燥温度:60℃~150℃、乾燥時間:30分~120分の条件で乾燥される。
(4)成形(プレス成形)
圧粉磁心1の形状を作るためには、通常、プレス成形(例えば金型一軸成形)が用いられる(ステップS4)。プレス成形の際の成形圧は1.2GPa~2.4GPaが好ましく、高密度の成形体を得るためには高圧でプレスした方がよい。また、プレス成形時に室温~200℃の範囲で金型を加熱してもよい。金型を加熱することで軟磁性金属粉末が塑性変形しやすくなり、高密度の成形体を得ることができる。他方、200℃を超える温度でのプレス成形は、軟磁性金属粉末の酸化が問題となりあまり好ましくない。
2. Method for Manufacturing Dust Core 1 The method for manufacturing the dust core 1 is not particularly limited. FIG. 8 shows an example of a method for manufacturing the dust core 1, and this manufacturing method will be described below.
(1) Preparation of Soft Magnetic Metal Powder First, a soft magnetic metal powder (soft magnetic metal particles 3) is prepared as a raw material (step S1).
(2) Heat Treatment Next, the soft magnetic metal powder is heat treated (step S2). Conditions for this heat treatment are not particularly limited. Heat treatment conditions are, for example, heat treatment temperature: 700° C. to 900° C., heating rate: 1° C. to 10° C./min, holding time: 1 minute to 120 minutes, inert atmosphere (N 2 atmosphere, Ar atmosphere). It is preferably adopted.
(3) Binder coating Next, the soft magnetic metal powder is coated with a binder (step S3). A coating method is not particularly limited, and for example, a spray coating method, a dipping method, and a wet mixing method are preferably used. The binder contains aluminum compound particles. That is, alumina sol, which is a colloidal solution of alumina hydrate, can be suitably used as the binder. The coated soft magnetic metal powder is dried, for example, under the conditions of drying temperature: 60° C. to 150° C. and drying time: 30 minutes to 120 minutes.
(4) Molding (press molding)
In order to make the shape of the powder magnetic core 1, press molding (for example, uniaxial mold molding) is usually used (step S4). The molding pressure during press molding is preferably 1.2 GPa to 2.4 GPa, and it is better to press at a high pressure in order to obtain a high-density molded body. Also, the mold may be heated in the range of room temperature to 200° C. during press molding. Heating the mold facilitates plastic deformation of the soft magnetic metal powder, making it possible to obtain a high-density compact. On the other hand, press molding at a temperature exceeding 200° C. poses a problem of oxidation of the soft magnetic metal powder and is not so preferable.

(5)熱処理
得られた成形体について、プレス成形の際に加えられた歪みを開放するため、熱処理(焼鈍)する(ステップS5)。熱処理条件として、例えば、熱処理温度:700℃~900℃、昇温速度:1℃~10℃/min、保持時間:1分~120分、不活性雰囲気(N雰囲気、Ar雰囲気)の条件が好適に採用される。
熱処理の条件は、使用する軟磁性金属粉末の種類によって適宜変更される。
(5) Heat treatment The obtained compact is heat treated (annealed) to release the strain applied during press molding (step S5). Heat treatment conditions are, for example, heat treatment temperature: 700° C. to 900° C., heating rate: 1° C. to 10° C./min, holding time: 1 minute to 120 minutes, inert atmosphere (N 2 atmosphere, Ar atmosphere). It is preferably adopted.
The heat treatment conditions are changed as appropriate depending on the type of soft magnetic metal powder used.

3.本実施形態の圧粉磁心1の作用効果
本実施形態の圧粉磁心1によれば、鉄損が抑制される。
圧粉磁心1は、酸化被膜と粒界相との間に反応相が存在することで、渦電流損失をより小さくすることができる。
圧粉磁心1は、気孔率に関する要件を満たすことで、ヒステリシス損失をより小さくすることができる。
圧粉磁心1は、粒界多重点に関する要件を満たすことで、渦電流損失を更に小さくすることができる。
圧粉磁心1は、粒界相6の平均面積割合に関する要件を満たすことで、ヒステリシス損失を更に小さくすることができる。
3. Effects of the Dust Core 1 of the Present Embodiment According to the dust core 1 of the present embodiment, iron loss is suppressed.
The dust core 1 can further reduce eddy current loss due to the presence of the reaction phase between the oxide film and the grain boundary phase.
The powder magnetic core 1 can further reduce the hysteresis loss by satisfying the requirements for porosity.
The dust core 1 can further reduce the eddy current loss by satisfying the requirements for grain boundary multiple points.
The dust core 1 can further reduce the hysteresis loss by satisfying the requirements for the average area ratio of the grain boundary phase 6 .

以下、実施例により本発明を更に具体的に説明する。
なお、実験例1~15は実施例であり、実験例16~22は比較例である。
表において、実験例を「no.」を用いて示す。また、表において「16*」のように、「*」が付されている場合には、比較例であることを示している。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples.
Experimental Examples 1 to 15 are examples, and Experimental Examples 16 to 22 are comparative examples.
In the table, experimental examples are indicated using "no." In addition, when "*" is added, such as "16*" in the table, it indicates that it is a comparative example.

1.圧粉磁心の作製
(1)実験例1~17、19~22(no.1~17、19~22)
軟磁性金属粒子(原料粉末)には、表1に記載の平均粒子径を有する各種粒子を用いた。なお、表1中、「Fe-Si-Cr」の記載は、水アトマイズ法によって作製したFe-5.5質量%Si-4.0質量%Cr粒子を意味している。
まず、軟磁性金属粉末を熱処理した。熱処理条件は、熱処理温度:200~400℃、昇温速度:1.0~10℃/min、保持時間:10~45分、不活性雰囲気(Ar、N)又は真空雰囲気とした。
次に軟磁性金属粒子を、コーティング液を用いてコーティングした。コーティング液には、アルミナゾルを使用した。なお、表1中、「Al、Siの結晶性物質」の欄が「○」とされている場合には、コーティング液にアルミ化合物粒子を用いたことを示しており、「Al、Siの結晶性物質」の欄が「×」とされている場合には、コーティング液にアルミ化合物粒子やケイ素化合物粒子を用いていないことを示している。
1. Preparation of dust core (1) Experimental examples 1 to 17, 19 to 22 (no. 1 to 17, 19 to 22)
Various particles having an average particle size shown in Table 1 were used as the soft magnetic metal particles (raw material powder). In Table 1, "Fe--Si--Cr" means Fe-5.5 mass % Si-4.0 mass % Cr particles produced by the water atomization method.
First, the soft magnetic metal powder was heat-treated. The heat treatment conditions were heat treatment temperature: 200 to 400° C., temperature increase rate: 1.0 to 10° C./min, holding time: 10 to 45 minutes, inert atmosphere (Ar, N 2 ) or vacuum atmosphere.
The soft magnetic metal particles were then coated with a coating liquid. Alumina sol was used as the coating liquid. In addition, in Table 1, when the column of "crystalline substance of Al and Si" is set to "○", it indicates that aluminum compound particles were used in the coating liquid, and "Crystals of Al and Si In the case where the column of "Positive Substance" is marked with "X", it means that the coating liquid does not contain aluminum compound particles or silicon compound particles.

そして、コーティング後の軟磁性金属粒子を、60~150℃、乾燥時間:60~180分の条件で乾燥した。
次いで、コーティングした軟磁性金属粉末を熱処理した。熱処理条件は、熱処理温度:200~400℃、昇温速度:60~180℃/min、保持時間:10~45分、不活性雰囲気(Ar、N)又は真空雰囲気とした。
そして、1.0~2.5GPaの成形圧でプレス成形して成形体(トロイダル形状(外径:8mm、内径:4.5mm、高さ:1.5mm))とした。この成形体を熱処理温度:400~800℃、昇温速度:1.0~10℃/min、保持時間:10~45分、不活性雰囲気(Ar、N)又は真空雰囲気の条件で熱処理した。以上のようにして、実験例1~17、19~22に係る圧粉磁心を得た。
なお、プレス成形の成形圧を変えることで、凝集部の平均個数と、気孔率をコントロールした。
Then, the coated soft magnetic metal particles were dried under conditions of 60 to 150° C. for a drying time of 60 to 180 minutes.
The coated soft magnetic metal powder was then heat treated. The heat treatment conditions were heat treatment temperature: 200 to 400° C., heating rate: 60 to 180° C./min, holding time: 10 to 45 minutes, inert atmosphere (Ar, N 2 ) or vacuum atmosphere.
Then, it was press-molded at a molding pressure of 1.0 to 2.5 GPa to obtain a compact (toroidal shape (outer diameter: 8 mm, inner diameter: 4.5 mm, height: 1.5 mm)). This compact was heat-treated at a heat treatment temperature of 400 to 800° C., a heating rate of 1.0 to 10° C./min, a holding time of 10 to 45 minutes, and an inert atmosphere (Ar, N 2 ) or vacuum atmosphere. . As described above, powder magnetic cores according to Experimental Examples 1 to 17 and 19 to 22 were obtained.
The average number of aggregated portions and the porosity were controlled by changing the molding pressure of the press molding.

(2)実験例18(no.18)
軟磁性金属粒子(原料粉末)には、表1に記載の平均粒子径を有する粒子を用いた。そして、実験例1~17、19~22と同様の条件で軟磁性金属粉末を熱処理した。
次に軟磁性金属粒子を、コーティング液を用いてコーティングした。コーティング液には、シリカゾルを用いた。そして、実験例1~17、19~22と同様の条件でコーティング後の軟磁性金属粒子を乾燥し、コーティング後の軟磁性金属粒子を熱処理した。以上のようにして、実験例18に係る圧粉磁心を得た。
なお、プレス成形の成形圧を変えることで、凝集部の平均個数と、気孔率をコントロールした。
(2) Experimental Example 18 (no.18)
Particles having an average particle size shown in Table 1 were used as the soft magnetic metal particles (raw material powder). Then, the soft magnetic metal powder was heat-treated under the same conditions as in Experimental Examples 1-17 and 19-22.
The soft magnetic metal particles were then coated with a coating liquid. Silica sol was used as the coating liquid. Then, the coated soft magnetic metal particles were dried under the same conditions as in Experimental Examples 1 to 17 and 19 to 22, and the coated soft magnetic metal particles were heat-treated. As described above, a dust core according to Experimental Example 18 was obtained.
The average number of aggregated portions and the porosity were controlled by changing the molding pressure of the press molding.

表1に各実験例の軟磁性金属粒子、粒界相の特性をまとめて記載する。
「Ra」、「Rz」の欄は、「(1.2)軟磁性金属粒子の表面粗さに関する要件」の欄で記載された方法で測定された算術平均粗さRa及び最大高さ粗さRzを示している。
「面積割合」の欄は、「(2.1)粒界相6の面積割合に関する要件」の欄で記載された方法で測定された平均面積割合(%)を示している。
「凝集部の平均個数」の欄は、「(4)粒界多重点に関する要件」の欄で記載された方法で測定された凝集部の平均個数を示している。
「気孔率」の欄は、「(3.1)気孔率に関する要件」の欄で記載された方法で測定された平均気孔率(%)を示している。
Table 1 summarizes the characteristics of the soft magnetic metal particles and the grain boundary phase in each experimental example.
The columns of "Ra" and "Rz" are the arithmetic mean roughness Ra and the maximum height roughness measured by the method described in the column "(1.2) Requirements for surface roughness of soft magnetic metal particles" Rz is shown.
The column of "area ratio" shows the average area ratio (%) measured by the method described in the column of "(2.1) Requirements for the area ratio of the grain boundary phase 6".
The column "Average number of aggregates" indicates the average number of aggregates measured by the method described in the column "(4) Requirements for grain boundary multiple points".
The column of "porosity" shows the average porosity (%) measured by the method described in the column of "(3.1) Requirements for porosity".

Figure 0007229825000001
Figure 0007229825000001

2.鉄損の評価方法
測定装置(B-Hアナライザ、岩崎通信機株式会社製、型番SY-8218)により、下記の鉄損に関する修正steinmetz方程式を用いて、以下の条件にて鉄損を評価した。

コア条件:外径φ8mm-内径φ4.5mm 厚み1.5mm
エナメル線φ0.3 15巻 バイファイラ巻
2. Iron Loss Evaluation Method Iron loss was evaluated under the following conditions using the following modified Steinmetz equation for iron loss using a measuring device (BH analyzer, manufactured by Iwasaki Tsushinki Co., Ltd., model number SY-8218).

Core conditions: outer diameter φ8 mm - inner diameter φ4.5 mm thickness 1.5 mm
Enameled wire φ0.3 15 rolls Bifilar roll

Figure 0007229825000002
Figure 0007229825000002

評価は以下のようにした。

ヒステリシス損失(kW/m
「☆」…600未満
「◎」…600以上700未満
「○」…700以上800未満
「△」…800以上900未満
「×」…900以上

渦電流損失(kW/m
「☆」…15未満
「◎」…15以上30未満
「○」…30以上50未満
「△」…50以上80未満
「×」…80以上
Evaluation was performed as follows.

Hysteresis loss (kW/m 3 )
"☆" ... less than 600 "◎" ... 600 or more and less than 700 "○" ... 700 or more and less than 800 "△" ... 800 or more and less than 900 "×" ... 900 or more

Eddy current loss (kW/m 3 )
"☆" ... less than 15 "◎" ... 15 or more and less than 30 "○" ... 30 or more and less than 50 "△" ... 50 or more and less than 80 "×" ... 80 or more

3.評価結果
評価結果を表1に示す。
実施例である実験例1~15は、下記要件(a)(b)(c)(d)を満たしている。
・要件(a):軟磁性金属粒子の平均粒子径が5μm以上30μm以下である。
・要件(b):粒界相には、Al及びSiの少なくとも1つを含む結晶性物質が存在する。
・要件(c):軟磁性金属粒子の表面粗さRaが0.05μm以上0.20μm以下である。
・要件(d): 軟磁性金属粒子の表面粗さRzが0.20μm以上0.70μm以下である。
3. Evaluation Results Table 1 shows the evaluation results.
Experimental Examples 1 to 15, which are examples, satisfy the following requirements (a), (b), (c), and (d).
Requirement (a): The average particle size of the soft magnetic metal particles is 5 μm or more and 30 μm or less.
Requirement (b): A crystalline substance containing at least one of Al and Si is present in the grain boundary phase.
Requirement (c): The surface roughness Ra of the soft magnetic metal particles is 0.05 μm or more and 0.20 μm or less.
Requirement (d): The surface roughness Rz of the soft magnetic metal particles is 0.20 μm or more and 0.70 μm or less.

これに対して、比較例である実験例16~22は以下の要件を満たしていない。
実験例16では、要件(a)を満たしてない。
実験例17では、要件(a)を満たしてない。
実験例18では、要件(b)を満たしてない。
実験例19では、要件(c)を満たしてない。
実験例20では、要件(c)を満たしてない。
実験例21では、要件(d)を満たしてない。
実験例22では、要件(d)を満たしてない。
In contrast, Experimental Examples 16 to 22, which are comparative examples, do not satisfy the following requirements.
Experimental Example 16 does not satisfy the requirement (a).
Experimental Example 17 does not satisfy the requirement (a).
Experimental Example 18 does not satisfy the requirement (b).
Experimental Example 19 does not satisfy the requirement (c).
Experimental example 20 does not satisfy the requirement (c).
Experimental Example 21 does not satisfy the requirement (d).
Experimental Example 22 does not satisfy the requirement (d).

実施例である実験例1~15は、比較例である実験例16~22と比較して、ヒステリシス損失及び渦電流損失がバランスよく抑制されていた。
また、実施例である実験例1~15のうち、更に下記要件(e)を満たしている実験例5~15は、ヒステリシス損失がより少なかった。
また、実施例である実験例5~15のうち、更に下記要件(f)を満たしている実験例9~15は、渦電流損失がより少なかった。
また、実施例である実験例9~15のうち、更に下記要件(g)を満たしている実験例12~15は、ヒステリシス損失がより少なかった。

・要件(e):平均気孔率が8%以下である。
・要件(f):凝集部の平均個数が5個以上である((4)粒界多重点に関する要件に相当)。
・要件(g):粒界相の面積割合が5~10%である((2.1)粒界相6の面積割合に関する要件)。
In Experimental Examples 1 to 15, which are examples, hysteresis loss and eddy current loss were suppressed in a well-balanced manner as compared with Experimental Examples 16 to 22, which are comparative examples.
Further, among Experimental Examples 1 to 15 which are examples, Experimental Examples 5 to 15, which further satisfy the following requirement (e), had a smaller hysteresis loss.
Further, among Experimental Examples 5 to 15, Experimental Examples 9 to 15, which further satisfy the following requirement (f), had less eddy current loss.
Further, among Experimental Examples 9 to 15, which are Examples, Experimental Examples 12 to 15, which further satisfy the following requirement (g), had a smaller hysteresis loss.

- Requirement (e): The average porosity is 8% or less.
- Requirement (f): The average number of aggregated portions is 5 or more (corresponding to the requirement for (4) grain boundary multiple points).
Requirement (g): The area ratio of the grain boundary phase is 5 to 10% ((2.1) Requirements for the area ratio of the grain boundary phase 6).

4.実施例の効果
本実施例の圧粉磁心は、ヒステリシス損失及び渦電流損失が共に少なかった。
4. Effect of Example The powder magnetic core of this example had low hysteresis loss and low eddy current loss.

本発明は上記で詳述した実施形態に限定されず、本発明の請求項に示した範囲で様々な変形又は変更が可能である。 The present invention is not limited to the embodiments detailed above, and various modifications and changes are possible within the scope of the claims of the present invention.

本発明の圧粉磁心は、モーターコア、トランス、チョークコイル、ノイズ吸収体等の用途に特に好適に使用される。 The powder magnetic core of the present invention is particularly suitable for applications such as motor cores, transformers, choke coils, and noise absorbers.

1 …圧粉磁心
3,3A,3B,3C…軟磁性金属粒子
4 …酸化被膜と反応相からなる層
6 …粒界相
35 …気孔
L1 …第1結合線
L2 …第2結合線
D1 …気孔が第5視野を占める面積割合Pが最大の場所
D2 …気孔が第5視野を占める面積割合Pが最小の場所
PS1 …プレス面
PS2 …プレス面
REFERENCE SIGNS LIST 1... Dust cores 3, 3A, 3B, 3C... Soft magnetic metal particles 4... Layers composed of oxide films and reaction phases 6... Grain boundary phases 35... Pores L1... First coupling lines L2... Second coupling lines D1... Pores Location D2 where the area ratio P occupying the fifth visual field is the largest D2 ... Location where the area ratio P occupied by the pores in the fifth visual field is the smallest PS1 ... Press surface PS2 ... Press surface

Claims (4)

平均粒子径5μm~30μmの軟磁性金属粒子と、Al及びSiの少なくとも1つを含む結晶性物質が存在する粒界相と、を備えてなる圧粉磁心であって、
前記軟磁性金属粒子と前記粒界相との界面の断面構造を10μm×10μmの正方形の第1視野で観察した場合に、前記軟磁性金属粒子の表面粗さRaが0.05μm以上0.20μm以下であり、Rzが0.20μm以上0.70μm以下であり、
前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第3視野にて、互いの視野が重ならないように上下又は左右方向に連続して10視野観察した場合に、
3つ以上の前記軟磁性金属粒子によって囲まれた粒界多重点について、
[1]互いに隣接する前記軟磁性金属粒子の表面間を最も近接した部位同士で結んだ第1結合線、及び[2]互いに隣り合う前記第1結合線の端部同士を、前記軟磁性金属粒子の外形線のうちの前記粒界多重点側の内側部分を辿って結ぶ第2結合線、によって囲まれた領域から気孔を除いた前記粒界相の領域の面積をS1とし、
前記3つ以上の前記軟磁性金属粒子の1つあたりの平均面積をS2とすると、
1/10≦S1/S2≦1/3
を充足する前記粒界多重点が1視野あたり平均して5カ所以上存在することを特徴とする圧粉磁心。
A powder magnetic core comprising soft magnetic metal particles having an average particle size of 5 μm to 30 μm and a grain boundary phase in which a crystalline substance containing at least one of Al and Si is present,
When the cross-sectional structure of the interface between the soft magnetic metal particles and the grain boundary phase is observed in a square first field of view of 10 μm×10 μm, the surface roughness Ra of the soft magnetic metal particles is 0.05 μm or more and 0.20 μm. or less, and Rz is 0.20 μm or more and 0.70 μm or less,
When the cross-sectional structure of the powder magnetic core is observed in a third field of view of a square of 50 μm × 50 µm for 10 consecutive fields in the vertical or horizontal direction so that the fields of view do not overlap each other,
For grain boundary multiple points surrounded by three or more of the soft magnetic metal grains,
[1] a first bonding line connecting the surfaces of the soft magnetic metal particles adjacent to each other at the closest portions, and [2] connecting the ends of the first bonding lines adjacent to each other to the soft magnetic metal Let S1 be the area of the region of the grain boundary phase obtained by excluding pores from the region surrounded by the second bonding line connecting the inner part of the outline of the grain on the side of the grain boundary multiple point, and
When the average area per one of the three or more soft magnetic metal particles is S2,
1/10≤S1/S2≤1/3
A powder magnetic core characterized in that there are five or more grain boundary multiple points on average per field of view .
前記軟磁性金属粒子は、表面に酸化被膜が形成され、
前記酸化被膜と前記粒界相との間に反応相が存在することを特徴とする請求項1に記載の圧粉磁心。
An oxide film is formed on the surface of the soft magnetic metal particles,
2. The dust core according to claim 1, wherein a reaction phase exists between said oxide film and said grain boundary phase.
前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第2視野で観察した場合に、気孔が前記第2視野を占める割合を互いに相違する10カ所で測定して平均値を求めた平均気孔率が8%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧粉磁心。 When the cross-sectional structure of the powder magnetic core is observed in a square second field of view of 50 μm × 50 µm, the ratio of pores occupying the second field of view is measured at 10 different points, and the average porosity is obtained. 3. The powder magnetic core according to claim 1 or 2, wherein the is 8% or less. 前記圧粉磁心の断面構造を50μm×50μmの正方形の第4視野で観察した際に、
前記粒界相が前記第4視野を占める面積割合を互いに相違する3カ所で測定して平均値を求めた平均面積割合が5~10%であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の圧粉磁心。
When observing the cross-sectional structure of the powder magnetic core in a square fourth field of view of 50 μm × 50 μm,
4. Any one of claims 1 to 3, wherein the average area ratio obtained by measuring the area ratio of the grain boundary phase occupying the fourth field of view at three different points and calculating the average value is 5 to 10%. or the dust core according to item 1.
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