JP7228440B2 - 転位の評価方法および転位の評価を行うためのコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
低対称性の結晶構造を有する半導体における転位の評価方法であって、(1)互いに異なるN種(Nは、3以上の整数)の回折面に対応する前記半導体のN個のX線トポグラフィ像を取得する工程と、(2)前記工程(1)において取得された前記N個のX線トポグラフィ像のそれぞれにおける、前記半導体に存在する実転位に対応する実転位像のコントラスト評価値を取得する工程と、(3)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記半導体において発生し得る種類の転位によりX線トポグラフィ像に形成される想定転位像のコントラスト推定値を取得する工程と、(4)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記コントラスト評価値と前記コントラスト推定値とを対比して、前記実転位の転位の種類を判定する工程と、を備える、転位の評価方法。
適用例1記載の転位の評価方法であって、前記コントラスト評価値は、前記実転位像のコントラストに対して与えられる予め設定された段階数の評価値スコアであり、前記工程(4)における前記コントラスト評価値と前記コントラスト推定値との対比は、前記コントラスト推定値を前記段階数の推定値スコアに分類するとともに、前記評価値スコアと前記推定値スコアとの段階差を求めることにより行われる、転位の評価方法。
前記N個のX線トポグラフィ像は、反射X線トポグラフィにより取得される、適用例1または2記載の転位の評価方法。
前記半導体は、酸化ガリウムである、適用例1ないし3のいずれか記載の転位の評価方法。
A:実施例:
A1.β-Ga2O3の結晶構造:
A2.X線トポグラフィ:
A3.転位の評価:
B.変形例:
A1.β-Ga2O3の結晶構造:
図1は、本発明の実施例において転位が評価される安定相の酸化ガリウム(β-Ga2O3)の結晶構造を示す説明図である。図1において、大きな球は、酸素(O)を表し、小さな球は、ガリウム(Ga)を表している。また、図1の破線は、β-Ga2O3(以下、単にGa2O3とも表記する)の単位格子を表している。
図2は、本実施例において転位の評価に用いるX線トポグラフィの概要を示す説明図である。図2(a)は、X線トポグラフィにより、原子核乾板20上に、基板10が有する転位DT1~DT3,DBPの像(転位像)IS1~IS3,ILNが形成される様子を示している。
図4は、本実施例において転位を評価する工程の流れを示すフローチャートである。転位の評価に当たって、まず結晶構造に基づいて、発生する可能性がある転位の種類を特定する(ステップS11)。
本発明は上記実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
上記実施例では、取得されたX線トポグラフィ像に形成された転位像のコントラスト(画像コントラスト)と、転位種類と回折面とから算出されるコントラスト(推定コントラスト)とを、それぞれ5段階のスコアとしたコントラスト評価値とコントラスト推定値を対比しているが、これらのスコアの段階数を変更することも可能である。
上記実施例では、互いに異なる13種の回折面に対応するX線トポグラフィ像を取得し、取得したX線トポグラフィ像における転位像の画像コントラストと、回折面と転位種類とに対応する推定コントラストとを対比して、転位の種類を判定しているが、X線トポグラフィ像を取得する回折面の数は、当該回折面が互いに異なるものであれば、3種以上であれば良い。このようにしても、回折面(gベクトル)を適宜選定することにより、gベクトルの変化に対する転位像のコントラストの変化が、転位種類に応じて多様な態様で変わるようにすることができるので、転位種類の判定を行うことができる。
上記実施例では、単色性の高い入射X線BXIを基板10に照射し、特定の方向に配置された原子核乾板20(撮像手段)に回折X線BXDが照射されるようにしてX線トポグラフィ像を得ている。しかしながら、入射X線は、必ずしも単色性の高いX線である必要はなく、白色X線等のスペクトル幅の広いX線を入射X線として用いることも可能である。この場合においても、回折X線は波長に応じてブラッグの条件を満たす方向に進行するので、適宜選択された回折X線の進行方向に撮像手段を配置すれば、X線トポグラフィ像を取得することができる。そのため、白色X線等を入射X線として用いることにより、1回の撮影で複数の回折面におけるX線トポグラフィ像を得ることができる。さらに、白色X線等を入射X線として用いることにより、歪みの発生した基板等、結晶に歪みが生じている場合においても、より広い領域のX線トポグラフィ像を得ることが可能となる。但し、より鮮明度の高い転位像をX線トポグラフィ像に形成させることが可能となる点においては、単色性の高いX線を入射X線として用いるのが好ましい。
上記実施例では、反射X線トポグラフィにより取得されたX線トポグラフィ像を用いて転位の評価を行っているが、透過X線トポグラフィにより取得されたX線トポグラフィ像を用いて転位の評価を行うことも可能である。但し、試料となる半導体の表面における転位を評価することがより容易となり、エピタキシャル層等の評価を行うことがより容易となるので、X線トポグラフィ像は、反射X線トポグラフィにより取得するのが好ましい。
上記実施例では、本発明を適用することにより単斜晶系の結晶構造をとるβ-Ga2O3の転位を評価しているが、本発明は、菱面体晶系のコランダム構造をとる酸化ガリウム(α-Ga2O3)や、単斜晶系、菱面体晶系あるいは三斜晶系の結晶構造をとるその他の半導体等、低対称性の結晶構造を有する半導体一般に適用することができる。また、上記実施例では、評価対象とするβ-Ga2O3基板の面方位を(-201)としているが、評価対象がβ-Ga2O3でない場合には、評価対象の基板の方位は、評価対象となる基板の種類に応じて適宜変更される。
上記実施例の図4で示した転位の評価を評価する各工程のうち、回折面とコントラストとの関係を対比して、転位の種類を判定する工程(ステップS16)をコンピュータに実行させることも可能である。この場合、当該工程の機能を実現するためのコンピュータプログラムをコンピュータにて実行させることにより、当該工程の機能は実現される。また、その他の工程についても、コンピュータが実行可能なものであれば、コンピュータに実行させるものとしても良い。例えば、コンピュータによってX線トポグラフィ像のそれぞれに画像解析を施し、転位像を検出する工程(ステップS14)、および、コントラストを評価する工程(ステップS15)の少なくとも一方を行うことも可能である。このような画像解析は、エッジ検出や画素値に対する演算等の従来からの画像解析手法の他、学習モデル等を用いた画像解析手法を用いて行うことができる。なお、コンピュータによる実行がより容易である点で、コンピュータには、コントラストの評価(コントラスト評価値の算出)を行う画像解析を実行させるのが好ましい。
20…原子核乾板
BXD,BDS…回折X線
BXI…入射X線
DT1~DT3,DBP…転位
FD…回折面
ILN…線状像
IS1~IS3…点状像
STH…四面体サイト
Claims (6)
- 低対称性の結晶構造を有する半導体における転位の評価方法であって、
(1)互いに異なるN種(Nは、3以上の整数)の回折面に対応する前記半導体のN個のX線トポグラフィ像を取得する工程と、
(2)前記工程(1)において取得された前記N個のX線トポグラフィ像のそれぞれにおける、前記半導体に存在する実転位に対応する実転位像のコントラスト評価値を取得する工程と、
(3)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記半導体において発生し得る種類の転位によりX線トポグラフィ像に形成される想定転位像のコントラスト推定値を取得する工程と、
(4)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記コントラスト評価値と前記コントラスト推定値とを対比して、前記実転位の転位の種類を判定する工程と、
を備える、
転位の評価方法。 - 請求項1記載の転位の評価方法であって、
前記コントラスト評価値は、前記実転位像のコントラストに対して与えられる予め設定された段階数の評価値スコアであり、
前記工程(4)における前記コントラスト評価値と前記コントラスト推定値との対比は、前記コントラスト推定値を前記段階数の推定値スコアに分類するとともに、前記評価値スコアと前記推定値スコアとの段階差を求めることにより行われる、
転位の評価方法。 - 前記N個のX線トポグラフィ像は、反射X線トポグラフィにより取得される、請求項1または2記載の転位の評価方法。
- 前記半導体は、酸化ガリウムである、請求項1ないし3のいずれか記載の転位の評価方法。
- 低対称性の結晶構造を有する半導体における転位の評価を行うためのコンピュータプログラムであって、
(a)互いに異なるN種(Nは、3以上の整数)の回折面に対応する前記半導体のN個のX線トポグラフィ像のそれぞれにおける、前記半導体に存在する実転位に対応する実転位像のコントラスト評価値を取得するステップと、
(b)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記半導体において発生し得る種類の転位によりX線トポグラフィ像に形成される想定転位像のコントラスト推定値を取得するステップと、
(c)前記N種の回折面のそれぞれについて、前記コントラスト評価値と前記コントラスト推定値とを対比して、前記実転位の転位の種類を判定するステップと、
をコンピュータに実行させる、
コンピュータプログラム。 - 前記ステップ(a)は、前記N個のX線トポグラフィ像のそれぞれに画像解析を施すことによって、前記コントラスト評価値を算出するステップを含む、請求項5記載のコンピュータプログラム。
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