JP7223752B2 - 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム - Google Patents
粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7223752B2 JP7223752B2 JP2020522169A JP2020522169A JP7223752B2 JP 7223752 B2 JP7223752 B2 JP 7223752B2 JP 2020522169 A JP2020522169 A JP 2020522169A JP 2020522169 A JP2020522169 A JP 2020522169A JP 7223752 B2 JP7223752 B2 JP 7223752B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle size
- size distribution
- target
- spectrum
- particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 363
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims description 189
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 141
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 62
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 25
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 28
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 22
- 230000006870 function Effects 0.000 description 18
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 10
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- -1 foodstuffs Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003703 image analysis method Methods 0.000 description 1
- 239000003317 industrial substance Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0227—Investigating particle size or size distribution by optical means using imaging; using holography
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4788—Diffraction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0007—Investigating dispersion of gas
- G01N2015/0011—Investigating dispersion of gas in liquids, e.g. bubbles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0023—Investigating dispersion of liquids
- G01N2015/0026—Investigating dispersion of liquids in gas, e.g. fog
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
- G01N2015/0222—Investigating a scatter or diffraction pattern from dynamic light scattering, e.g. photon correlation spectroscopy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置に用いられるプログラムに関するものである。
粒子径分布測定装置としては、特許文献1に示すように、測定対象である粒子群に光を照射し、その回折/散乱光の光強度スペクトル(以下、実スペクトルという)に基づいて粒子群の粒子径分布を算出する、光散乱式のものがある。
具体的にこの粒子径分布測定装置は、光が照射される粒子群には測定対象のみならず、測定対象外の異物(以下、非対象粒子群という)が含まれていることがあり、実スペクトルに基づき得られる粒子群全体の粒子径分布から、非対象粒子群の粒子径分布を差し引くことで、測定対象の粒子径分布を求めるように構成されている。
しかしながら、実スペクトルに対する非対象粒子群に起因する回折/散乱光の影響が大きいと、この実スペクトルに基づき得られる粒子群全体の粒子径分布には、非対象粒子群の粒子径分布が大きく現れるので、測定対象である粒子群の粒子径分布が現れなかったり、現れたとしても精度を欠いた分布となったりする。
従って、上述したように粒子群全体の粒子径分布から非対象粒子群の粒子径分布を差し引いたとしても、測定対象の粒子径分布を精度良く求めることはできない。
従って、上述したように粒子群全体の粒子径分布から非対象粒子群の粒子径分布を差し引いたとしても、測定対象の粒子径分布を精度良く求めることはできない。
そこで本発明は上記問題点を解決すべくなされたものであり、仮に測定対象外の粒子群の影響が大きい場合であっても、測定対象である粒子群の粒子径分布を精度良く求めることをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係る粒子径分布測定装置は、セルに収容された測定対象である粒子群に光を照射し、その回折/散乱光の光強度を示す光強度信号に基づいて前記粒子群の粒子径分布を算出する粒子径分布測定装置であって、前記光強度信号から得られる光強度スペクトルである実スペクトルを取得する実スペクトル取得部と、前記セルに収容された測定対象ではない非対象粒子群の粒子径分布を示す非対象粒子径分布データを受け付けて、当該非対象粒子径分布データに基づき、前記非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずの光強度スペクトルである非対象スペクトルを算出する非対象スペクトル算出部と、前記実スペクトルから前記非対象スペクトルの影響分を差し引いた光強度スペクトルである対象スペクトルを算出する非対象スペクトル除去部と、前記対象スペクトルに基づいて前記測定対象である粒子群の粒子径分布を算出する対象粒子径分布算出部とを備えることを特徴とするものである。
なお、粒子径分布とは、ある粒子径の粒子が全体に対して占める割合(頻度)を示すものであり、全ての粒子径が同じ粒子径である場合の分布(特定の粒子径の粒子のみが存在していることを示す分布)も含む概念である。
なお、粒子径分布とは、ある粒子径の粒子が全体に対して占める割合(頻度)を示すものであり、全ての粒子径が同じ粒子径である場合の分布(特定の粒子径の粒子のみが存在していることを示す分布)も含む概念である。
このように構成された粒子径分布測定装置によれば、粒子径分布を算出する前段階において、実スペクトルから非対象スペクトルの影響分を差し引いた対象スペクトルを算出するので、この対象スペクトルは、測定対象である粒子群に起因する回折/散乱光の光強度スペクトルとなる。従って、この対象スペクトルに基づいて測定対象である粒子群の粒子径分布を算出することで、仮に非対象粒子群の影響が大きい場合であっても、測定対象である粒子群の粒子径分布を精度良く求めることができる。
前記非対象粒子径分布データが、光散乱法とは異なる測定原理を用いて得られたものが好ましい。
これならば、光散乱法とは異なる種々の測定原理が得意とする長所(例えば、画像処理によって粒子径分布を精度良く求めることができるといった長所や、小さい粒子或いは大きい粒子に対して粒子径分布を精度良く求めることができるといった長所)を活かすことで、非対象粒子径分布を精度良く算出することができる。
これならば、光散乱法とは異なる種々の測定原理が得意とする長所(例えば、画像処理によって粒子径分布を精度良く求めることができるといった長所や、小さい粒子或いは大きい粒子に対して粒子径分布を精度良く求めることができるといった長所)を活かすことで、非対象粒子径分布を精度良く算出することができる。
また、別の実施態様としては、前記実スペクトルから得られる粒子群全体の粒子径分布である全体粒子径分布を算出する全体粒子径分布算出部と、前記全体粒子径分布及び測定対象外の粒子径範囲に基づいて、前記非対象粒子群の粒子径分布を特定する非対象粒子径分布特定部とをさらに備え、前記非対象スペクトル算出部が、前記非対象粒子径分布特定部が特定した粒子径分布を前記非対象粒子径分布データとして受け付ける構成が挙げられる。
このような構成であれば、非対象粒子群を撮像したり、その撮像データを画像処理したりすることなく、非対象粒子群の粒子径分布を特定することができるので、装置構成の簡素化や測定時間の短縮化などを図れる。
このような構成であれば、非対象粒子群を撮像したり、その撮像データを画像処理したりすることなく、非対象粒子群の粒子径分布を特定することができるので、装置構成の簡素化や測定時間の短縮化などを図れる。
前記非対象スペクトル算出部が、前記非対象粒子径分布データ及び前記非対象粒子群の屈折率を用いて、前記非対象スペクトルを算出することが好ましい。
このような構成であれば、非対象粒子径分布データに加えて非対象粒子群の屈折率を用いているので、算出された非対象スペクトルを、非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずのより尤もらしい光強度スペクトルとすることができる。
このような構成であれば、非対象粒子径分布データに加えて非対象粒子群の屈折率を用いているので、算出された非対象スペクトルを、非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずのより尤もらしい光強度スペクトルとすることができる。
また、本発明に係る粒子径分布測定装置用プログラムは、セルに収容された測定対象である粒子群に光を照射し、その回折/散乱光の光強度を示す光強度信号に基づいて前記粒子群の粒子径分布を算出する粒子径分布測定装置に用いられるプログラムであって、前記光強度信号から得られる光強度スペクトルである実スペクトルを取得する実スペクトル取得部と、前記セルに収容された測定対象ではない非対象粒子群の粒子径分布を示す非対象粒子径分布データを受け付けて、当該非対象粒子径分布データに基づき、前記非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずの光強度スペクトルである非対象スペクトルを算出する非対象スペクトル算出部と、前記実スペクトルから前記非対象スペクトルの影響分を差し引いた光強度スペクトルである対象スペクトルを算出する非対象スペクトル除去部と、前記対象スペクトルに基づいて前記測定対象である粒子群の粒子径分布を算出する対象粒子径分布算出部としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とするものである。
このようなプログラムを用いれば、上述した粒子径分布測定装置と同様の作用効果を得ることができる。
このようなプログラムを用いれば、上述した粒子径分布測定装置と同様の作用効果を得ることができる。
以上に述べた本発明によれば、仮に測定対象以外の粒子群の影響が大きい場合であっても、測定対象である粒子群の粒子径分布を精度良く求めることができる。
以下に本発明に係る粒子径分布測定装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態に係る粒子径分布測定装置100は、図1に示すように、粒子に光を照射した際に生じる回折/散乱光の拡がり角度に応じた光強度分布が、回折理論及びMIE散乱理論から粒子径によって定まることを利用し、前記回折/散乱光を検出することによって粒子径分布を測定する光散乱式測定機構101を具備するものである。
光散乱式測定機構101は、装置本体10及び演算装置20を備えている。
装置本体10は、測定対象Xである粒子群を収容するセル11と、そのセル11内の粒子群にレンズ12を介してレーザ光を照射する光源13たるレーザ装置と、レーザ光の照射により生じる回折/散乱光の光強度を拡がり角度に応じて検出する複数の光検出器14とを備えたものである。なお、ここでのセル11はバッチ式のセルであるが、循環式のセルであっても良いし、空気中に固体粒子や液体粒子が分散した乾式のものであっても良い。
測定対象Xとしては、医薬品、食品、化学工業品などを挙げることができ、ここでの測定対象Xはセル11に収容された媒質中に分散されている。また、ここではセル11内に収容されている粒子群として、測定対象Xのみならず、測定対象Xではない粒子Yが含まれている場合を想定しており、このような粒子Yとしては、気泡や測定対象外の粒子径を有する粒子などが挙げられる。
演算装置20は、物理的に言えば、CPU、メモリ、入出力インターフェース等を備えた汎用乃至専用のコンピュータであり、前記メモリの所定領域に記憶させた所定のプログラムにしたがって、CPUや周辺機器を協働させることにより、図2に示すように、実スペクトル取得部21、非対象スペクトル算出部22、非対象スペクトル除去部23、対象粒子径分布算出部24などの機能を備えたものである。
実スペクトル取得部21は、各光検出器14から出力された光強度信号を受け付けて、各光検出器14のチャンネルに対する光強度スペクトル、すなわち回折/散乱光の拡がり角度に対する光強度スペクトル(以下、実スペクトルという)を取得するものである。なお、ここでの実スペクトルは、測定対象Xである粒子群に起因した回折/散乱光の光強度スペクトルと、測定対象Xではない粒子群(以下、非対象粒子群という)に起因した回折/散乱光の光強度スペクトルとが重なり合ったものである。
非対象スペクトル算出部22は、非対象粒子群に起因した回折/散乱光の光強度スペクトル、すなわちセル11内に非対象粒子群のみが収容されており、この非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずの光強度スペクトル(以下、非対象スペクトルという)を算出するものである。
具体的に非対象スペクトル算出部22は、セル11内における非対象粒子群の粒子径分布(以下、非対象粒子径分布)を示す非対象粒子径分布データを受け付け、この非対象粒子径分布及び非対象粒子群の屈折率等から逆算して求まる光強度スペクトルを非対象スペクトルとして算出する。
なお、ここでの非対象スペクトル算出部22は、図1及び図2に示すように、光散乱法とは異なる測定原理により粒子径分分布を測定する第2の粒子径分布測定機構102から非対象粒子径分布データを受け付けるように構成されている。この第2の粒子径分布測定機構102の詳細については、後述する。
具体的に非対象スペクトル算出部22は、セル11内における非対象粒子群の粒子径分布(以下、非対象粒子径分布)を示す非対象粒子径分布データを受け付け、この非対象粒子径分布及び非対象粒子群の屈折率等から逆算して求まる光強度スペクトルを非対象スペクトルとして算出する。
なお、ここでの非対象スペクトル算出部22は、図1及び図2に示すように、光散乱法とは異なる測定原理により粒子径分分布を測定する第2の粒子径分布測定機構102から非対象粒子径分布データを受け付けるように構成されている。この第2の粒子径分布測定機構102の詳細については、後述する。
非対象スペクトル除去部23は、実スペクトルから上述した非対象スペクトル算出部22により算出された非対象スペクトルの影響を差し引くものである。具体的には、図3に示すように、実スペクトルから非対象スペクトルが占める領域を差し引いて、測定対象Xである粒子群に起因した回折/散乱光の光強度スペクトル(以下、対象スペクトルという)を算出する。なお、非対象スペクトルが占める領域をそのまま実スペクトルから差し引くのではなく、非対象スペクトルが占める領域に例えば重み付けしたものを実スペクトルから差し引いて対象スペクトルを算出しても良い。
そして、対象粒子径分布算出部24は、非対象スペクトル除去部23により算出された対象スペクトルに基づいて、測定対象Xの粒子径分布(以下、対象粒子径分布という)を算出し、この対象粒子径分布を例えばディスプレイ等に表示出力する。
なお、具体的な表示態様としては、一方の軸を粒子径、他方の軸を頻度(パーセンテージ)に設定されたグラフ上に対象粒子径分布を表示する態様が挙げられ、対象粒子径分布のみを表示しても良いし、例えば図4に示すように、対象粒子径分布と非対象粒子径分布とを識別可能に表示しても良い。
なお、具体的な表示態様としては、一方の軸を粒子径、他方の軸を頻度(パーセンテージ)に設定されたグラフ上に対象粒子径分布を表示する態様が挙げられ、対象粒子径分布のみを表示しても良いし、例えば図4に示すように、対象粒子径分布と非対象粒子径分布とを識別可能に表示しても良い。
続いて、上述した第2の粒子径分布測定機構102について説明する。
第2の粒子径分布測定機構102は、ここでは画像解析法により粒子径分布を測定する画像式測定機構102であり、図1及び図2に示すように、粒子径分布測定装置100の一部をなす。
第2の粒子径分布測定機構102は、ここでは画像解析法により粒子径分布を測定する画像式測定機構102であり、図1及び図2に示すように、粒子径分布測定装置100の一部をなす。
そして、この画像式測定機構102は、上述した光散乱式測定機構101にとっての測定対象外の粒子群、すなわちセル11に収容された非対象粒子群の粒子径分布を測定するものであり、ここでは非対象粒子群である気泡Yの粒子径分布を算出するために用いられる。なお、セル11は、上述した光散乱式測定機構101による測定で用いられたものと同一であることが好ましく、このセル11には気泡Yのみならず、光散乱式測定機構101にとっての測定対象Xも収容されていることは、上述した通りである。
具体的にこの画像式測定機構102は、図5に示すように、セル11に収容された気泡Yに光を照射する光照射装置30と、セル11に収容された気泡Yを撮像する撮像装置40と、撮像装置40により得られた画像データに基づいて気泡Yの粒子径分布を算出する画像解析装置50とを備えている。
光照射装置30は、セル11に収容された粒子群(気泡Y)に所定の拡がりを有する光束を照射するものであり、例えば発光ダイオードを用いた面発光タイプのものである。具体的に光照射装置30は、発光ダイオードからなる光源31と当該光源31の光射出側に設けられて所定波長の光を透過する透過フィルタ32とを有する。本実施形態の透過フィルタ32は、撮像装置40により受光される波長を透過するものである。なお、正確な影絵を得るためには、平行照明を用いて平行光を粒子群に照射することが望ましい。テレセントリック照明が最適ではあるが、LED光源とコンデンサーレンズLとの組み合わせでもよい。
撮像装置40は、撮像レンズ41と、撮像レンズ41により結像される光を受光する撮像素子42とを有している。
撮像レンズ41は、粒子群を収容するセル11内にピント面(焦点面)を有するものである。本実施形態の撮像レンズ41は、テレセントリックレンズを用いている。テレセントリックレンズを用いることによって、視差による影響を受けずに歪みのない画像を撮影することができる。
撮像素子42は、光照射装置30から射出されてセル11を通過した光を受光するものであり、この撮像素子42により得られた画像データは画像解析装置50によって分析処理される。
画像解析装置50は、CPU、メモリ、入出力インターフェース、AD変換器、キーボードやマウスなどの入力手段などを有する汎用乃至専用のコンピュータであり、メモリに格納されたプログラムに基づいて、CPU及びその周辺機器が作動することにより、図6に示すように、粒子判別部51、非対象粒子径分布算出部52などの機能を備えたものである。
ここで、光照射装置30及び撮像装置40は、セル11を挟むように対向して配置されており、光照射装置30から射出された光は、図7(a)に示すように、透光性粒子を通過する際に屈折する。より具体的には、媒質の屈折率よりも粒子の屈折率が大きい場合は、同図上段に示すように、光が屈折して集光し、媒質の屈折率よりも粒子の屈折率が小さい場合は、同図下段に示すように、光が屈折して発散する。これにより、粒子に照射された光の一部、具体的には粒子の中心部に照射された光が撮像装置40に到達することになる。
その結果、撮像装置40が撮像した粒子の画像には、図7(b)に示すように、粒子を通過する光の屈折に起因した明暗領域が現れる。より具体的には、画像に写された粒子の中心部は明るい領域(以下、明領域S1という)となり、その外周部は暗い領域(以下、暗領域S2という)領域となり、これらの明領域S1及び暗領域S2は識別可能な領域となる。
その結果、撮像装置40が撮像した粒子の画像には、図7(b)に示すように、粒子を通過する光の屈折に起因した明暗領域が現れる。より具体的には、画像に写された粒子の中心部は明るい領域(以下、明領域S1という)となり、その外周部は暗い領域(以下、暗領域S2という)領域となり、これらの明領域S1及び暗領域S2は識別可能な領域となる。
より詳細に説明すると、図7(a)に示すように、測定対象Xである粒子や気泡Yをボールレンズとみなした場合、これらの粒子の焦点距離EFLは、粒子の直径D、粒子の屈折率n1、及び粒子が分散する媒質の屈折率n2をパラメータとした下記の算出式により算出することができる。
EFL=n1・D/4(n1-n2)
このことから、仮に直径Dが互いに等しい測定対象X及び気泡Yを撮像した場合、測定対象Xの屈折率と気泡Yの屈折率との差に起因して明領域S1及び暗領域S2の比率、大きさ、形状、明暗(コントラスト)などが変わる。
EFL=n1・D/4(n1-n2)
このことから、仮に直径Dが互いに等しい測定対象X及び気泡Yを撮像した場合、測定対象Xの屈折率と気泡Yの屈折率との差に起因して明領域S1及び暗領域S2の比率、大きさ、形状、明暗(コントラスト)などが変わる。
そこで、粒子判別部51は、上述した明暗領域S1、S2に基づいて、画像に写る粒子が、測定対象Xであるか非測定対象であるか、すなわち測定対象Xである気泡Yであるかを判別する。具体的にこの粒子判別部51は、測定対象Xの屈折率と気泡Yの屈折率との差に起因して現れる明暗領域S1、S2の画像差に基づき、画像に写る粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを判別するものであり、例えば画像を二値化することで上述した画像差を算出するように構成されている。
本実施形態の粒子判別部51は、画像に写された粒子に対する明領域S1の比率を上述した画像差とするものであり、この比率に基づいて、当該粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを判別するように構成されている。より具体的に粒子判別部51は、画像に写された粒子の外径に対する明領域S1の外径の比率、或いは、画像に写された粒子の面積に対する明領域S1の面積の比率に基づいて、粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを判別するように構成されており、上述した比率が所定の閾値未満の場合には粒子を気泡Yであると認定し、所定の閾値以上の場合には粒子を測定対象Xであると認定する。
なお閾値は、例えばセル11の形状やサイズ、光照射装置30の配置、撮像装置40の光学系、媒質の屈折率と粒子の屈折率の大小関係など、種々の要因に応じて変わり得る。そこで、閾値としては、例えばバブル発生器等により発生させた気泡を本実施形態のセル11に収容させ、これらの気泡を本実施形態の光照射装置30や撮像装置40を用いて撮像することで、その画像に写された気泡に対する明領域の比率に基づき定めることができる。そして、このように定めた閾値を画像解析装置50のメモリ内に格納させておくことで、粒子判別部51が前記メモリから閾値を取得して粒子の判別をすることができる。
非対象粒子径分布算出部52は、上述した撮像素子42により得られた画像データ及び粒子判別部51が判別した判別結果に基づき、セル11に収容された非対象粒子群の粒子径分布、すなわちここでは気泡Yの粒子径分布を上述した非対象粒子径分布として算出するものである。具体的にこの非対象粒子径分布算出部52は、粒子判別部51が気泡Yであると認定した粒子それぞれに対して、その画像データから外径を求めて気泡Yの粒子径分布を算出し、この気泡Yの粒子径分布を示すデータを上述した非対象粒子径分布データとして非対象スペクトル算出部22に出力する。
次に、本実施形態に係る粒子径分布測定装置100を用いた粒子径分布の測定方法について、図8を参照しながら説明する。
まず、光散乱式測定機構101の複数の光検出器14により検出された光強度信号が演算装置20に出力されると、図8(a)の左側に示すような実スペクトルが得られる。
この実スペクトルに基づき、測定対象Xの粒子径分布を算出しようとした場合、測定対象Xの屈折率が用いられ、図8(a)の右側に示すような全体粒子径分布が得られる。ここで、説明の便宜上、例えば測定対象Xに起因する分布のピークが1μmに現れ、非対象粒子群(気泡)に起因する分布のピークが10μmに現れたとする。
この実スペクトルに基づき、測定対象Xの粒子径分布を算出しようとした場合、測定対象Xの屈折率が用いられ、図8(a)の右側に示すような全体粒子径分布が得られる。ここで、説明の便宜上、例えば測定対象Xに起因する分布のピークが1μmに現れ、非対象粒子群(気泡)に起因する分布のピークが10μmに現れたとする。
次に、画像式測定機構102により非対象粒子群の粒子径分布を測定すると、図8(b)の右側に示すような非対象粒子径分布が得られる。この非対象粒子径分布のピーク(ここでは9.5μm)は、上述した全体粒子径分布に現れる非対象粒子群に起因するピーク(ここでは10μm)と異なり、この要因は、全体粒子径分布の算出に用いられた屈折率が非対象粒子群のものではなく測定対象Xのものを用いたことにある。
そして、画像式測定機構102により測定された非対象粒子径分布から回折理論及びMIE散乱理論を用いて非対象スペクトルを算出する。この算出には、非対象粒子群の屈折率が用いられる。
そして、画像式測定機構102により測定された非対象粒子径分布から回折理論及びMIE散乱理論を用いて非対象スペクトルを算出する。この算出には、非対象粒子群の屈折率が用いられる。
続いて、実スペクトルから非対象スペクトルの影響分を差し引いて対象スペクトルを算出するのだが、ここではその前に、非対象スペクトルに重み付けをしたものを実スペクトルから差し引いている。具体的には、図8(c)に示すように、測定対象Xに起因して生じる回折/散乱光を検出する光検出器14のチャンネルとは反対側のチャンネルにおいて光強度が一致するように、非対象スペクトルに重み付けしている。つまり、本実施形態のように、測定対象Xが非対象粒子群よりも粒子径が小さい場合、右側(一方側)のチャンネルで検出される回折/散乱光が測定対象Xに起因するものであり、左側(他方側)のチャンネルで検出される回折/散乱光が非対象粒子群に起因するものであるので、左側(他方側)のチャンネルにおいて光強度が一致するように非対象スペクトルの光強度全体に適切な係数(0より大きく1より小さい係数でも良いし、1以上の係数でも良い)を乗じる。
その後、実スペクトルから非対象スペクトルの影響分を差し引いて、図8(d)の左側に示すような対象スペクトルを算出し、この対象スペクトルに基づいて、図8(d)の右側に示すように、測定対象の粒子径分布を算出する。
このように構成された粒子径分布測定装置100によれば、粒子径分布を算出する前段階において、実スペクトルから非対象スペクトルの影響分を差し引いた対象スペクトルを算出するので、この対象スペクトルは、測定対象Xである粒子群に起因する回折/散乱光の光強度スペクトルとなる。従って、この対象スペクトルに基づいて対象粒子径分布を算出することで、仮に非対象粒子群の影響が大きい場合であっても、測定対象Xである粒子群の粒子径分布を精度良く求めることができる。
また、画像式測定機構102が、測定対象Xの屈折率と気泡Yの屈折率との差に起因して現れる画像差に基づき、画像に写された粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを判別するので、判別された気泡Yの粒子径分布は比較的精度が良く、その結果、測定対象Xである粒子群の粒子径分布(対象粒子径分布)を精度良く算出することができる。
さらに、非対象スペクトルに重み付けをしたものを実スペクトルから差し引いて対象スペクトルを算出しており、この重み付けの方法として、測定対象Xに起因して生じる回折/散乱光を検出する光検出器14のチャンネルとは反対側のチャンネルにおいて光強度が一致するように重み付けしているので、対象スペクトルを精度良く求めることができる。
なお、本発明は前記各実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、画像式測定機構102を用いて気泡Yの粒子径分布を算出し、この気泡Yの粒子径分布を非対象粒子径分布としていたが、図9に示すように、演算装置20が非対象粒子径分布を特定する機能を備えていても良い。
具体的にこの演算装置20は、前記実施形態で説明した機能に加えて、図9に示すように、全体粒子径分布算出部25及び非対象粒子径分布特定部26としての機能をさらに備えている。
具体的にこの演算装置20は、前記実施形態で説明した機能に加えて、図9に示すように、全体粒子径分布算出部25及び非対象粒子径分布特定部26としての機能をさらに備えている。
全体粒子径分布算出部25は、実スペクトル取得部21により取得された実スペクトルに基づいて、セル11に収容された粒子群全体、すなわち測定対象Xである粒子群のみならず非対象粒子群をも含む粒子群の粒子径分布(以下、全体粒子径分布という)を、ここでは測定対象Xの屈折率を用いて算出するものである。
非対象粒子径分布特定部26は、全体粒子径分布算出部25により算出された全体粒子径分布のうち非対象粒子径分布を特定するものである。具体的な特定方法としては、図10及び図11に示すように、例えば測定対象Xの粒子径分布である対象粒子径分布が現れるであろう粒子径の測定対象範囲を予め設定しておき、この測定対象範囲外にピークや半値幅を有する分布を非対象粒子径分布として特定する方法が挙げられる。なお、別の特定方法としては、全体粒子径分布算出部25により算出された全体粒子径分布のうちユーザが選択した分布を非対象粒子径分布として受け付けて特定するようにしても良い。この際、ユーザは全体粒子径分布のうちのある特定の粒子径を選択しても構わない。
このように特定された非対象粒子径分布を示す非対象粒子径分布データは、非対象粒子径分布特定部26から非対象スペクトル算出部22に出力され、その後は前記実施形態と同様、非対象粒子径分布データに基づき非対象スペクトルが算出され、この非対象スペクトルを実スペクトルから差し引いた対象スペクトルに基づき対象粒子径分布が算出される。なお、非対象粒子径分布データから非対象スペクトルを算出するにあたっては、上述した全体粒子径分布の算出に用いた屈折率、すなわち測定対象Xの屈折率が用いられる。また、対象スペクトルから対象粒子径分布を算出するにあたっては、測定対象Xの屈折率が用いられる。
このように特定された非対象粒子径分布を示す非対象粒子径分布データは、非対象粒子径分布特定部26から非対象スペクトル算出部22に出力され、その後は前記実施形態と同様、非対象粒子径分布データに基づき非対象スペクトルが算出され、この非対象スペクトルを実スペクトルから差し引いた対象スペクトルに基づき対象粒子径分布が算出される。なお、非対象粒子径分布データから非対象スペクトルを算出するにあたっては、上述した全体粒子径分布の算出に用いた屈折率、すなわち測定対象Xの屈折率が用いられる。また、対象スペクトルから対象粒子径分布を算出するにあたっては、測定対象Xの屈折率が用いられる。
このような構成であれば、画像式測定機構102を不要にすることができ、非対象粒子群を撮像したり、撮像データを画像処理したりすることなく、非対象粒子群の粒子径分布を特定することができるので、装置構成の簡素化や測定時間の短縮化などを図れる。
前記実施形態の粒子判別部51は、画像に写された粒子に対する明領域S1の比率を画像差として、この画像差に基づいて粒子を判別していたが、明領域S1の大きさや明暗を画像差として、この画像差に基づいて粒子を判別しても良い。
明領域S1の大きさを画像差とする場合、粒子判別部51としては、前記実施形態と同様に、明領域S1の大きさと予め設定した閾値とを比較して粒子を判別するように構成されていれば良い。
また、明領域S1の明暗を画像差とする場合、粒子判別部51としては、明領域S1のコントラスト(暗領域S2との差)や輝度や照度と、予め設定した閾値とを比較して粒子を判別するように構成されていれば良い。
明領域S1の大きさを画像差とする場合、粒子判別部51としては、前記実施形態と同様に、明領域S1の大きさと予め設定した閾値とを比較して粒子を判別するように構成されていれば良い。
また、明領域S1の明暗を画像差とする場合、粒子判別部51としては、明領域S1のコントラスト(暗領域S2との差)や輝度や照度と、予め設定した閾値とを比較して粒子を判別するように構成されていれば良い。
さらに、画像式測定機構102としては、光照射装置30が、前記実施形態と同様の平行光を粒子群に照射するとともに、その平行光の光軸に対して傾斜した光軸を有する斜め光を粒子群に照射するように構成されていても良い。
この場合、粒子判別部51としては、粒子を通過する斜め光の屈折に起因して現れる明領域(以下、第2明る領域という)の比率、大きさ、形状、配置、又は明暗の少なくとも一つを画像差として、粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを識別するように構成されていても良い。
なお、第2明領域の形状や配置を画像差とする場合は、例えば粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを示す粒子の種別情報と、粒子の種別ごとに予め定めた第2明領域の基準形状や基準配置を示す基準パターンとを関連付けた関連データを、画像解析装置50のメモリの所定領域に設定された関連データ格納部に予め格納しておく構成が挙げられる。そして、粒子判別部51としては、撮像された粒子に写る第2明領域の実際の形状や実際の配置を示す実パターンと、関連データとして記憶されている基準パターンとを比較して、実パターンに最も近い基準パターンに関連付けられた粒子の種別情報を判断するように構成されていれば良い。
このような構成であれば、斜め光が通過した第2明領域の比率、大きさ、形状、配置、明暗などといった、より多くのパラメータを画像差として用いることができ、粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかをより正しく判別することができる。
この場合、粒子判別部51としては、粒子を通過する斜め光の屈折に起因して現れる明領域(以下、第2明る領域という)の比率、大きさ、形状、配置、又は明暗の少なくとも一つを画像差として、粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを識別するように構成されていても良い。
なお、第2明領域の形状や配置を画像差とする場合は、例えば粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかを示す粒子の種別情報と、粒子の種別ごとに予め定めた第2明領域の基準形状や基準配置を示す基準パターンとを関連付けた関連データを、画像解析装置50のメモリの所定領域に設定された関連データ格納部に予め格納しておく構成が挙げられる。そして、粒子判別部51としては、撮像された粒子に写る第2明領域の実際の形状や実際の配置を示す実パターンと、関連データとして記憶されている基準パターンとを比較して、実パターンに最も近い基準パターンに関連付けられた粒子の種別情報を判断するように構成されていれば良い。
このような構成であれば、斜め光が通過した第2明領域の比率、大きさ、形状、配置、明暗などといった、より多くのパラメータを画像差として用いることができ、粒子が測定対象Xであるか気泡Yであるかをより正しく判別することができる。
さらに、前記実施形態では測定対象X及び気泡Yの何れもが透光性を有する粒子であったが、測定対象又は非測定対象の一方が透光性を有し、他方が透光性を有していない場合、粒子判別部51としては、画像に写された粒子に明暗領域が現れているか否か、つまり明暗領域の有無に基づいて粒子を判別しても良い。
そのうえ、前記実施形態では非測定対象粒子が気泡の場合を説明したが、コンタミ等の異物を非測定対象粒子とする場合などは、粒子判別部51が画像に写された粒子の粒子情報に基づいて、当該粒子が測定対象であるか否かを判別するように構成されていても良い。粒子情報としては、粒子の形状(真球度、アスペクト比、凹凸度等)や、粒子の質感などが挙げられる。
このように、画像式測定機構102を用いれば、画像から得られる粒子情報(形状、質感等)に基づいて、非測定対象粒子の種類を特定できるので、非測定対象粒子の例えば屈折率を正確に選定することができ、非測定対象粒子径分布をより正確に算出することができる。
このように、画像式測定機構102を用いれば、画像から得られる粒子情報(形状、質感等)に基づいて、非測定対象粒子の種類を特定できるので、非測定対象粒子の例えば屈折率を正確に選定することができ、非測定対象粒子径分布をより正確に算出することができる。
前記実施形態では、光散乱式測定機構101で用いられたセル11と画像式測定機構102で用いられたセル11とが同一であることが好ましいと説明したが、セル11に収容された測定対象である粒子群と非対象粒子群との割合が、測定対象の粒子径分布の測定精度を担保できる程度のばらつき内であれば、光散乱式測定機構101と画像式測定機構102とで別のセル11を用いても良い。
前記実施形態の光学素子は、ガラス材料の他、PC(ポリカーボネート)、PS(ポリスチレン)などアッベ数30程度で透過率を有する樹脂製のものであっても良い。
また、画像解析装置が備える機能の一部を演算装置に備えさせても良いし、演算装置が備える機能の一部を画像解析装置に備えさせても良いし、演算装置及び画像解析装置の備える機能を1つの情報処理装置に備えさせても良い。
さらに、前記実施形態の機能の一部を機械学習アルゴリズムにより演算処理する機械学習部により実行させても良い。例えば、粒子判別部51の機能を機械学習部により実行させても良い。機械学習部は、予め取得された複数の画像を用いて機械学習を行い、該機械学習の結果を用いて当該粒子が測定対象Xであるか気泡Y(非対象粒子)であるかを判別する。撮像装置40により得られた画像から、判別すべき粒子を含む画像の一部分を切り出して、機械学習部に入力として受け付けさせればよい。
前記実施形態では、第2の測定機構が画像式測定機構であったが、例えば動的光散乱法や遠心沈降法を測定原理とした測定機構や、ふるいや顕微鏡(具体的には、ラマン顕微鏡など)を利用した測定機構であっても良い。
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。
100・・・粒子径分布測定装置
101・・・光散乱式測定機構
10 ・・・装置本体
20 ・・・演算装置
21 ・・・実スペクトル取得部
22 ・・・非対象スペクトル算出部
23 ・・・非対象スペクトル除去部
24 ・・・対象粒子径分布算出部
102・・・画像式測定機構
30 ・・・光照射装置
40 ・・・撮像装置
50 ・・・画像解析装置
51 ・・・粒子判別部
52 ・・・非対象粒子径分布算出部
X ・・・測定対象
Y ・・・気泡
101・・・光散乱式測定機構
10 ・・・装置本体
20 ・・・演算装置
21 ・・・実スペクトル取得部
22 ・・・非対象スペクトル算出部
23 ・・・非対象スペクトル除去部
24 ・・・対象粒子径分布算出部
102・・・画像式測定機構
30 ・・・光照射装置
40 ・・・撮像装置
50 ・・・画像解析装置
51 ・・・粒子判別部
52 ・・・非対象粒子径分布算出部
X ・・・測定対象
Y ・・・気泡
本発明によれば、測定対象以外の粒子群の影響が大きい場合であっても、測定対象である粒子群の粒子径分布を精度良く求めることができる。
Claims (5)
- セルに収容された測定対象である粒子群に光を照射し、その回折/散乱光の光強度を示す光強度信号に基づいて前記粒子群の粒子径分布を算出する粒子径分布測定装置であって、
前記光強度信号から得られる光強度スペクトルである実スペクトルを取得する実スペクトル取得部と、
前記セルに収容された測定対象ではない非対象粒子群の粒子径分布を示す非対象粒子径分布データを受け付けて、当該非対象粒子径分布データに基づき、前記非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずの光強度スペクトルである非対象スペクトルを算出する非対象スペクトル算出部と、
前記実スペクトルから前記非対象スペクトルの影響分を差し引いた光強度スペクトルである対象スペクトルを算出する非対象スペクトル除去部と、
前記対象スペクトルに基づいて前記測定対象である粒子群の粒子径分布を算出する対象粒子径分布算出部とを備える、粒子径分布測定装置。 - 前記非対象粒子径分布データが、光散乱法とは異なる測定原理を用いて得られたものである、請求項1記載の粒子径分布測定装置。
- 前記実スペクトルから得られる粒子群全体の粒子径分布である全体粒子径分布を算出する全体粒子径分布算出部と、
前記全体粒子径分布及び測定対象外の粒子径範囲に基づいて、前記非対象粒子群の粒子径分布を特定する非対象粒子径分布特定部とをさらに備え、
前記非対象スペクトル算出部が、前記非対象粒子径分布特定部が特定した粒子径分布を前記非対象粒子径分布データとして受け付ける、請求項1記載の粒子径分布測定装置。 - 前記非対象スペクトル算出部が、前記非対象粒子径分布データ及び前記非対象粒子群の屈折率を用いて、前記非対象スペクトルを算出する、請求項1記載の粒子径分布測定装置。
- セルに収容された測定対象である粒子群に光を照射し、その回折/散乱光の光強度を示す光強度信号に基づいて前記粒子群の粒子径分布を算出する粒子径分布測定装置に用いられるプログラムであって、
前記光強度信号から得られる光強度スペクトルである実スペクトルを取得する実スペクトル取得部と、
前記セルに収容された測定対象ではない非対象粒子群の粒子径分布を示す非対象粒子径分布データを受け付けて、当該非対象粒子径分布データに基づき、前記非対象粒子群に光を照射した場合に得られるはずの光強度スペクトルである非対象スペクトルを算出する非対象スペクトル算出部と、
前記実スペクトルから前記非対象スペクトルの影響分を差し引いた光強度スペクトルである対象スペクトルを算出する非対象スペクトル除去部と、
前記対象スペクトルに基づいて前記測定対象である粒子群の粒子径分布を算出する対象粒子径分布算出部としての機能をコンピュータに発揮させる、粒子径分布測定装置用プログラム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018106010 | 2018-06-01 | ||
JP2018106010 | 2018-06-01 | ||
PCT/JP2019/020824 WO2019230624A1 (ja) | 2018-06-01 | 2019-05-27 | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019230624A1 JPWO2019230624A1 (ja) | 2021-07-26 |
JP7223752B2 true JP7223752B2 (ja) | 2023-02-16 |
Family
ID=68698133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020522169A Active JP7223752B2 (ja) | 2018-06-01 | 2019-05-27 | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11448579B2 (ja) |
EP (1) | EP3786611B1 (ja) |
JP (1) | JP7223752B2 (ja) |
WO (1) | WO2019230624A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3739321B1 (de) * | 2019-05-17 | 2023-03-08 | Xtal Concepts GmbH | Qualifizierungsverfahren für kryoelektronenmikroskopie-proben sowie dazugehöriger probenhalter |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008164539A (ja) | 2006-12-29 | 2008-07-17 | Horiba Ltd | 粒子径分布測定装置 |
JP2016048185A (ja) | 2014-08-27 | 2016-04-07 | 株式会社島津製作所 | 気泡径分布測定方法及び気泡径分布測定装置 |
JP2017167081A (ja) | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社島津製作所 | 粒子径分布測定装置、データ処理方法及びデータ処理プログラム |
JP2018004450A (ja) | 2016-07-01 | 2018-01-11 | 株式会社島津製作所 | 気泡径分布測定装置及び気泡径分布測定方法 |
WO2018092462A1 (ja) | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社堀場製作所 | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5229839A (en) * | 1989-10-06 | 1993-07-20 | National Aerospace Laboratory Of Science & Technology Agency | Method and apparatus for measuring the size of a single fine particle and the size distribution of fine particles |
JP6054758B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2016-12-27 | シスメックス株式会社 | 免疫測定方法および免疫測定装置 |
EP4215900A1 (en) | 2015-09-23 | 2023-07-26 | Malvern Panalytical Limited | Particle characterisation |
-
2019
- 2019-05-27 EP EP19811417.5A patent/EP3786611B1/en active Active
- 2019-05-27 US US17/059,050 patent/US11448579B2/en active Active
- 2019-05-27 JP JP2020522169A patent/JP7223752B2/ja active Active
- 2019-05-27 WO PCT/JP2019/020824 patent/WO2019230624A1/ja unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008164539A (ja) | 2006-12-29 | 2008-07-17 | Horiba Ltd | 粒子径分布測定装置 |
JP2016048185A (ja) | 2014-08-27 | 2016-04-07 | 株式会社島津製作所 | 気泡径分布測定方法及び気泡径分布測定装置 |
JP2017167081A (ja) | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 株式会社島津製作所 | 粒子径分布測定装置、データ処理方法及びデータ処理プログラム |
JP2018004450A (ja) | 2016-07-01 | 2018-01-11 | 株式会社島津製作所 | 気泡径分布測定装置及び気泡径分布測定方法 |
WO2018092462A1 (ja) | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社堀場製作所 | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210310926A1 (en) | 2021-10-07 |
EP3786611A1 (en) | 2021-03-03 |
US11448579B2 (en) | 2022-09-20 |
WO2019230624A1 (ja) | 2019-12-05 |
EP3786611B1 (en) | 2023-10-25 |
EP3786611A4 (en) | 2022-01-26 |
JPWO2019230624A1 (ja) | 2021-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10732102B2 (en) | Optical test apparatus and optical test method | |
JP6053506B2 (ja) | 反射特性の測定装置 | |
JP7308823B2 (ja) | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム | |
EP3588061B1 (en) | Optical inspection system and method including accounting for variations of optical path length within a sample | |
JP2006511895A5 (ja) | ||
JP2010133934A (ja) | 2つの測定ユニットを有する表面測定装置 | |
WO2016080442A1 (ja) | 品質評価方法及び品質評価装置 | |
JP6542906B2 (ja) | 少なくとも部分的に透明な物体の表面に関連する表面データおよび/または測定データを決定するための方法および装置 | |
CN109477793B (zh) | 质量评估方法以及质量评估装置 | |
JP7223752B2 (ja) | 粒子径分布測定装置及び粒子径分布測定装置用プログラム | |
JP2018515747A5 (ja) | ||
JP6886464B2 (ja) | 試料媒質の波長依存性屈折率を決定するための光学顕微鏡及び方法 | |
JP2007333409A (ja) | 浮遊粒子測定装置 | |
US10422734B2 (en) | Thermal compensation | |
KR20200041079A (ko) | 초점 심도를 이용한 플랑크톤 검사 장치 및 그 방법 | |
US20240230507A1 (en) | Feature value calculation device, feature value calculation method, and program | |
JP2013122393A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
EP4339591A1 (en) | Feature amount calculation device, feature amount calculation method, and program | |
KR102467300B1 (ko) | 스페클 패턴을 이용한 정밀 탁도 측정 시스템 및 방법 | |
JP2013053919A (ja) | ヘイズ値測定装置及びヘイズ値測定方法 | |
US20240167884A1 (en) | Method and sensor for the optical measurement of measurands of transparent media | |
US20230266229A1 (en) | Flow cytometer, cell sorter, optical information generation method, and program | |
JP6860090B2 (ja) | 分光データ管理装置、測定装置および測定システム | |
WO2023062831A1 (ja) | フローサイトメータ、位置算出方法、及びプログラム | |
KR102139477B1 (ko) | 매질 특성 차이를 이용한 영상 기반의 시료 분석 장치를 이용하여 시료를 측정하고 분석하는 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7223752 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |