JP7219591B2 - light beam direction control element - Google Patents

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Description

本開示は、光線方向制御素子に関する。 The present disclosure relates to light beam steering elements.

近年、スマートフォン、ATM、航空機エンターテイメント用ディスプレイなどにおいて、利用者以外の者に表示内容を見えにくくするため、視野角制御デバイスが利用されるようになっている。このような視野角制御デバイスには、視野角を制御するための遮光パターンが形成され、当該遮光パターンには遮光材料(例えば、電気泳動粒子や黒色インク)等が注入されている(特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art In recent years, viewing angle control devices have been used in smartphones, ATMs, aircraft entertainment displays, etc., in order to make it difficult for people other than the user to see the display content. In such a viewing angle control device, a light shielding pattern for controlling the viewing angle is formed, and a light shielding material (for example, electrophoretic particles or black ink) or the like is injected into the light shielding pattern (Patent Document 1). reference).

米国特許第7751667号明細書U.S. Pat. No. 7,751,667 国際公開第2015/122083号WO2015/122083

視野角制御デバイスの製造において、遮光材料の注入を高速化することが望まれている。本開示は、遮光材料を高速に注入可能な光線方向制御素子を提供することを目的とする。 In the manufacture of viewing angle control devices, it is desired to speed up the injection of the light shielding material. An object of the present disclosure is to provide a beam direction control element capable of injecting a light shielding material at high speed.

上記課題を解決するために、本開示における一態様は以下の構成を採用する。光線方向制御素子は、第1透明基板と、前記第1透明基板に対向して配置された第2透明基板と、前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置された複数の遮光素子と、前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記複数の遮光素子のいずれかに側壁を囲まれた複数の光透過領域と、前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記複数の光透過領域からなる光透過領域パターンの外周を囲み、封止された第1開口部を有する樹脂層と、前記樹脂層の第1開口部を有する面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、遮光素子が注入された第1バッファ領域と、を含むことを特徴とする。 In order to solve the above problems, one aspect of the present disclosure employs the following configuration. The light direction control element includes a first transparent substrate, a second transparent substrate arranged to face the first transparent substrate, and a plurality of light beam direction control elements arranged between the first transparent substrate and the second transparent substrate. a light-shielding element, a plurality of light-transmitting regions disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate and having sidewalls surrounded by any one of the plurality of light-shielding elements; the first transparent substrate and the a resin layer disposed between the second transparent substrate and surrounding the outer periphery of the light-transmitting region pattern composed of the plurality of light-transmitting regions and having a sealed first opening; and the first opening of the resin layer. and a first buffer region in which a light shielding element is implanted and which is sandwiched between the light transmitting region pattern.

本開示によれば、遮光材料を高速に注入可能な光線方向制御素子を提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a beam direction control element capable of injecting a light shielding material at high speed.

実施例1における、狭視野モード(狭視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。2 is a cross-sectional view showing an example of a light beam direction control element in a narrow-field mode (narrow-field state) in Example 1. FIG. 実施例1における、広視野モード(広視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing an example of a light beam direction control element in a wide-field mode (wide-field state) in Example 1. FIG. 実施例1における光線方向制御素子の一例を示す平面図である。4 is a plan view showing an example of a light beam direction control element in Example 1. FIG. 実施例1における光線方向制御素子の一例を示す平面図である。4 is a plan view showing an example of a light beam direction control element in Example 1. FIG. 実施例1における光線方向制御素子の一例を示す平面図である。4 is a plan view showing an example of a light beam direction control element in Example 1. FIG. 実施例1における光線方向制御素子の一例を示す平面図である。4 is a plan view showing an example of a light beam direction control element in Example 1. FIG. 実施例1における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。2 is a plan view showing an example of a light-direction control element before an electrophoresis element is injected in Embodiment 1. FIG. 実施例2における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing an example of a light direction control element before an electrophoresis element is injected in Example 2; 実施例3における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing an example of a light direction control element before an electrophoresis element is injected in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(透明導電膜形成工程)の一例を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing an example of a process (transparent conductive film forming process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(透明導電膜形成工程)の一例を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing an example of a process (transparent conductive film forming process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(感光性樹脂積層工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (photosensitive resin lamination process) of a method for manufacturing a light beam direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(露光光照射工程及び位置制御工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the steps (exposure light irradiation step and position control step) of the method for manufacturing the light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(ダム形成工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (dam forming process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(透明基板設置工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (transparent substrate installation process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(樹脂層形成工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (resin layer forming process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(泳動素子充填工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (electrophoresis element filling process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例4における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an example of a light direction control element before an electrophoresis element is injected in Example 4; 実施例5における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an example of a light-direction control element before an electrophoresis element is injected in Example 5; 実施例6における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an example of a light-direction control element before an electrophoresis element is injected in Example 6; 実施例7における、電気泳動素子が注入される前の光線方向制御素子の一例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an example of a light-direction control element before an electrophoresis element is injected in Embodiment 7; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(樹脂層形成工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (resin layer forming process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(透明基板設置工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (transparent substrate installation process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例3における光線方向制御素子の製造方法の工程(泳動素子充填工程)の一例を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a process (electrophoresis element filling process) of a method for manufacturing a light direction control element in Example 3; 実施例8における狭視野モード(狭視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。FIG. 21 is a cross-sectional view showing an example of a light beam direction control element in a narrow-field mode (narrow-field state) in Example 8;

以下、添付図面を参照して実施形態を説明する。本実施形態は本開示を実現するための一例に過ぎず、本開示の技術的範囲を限定するものではないことに注意すべきである。各図において共通の構成については同一の参照符号が付されている。また、図面に描かれた形状は、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致しない。 Embodiments will be described below with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the present embodiment is merely an example for realizing the present disclosure and does not limit the technical scope of the present disclosure. The same reference numerals are given to the common components in each figure. Also, the shapes depicted in the drawings do not necessarily match the actual dimensions and proportions.

図1は、狭視野モード(狭視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。図2は、広視野モード(広視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a light beam direction control element in a narrow-field mode (narrow-field state). FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a beam direction control element in a wide-field mode (wide-field state).

光線方向制御素子11は、第1の透明基板21、透明導電膜31、光透過領域40、電気泳動素子60、第2の透明基板22、及び透明導電膜32、を含む。透明導電膜31は、第1の透明基板21の表面(主面)21aに形成されている。透明導電膜32は、第2の透明基板22の表面(主面)22aに形成されている。第1の透明基板21と第2の透明基板22は、透明導電膜31の主面31aと透明導電膜32の主面32aとが、対向するよう配置されている。 The light direction control element 11 includes a first transparent substrate 21 , a transparent conductive film 31 , a light transmission region 40 , an electrophoretic element 60 , a second transparent substrate 22 and a transparent conductive film 32 . The transparent conductive film 31 is formed on the surface (main surface) 21 a of the first transparent substrate 21 . The transparent conductive film 32 is formed on the surface (main surface) 22 a of the second transparent substrate 22 . The first transparent substrate 21 and the second transparent substrate 22 are arranged such that the main surface 31a of the transparent conductive film 31 and the main surface 32a of the transparent conductive film 32 face each other.

本開示において、また、表示パネル5及び光線方向制御素子11の主面に垂直な方向をZ軸方向、主面内の垂直な2方向をそれぞれX軸方向及びY軸方向と呼ぶ。Z軸方向は、透明基板及び透明導電膜の積層方向である。 In the present disclosure, the direction perpendicular to the principal planes of the display panel 5 and the beam direction control element 11 is called the Z-axis direction, and the two directions perpendicular to the principal planes are called the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. The Z-axis direction is the lamination direction of the transparent substrate and the transparent conductive film.

電気泳動素子60は、透明導電膜31の主面31a及び透明導電膜32の主面32aに挟まれるようにして配置されている。電気泳動素子60は、電気泳動粒子61(有色)と分散媒62を含む。また、図1及び図2の例では、電気泳動素子60の上面60aの全体が透明導電膜32に接しており、電気泳動素子60の下面60bの全体が透明導電膜31に接している。 The electrophoresis element 60 is arranged so as to be sandwiched between the principal surface 31 a of the transparent conductive film 31 and the principal surface 32 a of the transparent conductive film 32 . The electrophoretic element 60 includes electrophoretic particles 61 (colored) and a dispersion medium 62 . 1 and 2, the entire upper surface 60a of the electrophoretic element 60 is in contact with the transparent conductive film 32, and the entire lower surface 60b of the electrophoretic element 60 is in contact with the transparent conductive film 31. FIG.

透明導電膜31の主面31a上において、光透過領域40と電気泳動素子60が(相互に重なることなく)交互に配置されている。同様に、透明導電膜32の主面32a上において、光透過領域40と電気泳動素子60が(相互に重なることなく)交互に配置されている。 On the main surface 31a of the transparent conductive film 31, the light transmission regions 40 and the electrophoretic elements 60 are alternately arranged (without overlapping each other). Similarly, on the main surface 32a of the transparent conductive film 32, the light transmission regions 40 and the electrophoretic elements 60 are alternately arranged (without overlapping each other).

なお、光透過領域40及び分散媒62の各断面については、見やすくするために、ハッチングを省略して図示する。光透過領域40は、透明導電膜31及び透明導電膜32の空隙に配置されている。 Note that cross-sections of the light transmission region 40 and the dispersion medium 62 are shown without hatching for easy viewing. The light transmission region 40 is arranged in the gap between the transparent conductive films 31 and 32 .

なお、図1に示す狭視野モードは、各光透過領域40の間隙に配された電気泳動素子60中の電気泳動粒子61が分散媒62内に分散することによって実現される。これにより、図面において下から上に透過する光線の広がりは、第1の透明基板21と第2の透明基板22の間の電気泳動素子60によって制限される。その結果、透過前後で比較すると視野角は狭くなり、狭視野モードとなる。 The narrow-field mode shown in FIG. 1 is realized by dispersing the electrophoretic particles 61 in the electrophoretic element 60 arranged between the light transmission regions 40 in the dispersion medium 62 . As a result, the spread of light transmitted from bottom to top in the drawing is restricted by the electrophoretic element 60 between the first transparent substrate 21 and the second transparent substrate 22 . As a result, when compared before and after transmission, the viewing angle becomes narrower, resulting in a narrow viewing mode.

これに対して図2に示す広視野モードは、電気泳動粒子61を透明導電膜31の近傍に集中させることにより実現される。例えば、透明導電膜32に対する透明導電膜31の相対電位を、電気泳動粒子61の表面電荷とは逆の極性とすることで、電気泳動粒子61が透明導電膜31の近傍に集められる。これにより、図面において下から上に透過する光線の広がりは、第1の透明基板21と第2の透明基板22の間の電気泳動粒子61によって制限がほとんどされない。その結果、透過前後で比較すると視野角の差はほとんどなくなり、広視野モードとなる。 On the other hand, the wide-field mode shown in FIG. 2 is realized by concentrating the electrophoretic particles 61 near the transparent conductive film 31 . For example, the electrophoretic particles 61 are gathered in the vicinity of the transparent conductive film 31 by setting the relative potential of the transparent conductive film 31 with respect to the transparent conductive film 32 to a polarity opposite to the surface charge of the electrophoretic particles 61 . As a result, the spread of light transmitted from bottom to top in the drawing is hardly restricted by the electrophoretic particles 61 between the first transparent substrate 21 and the second transparent substrate 22 . As a result, there is almost no difference in viewing angle when compared before and after transmission, and the wide viewing mode is established.

すなわち、電気泳動粒子61の表面電荷が負電荷(-)の場合には、透明導電膜31を正極とする。また、電気泳動粒子61の表面電荷が正電荷(+)の場合には、透明導電膜31を負極とする。 That is, when the surface charge of the electrophoretic particles 61 is negative (-), the transparent conductive film 31 is used as the positive electrode. When the surface charge of the electrophoretic particles 61 is positive (+), the transparent conductive film 31 is used as the negative electrode.

これ以降では、電気泳動粒子61の表面電荷が負電荷(-)の場合における構成内容を説明する。電気泳動粒子61の表面電荷が正電荷(+)の場合においても、透明導電膜の極性を逆にすることにより、同様に対応可能である。 Hereinafter, the configuration contents in the case where the surface charges of the electrophoretic particles 61 are negative (-) will be described. Even when the surface charge of the electrophoretic particles 61 is positive (+), it can be handled similarly by reversing the polarity of the transparent conductive film.

透明導電膜31は第1の透明基板21の主面21aを覆うように配置されている。同様に、透明導電膜32は第2の透明基板22の主面22aを覆うように配置されている。但し、透明導電膜31及び透明導電膜32の電気泳動素子60と接しない部分に開口部が設けられていてもよい。つまり、この場合、当該開口部に光透過領域40が配置される。さらに、透明導電膜31の開口部において第1の透明基板21の主面21aと光透過領域40が接し、透明導電膜32の開口部において第2の透明基板22の主面22aと光透過領域40が接する。 The transparent conductive film 31 is arranged so as to cover the main surface 21a of the first transparent substrate 21 . Similarly, the transparent conductive film 32 is arranged so as to cover the main surface 22a of the second transparent substrate 22 . However, openings may be provided in portions of the transparent conductive films 31 and 32 that are not in contact with the electrophoretic element 60 . That is, in this case, the light transmission region 40 is arranged in the opening. Further, the main surface 21a of the first transparent substrate 21 and the light transmission region 40 are in contact with each other at the opening of the transparent conductive film 31, and the main surface 22a of the second transparent substrate 22 and the light transmission region 40 are in contact with each other at the opening of the transparent conductive film 32. 40 touches.

次に、光線方向制御素子11の構成内容を、図1に基づいて、より詳細に説明する。第1の透明基板21は、例えば、ガラス基板製、PET(Poly Ethylene Terephthalate)製、PC(Poly Carbonate)製、PEN(Poly Ethylene Naphthalate)製、又はCOT(Cyclo Olefin Polymer)製である。第2の透明基板22についても同様である。 Next, the configuration of the beam direction control element 11 will be described in more detail with reference to FIG. The first transparent substrate 21 is made of, for example, a glass substrate, PET (Poly Ethylene Terephthalate), PC (Poly Carbonate), PEN (Poly Ethylene Naphthalate), or COT (Cyclo Olefin Polymer). The same applies to the second transparent substrate 22 as well.

透明導電膜31の膜厚は、10[nm]から1000[nm]の範囲内が適当であり、本実施例では50[nm]である。また、透明導電膜31の構成材料としては、ITO(Indium Tin Oxide)、ZnO、又はIGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)又は導電性ナノワイヤ等を採用することができ、本実施例ではITOである。透明導電膜32についても同様である。 The film thickness of the transparent conductive film 31 is suitably within the range of 10 [nm] to 1000 [nm], and is 50 [nm] in this embodiment. As a constituent material of the transparent conductive film 31, ITO (Indium Tin Oxide), ZnO, IGZO (Indium Gallium Zinc Oxide), conductive nanowires, or the like can be employed, and ITO is used in this embodiment. The same applies to the transparent conductive film 32 as well.

光透過領域40の高さは、3[μm]~300[μm]の範囲が好適であり、本実施例では、60[μm]である。また、光透過領域40の幅(光透過パターン幅)は、1[μm]~150[μm]の範囲が好適であり、本実施例では、20[μm]である。さらに、光透過領域40の相互間の幅は、0.25[μm]~40[μm]の範囲が好適であり、本実施例では、5[μm]である。 The height of the light transmission region 40 is preferably in the range of 3 [μm] to 300 [μm], and is 60 [μm] in this embodiment. The width of the light transmission region 40 (light transmission pattern width) is preferably in the range of 1 [μm] to 150 [μm], and is 20 [μm] in this embodiment. Furthermore, the width between the light transmission regions 40 is preferably in the range of 0.25 [μm] to 40 [μm], and is 5 [μm] in this embodiment.

各光透過領域40の相互間には、上記の通り、電気泳動粒子61と分散媒62との混合物である電気泳動素子60が配置されている。 The electrophoretic elements 60, which are a mixture of the electrophoretic particles 61 and the dispersion medium 62, are arranged between the light transmitting regions 40, as described above.

次いで、各光透過領域40と電気泳動素子60との配置例として、図3乃至図6に示した4つの例を説明する。図3乃至図6は、光線方向制御素子11の平面図の一例である。図3乃至図6においては、透明導電膜32及び第2の透明基板22の図示を省略している。また、図3乃至図6においては後述する樹脂層についても省略している。 Next, four examples shown in FIGS. 3 to 6 will be described as layout examples of the light transmission regions 40 and the electrophoretic elements 60. FIG. 3 to 6 are examples of plan views of the beam direction control element 11. FIG. 3 to 6, illustration of the transparent conductive film 32 and the second transparent substrate 22 is omitted. 3 to 6, a resin layer, which will be described later, is also omitted.

図3の第1の正方形パターンの構造の例(第1例)は、正方形の光透過領域40が格子配置された平面形状である。また、電気泳動素子60(透明導電膜31~32)が複数の光透過領域40の隙間を埋める。第1例において、光線方向制御素子11は、各光透過領域40の幅に相当する光透過パターン幅41aと光透過パターン幅42aとが等しくなるように形成され、電気泳動素子60の幅(光透過領域40の相互間の幅)に相当する遮光パターン幅41bと遮光パターン幅42bとも等しくなるように形成されている。 An example (first example) of the structure of the first square pattern in FIG. 3 has a planar shape in which square light-transmitting regions 40 are arranged in a lattice. Also, the electrophoretic elements 60 (the transparent conductive films 31 and 32) fill the gaps between the plurality of light transmitting regions 40. FIG. In the first example, the light beam direction control element 11 is formed so that the light transmission pattern width 41a corresponding to the width of each light transmission region 40 is equal to the light transmission pattern width 42a, and the width of the electrophoretic element 60 (light The light shielding pattern width 41b and the light shielding pattern width 42b corresponding to the width between the transmissive regions 40 are also formed to be equal.

図4の第2の正方形パターンの構造の例(第2例)は、正方形の光透過領域40が千鳥配置された平面形状である。また、電気泳動素子60(透明導電膜31~32)が複数の光透過領域40の隙間を埋める。光線方向制御素子11は、各光透過領域40の幅に相当する光透過パターン幅41aと光透過パターン幅42aとが等しくなるように形成され、電気泳動素子60の幅(光透過領域40の相互間の幅)に相当する遮光パターン幅41bと遮光パターン幅42bとも等しくなるように形成されている。 An example (second example) of the structure of the second square pattern in FIG. 4 has a planar shape in which square light transmission regions 40 are arranged in a staggered manner. Also, the electrophoretic elements 60 (the transparent conductive films 31 and 32) fill the gaps between the plurality of light transmitting regions 40. FIG. The light beam direction control element 11 is formed such that the light transmission pattern width 41a corresponding to the width of each light transmission region 40 and the light transmission pattern width 42a are equal to each other, and the width of the electrophoresis element 60 (the mutual width of the light transmission regions 40) is equal. The light shielding pattern width 41b and the light shielding pattern width 42b corresponding to the width between the light shielding patterns are also formed to be equal.

図5の長方形パターンの構造の例(第3例)は、長方形の光透過領域40が千鳥配置された平面形状である。また、電気泳動素子60(透明導電膜31~32)が複数の光透過領域40の隙間を埋める。第3例において、光線方向制御素子11は、光透過パターン幅41aよりも光透過パターン幅42aの方が長くなるように形成されている。一方で、遮光パターン幅41b、遮光パターン幅42bの長さは、等しくなるように形成されている。 The example (third example) of the structure of the rectangular pattern in FIG. 5 has a planar shape in which rectangular light-transmitting regions 40 are arranged in a staggered manner. Also, the electrophoretic elements 60 (the transparent conductive films 31 and 32) fill the gaps between the plurality of light transmitting regions 40. FIG. In the third example, the beam direction control element 11 is formed such that the light transmission pattern width 42a is longer than the light transmission pattern width 41a. On the other hand, the light shielding pattern width 41b and the light shielding pattern width 42b are formed to have the same length.

図6のストライプパターンの構造の例(第4例)は、光透過領域40及び電気泳動素子60(透明導電膜31~32)の平面形状が、ストライプ状を成している。第4例において、光線方向制御素子11は、各光透過領域40による光透過パターン幅41aと、電気泳動素子60の遮光パターン幅41bとが、交互に連続するように配置されている。なおストライプパターンの場合、複数の透明導電膜31~32は、図示しない外部で電気的に接続され、駆動を行う。 In the example (fourth example) of the stripe pattern structure shown in FIG. 6, the plane shape of the light transmission region 40 and the electrophoresis element 60 (the transparent conductive films 31 and 32) forms a stripe shape. In the fourth example, the light direction control element 11 is arranged such that the light transmission pattern width 41a of each light transmission region 40 and the light shielding pattern width 41b of the electrophoresis element 60 are alternately continuous. In the case of the stripe pattern, the plurality of transparent conductive films 31 and 32 are electrically connected outside (not shown) and driven.

なお、第1例から第4例のいずれの場合にも、光線方向制御素子11の高い透過率を実現するために、遮光パターン幅41bを1としたとき、光透過パターン幅41aとの比は3倍以上(好ましくは4倍以上)である必要がある(遮光パターン幅41b/光透過パターン幅41a≧1/3(好ましくは1/4))。同様に、遮光パターン幅42bを1としたとき、光透過パターン幅42aとの比は3倍以上(好ましくは4倍以上)である必要がある(すなわち、遮光パターン幅42b/光透過パターン幅42a≧1/3(好ましくは1/4)である)。 In any of the first to fourth examples, in order to realize a high transmittance of the light beam direction control element 11, when the light blocking pattern width 41b is set to 1, the ratio of the light transmitting pattern width 41a to the light transmitting pattern width 41a is It should be three times or more (preferably four times or more) (light shielding pattern width 41b/light transmission pattern width 41a≧1/3 (preferably 1/4)). Similarly, when the light-shielding pattern width 42b is 1, the ratio of the light-transmitting pattern width 42a needs to be 3 times or more (preferably 4 times or more) (that is, light-shielding pattern width 42b/light-transmitting pattern width 42a > 1/3 (preferably 1/4).

詳細は後述するが、光線方向制御素子11の製造工程において、まず、透明導電膜31が積層された第1の透明基板21上の光透過領域40が形成される。光透過領域40の表面上に透明導電膜32を備えた第2の透明基板22を設置する。そして、光透過領域40からなるパターンの外周を覆うように注入孔を備えた樹脂層が形成される。最後に、樹脂層の注入孔から電気泳動素子60が、例えば、真空注入、又は大気圧下での毛細管現象を用いた注入等によって、注入される。その後、注入孔は封止される。 Although the details will be described later, in the manufacturing process of the light direction control element 11, first, the light transmission region 40 is formed on the first transparent substrate 21 on which the transparent conductive film 31 is laminated. A second transparent substrate 22 having a transparent conductive film 32 is placed on the surface of the light transmission region 40 . Then, a resin layer having an injection hole is formed so as to cover the outer periphery of the pattern composed of the light transmission regions 40 . Finally, the electrophoresis element 60 is injected from the injection hole of the resin layer by, for example, vacuum injection or injection using capillary action under atmospheric pressure. The injection hole is then sealed.

ここで、図3乃至図6において、電気泳動素子60がまだ注入されていない状態において、開口部63のみから電気泳動素子60が注入される状況を仮定する。図3乃至図6における光線方向制御素子11内における矢印は、当該仮定における電気泳動素子60の注入の流れを示す。 Here, in FIGS. 3 to 6, it is assumed that the electrophoretic element 60 is injected only through the opening 63 while the electrophoretic element 60 has not yet been injected. The arrows in the beam steering element 11 in FIGS. 3-6 indicate the injection flow of the electrophoretic element 60 in this assumption.

図6の例においては、Y軸方向への電気泳動素子60の注入自体が不可能である。また、図3乃至図5の例において、遮光パターン幅に対し、光透過パターン幅の比が3倍以上あるため、X軸方向への電気泳動素子60の注入速度より、Y軸方向への電気泳動素子60の注入速度が遅い。 In the example of FIG. 6, the injection itself of the electrophoresis element 60 in the Y-axis direction is impossible. In the examples of FIGS. 3 to 5, since the ratio of the width of the light-transmitting pattern to the width of the light-shielding pattern is three times or more, the injection speed of the electrophoretic element 60 in the X-axis direction reduces the electricity flow in the Y-axis direction. The injection speed of the migration element 60 is slow.

以下、図7を用いて、電気泳動素子60の注入を高速に行うための構成について説明する。図7は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。図7において、透明導電膜32及び第2の透明基板22の図示を省略している。また、図7において、光透過領域40のパターンは前述した第1の正方形パターン(第1例)であるが、他のパターン(例えば、前述した第2例、第3例、又は第4例)であってもよい。また、図7において、矢印は、後述する注入孔から電気泳動素子60が注入された場合における電気泳動素子60の流れを示す。また、図7において、縦方向がX軸方向、横方向がY軸方向である。これらは、後述する、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す他の平面図についても同様である。 A configuration for performing high-speed injection of the electrophoretic element 60 will be described below with reference to FIG. FIG. 7 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In FIG. 7, illustration of the transparent conductive film 32 and the second transparent substrate 22 is omitted. Also, in FIG. 7, the pattern of the light transmission region 40 is the above-described first square pattern (first example), but other patterns (for example, the above-described second, third, or fourth example). may be Also, in FIG. 7, arrows indicate the flow of the electrophoresis element 60 when the electrophoresis element 60 is injected through an injection hole, which will be described later. In FIG. 7, the vertical direction is the X-axis direction, and the horizontal direction is the Y-axis direction. The same applies to other plan views showing an example of the light direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected, which will be described later.

以下、光透過領域40のパターンにおける光透過領域40間の隙間の電気泳動素子60が注入される領域を、電気泳動素子注入領域とも呼ぶ。 Hereinafter, a region in which the electrophoretic element 60 is injected into the gap between the light-transmitting regions 40 in the pattern of the light-transmitting regions 40 will also be referred to as an electrophoretic element injection region.

図7の例において、光線方向制御素子11は、光透過領域40からなる第1の正方形パターンの外周を囲む樹脂層80を含む。樹脂層80は、電気泳動素子60を注入するための注入孔81を備える。注入孔81の幅は例えば、1~10[mm]程度であり、好ましくは5[mm]以下である。樹脂層80の構成材料として、例えば、エポキシ樹脂を採用することができる。なお、樹脂層80の注入孔81が設けられた面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間には空隙であるバッファ領域90が設けられている。バッファ領域90のX軸方向の幅は、光透過パターン幅41aの10~1000倍程度であることが望ましく、例えば、1~10[mm]程度である。 In the example of FIG. 7 , the light direction control element 11 includes a resin layer 80 surrounding the outer periphery of the first square pattern of light transmission areas 40 . The resin layer 80 has an injection hole 81 for injecting the electrophoresis element 60 . The width of the injection hole 81 is, for example, about 1 to 10 [mm], preferably 5 [mm] or less. Epoxy resin, for example, can be used as a constituent material of the resin layer 80 . A buffer region 90 that is a gap is provided between the surface of the resin layer 80 on which the injection hole 81 is provided and the first square pattern of the light transmission region 40 . The width of the buffer region 90 in the X-axis direction is desirably about 10 to 1000 times the light transmission pattern width 41a, for example, about 1 to 10 [mm].

注入孔81から電気泳動素子60が注入されると、電気泳動素子60はバッファ領域90においてY軸方向に広がる。その後、電気泳動素子60は、電気泳動素子注入領域のバッファ領域90と接する部分から、電気泳動素子注入領域のX軸方向へと広がる。バッファ領域90は、遮光パターン幅と比較して十分に大きい幅を有するため、バッファ領域90における電気泳動素子60がY軸方向に広がる速度は、電気泳動素子注入領域において電気泳動素子60がY軸方向に広がる速度より十分高い。 When the electrophoresis element 60 is injected from the injection hole 81 , the electrophoresis element 60 spreads in the buffer region 90 in the Y-axis direction. After that, the electrophoresis element 60 spreads in the X-axis direction of the electrophoresis element injection region from the portion of the electrophoresis element injection region in contact with the buffer region 90 . Since the buffer region 90 has a sufficiently large width compared to the width of the light-shielding pattern, the speed at which the electrophoretic element 60 spreads in the Y-axis direction in the buffer region 90 is the same as the speed at which the electrophoretic element 60 spreads in the Y-axis direction in the electrophoretic element injection region. Sufficiently higher than the spreading speed in the direction.

従って、バッファ領域90が存在しない(即ち樹脂層80の注入孔81を有する面が第1の正方形パターンと接している)場合と比較して、電気泳動素子60の電気泳動素子注入領域全体への注入速度が向上する。 Therefore, compared to the case where the buffer region 90 does not exist (that is, the surface of the resin layer 80 having the injection hole 81 is in contact with the first square pattern), the electrophoresis element 60 is injected into the entire electrophoresis element injection area. Increases injection speed.

なお、図7の例では、バッファ領域90は、樹脂層80の注入孔81を備える面全体と接しているが、当該面の一部のみ(但し、バッファ領域90は注入孔81と接している)と接していてもよい。この場合、バッファ領域90のY軸方向の幅は、遮光パターン幅の10倍以上であることが望ましい。また、図7の例では、注入孔81はY軸方向の略中央部に設けられているが、バッファ領域90と接していれば、他の位置に設けられていてもよい。 In the example of FIG. 7, the buffer region 90 is in contact with the entire surface of the resin layer 80 having the injection hole 81, but only a portion of the surface (however, the buffer region 90 is in contact with the injection hole 81). ). In this case, the width of the buffer region 90 in the Y-axis direction is preferably ten times or more the width of the light-shielding pattern. In addition, in the example of FIG. 7 , the injection hole 81 is provided substantially at the center in the Y-axis direction, but may be provided at another position as long as it is in contact with the buffer region 90 .

なお、電気泳動素子注入領域及びバッファ領域90が、電気泳動素子60で満たされたら、注入孔81は、例えば、樹脂層80と同じ素材で封止される。注入孔81の数及び幅を大きくすれば、電気泳動素子60の注入速度は上がるが、封止工程における不良発生を抑制するために、注入孔81の数が少なく(例えば1個)、かつ幅は前述の通り5[mm]以下であることが好ましい。 After the electrophoresis element injection region and the buffer region 90 are filled with the electrophoresis element 60, the injection hole 81 is sealed with the same material as the resin layer 80, for example. If the number and width of the injection holes 81 are increased, the injection speed of the electrophoresis element 60 is increased. is preferably 5 [mm] or less as described above.

なお、本実施例では、狭視野モードと広視野モードとを切り替え可能な光線方向制御素子11について説明したが、光線方向制御素子11は、狭視野モードのみが実現可能なものであってもよい。この場合、例えば、光線方向制御素子11には、電気泳動素子60の代わりに遮光材料として黒色インク等が注入されている。また、光線方向制御素子11は、透明導電膜31及び透明導電膜32を有していなくてもよい。 In this embodiment, the light beam direction control element 11 capable of switching between the narrow-field mode and the wide-field mode has been described, but the light-direction control element 11 may be capable of realizing only the narrow-field mode. . In this case, for example, instead of the electrophoretic element 60, black ink or the like is injected into the light direction control element 11 as a light shielding material. Also, the light direction control element 11 may not have the transparent conductive film 31 and the transparent conductive film 32 .

実施例1との相違点を説明する。図8は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、樹脂層80は、注入孔81を有する面に対向する面において、排気孔82を備える。また、樹脂層80の排気孔82が設けられた面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間には空隙であるバッファ領域91が、さらに設けられている。バッファ領域91のX軸方向の幅は、例えば、バッファ領域90と同様に、1~10[mm]程度である。 Differences from the first embodiment will be described. FIG. 8 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the resin layer 80 has an exhaust hole 82 on the surface opposite to the surface having the injection hole 81 . A buffer region 91, which is a gap, is further provided between the surface of the resin layer 80 on which the exhaust holes 82 are provided and the first square pattern of the light transmission region 40. As shown in FIG. The width of the buffer area 91 in the X-axis direction is, for example, about 1 to 10 mm, like the buffer area 90 .

これにより、電気泳動素子60の注入時に電気泳動素子注入領域に空気が残存していた場合であっても、バッファ領域91を経由して排気孔82から排気される。従って、本実施例においては、電気泳動素子注入領域全体に電気泳動素子60を万遍なく注入することができる。なお、電気泳動素子60は、電気泳動素子注入領域の全体へと広がった後、バッファ領域91全体に広がる。 As a result, even if air remains in the electrophoresis element injection area when the electrophoresis element 60 is injected, the air is exhausted from the exhaust hole 82 via the buffer area 91 . Therefore, in this embodiment, the electrophoretic elements 60 can be evenly injected into the entire electrophoretic element injection region. The electrophoresis element 60 spreads over the entire buffer area 91 after spreading over the entire electrophoresis element injection region.

なお、図8の例では、排気孔82は、樹脂層80の注入孔81を有する面に対向する面に設けられているが、注入孔81を有する面以外の他の面に設けられていてもよい。この場合、当該他の面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間にバッファ領域91が設けられる。また、排気孔82はY軸方向の略中央部に設けられているが、バッファ領域91と接していれば、他の位置に設けられていてもよい。 In the example of FIG. 8, the exhaust hole 82 is provided on the surface of the resin layer 80 facing the surface having the injection hole 81, but it is provided on a surface other than the surface having the injection hole 81. good too. In this case, a buffer region 91 is provided between the other surface and the first square pattern of light transmission regions 40 . Also, although the exhaust hole 82 is provided substantially in the center in the Y-axis direction, it may be provided at another position as long as it is in contact with the buffer area 91 .

実施例2との相違点を説明する。図9は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、光線方向制御素子11は、樹脂層80の注入孔81及び排気孔82を有しない面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間にダム85を有する。ダム85の幅は、光透過パターン幅41aと同等かそれ以上、好ましくは5倍以上である。 Differences from the second embodiment will be described. FIG. 9 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the beam direction control element 11 has a dam 85 between the surface of the resin layer 80 having no injection holes 81 and exhaust holes 82 and the first square pattern of the light transmission regions 40 . The width of the dam 85 is equal to or greater than the light transmission pattern width 41a, preferably five times or more.

ダム85の構成材料は、例えば、感光性樹脂等である。ダム85の構成材料は、光透過領域40の構成材料と同じであってもよい。ダム85によって樹脂層80の樹脂がせき止められ、電気泳動素子注入領域への樹脂の侵入を防止することができ、さらに狭額縁化が可能となる。 A constituent material of the dam 85 is, for example, a photosensitive resin or the like. The constituent material of the dam 85 may be the same as the constituent material of the light transmission region 40 . The resin of the resin layer 80 is dammed up by the dam 85, so that the resin can be prevented from entering the electrophoretic element injection region, and further narrowing of the frame becomes possible.

以下、本実施例における光線方向制御素子11の製造方法の各工程を例示する、図10A乃至図10Gに基づいて説明する。まず、図10Aのように、第1の透明基板21の表面(主面)に透明導電膜31を形成(透明導電膜形成工程)する。次いで、図10Bのように、透明導電膜31が形成された第1の透明基板21の主面側に、ネガ型のフォトレジスト膜として透明感光性樹脂層41を積層して形成する(感光性樹脂積層工程)。なお、透明感光性樹脂層41は、後述する透過領域形成工程を経て光透過領域40となる部材である。 10A to 10G illustrating each step of the manufacturing method of the light beam direction control element 11 according to the present embodiment. First, as shown in FIG. 10A, the transparent conductive film 31 is formed on the surface (principal surface) of the first transparent substrate 21 (transparent conductive film forming step). Next, as shown in FIG. 10B, a transparent photosensitive resin layer 41 is laminated as a negative photoresist film on the main surface side of the first transparent substrate 21 on which the transparent conductive film 31 is formed (photosensitive resin layer 41). resin lamination process). In addition, the transparent photosensitive resin layer 41 is a member that becomes the light transmission region 40 through a transmission region forming process described later.

次に、図10Cのように、マスクパターン71を備えたフォトマスク70を通して、透明感光性樹脂層41に露光光75を照射することにより、透明感光性樹脂層41を露光する(露光光照射工程)。この露光光照射工程に際しては、マスクパターン71の位置が、電気泳動素子60が注入される領域となるように、第1の透明基板21とフォトマスク70に形成された目合わせマーク(図示せず)を利用し、フォトマスク70と第1の透明基板21との位置を調整する制御を行う(位置制御工程)。 Next, as shown in FIG. 10C, the transparent photosensitive resin layer 41 is exposed by irradiating the transparent photosensitive resin layer 41 with exposure light 75 through a photomask 70 having a mask pattern 71 (exposure light irradiation step). ). In this exposure light irradiation step, alignment marks (not shown) formed on the first transparent substrate 21 and the photomask 70 are aligned so that the position of the mask pattern 71 corresponds to the region into which the electrophoretic element 60 is injected. ) to control the positions of the photomask 70 and the first transparent substrate 21 (position control step).

次いで、露光された透明感光性樹脂層41に対して現像処理を施すことにより、図10Dに示すような、互いに離間した複数の光透過領域40を形成する(透過領域形成工程)。 Then, the exposed transparent photosensitive resin layer 41 is developed to form a plurality of light transmission regions 40 separated from each other as shown in FIG. 10D (transmission region forming step).

続いて、図10Eのように、第1の透明基板21上、かつ光透過領域40の外側にダム85を形成する(ダム形成工程)。なお、ダム85の構成材料が光透過領域40の構成材料と同じ場合には、位置制御工程及び透過領域形成工程によって、光透過領域40とダム85を同時に形成してもよい。 Subsequently, as shown in FIG. 10E, a dam 85 is formed on the first transparent substrate 21 and outside the light transmitting region 40 (dam forming step). If the material of the dam 85 is the same as that of the light transmission region 40, the light transmission region 40 and the dam 85 may be formed at the same time by the position control step and the transmission region forming step.

続いて、図10Fのように、光透過領域40の表面上に、透明導電膜32を備えた第2の透明基板22を設置する(透明基板設置工程)。 Subsequently, as shown in FIG. 10F, the second transparent substrate 22 having the transparent conductive film 32 is installed on the surface of the light transmission region 40 (transparent substrate installation step).

続いて、図10Gのように、バッファ領域(本実施例においては、バッファ領域90及びバッファ領域91)を確保した上で、ダム85の外周に沿って、樹脂層80を形成する(樹脂層形成工程)。この際、本実施例では、注入孔81と排気孔82に該当する部分には樹脂層80を形成しないようにする。 Subsequently, as shown in FIG. 10G, after securing a buffer region (buffer region 90 and buffer region 91 in this embodiment), a resin layer 80 is formed along the outer periphery of the dam 85 (resin layer formation). process). At this time, in this embodiment, the resin layer 80 is not formed in the portions corresponding to the injection hole 81 and the exhaust hole 82 .

そして、図10Hのように、透明導電膜31と光透過領域40と透明導電膜32とで形成された空隙に、電気泳動素子60を充填する(泳動素子充填工程)。 Then, as shown in FIG. 10H, the gap formed by the transparent conductive film 31, the light transmission region 40, and the transparent conductive film 32 is filled with the electrophoretic element 60 (electrophoretic element filling step).

この図10A~図10Gに基づく上記説明では、透明基板設置工程に続いて泳動素子充填工程を実行するという方法を示したが、この2つの工程については、順番を逆にしても、同様に光線方向制御素子11を製造することができる。 In the above description based on FIGS. 10A to 10G, the method in which the transparent substrate installation step is followed by the migration element filling step is shown. The directional control element 11 can be manufactured.

すなわち、図10A乃至図10Eに基づく説明と同様に実施した後、光透過領域40の間に電気泳動素子60を充填する泳動素子充填工程を、透明基板設置工程に先立って実行し、その後に、光透過領域40及び電気泳動素子60の表面上に透明導電膜32を備えた第2の透明基板22を設置する透明基板設置工程を実施してもよい。 10A to 10E, the electrophoresis element filling step of filling the electrophoresis element 60 between the light transmission regions 40 is executed prior to the transparent substrate installation step, and then, A transparent substrate installation process may be performed to install the second transparent substrate 22 having the transparent conductive film 32 on the surfaces of the light transmission region 40 and the electrophoresis element 60 .

また、第2の透明基板22の設置に続いて樹脂層80を形成するという方法を示したが、この2つの工程についても、順番を逆にしても、同様に光線方向制御素子11を製造することができる。 In addition, although the method of forming the resin layer 80 following the placement of the second transparent substrate 22 has been shown, the light direction control element 11 can be similarly manufactured by reversing the order of these two steps. be able to.

すなわち、図10A乃至図10Eの工程を実施した後、図15Aに示すように、ダム85の外側に樹脂層80を形成する樹脂層形成工程を、透明基板設置工程に先立って実行する。その後に、図15Bに示すように、光透過領域40及びダム85及び樹脂層80の表面上に透明導電膜32を備えた第2の透明基板22を設置する透明基板設置工程を実行する。その後に、図15Cのように、透明導電膜31と光透過領域40と透明導電膜32とで形成された空隙に、電気泳動素子60を充填する泳動素子充填工程を実行してもよい。 10A to 10E, a resin layer forming step for forming a resin layer 80 on the outside of the dam 85 is performed prior to the transparent substrate installing step, as shown in FIG. 15A. After that, as shown in FIG. 15B, a transparent substrate installation step is performed to install the second transparent substrate 22 having the transparent conductive film 32 on the surfaces of the light transmission region 40, the dam 85, and the resin layer 80. FIG. After that, as shown in FIG. 15C, an electrophoresis element filling step of filling the electrophoresis element 60 into the gap formed by the transparent conductive film 31, the light transmission region 40, and the transparent conductive film 32 may be performed.

ここで、上記露光に用いる露光光75は、積層方向(透明感光性樹脂層41等を積層する方向)に対する平行光である。また、この露光光75の光源としては、UV光源を用いており、本実施例における上記露光光照射工程では、例えば、波長365[nm]のUV光を露光光75として照射する。 Here, the exposure light 75 used for the exposure is parallel light with respect to the stacking direction (the direction in which the transparent photosensitive resin layer 41 and the like are stacked). A UV light source is used as a light source for the exposure light 75 , and UV light with a wavelength of 365 [nm], for example, is used as the exposure light 75 in the exposure light irradiation step in this embodiment.

この照射に際しての露光量は、100[mJ/cm]~1000[mJ/cm]の範囲が好適であり、本実施例では、露光光75の露光量は200[mJ/cm]である。 The exposure amount for this irradiation is preferably in the range of 100 [mJ/cm 2 ] to 1000 [mJ/cm 2 ], and in this embodiment, the exposure amount of the exposure light 75 is 200 [mJ/cm 2 ]. be.

なお、露光光照射工程における透明感光性樹脂層41の形成方法としては、例えば、スリットダイコータ、ワイヤコータ、アプリケータ、ドライフィルム転写、スプレイ塗布、又はスクリーン印刷等といった成膜方法のいずれかを用いることができる。こうした成膜方法により、本実施例では、30[μm]~300[μm]の範囲内が妥当である透明感光性樹脂層41の厚さを、60[μm]となるように形成した。 As a method for forming the transparent photosensitive resin layer 41 in the exposure light irradiation step, for example, any film forming method such as a slit die coater, wire coater, applicator, dry film transfer, spray coating, or screen printing may be used. can be done. By such a film forming method, in this embodiment, the thickness of the transparent photosensitive resin layer 41, which is appropriately within the range of 30 [μm] to 300 [μm], was formed to be 60 [μm].

また、透明感光性樹脂層41に用いる透明感光性樹脂としては、例えば、化薬マイクロケム(Microchem)社の化学増幅型フォトレジスト(商品名「SU-8」)を採用することができる。この透明感光性樹脂の特徴は、次のとおりである。 As the transparent photosensitive resin used for the transparent photosensitive resin layer 41, for example, a chemically amplified photoresist (trade name “SU-8”) manufactured by Kayaku Microchem can be used. The features of this transparent photosensitive resin are as follows.

第1の特徴は、紫外線を照射することにより光開始剤が酸を発生し、このプロトン酸を触媒として硬化性モノマーを重合させるエポキシ系(具体的にはビスフェノールAノボラックのグリシジルエーテル誘導体)のネガレジストであるという点にある。第2の特徴は、可視光領域において、非常に透明性の高い特性を有しているという点である。 The first feature is that the photoinitiator generates an acid when irradiated with ultraviolet rays, and the protonic acid is used as a catalyst to polymerize a curable monomer. The point is that it is a resist. The second feature is that it has very high transparency in the visible light region.

第3の特徴としては、透明感光性樹脂に含まれる硬化性モノマーは、硬化前の分子量が比較的小さいため、シクロペンタノンやプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PEGMEA)、ガンマブチルラクトン(GBL)、イソブチルケトン(MIBK)などの溶媒に非常に良く溶けることから、厚膜形成が容易であるという点が挙げられる。 As a third feature, the curable monomer contained in the transparent photosensitive resin has a relatively small molecular weight before curing, so cyclopentanone, propylene glycol methyl ether acetate (PEGMEA), gamma butyl lactone (GBL), isobutyl Since it dissolves very well in solvents such as ketone (MIBK), it is easy to form a thick film.

第4の特徴は、近紫外領域の波長においても光透過性が非常に良いため、厚膜であっても紫外線を透過させるという特徴を有している点である。第5の特徴は、前述したような各特徴を有することから、アスペクト比が3以上の高アスペクト比のパターンを形成できるという点にある。第6の特徴は、硬化性モノマーには官能基が多く存在していることから、硬化後、非常に高密度な架橋となり、熱的にも化学的にも非常に安定であるという点である。このため、パターン形成後の加工も容易となる。 The fourth feature is that it has very good light transmittance even at wavelengths in the near-ultraviolet region, so that even a thick film can transmit ultraviolet rays. A fifth feature is that, since each of the features described above is provided, a pattern with a high aspect ratio of 3 or more can be formed. The sixth feature is that since there are many functional groups in the curable monomer, it becomes a very high-density crosslink after curing, and is very stable both thermally and chemically. . Therefore, processing after pattern formation is also facilitated.

もっとも、本実施例では、透明感光性樹脂層41として前述の化学増幅型フォトレジスト(商品名「SU-8」)を採用したが、これに限られるものではなく、すなわち、同様の特性を有するものであれば、どのような光硬化性材料を用いてもよい。 However, in this embodiment, the above-mentioned chemically amplified photoresist (trade name "SU-8") was used as the transparent photosensitive resin layer 41, but it is not limited to this, that is, it has the same characteristics. Any photocurable material may be used.

なお、図10Dの透過領域形成工程において、露光後においては、透明感光性樹脂層41に対して現像処理が施される。すなわち、透明感光性樹脂層41に現像を実施し、次に熱アニール(熱アニール処理)を120~150[℃]かつ30~60[分]という条件で実施することにより、透明感光性樹脂層41に、複数に区画された光透過領域40が形成される。例えば、第1の透明基板21がガラス基板である場合には、当該条件は、150[℃]かつ30分であることが望ましい。 In addition, in the transmissive region forming step of FIG. 10D, development processing is performed on the transparent photosensitive resin layer 41 after exposure. That is, the transparent photosensitive resin layer 41 is developed, and then thermally annealed (thermally annealed) under the conditions of 120 to 150 [° C.] and 30 to 60 [minutes] to form the transparent photosensitive resin layer. 41, a plurality of partitioned light transmission regions 40 are formed. For example, when the first transparent substrate 21 is a glass substrate, the conditions are desirably 150 [° C.] and 30 minutes.

ここで形成された各光透過領域40相互間のスペース幅(遮光パターン幅)は、上述の通り5[μm]である。また、上記「SU-8」で形成した場合における光透過領域40の屈折率は、1.5~1.6となる。 The space width (light shielding pattern width) between the light transmission regions 40 formed here is 5 [μm] as described above. Further, the refractive index of the light transmission region 40 when formed with the above "SU-8" is 1.5 to 1.6.

なお、図10Fの透明基板設置工程において、光透過領域40の上に、透明導電膜32を備えた第2の透明基板22を配置する。この第2の透明基板22は、接着剤(図示せず)によって第1の透明基板21の外周部で固定する。この固定の際に用いる接着剤は、熱硬化性、UV硬化性のいずれを用いてもよい。 10F, the second transparent substrate 22 having the transparent conductive film 32 is arranged on the light transmission region 40. As shown in FIG. The second transparent substrate 22 is fixed to the outer periphery of the first transparent substrate 21 with an adhesive (not shown). The adhesive used for this fixation may be either thermosetting or UV curable.

なお、実施例1及び実施例2の光線方向制御素子11の製造方法は、ダム形成工程を含まない点を除いて、前述の製造方法と同様である。即ち、透過領域形成工程に続いて、透明基板設置工程が実行される。さらに樹脂層形成工程では、光透過領域40のパターンの最外周に沿って、樹脂層80が形成される。 The method of manufacturing the light direction control element 11 of Examples 1 and 2 is the same as the manufacturing method described above, except that the dam forming step is not included. That is, the transparent substrate installation process is performed following the transmission area formation process. Furthermore, in the resin layer forming step, the resin layer 80 is formed along the outermost periphery of the pattern of the light transmission regions 40 .

実施例3との相違点を説明する。図11は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、ダム85は、樹脂層80の注入孔81及び排気孔82を有しない面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間のみならず、樹脂層80の注入孔81を有する面とバッファ領域90との間、及び樹脂層80の排気孔82を有する面とバッファ領域90との間にも形成されている。 Differences from the third embodiment will be described. FIG. 11 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the dam 85 is located not only between the surface of the resin layer 80 having no injection holes 81 and exhaust holes 82 and the first square pattern of the light transmission region 40, but also between the injection holes of the resin layer 80. It is also formed between the surface having 81 and the buffer region 90 and between the surface having the exhaust holes 82 of the resin layer 80 and the buffer region 90 .

なお、ダム85には、注入孔81及び排気孔82を塞がないよう、開口部が設けられている。このようなダム85の形状により、本実施例の光線方向制御素子11は、狭額縁化の効果をさらに高めることができる。また、併せて、電気泳動素子60の注入速度を高めつつも、バッファ領域90及びバッファ領域91の狭小化を実現することができる。 The dam 85 is provided with openings so as not to block the injection hole 81 and the exhaust hole 82 . With such a shape of the dam 85, the beam direction control element 11 of this embodiment can further enhance the effect of narrowing the frame. In addition, the buffer regions 90 and 91 can be narrowed while increasing the injection speed of the electrophoresis element 60 .

実施例2との相違点を説明する。図12は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、バッファ領域90は、樹脂層80の全ての面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間に設けられている。バッファ領域90の、樹脂層80の注入孔81及び排気孔82を有しない面に接する部位のY軸方向の幅は、例えば、1~10[mm]程度である。 Differences from the second embodiment will be described. FIG. 12 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the buffer region 90 is provided between the entire surface of the resin layer 80 and the first square pattern of the light transmission regions 40 . The width in the Y-axis direction of the portion of the buffer region 90 that contacts the surface of the resin layer 80 that does not have the injection hole 81 and the exhaust hole 82 is, for example, about 1 to 10 [mm].

注入孔81から電気泳動素子60が注入されると、電気泳動素子60は、バッファ領域90の、樹脂層80の注入孔81を有する面と接する部位、においてY軸方向に広がる。その後、電気泳動素子60は、電気泳動素子注入領域のバッファ領域90と接する部分から、電気泳動素子注入領域のX軸方向へと広がる。 When the electrophoresis element 60 is injected from the injection hole 81 , the electrophoresis element 60 spreads in the Y-axis direction at the portion of the buffer region 90 that is in contact with the surface of the resin layer 80 having the injection hole 81 . After that, the electrophoresis element 60 spreads in the X-axis direction of the electrophoresis element injection region from the portion of the electrophoresis element injection region in contact with the buffer region 90 .

さらに、電気泳動素子60は、バッファ領域90の、樹脂層80の注入孔81及び排気孔82を有しない面と接する部位、においてX軸方向に広がる。その後、電気泳動素子60は、当該部位から電気泳動素子注入領域のY軸方向へと広がる。 Furthermore, the electrophoresis element 60 spreads in the X-axis direction at the portion of the buffer region 90 that is in contact with the surface of the resin layer 80 that does not have the injection hole 81 and the exhaust hole 82 . After that, the electrophoresis element 60 spreads in the Y-axis direction of the electrophoresis element injection region from that part.

このようなバッファ領域90の形状により、本実施例の光線方向制御11は、電気泳動素子60の注入速度をさらに高めることができる。 With such a shape of the buffer region 90 , the beam direction control 11 of this embodiment can further increase the injection speed of the electrophoresis element 60 .

実施例5との相違点を説明する。図13は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、光線方向制御素子11は、ダム85を有する。ダム85は、樹脂層80の全ての面と、バッファ領域90と、の間に形成されている。なお、ダム85には、注入孔81及び排気孔82を塞がないよう、開口部が設けられている。 Differences from the fifth embodiment will be described. FIG. 13 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the beam steering element 11 has a dam 85 . The dam 85 is formed between all surfaces of the resin layer 80 and the buffer region 90 . The dam 85 is provided with openings so as not to block the injection hole 81 and the exhaust hole 82 .

このようにダム85が設けられていることにより、本実施例の光線方向制御素子11は、電気泳動素子60の注入速度を高めつつ、電気泳動素子注入領域への樹脂の侵入を防止することができ、さらに狭額縁化の効果を得られ。また、バッファ領域90の狭小化を実現することができる。 By providing the dam 85 in this way, the light beam direction control element 11 of the present embodiment can increase the injection speed of the electrophoresis element 60 and prevent the resin from entering the electrophoresis element injection region. You can get the effect of narrowing the frame. Also, the narrowing of the buffer region 90 can be realized.

実施例1との相違点を説明する。図14は、電気泳動素子60が注入される前の光線方向制御素子11の一例を示す平面図である。本実施例において、バッファ領域90のY軸方向の幅は、注入孔81のY軸方向の幅より大きいものの、樹脂層80の注入孔81を有する面のY軸方向の幅より小さい。 Differences from the first embodiment will be described. FIG. 14 is a plan view showing an example of the beam direction control element 11 before the electrophoresis element 60 is injected. In this embodiment, the width of the buffer region 90 in the Y-axis direction is larger than the width of the injection hole 81 in the Y-axis direction, but smaller than the width of the surface of the resin layer 80 having the injection hole 81 in the Y-axis direction.

また、本実施例において光線方向制御素子11は、樹脂層80の各面と、光透過領域40の第1の正方形パターンと、の間に形成された、ダム85を有する。但し、ダム85には、バッファ領域90及び注入孔81を塞がないよう、開口部が設けられている。 Also, in this embodiment, the beam direction control element 11 has dams 85 formed between each surface of the resin layer 80 and the first square pattern of the light transmission regions 40 . However, the dam 85 is provided with an opening so as not to block the buffer region 90 and the injection hole 81 .

本実施例の光線方向制御素子11は、バッファ領域90が設けられているものの、その面積が狭いため、電気泳動素子60の注入速度が向上しつつも、電気泳動素子60で満たされる領域が減少し、さらなる狭額縁化が実現可能となる。また、ダム85によって、樹脂層80の全方向からの樹脂をせき止めることができるため、電気泳動素子注入領域への樹脂の侵入を防止することができる。さらにダム85によって、狭額縁化が実現される。 Although the light beam direction control element 11 of the present embodiment is provided with the buffer region 90, its area is small. Therefore, although the injection speed of the electrophoresis element 60 is improved, the region filled with the electrophoresis element 60 is reduced. This makes it possible to further narrow the frame. In addition, since the dam 85 can block the resin from all directions of the resin layer 80, it is possible to prevent the resin from entering the electrophoresis element injection region. Further, the dam 85 realizes narrowing of the frame.

以上、本開示の実施形態を説明したが、本開示が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本開示の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。 Although the embodiments of the present disclosure have been described above, the present disclosure is not limited to the above embodiments. A person skilled in the art can easily change, add, or convert each element of the above-described embodiments within the scope of the present disclosure. A part of the configuration of one embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and it is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of one embodiment.

実施例1との相違点を説明する。図16は、狭視野モード(狭視野状態)の光線方向制御素子の一例を示す断面図である。実施例1の光線方向制御素子において、透明導電膜31及び透明導電膜32と電気泳動素子60が接している。一方、本実施例の光線方向制御素子11は、第1の透明保護膜100及び第2の透明保護膜101を有する。 Differences from the first embodiment will be described. FIG. 16 is a cross-sectional view showing an example of a light beam direction control element in a narrow-field mode (narrow-field state). In the light direction control element of Example 1, the transparent conductive films 31 and 32 are in contact with the electrophoretic element 60 . On the other hand, the light direction control element 11 of this embodiment has a first transparent protective film 100 and a second transparent protective film 101 .

第1の透明保護膜100は、透明導電膜31と電気泳動素子60との間に設けられている。第2の透明保護膜101は、透明導電膜32と電気泳動素子60との間に設けられている。具体的には、例えば、第1の透明保護膜100は、透明導電膜31の主面31aを覆うように配置されている。また、第2の透明保護膜101は、透明導電膜32の主面32aを覆うように配置されている。 A first transparent protective film 100 is provided between the transparent conductive film 31 and the electrophoretic element 60 . A second transparent protective film 101 is provided between the transparent conductive film 32 and the electrophoretic element 60 . Specifically, for example, the first transparent protective film 100 is arranged so as to cover the main surface 31 a of the transparent conductive film 31 . Also, the second transparent protective film 101 is arranged so as to cover the main surface 32 a of the transparent conductive film 32 .

なお、第1の透明保護膜100は、透明導電膜31の主面31a全体を覆わなくてもよく、主面31aと電気泳動素子60とが接しないように配置されていればよい。具体的には、例えば、第1の透明保護膜100は、主面31a上の領域のうち、電気泳動素子60の上面60aの+Z軸方向上の領域のみに配置される透明保護膜パターンであってもよい。同様に、第2の透明保護膜101は、透明導電膜32の主面32a全体を覆わなくてもよく、主面32aと電気泳動素子60とが接しないように配置されていればよい。具体的には、例えば、第2の透明保護膜101は、主面32a上の領域のうち、電気泳動素子60の下面60bの-Z軸方向上の領域のみに配置される透明保護膜パターンであってもよい。 Note that the first transparent protective film 100 does not have to cover the entire main surface 31a of the transparent conductive film 31 as long as the main surface 31a and the electrophoretic element 60 are not in contact with each other. Specifically, for example, the first transparent protective film 100 is a transparent protective film pattern that is arranged only in a region on the +Z-axis direction of the upper surface 60a of the electrophoretic element 60 among the regions on the main surface 31a. may Similarly, the second transparent protective film 101 does not have to cover the entire main surface 32a of the transparent conductive film 32, as long as the main surface 32a and the electrophoretic element 60 are not in contact with each other. Specifically, for example, the second transparent protective film 101 is a transparent protective film pattern arranged only in a region on the −Z-axis direction of the lower surface 60b of the electrophoretic element 60 among the regions on the main surface 32a. There may be.

第1の透明保護膜100の構成材料としては、SiO2、Si3N4等を採用することができ、本実施例ではSiO2である。第2の透明保護膜101につ
いても同様である。本実施例の光線方向制御素子11において、透明導電膜31及び透明導電膜32は、それぞれ第1の透明保護膜100の及び第2の透明保護膜101に覆われているため、透明導電膜31及び透明導電膜32の表面に電気泳動粒子61が付着することがないという効果が得られる。
As a constituent material of the first transparent protective film 100, SiO2, Si3N4, or the like can be used, and SiO2 is used in this embodiment. The same applies to the second transparent protective film 101 as well. In the light direction control element 11 of this embodiment, the transparent conductive film 31 and the transparent conductive film 32 are covered with the first transparent protective film 100 and the second transparent protective film 101, respectively. Also, the effect that the electrophoretic particles 61 do not adhere to the surface of the transparent conductive film 32 is obtained.

11 光線方向制御素子、21 透明基板、22 透明基板、30 導電性遮光膜パターン、31 透明導電膜、32 透明導電膜、40 光透過領域、60 電気泳動素子、61 電気泳動粒子、62 分散媒、80 樹脂層、81 注入孔、82 排気孔、85 ダム、90 バッファ領域、91 バッファ領域、100 第1の透明保護膜、101 第2の透明保護膜 11 light beam direction control element 21 transparent substrate 22 transparent substrate 30 conductive light shielding film pattern 31 transparent conductive film 32 transparent conductive film 40 light transmission region 60 electrophoretic element 61 electrophoretic particles 62 dispersion medium 80 resin layer 81 injection hole 82 exhaust hole 85 dam 90 buffer region 91 buffer region 100 first transparent protective film 101 second transparent protective film

Claims (6)

第1透明基板と、
前記第1透明基板に対向して配置された第2透明基板と、
前記第1透明基板の前記第2透明基板に対向する第1面に形成された第1電極と、
前記第2透明基板の前記第1透明基板に対向する第2面に形成された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極に挟まれ、かつ有色電気泳動粒子と分散媒とが注入された遮光パターンと、
前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記遮光パターンに側壁を囲まれた複数の光透過領域と、
前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記複数の光透過領域からなる光透過領域パターンの外周を囲み、封止された第1開口部を有する樹脂層と、
前記樹脂層の第1開口部を有する面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、前記有色電気泳動粒子及び前記分散媒が注入された第1バッファ領域と、を含むことを特徴とする光線方向制御素子であって、
前記樹脂層は、前記第1開口部を有する面とは異なる面に、封止された第2開口部を有し、
前記光線方向制御素子は、
前記樹脂層の第2開口部を有する面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、前記有色電気泳動粒子及び前記分散媒が注入された第2バッファ領域と、
前記樹脂層の前記第1開口部及び前記第2開口部を有しない面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれた第1ダムと、を含み、
前記第1電極及び/又は前記第2電極の電位を制御して、前記遮光パターンにおける前記有色電気泳動粒子の分散状態/集中状態を制御することを特徴とする光線方向制御素子。
a first transparent substrate;
a second transparent substrate arranged to face the first transparent substrate;
a first electrode formed on a first surface of the first transparent substrate facing the second transparent substrate;
a second electrode formed on a second surface of the second transparent substrate facing the first transparent substrate;
a light shielding pattern sandwiched between the first electrode and the second electrode and into which colored electrophoretic particles and a dispersion medium are injected;
a plurality of light transmission regions disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate and having sidewalls surrounded by the light shielding pattern ;
a resin layer disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate, surrounding an outer periphery of the light-transmitting region pattern composed of the plurality of light-transmitting regions, and having a sealed first opening;
The first buffer region is sandwiched between the surface of the resin layer having the first opening and the light transmission region pattern, and includes a first buffer region into which the colored electrophoretic particles and the dispersion medium are injected. A light beam direction control element for
The resin layer has a sealed second opening on a surface different from the surface having the first opening,
The light direction control element is
a second buffer region sandwiched between the surface of the resin layer having the second opening and the light transmission region pattern, into which the colored electrophoretic particles and the dispersion medium are injected;
a first dam sandwiched between a surface of the resin layer that does not have the first opening and the second opening and the light transmission region pattern;
A light direction control element, wherein the electric potential of the first electrode and/or the second electrode is controlled to control the state of dispersion/concentration of the colored electrophoretic particles in the light shielding pattern.
請求項1に記載の光線方向制御素子であって、
前記樹脂層の前記第1開口部を有する面と、前記第1バッファ領域とに挟まれた第2ダムと、
前記樹脂層の前記第2開口部を有する面と、前記第2バッファ領域とに挟まれた第3ダムと、を含み、
前記第2ダムは、前記第1開口部と重なる開口部を有し、
前記第3ダムは、前記第2開口部と重なる開口部を有することを特徴とする光線方向制御素子。
A light beam direction control element according to claim 1,
a second dam sandwiched between the surface of the resin layer having the first opening and the first buffer region;
a third dam sandwiched between the surface of the resin layer having the second opening and the second buffer region;
The second dam has an opening that overlaps with the first opening,
The light direction control element , wherein the third dam has an opening that overlaps with the second opening .
第1透明基板と、
前記第1透明基板に対向して配置された第2透明基板と、
前記第1透明基板の前記第2透明基板に対向する第1面に形成された第1電極と、
前記第2透明基板の前記第1透明基板に対向する第2面に形成された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極とに挟まれ、かつ有色電気泳動粒子と分散媒とが注入された遮光パターンと、
前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記遮光パターンに側壁を囲まれた複数の光透過領域と、
前記第1透明基板と前記第2透明基板との間に配置され、前記複数の光透過領域からなる光透過領域パターンの外周を囲み、封止された第1開口部を有する樹脂層と、
前記樹脂層の第1開口部を有する面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、前記有色電気泳動粒子及び前記分散媒が注入された第1バッファ領域と、を含むことを特徴とする光線方向制御素子であって、
前記樹脂層は、前記第1開口部を有する面とは異なる面に、封止された第2開口部を有し、
前記光線方向制御素子は、
前記樹脂層の第2開口部を有する面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、前記有色電気泳動粒子及び前記分散媒が注入された第2バッファ領域と、
前記樹脂層の前記第1開口部を有する面及び前記第2開口部を有する面とは異なる第1面と、前記光透過領域パターンと、に挟まれ、前記有色電気泳動粒子及び前記分散媒が注入された第3バッファ領域と、
前記樹脂層の前記第1開口部を有する面と、前記第1バッファ領域とに挟まれた第4ダムと、
前記樹脂層の前記第2開口部を有する面と、前記第2バッファ領域とに挟まれた第5ダムと、
前記樹脂層の前記第1面と、前記第3バッファ領域とに挟まれた第6ダムと、を含み、
前記第1電極及び/又は前記第2電極の電位を制御して、前記遮光パターンにおける前記有色電気泳動粒子の分散状態/集中状態を制御することを特徴とする光線方向制御素子。
a first transparent substrate;
a second transparent substrate arranged to face the first transparent substrate;
a first electrode formed on a first surface of the first transparent substrate facing the second transparent substrate;
a second electrode formed on a second surface of the second transparent substrate facing the first transparent substrate;
a light shielding pattern sandwiched between the first electrode and the second electrode and into which colored electrophoretic particles and a dispersion medium are injected;
a plurality of light transmission regions disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate and having sidewalls surrounded by the light shielding pattern;
a resin layer disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate, surrounding an outer periphery of the light-transmitting region pattern composed of the plurality of light-transmitting regions, and having a sealed first opening;
The first buffer region is sandwiched between the surface of the resin layer having the first opening and the light transmission region pattern, and includes a first buffer region into which the colored electrophoretic particles and the dispersion medium are injected. A beam direction control element,
The resin layer has a sealed second opening on a surface different from the surface having the first opening,
The light direction control element is
a second buffer region sandwiched between the surface of the resin layer having the second opening and the light transmission region pattern, into which the colored electrophoretic particles and the dispersion medium are injected;
The colored electrophoretic particles and the dispersion medium are sandwiched between a first surface of the resin layer different from the surface having the first opening and the surface having the second opening, and the light transmission region pattern. an implanted third buffer region;
a fourth dam sandwiched between the surface of the resin layer having the first opening and the first buffer region;
a fifth dam sandwiched between the surface of the resin layer having the second opening and the second buffer region;
a sixth dam sandwiched between the first surface of the resin layer and the third buffer region;
A light direction control element, wherein the electric potential of the first electrode and/or the second electrode is controlled to control the state of dispersion/concentration of the colored electrophoretic particles in the light shielding pattern.
請求項3に記載の光線方向制御素子であって、
前記樹脂層の前記第1開口部を有する面と、前記光透過領域パターンとに挟まれた第7ダムと、
前記樹脂層の前記第1開口部を有する面とは異なる面と、前記光透過領域パターンとに挟まれた第8ダムと、を含むことを特徴とする光線方向制御素子。
A light beam direction control element according to claim 3,
a seventh dam sandwiched between the surface of the resin layer having the first opening and the light transmission area pattern;
A light beam direction control element, comprising: a surface of the resin layer different from the surface having the first opening, and an eighth dam sandwiched between the light transmission region pattern.
請求項1又は3に記載の光線方向制御素子であって、
前記光透過領域パターンのパターン幅は、前記遮光パターンのパターン幅の3倍以上であることを特徴とする光線方向制御素子。
The light direction control element according to claim 1 or 3,
The light beam direction control element , wherein the pattern width of the light transmission region pattern is three times or more the pattern width of the light shielding pattern .
請求項1又は3に記載の光線方向制御素子であって、
前記第1電極と前記遮光パターンとに挟まれた第1の透明保護膜と、
前記第2電極と前記遮光パターンとに挟まれた第2の透明保護膜と、を含むことを特徴とする光線方向制御素子。
The light direction control element according to claim 1 or 3,
a first transparent protective film sandwiched between the first electrode and the light shielding pattern;
and a second transparent protective film interposed between the second electrode and the light shielding pattern .
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