JP7217182B2 - 弾性表面波センサ及び弾性表面波センサの製造方法 - Google Patents
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Description
1:圧電基板
2:櫛形電極
3:検出領域
4:封止ダム
5:カバーガラス
Claims (4)
- 弾性表面波を送信、受信又は反射する櫛形電極と、
被測定物である液体を導入される検出領域と、
前記櫛形電極と前記検出領域との境界近傍の前記櫛形電極上に形成され、前記被測定物である液体の前記検出領域から前記櫛形電極への侵入を防止する封止ダムと、
を備え、
前記封止ダム下に形成される前記櫛形電極のうちの、金属薄膜で形成される電極指の幅と金属薄膜が形成されない隣接電極指間の幅との和に対する、前記電極指の幅の比率であるメタライズ比は、前記封止ダムが弾性表面波の伝搬方向に有する幅に対して、前記封止ダムによる弾性表面波の伝搬損失が極小化されるような値を有する
ことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 弾性表面波を送信、受信又は反射する櫛形電極と、
被測定物である液体を導入される検出領域と、
前記櫛形電極と前記検出領域との境界近傍の前記櫛形電極上に形成され、前記被測定物である液体の前記検出領域から前記櫛形電極への侵入を防止する封止ダムと、
を備え、
前記封止ダム下に形成される前記櫛形電極のうちの、金属薄膜で形成される電極指の幅と金属薄膜が形成されない隣接電極指間の幅との和に対する、前記電極指の幅の比率であるメタライズ比は、0.5より小さい値を有する
ことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 弾性表面波を送信、受信又は反射する櫛形電極と、被測定物である液体を導入される検出領域と、前記櫛形電極と前記検出領域との境界近傍の前記櫛形電極上に形成され、前記被測定物である液体の前記検出領域から前記櫛形電極への侵入を防止する封止ダムと、を備える弾性表面波センサを製造することに先立って、
前記封止ダム下に形成される前記櫛形電極のうちの、金属薄膜で形成される電極指の幅と金属薄膜が形成されない隣接電極指間の幅との和に対する、前記電極指の幅の比率であるメタライズ比を、前記封止ダムが弾性表面波の伝搬方向に有する幅に対して、前記封止ダムによる弾性表面波の伝搬損失が極小化されるように設定する
ことを特徴とする弾性表面波センサの製造方法。 - 弾性表面波を送信、受信又は反射する櫛形電極と、被測定物である液体を導入される検出領域と、前記櫛形電極と前記検出領域との境界近傍の前記櫛形電極上に形成され、前記被測定物である液体の前記検出領域から前記櫛形電極への侵入を防止する封止ダムと、を備える弾性表面波センサを製造することに先立って、
前記封止ダム下に形成される前記櫛形電極のうちの、金属薄膜で形成される電極指の幅と金属薄膜が形成されない隣接電極指間の幅との和に対する、前記電極指の幅の比率であるメタライズ比を、0.5より小さい値に設定する
ことを特徴とする弾性表面波センサの製造方法。
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JP2019047774A JP7217182B2 (ja) | 2019-03-14 | 2019-03-14 | 弾性表面波センサ及び弾性表面波センサの製造方法 |
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JP2020148686A JP2020148686A (ja) | 2020-09-17 |
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---|---|---|---|---|
JP2012175315A (ja) | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ装置 |
JP2012229926A (ja) | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Panasonic Corp | 弾性波センサ |
JP2013096867A (ja) | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波センサ |
WO2014192196A1 (ja) | 2013-05-31 | 2014-12-04 | 京セラ株式会社 | センサ、検出方法、検出システム、および検出装置 |
Family Cites Families (1)
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---|---|---|---|---|
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-
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Patent Citations (4)
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