JP7209634B2 - マイクロledの階層を積み重ねることによる半導体デバイスの作製 - Google Patents
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Description
本出願は、米国特許法(35 U.S.C.)第119条(e)のもとに、2017年3月20日に出願された「Micro-LED Display Chip and Method of Making Same」という名称の米国特許仮出願第62/473,953号の優先権を主張するものである。上記のすべての主題は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (38)
- 画素ドライバのアレイを支持する基板と、
前記基板および画素ドライバの上に積み重ねられた2つ以上の階層であって、隣接した階層の間に平面状界面を有し、各階層は、マイクロLEDのアレイを含み、各階層のための前記マイクロLEDのアレイは、前記画素ドライバのアレイに電気的に接続される、2つ以上の階層と
を備え、各階層は、
前記マイクロLEDを形成するエピタキシャル構造と、
前記マイクロLEDの底部に電気的に接続された下側コンタクト金属パッドと、
前記マイクロLEDの上部に電気的に接続された上側コンタクト金属パッドと
を備え、
前記下側コンタクト金属パッドは、前記画素ドライバのアレイにも電気的に接続され、前記上側コンタクト金属パッドは、前記階層のすべての上の共通電極にも電気的に接続される
マイクロLEDディスプレイチップ。 - 各階層の前記エピタキシャル構造は、III-V窒化物エピタキシャル構造、III-Vヒ化物エピタキシャル構造、III-Vリン化物エピタキシャル構造、およびIII-Vアンチモン化物エピタキシャル構造の1つである請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 各階層の前記下側コンタクト金属パッドは、アルミニウム、銀、ロジウム、亜鉛、金、ゲルマニウム、ニッケル、クロム、白金、錫、銅、タングステン、インジウム錫酸化物、パラジウム、インジウム、および/またはチタンを備える請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記共通電極は、前記階層のすべての上に金属トレースの格子を備え、各上側コンタクト金属パッドは、前記金属トレースの格子に電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記共通電極は、前記階層のすべての上に透明電極を備え、各上側コンタクト金属パッドは、前記透明電極に電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記共通電極は、前記階層のすべての上に上部電極を含み、各上側コンタクト金属パッドは、任意の介在する階層を通してビアによって前記上部電極に電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記共通電極は、各階層のために、その階層の上に位置する個別の共通電極構造を備え、各階層のための各上側コンタクト金属パッドは、その階層のための前記共通電極構造に電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 各階層の前記下側コンタクト金属パッドは、任意の介在する階層を通してビアによって前記画素ドライバのアレイに電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記階層の底部は、前記階層のすべて内の各マイクロLEDのための前記画素ドライバのアレイに電気的に接続された金属パッドを含む底部階層であり、前記金属パッドは、前記底部階層内のマイクロLEDのための前記下側コンタクト金属パッドとして機能し、前記金属パッドは、任意の介在する階層を通してビアによってすべての他の階層内のマイクロLEDのための前記下側コンタクト金属パッドに電気的に接続される請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 異なる階層の前記マイクロLEDは、異なる波長の光を生成する請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 異なる階層の前記マイクロLEDは、異なる可視波長の光を生成する請求項10に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記2つ以上の階層は、厳密に3つの階層であり、前記マイクロLEDは、前記階層のうちの1つのための赤マイクロLED、前記階層のうちの他の1つのための緑マイクロLED、および前記階層のうちの第3の階層のための青マイクロLEDである請求項10に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 各階層の前記マイクロLEDは、紫外線、青、緑、橙、赤、または赤外線マイクロLEDである請求項10に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 異なる階層の前記マイクロLEDは、多色画素にグループ化され、前記マイクロLEDディスプレイチップは、
隣接した多色画素を光学的に分離する、前記階層内の構造体
をさらに備える請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。 - 前記構造体は、吸光性または反射性である請求項14に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 各階層は、下側の階層のマイクロLEDの上に横方向に位置する領域において、前記下側の階層の前記マイクロLEDによって生成された光がこのような領域を通って伝搬することができるように、透明である請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- 前記画素ドライバは、薄膜トランジスタ画素ドライバ、またはシリコンCMOS画素ドライバを備える請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイチップ。
- マイクロLEDディスプレイチップであって、
画素ドライバのアレイを支持する基板と、
前記基板および画素ドライバの上に積み重ねられた3つの階層であって、隣接した階層の間に平面状界面を有し、前記3つの階層はマイクロLEDを含み、前記マイクロLEDは、赤マイクロLED、緑マイクロLED及び青マイクロLEDを含み、前記階層のうちの1つは、前記赤マイクロLEDを含み、前記階層のうちの他の1つは、前記緑マイクロLEDを含み、および前記階層のうちの第3の階層は、前記青マイクロLEDを含み、各階層は、
前記マイクロLEDを形成するエピタキシャル構造と、
前記マイクロLEDの底部に電気的に接続された下側コンタクト金属パッドと、
前記マイクロLEDの上部に電気的に接続された上側コンタクト金属パッドと
をさらに備える、3つの階層と
を備え、
前記下側コンタクト金属パッドは、任意の介在する階層を通してビアによって前記画素ドライバのアレイにも電気的に接続され、前記上側コンタクト金属パッドは、任意の介在する階層を通してビアによって前記階層のすべての上の共通電極にも電気的に接続され、
各階層は、下側の階層のマイクロLEDの上に横方向に位置する領域において、前記下側の階層の前記マイクロLEDによって生成された光がこのような領域を通って伝搬することができるように、透明である、マイクロLEDディスプレイチップ。 - マイクロLEDディスプレイチップを製作する方法であって、
画素ドライバのアレイを支持する基板をもたらすステップと、
隣接した階層の間に平面状界面を有する、前記基板および画素ドライバの上に積み重ねられた2つ以上の階層を製作するステップであって、
底部階層に対しては、前記基板および画素ドライバの上に、パターン化されていないエピタキシャル構造を、金属層を用いて接合すること、および任意の他の階層に対しては、前の階層の上に、パターン化されていないエピタキシャル構造を、金属層を用いて接合することと、
マイクロLEDを形成するように前記エピタキシャル構造をパターン化し、金属パッドを形成するように前記接合された金属層をパターン化することであって、前記金属パッドのうちのいくつかは、前記マイクロLEDの底部に電気的に接続された下側コンタクト金属パッドとして機能する、パターン化することと、
上部階層を除くすべての階層に対しては、平面状上部界面を作成するように前記階層を充填および平坦化することであって、前記平面状上部界面は、前記マイクロLEDの上部への電気的接続を含む、充填および平坦化することと
を行うことによる、製作するステップと
を含む方法。 - マイクロLEDを形成するように前記エピタキシャル構造をパターン化するステップは、異なるマイクロLEDのために前記エピタキシャル構造を完全に分離するステップを含む請求項19に記載の方法。
- 前記エピタキシャル構造をパターン化するステップは、前記マイクロLEDを形成するように、前記エピタキシャル構造をドライエッチングするステップを含む請求項19に記載の方法。
- 金属パッドを形成するように前記接合された金属層をパターン化するステップは、あらゆる階層内のあらゆるマイクロLEDのために1つの金属パッドを形成するステップを含む請求項19に記載の方法。
- 前記基板または前の階層の上に前記パターン化されていないエピタキシャル構造を接合するステップは、
エピタキシー基板上に支持されたパターン化されていないエピタキシャル層を、前記基板または前の階層の上部に接合するステップと、
前記エピタキシー基板を除去するステップと
を含む請求項19に記載の方法。 - 前記エピタキシー基板を除去するステップは、リフトオフプロセスまたは湿式化学エッチングのうちの1つを用いて、前記エピタキシー基板を除去するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 前記階層を充填するステップは、透明材料によって前記階層を充填するステップを含む請求項19に記載の方法。
- 前記透明材料は、二酸化シリコンまたは窒化シリコンである請求項25に記載の方法。
- 前記階層を充填するステップは、下側の階層のマイクロLEDの上に横方向に位置する領域において、前記下側の階層の前記マイクロLEDによって生成された光がこのような領域を通って伝搬することができるように、前記階層を透明材料によって充填するステップを含む請求項19に記載の方法。
- 前記階層を平坦化するステップは、化学機械研磨を用いて前記階層を平坦化するステップを含む請求項27に記載の方法。
- 前記階層を充填および平坦化する前に、前記マイクロLEDの上部に上側コンタクト金属パッドを堆積するステップ
をさらに含む請求項19に記載の方法。 - 充填した後に、前記平面状上部界面から、充填材料を通って、前記上側コンタクト金属パッドまでビアを製作するステップ
をさらに含む請求項29に記載の方法。 - 充填した後に、前記平面状上部界面から、充填材料を通って、下側コンタクト金属パッドとして機能しない金属パッドまでビアを製作するステップ
をさらに含む請求項19に記載の方法。 - 平面状上部界面を作成するように、前記上部階層を充填および平坦化するステップであって、前記平面状上部界面は、前記マイクロLEDの上部への電気的接続を含む、充填および平坦化するステップと、
前記上部階層の前記平面状上部界面の上に共通電極を製作するステップであって、前記マイクロLEDの前記上部は、前記共通電極に電気的に接続される、製作するステップと
をさらに含む請求項19に記載の方法。 - 前記共通電極は、前記底部階層の前記金属パッドのうちの1つまたは複数にさらに電気的に接続される請求項32に記載の方法。
- 異なる階層の前記マイクロLEDは、多色画素にグループ化され、前記階層を製作するステップは、
隣接した多色画素を光学的に分離する、前記階層内の構造体を製作するステップ
をさらに含む請求項19に記載の方法。 - 前記2つ以上の階層は、厳密に3つの階層であり、前記マイクロLEDは、前記階層のうちの1つのための赤マイクロLED、前記階層のうちの他の1つのための緑マイクロLED、および前記階層のうちの第3の階層のための青マイクロLEDである請求項19に記載の方法。
- 前記階層を製作するステップは、
前記階層を通して電気的接続をもたらすためにビアを製作するステップ
をさらに含む請求項19に記載の方法。 - ビアを製作するステップは、
ビアホールをエッチングするステップと、
導体によって前記ビアホールを充填するステップと
を含む請求項36に記載の方法。 - マイクロLEDディスプレイチップを製作する方法であって、
画素ドライバのアレイを支持する基板をもたらすステップと、
前記基板および画素ドライバの上に積み重ねられた3つの階層を製作するステップであって、隣接した階層の間に平面状界面を有し、前記3つの階層はマイクロLEDを含み、前記マイクロLEDは、赤マイクロLED、緑マイクロLED及び青マイクロLEDを含み、前記階層のうちの1つは、前記赤マイクロLEDを含み、前記階層のうちの他の1つは、前記緑マイクロLEDを含み、および前記階層のうちの第3の階層は、前記青マイクロLEDを含む、ステップとを含み、各階層を製作するステップは、
底部階層に対しては、前記基板および画素ドライバの上に、パターン化されていないエピタキシャル構造を、金属層を用いて接合すること、および任意の他の階層に対しては、前の階層の上に、パターン化されていないエピタキシャル構造を、金属層を用いて接合するステップと、
前記階層のために前記マイクロLEDを形成するように前記エピタキシャル構造をパターン化し、金属パッドを形成するように前記接合された金属層をパターン化するステップであって、前記金属パッドのうちのいくつかは、前記マイクロLEDの底部に電気的に接続された下側コンタクト金属パッドとして機能する、ステップと、
前記マイクロLEDの上部に電気的に接続された上側コンタクト金属パッドを堆積するステップと、
上部階層を除くすべての階層に対しては、平面状である上部界面を作成するように前記階層を充填および平坦化するステップであって、前記上部界面は、前記マイクロLEDの上部への電気的接続を含む、ステップと、
前記上部界面から、平面状である前記上側コンタクト金属パッドまで、および下側コンタクト金属パッドとして機能しない前記金属パッドまで、ビアを製作するステップと
を含む方法。
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