JP7202276B2 - インクジェット塗布装置 - Google Patents
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Description
2 インクジェットヘッド
3 圧力調節部
5 配管
7 循環ポンプ
8 逆循環配管
30 サブタンク
51 循環配管
52 供給配管
53 排液配管
62 エアベントバルブ
81 第1逆循環配管
82 第2逆循環配管
V1~V7 バルブ
b 気泡
Claims (1)
- 基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに塗布液が供給される供給流路と、
前記インクジェットヘッドから塗布液が排液される排液流路と、
前記排液流路に流れる塗布液を前記供給流路に戻す循環流路と、
を備え、前記供給流路、前記排液流路、及び、前記循環流路により循環ラインを形成するインクジェット塗布装置であって、
前記いずれかの流路には、塗布液内に存在する気泡を除去する気泡除去部を有しており、前記循環ラインにおける塗布液が流れる方向を切り替えることにより、前記循環ラインの気泡を気泡除去部から除去するものであり、
前記循環ラインには、前記循環ラインの送液方向を逆転させる逆循環配管が設けられ、
前記循環ラインにおける塗布液の送液を行う送液ポンプの送液方向を変えることなく、前記循環ラインに設けられたバルブを切り替えることにより、前記逆循環配管を通じて前記循環ラインにおける塗布液の流れる方向が切り替えられ、
前記気泡除去部は、インクジェットヘッドのノズル内に存在する塗布液の圧力を調節する圧力調節部であること
を特徴とするインクジェット塗布装置。
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JP2019178970A JP7202276B2 (ja) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | インクジェット塗布装置 |
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