JP7198939B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム - Google Patents
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Description
(a)基板を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する工程と、
(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へクリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する工程と、
を繰り返し行う工程を有し、
(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とする技術が提供される。
以下、本開示の一態様について、主に、図1~図4(a)を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱機構(温度調整部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200を収容した処理容器内へ処理ガスを供給しウエハ200を処理する工程と、ウエハ200を収容していない処理容器内へクリーニングガスを供給し処理容器内をクリーニングする工程と、を繰り返し行う基板処理シーケンス例について説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
ウエハ200を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスとしてMSガスを供給しウエハ200を処理するプロセスレシピを実行するステップA(Depo)と、
ウエハ200を収容していない加熱された状態の処理容器内へクリーニングガスとしてF2ガスを供給し処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行するステップB(CLN)と、
を繰り返し行う工程を有し、
ステップB終了後にステップAを開始するまでの時間T2を、ステップA終了後にステップBを開始するまでの時間T1以下とする。
第1温度とした処理容器内へクリーニングガスとしてF2ガスを供給するステップと、
処理容器内を第1温度から第2温度まで昇温させるステップと、
処理容器内を第2温度に所定時間保持するステップと、
処理容器内を第2温度からステップAにおける処理温度まで降温させるステップと、を行う。
まず、ウエハ200を処理するプロセスレシピを実行するステップA(Depo)について説明する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内へのボート217の搬入が終了した後、処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される(圧力調整)。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される(温度調整)。また、回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転を開始する。真空ポンプ246の稼働、ウエハ200の加熱および回転は、いずれも、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
処理室201内の圧力調整および温度調整が終了した後、処理室201内のウエハ200に対してMSガスおよびPHガスを供給する。
MSガス供給流量:0.001~10slm
PHガス供給流量:0.0001~2slm
MSガスおよびPHガス供給時間:1~1000分
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):0~10slm
処理室201内温度(成膜温度):300~700℃
処理室201内圧力(成膜圧力):1~10000Pa
が例示される。
ウエハ200上へのSi膜の形成が完了した後、バルブ243a,243bを閉じ、処理室201内へのMSガスおよびPHガスの供給をそれぞれ停止する。そして、処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留するガス等を処理室201内から排除する。このとき、バルブ243d,243eを開き、ノズル249a,249bのそれぞれから、パージガスとしてのN2ガスを処理室201内へ供給し、排気口231aから排気する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物等が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態でマニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出される(ボートアンロード)。ボートアンロードの後は、シャッタ219sが移動させられ、マニホールド209の下端開口がOリング220cを介してシャッタ219sによりシールされる(シャッタクローズ)。処理済のウエハ200は、反応管203の外部に搬出された後、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
上述のステップAを行うと、処理容器の内部、例えば、反応管203の内壁、ノズル249a,249bの表面、ボート217の表面等に、Si膜等の薄膜を含む堆積物が付着する。すなわち、この薄膜を含む堆積物が、成膜温度に加熱された処理室201内の部材の表面等に付着する。そこで、ステップAが終了した後、処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行するステップB(CLN)を実行する。
シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、空のボート217、すなわち、ウエハ200を装填していないボート217が、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内へのボート217の搬入が終了した後、処理室201内が所望の圧力となるように、真空ポンプ246によって真空排気される(圧力調整)。また、処理室201内が所望の温度(第1温度)となるように、ヒータ207によって加熱される(温度調整)。このとき、処理室201内の部材、すなわち、反応管203の内壁、ノズル249a,249bの表面、ボート217の表面等も、第1温度に加熱される。また、回転機構267によるボート217の回転を開始する。真空ポンプ246の稼働、処理室201内の加熱、ボート217の回転は、少なくとも後述するクリーニングが完了するまでの間は継続して行われる。なお、ボート217は回転させなくてもよい。
処理室201内の圧力調整および温度調整が終了した後、ウエハ200を収容していない加熱された状態の処理室201内へF2ガスを供給する。具体的には、バルブ243cを開き、ガス供給管232c内へF2ガスを流す。F2ガスは、MFC241cにより流量調整されて、ガス供給管232a、ノズル249aを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき同時にバルブ243d,243eを開き、ノズル249a,249bを介して処理室201内へN2ガスを供給するようにしてもよい。
F2ガス供給流量:0.5~5slm
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):0~20slm
各ガス供給時間:1~60分
処理室201内温度(第1温度):200~400℃
処理室201内圧力:1333~53329Pa
が例示される。なお、第1温度は、ステップAにおける処理温度(成膜温度)よりも低い温度とするのが好ましい。
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):20~50slm、好ましくは30~50slm
N2ガス供給時間:1~40分
昇温開始時の処理室201内温度(第1温度):200~400℃
昇温終了時の処理室201内温度(第2温度):600~800℃
処理室201内圧力:1~101325Pa
が例示される。
N2ガス供給流量(ガス供給管毎):20~50slm、好ましくは30~50slm
N2ガス供給時間:1~40分
処理室201内温度(第2温度):600~800℃
処理室201内圧力:1~101325Pa
が例示される。
その後、ステップA,Bを繰り返し行う。なお、本態様では、ステップAとステップBとを繰り返し行う際、ステップAを1回行う工程と、ステップBを1回行う工程と、を交互に繰り返し行う。すなわち、ステップAを1回行う毎に、ステップBを行う。
T1=2時間、T2=0.2時間
T1=3時間、T2=0.3時間
T1=4時間、T2=0.4時間
本態様によれば、以下に示す一つ又は複数の効果が得られる。
本態様における基板処理シーケンスは、以下に示す変形例のように変更することができる。これらの変形例は、任意に組み合わせることができる。特に説明がない限り、各変形例の各ステップにおける処理手順、処理条件は、上述の基板処理シーケンスの各ステップにおける処理手順、処理条件と同様とすることができる。
ステップA,Bの他、ウエハ200を収容していない加熱された状態の処理容器内へMSガス、PHガスおよびF2ガスのいずれも供給することなく、処理容器内が加熱された状態を維持する処理を行うステップCを更に有していてもよい。また、そのような処理を行わせるように規定されたレシピ(アイドリングレシピ)を実行するステップCを更に有していてもよい。そして、ステップA終了後、ステップBを開始する前までの間に、ステップCを実施するようにしてもよい。すなわち、ステップA,C,Bをこの順に行うサイクルを繰り返すようにしてもよい。この場合、ステップA終了後、所定時間経過後に、ステップBが開始されることで(T1を所定の長さの時間とすることで)、T2≦T1とすることが容易となり、上述の態様と同様の効果がより得られやすくなる。なお、ステップCを行う際は、バルブ243d,243eを開き、ノズル249a,249bのそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給しつつ、排気口231aより排気し、処理室201内をガスパージした状態に維持するのが好ましい。これにより、処理室201内の雰囲気を清浄な状態に保つことが可能となる。このときのN2ガス供給流量は、昇温パージや高温パージにおけるN2ガス供給流量よりも小さくするのが好ましく、例えば、0.1~2slmが例示される。
ステップB終了後、ステップAを開始するまでの間に、上述の変形例1におけるステップCを不実施とするようにしてもよい。例えば、ステップB終了直後にステップAを開始するようにしてもよい。すなわち、ステップB終了後、ステップAを開始するまでの時間T2を実質的に0時間とするようにしてもよい。T1,T2については、T2≦T1とする限りにおいて種々設定可能であるが、例えば、以下のような時間を好適に選択することが可能である。
T1=2時間、T2=0時間
T1=3時間、T2=0時間
T1=4時間、T2=0時間
ステップA終了後、ステップBを開始するまでの間に、上述の変形例1におけるステップCを不実施とするようにしてもよい。例えば、ステップB終了直後にステップAを開始する場合には、ステップA終了直後にステップBを開始するようにしてもよい。すなわち、以下に示すように、ステップB終了後、ステップAを開始するまでの時間T2を実質的に0時間とし、さらには、ステップA終了後、ステップBを開始するまでの時間T1を実質的に0時間とするようにしてもよい。
ステップAとステップBとを繰り返し行う際、ステップAを複数回行う工程と、ステップBを1回行う工程と、を交互に繰り返し行うようにしてもよい。すなわち、ステップAを複数回行う毎にステップBを行うようにしてもよい。このようにしても、上述の態様と同様の効果が得られる。また、ステップBの実施頻度を適正に低減させることで、ガスコストの増加を抑え、また、基板処理の生産性を向上させることが可能となる。
以上、本開示の態様を具体的に説明した。しかしながら、本開示は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下、好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
(a)基板を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する工程と、
(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へクリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する工程と、
を繰り返し行う工程を有し、
(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とする半導体装置の製造方法、または、基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、
(c)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へ前記処理ガスおよび前記クリーニングガスのいずれも供給することなく、前記処理容器内が加熱された状態を維持する(レシピを実行する)工程を更に有し、
(b)終了後、(a)を開始するまでの間に、(c)を不実施とする。
付記2に記載の方法であって、
(a)終了後、(b)を開始するまでの間に、(c)を実施する。
付記2に記載の方法であって、
(a)終了後、(b)を開始するまでの間に、(c)を不実施とする。
付記1~4のいずれか1項に記載の方法であって、
(b)終了直後に(a)を開始する。
付記5に記載の方法であって、
(a)終了後、所定時間経過後に、(b)を開始する。
付記5に記載の方法であって、
(a)終了直後に(b)を開始する。
付記1~7のいずれか1項に記載の方法であって、
(b)終了後、(a)を開始するまでの時間を0時間とする。
付記8に記載の方法であって、
(a)終了後、(b)を開始するまでの時間を0時間とする。
付記1~9のいずれか1項に記載の方法であって、
(a)における前記処理容器内の最大温度と、(b)における前記処理容器内の最大温度と、は異なる。
付記10に記載の方法であって、
(b)における前記処理容器内の最大温度は、(a)における前記処理容器内の最大温度よりも高い。
付記10または11に記載の方法であって、
(b)は、
(b1)第1温度とした前記処理容器内へ前記クリーニングガスを供給する工程と、
(b2)前記処理容器内を前記第1温度から第2温度まで昇温させる工程と、
(b3)前記処理容器内を前記第2温度から(a)における処理温度まで降温させる工程と、
を有する。好ましくは、(b2)では、前記処理容器内を第2温度まで昇温させた後、前記処理容器内を第2温度に所定時間保持する。
付記12に記載の方法であって、
前記第1温度は(a)における前記処理温度よりも低く、前記第2温度は(a)における前記処理温度よりも高い。
付記12または13に記載の方法であって、
(b2)では、不活性ガスを前記処理容器内へ供給し前記処理容器内から排気する。さらに、(b3)では、不活性ガスを前記処理容器内へ供給し前記処理容器内から排気する。
付記1~14のいずれか1項に記載の方法であって、
前記クリーニングガスはハロゲン含有ガスである。前記ハロゲン含有ガスはフッ素含有ガスである。
付記1~15のいずれか1項に記載の方法であって、
(a)では、前記基板上に膜を形成する処理を行う。前記膜はシリコン含有膜である。前記シリコン含有膜はシリコン膜である。前記シリコン膜はドーパントがドープされたシリコン膜である。
付記1~16のいずれか1項に記載の方法であって、
(a)と(b)とを繰り返し行う工程では、(a)を1回行う工程と、(b)を1回行う工程と、を交互に繰り返し行う。すなわち、(a)を1回行う毎に(b)を行う。
付記1~16のいずれか1項に記載の方法であって、
(a)と(b)とを繰り返し行う工程では、(a)を複数回行う工程と、(b)を1回行う工程と、を交互に繰り返し行う。すなわち、(a)を複数回行う毎に(b)を行う。
本開示の他の態様によれば、
基板が処理される処理容器と、
前記処理容器内を加熱するヒータと、
前記処理容器内へ処理ガスを供給する処理ガス供給系と、
前記処理容器内へクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、
付記1の各処理(各工程)を行わせるように、前記ヒータ、前記処理ガス供給系、および前記クリーニングガス供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本開示のさらに他の態様によれば、
付記1の各手順(各工程)をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム、または、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
201 処理室
Claims (21)
- (a)基板を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する工程と、
(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へクリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する工程と、
を繰り返し行う工程を有し、
(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とする半導体装置の製造方法。 - (c)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へ前記処理ガスおよび前記クリーニングガスのいずれも供給することなく、前記処理容器内が加熱された状態を維持する工程を更に有し、
(b)終了後、(a)を開始するまでの間に、(c)を不実施とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - (a)終了後、(b)を開始するまでの間に、(c)を実施する請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)終了後、(b)を開始するまでの間に、(c)を不実施とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- (b)終了直後に(a)を開始する請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)終了後、所定時間経過後に、(b)を開始する請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)終了直後に(b)を開始する請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- (b)終了後、(a)を開始するまでの時間を0時間とする請求項1~7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)終了後、(b)を開始するまでの時間を0時間とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)における前記処理容器内の最大温度と、(b)における前記処理容器内の最大温度と、は異なる請求項1~9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (b)における前記処理容器内の最大温度は、(a)における前記処理容器内の最大温度よりも高い請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- (b)は、
(b1)第1温度とした前記処理容器内へ前記クリーニングガスを供給する工程と、
(b2)前記処理容器内を前記第1温度から第2温度まで昇温させる工程と、
(b3)前記処理容器内を前記第2温度から(a)における処理温度まで降温させる工程と、
を有する請求項10または11に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1温度は(a)における前記処理温度よりも低く、前記第2温度は(a)における前記処理温度よりも高い請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- (b2)では、不活性ガスを前記処理容器内へ供給し前記処理容器内から排気する請求項12または13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記クリーニングガスはハロゲン含有ガスである請求項1~14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)では、前記基板上に膜を形成する処理を行う請求項1~15のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)と(b)とを繰り返し行う工程では、(a)を1回行う工程と、(b)を1回行う工程と、を交互に繰り返し行う請求項1~16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)と(b)とを繰り返し行う工程では、(a)を複数回行う工程と、(b)を1回行う工程と、を交互に繰り返し行う請求項1~16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)基板を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する工程と、
(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へクリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する工程と、
を繰り返し行う工程を有し、
(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とする基板処理方法。 - 基板が処理される処理容器と、
前記処理容器内を加熱するヒータと、
前記処理容器内へ処理ガスを供給する処理ガス供給系と、
前記処理容器内へクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給系と、
(a)基板を収容した加熱された状態の前記処理容器内へ前記処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する処理と、(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へ前記クリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する処理と、を繰り返し行わせ、(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とするように、前記ヒータ、前記処理ガス供給系、および前記クリーニングガス供給系を制御することが可能なよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - (a)基板を収容した加熱された状態の処理容器内へ処理ガスを供給し前記基板を処理するプロセスレシピを実行する手順と、
(b)前記基板を収容していない加熱された状態の前記処理容器内へクリーニングガスを供給し前記処理容器内をクリーニングするクリーニングレシピを実行する手順と、
を繰り返し行う手順と、
(b)終了後に(a)を開始するまでの時間を、(a)終了後に(b)を開始するまでの時間以下とする手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001131751A (ja) | 1999-11-01 | 2001-05-15 | Nec Corp | 気相成長装置および半導体装置の製造方法 |
WO2009119177A1 (ja) | 2008-03-28 | 2009-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法、成膜装置および記憶媒体 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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