JP7198728B2 - 画像検査システム、及び画像検査システムのパラメータ調整方法、特定アルゴリズム用の設定値調整システム、特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法 - Google Patents
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検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成された画像検査システムにおいて、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段と、
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される。
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する画像検査システムのパラメータ調整方法において、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する前に、該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定し、
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいて前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する。
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成され、前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段を備える特定アルゴリズム用のパラメータ調整システムであって、
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域を判定エリアとして導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される。
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する特定処理により、検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法であって、
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいてパラメータの調整に関する調整処理を実行する。
Claims (4)
- 検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成された画像検査システムにおいて、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段と、
前記特定手段が前記特定処理によって前記検査用の画像から前記候補特定画像を作成する前に前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段と、
前記候補領域内の前記候補の特定結果の正確さを示す適合情報を出力する適合度導出手段と、を備え、
前記調整手段は、前記特定対象が写る教師画像である特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出するエリア導出手段と、前記パラメータの候補となる候補パラメータを前記特定手段に設定するパラメータ設定手段と、前記特定手段に設定した前記候補パラメータを最適化する最適化手段と、前記最適化手段を実行するか否かを判定する実行判定手段とを有し、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を前記適合情報として導出するように構成され、
前記パラメータ設定手段は、複数の前記候補パラメータを導出する候補パラメータ導出処理と、複数の前記候補パラメータのそれぞれを前記特定手段に設定した状態で該特定手段に前記特定元画像への前記特定処理を実行させる実行処理と、前記実行処理で実行した前記特定処理によって前記候補パラメータごとに作成された前記候補特定画像の前記候補領域について前記適合度導出手段によって導出した前記適合情報を前記候補パラメータに関連付ける関連付け処理と、を行うように構成され、
前記最適化手段は、複数の前記候補パラメータのうち、前記適合情報が最も良いものを選択する選択処理と、前記選択処理で選択した前記候補パラメータから遺伝的アルゴリズムにより新たな前記候補パラメータを複数導出する候補作成処理と、前記候補作成処理で導出した複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれを1つずつ前記特定手段に設定して前記特定処理を実行する再設定処理とを実行するように構成され、
前記実行判定手段は、前記最適化手段を実行するか否かを判定するための判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されている場合、該候補パラメータを最適な前記パラメータとして出力し、前記判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されていない間は、前記選択処理、前記候補作成処理、前記再設定処理と、複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれについて前記特定処理と前記適合情報の導出とを行い、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付ける処理を繰り返し実行するように構成される、
画像検査システム。 - 検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する画像検査システムのパラメータ調整方法において、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する前に、該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータの調整を行い、
前記パラメータの調整では、
前記特定対象が写る教師画像である特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出し、
前記パラメータの候補となる候補パラメータを複数導出し、
複数の前記候補パラメータを一つずつ用いて前記特定元画像への前記特定処理を実行することによって、前記候補パラメータごとの前記候補特定画像を作成し、
前記候補特定画像のそれぞれについて、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出するとともに、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付け、
前記特定処理で用いる前記候補パラメータを最適化する最適化処理を実行するか否かを判定するための判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されている場合は、該候補パラメータを最適な前記パラメータとして出力し、前記判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されていない間は、複数の前記候補パラメータのうち、前記適合情報が最も良いものを選択し、前記適合情報が最も良い前記候補パラメータから遺伝的アルゴリズムにより新たな前記候補パラメータを複数導出し、複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれについて前記特定処理と前記適合情報の導出とを行い、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付けることを繰り返す、
画像検査システムのパラメータ調整方法。 - 検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成され、前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段を備える特定アルゴリズム用のパラメータ調整システムであって、
前記特定手段が前記特定処理によって前記検査用の画像から前記候補特定画像を作成する前に前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段と、
前記候補領域内の前記候補の特定結果の正確さを示す適合情報を出力する適合度導出手段と、を備え、
前記調整手段は、前記特定対象が写る教師画像である特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出するエリア導出手段と、前記パラメータの候補となる候補パラメータを前記特定手段に設定するパラメータ設定手段と、前記特定手段に設定した前記候補パラメータを最適化する最適化手段と、前記最適化手段を実行するか否かを判定する実行判定手段とを有し、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を前記適合情報として導出するように構成され、
前記パラメータ設定手段は、複数の前記候補パラメータを導出する候補パラメータ導出処理と、複数の前記候補パラメータのそれぞれを前記特定手段に設定した状態で該特定手段に前記特定元画像への前記特定処理を実行させる実行処理と、前記実行処理で実行した前記特定処理によって前記候補パラメータごとに作成された前記候補特定画像の候補領域について前記適合度導出手段によって導出した前記適合情報を前記候補パラメータに関連付ける関連付け処理と、を行うように構成され、
前記最適化手段は、前記候補パラメータのうち、前記適合情報が最も良いものを選択する選択処理と、前記選択処理で選択した前記候補パラメータから遺伝的アルゴリズムにより新たな前記候補パラメータを複数導出する候補作成処理と、前記候補作成処理で導出した複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれを1つずつ前記特定手段に設定して前記特定処理を実行する再設定処理とを実行するように構成され、
前記実行判定手段は、前記最適化手段を実行するか否かを判定するための判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されている場合、該候補パラメータを最適な前記パラメータとして出力し、前記判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されていない間は、前記選択処理、前記候補作成処理、前記再設定処理と、複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれについて前記特定処理と前記適合情報の導出とを行い、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付ける処理を繰り返し実行するように構成される、
特定アルゴリズム用のパラメータ調整システム。 - 検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する特定処理により、検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法であって、
前記特定処理を実行する前に、前記特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータの調整を行い、
前記パラメータの調整では、
前記特定対象が写る教師画像である特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出し、
前記パラメータの候補となる候補パラメータを複数導出し、
複数の前記候補パラメータのそれぞれを一つずつ用いて前記特定元画像への前記特定処理を実行することによって、前記候補パラメータごとの前記候補特定画像を作成し、
前記候補特定画像のそれぞれについて、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出するとともに、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付け、
前記特定処理で用いる前記候補パラメータを最適化する最適化処理を実行するか否かを判定するための判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されている場合は、該候補パラメータを最適な前記パラメータとして出力し、前記判定基準情報が示す条件を満たす前記適合情報が関連付けられている前記候補パラメータが導出されていない間は、複数の前記候補パラメータのうち、前記適合情報が最も良いものを選択し、前記適合情報が最も良い前記候補パラメータから遺伝的アルゴリズムにより新たな前記候補パラメータを複数導出し、複数の新たな前記候補パラメータのそれぞれについて前記特定処理と前記適合情報の導出とを行い、前記候補特定画像の作成に使用した前記候補パラメータと前記適合情報とを関連付けることを繰り返す、
特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法。
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JP2019105228A JP7198728B2 (ja) | 2019-06-05 | 2019-06-05 | 画像検査システム、及び画像検査システムのパラメータ調整方法、特定アルゴリズム用の設定値調整システム、特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法 |
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JP2020198030A JP2020198030A (ja) | 2020-12-10 |
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---|---|---|---|---|
JP2009210309A (ja) | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびこの欠陥検査装置に用いるパラメータ調整方法。 |
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2019
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009210309A (ja) | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置およびこの欠陥検査装置に用いるパラメータ調整方法。 |
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