JP7198045B2 - 試料調製方法、分析方法、品質管理方法及び装置 - Google Patents
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Description
(1)液体試料に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを分析するための分析用試料を調製する方法であって、活性酸素種を用いて、前記液体試料中の有機化合物を酸化分解する工程を含むことを特徴とする試料調製方法。
(2)前記ハロゲンは、塩素、臭素、ヨウ素、又はそれらの組み合わせであることを特徴とする、上記(1)に記載の試料調製方法。
(3)前記ハロゲンは塩素であることを特徴とする、上記(1)又は(2)に記載の試料調製方法。
(4)前記活性酸素種を用いて液体試料中の有機化合物を酸化分解する工程は、前記液体試料を、紫外線の照射下でオゾンと接触させることにより行うことを特徴とする、上記(1)~(3)のいずれかに記載の試料調製方法。
(5)前記オゾンは、無声放電方式で発生したオゾンであることを特徴とする、上記(4)に記載の試料調製方法。
(6)液体試料に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを分析する方法であって、上記(1)~(5)のいずれかに記載の試料調製方法によって取得した分析用試料中の硫黄及び/又はハロゲンを検出する検出工程を含むことを特徴とする分析方法。
(7)前記ハロゲンは塩素であり、前記検出工程は、イオンクロマトグラフ法によって検出することを特徴とする上記(6)に記載の分析方法。
(8)前記ハロゲンは塩素、臭素、ヨウ素、又はそれらの組み合わせであり、前記検出工程は、イオンクロマトグラフ法と質量分析法又は誘導結合プラズマ質量分析法とを組み合わせて検出することを特徴とする上記(6)に記載の分析方法。
(9)上記(6)~(8)のいずれかに記載の分析方法よって検出された液体試料中の硫黄及び/又はハロゲンの量が、予め設定された基準量以下であるか否かを判定する判定工程を含むことを特徴とする品質管理方法。
(10)上記(1)~(5)のいずれかに記載の試料調製方法を実施するための装置であって、液体試料を活性酸素種と接触させる接触部を備えることを特徴とする装置。
(11)オゾンを発生させるオゾン発生部、及び、紫外線を照射する紫外線ランプをさらに備えることを特徴とする、上記(10)に記載の装置。
本発明に係る試料調製方法は、液体試料に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを分析するための分析用試料を調製する方法であって、活性酸素種を用いて、前記液体試料中の有機化合物を酸化分解する工程を含む。
本発明において、液体試料とは、水系試料、すなわち水を含む試料物質であって、溶液であっても懸濁液であってもよい。液体試料の具体例としては、微量の硫黄及び/又はハロゲンを含む可能性のある水系試料であって、例えば、燃料電池からの排水、シリコンウェハの洗浄液、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)デバイスの洗浄液、有機ELデバイスの基板から剥離した有機薄膜を含む水溶液又は懸濁液、及びこれらの希釈液等が挙げられる。
本発明において、分析対象は、硫黄及び/又はハロゲンであり、本発明によれば、試料に含まれる全硫黄及び/又は全ハロゲンを定量することができる。ハロゲンとしては、フッ素(F)、塩素(Cl)、臭素(Br)、ヨウ素(I)等が挙げられ、好ましくは、塩素(Cl)、臭素(Br)、ヨウ素(I)である。
本発明において、活性酸素種は、大気中の酸素よりも高い反応性を有する酸素含有化合物を指し、例えば、ヒドロキシラジカル(OH)、スーパーオキシドイオン(O2 -)等の酸素イオン等が含まれる。
有機化合物の酸化分解工程において、液体試料中に導入されたオゾン(O3)又は過酸化水素(H2O2)に紫外線を照射することによって以下の反応が起こり、液体試料中に、酸化分解能を有する活性酸素種が発生すると考えられる。
液体試料と活性酸素種とを接触させることにより、試料中の有機化合物が酸化分解される。
上記の試料調製方法によって取得した分析用試料中に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを検出することにより、液体試料中の全硫黄及び/又は全ハロゲンを定量することができる。
本発明に係る品質管理方法は、上述した本発明に係る分析方法によって検出された液体試料中の全硫黄及び/又は全ハロゲンの量が、予め設定された基準量以下であるか否かを判定する判定工程を包含することを特徴としている。換言すれば、本発明に係る品質管理方法は、上述した本発明に係る試料調製方法によって取得した分析用試料中の全硫黄及び/又は全ハロゲンを検出する検出工程と、上記検出工程において検出された全硫黄及び/又は全ハロゲンの量が、予め設定された基準量以下であるか否かを判定する判定工程とを包含するものである。
本発明に係る装置は、上述した本発明に係る試料調製方法を実施するための装置であり、液体試料を活性酸素種と接触させる接触部を備えることを特徴とする。接触部においては、液体試料を活性酸素種と接触させることにより、液体試料に含まれる有機化合物を酸化分解し、試料中の全硫黄及び/又は全ハロゲンを一斉分析可能な分析用試料として調製することができる。
接触部の構成は、液体試料を収容することができ且つ液体試料に活性酸素種を十分に接触させることができる構成であれば特に限定されない。
本発明の一態様において、装置は、接触部に活性酸素種を供給する供給部を備える。具体的には、活性酸素種がオゾンに由来する場合、供給部としてオゾン発生部を備える。オゾン発生部において、オゾンを発生する方法としては、放電法、ランプ法等の慣用の手法を用いることができるが、高濃度のオゾンを清浄に発生させることができるため、無声放電方式が望ましい。また、活性酸素種が過酸化水素水に由来する場合は、汚染防止のために、不純物の混入が少ない電子工業薬品グレードの過酸化水素水を用いることが望ましい。
本発明の一態様において、装置は、接触部において液体試料に紫外線を照射する紫外線ランプを備えていてよい。紫外線ランプとしては、所望の波長及び光量に応じて任意の紫外線ランプを適宜選択することができる。例えば、253.7nmの紫外線ランプを好適に使用することができる。具体的には、三共電気株式会社製の紫外線ランプGPL27、ウシオ電機株式会社製UL0-6DQ等が挙げられる。
本発明の一態様において、装置は、活性酸素種供給部と接触部との間に、活性酸素種を清浄化する清浄化部を備えていてよい。これによって、活性酸素種を、液体試料と接触させる前に清浄化することができる。具体的には、活性酸素種がオゾンである場合、清浄化部において、オゾン発生部で発生したオゾンを純水と接触させることにより、オゾンをさらに清浄化することができる。容器の形状は、純水を収容することができ且つ純水に活性酸素種を十分に接触させることができる形状であれば特に限定されないが、例えば、ガス吸収瓶等を挙げることができる。
活性酸素種供給部、清浄化部及び接触部等をつなぐ配管としては、配管由来の不純物が発生しにくい材料、例えば、禁油仕様のステンレス鋼(SUS)等を用いることが好ましい。配管として一般的に用いられる可撓性のポリテトラフルオロエチレン(PTFE)チューブやシリコンチューブ等は、フッ素や有機酸等の配管由来物質が混入し得る。したがって、これらを使用する場合は、接続部のみといった最小限の使用に留めることが好ましい。
硫黄(S)を含有する有機化合物であるメタンスルホン酸(MSA)に、夾雑成分としてエタノール(EtOH)を添加した水溶液について、以下の方法により、MSA及びEtOHの酸化分解を行った。
本実施例で使用した試料調製装置(1)の概略図を、図1に示す。図1に示す装置は、無声放電方式によるオゾン発生装置(3)の出口に石英製ガス吸収瓶(接触部(2))に接続し、ガス吸収瓶からの排気の湿気を除去するトラップ管(4)を経て、オゾンキラー(5)へ繋ぐ試料調製装置である。
硫黄(S)を含有する有機化合物であるメタンスルホン酸(MSA)に、夾雑成分としてエタノール(EtOH)を添加した水溶液について、以下の方法により、MSA及びEtOHの酸化分解を行った。
すなわち、100ng/mLのMSA及び10μg/mLのEtOHを含む水溶液30mLを収容する石英製ガス吸収瓶に、過酸化水素水(H2O2)を10μg/mLとなるように当該水溶液中に添加して、MSA及びEtOHの酸化分解を行った。波長184.9nm及び253.7nmの紫外線の照射下で所定時間経過後、ガス吸収瓶から回収した水溶液について、水溶液中のSO4 2-濃度及びMSA濃度をイオンクロマトグラフ法により測定した。
MSA及びEtOHを含む水溶液について、紫外線を照射することによりMSAの酸化分解を行った。
夾雑成分としてEtOHを添加せず、100ng/mLのMSAのみを含む水溶液について、紫外線を照射することによりMSAの酸化分解を行った。
実施例1~4で各時間経過後にガス吸収瓶から回収した水溶液について、イオンクロマトグラフ法により測定したSO4 2-の濃度変化を図2に、MSAの濃度変化を図3に示す。
2 接触部
3 オゾン発生装置
4 トラップ管
5 オゾンキラー
6 SUS製容器
7 紫外線ランプ
Claims (8)
- 液体試料に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを分析するための分析用試料を調製する方法であって、
活性酸素種を用いて、前記液体試料中の有機化合物を酸化分解する工程を含み、
前記活性酸素種を用いて液体試料中の有機化合物を酸化分解する工程は、前記液体試料を、紫外線の照射下でオゾンと接触させることにより行い、
前記オゾンは、無声放電方式で酸素ガスを供給して発生したオゾンであることを特徴とする試料調製方法。 - 前記ハロゲンは、塩素、臭素、ヨウ素、又はそれらの組み合わせであることを特徴とする、請求項1に記載の試料調製方法。
- 前記ハロゲンは塩素であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の試料調製方法。
- 液体試料に含まれる硫黄及び/又はハロゲンを分析する方法であって、
請求項1~3のいずれか1項に記載の試料調製方法によって取得した分析用試料中の硫黄及び/又はハロゲンを検出する検出工程を含むことを特徴とする分析方法。 - 前記ハロゲンは塩素であり、
前記検出工程は、イオンクロマトグラフ法によって検出することを特徴とする請求項4に記載の分析方法。 - 前記ハロゲンは塩素、臭素、ヨウ素、又はそれらの組み合わせであり、
前記検出工程は、イオンクロマトグラフ法と質量分析法又は誘導結合プラズマ質量分析法とを組み合わせて検出することを特徴とする請求項4に記載の分析方法。 - 請求項4~6のいずれか1項に記載の分析方法によって検出された液体試料中の硫黄及び/又はハロゲンの量が、予め設定された基準量以下であるか否かを判定する判定工程を含むことを特徴とする品質管理方法。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の試料調製方法を実施するための装置であって、
上記装置は、液体試料を活性酸素種と接触させる接触部と、
無声放電方式で酸素ガスを供給してオゾンを発生させるオゾン発生部と、
紫外線を照射する紫外線ランプとを備え、
上記オゾン発生部と上記接触部との間に、オゾンを純水に接触させることで清浄化する清浄化部を備えていることを特徴とする装置。
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