JP7184849B2 - 電気化学的堆積システム - Google Patents
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- H01L21/2885—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a liquid, e.g. electrolytic deposition using an external electrical current, i.e. electro-deposition
Description
使用中、めっき溶液を受け取るように適合された堆積チャンバと、
第1の面においてワークピースを保持するためのワークピースホルダと、
第1の面に実質的に平行な第2の面においてシールドを保持するためのシールドホルダと、
使用中、めっき溶液を撹拌するプロファイル表面を有する攪拌プレートと、
を含み、
ワークピースホルダ、シールドホルダおよび攪拌プレートはすべて、堆積チャンバ内への挿入およびそこからの除去のために適合され、
電気化学的堆積システムは、ワークピースホルダとシールドホルダとの間の相対距離を、それらが堆積チャンバ内に配置されている間、第1および第2の面に垂直な方向において変化させるように動作可能なアクチュエータをさらに含む、
電気化学的堆積システムが提供される。
使用中、液体を撹拌するプロファイル表面を有する攪拌プレートと、
シールドを保持するためのシールドホルダと、
を含む、ワークピース上へターゲット材料を堆積させるための電気化学的堆積システムに用いるカートリッジが提供される。
101 ワークピース
106 ワークピース領域
107 エリア
108 ギャップエリア
112 留め穴
114 外側リング
116、116' アパーチャ
117 シールド領域
120 平面の本体
200 近パターニングシールド(CPS)
220 シールド部分
300 モジュール
300' 水平モジュール
301 ハウジング
301A 上部ハウジング
301B 中央ハウジング
301C 下方ハウジング
302 陽極アセンブリ
303 リニアモータ
304 内側キャビティ
310 ワークピースホルダ
311 ワークピース
312 撹拌プレート
314 撹拌プレートベース
313 電気的接続部
320 カートリッジ
321 カートリッジフレーム
322 移動ガイド
323 外側キャビティ
324 陽極
325 アクチュエータ
326 陽極支持体
328 膜支持体
329 排出マニフォールド
331 ベースプレート拡張部
332 撹拌支持プレート
333 撹拌プレート拡張部
343 下方キャビティ
344 上方キャビティ
338 キャリア
G ギャップ距離
H アパーチャ間隔
500 既知のECDシステム
510 ローダモジュール
512 ロード/入力段
515 プロセス経路
520 前処理モジュール
525 ワークピースホルダ
530、532、534、536、538 処理モジュール
540 後処理モジュール
550 アンローダモジュール
555 戻り経路
560 化学的管理システム
570 電気的管理システム
PH パネルホルダ
Claims (13)
- ワークピース上へ金属を堆積させるための電気化学的堆積システムであって、
使用中、めっき溶液を受け取るように適合された堆積チャンバと、
第1の面においてワークピースを保持するためのワークピースホルダと、
前記第1の面に実質的に平行な第2の面においてシールドを保持するためのシールドホルダと、
使用中、めっき溶液を撹拌するプロファイル表面を有する撹拌プレートと、
を含み、
前記ワークピースホルダ、前記シールドホルダ、および前記撹拌プレートはすべて、前記堆積チャンバ内への挿入およびそこからの除去のために適合され、
前記電気化学的堆積システムは、前記ワークピースホルダと前記シールドホルダとの間の相対距離を、それらが前記堆積チャンバ内に配置されている間、前記第1および第2の面に垂直な方向において変化させるように動作可能なアクチュエータをさらに含み、
前記アクチュエータは、前記シールドおよび前記ワークピースの対向表面が、使用中、前記堆積チャンバ内で2から6mmの範囲の距離内にくるように、前記ワークピースホルダと前記シールドホルダとの間の相対距離を変化させるように動作可能である、
電気化学的堆積システム。 - 前記撹拌プレートおよび前記シールドホルダは、前記堆積チャンバ内への挿入およびそこからの除去のため、カートリッジとして一緒に組み立てられている、請求項1に記載のシステム。
- 前記撹拌プレートは前記シールドホルダに取り付けられている、請求項2に記載のシステム。
- 前記撹拌プレートは、前記シールドホルダに可動に取り付けられ、前記第1の面に平行な方向において、その間の相対移動が可能である、請求項3に記載のシステム。
- 前記堆積チャンバ内への挿入およびそこからの除去のための少なくとも1つの追加のカートリッジを含む、請求項2に記載のシステム。
- 前記シールドホルダによって保持されたシールドを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記シールドは、アパーチャのパターンが中に形成された実質的に平らなプレートを含み、前記アパーチャのパターンは、使用中、前記ワークピース上に配置されたフィーチャの場所に実質的に対応している、請求項6に記載のシステム。
- 前記シールドは、アパーチャのパターンが中に形成された実質的に平らなプレートを含み、前記パターンは、前記プレートの平らな範囲にわたって周期的に繰り返す複数のサブパターンを含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記周期は5から100mmの範囲にある、請求項8に記載のシステム。
- 前記アクチュエータは、電気アクチュエータ、空気圧アクチュエータおよび水圧アクチュエータからなる群の1つを含む、請求項1に記載のシステム。
- 撹拌アクチュエータを含み、前記撹拌アクチュエータは、前記堆積チャンバに前記撹拌プレートが挿入されているとき、これに動作可能に接続され、前記第1の面に平行な方向において前記挿入された撹拌プレートの相互線状移動をもたらす、請求項1に記載のシステム。
- 前記撹拌プレートと前記撹拌アクチュエータとの間にカップリングを含み、前記カップリングは、前記撹拌プレートが前記堆積チャンバ内へ挿入されるときに係合し、前記撹拌プレートが前記堆積チャンバから除去されるときに外れる、請求項11に記載のシステム。
- 前記カップリングは磁気的カップリングを含む、請求項12に記載のシステム。
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