JP7182735B1 - ポンプ装置及びバルブモジュール - Google Patents

Abstract

【課題】吸込バルブ及び吐出バルブの取り付け及び取り外しを容易にする。【解決手段】ポンプ装置は、ポンプヘッドと装置本体部とを備える。ポンプヘッドは、吸込バルブ及び吐出バルブを一体的に保持すると共にバルブ間流路と外周面とを連通する側方流路を有するモジュールガイドを有するバルブモジュールと、バルブモジュールの下部を収容する第１収容室、吸込口、これと吸込バルブとを接続する吸込側流路、上部が側方流路よりも下側に設けられたポンプ室、これと側方流路とを接続するポンプ室連絡流路を有する第１ブロックと、バルブモジュールの上部を収容する第２収容室、吐出口、これと吐出バルブの上部とを接続する吐出側流路を有する第２ブロックと、各ブロックの結合手段とを有する。装置本体部は、第１ブロックのポンプ室に収容されたダイヤフラム及びこのダイヤフラムを往復駆動するアクチュエータを有する。【選択図】図１

Description

本発明は、ポンプ装置及びバルブモジュールに関する。

ダイヤフラムの往復動により移送流体を移送する往復動ポンプ（例えば、特許文献１参照）には、移送流体をポンプ室内に導入する吸込バルブと、移送流体をポンプ室内から吐出する吐出バルブとが設けられる。これら吸込バルブと吐出バルブは、通常、ポンプヘッドの下端及び上端に、垂直方向に複数段（例えば、２段式）配置されて取り付けられた構造を備える。これにより、吸込バルブ及び吐出バルブは、ポンプ室の斜め下方側及び斜め上方側に配置される。

特開平９－２０３３８０号公報

上記特許文献１に開示された従来技術の往復動ポンプは、吸込バルブと吐出バルブを、ポンプヘッドに対してそれぞれ固定ねじを介して接続する必要がある。このため、吸込バルブ及び吐出バルブの交換及びメインテナンス時等における各バルブの取り付け及び取り外しが容易ではないという問題がある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、吸込バルブ及び吐出バルブのポンプヘッドに対する取り付け及び取り外しを容易にすることができるポンプ装置及びバルブモジュールを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るポンプ装置は、ポンプヘッドと、前記ポンプヘッドが着脱可能に取り付けられる装置本体部と、を備え、前記ポンプヘッドは、吸込バルブと、吐出バルブと、移送流体を下方から上方に移送するように前記吸込バルブを下側に前記吐出バルブを上側に配置して前記吸込バルブ及び前記吐出バルブを一体的に保持すると共に前記吸込バルブ及び前記吐出バルブの間のバルブ間流路と外周面とを連通する側方流路を有するモジュールガイドと、を有するバルブモジュールと、前記バルブモジュールの下部を収容する第１収容室と、前記移送流体を吸入する吸込口と、前記吸込口と前記吸込バルブの下部とを接続する吸込側流路と、上部が前記バルブモジュールの側方流路よりも下側に設けられたポンプ室と、前記ポンプ室と前記バルブモジュールの側方流路とを接続するポンプ室連絡流路と、を有する第１ブロックと、前記バルブモジュールの上部を収容する第２収容室と、前記移送流体を吐出する吐出口と、前記吐出口と前記吐出バルブの上部とを接続する吐出側流路と、を有する第２ブロックと、内部に前記バルブモジュールを収容した状態で、前記第１ブロックと前記第２ブロックとを結合させる結合手段と、を有し、前記装置本体部は、前記第１ブロックのポンプ室に収容されたダイヤフラムと、このダイヤフラムを往復駆動するアクチュエータと、を有する。

本発明の一実施形態において、複数の前記バルブモジュールと、前記複数のバルブモジュールを収容する複数の前記第１収容室及び第２収容室と、前記複数のバルブモジュールに対応した複数のポンプ室、複数の前記ダイヤフラム及び複数の前記アクチュエータとを備え、前記複数のバルブモジュールは、水平方向に並設され、前記吸込口は前記第１ブロックの側面に形成され、前記吸込側流路は、前記吸込口と連通し水平方向に延びる第１吸込側流路と、前記第１吸込側流路と前記複数の第１収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吸込側流路と、を有し、前記吐出口は前記第２ブロックの側面に形成され、前記吐出側流路は、前記吐出口と連通し水平方向に延びる第１吐出側流路と、前記第１吐出側流路と前記複数の第２収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吐出側流路と、を有し、前記アクチュエータは、位相をずらせて前記複数のダイヤフラムをそれぞれ駆動する。

本発明の他の実施形態において、複数の前記バルブモジュールと、前記複数のバルブモジュールを収容する複数の前記第１収容室及び第２収容室と、前記複数のバルブモジュールに対応した複数のポンプ室、複数の前記ダイヤフラム及び複数の前記アクチュエータとを備え、前記複数のバルブモジュールは、水平方向に並設され、前記吸込口は前記第１ブロックの側面に形成され、前記吸込側流路は、前記吸込口と連通し水平方向に延びる第１吸込側流路と、前記第１吸込側流路と前記複数の第１収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吸込側流路と、を有し、前記吐出口は前記第２ブロックの上面に形成され、前記吐出側流路は、前記吐出口と前記複数の第２収容室とをそれぞれ斜め方向に連通するように設けられ、前記アクチュエータは、位相をずらせて前記複数のダイヤフラムをそれぞれ駆動する。

本発明の更に他の実施形態において、前記バルブモジュールは、前記モジュールガイドの下端に前記モジュールガイドと一体的に設けられたガスケットを備え、前記モジュールガイドは、前記第１収容室に嵌合される前記吸込バルブ側の第１ガイド部と、前記第１ガイド部の外径よりも小径で前記第２収容室に嵌合される前記吐出バルブ側の第２ガイド部と、を有する段付き円筒状に形成され、前記第１ガイド部の上端と前記第２ブロックとの間にシール部材を有する。

本発明の更に他の実施形態において、前記ガスケットは、円筒部と、この円筒部の下端から水平方向の外側に張り出す鍔部とを有し、前記円筒部は、前記モジュールガイドの内周側に装着され、前記鍔部は、前記モジュールガイドの下端部に沿って配置されている。

本発明の更に他の実施形態において、前記モジュールガイドは、複数の前記側方流路と、前記第１ガイド部の外周部に形成されて、前記複数の側方流路を連絡する環状溝からなるガイド流路と、を備える。

本発明の更に他の実施形態において、前記ポンプ室は、前記第１ブロックの側面に設けられ、前記アクチュエータは、前記ダイヤフラムを水平方向に往復駆動する。また、前記ポンプ室は、前記第１ブロックの下面に設けられ、前記アクチュエータは、前記ダイヤフラムを垂直方向に往復駆動する。

本発明の一態様に係るバルブモジュールは、吸込バルブと、吐出バルブと、移送流体の吸込側に前記吸込バルブを配置すると共に前記移送流体の吐出側に前記吐出バルブを配置して前記吸込バルブと前記吐出バルブとを一体的に保持するモジュールガイドと、を備えたバルブモジュールであって、前記モジュールガイドは、第１の外径を有する前記吸込バルブ側の第１ガイド部と、前記第１の外径よりも小径の第２の外径を有する前記吐出バルブ側の第２ガイド部と、を有する段付き円筒状に形成され、前記吸込バルブと前記吐出バルブとの間に設けられたバルブ間流路と、前記バルブ間流路と前記第１ガイド部の外側面とを接続する側方流路と、を有し、前記側方流路は、前記バルブモジュールがポンプヘッドに装着された際にポンプ室に連通する。

本発明の一実施形態において、前記モジュールガイドの前記移送流体の吸込側に設けられたガスケットを更に有し、前記ガスケットは、円筒部と、この円筒部の一端から径方向の外側に張り出す鍔部とを有し、前記円筒部は、前記モジュールガイドの内周側に装着され、前記鍔部は、前記モジュールガイドの吸込側端部に沿って配置されている。

本発明の他の実施形態において、前記モジュールガイドは、複数の前記側方流路と、前記第１ガイド部の外周部に形成されて、前記複数の側方流路を連絡する環状溝からなるガイド流路と、を備える。

本発明の更に他の実施形態において、前記吸込バルブは、バルブホルダを介して前記モジュールガイドに保持されている。また、前記吸込バルブ及び前記吐出バルブは、ボールバルブ、アンブレラ型バルブ及びポペット式バルブのいずれか一つにより構成される。

本発明によれば、吸込バルブ及び吐出バルブのポンプヘッドに対する取り付け及び取り外しを容易にすることができる。

本発明の第１の実施形態に係るポンプ装置の外観構成を示す斜視図である。 同ポンプ装置のポンプヘッドの分解斜視図である。 図１のＡ－Ａ線断面図である。 図３のＢ－Ｂ線断面図である。 同ポンプ装置のダイヤフラムが取り付けられるアクチュエータを示す一部断面図である。 同ポンプ装置に用いられる他のバルブモジュールを示す断面図である。 同ポンプ装置に用いられる他のバルブモジュールを示す断面図である。 同ポンプ装置に用いられる他のバルブモジュールを示す断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るポンプ装置のポンプヘッドの分解斜視図である。 同ポンプヘッドの透過側面図である。 同ポンプヘッドの透過上面図である。 図１１のＣ－Ｃ線断面図である。 図１１のＤ－Ｄ線断面図である。 同ポンプヘッドの変形例を示す断面図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係るポンプ装置の一例として電磁定量ポンプ装置及びバルブモジュールを詳細に説明する。ただし、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。また、以下の実施形態において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を附して重複した説明を省略する。また、実施形態においては、各構成要素の縮尺及び寸法が実際のものとは一致しない状態で示されている場合、並びに一部の構成要素につき省略されて示されている場合があるとする。

［第１の実施形態］
［電磁定量ポンプ装置の外観構成］
図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプ装置の外観構成を示す斜視図である。図２は、このポンプ装置のポンプヘッドの分解斜視図である。また、図３は図１のＡ－Ａ線断面図、図４は図３のＢ－Ｂ線断面図である。

図１に示すように、第１の実施形態に係る電磁定量ポンプ装置（以下、「ポンプ装置」と呼ぶ。）１００は、ポンプヘッド１０と、このポンプヘッド１０が着脱可能に取り付けられる装置本体部５０と、を備える。

ポンプヘッド１０は、例えば樹脂成形品からなる。装置本体部５０は、例えば樹脂製の筐体を有し、その一側面（図１における、右側面）側に、上面、側面及び背面の一部を取り除いて形成された凹み形状のヘッド装着部５１を有する。ポンプヘッド１０は、装置本体部５０に対して、それぞれ上面、側面及び背面がはみ出さないように、ヘッド装着部５１に装着されている。このように、ポンプヘッド１０は、ヘッド装着部５１に装着された際に、ポンプ装置１００が全体として矩形状となるように、ヘッド装着部５１の空間を埋めて収まる範囲の寸法で形成されている。

装置本体部５０は、後述するポンプヘッド１０の複数のポンプ室１３（図３参照）にそれぞれ液密に取り付けられる可撓性のダイヤフラム１４（図３参照）と、このダイヤフラム１４を往復動させる複数のアクチュエータ６０（図５参照）とを内部に有する。なお、本実施形態ではポンプ室１３及びアクチュエータ６０は、それぞれ２つずつ設けられている。

装置本体部５０は、正面側に設けられた、ディスプレイ５２を有する操作パネル部５３と、装置本体部５０のヘッド装着部５１と反対側の側面に設けられた複数の外部入出力用ポート５４と、を備える。装置本体部５０の内部には、ポンプ装置１００の動作を制御する制御部（図示せず）が設けられている。ディスプレイ５２には、ポンプ装置１００の設定流量をはじめ、ポンプ装置１００に関する各種の情報が表示される。なお、設定流量は、例えば１００ｍｌ／ｍｉｎ～０．０１ｍｌ／ｍｉｎの流量範囲で設定可能である。

操作パネル部５３は、上記ディスプレイ５２と共に、電源ボタン５３ａ、ポンプ動作の開始・停止ボタン５３ｂ及びカーソル・リターン操作部５３ｃを有する。また、操作パネル部５３は、キャリブレーションボタン５３ｄ、モード設定ボタン５３ｅ、レンジ設定ボタン５３ｆ、ストローク設定ボタン５３ｇ及びＩ／Ｏ設定ボタン５３ｈを有する。カーソル・リターン操作部５３ｃには、最大量指定ボタン５３ｃａ及びエスケープボタン５３ｃｂが併設されている。ポンプ装置１００のユーザは、操作パネル部５３を介して各種の操作入力を行うことで、ポンプ装置１００の動作・設定等の各種の操作を行うことができる。

［ポンプヘッドの構成］
図２～図４に示すように、ポンプヘッド１０は、移送流体の吸込口１１と、移送流体の吐出口１２と、これら吸込口１１及び吐出口１２と連通する複数のポンプ室１３と、を有する。ポンプヘッド１０は、その内部に、水平方向に並設された複数のバルブモジュール２０を収容する。バルブモジュール２０は、垂直方向に配置された、例えばボールバルブにより構成される吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０（図３参照）を有する。

ポンプヘッド１０の吸込口１１には、図示しない接続ナットを介して吸込側ホースが接続され、タンクからの移送流体をポンプ室１３の内部に導入するようになっている。また、ポンプヘッド１０の吐出口１２には、図示しない接続ナットを介して吐出側ホースが接続され、ポンプ室１３からの移送流体を吐出側ホースに吐出するようになっている。

ポンプヘッド１０は、複数のバルブモジュール２０の吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０の間で垂直方向に分離可能な複数のポンプヘッドブロックを構成する第１ブロック１５及び第２ブロック１６を有する。第１ブロック１５は、側面に形成された吸込口１１と連通し水平方向に延びる第１吸込側流路７１と、この第１吸込側流路７１と連通し垂直方向の上方に延びる複数の第２吸込側流路７２と、を有する。

第１ブロック１５には、第２吸込側流路７２と連通しバルブモジュール２０の吸込バルブ３０側の部分が収容される複数の第１収容室７３が形成されている。なお、各第１収容室７３は、それぞれ上方に向けて開口している。また、第１ブロック１５には、ダイヤフラム１４と共にポンプ室１３を形成するためのダイヤフラム取付孔１７が、第１及び第２吸込側流路７１，７２と交差する方向に開口するように形成されている。ダイヤフラム取付孔１７は、ポンプ室１３の上部がバルブモジュール２０の後述する側方流路２７の位置よりも低くなる第１ブロック１５の位置に設けられている。

第２ブロック１６は、側面に形成された吐出口１２と連通し水平方向に延びる第１吐出側流路８１と、この第１吐出側流路８１と連通し垂直方向の下方に延びる複数の第２吐出側流路８２と、を有する。第２ブロック１６には、第２吐出側流路８２と連通しバルブモジュール２０の吐出バルブ４０側の部分が収容される複数の第２収容室８３が形成されている。なお、各第２収容室８３は、それぞれ下方に向けて開口している。

なお、第１ブロック１５及び第２ブロック１６は、垂直方向に延伸する、結合手段としての複数の固定ボルト１９によって、ねじ止め固定されることにより一体化され、ポンプヘッド１０を構成する。本実施形態の第１ブロック１５及び第２ブロック１６は、一体化されたときの装置本体部５０の操作パネル部５３側の角部が、それぞれ面取りされたような矩形状を有している。このように構成されたポンプヘッド１０は、装置本体部５０に対し、取付孔１５ａを介して図示しない複数の取付ねじでヘッド装着部５１にねじ止め固定されることにより、装置本体部５０の側面側に一体的に装着される。

［バルブモジュールの構成］
バルブモジュール２０は、吸込バルブ３０と、吸込バルブ３０と同一構成の吐出バルブ４０と、吸込バルブ３０を下側に、吐出バルブ４０を上側に配置して、両者を垂直方向に一体的に保持するモジュールガイド２３と、を備える。モジュールガイド２３は、下側に吸込バルブ収容室２３ａ、上側に吐出バルブ収容室２３ｂを有する。吸込バルブ３０は、バルブホルダ２１を介して吸込バルブ収容室２３ａに収容される。吐出バルブ４０は、吐出バルブ収容室２３ｂに収容される。なお、吸込バルブ収容室２３ａは、例えば吐出バルブ収容室２３ｂよりも大径の内周面を有する。この内径差はバルブホルダ２１によって吸収されている。

モジュールガイド２３は、吸込バルブ３０側の第１ガイド部２４と、この第１ガイド部２４の外径よりも小径で吐出バルブ４０側の第２ガイド部２５と、を有する段付き円筒状に形成されている。このように、モジュールガイド２３は、第１ガイド部２４及び第２ガイド部２５の間に段差を備えて形成されている。

なお、モジュールガイド２３は、第１ガイド部２４の第２ガイド部２５との段差近傍に周方向に所定間隔で配置された複数の側方流路２７を有する。複数の側方流路２７は、吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０の間のバルブ間流路７９ｂとモジュールガイド２３の外側面とを連通する。モジュールガイド２３は、第１ガイド部２４の第２ガイド部２５との段差近傍の外周部の全周にわたって、複数の側方流路２７を連絡する、例えば中心軸方向に凹む環状溝により構成された、移送流体が通流するガイド流路２６を備える。また、第１ブロック１５は、図３に示すように、複数のポンプ室１３の上部からそれぞれ斜め上方に延びて複数の第１収容室７３と連通する複数のポンプ室連絡流路７４を有する。

モジュールガイド２３の第１ガイド部２４に設けられたガイド流路２６は、例えばバルブモジュール２０が第１収容室７３にセットされた状態で、第１ブロック１５の第１収容室７３の内側において、ポンプ室１３と連通するポンプ室連絡流路７４と接続される。

ガイド流路２６は、このように吸込バルブ３０と吐出バルブ４０との間に３６０°全周にわたって設けられ、上記ポンプ室連絡流路７４を介してポンプ室１３と繋がる構造を備える。このため、バルブモジュール２０のポンプヘッド１０への着脱時の軸方向を中心とした回転方向の向きは自由であり、モジュール交換等の作業性が向上する。また、バルブモジュール２０は、吸込バルブ３０側の部分と吐出バルブ４０側の部分とが垂直方向に連続するように近くに配置可能な構造を有する。このため、バルブモジュール２０を構成する部品点数を削減しつつコンパクト化を図り、デッドスペースの削減を可能にする。

バルブモジュール２０の吸込バルブ３０は、一つのバルブボール３１と、このバルブボール３１の下方に配置されたバルブシート３２と、から構成される。吸込バルブ３０は、バルブホルダ２１に装着された状態で吸込バルブ収容室２３ａに収容されている。バルブボール３１は、バルブホルダ２１とバルブシート３２の間に、上下に僅かに移動できるように収容されている。バルブシート３２の内側の筒状空間７９ａの下端部は第２吸込側流路７２と連通し、上端部は吐出バルブ４０の下端側と連絡するようになっている。

バルブホルダ２１は、小径部２１ａ及び大径部２１ｂを有する段付き円筒状に形成されており、小径部２１ａが吸込バルブ収容室２３ａの小径の内周面の空間に嵌まり、大径部２１ｂとの段差部が吸込バルブ収容室２３ａの小径の内周面と大径の内周面との段差部に突き当たる構造となっている。バルブホルダ２１は、その上端部よりも僅かに下方の位置に形成された、モジュールガイド２３に形成された側方流路２７及びバルブボール３１の上方のバルブ間流路７９ｂと連通するホルダ流路３３を有する。

このバルブホルダ２１の大径部２１ｂの外周部とモジュールガイド２３の下端内周部との間には、例えばＰＴＦＥ製のガスケット３４が装着されている。このガスケット３４は、円筒部３４ａと、この円筒部３４ａの下端から径方向の外側に張り出す鍔部３４ｂとを有する。円筒部３４ａは、バルブホルダ２１とモジュールガイド２３との間で挟持されている。鍔部３４ｂは、例えば、モジュールガイド２３の下端（吸込側端部）を覆うように、下端に沿って設けられている。

このガスケット３４は、モジュールガイド２３にガスケット３４を介してバルブホルダ２１がセットされた際に、バルブホルダ２１の下部外周及びモジュールガイド２３の下部内周と密着し、第１ブロック１５と第２ブロック１６とが上下に結合された際に、第１ブロック１５の第１収容室７３の底面と密着する。これにより、ガスケット３４は、第１収容室７３の吸込バルブ３０側とポンプ室１３側とをシールする。

バルブモジュール２０の吐出バルブ４０は、吸込バルブ３０と同様に、一つのバルブボール４１と、このバルブボール４１の下方に配置されたバルブシート４２と、から構成される。バルブボール４１は、モジュールガイド２３とバルブシート４２の間で上下に僅かに移動できるように吐出バルブ収容室２３ｂ内に収容されている。バルブシート４２の内側の筒状空間７９ｃの下端部が吸込バルブ３０の上端側と連絡し、上端部が第２収容室８３の上方に形成された円錐台状空間８４の下端部と複数の垂直流路７９ｄを介して連絡され、更に第２吐出側流路８２と連通するようになっている。

なお、吸込バルブ収容室２３ａに収容されたバルブホルダ２１は、その上端部によって、吐出バルブ４０のバルブシート４２の下端部を上方側に押さえ付けている。したがって、バルブモジュール２０の組み立ては、バルブボール４１及びバルブシート４２をモジュールガイド２３にセットし、バルブホルダ２１にバルブボール３１、バルブシート３２を取り付けた上で、バルブホルダ２１及びガスケット３４をモジュールガイド２３に嵌め込むという簡単な作業で行うことができる。なお、ガスケット３４は、予めバルブホルダ２１に嵌めておいても良いし、予めモジュールガイド２３に嵌めておいても良いし、モジュールガイド２３にバルブホルダ２１を嵌めた後に両者の間に嵌めるようにしても良い。これにより、吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０が垂直方向に連続するように配置されたバルブモジュール２０を形成することができる。また、バルブモジュール２０は、上記のように組み立ててモジュール化することができるので、構成部品の部品点数を削減しつつ組立性を向上させ、併せてコンパクト化を図ることが可能となる。また、バルブモジュール２０は、吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０を同一構成のみならず、異なるバルブ方式（例えば、アンブレラ型バルブ、ポペット式バルブ等）と組み合わせてモジュール化することも可能である。

このように構成されたバルブモジュール２０は、第１ガイド部２４が第１収容室７３に収容され、第２ガイド部２５が第２収容室８３に収容されて、第１及び第２ブロック１５，１６により上下方向に挟持された状態で、ポンプヘッド１０の内部に備えられる。なお、ポンプヘッド１０における第１ブロック１５及び第２ブロック１６の合わせ面からの移送流体の漏洩は、第１ガイド部２４の上端面側に配置されたシール部材としてのＯリング８９により防止される。

ガスケット３４の鍔部３４ｂは、第１収容室７３の底面側に配置される。この鍔部３４ｂは、バルブモジュール２０のモジュールガイド２３の下端面と、第１収容室７３の底面及びこれと連続する内周面との間をシールする。Ｏリング８９は、第１ガイド部２４の上端面側に配置される。Ｏリング８９は、この第１ガイド部２４の上端面と、第１収容室７３の内周面と、上記合わせ面よりも第１収容室７３側に突出する第２ブロック１６の逆円錐台状部分の外周面との間をシールする。なお、Ｏリング８９に代えて、シール部材としてＰＴＦＥ等からなるガスケット（図示せず）を配置するようにしても良い。

このように、バルブモジュール２０は、第１ブロック１５及び第２ブロック１６に挟持された際に、シール設計の思想が全ていわゆる突き当て構造（上下方向に圧力をかけてシールする構造）となっている。このため、径方向にシールするような構造と比べて、シール性が良く、シール材の摩耗も少ない。また、径方向にシールする構造のように、移送流体の脈動でシール材が上下に運動してしまうことはない。従って、吐出精度が悪化することがなく、これらに伴う流量低下を招くこともない。更に、シール材設置のための溝部等のスペース確保も不要であり、デッドスペース及びエアだまり箇所を削減することができる。また、シールが突き当て構造であるため、側面シールに比べて、バルブモジュール２０の取り外しが容易である。このため、吐出精度、シール性及び組立性の向上を図りながら、高圧負荷時の流量低下等の不具合を防止し、更にデッドスペースの削減を図ることが可能となる。

［ポンプヘッド周りの構成］
図５は、ポンプ装置のダイヤフラムが取り付けられるアクチュエータを示す一部断面図である。図５に示すように、アクチュエータ６０は、例えば電磁アクチュエータで、外観円筒状のアクチュエータ本体６１と、このアクチュエータ本体６１の基端側に設けられ、電気配線６２ａ及び信号配線６２ｂが接続された制御基板６２と、を有する。アクチュエータ本体６１の制御基板６２とは反対側の先端側には、装置本体部５０の図示しない内部取付部への取付パネル６３が、例えばねじ止め等により装着されている。

アクチュエータ本体６１の先端側に延伸する棒状の駆動軸６４は、アクチュエータ６０の駆動力によって図中矢印で示す方向に往復駆動される。駆動軸６４の先端には、往復動部材であるダイヤフラム１４が、インサートボルト１９ａを介して装着されている。ダイヤフラム１４の中央背面部は、駆動軸６４に装着されたリテーナ１８によって支持されている。

なお、ダイヤフラム１４と取付パネル６３との間には、円筒状のブラケット６６が取り付けられている。ブラケット６６は、内部に防水用のブッシュ６５を有し、ポンプヘッド１０の第１ブロック１５のダイヤフラム取付孔１７に嵌合する。ダイヤフラム１４の周縁部は、ダイヤフラム取付孔１７の底部とブラケット６６との間で挟持される。ダイヤフラム１４は、その前面中央部でポンプヘッド１０の第１ブロック１５との間にポンプ室１３を形成する。

［ポンプ装置の動作］
次に、このように構成されたポンプ装置１００の動作について説明する。
装置本体部５０の制御部は、操作パネル部５３を介して入力された設定情報に基づき、所定の流量で移送流体を移送するために、２つのアクチュエータ６０のいずれか一方の駆動軸６４と共にダイヤフラム１４を水平方向に後退させる吸込動作と、いずれか他方の駆動軸６４と共にダイヤフラム１４を水平方向に前進させる吐出動作と、を並行して実行する。すなわち、アクチュエータ６０は、位相をずらせて複数のダイヤフラム１４をそれぞれ駆動可能に構成されている。

吸込動作においては、バルブモジュール２０の吸込バルブ３０が開くと共に吐出バルブ４０が閉じるので、移送流体は、図示しないタンクから吸込口１１、第１吸込側流路７１、第２吸込側流路７２、吸込バルブ３０、バルブ間流路７９ｂ、ホルダ流路３３、側方流路２７、ガイド流路２６、ポンプ室連絡流路７４を介してポンプ室１３内に導入される。このとき、吐出バルブ４０は、バルブボール４１がバルブシート４２に密着しているので、移送流体が吐出側に流入することはない。

また、吐出動作においては、バルブモジュール２０の吐出バルブ４０が開くと共に吸込バルブ３０が閉じるので、移送流体は、ポンプ室１３からポンプ室連絡流路７４、ガイド流路２６、側方流路２７、ホルダ流路３３、バルブ間流路７９ｂ、吐出バルブ４０、円錐台状空間８４、第２吐出側流路８２、第１吐出側流路８１、吐出口１２を介して吐出側ホースに吐出される。

［実施形態の効果］
第１実施形態に係るポンプ装置１００は、ポンプヘッド１０が、バルブモジュール２０の途中の箇所、換言すれば吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０の間の箇所で、第１ブロック１５及び第２ブロック１６に上下に分離できるようになっているので、バルブモジュール２０の取り付け及び取り外しが容易である。これにより、バルブモジュール２０の交換等を含めたメインテナンス性を向上させることができる。

また、バルブモジュール２０が吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０を一体的にユニット化した構造を備えるので、吸込バルブ３０と吐出バルブ４０とを別々にポンプヘッド１０に取り付けるものと比較して、ポンプヘッド１０への取り付け及び取り外し作業が著しく簡便となる。さらに、移送流体の流路の一部を構成するガイド流路２６が、バルブモジュール２０のモジュールガイド２３の３６０°全周にわたって形成されているので、第１ブロック１５の第１収容室７３へのバルブモジュール２０の取付時の向き（方向性）は自由であり、容易に取り付けることが可能となる。

なお、本実施形態のポンプヘッド１０においては、ポンプ室１３に繋がるバルブモジュール２０の各流路２６，２７，３３の容積が、吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０間において小さくなるように構成されているので、デッドボリュームを小さくすることが可能である。このように、第１の実施形態のポンプ装置１００によれば、デッドボリュームを小さくし、且つ吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０のポンプヘッド１０に対する取り付け及び取り外しを容易にすることが可能となる。

［他のバルブモジュールの構成］
図６、図７及び図８は、上述したポンプ装置に用いられる他のバルブモジュールを示す断面図である。図６に示すように、他のバルブモジュール２０Ａは、例えばポペット式バルブにより構成される吸込バルブ３０Ａ及び吐出バルブ４０Ａが垂直方向に配置された構造を備えている。

バルブモジュール２０Ａのモジュールガイド２３Ａ、第１ガイド部２４Ａ及び第２ガイド部２５Ａは、上述したバルブモジュール２０のモジュールガイド２３、第１ガイド部２４及び第２ガイド部２５と同様の外形形状及び外形寸法で形成され、ガイド流路２６も同位置に形成されている。したがって、バルブモジュール２０Ａは、ポンプヘッド１０の第１ブロック１５及び第２ブロック１６の第１収容室７３及び第２収容室８３内に、バルブモジュール２０と同様に収容され得る。

バルブモジュール２０Ａの吸込バルブ３０Ａは、一つのポペット式バルブ３１Ａと、このポペット式バルブ３１Ａが開閉可能に取り付けられたバルブシートの機能を兼ねるバルブホルダ２１Ａと、から構成される。バルブホルダ２１Ａは、ポペット式バルブ３１Ａの弁体３１Ａａが上下に僅かに移動できるようにポペット式バルブ３１Ａが取り付けられる筒状空間を形成する。

バルブモジュール２０Ａの吐出バルブ４０Ａは、一つのポペット式バルブ４１Ａと、このポペット式バルブ４１Ａが開閉可能に取り付けられたバルブシートの機能を兼ねるモジュールガイド２３Ａと、から構成される。モジュールガイド２３Ａは、ポペット式バルブ４１Ａの弁体４１Ａａが上下に僅かに移動できるようにポペット式バルブ４１Ａが取り付けられる筒状空間を形成する。

なお、上下のポペット式バルブ３１Ａ，４１Ａ間には、バルブ間流路を形成するチャンバ２８が設けられており、このチャンバ２８には、ガイド流路２６と放射状に連通する側方流路２７が接続している。また、バルブホルダ２１Ａと吸込バルブ収容室２２との間には、鍔部３４ｂを有するガスケット３４が密着するように取り付けられている。

一方、図７に示すように、他のバルブモジュール２０Ｂは、例えばアンブレラ型バルブにより構成される吸込バルブ３０Ｂ及び吐出バルブ４０Ｂが垂直方向に配置された構造を備えている。なお、バルブモジュール２０Ｂのモジュールガイド２３Ｂ、第１ガイド部２４Ｂ及び第２ガイド部２５Ｂは、上述したバルブモジュール２０，２０Ａのモジュールガイド２３，２３Ａ、第１ガイド部２４，２４Ａ及び第２ガイド部２５，２５Ａと同様の外形形状及び外形寸法で形成され、ガイド流路２６も同位置に形成されている。したがって、バルブモジュール２０Ｂは、ポンプヘッド１０の第１ブロック１５及び第２ブロック１６の第１収容室７３及び第２収容室８３内に、バルブモジュール２０，２０Ａと同様に収容され得る。

バルブモジュール２０Ｂの吸込バルブ３０Ｂは、一つのアンブレラ型バルブ３１Ｂと、このアンブレラ型バルブ３１Ｂの下方に配置され、アンブレラ型バルブ３１Ｂの弁体３１Ｂａが開閉可能に取り付けられたバルブシートの機能を兼ねるバルブホルダ２１Ｂと、から構成される。モジュールガイド２３Ｂの吸込バルブ収容室２２の上方には、アンブレラ型バルブ３１Ｂの弁体３１Ｂａが上下に移動可能な筒状空間２９が形成されている。

バルブモジュール２０Ｂの吐出バルブ４０Ｂは、モジュールガイド２３Ｂの上端部に弁体４１Ｂａが開閉可能に取り付けられた一つのアンブレラ型バルブ４１Ｂと、バルブシートの機能を兼ねるモジュールガイド２３Ｂと、から構成される。アンブレラ型バルブ４１Ｂの弁体４１Ｂａは、第２ブロック１６の第２収容室８３に収容された際に、第２収容室８３の内部空間の上部に形成される筒状空間において上下に移動し得る。

なお、バルブホルダ２１Ｂには、第１ブロック１５の第２吸込側流路７２と連通する中央円形空間２１Ｂｃ及びこれと連通する垂直流路２１Ｂｂが形成されている。バルブホルダ２１Ｂと吸込バルブ収容室２２との間には、鍔部３４ｂを有するガスケット３４が密着するように取り付けられている。また、モジュールガイド２３Ｂには、筒状空間２９、ガイド流路２６及び側方流路２７と連通するバルブ間流路を形成する垂直流路２３Ｂｂが形成されている。

図８に示すように、他のバルブモジュール２０Ｃは、ボールバルブにより構成される吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０が垂直方向に配置された構造は、先のバルブモジュール２０と同様である。すなわち、バルブモジュール２０Ｃのモジュールガイド２３Ｃ、第１ガイド部２４Ｃ及び第２ガイド部２５Ｃは、上述したバルブモジュール２０，２０Ａ，２０Ｂのモジュールガイド２３，２３Ａ，２３Ｂ、第１ガイド部２４，２４Ａ，２４Ｂ及び第２ガイド部２５，２５Ａ，２５Ｂと同様の外形形状及び外形寸法で形成され、ガイド流路２６も同位置に形成されている。したがって、バルブモジュール２０Ｃは、ポンプヘッド１０の第１ブロック１５及び第２ブロック１６の第１収容室７３及び第２収容室８３内に、バルブモジュール２０，２０Ａ，２０Ｂと同様に収容され得る。

バルブモジュール２０Ｃにおいて、モジュールガイド２３Ｃの吸込バルブ収容室２３ａの下端近傍の内側位置には、例えばＰＴＦＥ製のガスケット３４Ａが、バルブホルダ２１の下端部とバルブシート３２の下端部とを覆うように装着されている。このガスケット３４Ａは、上述したガスケット３４と同様に円筒部３４ａ及び鍔部３４ｂを有する。円筒部３４ａは、バルブシート３２の内側の筒状空間７９ａの下端部及び第２吸込側流路７２（図示せず）と連通する筒状空間３４ｄを中心部に有する。円筒部３４ａは、吸込バルブ収容室２３ａの内周側に、例えば圧入装着されている。鍔部３４ｂは、モジュールガイド２３Ｃの下端（吸込側端部）を覆い且つ下端に沿って設けられている。

このガスケット３４Ａは、モジュールガイド２３Ｃにバルブホルダ２１をセットした後に装着され、吸込バルブ収容室２３ａの下部内周と密着し、第１ブロック１５と第２ブロック１６とが上下に結合された際に、第１ブロック１５の第１収容室７３の底面と密着する。これにより、ガスケット３４Ａは、第１収容室７３の吸込バルブ３０側とポンプ室１３側とをシールする。

このガスケット３４Ａによれば、円筒部３４ａの径方向の寸法管理が容易となる。すなわち、ガスケット３４Ａは、モジュールガイド２３Ｃの吸込バルブ収容室２３ａの内側に円筒部３４ａが挿入される構造であるので、ガスケット３４Ａの寸法管理は、吸込バルブ収容室２３ａの内径の寸法管理を考慮することのみでバルブモジュール２０Ｃを組み立てることが可能となる。これにより、ガスケット３４Ａの製造が容易となり、コストダウンを図ることが可能となる。

また、この構造のガスケット３４Ａによれば、円筒部３４ａが吸込バルブ収容室２３ａ内に深く差し込まれることなくシール性を確保することができる。これにより、モジュールガイド２３Ｃに対するガスケット３４Ａの着脱が容易となり、結果的にバルブモジュール２０Ｃの組み立て、分解が容易となるので、組立作業性を向上させることが可能となる。

このように、バルブモジュール２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを、バルブモジュール２０と同様の形状及び寸法で構成し、吸込バルブ３０，３０Ａ，３０Ｂ及び吐出バルブ４０，４０Ａ，４０Ｂをそれぞれ一体的にユニット化した構造とすることにより、ポンプヘッド１０において、例えば移送流体の種類、移送流体の粘度、設定流量等の各種の条件に応じた適切なバルブ方式（ボールバルブ、ポペット式バルブ、アンブレラ型バルブ等）に切り替え／交換することができ、種々の方式が異なるバルブをポンプヘッド１０に容易に適用することが可能となる。また、バルブモジュール２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃにおいて、吸込バルブ３０，３０Ａ，３０Ｂと吐出バルブ４０，４０Ａ，４０Ｂとを、上記のように同一構成のみならず、異なるバルブ方式で構成することも可能である。

［第２の実施形態］
［ポンプヘッドの構成］
図９は、本発明の第２の実施形態に係るポンプ装置のポンプヘッドの分解斜視図である。また、図１０は、ポンプヘッドの透過側面図、図１１はポンプヘッドの透過上面図、図１２は図１１のＣ－Ｃ線断面図、図１３は図１１のＤ－Ｄ線断面図である。なお、図９～図１３を含む以降の説明においては、第１の実施形態及びその変形例と同一の構成要素については同一の符号を付しているので、以下では重複する説明は省略する。

図９～図１３に示すように、第２の実施形態に係るポンプ装置のポンプヘッド１０Ａは、装置本体部５０の側面側に装着された第１の実施形態のポンプヘッド１０とは異なり、図示しない装置本体部の上面側に着脱可能に取り付けられる構造を備えている。このポンプヘッド１０Ａを用いれば、いわゆる縦型のポンプ装置を実現することができる。

ポンプヘッド１０Ａは、例えば樹脂成形品からなり、装置本体部の上面側に着脱可能に取り付けられる。ポンプヘッド１０Ａは、吸込口１１、第１及び第２吸込側流路７１，７２、第１収容室７３、下面にポンプ室１３が形成された第１ブロック１５Ａと、吐出口１２、第１及び第２吐出側流路８１，８２、第２収容室８３が形成された第２ブロック１６Ａと、を有する。第１ブロック１５Ａ及び第２ブロック１６Ａは、複数のバルブモジュール２０の吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０の間で垂直方向に分離可能である。

ポンプヘッド１０Ａの第１ブロック１５Ａは、装置本体部に取り付けられる基台部９１と、この基台部９１から立設し、内側に水平方向に並設された複数の第１収容室７３を有すると共に、外周部にねじ部９２ａが形成された円柱状の螺合部９２と、を備える。第１ブロック１５Ａの基台部９１は、例えば上面視で見て横長八角形状に形成されている。

基台部９１は、長辺側面に吸込口１１を有し、この吸込口１１から水平方向に延びる第１吸込側流路７１及び第１吸込側流路７１から垂直方向の上方に延び複数の第１収容室７３に連通する複数の第２吸込側流路７２を有する。また、基台部９１は、下方に開口しアクチュエータ６０に取り付けられたダイヤフラム１４と共にポンプ室１３を形成するダイヤフラム取付孔１７を複数有する。基台部９１の一部から螺合部９２にわたっては、上方に開口しバルブモジュール２０の吸込バルブ３０側の部分を収容する複数の第１収容室７３が形成されている。

なお、複数のアクチュエータ６０は、図示しない装置本体部において、駆動軸６４が垂直方向に往復動する状態で、上記第１収容室７３の並設方向と交差する水平方向に複数並設され、ダイヤフラム１４を垂直方向に往復駆動する。第２吸込側流路７２は、第１吸込側流路７１と連通すると共に、第１収容室７３に連通している。

ポンプ室１３と連通するポンプ室連絡流路７４は、複数のポンプ室１３からそれぞれ第１収容室７３に向かって方向が異なる斜め上方に延びるように、第１ブロック１５Ａの基台部９１及び螺合部９２にわたって形成されている。ポンプヘッド１０Ａの第２ブロック１６Ａは、山型に突出した円柱状に形成され、下端周縁部が第１ブロック１５Ａの螺合部９２の外径とほぼ同径のフランジ状に形成されている。

第２ブロック１６Ａは、山型部分の側面に吐出口１２を有し、この吐出口１２から水平方向に延びる第１吐出側流路８１及び第１吐出側流路８１から垂直方向の下方に延び複数の第２収容室８３に連通する複数の第２吐出側流路８２を有する。なお、山型部分は、円錐台状、多角錐台状、楕円錐台状等、種々の形状で形成され得る。第２ブロック１６Ａには、下方に向けて開口しバルブモジュール２０の吐出バルブ４０側の部分が収容される複数の第２収容室８３が、円錐台状空間８４を介して第２吐出側流路８２と連通するように形成されている。

第２ブロック１６Ａは、結合手段として、上述した固定ボルト１９の代わりに、例えばユニオンナット９３を被せて第１ブロック１５Ａの螺合部９２に螺合することにより、バルブモジュール２０を挟持した状態で第１ブロック１５Ａと一体的に固定される。このように構成されたポンプヘッド１０Ａは、図示しない装置本体部に対し複数の取付ねじ（図示せず）を介して上面側にねじ止め固定されることにより、一体的に装着される。その他、バルブモジュール２０の構成及びポンプヘッド１０Ａの各部の構成は、第１実施形態で説明したバルブモジュール２０が取り付けられたポンプヘッド１０と同様であるため、ここでは説明を割愛する。

第２実施形態に係るポンプヘッド１０Ａも、バルブモジュール２０の途中の箇所で、第１ブロック１５Ａ及び第２ブロック１６Ａに上下に分離可能であるので、バルブモジュール２０の取り付け及び取り外しが容易であり、バルブモジュール２０の交換等を含めたメインテナンス性を向上させることができる。また、異なるバルブモジュール２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃへの取り替え作業も容易に行うことができる。

また、バルブモジュール２０が吸込バルブ３０及び吐出バルブ４０を一体的にユニット化しているので、ポンプヘッド１０Ａへの取り付け及び取り外し作業が簡便となる。更に、このポンプヘッド１０Ａを有するポンプ装置は、第１の実施形態のポンプ装置１００に比べて、いわゆる縦型構造とすることができるので、ポンプ装置の設置幅が狭小な設置スペースにおいても、ポンプ装置１００と同等の機能を実現するポンプ装置を設置することが可能となる。このように、第２の実施形態のポンプヘッド１０Ａによれば、第１の実施形態と同様の作用効果を奏することが可能となる。

［変形例］
図１４は、ポンプヘッド１０Ａの変形例を示す断面図である。
図１４に示すように、変形例のポンプヘッド１０Ｂは、装置本体部５０の上面側に装着される点は、上記ポンプヘッド１０Ａと同様であるが、第２ブロック１６Ｂの吐出口１２が山型部分の上面に形成されている点が、吐出口１２が第２ブロック１６Ａの側面に形成されたポンプヘッド１０Ａとは相違している。その他の各部の構成はポンプヘッド１０Ａと同様であるため、ここでは説明を省略する。

このポンプヘッド１０Ｂによれば、吐出口１２を上方に開口するように設けることができるので、気泡が滞留し難い構造を実現する。なお、吐出口１２が上方に開口しているため、第２ブロック１６Ａにおいて設けられていた吐出口１２から水平方向に延びる第１吐出側流路８１は、第２ブロック１６Ｂでは廃止され、第２吐出側流路８２が円錐台状空間８４から吐出口１２に向けて斜め上方に延びている。

第２の実施形態及び変形例のポンプヘッド１０Ａ，１０Ｂによれば、第１ブロック１５Ａ及び第２ブロック１６Ａ，１６Ｂを、例えばユニオンナット９３によって手動により一体的に固定することができるので、別途取付用の工具等を使用せずに取り付けが可能である。また、上向きにポンプ室１３が形成され、そこからバルブモジュール２０に繋がるポンプ室連絡流路７４が斜め上方に上向きに形成されているので、ポンプ室１３内に気泡が入り難く、仮に気泡が入ったとしても排出し易い構造を実現する。

更に、ポンプヘッド１０Ａ，１０Ｂの水平方向の取り付け向きを、１８０°回転させて取り付けることができるので、例えば吸込口１１の開口向きを１８０°容易に変更することが可能である。また、ポンプヘッド１０Ａ，１０Ｂが装置本体部５０の上面側に装着されているため、例えば第１ブロック１５Ａから第２ブロック１６Ａ，１６Ｂを取り外したときの内部のバルブモジュール２０の状態を上方から容易に確認することができ、交換等の際に作業がし易くなる。なお、第１ブロック１５Ａ及び第２ブロック１６Ａ，１６Ｂを透明樹脂等で内部の様子を視認可能に形成した場合、第２ブロック１６Ａ，１６Ｂを取り外さなくとも、内部のバルブモジュール２０の様子を容易に確認可能となる。

以上、本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ ポンプヘッド
１１ 吸込口
１２ 吐出口
１３ ポンプ室
１４ ダイヤフラム
１５ 第１ブロック
１６ 第２ブロック
２０ バルブモジュール
２１ バルブホルダ
２２ 吸込バルブ収容室
２３ モジュールガイド
２３ａ 吸込バルブ収容室
２３ｂ 吐出バルブ収容室
２４ 第１ガイド部
２５ 第２ガイド部
２６ ガイド流路
２７ 側方流路
３０ 吸込バルブ
３４ ガスケット
４０ 吐出バルブ
５０ 装置本体部
６０ アクチュエータ
７１ 第１吸込側流路
７２ 第２吸込側流路
７３ 第１収容室
７４ ポンプ室連絡流路
８１ 第１吐出側流路
８２ 第２吐出側流路
８３ 第２収容室
１００ ポンプ装置

Claims (11)

1. ポンプヘッドと、
   前記ポンプヘッドが着脱可能に取り付けられる装置本体部と、を備え、
   前記ポンプヘッドは、
   吸込バルブと、吐出バルブと、移送流体を下方から上方に移送するように前記吸込バルブを下側に前記吐出バルブを上側に配置して前記吸込バルブ及び前記吐出バルブを一体的に保持すると共に前記吸込バルブ及び前記吐出バルブの間のバルブ間流路と外側面とを連通する側方流路を有するモジュールガイドと、を有するバルブモジュールと、
   前記バルブモジュールの下部を収容する第１収容室と、前記移送流体を吸入する吸込口と、前記吸込口と前記吸込バルブの下部とを接続する吸込側流路と、上部が前記バルブモジュールの側方流路よりも下側に設けられたポンプ室と、前記ポンプ室と前記バルブモジュールの側方流路とを接続するポンプ室連絡流路と、を有する第１ブロックと、
   前記バルブモジュールの上部を収容する第２収容室と、前記移送流体を吐出する吐出口と、前記吐出口と前記吐出バルブの上部とを接続する吐出側流路と、を有する第２ブロックと、
   内部に前記バルブモジュールを収容した状態で、前記第１ブロックと前記第２ブロックとを結合させる結合手段と、を有し、
   前記装置本体部は、前記第１ブロックのポンプ室に収容されたダイヤフラムと、このダイヤフラムを往復駆動するアクチュエータと、を有し、
   前記ポンプ室は、前記第１ブロックの下面に設けられ、
   前記アクチュエータは、前記ダイヤフラムを垂直方向に往復駆動し、前記バルブモジュールの下方位置に配置されている
   ポンプ装置。
2. 複数の前記バルブモジュールと、前記複数のバルブモジュールを収容する複数の前記第１収容室及び第２収容室と、前記複数のバルブモジュールに対応した複数のポンプ室、複数のポンプ室連絡流路、複数の前記ダイヤフラム及び複数の前記アクチュエータと、を備え、
   前記複数のバルブモジュールは、水平方向に並設され、
   前記複数のアクチュエータは、垂直方向から見て前記複数のバルブモジュールを間に挟むように、前記バルブモジュールの並設方向と交差する水平方向に並設されている
   請求項１記載のポンプ装置。
3. 前記吸込口は前記第１ブロックの側面に形成され、
   前記吸込側流路は、前記吸込口と連通し水平方向に延びる第１吸込側流路と、前記第１吸込側流路と前記複数の第１収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吸込側流路と、を有し、
   前記吐出口は前記第２ブロックの側面に形成され、
   前記吐出側流路は、前記吐出口と連通し水平方向に延びる第１吐出側流路と、前記第１吐出側流路と前記複数の第２収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吐出側流路と、を有し、
   前記アクチュエータは、位相をずらせて前記複数のダイヤフラムをそれぞれ駆動する
   請求項２記載のポンプ装置。
4. 前記吸込口は前記第１ブロックの側面に形成され、
   前記吸込側流路は、前記吸込口と連通し水平方向に延びる第１吸込側流路と、前記第１吸込側流路と前記複数の第１収容室とを垂直方向に連通する複数の第２吸込側流路と、を有し、
   前記吐出口は前記第２ブロックの上面に形成され、
   前記吐出側流路は、前記吐出口と前記複数の第２収容室とをそれぞれ斜め方向に連通するように設けられ、
   前記アクチュエータは、位相をずらせて前記複数のダイヤフラムをそれぞれ駆動する
   請求項２記載のポンプ装置。
5. 前記バルブモジュールは、前記モジュールガイドの下端に前記モジュールガイドと一体的に設けられたガスケットを備え、
   前記モジュールガイドは、前記第１収容室に嵌合される前記吸込バルブ側の第１ガイド部と、前記第１ガイド部の外径よりも小径で前記第２収容室に嵌合される前記吐出バルブ側の第２ガイド部と、を有する段付き円筒状に形成され、
   前記第１ガイド部の上端と前記第２ブロックとの間にシール部材を有する
   請求項１記載のポンプ装置。
6. 前記ガスケットは、円筒部と、この円筒部の下端から水平方向の外側に張り出す鍔部とを有し、
   前記円筒部は、前記モジュールガイドの内周側に装着され、
   前記鍔部は、前記モジュールガイドの下端部に沿って配置されている
   請求項５記載のポンプ装置。
7. 前記モジュールガイドは、複数の前記側方流路と、前記第１ガイド部の外周部に形成されて、前記複数の側方流路を連絡する環状溝からなるガイド流路と、を備える
   請求項５記載のポンプ装置。
8. 吸込バルブと、
   吐出バルブと、
   移送流体の吸込側に前記吸込バルブを配置すると共に前記移送流体の吐出側に前記吐出バルブを配置して前記吸込バルブと前記吐出バルブとを一体的に保持するモジュールガイドと、
   前記モジュールガイドの前記移送流体の吸込側に設けられたガスケットと、
   を備えたバルブモジュールであって、
   前記モジュールガイドは、第１の外径を有する前記吸込バルブ側の第１ガイド部と、前記第１の外径よりも小径の第２の外径を有する前記吐出バルブ側の第２ガイド部と、を有する段付き円筒状に形成され、前記吸込バルブと前記吐出バルブとの間に設けられたバルブ間流路と、前記バルブ間流路と前記第１ガイド部の外側面とを接続する側方流路と、を有し、
   前記側方流路は、前記バルブモジュールがポンプヘッドに装着された際にポンプ室に連通し、
   前記ガスケットは、円筒部と、この円筒部の一端から径方向の外側に張り出す鍔部とを有し、
   前記円筒部は、前記モジュールガイドの内周側に装着され、
   前記鍔部は、前記モジュールガイドの吸込側端部に沿って配置されている
   バルブモジュール。
9. 前記モジュールガイドは、複数の前記側方流路と、前記第１ガイド部の外周部に形成されて、前記複数の側方流路を連絡する環状溝からなるガイド流路と、を備える
   請求項８記載のバルブモジュール。
10. 前記吸込バルブは、バルブホルダを介して前記モジュールガイドに保持されている
    請求項８記載のバルブモジュール。
11. 前記吸込バルブ及び前記吐出バルブは、ボールバルブ、アンブレラ型バルブ及びポペット式バルブのいずれか一つにより構成される
    請求項８～１０のいずれか１項記載のバルブモジュール。

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