JP7180345B2 - Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components - Google Patents

Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components Download PDF

Info

Publication number
JP7180345B2
JP7180345B2 JP2018229844A JP2018229844A JP7180345B2 JP 7180345 B2 JP7180345 B2 JP 7180345B2 JP 2018229844 A JP2018229844 A JP 2018229844A JP 2018229844 A JP2018229844 A JP 2018229844A JP 7180345 B2 JP7180345 B2 JP 7180345B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bottom plate
plate
axis
plating
baffle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018229844A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020090718A (en
Inventor
秀利 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2018229844A priority Critical patent/JP7180345B2/en
Publication of JP2020090718A publication Critical patent/JP2020090718A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7180345B2 publication Critical patent/JP7180345B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

本発明は、めっき用バレル、めっき装置および電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a plating barrel, a plating apparatus, and a method for manufacturing electronic parts.

下記特許文献1には、電子部品等のワークを収容するバレルを備え、該バレルが回転可能に支持されためっき装置が開示されている。このようなめっき装置では、バレルが回転することで、バレル内のワークおよびめっき液が攪拌されて、ワーク間におけるめっきバラツキが抑制されている。 Patent Literature 1 listed below discloses a plating apparatus that includes a barrel that accommodates a work such as an electronic component and that is rotatably supported. In such a plating apparatus, the rotation of the barrel agitates the workpiece and the plating solution in the barrel, thereby suppressing variations in plating between workpieces.

特開2009-127120号公報JP 2009-127120 A

発明者らは、バレル内におけるワークおよびめっき液の攪拌が十分でない場合には、ワーク同士が互いに付着して、ワーク間にめっきバラツキが生じ得るとの知見を得た。そこで、発明者らは、鋭意研究の末、バレル内を十分に攪拌することができ、それによりワーク間におけるめっきバラツキを抑えることができる技術を新たに見出した。 The inventors have found that if the workpieces and the plating solution are not sufficiently agitated in the barrel, the workpieces may adhere to each other, resulting in plating variations among the workpieces. Therefore, after intensive research, the inventors have newly discovered a technique capable of sufficiently agitating the inside of the barrel and thereby suppressing variations in plating between works.

本発明は、めっきバラツキの抑制が図られためっき用バレル、めっき装置および電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plating barrel, a plating apparatus, and a method of manufacturing an electronic component in which variations in plating are suppressed.

本発明の一形態に係るめっき用バレルは、めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルであって、軸に対して直交する底板と、底板の一方面から延びて、底板と内部空間を画成する筒状の側板とを備え、底板の一方面に設けられるとともに軸方向から見て軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、側板の内側面に設けられるとともに軸方向に直交する方向から見て軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備える。 A plating barrel according to one aspect of the present invention is a plating barrel that has an internal space that accommodates a plurality of electronic components to be plated and that is rotatable around a predetermined axis. and a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate and defining an internal space with the bottom plate, the first side plate being provided on one side of the bottom plate and extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the axial direction. and a second baffle plate provided on the inner surface of the side plate and extending in the direction intersecting the axis when viewed from the direction orthogonal to the axial direction.

上記めっき用バレルにおいては、第1の邪魔板および第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備えることで、バレル内の攪拌性の向上が図られ、バレル内に収容される電子部品同士が互いに付着し合う事態を効果的に抑制することができる。そのため、上記めっき用バレルによれば、電子部品間のめっきバラツキを抑制することができる。 In the plating barrel, by providing at least one of the first baffle plate and the second baffle plate, the agitation property in the barrel is improved, and the electronic components accommodated in the barrel are mutually connected. It is possible to effectively suppress the sticking situation. Therefore, according to the above-described plating barrel, it is possible to suppress variations in plating between electronic components.

他の形態に係るめっき用バレルは、底板の一方面に第1の邪魔板が設けられており、底板が、軸方向から見て軸に対して回転対称の形状を有し、軸方向から見て、第1の邪魔板の中心位置が底板の外縁側に位置している。 In a plating barrel according to another embodiment, a first baffle plate is provided on one side of a bottom plate, and the bottom plate has a shape rotationally symmetrical with respect to the axis when viewed from the axial direction. The center position of the first baffle plate is located on the outer edge side of the bottom plate.

他の形態に係るめっき用バレルは、軸方向から見て、軸から底板の外縁までの距離に対する、軸から第1の邪魔板の中心位置までの距離の割合が、60%~90%の範囲である。 In the plating barrel according to another embodiment, the ratio of the distance from the shaft to the center position of the first baffle plate with respect to the distance from the shaft to the outer edge of the bottom plate when viewed in the axial direction is in the range of 60% to 90%. is.

他の形態に係るめっき用バレルは、底板の一方面に、軸を挟んで一対の第1の邪魔板が設けられており、一対の第1の邪魔板が軸方向から見て平行である。 A plating barrel according to another embodiment is provided with a pair of first baffle plates on one side of a bottom plate across an axis, and the pair of first baffle plates are parallel when viewed from the axial direction.

他の形態に係るめっき用バレルは、一対の第1の邪魔板の中心位置が、軸方向から見て軸に対して点対称となっている。 In the plating barrel according to another embodiment, the central positions of the pair of first baffle plates are point symmetrical with respect to the axis when viewed from the axial direction.

他の形態に係るめっき用バレルは、側板の内側面に第2の邪魔板が設けられており、第2の邪魔板が、底板から遠い側に、内側面を基準とする高さが低い先細部を有する。 In the plating barrel according to another embodiment, the second baffle plate is provided on the inner surface of the side plate, and the second baffle plate is located on the far side from the bottom plate and has a lower height with respect to the inner surface. Has details.

他の形態に係るめっき用バレルは、側板の内側面に複数の第2の邪魔板が設けられており、複数の第2の邪魔板はいずれも、先細部が底板から近い側の端部に対してバレル回転方向側に偏倚している。 A plating barrel according to another embodiment is provided with a plurality of second baffle plates on the inner surface of the side plate, and each of the plurality of second baffle plates has a tapered portion at the end near the bottom plate. On the other hand, it is biased toward the barrel rotation direction.

他の形態に係るめっき用バレルは、底板の一方面に、軸を挟んで一対の第1の邪魔板が設けられ、かつ、側板の内側面に、軸を挟んで一対の第2の邪魔板が設けられており、軸方向から見て、一対の第1の邪魔板の対向方向と、一対の第2の邪魔板の対向方向とが交差する。 In a plating barrel according to another embodiment, a pair of first baffle plates are provided on one side of the bottom plate with the shaft interposed therebetween, and a pair of second baffle plates are provided on the inner surface of the side plate with the shaft interposed therebetween. is provided, and when viewed from the axial direction, the facing direction of the pair of first baffle plates and the facing direction of the pair of second baffle plates intersect.

本発明の一形態に係る電子部品の製造方法は、めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルを用いた電子部品の製造方法であって、めっき用バレルが、軸に対して直交する底板と、底板の一方面から延びて、底板と内部空間を画成する筒状の側板とを備え、底板の一方面に設けられるとともに軸方向から見て軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、側板の内側面に設けられるとともに軸方向に直交する方向から見て軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備え、めっき用バレルの内部空間に電子部品を収容する工程と、軸が鉛直方向に対して傾いた状態でめっき用バレルを回転させて、電子部品をめっき処理する工程とを含む。 A method for manufacturing an electronic component according to one aspect of the present invention uses a plating barrel that has an internal space for housing a plurality of electronic components to be plated and is rotatable around a predetermined axis. In the method, a plating barrel is provided on one side of the bottom plate, comprising a bottom plate orthogonal to the axis and a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate and defining an inner space with the bottom plate. A first baffle plate extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the axial direction, and a second baffle plate provided on the inner surface of the side plate and extending in a direction intersecting the axis when viewed from a direction orthogonal to the axial direction A step of housing the electronic component in the internal space of the plating barrel, and a step of rotating the plating barrel with the axis tilted with respect to the vertical direction to plate the electronic component. including.

上記電子部品の製造方法においては、めっき用バレルが第1の邪魔板および第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備えることで、バレル内の攪拌性の向上が図られ、バレル内に収容される電子部品同士が互いに付着し合う事態を効果的に抑制することができる。そのため、上記電子部品の製造方法によれば、電子部品間のめっきバラツキを抑制することができる。 In the method for manufacturing an electronic component described above, the plating barrel is provided with at least one of the first baffle plate and the second baffle plate, so that the agitation in the barrel is improved, and the It is possible to effectively suppress the situation where the electronic components attached to each other adhere to each other. Therefore, according to the method for manufacturing an electronic component, variations in plating between electronic components can be suppressed.

本発明の一形態に係るめっき装置は、めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルを備えるめっき装置であって、めっき用バレルが、軸に対して直交する底板と、底板の一方面から延びて、底板と内部空間を画成する筒状の側板とを備え、めっき用バレルが、底板の一方面に設けられるとともに軸方向から見て軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、側板の内側面に設けられるとともに軸方向に直交する方向から見て軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備える。 A plating apparatus according to one aspect of the present invention is a plating apparatus that has an internal space for accommodating a plurality of electronic components to be plated and includes a plating barrel that is rotatable around a predetermined axis. A barrel includes a bottom plate orthogonal to the axis and a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate to define an inner space with the bottom plate, and a plating barrel is provided on one side of the bottom plate and on the axis. At least a first baffle plate extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the direction, and a second baffle plate provided on the inner surface of the side plate and extending in a direction intersecting the axis when viewed from a direction orthogonal to the axial direction Have one or the other.

上記めっき装置においては、めっき用バレルが第1の邪魔板および第2の邪魔板の少なくともいずれか一方を備えることで、バレル内の攪拌性の向上が図られ、バレル内に収容される電子部品同士が互いに付着し合う事態を効果的に抑制することができる。そのため、上記めっき装置によれば、電子部品間のめっきバラツキを抑制することができる。 In the above plating apparatus, the plating barrel is provided with at least one of the first baffle plate and the second baffle plate, so that the agitation in the barrel is improved, and the electronic component accommodated in the barrel It is possible to effectively suppress the situation in which they adhere to each other. Therefore, according to the above-described plating apparatus, it is possible to suppress variations in plating between electronic components.

本発明によれば、めっきバラツキの抑制が図られためっき用バレル、めっき装置および電子部品の製造方法が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the barrel for plating, the plating apparatus, and the manufacturing method of an electronic component which are intended to suppress plating variation are provided.

一実施形態に係るめっき装置を示した概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a plating apparatus according to one embodiment; FIG. 図1に示したバレルのII-II線断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the barrel shown in FIG. 1 taken along line II-II; 図1に示したバレルの底板を軸方向から見た図である。2 is an axial view of the bottom plate of the barrel shown in FIG. 1; FIG. 図1に示したバレルを開口部から見た図である。2 is a view of the barrel shown in FIG. 1 as seen from the opening; FIG. 開口部から見た第2の邪魔板を示した図である。It is the figure which showed the 2nd baffle plate seen from the opening. 一実施形態に係る電子部品の製造方法を示したフローチャートである。It is a flow chart which showed the manufacturing method of the electronic component concerning one embodiment.

以下、図面を参照して種々の実施形態および実施例について説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Various embodiments and examples are described below with reference to the drawings. In each drawing, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and overlapping descriptions are omitted.

図1に示すように、一実施形態に係るめっき装置1は、めっき液槽5と、めっき液槽5内に配置されたバレル10(めっき用バレル)と、バレル10に挿入された電極端子7とを備えて構成されている。 As shown in FIG. 1, a plating apparatus 1 according to one embodiment includes a plating solution bath 5, a barrel 10 (plating barrel) disposed in the plating solution bath 5, and electrode terminals 7 inserted into the barrel 10. and

めっき液槽5には、めっき液が注入されている。めっき液には、各種めっき液を用いることができ、たとえばSnめっき液やNiめっき液を用いることができる。めっき液の量は、少なくとも、バレル10に収容される複数の電子部品の全てが浸漬される量であればよい。 A plating solution is injected into the plating solution tank 5 . Various plating solutions can be used as the plating solution, for example, Sn plating solution and Ni plating solution can be used. The amount of the plating solution should be at least enough to immerse all of the plurality of electronic components housed in the barrel 10 .

バレル10は、モータMにより回転駆動されるシャフト12により回転軸Z周りに回転可能である。バレル10は、いわゆる傾斜バレルであり、回転軸Zが鉛直方向および水平方向のいずれに対しても傾斜している。バレル10は、たとえば樹脂材料により構成することができる。
バレル10は、図2に示すように、下方に位置する底板14と、底板14から上方に延びる筒状の側板16とを備えて構成されている。筒状の側板16は、下方側の端部が底板14により閉塞されており、上方側の端部は開放されて開口部10aを形成している。バレル10は、底板14と側板16とにより内部空間Cが画成されている。
A barrel 10 is rotatable about a rotation axis Z by a shaft 12 driven by a motor M to rotate. The barrel 10 is a so-called tilted barrel, in which the axis of rotation Z is tilted both vertically and horizontally. Barrel 10 can be made of, for example, a resin material.
As shown in FIG. 2, the barrel 10 includes a bottom plate 14 located below and a cylindrical side plate 16 extending upward from the bottom plate 14 . The cylindrical side plate 16 has a lower end closed by the bottom plate 14 and an upper end open to form an opening 10a. The barrel 10 has an internal space C defined by a bottom plate 14 and side plates 16 .

底板14は、図3に示すように、八角形板状を有しており、回転軸Zに対して直交し、かつ、その中心が回転軸Z上に位置するように配置されている。そのため、底板14は、回転軸Z方向から見て、回転軸Zに対して回転対称の形状を有している。底板14の上面14a(一方面)には、後述する一対の底面フィン22(第1の邪魔板)が設けられている。底板14の下面14bには、回転軸Zと同一の軸を有し、かつ、回転軸Zに対して平行に延びるシャフト12が設けられている。シャフト12は、バレル10と一体であってもよく、別体であってもよい。シャフト12がモータMにより回転駆動されると、図1に示すように、シャフト12およびバレル10が、回転軸Z周りに、周回方向(バレル回転方向)Rの向き(本実施形態では反時計回りの向き)に回転する。 As shown in FIG. 3, the bottom plate 14 has an octagonal plate shape and is arranged so as to be perpendicular to the rotation axis Z and have its center positioned on the rotation axis Z. As shown in FIG. Therefore, the bottom plate 14 has a shape that is rotationally symmetrical with respect to the rotation axis Z when viewed from the rotation axis Z direction. An upper surface 14a (one surface) of the bottom plate 14 is provided with a pair of bottom surface fins 22 (first baffle plate), which will be described later. A shaft 12 having the same axis as the rotation axis Z and extending parallel to the rotation axis Z is provided on the lower surface 14b of the bottom plate 14 . Shaft 12 may be integral with barrel 10 or may be separate. When the shaft 12 is driven to rotate by the motor M, as shown in FIG. 1, the shaft 12 and the barrel 10 are rotated around the rotation axis Z in the direction of rotation (barrel rotation direction) R (counterclockwise in this embodiment). direction).

側板16は、略八角形筒状の形状を有し、下側板部17と上側板部18とを含んで構成されている。本実施形態では、底板14と、側板16の下側板部17および上側板部18とは一体成型されている。 The side plate 16 has a substantially octagonal tubular shape and includes a lower plate portion 17 and an upper plate portion 18 . In this embodiment, the bottom plate 14 and the lower plate portion 17 and the upper plate portion 18 of the side plate 16 are integrally molded.

下側板部17は、回転軸Zに沿って底板14から離れる向きに、底板14の八角形状の外縁から延びる八角形筒状の部分であり、底板14から離れるに従って寸法(八角形環状断面の寸法)が拡大している。 The lower plate portion 17 is an octagonal cylindrical portion that extends from the octagonal outer edge of the bottom plate 14 along the rotation axis Z in a direction away from the bottom plate 14 , and the dimension (the dimension of the octagonal annular cross section) increases as the distance from the bottom plate 14 increases. ) is expanding.

上側板部18は、回転軸Zに沿って底板14から離れる向きに、下側板部17から連続的に延びる八角形筒状の部分であり、底板14から離れるに従って寸法(八角形環状断面の寸法)が縮小している。上側板部18の内側面16aには、後述する一対の側面フィン24(第2の邪魔板)が設けられている。 The upper plate portion 18 is an octagonal cylindrical portion that continuously extends from the lower plate portion 17 along the rotation axis Z in a direction away from the bottom plate 14, and the dimensions (the dimensions of the octagonal annular cross section) increase as the distance from the bottom plate 14 increases. ) is shrinking. An inner side surface 16a of the upper plate portion 18 is provided with a pair of side fins 24 (second baffle plates), which will be described later.

側板16には、図示しない複数の貫通孔が設けられている。めっき液槽5中のめっき液は、側板16に設けられた貫通孔を介してバレル10の内部空間Cに流入することができ、また、貫通孔を介してバレル10の内部空間Cから外部に流出することができる。貫通孔は、内部空間Cに収容される電子部品やその他の部材(ダミーボール等)がバレル10の外部に出ない程度の寸法に設計され得る。 The side plate 16 is provided with a plurality of through holes (not shown). The plating solution in the plating solution bath 5 can flow into the internal space C of the barrel 10 through the through-holes provided in the side plate 16, and can also flow out of the internal space C of the barrel 10 through the through-holes. can flow out. The through-hole can be designed to have dimensions such that electronic components and other members (dummy balls, etc.) housed in the internal space C do not protrude outside the barrel 10 .

電極端子7は、導電材料で構成された棒状部材であり、バレル10の上側から開口部10aを介して内部空間C内に挿入されている。バレル10の内部空間C内に位置する電極端子7の先端部7aは通電部となっており、底板14の近傍に配置され得る。本実施形態では、電極端子7は陰極端子であり、めっき液槽5内のバレル10外部に配置された陽極端子9との間に電圧が印加されると、電極端子7を介してバレル10内の各電子部品が通電されてその表面がめっき処理される。 The electrode terminal 7 is a rod-shaped member made of a conductive material, and is inserted into the internal space C from the upper side of the barrel 10 through the opening 10a. The tip portion 7a of the electrode terminal 7 positioned within the internal space C of the barrel 10 is a current-carrying portion and can be arranged in the vicinity of the bottom plate 14 . In this embodiment, the electrode terminal 7 is a cathode terminal, and when a voltage is applied between the electrode terminal 7 and the anode terminal 9 arranged outside the barrel 10 in the plating solution bath 5 , the voltage inside the barrel 10 via the electrode terminal 7 is applied. are energized and their surfaces are plated.

次に、底板14に設けられた一対の底面フィン22および側板16に設けられた一対の側面フィン24について、図2~5を参照しつつ説明する。 Next, the pair of bottom fins 22 provided on the bottom plate 14 and the pair of side fins 24 provided on the side plate 16 will be described with reference to FIGS.

一対の底面フィン22は、実質的に同一な形状を有し、たとえば長方形板状の形状を有する。底面フィン22は、底板14の上面14aに垂直に立設されている。底面フィン22は、たとえば樹脂材料により構成することができる。一対の底面フィン22は、図3に示すように、回転軸Zの方向から見て回転軸Zを挟んで対向している。また、一対の底面フィン22は、回転軸Zの方向から見て同じ方向に配向されており、平行の位置関係を有する。さらに、一対の底面フィン22の中心G(重心または幾何中心)は、回転軸Zの方向から見て点対称(本実施形態では2回対称)の関係を有する。 The pair of bottom fins 22 have substantially the same shape, for example, a rectangular plate shape. The bottom fins 22 stand vertically on the top surface 14 a of the bottom plate 14 . Bottom fins 22 can be made of, for example, a resin material. The pair of bottom fins 22 face each other with the rotation axis Z interposed therebetween when viewed from the direction of the rotation axis Z, as shown in FIG. Also, the pair of bottom fins 22 are oriented in the same direction when viewed from the direction of the rotation axis Z, and have a parallel positional relationship. Further, the center G (the center of gravity or the geometric center) of the pair of bottom fins 22 has a point-symmetrical (two-fold symmetrical in this embodiment) relationship when viewed from the direction of the rotation axis Z. As shown in FIG.

一対の底面フィン22のそれぞれの中心G(重心または幾何中心)は、回転軸Zの方向から見て、回転軸Zの側ではなく、底板14の外縁の側に位置している。より具体的には、中心Gの位置は、回転軸Zから底板14の外縁までの距離L1に対する、回転軸Zから各底面フィン22の中心Gまでの距離L2の割合(L2/L1)が60%~90%の範囲となるように設計されている。 The center G (center of gravity or geometric center) of each pair of bottom fins 22 is positioned not on the rotation axis Z side but on the outer edge side of the bottom plate 14 when viewed from the rotation axis Z direction. More specifically, the position of the center G is such that the ratio (L2/L1) of the distance L2 from the rotation axis Z to the center G of each bottom fin 22 to the distance L1 from the rotation axis Z to the outer edge of the bottom plate 14 is 60. It is designed to be in the range of % to 90%.

一対の側面フィン24は、実質的に同一な形状を有し、たとえば三角形板状の形状を有する。側面フィン24は、側板16の上側板部18の内側面16aに垂直に立設されている。側面フィン24は、たとえば樹脂材料により構成することができる。一対の側面フィン24は、図4に示すように、回転軸Zの方向から見て回転軸Zを挟んで対向している。一対の側面フィン24の対向方向Xは、一対の底面フィン22の対向方向Yに対して交差する方向(本実施形態では直交する方向)である。 The pair of side fins 24 have substantially the same shape, for example, a triangular plate shape. The side fins 24 stand vertically on the inner surface 16 a of the upper plate portion 18 of the side plate 16 . The side fins 24 can be made of, for example, a resin material. The pair of side fins 24 face each other with the rotation axis Z interposed therebetween when viewed from the direction of the rotation axis Z, as shown in FIG. The facing direction X of the pair of side fins 24 is a direction intersecting with the facing direction Y of the pair of bottom fins 22 (in this embodiment, the direction perpendicular to the facing direction).

図5に示すように、側面フィン24は、底板14から遠い側の端部に先細部24aを有する。先細部24aは、底板14から近い側の端部24bに比べて、側板16の内側面16aを基準とする高さhが低くなっている部分である。本実施形態では、側面フィン24は、底板14から近い側の端部24bから底板14から遠い側の端部に向かうに従って側板16の内側面16aを基準とする高さhが漸次低くなっている。また、一対の側面フィン24はいずれも、図2に示すように、回転軸Zの方向に対して傾いて延在している。本実施形態では、一対の側面フィン24はいずれも、底板14から遠い側の先細部24aが底板14から近い側の端部24bに対して周回方向R側に偏倚するように傾いている。 As shown in FIG. 5, the side fins 24 have a tapered portion 24a at the end remote from the bottom plate 14 . The tapered portion 24a is a portion in which the height h based on the inner surface 16a of the side plate 16 is lower than that of the end portion 24b closer to the bottom plate 14 . In this embodiment, the height h of the side fins 24 relative to the inner surface 16a of the side plate 16 gradually decreases from the end 24b closer to the bottom plate 14 toward the end farther from the bottom plate 14. . Both the pair of side fins 24 extend obliquely with respect to the direction of the rotation axis Z, as shown in FIG. In this embodiment, each of the pair of side fins 24 is inclined such that the tapered portion 24a on the far side from the bottom plate 14 is biased toward the winding direction R side with respect to the end portion 24b on the side close to the bottom plate 14 .

続いて、上述しためっき装置1を用いて、電子部品を製造する製造方法について、図6のフローチャートを参照しつつ説明する。 Next, a manufacturing method for manufacturing an electronic component using the plating apparatus 1 described above will be described with reference to the flow chart of FIG.

電子部品を製造する際には、被めっき対象である複数の電子部品を、バレル10の開口部10aを介して内部空間Cに収容する(ステップS1)。このとき、必要に応じて、ダミーボールもバレル10の内部空間Cに収容する。そして、バレル10の回転軸Zが鉛直方向に対して傾いた状態で、バレル10の下部または全部を、めっき液が入れられためっき液槽5に浸漬する。また、電極端子7をバレル10の上側から開口部10aを介して内部空間C内に挿入する。 When manufacturing electronic components, a plurality of electronic components to be plated are accommodated in the internal space C through the opening 10a of the barrel 10 (step S1). At this time, dummy balls are also accommodated in the internal space C of the barrel 10 as required. Then, with the rotation axis Z of the barrel 10 tilted with respect to the vertical direction, the lower part or the whole of the barrel 10 is immersed in the plating solution bath 5 containing the plating solution. Also, the electrode terminal 7 is inserted into the internal space C from the upper side of the barrel 10 through the opening 10a.

次に、電極端子7と陽極端子9との間に所定の電圧を印加しつつ、バレル10を回転させて、電子部品をめっき処理する(ステップS2)。それにより、電子部品の所定箇所にめっきが形成され、電子部品が完成する。 Next, while applying a predetermined voltage between the electrode terminal 7 and the anode terminal 9, the barrel 10 is rotated to plate the electronic component (step S2). As a result, plating is formed on predetermined portions of the electronic component, and the electronic component is completed.

めっき装置1を用いためっき処理では、バレル10が回転した際に、内部空間C内の複数の電子部品およびめっき液が底面フィン22および側面フィン24により十分に攪拌される。換言すると、底面フィン22および側面フィン24によって、バレル10の攪拌性が高められている。そして、バレル10の高い攪拌性により、電子部品同士が付着しにくくなっているとともに、互いに付着し合う電子部品の塊が個々の電子部品に分離しやすくなっている。そのため、個々の電子部品に対して均等にめっき処理をおこなうことができ、複数の電子部品間におけるめっきバラツキの抑制が実現されている。 In the plating process using the plating apparatus 1, the plurality of electronic components and the plating solution in the internal space C are sufficiently stirred by the bottom fins 22 and the side fins 24 when the barrel 10 rotates. In other words, the bottom fins 22 and the side fins 24 enhance the agitation of the barrel 10 . Further, due to the high stirability of the barrel 10, the electronic components are less likely to adhere to each other, and clumps of electronic components adhering to each other are easily separated into individual electronic components. Therefore, the individual electronic components can be uniformly plated, and variations in plating among a plurality of electronic components can be suppressed.

底面フィン22は、バレル10の底板14付近に沈滞する電子部品およびめっき液の移動を促進して、攪拌性を高める。特に、底面フィン22は、上述した形状および位置関係を有するため、攪拌性をより一層高めることができる。側面フィン24は、バレル10の内部空間C内においてめっき液中に浮遊する電子部品の移動を促進して、攪拌性を高める。特に、側面フィン24は、上述した形状および位置関係を有するため、攪拌性をより一層高めることができ、電子部品同士の付着防止および電子部品の分離が促進され得る。 The bottom fins 22 promote the movement of the electronic components and the plating solution stagnating near the bottom plate 14 of the barrel 10 to improve agitation. In particular, since the bottom fins 22 have the above-described shape and positional relationship, it is possible to further improve the stirring performance. The side fins 24 promote the movement of the electronic components floating in the plating solution within the internal space C of the barrel 10, thereby enhancing agitation. In particular, since the side fins 24 have the shape and positional relationship described above, it is possible to further improve agitation, thereby promoting the prevention of electronic components from adhering to each other and the separation of the electronic components.

なお、本発明は上記の実施形態に限定されず、種々の変更をおこなうことができる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made.

たとえば、バレルは、底面フィンと側面フィンの両方を備える態様ではなく、底面フィンのみを備える態様や、側面フィンのみを備える態様であってもよい。また、底面フィンの数および側面フィンの数は、適宜増減することができる。底面フィンの形状は、長方形板状に限らず、円錐状等の形状あってもよい。側面フィンの形状は、三角形板状に限らず、円柱状等の形状であってもよい。 For example, the barrel may not have both bottom fins and side fins, but may have only bottom fins or only side fins. Also, the number of bottom fins and the number of side fins can be increased or decreased as appropriate. The shape of the bottom fins is not limited to a rectangular plate shape, and may be conical or the like. The shape of the side fins is not limited to a triangular plate shape, and may be a cylindrical shape or the like.

また、バレルの形状は、底板、側板および開口の形状は、八角形以外の多角形(たとえば、六角形や十角形等)であってもよく、円形であってもよい。 Further, the shape of the barrel, the bottom plate, the side plates and the shape of the opening may be polygonal (for example, hexagonal, decagonal, etc.) other than octagonal, or may be circular.

1…めっき装置、10…バレル、10a…開口部、14…底板、14a…上面、16…側板、16a…内側面、22…底面フィン、24…側面フィン、24a…先細部、C…内部空間、G…中心、R…周回方向、Z…回転軸。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Plating apparatus, 10... Barrel, 10a... Opening, 14... Bottom plate, 14a... Upper surface, 16... Side plate, 16a... Inner surface, 22... Bottom fin, 24... Side fin, 24a... Taper, C... Internal space , G... center, R... rotation direction, Z... rotation axis.

Claims (9)

めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルであって、
前記軸に対して直交する底板と、
前記底板の一方面から延びて、前記底板と前記内部空間を画成する筒状の側板と
を備え、
前記底板の一方面に設けられるとともに前記軸方向から見て前記軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、前記側板の内側面に設けられるとともに前記軸方向に直交する方向から見て前記軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板を備え、前記底板の一方面に、前記軸を挟んで一対の前記第1の邪魔板が設けられ、かつ、前記側板の内側面に、前記軸を挟んで一対の前記第2の邪魔板が設けられており、前記軸方向から見て、前記一対の第1の邪魔板の対向方向と、前記一対の第2の邪魔板の対向方向とが交差し、
前記底板、前記側板、前記第1の邪魔板および前記第2の邪魔板が樹脂材料で構成されている、めっき用バレル。
A plating barrel having an internal space for housing a plurality of electronic components to be plated and rotatable around a predetermined axis,
a bottom plate orthogonal to the axis;
a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate and defining the bottom plate and the internal space;
A first baffle plate provided on one surface of the bottom plate and extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the axial direction, and a first baffle plate provided on the inner surface of the side plate and viewed from a direction orthogonal to the axial direction A second baffle plate extending in a direction intersecting the axis is provided, a pair of the first baffle plates are provided on one surface of the bottom plate with the axis interposed therebetween, and inner surfaces of the side plates are provided with the A pair of the second baffle plates are provided on both sides of an axis, and when viewed from the axial direction, a direction in which the pair of first baffle plates oppose and a direction in which the pair of second baffle plates oppose each other. crossed and
A barrel for plating, wherein the bottom plate, the side plates, the first baffle plate, and the second baffle plate are made of a resin material .
記底板が、前記軸方向から見て前記軸に対して回転対称の形状を有し、
前記軸方向から見て、前記第1の邪魔板の中心位置が前記底板の外縁側に位置している、請求項1に記載のめっき用バレル。
the bottom plate has a shape that is rotationally symmetrical with respect to the axis when viewed from the axial direction;
2. The plating barrel according to claim 1, wherein the center position of said first baffle plate is located on the outer edge side of said bottom plate when viewed from said axial direction.
前記軸方向から見て、前記軸から前記底板の外縁までの距離に対する、前記軸から前記第1の邪魔板の中心位置までの距離の割合が、60%~90%の範囲である、請求項2に記載のめっき用バレル。 The ratio of the distance from the axis to the center position of the first baffle plate to the distance from the axis to the outer edge of the bottom plate when viewed from the axial direction is in the range of 60% to 90%. 2. The plating barrel according to 2. 記一対の第1の邪魔板が前記軸方向から見て平行である、請求項1~3のいずれか一項に記載のめっき用バレル。 The plating barrel according to any one of claims 1 to 3, wherein the pair of first baffle plates are parallel when viewed from the axial direction. 前記一対の第1の邪魔板の中心位置が、前記軸方向から見て前記軸に対して点対称となっている、請求項4に記載のめっき用バレル。 5. The plating barrel according to claim 4, wherein center positions of said pair of first baffle plates are point symmetrical with respect to said axis when viewed from said axial direction. 記第2の邪魔板が、前記底板から遠い側に、前記内側面を基準とする高さが低い先細部を有する、請求項1~5のいずれか一項に記載のめっき用バレル。 The plating barrel according to any one of claims 1 to 5, wherein the second baffle plate has a tapered portion having a low height with respect to the inner surface on the side remote from the bottom plate. 一対の第2の邪魔板はいずれも、前記先細部が前記底板から近い側の端部に対してバレル回転方向側に偏倚している、請求項6に記載のめっき用バレル。 7. The plating barrel according to claim 6, wherein the tapered portion of each of the pair of second baffle plates is biased in the direction of rotation of the barrel with respect to the end closer to the bottom plate. めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルを用いた電子部品の製造方法であって、
前記めっき用バレルが、前記軸に対して直交する底板と、前記底板の一方面から延びて、前記底板と前記内部空間を画成する筒状の側板とを備え、前記底板の一方面に設けられるとともに前記軸方向から見て前記軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、前記側板の内側面に設けられるとともに前記軸方向に直交する方向から見て前記軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板を備え、、前記底板の一方面に、前記軸を挟んで一対の前記第1の邪魔板が設けられ、かつ、前記側板の内側面に、前記軸を挟んで一対の前記第2の邪魔板が設けられており、前記軸方向から見て、前記一対の第1の邪魔板の対向方向と、前記一対の第2の邪魔板の対向方向とが交差し、
前記底板、前記側板、前記第1の邪魔板および前記第2の邪魔板が樹脂材料で構成されており、
前記めっき用バレルの前記内部空間に前記電子部品を収容する工程と、
前記軸が鉛直方向に対して傾いた状態で前記めっき用バレルを回転させて、前記電子部品をめっき処理する工程と
を含む、電子部品の製造方法。
A method for manufacturing an electronic component using a plating barrel that has an internal space for housing a plurality of electronic components to be plated and is rotatable around a predetermined axis,
The plating barrel includes a bottom plate orthogonal to the axis, and a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate and defining the inner space with the bottom plate, and provided on one side of the bottom plate. a first baffle plate provided on the inner surface of the side plate and extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the axial direction; a pair of first baffle plates are provided on one surface of the bottom plate with the shaft interposed therebetween; the second baffle plate is provided, and when viewed from the axial direction, the facing direction of the pair of first baffle plates and the facing direction of the pair of second baffle plates intersect;
The bottom plate, the side plates, the first baffle plate and the second baffle plate are made of a resin material,
housing the electronic component in the internal space of the plating barrel;
and a step of plating the electronic component by rotating the plating barrel with the axis tilted with respect to a vertical direction.
めっきされる電子部品が複数収容される内部空間を有し、かつ、所定の軸周りに回転可能なめっき用バレルを備えるめっき装置であって、
前記めっき用バレルが、前記軸に対して直交する底板と、前記底板の一方面から延びて、前記底板と前記内部空間を画成する筒状の側板とを備え、
前記めっき用バレルが、前記底板の一方面に設けられるとともに前記軸方向から見て前記軸と交差しない方向に延びる第1の邪魔板、および、前記側板の内側面に設けられるとともに前記軸方向に直交する方向から見て前記軸と交差する方向に延びる第2の邪魔板を備え、前記底板の一方面に、前記軸を挟んで一対の前記第1の邪魔板が設けられ、かつ、前記側板の内側面に、前記軸を挟んで一対の前記第2の邪魔板が設けられており、前記軸方向から見て、前記一対の第1の邪魔板の対向方向と、前記一対の第2の邪魔板の対向方向とが交差し、
前記底板、前記側板、前記第1の邪魔板および前記第2の邪魔板が樹脂材料で構成されている、めっき装置。
A plating apparatus having an internal space for housing a plurality of electronic components to be plated and comprising a plating barrel rotatable around a predetermined axis,
The plating barrel comprises a bottom plate orthogonal to the axis, and a cylindrical side plate extending from one side of the bottom plate and defining the bottom plate and the inner space,
The plating barrel includes a first baffle plate provided on one side of the bottom plate and extending in a direction not intersecting the axis when viewed from the axial direction, and a first baffle plate provided on the inner surface of the side plate and extending in the axial direction. A second baffle plate extending in a direction intersecting with the axis when viewed from an orthogonal direction is provided, a pair of the first baffle plates are provided on one side of the bottom plate with the axis interposed therebetween, and the side plate A pair of the second baffle plates are provided on the inner side surface of the two with the shaft interposed therebetween. crosses the opposing direction of the baffle plate,
A plating apparatus, wherein the bottom plate, the side plates, the first baffle plate, and the second baffle plate are made of a resin material .
JP2018229844A 2018-12-07 2018-12-07 Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components Active JP7180345B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018229844A JP7180345B2 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018229844A JP7180345B2 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020090718A JP2020090718A (en) 2020-06-11
JP7180345B2 true JP7180345B2 (en) 2022-11-30

Family

ID=71012471

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018229844A Active JP7180345B2 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7180345B2 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005076066A (en) 2003-08-29 2005-03-24 Tdk Corp Barrel, barrel plating device, and barrel plating method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4931928U (en) * 1972-06-21 1974-03-19

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005076066A (en) 2003-08-29 2005-03-24 Tdk Corp Barrel, barrel plating device, and barrel plating method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020090718A (en) 2020-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102156299B1 (en) Electroplating apparatus with electrolyte agitation
CN103695972B (en) Anisotropy method for plating and film coil
KR102588417B1 (en) Paddle for use of stirring plating solution and plating apparatus including paddle
JP7180345B2 (en) Plating barrel, plating equipment and method for manufacturing electronic components
JP6411943B2 (en) Substrate electrolytic treatment apparatus and paddle used for the substrate electrolytic treatment apparatus
JP6593365B2 (en) Plating cell and plating apparatus including the cell
JP2010043329A (en) Plating apparatus
JP6201748B2 (en) Liquid injection method, battery manufacturing method and liquid injection device
JP2005089812A (en) Plating apparatus, and method for plating semiconductor substrate
TWI614974B (en) Rotor of electric motor
JP2012117133A (en) Electrodeposition coating apparatus
JP5182356B2 (en) Reactor and manufacturing method thereof
JP2015168886A (en) Plating device
TW201701390A (en) Substrate processing apparatus arranged in process chamber and operating method thereof
JP4766279B2 (en) Barrel plating equipment
JP2017101305A (en) Fixture for barrel plating, plating method using the same, and method for producing electronic component
JP4433927B2 (en) Plating equipment
JP4198161B2 (en) Barrel plating method
CN218189014U (en) Dispersion disk and dispersion machine comprising same
JP2012025975A (en) Plating equipment
JP6445778B2 (en) Coil parts
DE112018005525T5 (en) ENGINE AND METHOD FOR PRODUCING THE ENGINE
JPH083791A (en) Barrel type electroplating method
JP4875728B2 (en) Barrel for plating
JP7188903B2 (en) Conductor for barrel plating and barrel plating method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210721

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220524

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220531

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220728

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20221018

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221031

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7180345

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150