JP7175984B2 - 階段構造を形成する方法、ならびに関連した階段構造、および半導体デバイス構造 - Google Patents
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Description
本出願は、「METHODS OF FORMING STAIRCASE STRUCTURES」についての2017年12月29日に出願した米国特許出願第15/858,072号の出願日の利益を主張する。
Claims (14)
- 交互する電導レベルおよび絶縁レベルの階層の上に、または交互する窒化物材料および絶縁レベルの階層の上にパターニングされたハードマスクを形成するステップと、
最上階層の露出部分を除去して前記最上階層に最上段を形成するステップと、
前記パターニングされたハードマスクおよび前記最上階層の上に、酸化シリコン材料を含む第1のライナ材を形成するステップと、
前記第1のライナ材の一部を除去して前記パターニングされたハードマスクおよび前記最上階層の側壁に第1のライナを形成するとともに下地階層を露出させるステップと、
前記下地階層の露出部分を除去して前記下地階層に下地段を形成するステップと、
前記パターニングされたハードマスク、前記第1のライナ、および前記下地階層の上に第2のライナ材を形成するステップであって、前記第2のライナ材の材料組成は、他の酸化シリコン材料を含み、前記第2のライナ材の前記他の酸化シリコンは、前記第1のライナ材の前記酸化シリコン材料とは異なる酸化シリコン材料の組成を含む、ステップと、
前記第2のライナ材の一部を除去して前記第1のライナおよび前記下地階層の側壁に第2のライナを形成するとともに別の下地階層を露出させるステップと、
前記別の下地階層の露出部分を除去して前記別の下地階層に別の下地段を形成するステップと、
前記パターニングされたハードマスクを除去して前記階層同士の間に空隙を形成するステップと
を含む、階段構造を形成する方法。 - 最上階層の露出部分を除去して最上段を形成するステップは、前記最上階層に開口部を形成するステップを含み、前記開口部は、前記階段構造の最も広い開口部寸法を備え、
前記下地階層の露出部分を除去して前記下地階層に下地段を形成するステップは、前記パターニングされたハードマスクおよび前記第1のライナをマスクとして使用して前記下地段を形成するステップを含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記パターニングされたハードマスクおよび前記最上階層の上に第1のライナ材を形成するステップ、ならびに前記パターニングされたハードマスク、前記第1のライナ、および前記下地階層の上に第2のライナ材を形成するステップは、前記下地段の踏面幅に対応する厚さで前記第1のライナ材を形成するステップ、ならびに前記別の下地段の踏面幅に対応する厚さで前記第2のライナ材を形成するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のライナ材の一部を除去して第1のライナを形成するステップは、前記第1のライナ材の水平部分を除去するステップを含み、
前記第2のライナ材の一部を除去して第2のライナを形成するステップは、前記第2のライナ材の水平部分を除去するステップを含む、
請求項1に記載の方法。 - 前記別の下地階層の露出部分を除去して前記別の下地階層に別の下地段を形成するステップは、前記パターニングされたハードマスク、前記第1のライナ、および前記第2のライナをマスクとして使用して前記別の下地段を形成するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記空隙に誘電材料を充填するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のライナおよび前記第2のライナを通じてコンタクト・ホールをほぼ同時に形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記階段構造の前記最上段、前記下地段、および前記別の下地段に接触構造を形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 第1のライナ材を形成するステップ、前記第1のライナ材の一部を除去して第1のライナを形成するステップ、前記下地階層の露出部分を除去するステップ、第2のライナ材を形成するステップ、前記第2のライナ材の一部を除去するステップ、および前記別の下地階層の露出部分を除去するステップは、単一のツールで処理を行うステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パターニングされたハードマスクおよび前記最上階層の上に第1のライナ材を形成するステップは、前記パターニングされたハードマスクと前記最上階層との横に隣接して前記第1のライナを形成するステップであって、前記最上階層は前記最上段を備える、前記第1のライナを形成するステップを含み、
前記第1のライナ材の一部を除去して第1のライナを形成するステップは、前記第1のライナをマスクとして使用して前記下地階層に前記下地段を形成するステップを含み、
前記第2のライナ材の一部を除去して第2のライナを形成するステップは、前記第1のライナおよび前記下地階層の横に隣接して前記第2のライナを形成するステップを含み、
前記別の下地階層の露出部分を除去して別の下地段を形成するステップは、前記第2のライナをマスクとして使用して前記別の下地階層に前記別の下地段を形成するステップを含み、
前記パターニングされたハードマスクを除去するステップは、前記パターニングされたハードマスク、ならびに前記第1のライナおよび前記第2のライナの少なくとも一部を除去するステップを含む、
請求項1に記載の方法。 - 第1のライナ材を形成するステップおよび第2のライナ材を形成するステップは、異なるエッチング速度を示すように配合された前記第1のライナ材および前記第2のライナ材の材料を選択することを含む、請求項1に記載の方法。
- 第1のライナ材を形成するステップおよび第2のライナ材を形成するステップは、前記第1のライナ材および前記第2のライナ材を共形に形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 交互する絶縁レベルおよび電導レベルまたは交互する絶縁レベルおよび窒化物材料の対向した階層を備える階段構造であって、前記対向した階層はステップ状プロファイルを備える、階段構造と、
前記対向した階層間の充填材の少なくとも3つの部分であって、異なる酸化シリコン材料を備えた前記少なくとも3つの部分充填材と
を備える半導体デバイス。 - 前記充填材は、前記対向した階層間の谷内のある、請求項13に記載の半導体デバイス。
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