JP7169061B2

JP7169061B2 - Cutting method

Info

Publication number: JP7169061B2
Application number: JP2017228868A
Authority: JP
Inventors: ウィリアムガドマイケル; 直子山本; 幸子松本
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-11-29
Filing date: 2017-11-29
Publication date: 2022-11-10
Anticipated expiration: 2037-11-29
Also published as: CN109834518A; JP2019102514A

Description

本発明は、切削予定ラインに重なる延性材を有する被加工物を切削する切削方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cutting method for cutting a workpiece having a ductile material that overlaps a planned cutting line.

ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）やＣＳＰ（Chip Size Package）のパッケージ基板等、切削予定ラインに重なる金属を有する被加工物を、回転する切削ブレードによって切削予定ラインに沿って切削すると、金属が延性を有するために、切削溝と被加工物の表面との境界に金属からなるバリが発生する。そして、バリが発生すると、端子間の短絡が発生したり、その後のハンドリング時にバリが落下する等して実装不良が発生したりしてしまう。 When a workpiece having metal that overlaps the planned cutting line, such as a QFN (Quad Flat Non-leaded package) or CSP (Chip Size Package) package substrate, is cut along the planned cutting line with a rotating cutting blade, the metal is removed. Due to its ductility, metal burrs are generated at the boundary between the cutting groove and the surface of the workpiece. If burrs occur, short circuits may occur between terminals, or defective mounting may occur due to the burrs dropping during subsequent handling.

そこで、これらの問題を解決すべく、切削ブレードによって被加工物を切削予定ラインに沿って切削した後に、いわゆるダウンカットによる切削予定ラインの切削時とは反対の方向に回転する切削ブレードによって、いわゆるアップカットにより切削溝をなぞることでバリを除去する方法（例えば特許文献１参照）や、切削溝の上端にバイトを当接させて切削してバリを除去する方法（例えば特許文献２参照）が提案されている。 Therefore, in order to solve these problems, after cutting the workpiece along the planned cutting line with the cutting blade, the so-called There is a method of removing burrs by tracing the cutting groove by up-cutting (see, for example, Patent Document 1), and a method of removing burrs by cutting by contacting the upper end of the cutting groove with a cutting tool (see, for example, Patent Document 2). Proposed.

特開２００１一０７７０５５号公報JP-A-2001-077055 特開２０１６一０１６５０１号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2016-016501

しかし、特許文献１記載の方法のように切削時とは反対の方向に回転する切削ブレードによって切削溝をなぞっても、バリは折れ曲がるだけであり、バリを完全に除去することは難しい。また、特許文献２記載の方法では、被加工物の表面よりも外側に発生したバリしか除去できず、切削溝内のバリを除去することはできない。 However, even if the cutting groove is traced with a cutting blade rotating in the direction opposite to that during cutting, as in the method described in Patent Document 1, the burr is only bent, and it is difficult to completely remove the burr. Moreover, the method described in Patent Document 2 can only remove burrs generated outside the surface of the workpiece, and cannot remove burrs in the cutting groove.

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、従来よりも容易に且つより確実にバリを除去できるようにすることにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to make it possible to remove burrs more easily and reliably than before.

本発明は、切削予定ラインが設定され、該切削予定ラインに重なる延性材を有した被加工物を切削する切削方法であって、回転する切削ブレードを少なくとも該延性材に達する深さに切り込ませて該切削予定ラインに沿って切削することにより該被加工物に切削溝を形成するとともに該切削溝の下に切り残し部を形成する切削溝形成ステップと、該切削溝形成ステップの実施中、又は該切削溝形成ステップに次いで、バリ取り流体ノズルから該切削溝に沿って流体を噴射して該切削溝形成ステップで生成された該延性材のバリを除去するバリ除去ステップと、該バリ除去ステップを実施した後、切削ブレードを用いて該切削予定ラインに沿って該切り残し部を切削する切り残し部切削ステップと、を備え、該バリ取り流体ノズルは、切削位置の加工進行方向後ろ側に配置され、該バリ除去ステップは、該切削溝形成ステップを実施中の切削予定ラインと同一の切削予定ラインに対して実施され、該バリ取り流体ノズルから該切削位置の加工進行方向後ろ側に向けて流体を斜めに噴射する。
この切削方法において、前記切削溝形成ステップは、切削ブレードが被加工物の一端側から他端側に向かって切削する往路で実施され、前記切り残し部切削ステップは、切削ブレードが被加工物の該他端側から該一端側へ向かって切削する復路で実施されることが望ましい。
また、前記切削溝形成ステップは、第１のスピンドルに装着された第１の切削ブレードで実施され、前記切り残し部切削ステップは、第２のスピンドルに装着された第２の切削ブレードで実施されることが望ましい。
前記切削溝形成ステップでは、前記切り残し部の厚みを被加工物の厚みの１０％とすることが望ましい。 The present invention is a cutting method for cutting a workpiece having a ductile material that has a scheduled cutting line set and overlaps the scheduled cutting line, wherein a rotating cutting blade cuts to a depth that reaches at least the ductile material. a cutting groove forming step of forming a cutting groove in the workpiece by cutting along the planned cutting line and forming an uncut portion under the cutting groove; and performing the cutting groove forming step. or, following the cutting groove forming step, a deburring step of ejecting a fluid along the cutting groove from a deburring fluid nozzle to remove the burrs of the ductile material generated in the cutting groove forming step; an uncut portion cutting step of cutting the uncut portion along the scheduled cutting line using a cutting blade after performing the removing step, wherein the deburring fluid nozzle is behind the cutting position in the processing progress direction. The burr removal step is performed on the same scheduled cutting line as the scheduled cutting line on which the cutting groove forming step is being performed , and is located on the rear side of the cutting position from the deburring fluid nozzle in the processing progress direction. Jet the fluid diagonally toward the
In this cutting method, the cutting groove forming step is performed in a forward path in which the cutting blade cuts the workpiece from one end side to the other end side, and the uncut portion cutting step is performed by the cutting blade cutting the workpiece from one end side to the other end side. It is desirable that the cutting be performed in a return pass for cutting from the other end side toward the one end side.
Further, the cutting groove forming step is performed with a first cutting blade attached to a first spindle, and the uncut portion cutting step is performed with a second cutting blade attached to a second spindle. preferably
In the cutting groove forming step, the thickness of the uncut portion is preferably 10% of the thickness of the workpiece.

本発明に係る切削方法は、回転する切削ブレードを延性材に達する深さに切り込ませて被加工物を切削予定ラインに沿って切削することにより、被加工物に切削溝を形成するとともに切削溝の下に切り残し部を形成する切削溝形成ステップと、切削溝形成ステップの実施中、又は切削溝形成ステップに次いで、切削溝に沿って流体を噴射して切削溝形成ステップで生成された延性材のバリを除去するバリ除去ステップと、を備えることで、被加工物を切削することにより発生した延性材のバリを、従来よりも容易にかつより確実に除去することができる。また、切削溝の下に切り残し部が形成されていることにより、切削溝に沿って流体を噴射してバリを除去する際、チップ飛びや被加工物の裏面に貼着されたテープの切断を防止できるため、流体の噴射力を高めてバリ除去の性能を向上させることができる。さらに、流体噴射口のサイズを大きくできるため、流体噴射ノズルの位置調整も容易となる。また、切削溝形成ステップの実施中にバリ除去ステップを実施することにより、生産性を向上させることができる。
切削溝形成ステップが、切削ブレードが被加工物の一端側から他端側に向かって切削する往路で実施され、切り残し部切削ステップが切削ブレードが被加工物の他端側から一端側へ向かって切削する復路で実施されるようにすると、１回の往復で切削溝形成ステップと切り残し部切削ステップとを実施することができ、生産性を向上させることができる。
切削溝形成ステップが第１のスピンドルに装着された第１の切削ブレードで実施され、切り残し部切削ステップが第２のスピンドルに装着された第２の切削ブレードで実施されると、少なくとも切削溝形成ステップと切り残し部切削ステップとを並行して実施することができるため、生産性を向上させることができる。また、この場合において切削溝形成ステップの実施中にバリ除去ステップを実施すると、切削溝形成ステップとバリ除去ステップと切り残し部切削ステップとを並行して実施することができる。 In the cutting method according to the present invention, a cutting groove is formed in the workpiece by cutting the workpiece along the planned cutting line by cutting the rotating cutting blade to a depth reaching the ductile material and cutting. During the cutting groove forming step of forming an uncut portion under the groove, or during the cutting groove forming step or subsequent to the cutting groove forming step, the and a burr removing step for removing burrs of the ductile material, the burrs of the ductile material generated by cutting the workpiece can be removed more easily and more reliably than before. In addition, since the uncut portion is formed under the cutting groove, when removing burrs by injecting fluid along the cutting groove, chip flying and cutting of the tape attached to the back surface of the workpiece may occur. can be prevented, the fluid ejection force can be increased to improve the burr removal performance. Furthermore, since the size of the fluid ejection port can be increased, it becomes easier to adjust the position of the fluid ejection nozzle. Further, productivity can be improved by performing the burr removing step during the cutting groove forming step.
The cutting groove forming step is performed in the outward path in which the cutting blade cuts the workpiece from one end side to the other end side, and the uncut portion cutting step is performed while the cutting blade cuts the workpiece from the other end side to the one end side. If the cutting is performed in the return path of cutting by pressing, the cutting groove forming step and the uncut portion cutting step can be performed in one reciprocating motion, and the productivity can be improved.
When the cutting groove forming step is performed with a first cutting blade mounted on a first spindle and the rest cutting step is performed with a second cutting blade mounted on a second spindle, at least the cutting groove Since the forming step and the uncut portion cutting step can be performed in parallel, productivity can be improved. Further, in this case, if the burr removing step is performed while the cutting groove forming step is being performed, the cutting groove forming step, the burr removing step, and the uncut portion cutting step can be performed in parallel.

図１（ａ）は被加工物を示す平面図である。図１（ｂ）は被加工物を示す底面図である。FIG. 1(a) is a plan view showing a workpiece. FIG. 1(b) is a bottom view showing the workpiece. 第１の実施形態の切削装置の構成を示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the structure of the cutting device of 1st Embodiment. 切削手段の構成を例示する正面図である。4 is a front view illustrating the configuration of cutting means; FIG. 切削ブレードが被加工物の一端側に切り込んだ状態を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a state in which a cutting blade has cut into one end side of a workpiece; 図５（ａ）は切削溝にバリが形成された状態を示す断面図である。図５（ｂ）は切削溝に流体を吹き付けている状態を示す断面図である。図５（ｃ）はバリが除去された状態を示す断面図である。FIG. 5(a) is a sectional view showing a state in which burrs are formed in the cutting groove. FIG. 5(b) is a cross-sectional view showing a state in which a fluid is sprayed onto the cutting groove. FIG. 5(c) is a cross-sectional view showing a state where burrs are removed. 被加工物の一端側から切り込んだ切削ブレードが被加工物の他端側まで切削した状態を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a state in which a cutting blade that cuts from one end side of a workpiece cuts to the other end side of the workpiece; 被加工物の切り残し部を切削した状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which an uncut portion of a workpiece is cut; 切削手段の別の構成を例示する側面図である。FIG. 11 is a side view illustrating another configuration of the cutting means; 第２の実施形態の切削装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the cutting device of 2nd Embodiment. バリ取り流体ノズルを切削溝の幅方向に移動させつつ切削溝に流体を吹き付けている状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a fluid is sprayed onto the cut groove while moving the deburring fluid nozzle in the width direction of the cut groove. 切削ブレードにより形成された切削溝に噴射された流体の噴射スポットが切削溝を横断して移動する状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state in which an injection spot of fluid injected into a cutting groove formed by a cutting blade moves across the cutting groove; 第１の切削ブレードと第２の切削ブレードとで同時に切削を実施している状態を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a state in which cutting is performed simultaneously with a first cutting blade and a second cutting blade; バリ取り流体ノズルを切削溝の幅方向に揺動させつつ切削溝に流体を吹き付けている状態を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state in which the fluid is sprayed onto the cut groove while the deburring fluid nozzle is swung in the width direction of the cut groove. 第１の切削ブレードにより形成された切削溝に噴射された流体の噴射スポットが円軌道を描いて切削溝を横断する状態を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a state in which an injection spot of fluid injected into a cutting groove formed by a first cutting blade draws a circular trajectory and traverses the cutting groove;

１第１の実施形態（往復カット加工）
（１－１）被加工物及び装置構成
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す被加工物Ｗは、本発明の対象となるＣＳＰ（Chip Size Package）基板などのパッケージ基板である。図１（ａ）に示すように、被加工物Ｗの表面Ｗａには格子状の切削予定ラインＬが設定され、切削予定ラインＬによって区画された各デバイス領域Ｄにデバイスチップが埋設されている。被加工物Ｗの内部には、切削予定ラインＬに重なる延性材Ｍが設けられており、表面Ｗａに露出している。図１（ｂ）に示すように、被加工物Ｗの裏面Ｗｂには、デバイスチップを封止する樹脂封止部Ｒが設けられている。このように切削予定ラインＬに重ねて延性材Ｍを有する被加工物Ｗは、図２に例示する切削装置１を用いて切削予定ラインLに沿って切削することにより個々のデバイスパッケージに分割される。本発明はパッケージ基板に限らず、切削予定ライン上にＴＥＧ（Test Element Group）が設けられたシリコンウェーハや樹脂膜付きウェーハなどの円板状の被加工物にも好適である。 1 First embodiment (reciprocating cut processing)
(1-1) Workpiece and Apparatus Configuration The workpiece W shown in FIGS. 1A and 1B is a package substrate such as a CSP (Chip Size Package) substrate to which the present invention is applied. As shown in FIG. 1(a), grid-like cutting lines L are set on the surface Wa of the workpiece W, and device chips are embedded in the respective device regions D defined by the cutting lines L. . A ductile material M is provided inside the workpiece W so as to overlap the planned cutting line L, and is exposed on the surface Wa. As shown in FIG. 1B, the back surface Wb of the workpiece W is provided with a resin sealing portion R for sealing the device chip. The workpiece W having the ductile material M overlaid on the planned cutting line L in this way is cut along the planned cutting line L using the cutting device 1 illustrated in FIG. be. The present invention is not limited to package substrates, but is also suitable for disk-shaped workpieces such as silicon wafers with TEGs (Test Element Groups) provided on a planned cutting line, wafers with resin films, and the like.

図２に示す切削装置１は、保持手段１０に保持された被加工物を切削手段２０によって切削加工する装置である。切削装置１は、静止基台２を有する。静止基台２上には、保持手段１０を加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動させるＸ軸方向移動手段３０と、切削手段２０をＸ軸方向に対して直交する割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動させるＹ軸方向移動手段４０と、切削手段２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸方向移動手段５０と、が設けられている。 A cutting device 1 shown in FIG. 2 is a device for cutting a workpiece held by a holding means 10 with a cutting means 20 . The cutting device 1 has a stationary base 2 . On the stationary base 2, an X-axis direction moving means 30 for moving the holding means 10 in the machining feed direction (X-axis direction) and an indexing feed direction (Y-axis direction) for the cutting means 20 orthogonal to the X-axis direction are provided. ), and a Z-axis direction moving means 50 for moving the cutting means 20 in the Z-axis direction.

保持手段１０は、被加工物を保持する保持テーブル１１を備えている。保持テーブル１１には、吸引部１２と、吸引部１２の外側に配設された４つのクランプ部１３とを備えている。このクランプ部１３は、被加工物の裏面が粘着テープに貼着されるとともに粘着テープの外周部が環状のフレームに貼着される場合に当該環状のフレームを固定するものである。被加工物Ｗは、後述するように図９に示すような矩形状の治具を介して粘着テープや環状フレームを使用することなく保持手段１０に保持されてもよい。保持手段１０の下部は、保持テーブル１１を回転させる回転駆動部１４に連結されている。 The holding means 10 comprises a holding table 11 for holding the workpiece. The holding table 11 includes a suction section 12 and four clamp sections 13 arranged outside the suction section 12 . This clamp part 13 fixes the annular frame when the back surface of the workpiece is attached to the adhesive tape and the outer peripheral portion of the adhesive tape is attached to the annular frame. As will be described later, the workpiece W may be held by the holding means 10 via a rectangular jig as shown in FIG. 9 without using an adhesive tape or an annular frame. A lower portion of the holding means 10 is connected to a rotation driving portion 14 that rotates the holding table 11 .

Ｘ軸方向移動手段３０は、静止基台２上に配設されＸ軸方向に延在するボールネジ３１と、ボールネジ３１と平行に配設された一対のガイドレール３２と、ボールネジ３１の一端に連結されボールネジ３１を回転させるモータ３３と、ボールネジ３１の他端を支持する軸受部３４と、内部のナットがボールネジ３１に螺合するとともに下部がガイドレール３２に摺接する移動基台３５とを備えており、モータ３３がボールネジ３１を正逆両方向に回転させることにより、移動基台３５がガイドレール３２にガイドされてＸ方向に移動する構成となっている。モータ３３は、ＣＰＵ、メモリ等を備えた制御手段６０によって制御される。 The X-axis direction moving means 30 includes a ball screw 31 arranged on the stationary base 2 and extending in the X-axis direction, a pair of guide rails 32 arranged parallel to the ball screw 31, and connected to one end of the ball screw 31. It comprises a motor 33 for rotating the ball screw 31, a bearing portion 34 for supporting the other end of the ball screw 31, and a movable base 35 whose internal nut is screwed onto the ball screw 31 and whose lower portion is in sliding contact with the guide rail 32. When the motor 33 rotates the ball screw 31 in both forward and reverse directions, the moving base 35 is guided by the guide rail 32 and moves in the X direction. The motor 33 is controlled by a control means 60 having a CPU, memory, and the like.

Ｙ軸方向移動手段４０は、静止基台２上に配設され、Ｙ軸方向に延在するボールネジ４１と、ボールネジ４１と平行に配設された一対のガイドレール４２と、ボールネジ４１の一端に連結されボールネジ４１を回転させるモータ４３と、内部のナットがボールネジ４１に螺合するとともに下部がガイドレール４２に摺接する移動基台４４とを備えており、モータ４３がボールネジ４１を正逆両方向に回転させることにより、移動基台４４がガイドレール４２にガイドされてＹ方向に移動する構成となっている。モータ４３は、制御手段６０によって制御される。 The Y-axis direction moving means 40 is arranged on the stationary base 2 and includes a ball screw 41 extending in the Y-axis direction, a pair of guide rails 42 arranged in parallel with the ball screw 41 , and one end of the ball screw 41 . It is provided with a motor 43 connected to rotate the ball screw 41, and a movable base 44 whose internal nut is screwed onto the ball screw 41 and whose lower part is in sliding contact with the guide rail 42. The motor 43 rotates the ball screw 41 forward and backward. By rotating it, the movable base 44 is guided by the guide rail 42 and moved in the Y direction. Motor 43 is controlled by control means 60 .

Ｚ軸方向移動手段５０は、移動基台４４上に配設され、Ｚ軸方向に延在するボールネジ５１と、ボールネジ５１と平行に配設された一対のガイドレール５２と、ボールネジ５１の一端に連結されボールネジ５１を回転させるモータ５３と、内部のナットがボールネジ５１に螺合するとともに側部がガイドレール５２に摺接する昇降ブロック５４とを備えており、モータ５３がボールネジ５１を正逆両方向に回転させることにより、昇降ブロック５４がガイドレール５２にガイドされてＺ方向に移動する構成となっている。モータ５３は、制御手段６０によって制御される。 The Z-axis direction moving means 50 is arranged on the moving base 44, and includes a ball screw 51 extending in the Z-axis direction, a pair of guide rails 52 arranged parallel to the ball screw 51, and one end of the ball screw 51. It comprises a motor 53 connected to rotate the ball screw 51, and an elevating block 54 whose internal nut is screwed onto the ball screw 51 and whose side portion is in sliding contact with the guide rail 52. The motor 53 rotates the ball screw 51 forward and backward. By rotating the lifting block 54, the lifting block 54 is guided by the guide rail 52 and moves in the Z direction. Motor 53 is controlled by control means 60 .

切削手段２０は、昇降ブロック５４によって片持ち状態で支持されてＹ方向に延びるスピンドルハウジング２３と、スピンドルハウジング２３に回転可能に支持され軸線がＹ軸方向に向くスピンドル２１と、スピンドル２１の先端に装着された切削ブレード２２とを備えている。スピンドル２１は、スピンドルハウジング２３に収納されている図示しないモータに連結されており、切削ブレード２２はスピンドル２１と共に回転する。 The cutting means 20 includes a spindle housing 23 that is cantilevered by an elevating block 54 and extends in the Y direction; and a cutting blade 22 mounted thereon. The spindle 21 is connected to a motor (not shown) housed in a spindle housing 23 , and the cutting blade 22 rotates together with the spindle 21 .

スピンドルハウジング２３には、アライメント手段７０が固定されている。アライメント手段７０は、被加工物Ｗを撮像する撮像手段７１を備え、切削手段２０とともにＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。 An alignment means 70 is fixed to the spindle housing 23 . The alignment means 70 has an imaging means 71 for imaging the workpiece W, and moves along with the cutting means 20 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

制御手段６０は、撮像手段７１によって撮像した画像に基づいて被加工物Ｗの切削すべき位置を検出し、切削手段２０、Ｘ軸方向移動手段３０、Ｙ軸方向移動手段４０及びＺ軸方向移動手段５０を駆動制御しつつ被加工物Ｗの切削加工を実行する。 The control means 60 detects the position of the workpiece W to be cut based on the image captured by the imaging means 71, and controls the cutting means 20, the X-axis direction moving means 30, the Y-axis direction moving means 40, and the Z-axis direction moving means. The workpiece W is cut while driving and controlling the means 50 .

図３に示すように、切削手段２０は、切削ブレード２２を上方から覆うブレードカバー２４を有する。また、切削ブレード２２は、例えばダイヤモンド砥粒等を樹脂や金属のボンドで固めて円板状に成形したワッシャーブレードである。円形基台の外周にニッケル母材にダイヤモンド砥粒等が分散された切削砥石を備えているハブブレードでもよい。 As shown in FIG. 3, the cutting means 20 has a blade cover 24 that covers the cutting blade 22 from above. The cutting blade 22 is a washer blade formed into a disc shape by hardening diamond abrasive grains with a resin or metal bond, for example. A hub blade may be provided with a cutting whetstone in which diamond abrasive grains and the like are dispersed in a nickel base material on the outer periphery of a circular base.

ブレードカバー２４には、切削水供給ノズル２５、２５０とバリ取り流体ノズル２６とが設けられている。切削水供給ノズル２５は、切削ブレード２２に切削水を供給するための一対のノズルであり、切削ブレード２２をＹ軸方向に挟んで配設されている。切削水供給ノズル２５は、ブレードカバー２４の下端から下方に延びる下垂部２５ａと、下垂部２５ａの下端からＸ軸方向に延びる水平部２５ｂとを有する。切削水供給ノズル２５の水平部２５ｂには、切削ブレード２２に向けて切削水を噴射する図示しない噴射スリットが切削ブレードに対面して設けられている。切削水供給ノズル２５は、ブレードカバー２４の内部に形成された図示しない切削水供給路、ブレードカバー２４に連結された切削水供給管２７ａ及びバルブ８３を介して切削水供給源８１に接続されており、バルブ８３が開いた状態では、切削水供給源８１から流出する切削水８１ａは、切削水供給管２７及びブレードカバー２４の内部に形成された図示しない切削水供給路を通り、切削水供給ノズル２５の噴射スリットから、切削ブレード２２の表面と裏面に向かってそれぞれ噴出されることで切削ブレード２２と被加工物Ｗとの接触位置（切削位置Ｐ１）に供給される。 The blade cover 24 is provided with cutting water supply nozzles 25 and 250 and a deburring fluid nozzle 26 . The cutting water supply nozzles 25 are a pair of nozzles for supplying cutting water to the cutting blade 22, and are arranged to sandwich the cutting blade 22 in the Y-axis direction. The cutting water supply nozzle 25 has a hanging portion 25a extending downward from the lower end of the blade cover 24 and a horizontal portion 25b extending in the X-axis direction from the lower end of the hanging portion 25a. A horizontal portion 25b of the cutting water supply nozzle 25 is provided with a jetting slit (not shown) for jetting cutting water toward the cutting blade 22 so as to face the cutting blade. The cutting water supply nozzle 25 is connected to a cutting water supply source 81 through a cutting water supply path (not shown) formed inside the blade cover 24, a cutting water supply pipe 27a connected to the blade cover 24, and a valve 83. When the valve 83 is open, the cutting water 81a flowing out from the cutting water supply source 81 passes through the cutting water supply pipe 27 and the cutting water supply channel (not shown) formed inside the blade cover 24, and flows into the cutting water supply. The cutting blade 22 is supplied to the contact position (cutting position P1) between the cutting blade 22 and the workpiece W by being jetted toward the front surface and the back surface of the cutting blade 22 from the injection slit of the nozzle 25 .

また、ブレードカバー２４には、切削ブレードの外周側から切削ブレード２２に向かって切削水を噴出することで切削ブレード２２と被加工物Ｗとの接触位置（切削位置Ｐ１）に切削水を供給する切削水供給ノズル２５０も設けられている。切削水供給ノズル２５０は、ブレードカバー２４の内部に形成された図示しない切削水供給路、ブレードカバー２４に連結された切削水供給管２７ｂ及びバルブ８３を介して切削水供給源８１に接続されている。 The blade cover 24 supplies cutting water to the contact position (cutting position P1) between the cutting blade 22 and the workpiece W by ejecting cutting water from the outer peripheral side of the cutting blade toward the cutting blade 22. A cutting water supply nozzle 250 is also provided. The cutting water supply nozzle 250 is connected to a cutting water supply source 81 through a cutting water supply path (not shown) formed inside the blade cover 24, a cutting water supply pipe 27b connected to the blade cover 24, and a valve 83. there is

バリ取り流体ノズル２６は、切削ブレード２２により切削され被加工物Ｗに形成された切削溝にバリ取り流体を吹き付けて、切削溝の上端に形成されたバリを除去するためのノズルである。バリ取り流体ノズル２６は、ブレードカバー２４の－Ｘ側の端部に設けられている。バリ取り流体ノズル２６は、切削位置Ｐ１により近い位置でバリ取りを実施し得るよう切削位置Ｐ１の－Ｘ側近傍位置に向けてバリ取り流体８２ａを斜めに噴射するのが好ましい。真下に噴射してもよい。なお、被加工物の加工時は、被加工物を保持する保持テーブル１１が－Ｘ方向に移動するため、バリ取り流体８２ａの噴射位置である切削位置Ｐ１の－Ｘ側とは、加工進行方向の後ろ側を意味する。バリ取り流体ノズル２６は、バリ取り流体供給管２８及びバルブ８４を介してバリ取り流体供給源８２に接続されており、バルブ８４が開いた状態では、バリ取り流体供給源８２から流出するバリ取り流体８２ａは、バリ取り流体供給管２８を通り、バリ取り流体ノズル２６から噴射される。バリ取り流体８２ａとしては、例えば高圧純水や市水が使用される。 The deburring fluid nozzle 26 is a nozzle for spraying a deburring fluid on the cutting groove formed in the workpiece W cut by the cutting blade 22 to remove burrs formed on the upper end of the cutting groove. A deburring fluid nozzle 26 is provided at the −X side end of the blade cover 24 . The deburring fluid nozzle 26 preferably jets the deburring fluid 82a obliquely toward the -X side of the cutting position P1 so that deburring can be performed at a position closer to the cutting position P1. You can shoot straight down. When the workpiece is machined, the holding table 11 that holds the workpiece moves in the -X direction. means behind the The deburring fluid nozzle 26 is connected to a deburring fluid supply source 82 via a deburring fluid supply pipe 28 and a valve 84, and when the valve 84 is open, the deburring fluid flowing out of the deburring fluid supply source 82 The fluid 82 a is jetted from the deburring fluid nozzle 26 through the deburring fluid supply pipe 28 . High-pressure pure water or city water, for example, is used as the deburring fluid 82a.

（１－２）切削方法
次に、切削装置１を用いて被加工物を個々のデバイスに分割する切削方法について説明する。被加工物は、切削予定ラインに重ねて延性材を有するものであれば、特に形状、材質等が限定されるものではない。 (1-2) Cutting Method Next, a cutting method for dividing a workpiece into individual devices using the cutting apparatus 1 will be described. The workpiece is not particularly limited in terms of shape, material, etc., as long as it has a ductile material overlaid on the line to be cut.

図４に示す被加工物Ｗは、図１に示したパッケージ基板である。被加工物Ｗは、その裏面Ｗｂに貼着された粘着テープＴを介して環状フレームＦに支持された状態で、保持手段１０の保持テーブル１１に吸着保持されている。環状フレームＦはクランプ部１３で四箇所が固定されている。 A workpiece W shown in FIG. 4 is the package substrate shown in FIG. The workpiece W is held by suction on the holding table 11 of the holding means 10 while being supported by the annular frame F via the adhesive tape T adhered to the rear surface Wb. The annular frame F is fixed at four points by clamp portions 13 .

（ａ）切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップ
保持手段１０により被加工物Ｗが保持された後、図１に示した撮像手段７１によって被加工物Ｗの表面Ｗａが撮像されて切削すべき切削予定ラインが検出される。その後、切削手段２０がＹ軸方向移動手段４０によって駆動されてＹ軸方向に移動し、切削すべき切削予定ラインと切削ブレード２２とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。 (a) Cutting groove forming step and burr removing step After the workpiece W is held by the holding means 10, the surface Wa of the workpiece W is imaged by the imaging means 71 shown in FIG. A line is detected. After that, the cutting means 20 is driven by the Y-axis direction moving means 40 to move in the Y-axis direction, and the line to be cut to be cut and the cutting blade 22 are aligned in the Y-axis direction.

そして、Ｚ軸方向移動手段５０が切削手段２０を下降させて切削ブレード２２の下端のＺ軸方向の位置を、切削ブレード２２が被加工物Ｗの表面Ｗａと裏面Ｗｂとの間の高さ位置に達する高さ位置に合わせ、保持手段１０がＸ軸方向移動手段３０によって駆動されてＸ軸方向に移動することにより、回転する切削ブレード２２が検出された切削予定ラインに切り込み、図４に示すように、切削が開始される。 Then, the Z-axis direction moving means 50 lowers the cutting means 20 to move the lower end of the cutting blade 22 in the Z-axis direction to the height position between the front surface Wa and the back surface Wb of the workpiece W. When the holding means 10 is driven by the X-axis direction moving means 30 to move in the X-axis direction, the rotating cutting blade 22 cuts into the detected planned cutting line, as shown in FIG. As such, cutting begins.

図１に示したＸ軸方向移動手段３０が保持手段１０を－Ｘ方向に送ることにより、切削予定ラインに沿って切削が進行する（切削溝形成ステップ）。切削溝形成ステップにおける被加工物Ｗの切削は、切削ブレード２２の被加工物Ｗに対する相対移動方向（＋Ｘ方向）の前方において被加工物Ｗを下向きに削るように切削するいわゆるダウンカットにより実施される。切削中は、図４に示すようにバルブ８３を開き、切削水供給ノズル２５、２５０から図３に示した切削位置Ｐ１に切削水８１ａが供給される。この切削が実施されることにより、図５（ａ）に示すように、被加工物Ｗに、裏面Ｗｂまで貫通しない切削溝Ｕが形成されるとともに切削溝Ｕの下に切り残し部Ｅが形成される。また、切削溝Ｕの上端には延性材ＭによるバリＢが形成される。 The X-axis direction moving means 30 shown in FIG. 1 feeds the holding means 10 in the -X direction, so that cutting progresses along the planned cutting line (cutting groove forming step). The cutting of the workpiece W in the cutting groove forming step is performed by a so-called down-cut that cuts the workpiece W downward in front of the relative movement direction (+X direction) of the cutting blade 22 with respect to the workpiece W. be. During cutting, the valve 83 is opened as shown in FIG. 4, and cutting water 81a is supplied from the cutting water supply nozzles 25 and 250 to the cutting position P1 shown in FIG. By performing this cutting, as shown in FIG. 5A, a cutting groove U that does not penetrate to the back surface Wb is formed in the workpiece W, and an uncut portion E is formed under the cutting groove U. be done. A burr B made of a ductile material M is formed at the upper end of the cutting groove U. As shown in FIG.

切削溝形成ステップの実施中は、図３に示したバルブ８４も開き、図５（ｂ）に示すように、バリ取り流体ノズル２６から被加工物Ｗの切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａが噴射され、バリ取り流体８２ａが、図３に示した被加工物Ｗ上のバリ取り位置Ｐ２に着水する（バリ除去ステップ）。そして、バリ除去ステップにおいて、切削溝Ｕの上端に形成されていたバリＢが、それが生じた直後に図５（ｃ）に示すように除去される。 During the cutting groove forming step, the valve 84 shown in FIG. 3 is also opened, and as shown in FIG. is jetted, and the deburring fluid 82a lands on the deburring position P2 on the workpiece W shown in FIG. 3 (deburring step). Then, in the burr removing step, the burr B formed on the upper end of the cutting groove U is removed as shown in FIG. 5(c) immediately after it is formed.

（ｂ）切り残し部切削ステップ
図６に示すように、切削すべき切削予定ラインＬの＋Ｘ側端部まで切削ブレード２２が相対移動すると、切削予定ラインに沿って切削溝Ｕが形成される。そして、バリ取り流体ノズル２６からのバリ取り流体８２ａの噴出を続けながら、図３に示した切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２との距離分だけさらに保持手段１０を－Ｘ方向へ送ると、バルブ８４を閉止してバリ取り流体８２ａの噴出を停止するとともに、図１に示したＸ軸方向移動手段３０による保持手段１０の－Ｘ方向への送りを停止する。このとき、バルブ８３を開いたままとして切削水供給ノズル２５、２５０からの切削水の噴出は続行する。そして、切削ブレード２２を高速回転させながらＺ軸方向移動手段５０が切削手段２０をさらに－Ｚ方向に降下させて切削ブレード２２を図７に示すように粘着テープＴに達する深さに切り込ませるとともに、Ｘ軸方向移動手段３０が保持手段１０を＋Ｘ方向に送り、被加工物Ｗを切削予定ラインＬに沿って切削溝形成ステップとは逆の方向に切削していく。その間、切削水供給ノズル２５、２５０から切削水８１ａが噴出される。 (b) Uncut Portion Cutting Step As shown in FIG. 6, when the cutting blade 22 relatively moves to the +X side end of the planned cutting line L to be cut, a cutting groove U is formed along the planned cutting line. Then, while continuing to jet the deburring fluid 82a from the deburring fluid nozzle 26, when the holding means 10 is further moved in the -X direction by the distance between the cutting position P1 and the deburring position P2 shown in FIG. 84 is closed to stop the ejection of the deburring fluid 82a, and the feeding of the holding means 10 in the -X direction by the X-axis direction moving means 30 shown in FIG. 1 is stopped. At this time, the valve 83 is kept open, and cutting water jetting from the cutting water supply nozzles 25 and 250 continues. Then, while rotating the cutting blade 22 at a high speed, the Z-axis direction moving means 50 further lowers the cutting means 20 in the -Z direction to cut the cutting blade 22 to a depth reaching the adhesive tape T as shown in FIG. At the same time, the X-axis direction moving means 30 feeds the holding means 10 in the +X direction, and cuts the workpiece W along the planned cutting line L in the direction opposite to the cutting groove forming step. During this time, cutting water 81 a is jetted from the cutting water supply nozzles 25 and 250 .

切り残し部切削ステップにおける被加工物Ｗの切削は、切削ブレード２２の被加工物Ｗに対する相対移動方向（－Ｘ方向）の前方において被加工物Ｗを上向きに削るように切削するいわゆるアップカットにより実施される。この切削が実施されることにより、図７に示すように、切り残し部Ｅが切断されて裏面Ｗｂまで貫通する。 The cutting of the workpiece W in the uncut portion cutting step is a so-called up-cut that cuts the workpiece W upward in front of the relative movement direction (−X direction) of the cutting blade 22 with respect to the workpiece W. be implemented. By performing this cutting, as shown in FIG. 7, the uncut portion E is cut and penetrates to the rear surface Wb.

切削ブレード２２が切削予定ラインＬの－Ｘ側端部まで相対移動したら、図１に示したＸ軸方向移動手段３０による保持手段１０の＋Ｘ方向への送りを停止し、Ｚ軸方向移動手段５０が切削手段２０を＋Ｚ方向に上昇させて、切削ブレード２２を被加工物Ｗから離間させる。次いで、次に切削すべき切削予定ラインＬと切削ブレード２２とのＹ軸方向における位置合わせが行われるとともに、図４と同様に、切削ブレード２２が切削すべき切削予定ラインＬの－Ｘ側端部に位置づけられる。そして、バルブ８４を開いてバリ取り流体８２ａの噴出を再開し、その切削予定ラインＬに対して、上記と同様に切削溝形成ステップ、バリ除去ステップ及び切り残し部切削ステップが実施される。これらの一連のステップが被加工物Ｗの同方向の全ての切削予定ラインＬに対して実施された後、保持テーブル１１を９０度回転させ、同様に切削溝形成ステップ、バリ除去ステップ及び切り残し部切削ステップが実施される。そして、最後の切削予定ラインＬに対する切り残し部切削ステップの実施が完了した時点で、被加工物Ｗの個々のデバイスパッケージＤへの分割が完了する。 When the cutting blade 22 relatively moves to the -X side end of the planned cutting line L, the X-axis direction moving means 30 shown in FIG. raises the cutting means 20 in the +Z direction to separate the cutting blade 22 from the workpiece W. Next, the planned cutting line L to be cut next and the cutting blade 22 are aligned in the Y-axis direction. Positioned in the department. Then, the valve 84 is opened to restart the jetting of the deburring fluid 82a, and the cutting groove forming step, the burr removing step, and the uncut portion cutting step are performed on the planned cutting line L in the same manner as described above. After these series of steps have been performed for all the planned cutting lines L in the same direction of the workpiece W, the holding table 11 is rotated by 90 degrees, and similarly the cutting groove forming step, the burr removing step and the uncut portion are performed. A part cutting step is performed. Then, when the uncut portion cutting step for the final planned cutting line L is completed, the division of the workpiece W into the individual device packages D is completed.

以上説明したように、第１の実施形態の切削方法は、回転する切削ブレード２２を延性材Ｍに達する深さに切り込ませて被加工物Ｗを切削予定ラインＬに沿って切削することにより、被加工物Ｗに切削溝Ｕを形成するとともに切削溝Ｕの下に切り残し部Ｅを形成する切削溝形成ステップと、切削溝形成ステップの実施中に切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａを噴射して切削溝形成ステップで生成された延性材ＭのバリＢを除去するバリ除去ステップと、を備えることで、被加工物Ｗを切削することにより発生した延性材ＭのバリＢを従来よりも容易にかつより確実に除去することができる。被加工物Ｗが完全切断されて個片化されている状態でバリ取り流体８２ａを噴出させると、被加工物Ｗの表面Ｗａに到達したバリ取り流体８２ａが隣接するチップ間の隙間からチップの裏面側に回り込み、チップを押し上げるのでチップ飛びが発生することになるが、本発明では、切削溝Ｕの下に切り残し部Ｅが形成されていることにより、切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａを噴射してバリＢを除去する際、チップ飛びを防止できる。また、被加工物Ｗが完全切断されて個片化されている状態でバリ取り流体８２ａを噴出させると、隣接するチップ間の隙間に噴射されたバリ取り流体８２ａが直に粘着テープＴに衝突するため、粘着テープＴに破断が生じるおそれが高いが、本発明では、被加工物Ｗに切り残し部Ｅが形成されているため、チップ飛びや粘着テープＴの切断を確実に防止できる。さらに、チップ飛びや粘着テープＴの切断のおそれがないため、バリ取り流体８２ａの噴射力を高めてバリ除去の性能を向上させることができる。加えて、バリ取り流体ノズル２６の噴射ロサイズを大きくできるのでバリ取り流体ノズル２６の位置調整が容易である。 As described above, the cutting method of the first embodiment cuts the workpiece W along the planned cutting line L by cutting the rotating cutting blade 22 to a depth reaching the ductile material M. , a cutting groove forming step of forming a cutting groove U in the workpiece W and forming an uncut portion E under the cutting groove U; and a burr removing step of removing the burrs B of the ductile material M generated in the cutting groove forming step by spraying the burrs B of the ductile material M generated by cutting the workpiece W into the conventional easier and more reliable to remove. When the deburring fluid 82a is ejected while the workpiece W is completely cut into individual pieces, the deburring fluid 82a that has reached the surface Wa of the workpiece W pushes the chips through the gaps between the adjacent chips. Since it wraps around to the back surface side and pushes up the chip, chip flying occurs. Chip flying can be prevented when the burr B is removed by injecting the 82a. Further, when the deburring fluid 82a is ejected while the workpiece W is completely cut into individual pieces, the deburring fluid 82a ejected into the gap between the adjacent chips collides directly with the adhesive tape T. Therefore, there is a high possibility that the adhesive tape T will break. However, in the present invention, since the uncut portion E is formed in the workpiece W, chip flying and cutting of the adhesive tape T can be reliably prevented. Furthermore, since there is no risk of chip flying or cutting of the adhesive tape T, the ejection force of the deburring fluid 82a can be increased to improve deburring performance. In addition, since the injection size of the deburring fluid nozzle 26 can be increased, the position of the deburring fluid nozzle 26 can be easily adjusted.

また、切削溝形成ステップを実施中の切削予定ラインＬと同一の切削予定ラインＬにおいて、切削溝が形成された直後にその切削溝に生じたバリを除去するバリ除去ステップを実施するため、切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップを効率良く実施することができる。 Further, in order to perform the burr removing step for removing burrs generated in the cutting groove immediately after the cutting groove is formed on the same scheduled cutting line L as the cutting line L on which the cutting groove forming step is being performed, A groove forming step and a burr removing step can be efficiently performed.

第１の実施形態では、切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップは、切削ブレード２２が被加工物Ｗの一端側（切削予定ラインＬの－Ｘ側端部）から他端側（＋Ｘ側端部）に向かって切削する往路で実施され、切り残し部切削ステップは、切削ブレード２２が被加工物Ｗの他端側（切削予定ラインＬの＋Ｘ側端部）から一端側（－Ｘ側端部）へ向かって切削する復路で実施されるので、切削溝形成ステップ、バリ除去ステップ及び切り残し部切削ステップを効率良く実施できる。また、往路ではダウンカットで切削が行われることにより、被加工物Ｗの表面のチッピングが抑制される。切削溝形成ステップでは切削ブレード２２の先端が少なくとも延性材Ｍに至る深さの切削溝を形成すればよいが、例えば切り残し部Ｅの厚みを被加工物Ｗの厚みの１０％程度とすることで、アップカットでの切り残し部切削ステップの送り速度を落とすことなく切削することが可能となる。 In the first embodiment, the cutting groove forming step and the burr removing step are performed by moving the cutting blade 22 from one end of the workpiece W (−X side end of the planned cutting line L) to the other end (+X side end). In the uncut portion cutting step, the cutting blade 22 moves from the other end side of the workpiece W (+X side end of the planned cutting line L) to one end (−X side end) Since it is carried out in the return path of cutting toward, the cutting groove forming step, the burr removing step, and the uncut portion cutting step can be efficiently carried out. In addition, chipping of the surface of the workpiece W is suppressed by performing cutting by down cutting in the outward path. In the cutting groove forming step, the cutting groove may be formed so that the tip of the cutting blade 22 reaches at least the ductile material M. For example, the thickness of the uncut portion E is set to about 10% of the thickness of the workpiece W. , it is possible to perform cutting without lowering the feed rate in the step of cutting the uncut portion in up-cutting.

第１の実施形態では、図３に示したように、バリ取り流体ノズル２６が、切削位置Ｐ１により近い位置でバリ取りを実施し得るよう切削位置Ｐ１の－Ｘ側近傍位置に向けてバリ取り流体８２ａを斜めに噴射するように構成されている。切削溝Ｕの端までバリ取り流体８２ａを噴射するためには、切削ブレード２２の中心が切削溝Ｕの端に到達した後、さらに切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２との間の距離分だけ、被加工物Ｗが－Ｘ方向に加工送りされる必要があるところ、切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２とが互いに近接していると、切削によりバリＢが形成された直後にそのバリＢを除去できるので、スループットが向上する。切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２との間の距離は５ｍｍ以下であることが好ましく、被加工物Ｗの表面Ｗａに対するバリ取り流体８２ａの入射角度は０°以上９０°未満であればよい。切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２との間の距離が５ｍｍ以下であることにより、スループットが確実に向上する。 In the first embodiment, as shown in FIG. 3, the deburring fluid nozzle 26 deburrs toward a position near the cutting position P1 on the -X side so that deburring can be performed at a position closer to the cutting position P1. It is configured to jet the fluid 82a obliquely. In order to jet the deburring fluid 82a to the end of the cutting groove U, after the center of the cutting blade 22 reaches the end of the cutting groove U, the distance between the cutting position P1 and the deburring position P2 is If the cutting position P1 and the deburring position P2 are close to each other when the workpiece W needs to be fed in the -X direction, the burr B will be removed immediately after it is formed by cutting. can improve throughput. The distance between the cutting position P1 and the deburring position P2 is preferably 5 mm or less, and the incident angle of the deburring fluid 82a with respect to the surface Wa of the workpiece W may be 0° or more and less than 90°. By setting the distance between the cutting position P1 and the deburring position P2 to 5 mm or less, the throughput is reliably improved.

なお、図３に示した構成のバリ取り流体ノズル２６に代えて、例えば、図８に示すように、被加工物Ｗの表面Ｗａの近傍から直下に向けてバリ取り流体８２ａを噴射するバリ取り流体ノズル２９を採用することも可能である。 Instead of the deburring fluid nozzle 26 having the configuration shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. Fluid nozzles 29 can also be employed.

２第２の実施形態（ステップカット加工）
（２－１）被加工物及び装置構成
図９に示す被加工物Ｗは、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板などのパッケージ基板である（図１参照）。図９に示す切削装置１００は、保持手段１１０が保持する被加工物Ｗに対して、第１の切削ブレード１２１を備える第１の切削手段１２０及び第２の切削ブレード１３１（図１２参照）を備える第２の切削手段１３０によって切削加工を施す装置である。 2 Second embodiment (step cut processing)
(2-1) Workpiece and Device Configuration The workpiece W shown in FIG. 9 is a package substrate such as a CSP (Chip Size Package) substrate (see FIG. 1). A cutting apparatus 100 shown in FIG. 9 applies a first cutting means 120 having a first cutting blade 121 and a second cutting blade 131 (see FIG. 12) to a workpiece W held by a holding means 110. It is an apparatus for performing cutting by a second cutting means 130 provided.

切削装置１００の静止基台１０１上には、Ｘ軸方向に保持手段１１０を往復移動させるＸ軸方向移動手段１４０が設けられている。Ｘ軸方向移動手段１４０は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１４１と、ボールネジ１４１と平行に配設された一対のガイドレール１４２と、ボールネジ１４１を回動させるモータ１４３と、内部のナットがボールネジ１４１に螺合し底部がガイドレール１４２に摺接する可動板１４５とから構成される。そして、モータ１４３がボールネジ１４１を回動させると、これに伴い可動板１４５がガイドレール１４２にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１４５上に配設された保持手段１１０が可動板１４５の移動に伴いＸ軸方向に移動することで、保持手段１１０に保持された被加工物ＷがＸ軸方向に切削送りされる。 On the stationary base 101 of the cutting device 100, an X-axis direction moving means 140 for reciprocating the holding means 110 in the X-axis direction is provided. The X-axis direction moving means 140 includes a ball screw 141 having an axis in the X-axis direction, a pair of guide rails 142 arranged parallel to the ball screw 141, a motor 143 for rotating the ball screw 141, and an internal nut. It is composed of a movable plate 145 which is screwed onto the ball screw 141 and whose bottom portion is in sliding contact with the guide rail 142 . When the motor 143 rotates the ball screw 141, the movable plate 145 is guided by the guide rail 142 and moves in the X-axis direction. moves in the X-axis direction along with the movement of , the workpiece W held by the holding means 110 is fed for cutting in the X-axis direction.

保持手段１１０は、矩形状の治具１１１を有する。治具１１１は、その上面に被加工物Ｗを吸引保持するための吸引保持部１１２を有する。治具１１１は、可動板１４５上に設けられた回転テーブル１１３上に固定されている。治具１１１の上面には、被加工物Ｗの切削予定ラインに対応する逃げ溝が形成されている。被加工物Ｗは、治具１１１を介して回転テーブル１１３上に保持される。回転テーブル１１３は、図示しないモータを有する回転機構により回転駆動される。 The holding means 110 has a rectangular jig 111 . The jig 111 has a suction holding portion 112 for holding the workpiece W by suction on its upper surface. The jig 111 is fixed on the rotary table 113 provided on the movable plate 145 . An escape groove corresponding to the planned cutting line of the workpiece W is formed on the upper surface of the jig 111 . A workpiece W is held on a rotary table 113 via a jig 111 . The rotary table 113 is rotationally driven by a rotary mechanism having a motor (not shown).

静止基台１０１上の－Ｘ方向側には、門型コラム１０２がＸ軸方向移動手段１４０を跨ぐように立設されている。門型コラム１０２の前面には、第１の切削手段１２０をＹ軸方向に往復移動させる第１のＹ軸方向移動手段１５０と、第２の切削手段１３０をＹ軸方向に往復移動させる第２のＹ軸方向移動手段１６０とが対を成して配設されている。 On the −X direction side of the stationary base 101 , a gate-shaped column 102 is erected so as to straddle the X-axis direction moving means 140 . On the front surface of the portal column 102, there are a first Y-axis direction moving means 150 for reciprocating the first cutting means 120 in the Y-axis direction and a second Y-axis direction moving means 150 for reciprocating the second cutting means 130 in the Y-axis direction. , and the Y-axis direction moving means 160 are arranged in a pair.

第１のＹ軸方向移動手段１５０は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１５１と、ボールネジ１５１と平行に配設された一対のガイドレール１５２と、ボールネジ１５１を回動させるモータ１５３と、内部のナットがボールネジ１５１に螺合し側部がガイドレール１５２に摺接する可動板１５４とから構成される。そして、モータ１５３がボールネジ１５１を回動させると、これに伴い可動板１５４がガイドレール１５２にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１５４に支持された第１の切削手段１２０が可動板１５４の移動に伴いＹ軸方向に割り出し送りされる。 The first Y-axis direction moving means 150 includes a ball screw 151 having an axial center in the Y-axis direction, a pair of guide rails 152 arranged parallel to the ball screw 151, a motor 153 for rotating the ball screw 151, an internal A nut is screwed onto the ball screw 151 and a movable plate 154 whose side portion is in sliding contact with the guide rail 152 . When the motor 153 rotates the ball screw 151, the movable plate 154 is guided by the guide rail 152 and moves in the Y-axis direction, and the first cutting means 120 supported by the movable plate 154 moves to the movable plate. 154 is indexed and fed in the Y-axis direction.

第２のＹ軸方向移動手段１６０は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１６１と、ボールネジ１６１と平行に配設された一対のガイドレール１６２と、ボールネジ１６１を回動させるモータ１６３と、内部のナットがボールネジ１６１に螺合し側部がガイドレール１６２に摺接する可動板１６４とから構成される。そして、モータ１６３がボールネジ１６１を回動させると、これに伴い可動板１６４がガイドレール１６２にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１６４に支持された第２の切削手段１３０が可動板１６４の移動に伴いＹ軸方向に割り出し送りされる。なお、第１のＹ軸方向移動手段１５０の一対のガイドレール１５２と第２のＹ軸方向移動手段１６０の一対のガイドレール１６２とは共通の部材である。 The second Y-axis direction moving means 160 includes a ball screw 161 having an axial center in the Y-axis direction, a pair of guide rails 162 arranged parallel to the ball screw 161, a motor 163 for rotating the ball screw 161, an internal A nut is screwed onto the ball screw 161 and a movable plate 164 whose side portion is in sliding contact with the guide rail 162 . When the motor 163 rotates the ball screw 161, the movable plate 164 is guided by the guide rail 162 and moves in the Y-axis direction, and the second cutting means 130 supported by the movable plate 164 moves to the movable plate. 164 is indexed and fed in the Y-axis direction. The pair of guide rails 152 of the first Y-axis direction moving means 150 and the pair of guide rails 162 of the second Y-axis direction moving means 160 are common members.

第１のＹ軸方向移動手段１５０の可動板１５４には、第１の切削手段１２０をＺ軸方向に昇降移動させる第１のＺ軸方向移動手段１７０が配設されている。第１のＺ軸方向移動手段１７０は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１７１と、ボールネジ１７１と平行に配設された一対のガイドレール１７２と、ボールネジ１７１を回動させるモータ１７３と、内部のナットがボールネジ１７１に螺合し側部がガイドレール１７２に摺接する支持部材１７４とから構成される。そして、モータ１７３がボールネジ１７１を回動させると、これに伴い支持部材１７４がガイドレール１７２にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１７４が支持する第１の切削手段１２０が支持部材１７４の移動に伴いＺ軸方向に切り込み送りされる。 The movable plate 154 of the first Y-axis direction moving means 150 is provided with a first Z-axis direction moving means 170 for vertically moving the first cutting means 120 in the Z-axis direction. The first Z-axis direction moving means 170 includes a ball screw 171 having an axis in the Z-axis direction, a pair of guide rails 172 arranged parallel to the ball screw 171, a motor 173 for rotating the ball screw 171, an internal A nut is screwed onto the ball screw 171 and a support member 174 whose side portion is in sliding contact with the guide rail 172 . When the motor 173 rotates the ball screw 171, the support member 174 is guided by the guide rail 172 and moves in the Z-axis direction. is cut and fed in the Z-axis direction along with the movement of .

また、第２のＹ軸方向移動手段１６０の可動板１６４には、第２の切削手段１３０をＺ軸方向に昇降移動させる第２のＺ軸方向移動手段１８０が配設されている。第２のＺ軸方向移動手段１８０は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１８１と、ボールネジ１８１と平行に配設された一対のガイドレール１８２と、ボールネジ１８１を回動させるモータ１８３と、内部のナットがボールネジ１８１に螺合し側部がガイドレール１８２に摺接する支持部材１８４とから構成される。そして、モータ１８３がボールネジ１８１を回動させると、これに伴い支持部材１８４がガイドレール１８２にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１８４が支持する第２の切削手段１３０が支持部材１８４の移動に伴いＺ軸方向に切り込み送りされる。 Further, the movable plate 164 of the second Y-axis direction moving means 160 is provided with a second Z-axis direction moving means 180 for vertically moving the second cutting means 130 in the Z-axis direction. The second Z-axis direction moving means 180 includes a ball screw 181 having an axis in the Z-axis direction, a pair of guide rails 182 arranged parallel to the ball screw 181, a motor 183 for rotating the ball screw 181, an internal A nut is screwed onto the ball screw 181 and a support member 184 whose side portion is in sliding contact with the guide rail 182 . When the motor 183 rotates the ball screw 181, the support member 184 is guided by the guide rail 182 and moves in the Z-axis direction. is cut and fed in the Z-axis direction along with the movement of .

第１の切削手段１２０は、軸方向が保持手段１１０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）であるスピンドル１２２と、スピンドル１２２を回転可能に支持するハウジング１２３と、第１の切削ブレード１２１を覆うブレードカバー１２４と、スピンドル１２２を回転させる図示しないモータとを備えており、モータがスピンドル１２２を回転駆動することに伴って、スピンドル１２２の先端に固定された第１の切削ブレード１２１が高速回転する。 The first cutting means 120 includes a spindle 122 whose axial direction is perpendicular to the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the movement direction (X-axis direction) of the holding means 110, and a housing that rotatably supports the spindle 122. 123, a blade cover 124 that covers the first cutting blade 121, and a motor (not shown) that rotates the spindle 122. As the motor rotates the spindle 122, it is fixed to the tip of the spindle 122. The first cutting blade 121 rotates at high speed.

第２の切削手段１３０は、軸方向が保持手段１１０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）であるスピンドル１３２（図１２参照）と、スピンドル１３２を回転可能に支持するハウジング１３３と、第２の切削ブレード１３１を覆うブレードカバー１３４と、スピンドル１３２を回転させる図示しないモータとを備えており、モータがスピンドル１３２を回転駆動することに伴って、スピンドル１３２の先端に固定された第２の切削ブレード１３１が高速回転する。 The second cutting means 130 includes a spindle 132 (see FIG. 12) whose axial direction is perpendicular to the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the moving direction (X-axis direction) of the holding means 110, and a rotating spindle 132. It includes a housing 133 that supports the cutting blade 131, a blade cover 134 that covers the second cutting blade 131, and a motor (not shown) that rotates the spindle 132. As the motor rotates the spindle 132, the spindle 132 The second cutting blade 131 fixed to the tip of the is rotated at high speed.

第１の切削手段１２０のハウジング１２３及び第２の切削手段１３０のハウジング１３３には、それぞれアライメント手段１９１、１９２が固定されている。各アライメント手段１９１、１９２は、被加工物Ｗを撮像する撮像手段１９３、１９４を備え、それぞれ第１の切削手段１２０及び第２の切削手段１３０とともにＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。 Alignment means 191 and 192 are fixed to the housing 123 of the first cutting means 120 and the housing 133 of the second cutting means 130, respectively. Each of the alignment means 191 and 192 has imaging means 193 and 194 for imaging the workpiece W, and moves in the Y-axis direction and the Z-axis direction together with the first cutting means 120 and the second cutting means 130, respectively.

第１の切削手段１２０のブレードカバー１２４には、第１の実施形態の切削手段２０と同様に、図３に示した切削水供給ノズル２５、２５０とバリ取り流体ノズル２６とが設けられている。第１の切削手段１２０は、切削水供給ノズル２５、２５０から第１の切削ブレード１２１に切削水８１ａを供給しつつ、第１の切削ブレード１２１により被加工物Ｗを切削する。その際、第１の切削手段１２０は、図１０に示すように、第１の切削ブレード１２１により切削された被加工物Ｗの切削溝Ｕにバリ取り流体ノズル２６からバリ取り流体８２ａを吹き付けて、切削溝Ｕの上端に形成されたバリＢを除去する。バリ取り流体ノズル２６は、図示しないノズル移動手段を介してブレードカバー１２４に支持されている。ノズル移動手段は、図１１に示すようにバリ取り流体８２ａが被加工物Ｗの表面Ｗａに噴射されて形成される噴射スポットＳＰが切削溝Ｕを横断するように、バリ取り流体ノズル２６を切削溝Ｕの幅方向（Ｙ軸方向）に移動させる。 The blade cover 124 of the first cutting means 120 is provided with the cutting water supply nozzles 25 and 250 and the deburring fluid nozzle 26 shown in FIG. 3, like the cutting means 20 of the first embodiment. . The first cutting means 120 cuts the workpiece W with the first cutting blade 121 while supplying cutting water 81 a from the cutting water supply nozzles 25 and 250 to the first cutting blade 121 . At this time, as shown in FIG. 10, the first cutting means 120 sprays the deburring fluid 82a from the deburring fluid nozzle 26 onto the cutting groove U of the workpiece W cut by the first cutting blade 121. , the burr B formed on the upper end of the cutting groove U is removed. The deburring fluid nozzle 26 is supported by the blade cover 124 via nozzle moving means (not shown). The nozzle moving means cuts the deburring fluid nozzle 26 so that the jet spot SP formed by jetting the deburring fluid 82a onto the surface Wa of the workpiece W as shown in FIG. 11 traverses the cutting groove U. It is moved in the width direction (Y-axis direction) of the groove U.

第２の切削手段１３０のブレードカバー１３４には、図３に示した切削水供給ノズル２５、２５０が設けられている。第２の切削手段１３０は、切削水供給ノズル２５、２５０から第２の切削ブレード１３１に切削水８１ａを供給しつつ、第２の切削ブレード１３１により被加工物Ｗを切削する。ステップカット加工時には第２の切削手段１３０には、バリ取り流体ノズル２６を備えていなくてもよい。 The blade cover 134 of the second cutting means 130 is provided with the cutting water supply nozzles 25 and 250 shown in FIG. The second cutting means 130 cuts the workpiece W with the second cutting blade 131 while supplying cutting water 81 a from the cutting water supply nozzles 25 and 250 to the second cutting blade 131 . The second cutting means 130 may not be equipped with the deburring fluid nozzle 26 during step cutting.

図９に示す切削装置１００の各駆動部は制御手段２００によって制御される。すなわち、制御手段２００は、撮像手段１９３、１９４のいずれか（例えば撮像手段１９３）によって撮像した画像に基づいて被加工物Ｗの切削すべき位置を検出し、第１の切削手段１２０、第２の切削手段１３０、Ｘ軸方向移動手段１４０、第１のＹ軸方向移動手段１５０、第２のＹ軸方向移動手段１６０、第１のＺ軸方向移動手段１７０及び第２のＺ軸方向移動手段１８０等を駆動制御しつつ被加工物Ｗの切削加工を実行する。なお、切削すべき位置の検出が撮像手段１９３のみによって行われる場合においても、切削によって形成された切削溝の撮像によるチェック（カーフチェック）は、撮像手段１９３、１９４の双方によって行われる。 Each driving part of the cutting device 100 shown in FIG. 9 is controlled by the control means 200 . That is, the control means 200 detects the position of the workpiece W to be cut based on an image captured by one of the imaging means 193 and 194 (for example, the imaging means 193), and the first cutting means 120 and the second cutting means cutting means 130, X-axis direction moving means 140, first Y-axis direction moving means 150, second Y-axis direction moving means 160, first Z-axis direction moving means 170 and second Z-axis direction moving means 180 etc. are drive-controlled, and the workpiece W is cut. Note that even when the position to be cut is detected only by the imaging means 193 , both the imaging means 193 and 194 are used to check the cut grooves formed by cutting by imaging (kerf check).

（２－２）切削方法
次に、切削装置１００を用いてステップカット加工で被加工物Ｗを個々のデバイスＤに分割する切削方法について説明する。 (2-2) Cutting Method Next, a cutting method for dividing the workpiece W into individual devices D by step cutting using the cutting device 100 will be described.

（ａ）切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップ
保持手段１１０により被加工物Ｗが保持された後、第１の切削手段１２０の撮像手段１９３によって被加工物Ｗの表面Ｗａが撮像されて切削すべき切削予定ラインＬが検出される。その後、第１の切削手段１２０が第１のＹ軸方向移動手段１５０によって駆動されてＹ軸方向に移動し、切削すべき切削予定ラインＬと第１の切削ブレード１２１とのＹ軸方向における位置合わせが行われるとともに、第１のＺ軸方向移動手段１７０が第１の切削手段１２０を下降させて第１の切削ブレード１２１の下端のＺ軸方向の位置を、第１の切削ブレード１２１が延性材Ｍに達する位置に合わせる。そして、保持手段１１０がＸ軸方向移動手段１４０によって駆動されて－Ｘ側に移動し、切削すべき切削予定ラインＬの－Ｘ側端部が第１の切削ブレード１２１の＋Ｘ側の位置に位置づけられる。 (a) Cutting groove forming step and burr removing step After the workpiece W is held by the holding means 110, the surface Wa of the workpiece W is imaged by the imaging means 193 of the first cutting means 120, and the surface Wa of the workpiece W is to be cut. A planned cutting line L is detected. After that, the first cutting means 120 is driven by the first Y-axis direction moving means 150 to move in the Y-axis direction, and the position of the planned cutting line L to be cut and the first cutting blade 121 in the Y-axis direction While the alignment is performed, the first Z-axis direction moving means 170 lowers the first cutting means 120 to position the lower end of the first cutting blade 121 in the Z-axis direction so that the first cutting blade 121 is ductile. Align with the position reaching the material M. Then, the holding means 110 is driven by the X-axis direction moving means 140 to move to the -X side, and the -X side end of the planned cutting line L to be cut is positioned at the +X side position of the first cutting blade 121. be done.

その後、第１の切削ブレード１２１を高速回転させながらＸ軸方向移動手段１４０が保持手段１１０を－Ｘ方向に送ることにより、図１２に示すように、被加工物Ｗを切削予定ラインＬに沿って切削していく。その間、切削水供給ノズル２５、２５０から第１の切削ブレード１２１に切削水８１ａが供給され、バリ取り流体ノズル２６から被加工物Ｗの切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａが噴射される。すなわち、この実施形態においても、切削溝形成ステップの実施中にバリ除去ステップが実施される。 Thereafter, while rotating the first cutting blade 121 at a high speed, the X-axis direction moving means 140 feeds the holding means 110 in the -X direction, thereby moving the workpiece W along the planned cutting line L as shown in FIG. cutting. During this time, the cutting water 81a is supplied from the cutting water supply nozzles 25 and 250 to the first cutting blade 121, and the deburring fluid 82a is jetted along the cutting groove U of the workpiece W from the deburring fluid nozzle . That is, also in this embodiment, the burr removing step is performed during the cutting groove forming step.

切削溝形成ステップにおける被加工物Ｗの切削は、第１の切削ブレード１２１の被加工物Ｗに対する相対移動方向（＋Ｘ方向）の前方において被加工物Ｗを下向きに削るように切削するいわゆるダウンカットにより実施される。この切削が実施されることにより、第１の実施形態と同様に、図５（ａ）に示したように被加工物Ｗに切削溝Ｕが形成されるとともに切削溝Ｕの下に切り残し部Ｅが形成される。また、切削溝Ｕの上端には延性材ＭによるバリＢが形成される。 The cutting of the workpiece W in the cutting groove forming step is a so-called down cut in which the workpiece W is cut downward in front of the relative movement direction (+X direction) of the first cutting blade 121 with respect to the workpiece W. carried out by By performing this cutting, as in the first embodiment, a cutting groove U is formed in the workpiece W as shown in FIG. E is formed. A burr B made of a ductile material M is formed at the upper end of the cutting groove U. As shown in FIG.

そして、切削溝形成ステップの実施中に実施されるバリ除去ステップにおいては、図１０に示したように、バリ取り流体ノズル２６を切削溝Ｕの幅方向（Ｙ軸方向）に移動させながら、被加工物Ｗの切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａが噴射されることにより、切削溝Ｕの上端のバリＢが除去される。 Then, in the burr removing step that is performed during the cutting groove forming step, as shown in FIG. By jetting the deburring fluid 82a along the cutting groove U of the workpiece W, the burr B on the upper end of the cutting groove U is removed.

第１の切削ブレード１２１の中心が切削予定ラインＬの＋Ｘ側端部まで相対移動し、さらに切削位置Ｐ１とバリ取り位置Ｐ２との間の距離分だけ被加工物Ｗが－Ｘ方向に加工送りされたら、Ｘ軸方向移動手段１４０による保持手段１１０の－Ｘ方向への送りを停止し、第１のＺ軸方向移動手段１７０により第１の切削手段１２０を＋Ｚ方向に上昇させて、第１の切削ブレード１２１を被加工物Ｗから離間させる。次いで、次に切削すべき切削予定ラインＬのＸ方向延長線上に第１の切削ブレード１２１が位置付けられ、切削ラインＬと第１の切削ブレード１２１とのＹ方向の位置が一致した状態となり、切削すべき切削予定ラインＬの－Ｘ側端部が第１の切削ブレード１２１の＋Ｘ側の位置に位置づけられるとともに第１の切削ブレード１２１が所定のＺ方向高さに位置付けられる。そして、その切削予定ラインＬに対して、上記と同様に、切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップが実施される。保持手段１１０が＋Ｘ方向に移動する間は、図３に示したバルブ８４を閉止することにより、バリ取り流体の噴出を停止する。 The center of the first cutting blade 121 relatively moves to the +X side end of the planned cutting line L, and the workpiece W is processed in the -X direction by the distance between the cutting position P1 and the deburring position P2. Then, the X-axis direction moving means 140 stops feeding the holding means 110 in the -X direction, and the first Z-axis direction moving means 170 moves the first cutting means 120 upward in the +Z direction. , the cutting blade 121 is separated from the workpiece W. Next, the first cutting blade 121 is positioned on the X-direction extension line of the planned cutting line L to be cut next, and the positions of the cutting line L and the first cutting blade 121 in the Y direction match, and cutting The -X side end of the planned cutting line L to be cut is positioned at the position on the +X side of the first cutting blade 121, and the first cutting blade 121 is positioned at a predetermined Z-direction height. Then, the cutting groove forming step and the burr removing step are performed on the planned cutting line L in the same manner as described above. By closing the valve 84 shown in FIG. 3 while the holding means 110 is moving in the +X direction, the jetting of the deburring fluid is stopped.

（ｂ）切り残し部切削ステップ
１ライン目の切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップが終了し、２ライン目の切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップに移行する際、切削溝形成ステップを実施する前に行われた撮像手段１９３による切削予定ラインの検出結果に基づいて第２の切削手段１３０が第２のＹ軸方向移動手段１６０によって駆動されてＹ軸方向に移動し、１ライン目の切削予定ラインＬに第２の切削ブレード１３１が位置付けられ、第２の切削ブレード１３１の下端が被加工物Ｗの裏面Ｗｂの若干下方に位置するように、第２の切削ブレード１３１のＺ軸方向の位置が調整される。 (b) Uncut portion cutting step When the cutting groove forming step and the burr removing step for the first planned cutting line L are completed, and the step for forming the cutting groove and the burr removing step for the second planned cutting line L is performed. , the second cutting means 130 is driven by the second Y-axis direction moving means 160 based on the detection result of the line to be cut by the imaging means 193 performed before performing the cutting groove forming step, and is moved in the Y-axis direction. The second cutting blade 131 is positioned on the planned cutting line L of the first line, and the second cutting blade 131 is moved so that the lower end of the second cutting blade 131 is positioned slightly below the back surface Wb of the workpiece W. The position of the cutting blade 131 in the Z-axis direction is adjusted.

その後、２ライン目の切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップが実施されるのと同時に、１ライン目の切削予定ラインＬに対する切り残し部切削ステップが実施される。すなわち、図１２に示すように、これから切削溝を形成しようとする切削予定ラインＬに第１の切削ブレード１２１が位置付けられるとともに切削溝Ｕが形成された分割予定ラインＬに第２の切削ブレード１３１が位置付けられ、保持手段１１０を－Ｘ方向に送る。これにより、第１の切削ブレード１２１による２ライン目の切削予定ラインＬの切削及びバリ取り流体８２ａによるバリＢの除去と同時に、第２の切削ブレード１３１による１ライン目の切削予定ラインＬの切り残し部の切削が行われる。その間、切削水供給ノズル２５、２５０から第１の切削ブレード１２１及び第２の切削ブレード１３１にそれぞれ切削水８１ａが供給される。また、バリ取り流体ノズルからは第１の切削ブレード１２１によって切削されて形成されたバリに対してバリ取り流体が供給される。 After that, the cutting groove forming step and the burr removing step for the second scheduled cutting line L are performed, and at the same time, the uncut portion cutting step for the first scheduled cutting line L is performed. That is, as shown in FIG. 12, the first cutting blade 121 is positioned on the planned cutting line L where the cutting grooves are to be formed, and the second cutting blade 131 is positioned on the planned dividing line L on which the cutting grooves U are formed. is positioned to send the holding means 110 in the -X direction. As a result, the second cutting line L is cut by the first cutting blade 121 and the burr B is removed by the deburring fluid 82a, and at the same time, the first cutting line L is cut by the second cutting blade 131. Cutting of the remaining portion is performed. During this time, cutting water 81a is supplied from the cutting water supply nozzles 25 and 250 to the first cutting blade 121 and the second cutting blade 131, respectively. Moreover, the deburring fluid is supplied from the deburring fluid nozzle to the burrs formed by cutting with the first cutting blade 121 .

切り残し部切削ステップにおける被加工物Ｗの切削も、第２の切削ブレード１３１の被加工物Ｗに対する移動方向（＋Ｘ方向）の前方において被加工物Ｗを下向きに削るように切削するいわゆるダウンカットにより実施される。この切削が実施されることにより切り残し部Ｅが除去される。 The cutting of the workpiece W in the uncut portion cutting step is also a so-called down cut in which the workpiece W is cut downward in front of the movement direction (+X direction) of the second cutting blade 131 relative to the workpiece W. carried out by The uncut portion E is removed by performing this cutting.

その後、３ライン目以降の切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップが実施されるのと同時に、２ライン目以降の切削予定ラインＬに対する切り残し部切削ステップが実施される。これらの一連のステップが被加工物Ｗの全ての切削予定ラインＬに対して実施され、最後の切削予定ラインＬに対する切り残し部切削ステップの実施が完了した時点で、被加工物Ｗの個々のデバイスＤへの分割が完了する。 Thereafter, the cut groove forming step and the burr removing step are performed for the scheduled cutting lines L from the third line onward, and at the same time, the uncut portion cutting step for the scheduled cutting lines L from the second line onward are performed. These series of steps are performed for all the scheduled cutting lines L of the workpiece W, and when the uncut portion cutting step for the last scheduled cutting line L is completed, each individual workpiece W is The division to device D is completed.

なお、隣り合う切削予定ライン間の間隔が短く、第１の切削手段１２０及び第２の切削手段１３０の構造上、第１の切削ブレード１２１と第２の切削ブレード１３１とを隣り合う切削予定ライン上に位置させようとすると、第１の切削手段１２０と第２の切削手段１３０とが衝突する可能性がある場合は、第２の切削ブレード１３１により切り残し部が切削される切削予定ラインが、第１の切削ブレード１２１により切削溝が形成される切削予定ラインから何本か離れたものになることもある。 It should be noted that the interval between the adjacent planned cutting lines is short, and due to the structure of the first cutting means 120 and the second cutting means 130, the first cutting blade 121 and the second cutting blade 131 are separated from the neighboring planned cutting lines. If there is a possibility that the first cutting means 120 and the second cutting means 130 will collide when trying to position them above, the scheduled cutting line where the uncut portion is cut by the second cutting blade 131 is , may be several lines away from the planned cutting line on which the cutting groove is formed by the first cutting blade 121 .

以上説明したように、第２の実施形態の切削方法においても、回転する第１の切削ブレード１２１を、延性材Ｍに達する深さに切り込ませて切削予定ラインＬに沿って切削することにより、被加工物Ｗに切削溝Ｕを形成するとともに切削溝Ｕの下に切り残し部Ｅを形成する切削溝形成ステップと、切削溝形成ステップの実施中に切削溝Ｕに沿ってバリ取り流体８２ａを噴射して切削溝形成ステップで生成された延性材ＭのバリＢを除去するバリ除去ステップと、を備えることで、被加工物Ｗを切削することにより発生した延性材ＭのバリＢを従来よりも容易にかつより確実に除去することができる。
特に、切削予定ラインＬ上にキャビティ（凹部）が形成されたパッケージ基板は、切削時にバリが生じやすいため、本発明を適用することが有効である。 As described above, also in the cutting method of the second embodiment, the rotating first cutting blade 121 is caused to cut to a depth reaching the ductile material M to cut along the scheduled cutting line L. , a cutting groove forming step of forming a cutting groove U in the workpiece W and forming an uncut portion E under the cutting groove U; and a burr removing step of removing the burrs B of the ductile material M generated in the cutting groove forming step by spraying the burrs B of the ductile material M generated by cutting the workpiece W into the conventional easier and more reliable to remove.
In particular, a package substrate having a cavity (concave portion) formed on the planned cutting line L is likely to have burrs during cutting, so the application of the present invention is effective.

また、第２の実施形態においても、切削溝形成ステップを実施中の切削予定ラインＬと同一の切削予定ラインＬにおいてバリ除去ステップを実施するため、切削溝形成ステップ及びバリ除去ステップを効率良く実施可能である。 Also in the second embodiment, since the burr removing step is performed on the same scheduled cutting line L as the scheduled cutting line L on which the cutting groove forming step is being performed, the cutting groove forming step and the burr removing step are efficiently performed. It is possible.

さらに、第２の実施形態では、切削溝形成ステップは、第１のスピンドル１２２に装着された第１の切削ブレード１２１で実施され、切り残し部切削ステップは、第２のスピンドル１３２に装着された第２の切削ブレード１３１で実施されるので、切削溝形成ステップとバリ除去ステップと切削溝形成ステップとを並行して実施できるため、さらに効率的である。 Further, in the second embodiment, the grooving step is performed with a first cutting blade 121 mounted on a first spindle 122 and the rest cutting step is mounted on a second spindle 132. Since it is performed by the second cutting blade 131, the cutting groove forming step, the burr removing step, and the cutting groove forming step can be performed in parallel, which is more efficient.

また、第２の実施形態では、図１０及び図１１に示すように、バリ取り流体ノズル２６を切削溝Ｕの幅方向（Ｙ軸方向）に移動させて、バリ取り流体８２ａの噴射スポットＳＰが切削溝Ｕを横断するようにしたことにより、バリ取り流体８２ａの最も流速の早い噴射スポットＳＰの中心部分を、バリＢが形成されている切削溝Ｕの上端の幅方向両側部に当てて、バリＢを効率良く除去することができる。 In the second embodiment, as shown in FIGS. 10 and 11, the deburring fluid nozzle 26 is moved in the width direction (Y-axis direction) of the cutting groove U so that the injection spot SP of the deburring fluid 82a is By traversing the cutting groove U, the central portion of the injection spot SP where the flow velocity of the deburring fluid 82a is the fastest is applied to both sides in the width direction of the upper end of the cutting groove U where the burr B is formed, The burrs B can be removed efficiently.

なお、本発明の実施形態は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。 It should be noted that the embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and may be variously changed, replaced, and modified without departing from the spirit of the technical idea of the present invention.

例えば、上記実施形態では、切削溝形成ステップの実施中にバリ除去ステップを実施しているが、切削溝形成ステップに次いでバリ除去ステップを実施してもよい。例えば、１つの切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップが終了する毎にその切削予定ラインＬに対してバリ除去ステップを実施してもよいし、被加工物Ｗの同方向の全ての切削予定ラインＬに対する切削溝形成ステップが終了した後にバリ除去ステップを実施してもよい。 For example, in the above embodiment, the burr removing step is performed during the cutting groove forming step, but the burr removing step may be performed after the cutting groove forming step. For example, the burr removal step may be performed for each scheduled cutting line L each time the cutting groove forming step for one scheduled cutting line L is completed, or all scheduled cutting lines in the same direction of the workpiece W may be removed. The burr removing step may be performed after the cutting groove forming step for L is completed.

また、上記実施形態では、バリ取り流体８２ａとして高圧純水を用いることとしたが、砥粒が混入された高圧の液体や気体、ドライアイスエアー等を用いてもよい。 In the above embodiment, high-pressure pure water is used as the deburring fluid 82a, but high-pressure liquid or gas mixed with abrasive grains, dry ice air, or the like may be used.

さらに、第１の実施形態では、切削溝形成ステップを、切削ブレード２２が被加工物Ｗの一端側から他端側に向かう往路においてダウンカットで実施し、切り残し部切削ステップを、切削ブレード２２が被加工物Ｗの他端側から一端側へ向かう復路においてアップカットで実施することとしたが、切り残し部切削ステップを復路で実施せず、切削溝形成ステップを実施した後に切削ブレード２２を被加工物Ｗの一端側に戻し、切り残し部切削ステップを往路においてダウンカットで実施するようにしてもよい。 Furthermore, in the first embodiment, the cutting groove forming step is performed by the cutting blade 22 by down-cutting in the outward path from one end side to the other end side of the workpiece W, and the uncut portion cutting step is performed by the cutting blade 22 is performed by up-cutting in the return path from the other end side to the one end side of the workpiece W, but the step of cutting the uncut portion is not performed in the return path, and the cutting blade 22 is removed after the step of forming the cutting groove is performed. It is also possible to return to the one end side of the workpiece W and carry out the uncut portion cutting step by down-cutting in the forward pass.

また、図１０及び図１１のようにバリ取り流体ノズル２６を切削溝Ｕの幅方向に直線的に往復移動させる代わりに、図１３に示すバリ取り流体ノズル２６ａのように、Ｘ軸方向の軸２６０を中心に切削溝Ｕの幅方向に揺動させることにより、バリ取り流体８２ａの噴射スポットＳＰ（図１１）が切削溝Ｕを横断するようにしてもよい。また、図１４に示すように、バリ取り流体８２ａの噴射スポットＳＰが切削溝Ｕを横断しつつ円軌道を描くように、バリ取り流体ノズル２６を回転移動させてもよい。 10 and 11, instead of linearly reciprocating the deburring fluid nozzle 26 in the width direction of the cutting groove U, like the deburring fluid nozzle 26a shown in FIG. The jet spot SP (FIG. 11) of the deburring fluid 82a may traverse the cutting groove U by swinging it in the width direction of the cutting groove U about 260. FIG. Further, as shown in FIG. 14, the deburring fluid nozzle 26 may be rotationally moved so that the injection spot SP of the deburring fluid 82a draws a circular trajectory while crossing the cutting groove U. As shown in FIG.

また、第２の実施形態では、切削溝形成ステップ及び切り残し部切削ステップにおける切削を、いずれもダウンカットにより実施しているが、パッケージ基板はシリコン製のウェーハのようにもろくないので、切り残し部切削ステップをアップカットにより実施してもよい。 Further, in the second embodiment, cutting in both the cutting groove forming step and the uncut portion cutting step is performed by down-cutting. The partial cutting step may be performed by up-cutting.

なお、バリ取り流体ノズル２６を、切削溝Ｕの幅方向に直線的に往復移動させたり、切削溝Ｕの幅方向に揺動させたり、噴射スポットＳＰが円軌道を描くように回転させたりする構成は、第１の実施形態において採用してもよい。 The deburring fluid nozzle 26 may be linearly reciprocated in the width direction of the cutting groove U, oscillated in the width direction of the cutting groove U, or rotated so that the injection spot SP draws a circular orbit. The configuration may be employed in the first embodiment.

１：切削装置２：静止基台１０：保持手段１１：保持テーブル１２：吸引部
１３：クランプ部１４：回転駆動部
２０：切削手段
２１：スピンドル２２：切削ブレード２３：スピンドルハウジング
２４：ブレードカバー２５、２５０：切削水供給ノズル
２５ａ：下垂部２５ｂ：水平部
２６：バリ取り流体ノズル２６ａ：軸２７：切削水供給管
２８：バリ取り流体供給管２９：バリ取り流体ノズル
３０Ｘ軸方向移動手段
３１：ボールネジ３２：ガイドレール３３：モータ３４：軸受部３５：移動基台
４０：Ｙ軸方向移動手段
４１：ボールネジ４２：ガイドレール４３：モータ４４：移動基台
５０：Ｚ軸方向移動手段
５１：ボールネジ５２：ガイドレール５３：モータ５４：昇降ブロック
６０：制御手段
７０：アライメント手段７１：撮像手段
８１：切削水供給源８２：バリ取り流体供給源
８１ａ：切削水８２ａ：バリ取り流体
８３、８４：バルブ
１００：切削装置１０１：静止基台１０２：門型コラム１１０：保持手段
１１１：治具１１２：吸引保持部１１３：回転テーブル
１２０：第１の切削手段１２１：第１の切削ブレード１２２：スピンドル
１２３：ハウジング１２４：ブレードカバー
１３０：第２の切削手段１３１：第２の切削ブレード
１３２：スピンドル１３３：ハウジング１３４：ブレードカバー
１４０：Ｘ軸方向移動手段１４１：ボールネジ１４２：ガイドレール
１４３：モータ１４５：可動板
１５０：第１のＹ軸方向移動手段１５１：ボールネジ１５２：ガイドレール
１５３：モータ１５４：可動板
１６０：第２のＹ軸方向移動手段１６１：ボールネジ１６２：ガイドレール
１６３：モータ１６４：可動板
１７０：第１のＺ軸方向移動手段１７１：ボールネジ１７２：ガイドレール
１７３：モータ１７４：支持部材
１８０：第２のＺ軸方向移動手段１８１：ボールネジ１８２：ガイドレール
１８３：モータ１８４：支持部材
１９１：アライメント手段１９２：アライメント手段
１９３：撮像手段１９４：撮像手段２００：制御手段
Ｂ：バリＤ：デバイスＥ：切り残し部
Ｆ：環状フレームＬ：切削予定ライン（切削予定ライン）
Ｍ：延性材Ｐ１：切削位置Ｐ２：バリ取り位置Ｒ：樹脂封止部
ＳＰ：噴射スポットＴ：粘着テープＵ：切削溝
Ｗ：被加工物Ｗａ：表面Ｗｂ：裏面 1: Cutting Device 2: Stationary Base 10: Holding Means 11: Holding Table 12: Suction Part 13: Clamp Part 14: Rotary Drive Part 20: Cutting Means 21: Spindle 22: Cutting Blade 23: Spindle Housing 24: Blade Cover 25 , 250: Cutting water supply nozzle 25a: Hanging portion 25b: Horizontal portion 26: Deburring fluid nozzle 26a: Shaft 27: Cutting water supply pipe 28: Deburring fluid supply pipe 29: Deburring fluid nozzle 30 X-axis direction moving means 31: Ball screw 32: Guide rail 33: Motor 34: Bearing 35: Moving base 40: Y-axis direction moving means 41: Ball screw 42: Guide rail 43: Motor 44: Moving base 50: Z-axis direction moving means 51: Ball screw 52 : guide rail 53: motor 54: elevating block 60: control means 70: alignment means 71: imaging means
81: Cutting water supply source 82: Deburring fluid supply source 81a: Cutting water 82a: Deburring fluid 83, 84: Valve 100: Cutting device 101: Stationary base 102: Portal column 110: Holding means 111: Jig 112 : Suction holding part 113: rotary table 120: first cutting means 121: first cutting blade 122: spindle 123: housing 124: blade cover 130: second cutting means 131: second cutting blade 132: spindle 133 : Housing 134: Blade cover 140: X-axis direction moving means 141: Ball screw 142: Guide rail 143: Motor 145: Movable plate 150: First Y-axis direction moving means 151: Ball screw 152: Guide rail 153: Motor 154: Movable Plate 160: Second Y-axis moving means 161: Ball screw 162: Guide rail 163: Motor 164: Movable plate 170: First Z-axis moving means 171: Ball screw 172: Guide rail 173: Motor 174: Support member 180 : second Z-axis direction moving means 181: ball screw 182: guide rail 183: motor 184: support member 191: alignment means 192: alignment means 193: imaging means 194: imaging means 200: control means B: burr D: device E : Uncut portion F: Annular frame L: Planned cutting line (planned cutting line)
M: Ductile material P1: Cutting position P2: Deburring position R: Resin sealing part SP: Injection spot T: Adhesive tape U: Cutting groove W: Workpiece Wa: Front surface Wb: Back surface

Claims

A cutting method for cutting a workpiece having a ductile material in which a scheduled cutting line is set and which overlaps the scheduled cutting line,
A cutting groove is formed in the workpiece by cutting along the planned cutting line by cutting the rotating cutting blade to a depth reaching at least the ductile material, and an uncut portion is left under the cutting groove. a cutting groove forming step to form;
During the cutting groove forming step or subsequent to the cutting groove forming step, a fluid is ejected from a deburring fluid nozzle along the cutting groove to remove burrs of the ductile material generated in the cutting groove forming step. a deburring step for
After performing the burr removing step, the uncut portion cutting step of cutting the uncut portion along the planned cutting line using the cutting blade;
with
The deburring fluid nozzle is arranged behind the cutting position in the direction of progress of processing, and the deburring step is performed on the same scheduled cutting line as the cutting scheduled line on which the cutting groove forming step is being performed. Fluid is jetted obliquely from the deburring fluid nozzle toward the rear side of the cutting position in the direction of progress of processing.
cutting method.

The cutting groove forming step is performed in a forward path in which the cutting blade cuts from one end side of the workpiece toward the other end side,
The uncut portion cutting step is performed on a return trip in which the cutting blade cuts from the other end side of the workpiece toward the one end side.
The cutting method according to claim 1.

the cutting groove forming step is performed with a first cutting blade mounted on a first spindle;
the step of cutting rest is performed with a second cutting blade mounted on a second spindle;
The cutting method according to claim 1.

2. The cutting method according to claim 1, wherein in said cutting groove forming step, the thickness of said uncut portion is set to 10% of the thickness of said workpiece.