JP7147898B2 - Method and apparatus for producing water-conditioned water - Google Patents

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Description

本発明はｐＨ及び酸化還元電位の少なくとも一方が特定範囲となるように調整された水質調整水（以下、ｐＨ／酸化還元電位調整水ということがある。）を製造する方法及び装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and apparatus for producing water-conditioned water adjusted to have at least one of pH and oxidation-reduction potential within a specific range (hereinafter sometimes referred to as pH/oxidation-reduction potential-adjusted water).

電子産業分野のウエハ処理に使用される水溶液（例えば特許文献１）には、低微粒子であることが求められている。そこで、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液中の微粒子を除去する方法として、ユースポイント直近にＭＦ膜モジュールを設置する方法が一般的となっている。 Aqueous solutions used for wafer processing in the electronics industry (for example, Patent Document 1) are required to have low particulate content. Therefore, as a method for removing fine particles in a pH/oxidation-reduction potential adjusting aqueous solution, a method of installing an MF membrane module in the immediate vicinity of the point of use is generally used.

ＭＦ膜モジュールを長く使用すると、ＭＦ膜に微粒子が積層し圧力損失が上昇するので、ＭＦ膜モジュールを交換する必要がある。ＭＦ膜モジュールを交換するためには、一度装置を停止しなければならないこと、また交換直後のＭＦ膜モジュールからは膜自体からの微粒子吐き出しがあるため、交換後に所定量通水してから使用開始する必要があり、ウエハの生産性に影響を与える。 If the MF membrane module is used for a long time, fine particles will accumulate on the MF membrane and the pressure loss will increase, so the MF membrane module needs to be replaced. In order to replace the MF membrane module, the device must be stopped once, and fine particles are discharged from the membrane itself immediately after replacement, so after replacement, a predetermined amount of water is passed before starting to use. and impacts wafer productivity.

特開２０１６－１３９７６６号公報JP 2016-139766 A

本発明は、洗浄機などの下流側の機器の稼動を停止することなく膜モジュールを交換できると共に、膜モジュールの交換直後から良好な水質の水質調整水が供給され、ウエハ洗浄等を実施できる水質調整水の製造方法及び装置を提供することを目的とする。 According to the present invention, the membrane module can be replaced without stopping the operation of downstream equipment such as a washing machine, and conditioned water of good quality is supplied immediately after the replacement of the membrane module, so that wafer cleaning can be performed. An object of the present invention is to provide a method and apparatus for producing conditioned water.

本発明の水質調整水の製造方法は、ｐＨ及び酸化還元電位の少なくとも一方が所定値に調整された水質調整水を膜モジュールに通水する工程を有する水質調整水の製造方法において、複数の膜モジュールを並列又は直列に配置し、一部の膜モジュールに水質調整水を通水している間に、他の膜モジュールの交換を行うことを特徴とする。 A method for producing conditioned water of the present invention is a method for producing conditioned water, which has a step of passing conditioned water adjusted to a predetermined value for at least one of pH and oxidation-reduction potential through a membrane module, wherein a plurality of membranes The modules are arranged in parallel or in series, and while conditioned water is being passed through some of the membrane modules, other membrane modules are replaced.

本発明の水質調整水の製造装置は、並列又は直列に設置された複数の膜モジュールと、各膜モジュールに水質調整水を個別に通水しうるように設けられた水質調整水の通水ラインとを有する。 The apparatus for producing conditioned water of the present invention comprises a plurality of membrane modules installed in parallel or in series, and a flow line for the conditioned water provided so as to individually pass the conditioned water to each membrane module. and

本発明によると、膜モジュールを有した通水系列を複数系列設け、１つの系列を使用して膜透過水をユースポイント等に供給している間に、その他の系列で膜モジュールを新しいものに交換して当該膜モジュールのコンディショニング等を行うので、洗浄機などの下流側機器の稼働を停止せずに膜モジュールを交換できると共に、交換直後からウエハ洗浄等を実施できる。本発明によると、ユースポイント等へｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給する膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができる。 According to the present invention, a plurality of water flow lines having membrane modules are provided, and while one line is used to supply membrane permeated water to a point of use or the like, the other lines are replaced with new membrane modules. Since the membrane module is subjected to conditioning and the like after replacement, the membrane module can be replaced without stopping the operation of downstream equipment such as a washing machine, and wafer cleaning and the like can be performed immediately after the replacement. According to the present invention, the pH/redox potential adjusted aqueous solution can be supplied without loss time when replacing the membrane module that supplies the pH/redox potential adjusted aqueous solution to a point of use or the like.

本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 比較例の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality conditioned water of a comparative example. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention. 本発明の水質調整水の製造方法及び装置の説明図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing of the manufacturing method and apparatus of the water quality adjustment water of this invention.

以下、図１，２を参照して実施の形態について説明する。なお、本発明を特に限定するものではないが、本発明のｐＨ／酸化還元電位調整水のｐＨ調整水としては、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、アミンなどのアルカリ水溶液、ＨＣｌ，Ｈ２ＳＯ４，ＨＦ，ＣＯ２などの酸水溶液が例示される。酸化還元電位調整水としては、過酸化水素、オゾン、水素などの酸化性又は還元性物質の溶解水が例示される。 An embodiment will be described below with reference to FIGS. Although the present invention is not particularly limited, examples of the pH-adjusted water of the pH/oxidation-reduction potential-adjusted water of the present invention include alkaline aqueous solutions such as ammonia, tetraalkylammonium hydroxide, and amines, HCl, and H 2 SO 4 . , HF, CO 2 and other aqueous acid solutions are exemplified. Examples of the oxidation-reduction potential-adjusted water include water in which oxidizing or reducing substances such as hydrogen peroxide, ozone, and hydrogen are dissolved.

以下の実施の形態では、膜モジュールとして２個のＭＦ膜モジュールＩ，IIが並列設置されており、ｐＨ／酸化還元電位調整水がいずれにも通水可能とされている。また、各ＭＦ膜モジュールＩ，IIの透過水がユースポイントへの送水及びドレイン排出のいずれも可能とされている。 In the following embodiments, two MF membrane modules I and II are installed in parallel as membrane modules, and pH/oxidation-reduction potential adjusted water can pass through both of them. In addition, the permeated water of each MF membrane module I, II can be sent to the point of use or discharged through the drain.

図１は第１の実施の形態を示すフロー図である。図１（１）では、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管１、２、バルブ３を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管４、バルブ５、配管６、バルブ７、配管８を介してユースポイントに送水されている。第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管１、１０、バルブ１１を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水は、配管１２、バルブ１３、配管１４、バルブ１５、配管１６を介してドレインとして排出される。 FIG. 1 is a flowchart showing the first embodiment. In FIG. 1(1), pH/oxidation-reduction potential adjusted water is supplied to the first MF membrane module I via pipes 1 and 2 and valve 3, and permeated water is pipe 4, valve 5, pipe 6, valve 7, and pipe. 8 to the point of use. When the time for replacement of the first MF membrane module I approaches, pH/oxidation-reduction potential adjusted water is supplied to the second MF membrane module II through pipes 1 and 10 and valve 11, and the permeated water is supplied to pipe 12, Via valve 13, pipe 14, valve 15 and pipe 16, it is discharged as a drain.

配管４は、配管２０及びバルブ２１を介して配管１４に連通可能とされている。また、配管１２は、配管２２及びバルブ２３を介して配管６に連通可能とされている。図１（１）では、バルブ２１、２３は閉とされ、その他のバルブは開とされている。 The pipe 4 can communicate with the pipe 14 via the pipe 20 and the valve 21 . Also, the pipe 12 can communicate with the pipe 6 via the pipe 22 and the valve 23 . In FIG. 1(1), the valves 21 and 23 are closed and the other valves are open.

図１（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給する。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際には、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインし、ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでドレインする（コンディショニング工程）。 As shown in FIG. 1(1), the MF membrane module I treats the pH/oxidation-reduction potential adjusted water and supplies the treated water to the point of use. When the time to replace the MF membrane module I approaches, the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is passed through the MF membrane module II and drained until the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module I is discharged. (conditioning process).

ＭＦ膜モジュールIIを交換する際には、図１（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そしてＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 When replacing the MF membrane module II, as shown in FIG. 1(2), the line of the MF membrane module I is stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module II is switched to be supplied to the point of use. Then, the MF membrane module I and the MF membrane module III are exchanged.

その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図１（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでドレインする。 After that, when the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIG. Drain until the treated water equivalent to that of the

その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、図１（４）の通り、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そして、ＭＦ膜モジュールIIとＭＦ膜モジュールIＶを交換する。 After that, when replacing the MF membrane module II, as shown in FIG. 1(4), the water flow to the MF membrane module II is stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module III is switched to be supplied to the point of use. Then, the MF membrane module II and the MF membrane module IV are exchanged.

図２は、図１において、さらにＭＦ膜モジュールを超純水（ＵＰＷ）でも洗浄できるように構成した実施の形態を示している。 FIG. 2 shows an embodiment in which the MF membrane module in FIG. 1 is further configured so that it can be washed with ultrapure water (UPW).

図２（１）では、バルブ５０，５２は閉、バルブ３１，３３，３６，３８は開とされ、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管３０、バルブ３１、配管３２、バルブ３３、配管３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管３５、バルブ３６、配管３７、バルブ３８、配管３９を介してユースポイントに送水される。 In FIG. 2(1), the valves 50 and 52 are closed, the valves 31, 33, 36 and 38 are open, and the pH/oxidation-reduction potential adjusted water flows through the pipe 30, the valve 31, the pipe 32, the valve 33 and the pipe 34. The permeated water is supplied to the first MF membrane module I through a pipe 35, a valve 36, a pipe 37, a valve 38, and a pipe 39 to a point of use.

第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、バルブ４１，４５，４７が開とされ、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管３０、３２、４０、バルブ４１、配管４２を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水は配管４４、バルブ４５、配管４６、バルブ４７、配管４８を介してドレインとして排出される。 When the time for replacement of the first MF membrane module I approaches, the valves 41, 45 and 47 are opened, and the pH/oxidation gas is supplied to the second MF membrane module II via the pipes 30, 32 and 40, the valve 41 and the pipe 42. Reduction potential-adjusted water is supplied, and the permeated water is discharged through pipe 44, valve 45, pipe 46, valve 47, and pipe 48 as drain.

配管３５は、配管４９及びバルブ５０を介して配管４６に連通可能とされている。また、配管４４は、配管５１及びバルブ５２を介して配管３７に連通可能とされている。 The pipe 35 can communicate with the pipe 46 via the pipe 49 and the valve 50 . Also, the pipe 44 can communicate with the pipe 37 via the pipe 51 and the valve 52 .

また、図２では、図２（１）の通り、超純水が配管６０、バルブ６１、配管６２、バルブ６３、配管６４、３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給可能とされていると共に、配管６２から分岐した配管６５、バルブ６６及び配管４２を介して第２ＭＦ膜モジュールIIに供給可能とされている。 2, ultrapure water can be supplied to the first MF membrane module I through a pipe 60, a valve 61, a pipe 62, a valve 63, and pipes 64 and 34, as shown in FIG. 2(1). , a pipe 65 branched from the pipe 62, a valve 66, and a pipe 42, to the second MF membrane module II.

図２（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給する。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際には、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインする。ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。 As shown in FIG. 2(1), the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is treated in the MF membrane module I, and the treated water is supplied to the point of use. When the time for replacement of the MF membrane module I approaches, the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is passed through the MF membrane module II and drained. This draining is continued until the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module I comes out.

次にＭＦ膜モジュールＩを交換する際には、図２（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そしてＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 Next, when replacing the MF membrane module I, as shown in FIG. 2(2), the line of the MF membrane module I is stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module II is switched to be supplied to the point of use. Then, the MF membrane module I and the MF membrane module III are exchanged.

その後、図２（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄する。ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図２（４）の通り、ｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。ＭＦ膜モジュールIIとIＶとを交換する際は、図２（５）の通りＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替える。 Thereafter, as shown in FIG. 2(3), ultrapure water is passed through the MF membrane module III to wash the MF membrane. When the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIG. 2(4), the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is passed through and drained through the MF membrane module III for conditioning and treatment of the MF membrane module II. This draining is carried out until treated water equivalent to water comes out. When the MF membrane modules II and IV are exchanged, as shown in FIG. 2(5), the flow of water to the MF membrane module II is stopped and at the same time the MF membrane module III treated water is switched to be supplied to the point of use.

図４～１２は、図２において、ＭＦ膜モジュールＩ，IIを直列に設置した実施の形態を示している。この実施の形態では、ｐＨ／酸化還元電位調整水がＭＦ膜モジュールＩ，IIの順又はII，Ｉの順に直列に通水可能とされていると共に、ｐＨ／酸化還元電位調整水がＭＦ膜モジュールＩのみ又はＭＦ膜モジュールIIのみに通水可能とされている。また、超純水がＭＦ膜モジュールＩのみ又はＭＦ膜モジュールIIのみに通水可能とされている。 4 to 12 show embodiments in which the MF membrane modules I and II in FIG. 2 are installed in series. In this embodiment, the pH/oxidation-reduction potential-adjusted water can be passed through the MF membrane modules I and II in this order or in series between II and I, and the pH/oxidation-reduction potential-adjusted water can flow through the MF membrane modules. Only MF membrane module I or only MF membrane module II is allowed to pass water. Further, ultrapure water can be passed only through the MF membrane module I or only through the MF membrane module II.

図４では、バルブ１０１，１０３，１０５，１０７，１０９，１１３は閉、バルブ３１，３３，３６，３８，９１，９３，９５は開とされ、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管３０、バルブ３１、配管３２、バルブ３３、配管３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管３５、バルブ３６、配管３７、バルブ３８、配管３９、バルブ９１を介して第２ＭＦ膜モジュールIIに供給され、透過水が配管９２、バルブ９３、配管９４、バルブ９５、配管９６を介してユースポイントに送水される。また、図５の通り、バルブ１０１，９１，９３，１０７を開、バルブ３１，３８，９５を閉とすることにより、ｐＨ／酸化還元電位調整水を配管１００を介して、ＭＦ膜モジュールIIに通水し、その透過水を配管１０６を介してＭＦ膜モジュールＩに通水するというＭＦ膜モジュールII→ＭＦ膜モジュールＩの順の通水も可能となっている。 In FIG. 4, valves 101, 103, 105, 107, 109, and 113 are closed, valves 31, 33, 36, 38, 91, 93, and 95 are open, and pH/oxidation-reduction potential-adjusted water is supplied to pipe 30, valve 31, pipe 32, valve 33, and pipe 34 are supplied to the first MF membrane module I. , and the permeated water is sent to the point of use via a pipe 92 , a valve 93 , a pipe 94 , a valve 95 and a pipe 96 . 5, by opening valves 101, 91, 93, and 107 and closing valves 31, 38, and 95, pH/oxidation-reduction potential adjusting water is supplied to MF membrane module II via pipe 100. It is also possible to pass water in the order of MF membrane module II→MF membrane module I, in which water is passed through and the permeated water is passed through the MF membrane module I through the pipe 106 .

第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、図６の通り、バルブ３１，３３，３６，３８が閉、バルブ１０１，９１，９３，９５が開とされ、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管３０，１００，３９、バルブ９１を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水がユースポイントに供給される。この間にＭＦ膜モジュールＩとIIIとが交換される。 When the time for replacement of the first MF membrane module I approaches, as shown in FIG. pH/oxidation-reduction potential adjusted water is supplied via pipes 30, 100, 39 and valve 91, and the permeated water is supplied to the point of use. During this time, MF membrane modules I and III are exchanged.

このように、ＭＦ膜モジュールＩとIIIとを交換する際には、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIのみを透過した処理水をユースポイントに供給するように切り替え、ＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 In this way, when replacing the MF membrane modules I and III, the line of the MF membrane module I is stopped and at the same time the treated water that has passed through the MF membrane module II is switched to the point of use, and the MF membrane Replace module I with MF membrane module III.

その後、図７の通り、バルブ１０５，３３，１０９を開とし、配管１０４，３２，３４，３５，１０８を介してＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜モジュールＩを洗浄する。 Thereafter, as shown in FIG. 7, valves 105, 33, and 109 are opened, and ultrapure water is passed through MF membrane module III through pipes 104, 32, 34, 35, and 108 to wash MF membrane module I. .

ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図８の通り、バルブ１０５，１０７，３６，３８を閉とし、バルブ３１，３３，１０９を開とし、配管３０，３２，３４，３５，１０８を介してｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。
ＭＦ膜モジュールIIとIＶとを交換する際は、図９の通り、バルブ３８，９１，９３，９５，１１３を閉として、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、バルブ１１１を開とし、ＭＦ膜モジュールIII処理水を配管１１０，９６を介してユースポイントに供給するように切り替える。そして、図１０の通り、ＭＦ膜モジュールIIとIVとを交換する。 When the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIG. The pH/oxidation-reduction potential adjusted water is passed through and drained through the MF membrane module III for conditioning, and this draining is continued until the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module II comes out.
When replacing MF membrane modules II and IV, as shown in FIG. , MF membrane module III to supply the treated water to the point of use via pipes 110 and 96 . Then, as shown in FIG. 10, the MF membrane modules II and IV are exchanged.

このように、ＭＦ膜モジュールIIとIVとを交換する際には、ＭＦ膜モジュールIIのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIIのみを透過した処理水をユースポイントに供給するように切り替え、ＭＦ膜モジュールIIとＭＦ膜モジュールIVとを交換する。 In this way, when the MF membrane modules II and IV are exchanged, the line of the MF membrane module II is stopped, and at the same time, the treated water that has passed through the MF membrane module III is switched to the point of use, and the MF membrane is Replace module II with MF membrane module IV.

その後、図１１の通り、バルブ１０３，９１，１１３を開とし、配管１０２，１００，３９，９２，１１２を介してＭＦ膜モジュールIVに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄する。ＭＦ膜モジュールIVの交換時期が近くなったときには、図１２の通り、バルブ１０１，９１，１１３を開とし、配管３０，１００，３９，９２，１１２を介してｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIVに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。 Thereafter, as shown in FIG. 11, valves 103, 91 and 113 are opened, and ultrapure water is passed through the MF membrane module IV through pipes 102, 100, 39, 92 and 112 to wash the MF membranes. When the time to replace the MF membrane module IV approaches, valves 101, 91 and 113 are opened as shown in FIG. Water is passed through and drained through the membrane module IV for conditioning, and this draining is continued until treated water equivalent to the treated water from the MF membrane module III is discharged.

このように、図１，２、図４～１２のいずれにおいても、ＭＦ膜モジュールを有した通水系列を並列又は直列に複数系列設け、１つの系列を使用してＭＦ膜透過水をユースポイントに供給している間に、その他の系列でＭＦ膜モジュールを新しいものに交換して当該ＭＦ膜モジュールの通水洗浄を行うので、洗浄機を停止せずにＭＦ膜モジュールを交換できると共に、交換直後からウエハ洗浄を実施できる。また、ユースポイントへｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給するＭＦ膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができる。 In this way, in any of FIGS. 1, 2, and 4 to 12, a plurality of water flow lines having MF membrane modules are provided in parallel or in series, and one line is used to collect the MF membrane permeate water. , the MF membrane module is replaced with a new one in another line and the MF membrane module is washed with water, so that the MF membrane module can be replaced without stopping the washing machine, and the replacement Immediately thereafter, wafer cleaning can be performed. Further, when replacing the MF membrane module that supplies the pH/oxidation-reduction potential adjusting aqueous solution to the point of use, the pH/oxidation-reduction potential adjusting aqueous solution can be supplied without loss time.

なお、本発明では、ＭＦ膜モジュールの代わりにＵＦ膜モジュール等を用いてもよい。 Incidentally, in the present invention, a UF membrane module or the like may be used instead of the MF membrane module.

ＭＦ膜モジュールとして、ポール社製２０ｎｍフィルターを用い、ｐＨ／酸化還元電位調整水として１００ｐｐｍＮＨ３＋１００ｐｐｍＨ２Ｏ２を溶解した超純水を通水する実施例及び比較例について説明する。 An example and a comparative example in which a Pall 20 nm filter is used as the MF membrane module and ultrapure water in which 100 ppm NH 3 +100 ppm H 2 O 2 are dissolved is passed as pH/oxidation-reduction potential adjusting water will be described.

［実施例１］
図１の装置を用い、図１（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイント（ウェハ洗浄処理工程）に処理水を供給した。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際に、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインした。ＭＦ膜モジュールＩ処理水と同等の処理水が出るまでドレインを行った。 [Example 1]
Using the apparatus of FIG. 1, pH/oxidation-reduction potential adjusted water was treated in the MF membrane module I as shown in FIG. When the time for replacement of the MF membrane module I approached, the pH/oxidation-reduction potential adjusting water was passed through the MF membrane module II and drained. Drainage was performed until treated water equivalent to the treated water from the MF membrane module I came out.

次にＭＦ膜モジュールを交換する際に、図１（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図１（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水してドレインし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。 Next, when replacing the MF membrane module, as shown in FIG. 1(2), the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the point of use. Then MF membrane modules I and III were exchanged. After that, when the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIG. It was drained until treated water equivalent to After that, when the MF membrane module II was replaced, the flow of water to the MF membrane module II was stopped and at the same time the MF membrane module III treated water was switched to be supplied to the point of use.

膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 The time required from the start of replacement of the membrane module to the restart of wafer processing was 1 minute.

［実施例２］
図２の装置を用い、図２（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給した。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くになった際に、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインした。ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでドレインを行った。 [Example 2]
Using the apparatus of FIG. 2, as shown in FIG. 2(1), the pH/oxidation-reduction potential adjusted water was treated with the MF membrane module I, and the treated water was supplied to the point of use. When the time for replacement of the MF membrane module I approached, the pH/oxidation-reduction potential adjusting water was passed through the MF membrane module II and drained. Drainage was performed until the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module I came out.

次にＭＦ膜モジュールを交換する際に、図２（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。 Next, when replacing the MF membrane module, as shown in FIG. 2(2), the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the point of use. Then MF membrane modules I and III were exchanged.

その後、図２（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄した。 Thereafter, as shown in FIG. 2(3), ultrapure water was passed through the MF membrane module III to wash the MF membrane.

ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図２（４）の通り、ｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインしてコンディショニングし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 When the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIG. It was drained until treated water equivalent to The time required from the start of replacement of the membrane module to the restart of wafer processing was 1 minute.

［実施例３］
図４～１２の装置を用い、図４の通り、ＭＦ膜モジュールＩ，IIでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイント（ウェハ洗浄処理工程）に処理水を供給した。 [Example 3]
Using the apparatus of FIGS. 4 to 12, pH/oxidation-reduction potential adjusted water was treated in MF membrane modules I and II as shown in FIG. 4, and the treated water was supplied to the point of use (wafer cleaning process).

次にＭＦ膜モジュールＩを交換する際に、図６の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。
その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図７，８の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水及びｐＨ／酸化還元電位調整水を通水してドレインし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。
その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。 Next, when replacing the MF membrane module I, as shown in FIG. 6, the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the point of use. Then MF membrane modules I and III were exchanged.
After that, when the time for replacement of the MF membrane module II approaches, as shown in FIGS. It drained until the treated water equivalent to II treated water came out.
After that, when the MF membrane module II was replaced, the flow of water to the MF membrane module II was stopped and at the same time the MF membrane module III treated water was switched to be supplied to the point of use.

膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 The time required from the start of replacement of the membrane module to the restart of wafer processing was 1 minute.

［比較例１］
図３（１）の通り、配管７０、バルブ７１、配管７２を介してＭＦ膜モジュールＩにｐＨ／酸化還元電位調整水を供給し、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、配管７３、バルブ７４、配管７５を介してユースポイントに処理水を供給した。 [Comparative Example 1]
As shown in FIG. 3(1), the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is supplied to the MF membrane module I via the pipe 70, the valve 71, and the pipe 72, and the pH/oxidation-reduction potential adjusted water is processed in the MF membrane module I. , piping 73 , valve 74 , and piping 75 to the point of use.

ＭＦ膜モジュールＩを交換する際に、図３（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩへの供給を止め、ＭＦ膜モジュールIIと交換した。次に図３（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIに超純水を通水し、膜をフラッシングした。即ち、超純水を配管７６、バルブ７７、配管７８、７２を介してＭＦ膜モジュールIIに供給し、フラッシング排水を配管７３、７９、バルブ８０、配管８７を介して排出した。 When replacing the MF membrane module I, as shown in FIG. 3(2), the supply to the MF membrane module I was stopped and replaced with the MF membrane module II. Next, as shown in FIG. 3(3), ultrapure water was passed through the MF membrane module II to flush the membrane. That is, ultrapure water was supplied to the MF membrane module II through pipes 76, valve 77, and pipes 78 and 72, and flushing waste water was discharged through pipes 73, 79, valve 80, and pipe 87.

その後、図３（４）の通り、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水し、コンディショニングした。コンディショニング終了後、図３（５）の通りＭＦ膜モジュールIIに通水した処理水をユースポイントに供給し、ウエハ処理を再開した。膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、２４時間であった。 Thereafter, as shown in FIG. 3(4), pH/oxidation-reduction potential adjusted water was passed through the MF membrane module II for conditioning. After the conditioning, the treated water that had flowed through the MF membrane module II was supplied to the point of use as shown in FIG. 3(5), and wafer processing was restarted. The time required from the start of replacement of the membrane module to the restart of wafer processing was 24 hours.

以上の実施例及び比較例より、本発明によると、ユースポイントへｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給するＭＦ膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができることが認められた。 From the above examples and comparative examples, according to the present invention, the pH/oxidation-reduction potential adjustment aqueous solution can be supplied without loss time when replacing the MF membrane module that supplies the pH/oxidation-reduction potential adjustment solution to the point of use. was found to be possible.

Ｉ，II，III，IＶ ＭＦ膜モジュール I, II, III, IV MF Membrane Module

Claims (2)

膜モジュールを備えた水質調整水製造装置であって、
ｐＨ及び酸化還元電位の少なくとも一方が所定値に調整された水質調整水を該膜モジュールに通水し、該膜モジュールの透過水をユースポイントに送水する水質調整水製造装置において、
該水質調整水製造装置には複数の膜モジュールが並列又は直列に配置されており、
一部の膜モジュールに水質調整水を通水し、その透過水をユースポイントに送水するとともに、他の膜モジュールの交換を行う、送水及び膜モジュール交換工程を実施するために、
該一部の膜モジュールへの水質調整水の通水及びその透過水のユースポイントへの送水を行い且つ該他の膜モジュールには水質調整水を通水しない、該他の膜モジュールの交換を行うための、第１の流路選択と、
交換されて該水質調整水製造装置に配置された膜モジュールに超純水を通水する、該膜モジュールを洗浄するための、第２の流路選択と、
該超純水で洗浄された該膜モジュールに水質調整水を通水し、その透過水をドレインとして排出する第３の流路選択と
が切り替え可能となっていることを特徴とする水質調整水製造装置。 A water quality-conditioned water production device comprising a membrane module,
A water conditioned water production apparatus for supplying conditioned water in which at least one of pH and oxidation-reduction potential has been adjusted to a predetermined value through the membrane module and sending the permeated water of the membrane module to a point of use,
A plurality of membrane modules are arranged in parallel or in series in the conditioned water production device ,
In order to carry out a water supply and membrane module replacement process in which the water quality-conditioned water is passed through some membrane modules, the permeated water is sent to the point of use, and other membrane modules are replaced,
Replacing the other membrane modules in which the conditioned water is passed to the part of the membrane modules and the permeated water is sent to the point of use, and the conditioned water is not passed to the other membrane modules. a first flow path selection for performing;
a second flow path selection for cleaning the membrane module, through which ultrapure water is passed through the membrane module that has been replaced and arranged in the conditioned water production apparatus;
a third flow channel selection for passing the conditioned water through the membrane module washed with the ultrapure water and discharging the permeated water as a drain;
A water-quality-conditioned water production device characterized in that it is possible to switch between 請求項１において、前記膜モジュールはＭＦ膜モジュールであることを特徴とする水質調整水製造装置。 2. A water-conditioning water producing apparatus according to claim 1, wherein said membrane module is an MF membrane module .
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Citations (3)

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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001157879A (en) 1999-08-31 2001-06-12 Tadahiro Omi METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING pH OF AQUEOUS SOLUTION
JP3598912B2 (en) 1999-11-16 2004-12-08 栗田工業株式会社 Operation method of membrane separator
WO2015050125A1 (en) 2013-10-04 2015-04-09 栗田工業株式会社 Ultrapure water production apparatus

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