JP2021087957A - Method and apparatus of producing quality controlled water - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はｐＨ及び酸化還元電位の少なくとも一方が特定範囲となるように調整された水質調整水（以下、ｐＨ／酸化還元電位調整水ということがある。）を製造する方法及び装置に関する。 The present invention relates to a method and an apparatus for producing water quality-adjusted water (hereinafter, may be referred to as pH / redox potential-adjusted water) adjusted so that at least one of pH and redox potential is within a specific range.
電子産業分野のウエハ処理に使用される水溶液（例えば特許文献１）には、低微粒子であることが求められている。そこで、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液中の微粒子を除去する方法として、ユースポイント直近にＭＦ膜モジュールを設置する方法が一般的となっている。 Aqueous solutions (for example, Patent Document 1) used for wafer processing in the electronic industry are required to have low fine particles. Therefore, as a method of removing fine particles in the pH / redox potential adjusting aqueous solution, a method of installing an MF membrane module near the point of use has become common.
ＭＦ膜モジュールを長く使用すると、ＭＦ膜に微粒子が積層し圧力損失が上昇するので、ＭＦ膜モジュールを交換する必要がある。ＭＦ膜モジュールを交換するためには、一度装置を停止しなければならないこと、また交換直後のＭＦ膜モジュールからは膜自体からの微粒子吐き出しがあるため、交換後に所定量通水してから使用開始する必要があり、ウエハの生産性に影響を与える。 If the MF membrane module is used for a long time, fine particles are laminated on the MF membrane and the pressure loss increases, so that it is necessary to replace the MF membrane module. In order to replace the MF membrane module, the device must be stopped once, and since fine particles are discharged from the MF membrane module immediately after replacement, a predetermined amount of water must be passed after replacement before use. It must be done, which affects the productivity of the wafer.
本発明は、洗浄機などの下流側の機器の稼動を停止することなく膜モジュールを交換できると共に、膜モジュールの交換直後から良好な水質の水質調整水が供給され、ウエハ洗浄等を実施できる水質調整水の製造方法及び装置を提供することを目的とする。 According to the present invention, the membrane module can be replaced without stopping the operation of equipment on the downstream side such as a washing machine, and water quality adjusted water having good water quality is supplied immediately after the replacement of the membrane module, so that wafer cleaning and the like can be performed. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for producing regulated water.
本発明の水質調整水の製造方法は、ｐＨ及び酸化還元電位の少なくとも一方が所定値に調整された水質調整水を膜モジュールに通水する工程を有する水質調整水の製造方法において、複数の膜モジュールを並列又は直列に配置し、一部の膜モジュールに水質調整水を通水している間に、他の膜モジュールの交換を行うことを特徴とする。 The method for producing water quality-adjusted water of the present invention is a method for producing water quality-adjusted water, which comprises a step of passing water quality-adjusted water in which at least one of pH and oxidation-reduction potential is adjusted to a predetermined value through a membrane module. The modules are arranged in parallel or in series, and the other membrane modules are replaced while the water quality adjusting water is flowing through some membrane modules.
本発明の水質調整水の製造装置は、並列又は直列に設置された複数の膜モジュールと、各膜モジュールに水質調整水を個別に通水しうるように設けられた水質調整水の通水ラインとを有する。 The water quality-adjusted water production apparatus of the present invention includes a plurality of membrane modules installed in parallel or in series, and a water flow line for water quality-adjusted water provided so that water-adjusted water can be individually passed through each membrane module. And have.
本発明によると、膜モジュールを有した通水系列を複数系列設け、１つの系列を使用して膜透過水をユースポイント等に供給している間に、その他の系列で膜モジュールを新しいものに交換して当該膜モジュールのコンディショニング等を行うので、洗浄機などの下流側機器の稼働を停止せずに膜モジュールを交換できると共に、交換直後からウエハ洗浄等を実施できる。本発明によると、ユースポイント等へｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給する膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができる。 According to the present invention, a plurality of water flow series having a membrane module are provided, and while one series is used to supply membrane permeated water to a point of use or the like, a new membrane module is used in another series. Since the membrane module is replaced to perform conditioning and the like, the membrane module can be replaced without stopping the operation of downstream equipment such as a washing machine, and wafer cleaning and the like can be performed immediately after the replacement. According to the present invention, the pH / redox potential adjusting aqueous solution can be supplied without loss time when the membrane module for supplying the pH / redox potential adjusting aqueous solution to the point of use or the like is replaced.
以下、図１，２を参照して実施の形態について説明する。なお、本発明を特に限定するものではないが、本発明のｐＨ／酸化還元電位調整水のｐＨ調整水としては、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、アミンなどのアルカリ水溶液、ＨＣｌ，Ｈ２ＳＯ４，ＨＦ，ＣＯ２などの酸水溶液が例示される。酸化還元電位調整水としては、過酸化水素、オゾン、水素などの酸化性又は還元性物質の溶解水が例示される。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to FIGS. 1 and 2. Although the present invention is not particularly limited, the pH-adjusting water for the pH / oxidation-reduction potential adjusting water of the present invention includes alkaline aqueous solutions such as ammonia, tetraalkylammonium hydroxide, and amine, HCl, and H 2 SO 4. , HF, CO 2 and other acid aqueous solutions are exemplified. Examples of the redox potential adjusting water include dissolved water of an oxidizing or reducing substance such as hydrogen peroxide, ozone, and hydrogen.
以下の実施の形態では、膜モジュールとして２個のＭＦ膜モジュールＩ，IIが並列設置されており、ｐＨ／酸化還元電位調整水がいずれにも通水可能とされている。また、各ＭＦ膜モジュールＩ，IIの透過水がユースポイントへの送水及びドレイン排出のいずれも可能とされている。 In the following embodiment, two MF membrane modules I and II are installed in parallel as membrane modules, and pH / redox potential adjusting water can pass through any of them. In addition, the permeated water of each MF membrane module I and II can be sent to the point of use and discharged from the drain.
図１は第１の実施の形態を示すフロー図である。図１（１）では、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管１、２、バルブ３を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管４、バルブ５、配管６、バルブ７、配管８を介してユースポイントに送水されている。第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管１、１０、バルブ１１を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水は、配管１２、バルブ１３、配管１４、バルブ１５、配管１６を介してドレインとして排出される。
FIG. 1 is a flow chart showing the first embodiment. In FIG. 1 (1), pH / oxidation-reduction potential adjusting water is supplied to the first MF film module I via
配管４は、配管２０及びバルブ２１を介して配管１４に連通可能とされている。また、配管１２は、配管２２及びバルブ２３を介して配管６に連通可能とされている。図１（１）では、バルブ２１、２３は閉とされ、その他のバルブは開とされている。
The
図１（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給する。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際には、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインし、ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでドレインする（コンディショニング工程）。 As shown in FIG. 1 (1), the pH / redox potential adjusting water is treated by the MF membrane module I, and the treated water is supplied to the use point. When the replacement time of the MF membrane module I is approaching, the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed through the MF membrane module II and drained, and the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module I is drained. (Conditioning process).
ＭＦ膜モジュールIIを交換する際には、図１（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そしてＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 When replacing the MF membrane module II, as shown in FIG. 1 (2), the line of the MF membrane module I is stopped and at the same time, the treated water of the MF membrane module II is switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane module I and the MF membrane module III are replaced.
その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図１（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでドレインする。 After that, when the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIG. 1 (3), pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed through and drained through the MF membrane module III to condition the MF membrane module II. Drain until treated water equivalent to that of the above is produced.
その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、図１（４）の通り、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そして、ＭＦ膜モジュールIIとＭＦ膜モジュールIＶを交換する。 After that, when the MF membrane module II is replaced, as shown in FIG. 1 (4), the water flow to the MF membrane module II is stopped, and at the same time, the treated water of the MF membrane module III is switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane module II and the MF membrane module IV are exchanged.
図２は、図１において、さらにＭＦ膜モジュールを超純水（ＵＰＷ）でも洗浄できるように構成した実施の形態を示している。 FIG. 2 shows an embodiment in which the MF membrane module is further configured to be washable with ultrapure water (UPW) in FIG.
図２（１）では、バルブ５０，５２は閉、バルブ３１，３３，３６，３８は開とされ、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管３０、バルブ３１、配管３２、バルブ３３、配管３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管３５、バルブ３６、配管３７、バルブ３８、配管３９を介してユースポイントに送水される。
In FIG. 2 (1), the
第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、バルブ４１，４５，４７が開とされ、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管３０、３２、４０、バルブ４１、配管４２を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水は配管４４、バルブ４５、配管４６、バルブ４７、配管４８を介してドレインとして排出される。
When the replacement time of the first MF film module I is approaching, the
配管３５は、配管４９及びバルブ５０を介して配管４６に連通可能とされている。また、配管４４は、配管５１及びバルブ５２を介して配管３７に連通可能とされている。
The
また、図２では、図２（１）の通り、超純水が配管６０、バルブ６１、配管６２、バルブ６３、配管６４、３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給可能とされていると共に、配管６２から分岐した配管６５、バルブ６６及び配管４２を介して第２ＭＦ膜モジュールIIに供給可能とされている。
Further, in FIG. 2, as shown in FIG. 2 (1), ultrapure water can be supplied to the first MF film module I via the
図２（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給する。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際には、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインする。ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。 As shown in FIG. 2 (1), the pH / redox potential adjusting water is treated by the MF membrane module I, and the treated water is supplied to the use point. When the replacement time of the MF membrane module I is approaching, the pH / redox potential adjusting water is passed through the MF membrane module II and drained. This drain is performed until the treated water equivalent to the treated water of the MF membrane module I is discharged.
次にＭＦ膜モジュールＩを交換する際には、図２（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替える。そしてＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 Next, when the MF membrane module I is replaced, as shown in FIG. 2 (2), the line of the MF membrane module I is stopped and at the same time, the treated water of the MF membrane module II is switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane module I and the MF membrane module III are replaced.
その後、図２（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄する。ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図２（４）の通り、ｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。ＭＦ膜モジュールIIとIＶとを交換する際は、図２（５）の通りＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替える。 Then, as shown in FIG. 2 (3), ultrapure water is passed through the MF membrane module III to clean the MF membrane. When the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIG. 2 (4), the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed through and drained to the MF membrane module III for conditioning, and the treatment of the MF membrane module II is performed. This drain is performed until treated water equivalent to water is produced. When exchanging the MF membrane module II and the IV, as shown in FIG. 2 (5), the water flow to the MF membrane module II is stopped, and at the same time, the MF membrane module III treated water is switched to be supplied to the point of use.
図４〜１２は、図２において、ＭＦ膜モジュールＩ，IIを直列に設置した実施の形態を示している。この実施の形態では、ｐＨ／酸化還元電位調整水がＭＦ膜モジュールＩ，IIの順又はII，Ｉの順に直列に通水可能とされていると共に、ｐＨ／酸化還元電位調整水がＭＦ膜モジュールＩのみ又はＭＦ膜モジュールIIのみに通水可能とされている。また、超純水がＭＦ膜モジュールＩのみ又はＭＦ膜モジュールIIのみに通水可能とされている。 4 to 12 show an embodiment in which the MF membrane modules I and II are installed in series in FIG. In this embodiment, the pH / oxidation-reduction potential adjusting water can be passed in series in the order of the MF membrane modules I and II or II and I, and the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is the MF membrane module. Water can be passed only through I or only the MF membrane module II. Further, ultrapure water can pass only through the MF membrane module I or only the MF membrane module II.
図４では、バルブ１０１，１０３，１０５，１０７，１０９，１１３は閉、バルブ３１，３３，３６，３８，９１，９３，９５は開とされ、ｐＨ／酸化還元電位調整水が配管３０、バルブ３１、配管３２、バルブ３３、配管３４を介して第１ＭＦ膜モジュールＩに供給され、透過水が配管３５、バルブ３６、配管３７、バルブ３８、配管３９、バルブ９１を介して第２ＭＦ膜モジュールIIに供給され、透過水が配管９２、バルブ９３、配管９４、バルブ９５、配管９６を介してユースポイントに送水される。また、図５の通り、バルブ１０１，９１，９３，１０７を開、バルブ３１，３８，９５を閉とすることにより、ｐＨ／酸化還元電位調整水を配管１００を介して、ＭＦ膜モジュールIIに通水し、その透過水を配管１０６を介してＭＦ膜モジュールＩに通水するというＭＦ膜モジュールII→ＭＦ膜モジュールＩの順の通水も可能となっている。
In FIG. 4, the
第１ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなったときには、図６の通り、バルブ３１，３３，３６，３８が閉、バルブ１０１，９１，９３，９５が開とされ、第２ＭＦ膜モジュールIIへ、配管３０，１００，３９、バルブ９１を介してｐＨ／酸化還元電位調整水が供給され、その透過水がユースポイントに供給される。この間にＭＦ膜モジュールＩとIIIとが交換される。
When the replacement time of the first MF membrane module I is approaching, the
このように、ＭＦ膜モジュールＩとIIIとを交換する際には、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIのみを透過した処理水をユースポイントに供給するように切り替え、ＭＦ膜モジュールＩとＭＦ膜モジュールIIIとを交換する。 In this way, when exchanging the MF membrane modules I and III, the line of the MF membrane module I is stopped, and at the same time, the treated water that has permeated only the MF membrane module II is switched to be supplied to the use point, and the MF membrane is switched. Replace module I with MF membrane module III.
その後、図７の通り、バルブ１０５，３３，１０９を開とし、配管１０４，３２，３４，３５，１０８を介してＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜モジュールＩを洗浄する。
After that, as shown in FIG. 7, the
ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときには、図８の通り、バルブ１０５，１０７，３６，３８を閉とし、バルブ３１，３３，１０９を開とし、配管３０，３２，３４，３５，１０８を介してｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。
ＭＦ膜モジュールIIとIＶとを交換する際は、図９の通り、バルブ３８，９１，９３，９５，１１３を閉として、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、バルブ１１１を開とし、ＭＦ膜モジュールIII処理水を配管１１０，９６を介してユースポイントに供給するように切り替える。そして、図１０の通り、ＭＦ膜モジュールIIとIVとを交換する。
When the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIG. 8, the
When exchanging the MF membrane module II and the IV, as shown in FIG. 9, the
このように、ＭＦ膜モジュールIIとIVとを交換する際には、ＭＦ膜モジュールIIのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIIのみを透過した処理水をユースポイントに供給するように切り替え、ＭＦ膜モジュールIIとＭＦ膜モジュールIVとを交換する。 In this way, when exchanging the MF membrane modules II and IV, the line of the MF membrane module II is stopped, and at the same time, the treated water that has permeated only the MF membrane module III is switched to be supplied to the use point, and the MF membrane is switched. Replace module II and MFfiltration module IV.
その後、図１１の通り、バルブ１０３，９１，１１３を開とし、配管１０２，１００，３９，９２，１１２を介してＭＦ膜モジュールIVに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄する。ＭＦ膜モジュールIVの交換時期が近くなったときには、図１２の通り、バルブ１０１，９１，１１３を開とし、配管３０，１００，３９，９２，１１２を介してｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIVに通水及びドレインして、コンディショニングし、ＭＦ膜モジュールIIIの処理水と同等の処理水が出るまでこのドレインを行う。
After that, as shown in FIG. 11, the
このように、図１，２、図４〜１２のいずれにおいても、ＭＦ膜モジュールを有した通水系列を並列又は直列に複数系列設け、１つの系列を使用してＭＦ膜透過水をユースポイントに供給している間に、その他の系列でＭＦ膜モジュールを新しいものに交換して当該ＭＦ膜モジュールの通水洗浄を行うので、洗浄機を停止せずにＭＦ膜モジュールを交換できると共に、交換直後からウエハ洗浄を実施できる。また、ユースポイントへｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給するＭＦ膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができる。 As described above, in any of FIGS. 1, 2 and 4 to 12, a plurality of water flow series having the MF membrane module are provided in parallel or in series, and one series is used to use the MF membrane permeated water as a point of use. Since the MF membrane module is replaced with a new one in another series to perform water-passing cleaning of the MF membrane module, the MF membrane module can be replaced and replaced without stopping the washing machine. The wafer can be washed immediately afterwards. Further, when the MF film module for supplying the pH / redox potential adjusting aqueous solution to the point of use is replaced, the pH / redox potential adjusting aqueous solution can be supplied without loss time.
なお、本発明では、ＭＦ膜モジュールの代わりにＵＦ膜モジュール等を用いてもよい。 In the present invention, a UF membrane module or the like may be used instead of the MF membrane module.
ＭＦ膜モジュールとして、ポール社製２０ｎｍフィルターを用い、ｐＨ／酸化還元電位調整水として１００ｐｐｍＮＨ３＋１００ｐｐｍＨ２Ｏ２を溶解した超純水を通水する実施例及び比較例について説明する。 Examples and comparative examples will be described in which a 20 nm filter manufactured by Paul Co., Ltd. is used as the MF membrane module, and ultrapure water in which 100 ppmNH 3 + 100 ppmH 2 O 2 is dissolved as pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed.
［実施例１］
図１の装置を用い、図１（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイント（ウェハ洗浄処理工程）に処理水を供給した。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くなった際に、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインした。ＭＦ膜モジュールＩ処理水と同等の処理水が出るまでドレインを行った。
[Example 1]
As shown in FIG. 1 (1), the pH / redox potential adjusting water was treated by the MF membrane module I using the apparatus of FIG. 1, and the treated water was supplied to the use point (wafer cleaning treatment step). When the replacement time of the MF membrane module I was approaching, pH / redox potential adjusting water was passed through the MF membrane module II and drained. Draining was performed until treated water equivalent to that of MF membrane module I treated water was produced.
次にＭＦ膜モジュールを交換する際に、図１（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図１（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水してドレインし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。 Next, when the MF membrane module was replaced, as shown in FIG. 1 (2), the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time, the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane modules I and III were exchanged. After that, when the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIG. 1 (3), the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed through the MF membrane module III and drained, and the MF membrane module II treated water is drained. Drained until the same treated water as was discharged. After that, when the MF membrane module II was replaced, the water flow to the MF membrane module II was stopped, and at the same time, the MF membrane module III treated water was switched to be supplied to the point of use.
膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 The time required from the start of replacement of the membrane module to the resumption of wafer processing was 1 min.
［実施例２］
図２の装置を用い、図２（１）の通り、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイントに処理水を供給した。ＭＦ膜モジュールＩの交換時期が近くになった際に、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水しドレインした。ＭＦ膜モジュールＩの処理水と同等の処理水が出るまでドレインを行った。
[Example 2]
As shown in FIG. 2 (1), the pH / redox potential adjusting water was treated with the MF membrane module I using the apparatus of FIG. 2, and the treated water was supplied to the use point. When the replacement time of the MF membrane module I was approaching, pH / redox potential adjusting water was passed through the MF membrane module II and drained. Draining was performed until treated water equivalent to that of the treated water of the MF membrane module I was discharged.
次にＭＦ膜モジュールを交換する際に、図２（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。 Next, when the MF membrane module was replaced, as shown in FIG. 2 (2), the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time, the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane modules I and III were exchanged.
その後、図２（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水を通水してＭＦ膜を洗浄した。 Then, as shown in FIG. 2 (3), ultrapure water was passed through the MF membrane module III to wash the MF membrane.
ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図２（４）の通り、ｐＨ／酸化還元電位調整水をＭＦ膜モジュールIIIに通水及びドレインしてコンディショニングし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 When the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIG. 2 (4), the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is passed through and drained through the MF membrane module III for conditioning, and the MF membrane module II treated water is treated. Drained until the same treated water as was discharged. The time required from the start of replacement of the membrane module to the resumption of wafer processing was 1 min.
［実施例３］
図４〜１２の装置を用い、図４の通り、ＭＦ膜モジュールＩ，IIでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、ユースポイント（ウェハ洗浄処理工程）に処理水を供給した。
[Example 3]
Using the devices of FIGS. 4 to 12, the pH / redox potential adjusting water was treated by the MF membrane modules I and II as shown in FIG. 4, and the treated water was supplied to the use point (wafer cleaning treatment step).
次にＭＦ膜モジュールＩを交換する際に、図６の通り、ＭＦ膜モジュールＩのラインを止めると同時にＭＦ膜モジュールIIの処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。そしてＭＦ膜モジュールＩとIIIを交換した。
その後、ＭＦ膜モジュールIIの交換時期が近くなったときに、図７，８の通り、ＭＦ膜モジュールIIIに超純水及びｐＨ／酸化還元電位調整水を通水してドレインし、ＭＦ膜モジュールII処理水と同等の処理水が出るまでドレインした。
その後、ＭＦ膜モジュールIIを交換する際は、ＭＦ膜モジュールIIへの通水を止めると同時に、ＭＦ膜モジュールIII処理水をユースポイントに供給するように切り替えた。
Next, when the MF membrane module I was replaced, as shown in FIG. 6, the line of the MF membrane module I was stopped and at the same time, the treated water of the MF membrane module II was switched to be supplied to the use point. Then, the MF membrane modules I and III were exchanged.
After that, when the replacement time of the MF membrane module II is approaching, as shown in FIGS. 7 and 8, ultrapure water and pH / oxidation-reduction potential adjusting water are passed through the MF membrane module III to drain the MF membrane module III. Drained until treated water equivalent to II treated water came out.
After that, when the MF membrane module II was replaced, the water flow to the MF membrane module II was stopped, and at the same time, the MF membrane module III treated water was switched to be supplied to the point of use.
膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、１ｍｉｎであった。 The time required from the start of replacement of the membrane module to the resumption of wafer processing was 1 min.
［比較例１］
図３（１）の通り、配管７０、バルブ７１、配管７２を介してＭＦ膜モジュールＩにｐＨ／酸化還元電位調整水を供給し、ＭＦ膜モジュールＩでｐＨ／酸化還元電位調整水を処理し、配管７３、バルブ７４、配管７５を介してユースポイントに処理水を供給した。
[Comparative Example 1]
As shown in FIG. 3 (1), the pH / oxidation-reduction potential adjusting water is supplied to the MF membrane module I via the
ＭＦ膜モジュールＩを交換する際に、図３（２）の通り、ＭＦ膜モジュールＩへの供給を止め、ＭＦ膜モジュールIIと交換した。次に図３（３）の通り、ＭＦ膜モジュールIIに超純水を通水し、膜をフラッシングした。即ち、超純水を配管７６、バルブ７７、配管７８、７２を介してＭＦ膜モジュールIIに供給し、フラッシング排水を配管７３、７９、バルブ８０、配管８７を介して排出した。
When the MF membrane module I was replaced, as shown in FIG. 3 (2), the supply to the MF membrane module I was stopped and the MF membrane module I was replaced with the MF membrane module II. Next, as shown in FIG. 3 (3), ultrapure water was passed through the MF membrane module II to flush the membrane. That is, ultrapure water was supplied to the MF membrane module II via the
その後、図３（４）の通り、ＭＦ膜モジュールIIにｐＨ／酸化還元電位調整水を通水し、コンディショニングした。コンディショニング終了後、図３（５）の通りＭＦ膜モジュールIIに通水した処理水をユースポイントに供給し、ウエハ処理を再開した。膜モジュールの交換開始からウエハ処理再開までに要した時間は、２４時間であった。 Then, as shown in FIG. 3 (4), pH / redox potential adjusting water was passed through the MF membrane module II for conditioning. After the conditioning was completed, the treated water passed through the MF membrane module II was supplied to the use point as shown in FIG. 3 (5), and the wafer processing was restarted. The time required from the start of replacement of the membrane module to the resumption of wafer processing was 24 hours.
以上の実施例及び比較例より、本発明によると、ユースポイントへｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給するＭＦ膜モジュールの交換の際に、ロスタイムなく、ｐＨ／酸化還元電位調整水溶液を供給することができることが認められた。 From the above Examples and Comparative Examples, according to the present invention, the pH / redox potential adjusting aqueous solution is supplied without loss time when the MF film module for supplying the pH / redox potential adjusting aqueous solution to the point of use is replaced. Was found to be possible.
Ｉ，II，III，IＶ ＭＦ膜モジュール I, II, III, IV MF membrane module
Claims (2)
各膜モジュールに水質調整水を個別に通水しうるように設けられた水質調整水の通水ラインとを有する水質調整水の製造装置。 With multiple membrane modules installed in parallel or in series,
A water quality adjusting water production apparatus having a water flow line for water quality adjustment water provided so that water quality adjustment water can be individually passed through each membrane module.
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