JP7147657B2 - 広帯域パルス光源装置、分光測定装置及び分光測定方法 - Google Patents
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Description
この出願の発明は、この知見に基づくものであり、パルス伸長を行いつつも意図しない非線形光学効果が生じないようにした広帯域パルス光源装置を提供することを目的とし、またそのような広帯域パルス光源装置を使用することで分光測定を高精度且つ高速に行えるようにすることを目的としている。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第一のパルス伸長器が線形素子であるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第一のパルス伸長器が、自由空間で波長毎に異なった遅延を生じさせることによりパルス幅を伸長させる機器であるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第一のパルス伸長器が、広帯域パルス光を空間的に波長分散させる分散素子と、一対の平板ミラーを反射面を向かい合わせて非平行に対向させた非平行ミラー対と、集光光学系と、取り出し光学系とを備えており、集光光学系は、分散素子が波長分散させた光を、非平行ミラー対のうちの一方の平板ミラーの反射面上の点に集光させる光学系であって、波長に応じて異なる角度で当該一点に集光させる光学系であり、取り出し光学系は、非平行ミラー対を形成する一対の平板ミラーに交互に反射して戻ってきた各波長の光を取り出して前記第二のパルス伸長器に入射させる光学系であるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、集光光学系が、分散素子で波長分散させた光を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズが平行光にした光を集光して前記一点に集光させる集光レンズとを含んでおり、取り出し光学系は、コリメータレンズと集光レンズとの間に配置されたビームスプリッタを含んでいるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、ビームスプリッタが偏光ビームスプリッタであり、このビームスプリッタと非平行ミラー対との間には、λ/4波長板が配置されているという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第一のパルス伸長器が、広帯域パルス光を空間的に波長分散させる分散素子と、集光光学系と、マルチモードファイバとを備えており、集光光学系は、分散素子が波長分散した広帯域パルス光を波長に応じて異なった角度でマルチモードファイバに入射させる光学系であり、第二のパルス伸長器は、マルチモードファイバの出射端からの光が入射する位置に配置されているという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、パルス光源が、パルスレーザ源と、パルスレーザ源からのレーザ光に非線形光学効果を生じさせてスーパーコンティニウム光とする非線形素子とを備えたスーパーコンティニウム光源であるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第二のパルス伸長器が、シングルモードファイバであるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の広帯域パルス光源装置は、第二のパルス伸長器が、シングルモードのマルチコアファイバ又はシングルモードのバンドルファイバであるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この出願の分光測定装置は、上述した構成の広帯域パルス光源装置と、この広帯域パルス光源装置からの広帯域パルス光が照射された対象物からの光が入射する位置に配置された検出器と、検出器からの出力に従って対象物の分光スペクトルを算出する演算手段とを備えている。この分光測定装置において、第一第二のパルス伸長器は、広帯域パルス光を1パルス内の経過時間と波長との関係が1対1になるようにパルス幅を伸長するパルス伸長器である。
また、上記課題を解決するため、この出願の分光測定方法は、上述した構成の広帯域パルス光源装置からの広帯域パルス光を対象物に照射する照射工程と、照射工程において広帯域パルス光が照射された対象物からの光を検出器で検出する検出工程と、検出器からの出力に従って対象物の分光スペクトルを算出する演算処理工程とを備えている。この分光測定方法において、第一第二のパルス伸長器は、広帯域パルス光を1パルス内の経過時間と波長との関係が1対1になるようにパルス幅を伸長するパルス伸長器である。
また、この出願の分光測定装置又は分光測定方法によれば、パルス光源からの広帯域パルス光のパルス幅がパルス内の経過時間と波長との関係が1対1になるように伸長された状態で当該広帯域パルス光が対象物に照射されて分光測定が行われるので、回折格子の掃引のような時間を要する動作は不要であり、高速の分光測定が行える。そして、時間波長一意性を確保したパルス伸長を行う際、第一のパルス伸長器で予備伸長をしてから第二のパルス伸長器でさらに伸長を行うので、高い照度で対象物に光を照射する場合にも時間波長一意性が崩れることがない。このため、吸収の多い対象物についての光測定のように、ハイパワーの光を照射する必要のある光測定を高精度に行うことができ、高速且つ高信頼性の分光測定装置及び分光測定方法となる。
まず、広帯域パルス光源装置の発明の実施形態について説明する。図1は、第一の実施形態の広帯域パルス光源装置の概略図である。
図1に示す広帯域パルス光源装置は、広帯域パルス光を出射するパルス光源1を備えており、パルス光源1から出射される広帯域パルス光のパルス幅を伸長させて出力する装置となっている。そして、この装置の大きな特徴点は、パルス伸長のため、第一第二の二つのパルス伸長器2,3を備えていることである。即ち、パルス光源1からの広帯域パルス光L1のパルス幅を伸長させる第一のパルス伸長器2と、第一のパルス伸長器2でパルス幅が伸長された広帯域パルス光L2のパルス幅をさらに伸長させる第二のパルス伸長器3とを備えている。
超短パルスレーザ源11としては、ゲインスイッチレーザ、マイクロチップレーザ、ファイバレーザ等を用いることができる。また、非線形素子12としては、ファイバが使用される場合が多い。例えば、フォトニッククリスタルファイバやその他の非線形ファイバが非線形素子12として使用できる。ファイバのモードとしてはシングルモードの場合が多いが、マルチモードであっても十分な非線形性を示すものであれば、非線形素子12として使用できる。
パルス光源1から出射される光は、波長帯域としては広がっているが、パルス幅としてはフェムト秒ないしピコ秒オーダーの超短パルスのままである。このままでは光測定用としては使用しづらいので、パルス伸長させる。この際に重要なことは、意図しない非線形光学効果が生じないようにすることである。この実施形態では広帯域パルス光はSC光であり、SC光の生成の際に非線形光学効果を生じさせている。しかしながら、生成したSC光においてさらに非線形光学効果が生じると、波長間での強度均一性が著しく低下したり、SC光において達成されていた時間波長一意性が損なわれてしまったりする問題が生じる。以下、この問題について説明する。
第一のパルス伸長器2において予備伸張を行う際に重要なことは、ある程度高い強度の広帯域パルス光が入射した場合にも意図しない非線形光学効果が生じないようにすることであり、且つパルス伸長させた光が第二のパルス伸長器3に入射する際には、第二のパルス伸長器3において意図しない非線形光学効果が生じないピーク強度になっているということである。
第一の実施形態では、第一のパルス伸長器2は、分散素子と、非平行ミラー対22とを組み合わせた機器となっている。このパルス伸長器2は、光軸に対する角度が波長に応じて異なる角度になるようにする角分散モジュール21と、角分散モジュール21に対して接続された非平行ミラー対22と、非平行ミラー対22で折り返された各波長の光を取り出すビームスプリッタ23と、ビームスプリッタ23で取り出された各波長の光を第二のパルス伸長器3に入射させる入射光学系24とを備えている。
そして、パルス伸長がされるということは、光のエネルギーが時間的に分散するということであり、パルスのピーク強度は低下する。即ち、回折格子211に入射した際に比べて、第二のパルス伸長器3に入射する際には、広帯域パルス光のピーク強度は低下している。
超短パルスレーザ源11から出射された超短パルス光は、非線形素子12で広帯域化されて広帯域パルス光(SC光)L1となり、第一のパルス伸長器2に入射する。この光は、回折格子211で波長分散し、集光レンズ213で集光されて非平行ミラー対22の入射点Pに波長に応じて異なる角度で入射する。各波長の光は、二枚の平板ミラー221に交互に反射しながら折り返し、入射点Pに戻る。この際、波長に応じて光路長が異なるので、入射点Pに戻る時刻は、波長により順次異なる時刻となる。即ち、パルス伸長がされた状態となる。パルス伸長された光L2は、ビームスプリッタ23に反射して取り出され、入射光学系24により第二のパルス伸長器3に入射する。
第二のパルス伸長器3は、ファイバの群遅延特性によりさらなるパルス伸長を行う。そして、所望の時間対波長の傾きに伸長された広帯域パルス光L3は、第二のパルス伸長器3から出射される。
このような第一の実施形態の装置は、第一のパルス伸長器2として、線形素子ないしは線形の光学機器を採用したことによると言える。したがって、線形素子ないしは線形の光学機器であれば、他の素子ないし機器を使用しても良い。ここで、線形素子ないしは線形の光学機器とは、広帯域パルス光を入力しても非線形光学効果を生じない素子ないし光学機器をいう。
尚、コリメータレンズ212及び集光レンズ213は集光光学系を構成しているが、この他、ミラーによって集光する光学系が採用されることもあり得る。
図5に示す例の第一のパルス伸長器2は、図4に示すものとほぼ同様であるが、偏光ビームスプリッタ25を使用して広帯域パルス光を取り出す構成となっている。即ち、コリメータレンズ212と集光レンズ213の間には、偏光ビームスプリッタ25が配置されている。
偏光板251は、偏光ビームスプリッタ25の特性に従って配置される。例えば、偏光ビームスプリッタ25として、p偏光反射、s偏光透過のものが採用されている場合、偏光板251は、入射する広帯域パルス光が偏光ビームスプリッタ25のs偏光の方向の直線偏光光になる姿勢で配置される。
そして、この実施形態では、偏光ビームスプリッタ25を採用するとともに偏光制御をしているので、図4の例に比べて取り出しの際の損失が抑えられている。このため、より効率の良い広帯域パルス光源装置となる。
また、パルス源1によっては直線偏光光を出射する場合があり得るので、その場合には偏光板251が不要な場合もあるし、λ/2波長板等により偏光ビームスプリッタ25に応じて偏光方向を変える構成が採用されることもある。これらの構成では、さらに損失が少なくなるので、好適である。
図6に示すように、この実施形態では、第一のパルス伸長器2は、パルス光源1からの広帯域パルス光を波長分散させる分散素子と、分散素子が波長分散させた光を伝送するマルチモードファイバ272と、分散素子が波長分散させた光をマルチモードファイバ272の入射端に集光する集光レンズ273とを備えている。
分散素子としては、二つの回折格子271が使用されている。集光レンズ273は、マルチモードファイバ272に対して、各波長の光が互いに異なる角度で入射させるためものである。
このため、マルチモードファイバ272の出射端から出射する各波長λ1~λnの光は、波長λ1が最も遅れの少ない光であり、波長λnの光が最も遅れの多い光となる。即ち、パルス伸長が達成された状態となる。
尚、マルチモードファイバの場合、モード間遅延時間差が存在しており、同一の波長での光であってもモード間の遅延時間差によって1パルス内の存在時刻がばらついてくる可能性がある。この問題は、ファイバが長くなってくると顕在化するので、マルチモードファイバ272の長さは、モード間遅延時間差が時間波長一意性に影響を与えない長さとすることが望ましい。例えば、マルチモードファイバ272の長さは100m以下とすることが好ましい。
また、第一のパルス伸長器2とマルチコアファイバとの接続については、レンズを使用した空間型のデバイスを使用することもできる。例えば、マルチコアファイバのコアの位置に対応して各アレイレンズが配置されたアレイレンズユニットを使用して各コアに各波長λ1~λnの光を入射させる構成が考えられる。
また、第二のパルス伸長器3として、バンドルファイバを使用することもできる。バンドルファイバとしては、シングルモードファイバをバンドルしたものであることが好ましい。同様に、モード間遅延時間差の問題を避けるためである。
演算手段6は、プロセッサ61や記憶部(ハードディスク、メモリ等)62を備えている。記憶部62には、検出器5からの出力データを処理して吸収スペクトルを算出する測定プログラム63やその他の必要なプログラムがインストールされている。
そして、対象物Sを経た光を検出器5に入射させた際、検出器5からの出力はAD変換器7を経て同様に各時刻t1,t2,t3,・・・の値(測定値)としてメモリに記憶される(v1,v2,v3,・・・)。各測定値は、基準スペクトルデータと比較される(v1/V1,v2/V2,v3/V3,・・・)。そして、必要に応じて各逆数の対数を取り、吸収スペクトルの算出結果とする。上記のような演算処理をするよう、測定プログラム63はプログラミングされている。
前述したように、超短パルスレーザ源11からの超短パルス光は、非線形素子12により広帯域パルス光となり、第一のパルス伸長器2に入射してパルス伸長がされる。そして、この光は第二のパルス伸長器3に入射してさらにパルス伸長がされ、所望の時間対波長の傾きに伸長される。第二のパルス伸長器3から出射した広帯域パルス光は、検出器5に直接入射する。検出器5からの出力データはAD変換器7を経由して演算手段6に入力され、演算手段6は上述の演算処理をして予め基準スペクトルデータを取得する。
尚、光源装置10の測定や検出器5の感度特性が経時的に変化する場合、基準スペクトルを取得する測定(対象物Sを配置しない状態での測定)を行い、基準スペクトルを更新する校正作業が定期的に行われる。
10 光源装置
11 超短パルスレーザ
12 非線形素子
2 第一のパルス伸長器
21 角分散モジュール
211 回折格子
212 コリメータレンズ
213 集光レンズ
22 非平行ミラー対
221 平板ミラー
23 ビームスプリッタ
24 入射光学系
3 第二のパルス伸長器
4 照射光学系
5 検出器
6 演算手段
7 AD変換器
S 対象物
Claims (12)
- 広帯域パルス光を出射するパルス光源と、
パルス光源からの広帯域パルス光のパルス幅を伸長させる第一のパルス伸長器と、
第一のパルス伸長器でパルス幅が伸長された広帯域パルス光のパルス幅をさらに伸長させる第二のパルス伸長器とを備えており、
第一のパルス伸長器は、第二のパルス伸長器に対して広帯域パルス光を入射させた際に第二のパルス伸長器に非線形光学効果が生じる場合、同一の条件で広帯域パルス光を入射させた場合に非線形光学効果が生じない程度に広帯域パルス光のピーク強度を低下させるパルス伸長器であることを特徴とする広帯域パルス光源装置。 - 前記第一のパルス伸長器は、線形素子であることを特徴とする請求項1記載の広帯域パルス光源装置。
- 前記第一のパルス伸長器は、自由空間で波長毎に異なった遅延を生じさせることによりパルス幅を伸長させる機器であることを特徴とする請求項2記載の広帯域パルス光源装置。
- 前記第一のパルス伸長器は、前記広帯域パルス光を空間的に波長分散させる分散素子と、一対の平板ミラーを反射面を向かい合わせて非平行に対向させた非平行ミラー対と、集光光学系と、取り出し光学系とを備えており、
集光光学系は、分散素子が波長分散させた光を、非平行ミラー対のうちの一方の平板ミラーの反射面上の点に集光させる光学系であって、波長に応じて異なる角度で当該一点に集光させる光学系であり、
取り出し光学系は、非平行ミラー対を形成する一対の平板ミラーに交互に反射して戻ってきた各波長の光を取り出して前記第二のパルス伸長器に入射させる光学系であることを特徴とする請求項3記載の広帯域パルス光源装置。 - 前記集光光学系は、前記分散素子で波長分散させた光を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズが平行光にした光を集光して前記一点に集光させる集光レンズとを含んでおり、
前記取り出し光学系は、コリメータレンズと集光レンズとの間に配置されたビームスプリッタを含んでいることを特徴とする請求項4に記載の広帯域パルス光源装置。 - 前記ビームスプリッタは偏光ビームスプリッタであり、前記ビームスプリッタと前記非平行ミラー対との間には、λ/4波長板が配置されていることを特徴とする請求項5記載の広帯域パルス光源装置。
- 前記第一のパルス伸長器は、前記広帯域パルス光を空間的に波長分散させる分散素子と、集光光学系と、マルチモードファイバとを備えており、
集光光学系は、分散素子が波長分散した前記広帯域パルス光を波長に応じて異なった角度でマルチモードファイバに入射させる光学系であり、
前記第二のパルス伸長器は、マルチモードファイバの出射端からの光が入射する位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載の広帯域パルス光源装置。 - 前記パルス光源は、パルスレーザ源と、パルスレーザ源からのレーザ光に非線形光学効果を生じさせてスーパーコンティニウム光とする非線形素子とを備えたスーパーコンティニウム光源であることを特徴とする請求項1乃至7いずれかに記載の広帯域パルス光源装置。
- 第二のパルス伸長器は、シングルモードファイバであることを特徴とする請求項1乃至8いずれかに記載の広帯域パルス光源装置。
- 前記第二のパルス伸長器は、シングルモードのマルチコアファイバ又はシングルモードのバンドルファイバであることを特徴とする請求項1乃至8いずれかに記載の広帯域パルス光源装置。
- 前記請求項1乃至10いずれかに記載の広帯域パルス光源装置と、
この広帯域パルス光源装置からの広帯域パルス光が照射された対象物からの光が入射する位置に配置された検出器と、
検出器からの出力に従って対象物の分光スペクトルを算出する演算手段と
を備えており、
前記第一第二のパルス伸長器は、前記広帯域パルス光を1パルス内の経過時間と波長との関係が1対1になるようにパルス幅を伸長するパルス伸長器であることを特徴とする分光測定装置。 - 前記請求項1乃至10いずれかに記載の広帯域パルス光源装置からの広帯域パルス光を対象物に照射する照射工程と、
照射工程において広帯域パルス光が照射された対象物からの光を検出器で検出する検出工程と、
検出器からの出力に従って対象物の分光スペクトルを算出する演算処理工程と
を備えており、
前記第一第二のパルス伸長器は、前記広帯域パルス光を1パルス内の経過時間と波長との関係が1対1になるようにパルス幅を伸長するパルス伸長器であることを特徴とする分光測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019061999A JP7147657B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 広帯域パルス光源装置、分光測定装置及び分光測定方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019061999A JP7147657B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 広帯域パルス光源装置、分光測定装置及び分光測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020159972A JP2020159972A (ja) | 2020-10-01 |
JP7147657B2 true JP7147657B2 (ja) | 2022-10-05 |
Family
ID=72642956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019061999A Active JP7147657B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 広帯域パルス光源装置、分光測定装置及び分光測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7147657B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022042444A (ja) * | 2020-09-02 | 2022-03-14 | ウシオ電機株式会社 | パルス分光装置及びマルチファイバ用照射ユニット |
JP2022050277A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | ウシオ電機株式会社 | 分光測定方法、分光測定装置、製品検査方法、製品検査装置及び製品選別装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004020352A (ja) | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Tochigi Nikon Corp | テラヘルツパルス光計測方法及び装置 |
JP2005233683A (ja) | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Aisin Seiki Co Ltd | マルチチャンネルテラヘルツ波スペクトル測定法及び測定装置 |
JP2010008054A (ja) | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Olympus Corp | 多光子励起測定装置 |
JP2011113048A (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Canon Inc | 波長掃引光源、波長掃引光源を備えたss−oct装置 |
JP2017009455A (ja) | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 学校法人北里研究所 | 光干渉断層撮影用光源ユニット及び光干渉断層撮影装置 |
WO2018225799A1 (ja) | 2017-06-08 | 2018-12-13 | ウシオ電機株式会社 | 分光測定方法、分光測定装置及び広帯域パルス光源ユニット |
-
2019
- 2019-03-27 JP JP2019061999A patent/JP7147657B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004020352A (ja) | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Tochigi Nikon Corp | テラヘルツパルス光計測方法及び装置 |
JP2005233683A (ja) | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Aisin Seiki Co Ltd | マルチチャンネルテラヘルツ波スペクトル測定法及び測定装置 |
JP2010008054A (ja) | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Olympus Corp | 多光子励起測定装置 |
JP2011113048A (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Canon Inc | 波長掃引光源、波長掃引光源を備えたss−oct装置 |
JP2017009455A (ja) | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 学校法人北里研究所 | 光干渉断層撮影用光源ユニット及び光干渉断層撮影装置 |
WO2018225799A1 (ja) | 2017-06-08 | 2018-12-13 | ウシオ電機株式会社 | 分光測定方法、分光測定装置及び広帯域パルス光源ユニット |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020159972A (ja) | 2020-10-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220525 |
|
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