JP7146000B2 - Optical inspection device and optical inspection method - Google Patents

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Description

本開示は、光モジュールの検査に使用する光検査装置及びその光検査方法に関する。 The present disclosure relates to an optical inspection apparatus and an optical inspection method used for inspecting optical modules.

特許文献１には、１台で被測定信号光の光スペクトラムと、電気スペクトラムと、電気パワーを測定できる光スペクトラムアナライザが開示されている。 Patent Literature 1 discloses an optical spectrum analyzer capable of measuring the optical spectrum, electrical spectrum, and electrical power of the signal light under measurement with a single unit.

特開２０１２－４２３８０号公報JP 2012-42380 A

光モジュールなどを製造する場合、光サンプリングオシロスコープによる波形品質の検査が必要である。さらに、光モジュールは、使用対象により出力する光信号がＭＭＦ（マルチモード光ファイバ）用の８５０ｎｍ帯からＳＭＦ（シングルモード）用の１６５０ｎｍ帯まで波長が異なる。このため、光モジュールに対し、波形品質の検査に加え、様々な波長帯を対象とした光スペクトルアナライザによるスペクトル解析も行われることがある。 When manufacturing an optical module or the like, it is necessary to inspect the waveform quality using an optical sampling oscilloscope. Furthermore, optical modules output optical signals with different wavelengths, from the 850 nm band for MMF (multimode optical fiber) to the 1650 nm band for SMF (single mode), depending on the intended use. For this reason, optical modules are sometimes subjected to spectrum analysis by an optical spectrum analyzer targeting various wavelength bands in addition to waveform quality inspection.

通常、波形品質およびスペクトル解析を行う場合、それぞれ異なる測定器を用いて別々に測定する必要がある。このため、それぞれ異なる測定器への接続を変更することによる時間と作業工数の発生、及び接続ミスや設定ミスの可能性が生じる課題があった。 Waveform quality and spectrum analysis usually require separate measurements using different instruments. For this reason, there is a problem that time and man-hours are generated by changing the connection to each different measuring device, and the possibility of connection error or setting error occurs.

また、光サンプリングオシロスコープと、光スペクトルアナライザを組み合わせて自動的に測定しようとすれば、各々の筐体の設定をセットアップするだけでなく、それらの制御手順が複数倍必要となること、及び、入力信号切替のためのカプラや光スイッチなどの追加什器が必要となることにより構成が複雑化し、測定の自動化が困難という問題もあった。 In addition, if you try to automatically measure by combining an optical sampling oscilloscope and an optical spectrum analyzer, not only setting up the settings of each housing, but also those control procedures will be required multiple times. Additional fixtures such as couplers and optical switches for signal switching are required, which complicates the configuration and makes it difficult to automate measurements.

そこで、本発明は、前記課題を解決するために、作業工数を増加させずに波形品質と光スペクトル解析を同時に行うことができる光検査装置及び光検査方法を提供することを目的とする。 Therefore, in order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an optical inspection apparatus and an optical inspection method capable of simultaneously performing waveform quality and optical spectrum analysis without increasing the number of work steps.

上記目的を達成するために、本発明の請求項１の光検査装置は、
入力された光信号を光強度が不均等になるように分配する光カプラと、
分配された前記光信号の内の一方を受光する波形品質測定部と、
分配された前記光信号の内の他方を受光する光スペクトラム解析部と、
前記波形品質測定部が測定した波形及び前記光スペクトラム解析部が解析した光スペクトラムを表示する表示部と、
を備える。 In order to achieve the above object, the optical inspection device according to claim 1 of the present invention comprises:
an optical coupler that distributes the input optical signal so that the optical intensity is unequal;
a waveform quality measuring unit that receives one of the distributed optical signals;
an optical spectrum analyzer that receives the other of the distributed optical signals;
a display unit for displaying the waveform measured by the waveform quality measurement unit and the optical spectrum analyzed by the optical spectrum analysis unit;
Prepare.

本光検査装置は、一つの筐体の中に波形測定機能と光スペクトル解析機能を備え、検査対象の光信号をそれぞれが所望する光強度に不等分岐して供給する。このため、作業者による入力切替やセットアップ等の工数を削減できる。従って、本発明は、作業工数を増加させずに波形品質と光スペクトル解析を同時に行うことができる光検査装置を提供することができる。 This optical inspection apparatus has a waveform measurement function and an optical spectrum analysis function in one housing, and supplies an optical signal to be inspected by unequal branching into desired optical intensities. Therefore, man-hours such as input switching and setup by the operator can be reduced. Therefore, the present invention can provide an optical inspection apparatus capable of simultaneously performing waveform quality and optical spectrum analysis without increasing the number of work steps.

本発明の請求項２の光検査装置の前記光カプラは、前記光信号の分配比が可変であることを特徴とする。 The optical coupler of the optical inspection apparatus according to claim 2 of the present invention is characterized in that the distribution ratio of the optical signal is variable.

このため、検査対象の光モジュールに応じて分配比を適宜変更することができる。 Therefore, the distribution ratio can be appropriately changed according to the optical module to be inspected.

本発明の請求項３の光検査装置は、
前記波形品質測定部と前記光スペクトラム解析部の少なくとも一方のＳＮ比を取得するＳＮ比判定部と、
当該ＳＮ比が閾値を満たすように前記光カプラの前記分配比を変更する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする。 In the optical inspection device according to claim 3 of the present invention,
an SN ratio determination unit that acquires the SN ratio of at least one of the waveform quality measurement unit and the optical spectrum analysis unit;
a control unit that changes the distribution ratio of the optical coupler so that the SN ratio satisfies a threshold;
is further provided.

このため、検査対象の光モジュールに応じて分配比を自動的に変更することができる。 Therefore, the distribution ratio can be automatically changed according to the optical module to be inspected.

本発明の請求項４の光検査装置の前記表示部は、前記波形及び前記光スペクトラムを並べて表示することを特徴とする。 According to claim 4 of the present invention, the display section of the optical inspection apparatus displays the waveform and the optical spectrum side by side.

このため、表示画面上に波形と光スペクトラムを並べて表示することで、波形異常が発生したときに波長起因であるのか否かを瞬時に判断できる。 Therefore, by displaying the waveform and the optical spectrum side by side on the display screen, when a waveform abnormality occurs, it can be instantly judged whether or not it is caused by the wavelength.

また、本発明の請求項５に係る光検査方法は、
入力された光信号を光強度が不均等になるように光カプラで分配すること、
分配された前記光信号の内の一方で波形を測定すること、
分配された前記光信号の内の他方で光スペクトラムを解析すること、及び
前記波形及び前記光スペクトラムを表示部に表示すること
を特徴とする。 In addition, the optical inspection method according to claim 5 of the present invention,
distributing the input optical signal by an optical coupler so that the optical intensity is unequal;
measuring the waveform of one of the split optical signals;
Analyzing the optical spectrum of the other of the distributed optical signals, and displaying the waveform and the optical spectrum on a display unit.

本光検査方法は、一つの筐体の中に波形測定機能と光スペクトル解析機能を備え、検査対象の光信号をそれぞれが所望する光強度に不等分岐して供給する。このため、作業者による入力切替やセットアップ等の工数を削減できる。従って、本発明は、作業工数を増加させずに波形品質と光スペクトル解析を同時に行うことができる光検査方法を提供することができる。 This optical inspection method has a waveform measurement function and an optical spectrum analysis function in one housing, and supplies an optical signal to be inspected by unequal branching into desired optical intensities. Therefore, man-hours such as input switching and setup by the operator can be reduced. Therefore, the present invention can provide an optical inspection method capable of simultaneously performing waveform quality and optical spectrum analysis without increasing the number of work steps.

本発明の請求項６に係る光検査方法は、前記光カプラの前記光信号の分配比が可変であることを特徴とする。 The optical inspection method according to claim 6 of the present invention is characterized in that the distribution ratio of the optical signal of the optical coupler is variable.

このため、検査対象の光モジュールに応じて分配比を適宜変更することができる。 Therefore, the distribution ratio can be appropriately changed according to the optical module to be inspected.

本発明の請求項７に係る光検査方法は、
前記波形と前記光スペクトラムの少なくとも一方のＳＮ比を取得すること、及び
当該ＳＮ比が閾値を満たすように前記光カプラの前記分配比を変更すること、
をさらに行うことを特徴とする。 An optical inspection method according to claim 7 of the present invention,
obtaining a signal-to-noise ratio of at least one of the waveform and the optical spectrum; and changing the distribution ratio of the optical coupler such that the signal-to-noise ratio satisfies a threshold;
is further performed.

このため、検査対象の光モジュールに応じて分配比を自動的に変更することができる。 Therefore, the distribution ratio can be automatically changed according to the optical module to be inspected.

本発明の請求項８に係る光検査方法は、前記表示部に前記波形及び前記光スペクトラムを並べて表示することを特徴とする。 An optical inspection method according to claim 8 of the present invention is characterized in that the waveform and the optical spectrum are displayed side by side on the display unit.

このため、表示画面上に波形と光スペクトラムを並べて表示することで、波形異常が発生したときに波長起因であるのか否かを瞬時に判断できる。 Therefore, by displaying the waveform and the optical spectrum side by side on the display screen, when a waveform abnormality occurs, it can be instantly judged whether or not it is caused by the wavelength.

なお、上記各発明は、可能な限り組み合わせることができる。 The above inventions can be combined as much as possible.

本発明によれば、それぞれ異なる測定器への接続を変更することによる時間と作業工数の発生、及び接続ミス、設定ミスの可能性を排除することができる。また、本発明によれば、光サンプリングオシロスコープと、光スペクトルアナライザを組み合わせて自動的に測定しようとする際に、構成を簡素化し、測定の自動化を容易に行うことができる。このように、本発明によれば、作業工数を増加させずに波形品質と光スペクトル解析を同時に行うことができる光検査装置及び光検査方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to eliminate the occurrence of time and work man-hours caused by changing connections to different measuring instruments, and the possibility of connection errors and setting errors. Moreover, according to the present invention, when an optical sampling oscilloscope and an optical spectrum analyzer are combined to perform automatic measurement, the configuration can be simplified and the measurement can be easily automated. As described above, according to the present invention, it is possible to provide an optical inspection apparatus and an optical inspection method capable of simultaneously performing waveform quality and optical spectrum analysis without increasing the number of work steps.

本発明に係る光検査装置を説明する図である。It is a figure explaining the optical inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る光検査装置の表示部が表示する波形の例である。It is an example of the waveform which the display part of the optical inspection apparatus which concerns on this invention displays. 本発明に係る光検査装置の光カプラの構造を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the optical coupler of the optical inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る光検査装置を説明する図である。It is a figure explaining the optical inspection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る光検査方法を説明するフローチャートである。It is a flow chart explaining an optical inspection method concerning the present invention.

添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are examples of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiments. In addition, in this specification and the drawings, constituent elements having the same reference numerals are the same as each other.

（実施形態１）
図１は、本実施形態の光検査装置３０１を説明する図である。光検査装置３０１は、
入力部１０から入力された光信号を光強度が不均等になるように分配する光カプラ１１と、
分配された前記光信号の内の一方を受光する波形品質測定部１２と、
分配された前記光信号の内の他方を受光する光スペクトラム解析部１３と、
波形品質測定部１２が測定した波形及び光スペクトラム解析部１３が解析した光スペクトラムを表示する表示部１４と、
を１つの筐体内に備える。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a diagram for explaining an optical inspection device 301 of this embodiment. The optical inspection device 301 is
an optical coupler 11 that distributes the optical signal input from the input unit 10 so that the optical intensity is unequal;
a waveform quality measuring unit 12 that receives one of the distributed optical signals;
an optical spectrum analyzer 13 for receiving the other of the distributed optical signals;
a display unit 14 for displaying the waveform measured by the waveform quality measurement unit 12 and the optical spectrum analyzed by the optical spectrum analysis unit 13;
are provided in one housing.

被試験デバイス５０は光検査装置３０１で検査する対象である光モジュールである。被試験デバイス５０は、例えば、ＳＦＰ（Ｓｍａｌｌ Ｆｏｒｍ－ｆａｃｔｏｒ Ｐｌｕｇｇａｂｌｅ）、ＣＦＰ（Ｃ Ｆｏｒｍ－ｆａｃｔｏｒ Ｐｌｕｇｇａｂｌｅ）、ＱＳＦＰ（Ｑｕａｄ ＳＦＰ）、あるいはＱＳＦＰ－ＤＤ（ＱＳＦＰ－Ｄｏｕｂｌｅ Ｄｅｎｓｉｔｙ）のような光トランシーバである。 The device under test 50 is an optical module to be inspected by the optical inspection apparatus 301 . The device under test 50 is, for example, an optical transceiver such as SFP (Small Form-factor Pluggable), CFP (C Form-factor Pluggable), QSFP (Quad SFP), or QSFP-DD (QSFP-Double Density).

被試験デバイス５０が出力した光信号は入力部１０に入力される。光カプラ１１は高分岐比の光カプラであり、当該光信号を不等分岐する。例えば、光カプラ１１は９９：１の分岐比率を持つ。当該光信号のパワーが０ｄＢｍである場合、光カプラ１１は当該光信号を－０．０４４ｄＢｍと－２０ｄＢｍの光信号に分岐する。 An optical signal output from the device under test 50 is input to the input section 10 . The optical coupler 11 is an optical coupler with a high branching ratio, and unequally branches the optical signal. For example, optical coupler 11 has a branching ratio of 99:1. When the power of the optical signal is 0 dBm, the optical coupler 11 splits the optical signal into -0.044 dBm and -20 dBm optical signals.

波形品質測定部１２は、光を電気に変換する光学素子１２ａと、光学素子１２ａからの電気信号の電圧を測定し、時間波形とする波形測定部１２ｂとを備える。波形品質測定部１２は、例えば、光サンプリングオシロスコープである。 The waveform quality measuring unit 12 includes an optical element 12a that converts light into electricity, and a waveform measuring unit 12b that measures the voltage of the electrical signal from the optical element 12a and uses it as a time waveform. The waveform quality measuring section 12 is, for example, an optical sampling oscilloscope.

光スペクトラム解析部１３は、光を分光する光学素子１３ａと、分光された光の光強度を測定するスペクトラム測定部１３ｂとを備える。光スペクトラム解析部１３は、例えば、特許文献１に記載されるような光スペクトラムアナライザである。 The optical spectrum analysis unit 13 includes an optical element 13a that disperses light and a spectrum measurement unit 13b that measures the light intensity of the separated light. The optical spectrum analysis unit 13 is, for example, an optical spectrum analyzer as described in Patent Document 1.

光スペクトラム解析部１３は、例えば－５０ｄＢｍ以上の感度であり、低入力による光スペクトラム測定も可能である。そこで、光カプラ１１は、不等分岐した光信号の内、パワーが大きいほうの光信号を波形品質測定部１２へ入力し、パワーが小さいほうの光信号を光スペクトラム解析部１３に入力する。 The optical spectrum analysis unit 13 has a sensitivity of, for example, -50 dBm or more, and is capable of optical spectrum measurement with a low input. Therefore, the optical coupler 11 inputs the optical signal with the higher power among the unequal branched optical signals to the waveform quality measuring section 12 and inputs the optical signal with the lower power to the optical spectrum analysis section 13 .

表示部１４は、波形品質測定部１２が測定した波形及び光スペクトラム解析部１３が解析した光スペクトラムを表示する。このとき、表示部１４は、前記波形及び前記光スペクトラムを並べて表示することが好ましい。図２は、表示部１４が表示する波形の例である。図２（ａ）は正常な波形であり、図２（ｂ）は異常な波形である。表示部１４で波形と光スペクトラムを並べて表示することで、図２（ｂ）のような波形が表示されたとき、同時に表示されている光スペクトラムを確認することで、波形異常の原因が波長起因であるのか否かを作業者は即座に判断できる。 The display unit 14 displays the waveform measured by the waveform quality measurement unit 12 and the optical spectrum analyzed by the optical spectrum analysis unit 13 . At this time, the display unit 14 preferably displays the waveform and the optical spectrum side by side. FIG. 2 is an example of waveforms displayed by the display unit 14 . FIG. 2(a) is a normal waveform, and FIG. 2(b) is an abnormal waveform. By displaying the waveform and the optical spectrum side by side on the display unit 14, when a waveform such as that shown in FIG. The operator can immediately determine whether or not it is.

つまり、光検査装置３０１は、波形品質測定部１２に小パワーで測定可能な光スペクトラム解析部１３を並列させ、それぞれに応じた比率で光信号を分配して測定させることで、従来、個々の測定器で行われていた波形品質測定と光スペクトラム解析を１台の装置で且つ同時に行うことができる。
また、光検査装置３０１は、１つの筐体で構成されるため、被試験デバイス５０からの光信号を他の装置へ入力し直すこと、又はそのためのカプラや光スイッチなどの什器を用意することが不要となり、作業者の工数や什器のためのコストを削減することができる。
さらに、光検査装置３０１は、被試験デバイス５０からの光信号が波形異常である場合、その原因を容易に判断できる。 In other words, the optical inspection apparatus 301 arranges the waveform quality measuring unit 12 in parallel with the optical spectrum analysis unit 13 capable of measuring with a small power, and distributes the optical signal at a ratio corresponding to each of them for measurement. Waveform quality measurement and optical spectrum analysis, which have been performed by a measuring instrument, can be performed simultaneously with a single device.
In addition, since the optical inspection apparatus 301 is composed of a single housing, it is not necessary to reinput the optical signal from the device under test 50 to another apparatus, or to prepare fixtures such as a coupler or an optical switch for that purpose. is not required, and the man-hours of workers and the costs for fixtures can be reduced.
Furthermore, when the optical signal from the device under test 50 has an abnormal waveform, the optical inspection apparatus 301 can easily determine the cause.

（実施形態２）
本実施形態の光検査装置は、図１の光検査装置３０１において、光カプラ１１が、前記光信号の分配比が可変であることを特徴とする。被試験デバイス５０が出力する光信号のパワーは被試験デバイス５０により変化する。このため、光カプラ１１の分配比が固定であると、波形品質測定部１２や光スペクトラム解析部１３に対して適切でないパワーの光を光カプラ１１が出力することになる。そこで、本実施形態の光検査装置は、波形品質測定部１２や光スペクトラム解析部１３が求めるパワーの光となるように光カプラ１１の分配比を可変することができる。 (Embodiment 2)
The optical inspection apparatus of this embodiment is characterized in that, in the optical inspection apparatus 301 of FIG. 1, the optical coupler 11 has a variable distribution ratio of the optical signal. The power of the optical signal output by the device under test 50 varies depending on the device under test 50 . Therefore, if the distribution ratio of the optical coupler 11 is fixed, the optical coupler 11 will output light of power that is inappropriate for the waveform quality measuring section 12 and the optical spectrum analyzing section 13 . Therefore, the optical inspection apparatus of the present embodiment can vary the distribution ratio of the optical coupler 11 so that the waveform quality measuring unit 12 and the optical spectrum analyzing unit 13 obtain the light with the power required.

分配比可変型の光カプラ１１としては、図３のような構成が例示できる。光カプラ１１は、光スイッチ（１１ａ～１１ｃ）及び光カプラ（１１－１～１１－ｎ；ｎは自然数）を備える。それぞれの光カプラ（１１－１～１１－ｎ）は分配比が異なる。例えば、光カプラ１１－１の分配比は７０：３０、光カプラ１１－２の分配比は８０：２０、光カプラ１１－３の分配比は９０：１０、光カプラ１１－ｎの分配比は９９：１である。全ての光スイッチは連動する。例えば、光スイッチ１１ａが光信号を光カプラ１１－２に結合する場合、光スイッチ１１ｂと光スイッチ１１ｃは光カプラ１１－２を選択する。 As an optical coupler 11 of variable distribution ratio type, a configuration as shown in FIG. 3 can be exemplified. The optical coupler 11 includes optical switches (11a to 11c) and optical couplers (11-1 to 11-n; n is a natural number). Each optical coupler (11-1 to 11-n) has a different distribution ratio. For example, the distribution ratio of the optical coupler 11-1 is 70:30, the distribution ratio of the optical coupler 11-2 is 80:20, the distribution ratio of the optical coupler 11-3 is 90:10, and the distribution ratio of the optical coupler 11-n is 99:1. All optical switches work together. For example, when optical switch 11a couples an optical signal to optical coupler 11-2, optical switches 11b and 11c select optical coupler 11-2.

（実施形態３）
図４は、本実施形態の光検査装置３０２を説明する図である。光検査装置３０２は、図１の光検査装置３０１に対して、実施形態２で説明した分配比が可変である光カプラ１１と、波形品質測定部１２と光スペクトラム解析部１３の少なくとも一方のＳＮ比を取得するＳＮ比判定部１５と、当該ＳＮ比が閾値を満たすように光カプラ１１の前記分配比を変更する制御部１６と、をさらに備える。 (Embodiment 3)
FIG. 4 is a diagram illustrating the optical inspection device 302 of this embodiment. Optical inspection apparatus 302 is different from optical inspection apparatus 301 in FIG. It further includes an SN ratio determination unit 15 that acquires a ratio, and a control unit 16 that changes the distribution ratio of the optical coupler 11 so that the SN ratio satisfies a threshold.

光カプラ１１の分配比によっては、光スペクトラム解析部１３に入る光信号強度が光スペクトラム解析部１３で十分に測定ができる値に達せず、測定が正常に行われないことがある。測定が正常に行われないことがないように、光検査装置３０２は、ＳＮ比判定部１５でＳＮ比を観測し、制御部１６で光スイッチ（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）を切り替え、分配比の違う光カプラ（１１－１、１１－２）の中からＳＮ比が良好となる光カプラを選択する。光検査装置３０２は、ＳＮ比判定部１５と制御部１６を備えることで、光スペクトル解析部１３に入る信号強度を上げることができ、被試験デバイス５０からの光信号パワーが低い場合であっても、波形品質測定及び光スペクトラム解析を同時に実施可能となる。 Depending on the distribution ratio of the optical coupler 11, the optical signal intensity entering the optical spectrum analysis unit 13 may not reach a value sufficient for measurement by the optical spectrum analysis unit 13, and the measurement may not be performed normally. The optical inspection device 302 observes the SN ratio with the SN ratio determination unit 15, switches the optical switches (11a, 11b, 11c) with the control unit 16, and determines the distribution ratio so that the measurement is not performed normally. An optical coupler with a good SN ratio is selected from different optical couplers (11-1, 11-2). The optical inspection apparatus 302 is provided with the SN ratio determination section 15 and the control section 16, so that the signal strength entering the optical spectrum analysis section 13 can be increased, and even when the optical signal power from the device under test 50 is low, Also, waveform quality measurement and optical spectrum analysis can be performed simultaneously.

図４では、光スペクトラム解析部１３の測定結果を用いてカプラ１１の分配比を変更する構造を説明したが、カプラ１１の分配比の変更は、波形品質測定部１２の測定結果を用いてもよいし、波形品質測定部１２と光スペクトラム解析部１３の双方の測定結果を用いてもよい。 In FIG. 4, the structure for changing the distribution ratio of the coupler 11 using the measurement result of the optical spectrum analysis unit 13 has been described, but the change of the distribution ratio of the coupler 11 can also be performed using the measurement result of the waveform quality measurement unit 12. Alternatively, the measurement results of both the waveform quality measurement section 12 and the optical spectrum analysis section 13 may be used.

（実施形態４）
図５は、光検査装置３０１を使って被試験デバイス５０の検査を行う光検査方法を説明するフローチャートである。本光検査方法は、
入力された光信号を光強度が不均等になるように光カプラ１１で分配すること（ステップＳ０１）、
分配された前記光信号の内の一方で波形を測定すること、且つ分配された前記光信号の内の他方で光スペクトラムを解析すること（ステップＳ０２）、及び
前記波形及び前記光スペクトラム光スペクトラムを表示部１４に表示すること（ステップＳ０３）
を特徴とする。 (Embodiment 4)
FIG. 5 is a flowchart for explaining an optical inspection method for inspecting the device under test 50 using the optical inspection apparatus 301 . This optical inspection method is
distributing the input optical signal by the optical coupler 11 so that the optical intensity becomes unequal (step S01);
measuring the waveform of one of the distributed optical signals, analyzing the optical spectrum of the other of the distributed optical signals (step S02), and analyzing the waveform and the optical spectrum Displaying on the display unit 14 (step S03)
characterized by

図４で説明した光検査装置３０２を使う場合、次のステップを行ってもよい。
前記波形と前記光スペクトラムの少なくとも一方のＳＮ比を取得すること（ステップＳ１１）、及び
当該ＳＮ比が閾値を満たすように前記光カプラの前記分配比を変更すること（ステップＳ１２）、
をさらに行う。 When using the optical inspection device 302 described in FIG. 4, the following steps may be performed.
obtaining the SN ratio of at least one of the waveform and the optical spectrum (step S11); and changing the distribution ratio of the optical coupler so that the SN ratio satisfies a threshold (step S12);
further.

（効果）
従来、別の測定器を用いて波形品質測定および光スペクトラム解析を行っていたが、本発明の光検査装置は、１台で波形品質測定および光スペクトラム解析を同時に実施することができる。また、それぞれ異なる測定器への接続を変更することによる時間と作業工数の発生、及び接続ミスや設定ミスの可能性を排除することができる。また、本発明によれば、光サンプリングオシロスコープと、光スペクトルアナライザを組み合わせて自動的に測定しようとする際に、構成を簡素化し、測定の自動化を容易に行うことができる。さらに、本発明の光検査装置は、１筐体のため入力信号を差し直す必要がなく、カプラや光スイッチなど追加の什器が不要となり、作業者の工数や追加什器のためのコストを削減することができる。 (effect)
Conventionally, waveform quality measurement and optical spectrum analysis have been performed using separate measuring instruments, but the optical inspection apparatus of the present invention can simultaneously perform waveform quality measurement and optical spectrum analysis with a single unit. In addition, it is possible to eliminate the possibility of time and work man-hours caused by changing connections to different measuring instruments, as well as connection errors and setting errors. Moreover, according to the present invention, when an optical sampling oscilloscope and an optical spectrum analyzer are combined to perform automatic measurement, the configuration can be simplified and the measurement can be easily automated. Furthermore, the optical inspection apparatus of the present invention does not need to reconnect the input signal because it is a single housing, and additional fixtures such as couplers and optical switches are unnecessary, reducing the man-hours of the operator and the cost for additional fixtures. be able to.

１０：入力部
１１：光カプラ
１１－１、１１－２、・・・、１１－ｎ：光カプラ
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ：光スイッチ
１２：波形品質測定部
１２ａ：光学素子
１２ｂ：波形観測部
１３：光スペクトラム解析部
１３ａ：光学素子
１３ｂ：スペクトラム測定部
１４：表示部
１５：ＳＮ比判定部
１６：制御部
５０：被試験デバイス
３０１、３０２：光検査装置 10: Input unit 11: Optical couplers 11-1, 11-2, . : Optical spectrum analysis unit 13a: Optical element 13b: Spectrum measurement unit 14: Display unit 15: SN ratio determination unit 16: Control unit 50: Device under test 301, 302: Optical inspection device

Claims (4)

１つの筐体内に、
検査対象である光モジュールが着脱可能に接続され、前記光モジュールからの光が光信号として入力される入力部と、
入力された前記光信号を光強度が不均等になるように分配するために、光信号の分配比が互いに異なる複数の分岐比固定光カプラと、前記分岐比固定光カプラのいずれかを選択する光スイッチとを有する光カプラと、
分配された前記光信号の内、パワーが大きい方の光を受光する波形品質測定部と、
分配された前記光信号の内、パワーが小さい方の光を受光する光スペクトラム解析部と、
前記波形品質測定部が測定した波形及び前記光スペクトラム解析部が解析した光スペクトラムを表示する表示部と、
前記波形品質測定部と前記光スペクトラム解析部の少なくとも一方のＳＮ比を取得するＳＮ比判定部と、
前記分岐比固定光カプラを選択することによって、当該ＳＮ比が閾値を満たすように前記光カプラの前記分配比を変更する制御部と、
を備える光検査装置。 in one housing,
an input unit to which an optical module to be inspected is detachably connected and to which light from the optical module is input as an optical signal;
Either a plurality of fixed branching ratio optical couplers having different optical signal distribution ratios or the fixed branching ratio optical coupler is selected in order to distribute the input optical signal so that the optical intensity is unequal. an optical coupler having an optical switch ;
a waveform quality measuring unit that receives light having higher power among the distributed optical signals;
an optical spectrum analysis unit that receives light having smaller power among the distributed optical signals;
a display unit for displaying the waveform measured by the waveform quality measurement unit and the optical spectrum analyzed by the optical spectrum analysis unit;
an SN ratio determination unit that acquires the SN ratio of at least one of the waveform quality measurement unit and the optical spectrum analysis unit;
a control unit that changes the distribution ratio of the optical coupler so that the signal-to-noise ratio satisfies a threshold by selecting the fixed branching ratio optical coupler;
Optical inspection device. 前記表示部は、前記波形及び前記光スペクトラムを並べて表示することを特徴とする請求項１に記載の光検査装置。 2. The optical inspection apparatus according to claim 1 , wherein the display unit displays the waveform and the optical spectrum side by side. １つの筐体で構成された光検査装置に検査対象である光モジュールを接続すること、及び前記光検査装置に前記光モジュールからの光を光信号として入力すること、を行い、
前記光検査装置において、
入力された前記光信号を光強度が不均等になるように光カプラで分配すること、
分配された前記光信号の内、パワーが大きい方の光で波形を測定すること、
分配された前記光信号の内、パワーが小さい方の光で光スペクトラムを解析すること、及び
前記波形及び前記光スペクトラムを表示部に表示すること、
を特徴とする光検査方法であって、
前記光カプラは、前記光信号の分配比が互いに異なる複数の分岐比固定光カプラと、前記分岐比固定光カプラのいずれかを選択する光スイッチとを有しており、
前記波形と前記光スペクトラムの少なくとも一方のＳＮ比を取得すること、及び
当該ＳＮ比が閾値を満たす前記分配比の前記分岐比固定光カプラを選択するように前記光スイッチを切り替えること
を特徴とする光検査方法。 connecting an optical module to be inspected to an optical inspection device configured by one housing , and inputting light from the optical module to the optical inspection device as an optical signal ;
In the optical inspection device,
distributing the input optical signal by an optical coupler so that the optical intensity is unequal;
measuring the waveform of the light having the higher power among the distributed optical signals;
Analyzing an optical spectrum with light having a smaller power among the distributed optical signals, and displaying the waveform and the optical spectrum on a display unit;
An optical inspection method characterized by
The optical coupler has a plurality of fixed branching ratio optical couplers having mutually different optical signal distribution ratios, and an optical switch for selecting one of the fixed branching ratio optical couplers,
obtaining a signal-to-noise ratio of at least one of the waveform and the optical spectrum; and
Switching the optical switch so as to select the fixed branching ratio optical coupler with the distribution ratio whose SN ratio satisfies a threshold.
An optical inspection method characterized by: 前記表示部には、前記波形及び前記光スペクトラムを並べて表示することを特徴とする請求項３に記載の光検査方法。 4. The optical inspection method according to claim 3 , wherein the waveform and the optical spectrum are displayed side by side on the display unit.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005259736A (en) 2004-03-09 2005-09-22 Fujitsu Ltd Optical transmission apparatus using extensive input dynamic range optical amplifier
US20060232848A1 (en) 2005-04-14 2006-10-19 Nec Laboratories America, Inc. Colorless Differential Phase Shift Keyed and Low Crosstalk Demodulators
WO2014104038A1 (en) 2012-12-26 2014-07-03 国立大学法人東京農工大学 Wavelength conversion device
US20180321293A1 (en) 2017-05-01 2018-11-08 Elite Rf Llc Multi-Purpose RF Test System
CN106443053B (en) 2016-09-06 2019-03-26 北京航空航天大学 A kind of detonation wave velocity measuring system and method based on chirp grating
JP2020155925A (en) 2019-03-20 2020-09-24 日本電信電話株式会社 Wavelength cross-connect device, branch ratio variable method and program
US20200313389A1 (en) 2019-03-27 2020-10-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Laser device and method of transforming laser spectrum

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5895322B2 (en) * 2013-10-29 2016-03-30 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 Optical device temperature characteristics measurement method
JP2018031612A (en) * 2016-08-23 2018-03-01 日立金属株式会社 Optical device and inspection system

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005259736A (en) 2004-03-09 2005-09-22 Fujitsu Ltd Optical transmission apparatus using extensive input dynamic range optical amplifier
US20060232848A1 (en) 2005-04-14 2006-10-19 Nec Laboratories America, Inc. Colorless Differential Phase Shift Keyed and Low Crosstalk Demodulators
WO2014104038A1 (en) 2012-12-26 2014-07-03 国立大学法人東京農工大学 Wavelength conversion device
CN106443053B (en) 2016-09-06 2019-03-26 北京航空航天大学 A kind of detonation wave velocity measuring system and method based on chirp grating
US20180321293A1 (en) 2017-05-01 2018-11-08 Elite Rf Llc Multi-Purpose RF Test System
JP2020155925A (en) 2019-03-20 2020-09-24 日本電信電話株式会社 Wavelength cross-connect device, branch ratio variable method and program
US20200313389A1 (en) 2019-03-27 2020-10-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Laser device and method of transforming laser spectrum

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