JP7135866B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents

Description

本技術は、磁気記録媒体に関する。

近年、ＩＴ（情報技術）社会の発展、図書館や公文書館などの電子化、およびビジネス文書の長期保管などにより、データストレージ用メディアとしての磁気記録媒体の高記録密度化の要求が高まっている。

この要求に応えるべく、ＬＴＯ（Linear Tape Open）６対応の最近の磁気記録媒体では、針状磁性粉に代えて六方晶バリウムフェライト磁性粉が用いられている。今後、針状磁性粉の長手記録方式からバリウムフェライト磁性粉の垂直記録方式へ移行する高密度記録化のロードマップが描かれている（例えば非特許文献１参照）。高密度記録化を実現するための磁性粉としては、上記バリウムフェライト磁性粉以外にも、立方晶のＣｏＭｎ系スピネルフェライト磁性粉を用いる技術（例えば特許文献１参照）、ε－Ｆｅ₂Ｏ₃磁性粉を用いる技術（例えば特許文献２参照）などが報告されている。

特許第４６８７１３６号公報

特許第５０１３５０５号公報

IEEE Trans. Magn. Vol.47, No.1,P137(2011)

将来の高記録密度の磁気記録媒体においては、良好なＳＮＲ（Signal-Noise Ratio）を得ることができ、かつ、ＮＬＴＳ（non linear transition shift：非線形転移点シフト）を抑制することが重要となってくる。

本技術の目的は、良好なＳＮＲを得ることができ、かつ、ＮＬＴＳを抑制できる磁気記録媒体を提供することにある。

上述の課題を解決するために、本技術は、最短記録波長が７５ｎｍ以下である記録再生装置に用いられる磁気記録媒体であって、ε酸化鉄を含む粒子の粉末を含む記録層を備え、粒子の平均粒子サイズが、２２ｎｍ以下であり、保磁力Ｈｃが、２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下であり、活性化体積Ｖ _ａｃｔ が、５０００ｎｍ ^３ 以下であり、記録層が設けられている側の表面の算術平均粗さＲａが、２．５ｎｍ以下であり、磁気記録媒体の走行方向に測定した角形比が、３０％以下であり、記録層の平均厚みが、３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下であり、非線形転移点シフトが２０％以下である磁気記録媒体である。

本技術によれば、良好なＳＮＲを得ることができ、かつ、ＮＬＴＳを抑制できる磁気記録媒体を実現できる。

本技術の一実施形態に係る磁気記録媒体の構成を示す断面図である。 磁性粒子の構成を示す断面図である。 平均粒子サイズの定義を説明するための概略図である。 磁性粒子の構成を示す断面図である。 磁気記録媒体の構成を示す断面図である。 磁気記録媒体の構成を示す断面図である。 磁気記録媒体の構成を示す断面図である。 測定装置の構成を示すブロック図である。

本技術の実施形態について以下の順序で説明する。
磁気記録媒体の構成
磁気記録媒体の製造方法
効果
変形例

［磁気記録媒体の構成］
本技術の一実施形態に係る磁気記録媒体は、７５ｎｍ以下の最短記録波長で信号を記録可能に構成された垂直磁気記録媒体（垂直磁気記録方式の磁気記録媒体）である。より具体的には最短記録波長が７５ｎｍ以下である記録再生装置に用いられる垂直磁気記録媒体である。上記記録再生装置は、記録用ヘッドとしてリング型ヘッドを備え、リング型ヘッドにより最短記録波長７５ｎｍ以下で信号を磁気記録媒体に記録する。また、磁気記録媒体は長尺状を有し、記録再生の際には長手方向に走行される。

磁気記録媒体は、図１に示すように、長尺状の基体１１と、基体１１の一方の主面上に設けられた下地層（非磁性層）１２と、下地層１２上に設けられた記録層（磁性層）１３とを備える。磁気記録媒体が、必要に応じて、記録層１３上に設けられた保護層（図示せず）および潤滑剤層（図示せず）などをさらに備えるようにしてもよい。また、必要に応じて、基体１１の他方の主面上に設けられたバックコート層１４をさらに備えるようにしてもよい。

（保磁力Ｈｃ）
磁気記録媒体の厚み方向（垂直方向）に測定した保磁力Ｈｃが、２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下、好ましくは２３０ｋＡ／ｍ以上３００ｋＡ／ｍ以下である。保磁力Ｈｃが２２０ｋＡ／ｍ未満であると、良好なＳＮＲが得られなくなり、かつ、ＮＬＴＳを抑制できなくなる虞がある。一方、保磁力Ｈｃが３２０ｋＡ／ｍを超えると、良好なＳＮＲが得られなくなる虞がある。

上記の保磁力Ｈｃは以下のようにして求められる。まず、長尺状の磁気記録媒体から測定サンプルを切り出し、振動試料型磁力計（Vibrating Sample Magnetometer：ＶＳＭ）を用いて測定サンプルの厚み方向（磁気記録媒体表面に垂直な方向）に測定サンプル全体のＭ－Ｈループを測定する。次に、アセトンおよびエタノールなどを用いて塗膜（下地層１２、記録層１３など）を払拭し、基体１１のみを残して、バックグラウンド補正用として、基体１１のＭ－Ｈループを同様に基体１１の厚み方向に測定する。その後、測定サンプル全体のＭ－Ｈループから基体１１のＭ－Ｈループを引き算して、バックグラウンド補正後のＭ－Ｈループを算出する。得られたＭ－Ｈループから保磁力Ｈｃを求める。なお、上記のＭ－Ｈループの測定はいずれも、室温（２３℃）にて行われるものとする。

（ＮＬＴＳ）
ＮＬＴＳが、２０％以下、好ましくは１７％以下、より好ましくは１５％以下である。
ＮＬＴＳが２０％を超えると、前歴の磁気信号の影響を大きく受けて、ＳＮＲが劣化する。ＮＬＴＳ自体は、記録ヘッドの磁界が前歴の磁化信号の反磁界の影響を受けることにより発生してしまうため、なくすことは難しいが、保磁力Ｈｃを大きくすることにより反磁界の影響を小さくすることができる。

（算術平均粗さＲａ）
記録層１３が設けられている側の表面の算術平均粗さＲａは、好ましくは２．５ｎｍ以下、より好ましくは２．０ｎｍ以下である。Ｒａが２．５ｎｍ以下であると、より優れたＳＮＲを得ることができる。

上記の算術平均粗さＲａは以下のようにして求められる。まず、ＡＦＭ（Atomic Force Microscope）（ブルカー製、Dimension Icon）を用いて記録層１３が設けられている側の表面を観察して、断面プロファイルを取得する。次に、取得した断面プロファイルから、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に準拠して算術平均粗さＲａを求める。

（角形比Ｓ）
磁気記録媒体の走行方向に測定した角形比Ｓが、好ましくは３０％以下、より好ましくは２５％以下である。角形比Ｓが３０％以下であると、磁性粉の垂直配向性が十分に高くなるため、より優れたＳＮＲを得ることができる。

上記の角形比Ｓは以下のようにして求められる。まず、長尺状の磁気記録媒体から測定サンプルを切り出し、ＶＳＭを用いて磁気記録媒体の走行方向（長手方向）に対応する測定サンプル全体のＭ－Ｈループを測定する。次に、アセトンおよびエタノールなどを用いて塗膜（下地層１２、記録層１３など）を払拭し、基体１１のみを残して、バックグラウンド補正用として、基体１１のＭ－Ｈループを同様に走行方向に測定する。その後、測定サンプル全体のＭ－Ｈループから基体１１のＭ－Ｈループを引き算して、バックグラウンド補正後のＭ－Ｈループを算出する。得られたＭ－Ｈループの飽和磁化Ｍｓ（ｅｍｕ）および残留磁化Ｍｒ（ｅｍｕ）を以下の式に代入して、角形比Ｓ（％）を計算する。なお、上記のＭ－Ｈループの測定はいずれも、室温（２３℃）にて行われるものとする。
角形比Ｓ（％）＝Ｍｒ／Ｍｓ×１００

（活性化体積Ｖ_act）
活性化体積Ｖ_actが、好ましくは５０００ｎｍ³以下、より好ましくは４０００ｎｍ³以下、さらにより好ましくは３０００ｎｍ³以下である。活性化体積Ｖ_actが５０００ｎｍ³以下であると、ビット反転領域を急峻にすることができ、より優れたＳＮＲが得られる。

上記の活性化体積Ｖ_actは、Ｓｔｒｅｅｔ＆Ｗｏｏｌｌｅｙにより導出された下記の式により求められる。
Ｖ_act（ｎｍ³）＝ｋ_B×Ｔ×Χ_irr／（μ₀×Ｍｓ×Ｓ）
（但し、ｋ_B：ボルツマン定数（１．３８×１０^-23Ｊ／Ｋ）、Ｔ：温度（Ｋ）、Χ_irr：非可逆磁化率、μ₀：真空の透磁率、Ｓ：磁気粘性係数、Ｍｓ：飽和磁化（ｅｍｕ／ｃｍ³））

上記式に代入される非可逆磁化率Χ_irr、飽和磁化Ｍｓおよび磁気粘性係数Ｓは、振動試料型磁力計(Vibrating Sample Magnetometer：ＶＳＭ)を用いて以下のようにして求められる。なお、ＶＳＭによる測定方向は、磁気記録媒体の記録面に対して垂直方向とする。また、ＶＳＭによる測定は、長尺状の磁気記録媒体から切り出された測定サンプルに対して、室温（２３℃）にて行われるものとする。

（非可逆磁化率Χ_irr）
非可逆磁化率Χ_irrは、残留磁化曲線（ＤＣＤ曲線）の傾きにおいて、残留保磁力Ｈｒ付近における傾きと定義される。まず、磁気記録媒体全体に－１１９３ｋＡ／ｍ（１５ｋＯｅ）の磁界を印加し、磁界をゼロに戻し残留磁化状態とする。その後、反対方向に約１５．９ｋＡ／ｍ（２００Ｏｅ）の磁界を印加し再びゼロに戻し残留磁化量を測定する。その後も同様に、先ほどの印加磁界よりもさらに１５．９ｋＡ／ｍ大きい磁界を印加しゼロに戻す測定を繰り返し行い、印加磁界に対して残留磁化量をプロットしＤＣＤ曲線を測定する。得られたＤＣＤ曲線から、磁化量ゼロとなる点を残留保磁力Ｈｒとし、さらにＤＣＤ曲線を微分し、各磁界におけるＤＣＤ曲線の傾きを求める。このＤＣＤ曲線の傾きにおいて、残留保磁力Ｈｒ付近の傾きがΧ_irrとなる。

（飽和磁化Ｍｓ）
まず、磁気記録媒体の垂直方向に磁気記録媒体（測定サンプル）全体のＭ－Ｈループを測定する。次に、アセトンおよびエタノールなどを用いて塗膜（下地層１２、記録層１３など）を払拭し、基体１１のみを残して、バックグラウンド補正用として、基体１１のＭ－Ｈループを同様に垂直方向に測定する。その後、磁気記録媒体全体のＭ－Ｈループから基体１１のＭ－Ｈループを引き算して、バックグラウンド補正後のＭ－Ｈループを算出する。得られたＭ－Ｈループの飽和磁化Ｍｓ（ｅｍｕ）の値と、測定サンプル中の記録層１３の体積（ｃｍ³）から、Ｍｓ（ｅｍｕ／ｃｍ³）を算出する。なお、記録層１３の体積は測定サンプルの面積に記録層１３の平均厚みδ_magを乗ずることにより求められる。記録層１３の体積の算出に必要な記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法については後述する。

（磁気粘性係数Ｓ）
まず、磁気記録媒体（測定サンプル）全体に－１１９３ｋＡ／ｍ（１５ｋＯｅ）の磁界を印加し、磁界をゼロに戻し残留磁化状態とする。その後、反対方向に、ＤＣＤ曲線より得られた残留保磁力Ｈｒの値と同等の磁界を印加する。磁界を印加した状態で１０００秒間、磁化量を一定の時間間隔で継続的に測定する。このようにして得られた、時間ｔと磁化量Ｍ（ｔ）の関係を以下の式に照らし合わせて、磁気粘性係数Ｓを算出する。
Ｍ（ｔ）＝Ｍ０＋Ｓ×ｌｎ（ｔ）
（但し、Ｍ（ｔ）：時間ｔの磁化量、Ｍ０：初期の磁化量、Ｓ：磁気粘性係数、ｌｎ（ｔ）：時間の自然対数）

（基体）
支持体となる基体１１は、可撓性を有する長尺状の非磁性基体である。非磁性基体はフィルムであり、フィルムの厚さは、例えば３μｍ以上８μｍ以下である。基体１１の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン類、セルローストリアセテート、セルロースダイアセテート、セルロースブチレートなどのセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミドなどのプラスチック、アルミニウム合金、チタン合金などの軽金属、アルミナガラスなどのセラミックなどを用いることができる。

（記録層）
記録層１３は、いわゆる垂直記録層であり、例えば、磁性粉末、結着剤および導電性粒子を含んでいる。記録層１３が、必要に応じて、潤滑剤、研磨剤、防錆剤などの添加剤をさらに含んでいてもよい。

（磁性粉末）
磁性粉末は、ε酸化鉄を含むナノ粒子（以下「ε酸化鉄粒子」という。）の粉末を含んでいる。ε酸化鉄粒子は、球状もしくはほぼ球状を有しているか、または立方体状もしくはほぼ立方体状を有している。ε酸化鉄粒子が上記のような形状を有しているため、磁性粒子としてε酸化鉄粒子を用いた場合、磁性粒子として六角板状のバリウムフェライト粒子を用いた場合に比べて、媒体の厚さ方向における粒子同士の接触面積を低減し、粒子同士の凝集を抑制できる。したがって、磁性粉末の分散性を高め、ＳＮＲを向上することができる。

ε酸化鉄粒子は、コアシェル型構造を有するε酸化鉄粒子である。具体的には、ε酸化鉄粒子は、図２に示すように、コア部２１と、このコア部２１の周囲に設けられた２層構造のシェル部２２とを備える。２層構造のシェル部２２は、コア部２１上に設けられた第１シェル部２２ａと、第１シェル部２２ａ上に設けられた第２シェル部２２ｂとを備える。

コア部２１は、ε酸化鉄粒子を含んでいる。コア部２１に含まれるε酸化鉄は、ε－Ｆｅ₂Ｏ₃結晶を主相とするものが好ましく、単相のε－Ｆｅ₂Ｏ₃からなるものがより好ましい。

軟磁性層である第１シェル部２２ａは、コア部２１の周囲のうちの少なくとも一部を覆っている。具体的には、第１シェル部２２ａは、コア部２１の周囲を部分的に覆っていてもよいし、コア部２１の周囲全体を覆っていてもよい。コア部２１と第１シェル部２２ａの交換結合を十分なものとし、磁気特性を向上する観点からすると、コア部２１の表面全体を覆っていることが好ましい。

第１シェル部２２ａは、いわゆる軟磁性層であり、例えば、α－Ｆｅ、Ｎｉ－Ｆｅ合金またはＦｅ－Ｓｉ－Ａｌ合金などの軟磁性体を含んでいる。α－Ｆｅは、コア部２１に含まれるε酸化鉄を還元することにより得られるものであってもよい。

第２シェル部２２ｂは、酸化防止層としての酸化被膜である。第２シェル部２２ｂは、α酸化鉄、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素を含んでいる。α酸化鉄は、第１シェル部２２ａに含まれるα－Ｆｅ（軟磁性体）を酸化することにより得られるものであってもよい。α－Ｆｅは、例えばＦｅ₃Ｏ₄、Ｆｅ₂Ｏ₃およびＦｅＯのうちの少なくとも１種の酸化鉄を含んでいる。

上述したように、将来の高記録密度の磁気記録媒体においては、良好なＳＮＲを得ることができ、かつ、ＮＬＴＳを抑制することが重要となってくる。このような特性を得るためには、粒子サイズが小さく、かつ高保磁力Ｈｃを有する磁性粒子を用いることが必要となる。将来の高記録密度の磁気記録媒体の磁性粉末としては種々のものが検討されているが、粒子サイズが小さく、かつ高保磁力Ｈｃを有するという観点からすると、ε酸化鉄粒子が特に好ましい。

ε酸化鉄粒子が、上述のようにコアシェル型構造を有することで、コア部２１単体の保磁力Ｈｃを熱安定性を確保するために大きな値に保ちつつ、ε酸化鉄粒子（コアシェル粒子）全体としての保磁力Ｈｃを記録に適した保磁力Ｈｃに調整できるため、記録容易性が高まる。また、磁気記録媒体の製造工程またはその工程前において、ε酸化鉄粒子が空気中に暴露されて、粒子表面に錆びなどが発生することにより、ε酸化鉄粒子の特性が低下することを抑制することができる。したがって、磁気記録媒体の特性劣化を抑制することができる。

（平均粒子サイズＤ）
磁性粉末の平均粒子サイズ（平均最大粒子サイズ）Ｄは、好ましくは２２ｎｍ以下、より好ましくは８ｎｍ以上２２ｎｍ以下、より好ましくは１２ｎｍ以上２２ｎｍ以下である。磁性粉末の平均粒子サイズＤが２２ｎｍを超えると、良好なＳＮＲが得られなくなり、かつ、ＮＬＴＳを抑制できなくなる虞がある。一方、磁性粉末の平均粒子サイズＤが８ｎｍ以上であると、ε酸化鉄粒子の分散性がより向上し、より優れたＳＮＲを得ることができる。

上記の磁性粉末の平均粒子サイズＤは、以下のようにして求められる。まず、測定対象となる磁気記録媒体をＦＩＢ（Focused Ion Beam）法などにより加工してＴＥＭ観察用薄片を作製し、ＴＥＭにより薄片の断面観察を行う。次に、撮影したＴＥＭ写真から５００個のε酸化鉄粒子を無作為に選び出し、それぞれの粒子の最大粒子サイズｄ_maxを測定して、磁性粉末の最大粒子サイズｄ_maxの粒度分布を求める。ここで、“最大粒子サイズｄ_max”とは、いわゆる最大フェレ径を意味し、具体的には、図３に示すように、ε酸化鉄粒子の輪郭に接するように、あらゆる角度から引いた２本の平行線間の距離のうち最大のものをいう。その後、求めた最大粒子サイズｄ_maxの粒度分布から最大粒子サイズｄ_maxのメジアン径（５０％径、Ｄ５０）を求めて、これを粒子の平均粒子サイズ（平均最大粒子サイズ）Ｄとする。

（記録層の平均厚みδ_mag）
記録層１３の平均厚みδ_magが、好ましくは３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下、より好ましくは４０ｎｍ以上１００ｎｍ以下、さらにより好ましくは４０ｎｍ以上８０ｎｍ以下、最も好ましくは４０ｎｍ以上７０ｎｍ以下である。平均厚みδ_magが１２０ｎｍを超えると、良好なＳＮＲが得られなくなり、かつ、ＮＬＴＳを抑制できなくなる虞がある。一方、平均厚みδ_magが３０ｎｍ以上であると、より優れたＳＮＲを得ることができる。

記録層１３の平均厚みδ_mag［ｎｍ］は以下のようにして求められる。まず、測定対象となる磁気記録媒体をＦＩＢ法などにより加工してＴＥＭ観察用薄片を作製し、ＴＥＭにより薄片の断面観察を行う。観察倍率としては、記録層１３の厚みが明瞭に観察できるよう、少なくとも１０万倍以上で行うのが好ましい。断面ＴＥＭの観察は、磁気記録媒体の長手方向（走行方向）に１００ｍごとに合計５か所の位置で行われる。各位置における断面ＴＥＭの観察方向は、磁気記録媒体の横方向（幅方向）である。一視野あたり均等に５０ポイントにおいて記録層１３の厚みを観察し、５視野全ての厚みを単純に平均（算術平均）して記録層１３の平均厚みδ_mag［ｎｍ］を求める。

（結着剤）
結着剤としては、ポリウレタン系樹脂、塩化ビニル系樹脂などに架橋反応を付与した構造の樹脂が好ましい。しかしながら結着剤はこれらに限定されるものではなく、磁気記録媒体に対して要求される物性などに応じて、その他の樹脂を適宜配合してもよい。配合する樹脂としては、通常、塗布型の磁気記録媒体において一般的に用いられる樹脂であれば、特に限定されない。

例えば、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル－塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル－アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル－アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル－塩化ビニル－塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル－アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル－アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル－塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル－塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル－塩化ビニル共重合体、メタクリル酸エステル－エチレン共重合体、ポリ弗化ビニル、塩化ビニリデン－アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル－ブタジエン共重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セルロース誘導体（セルロースアセテートブチレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースプロピオネート、ニトロセルロース）、スチレンブタジエン共重合体、ポリエステル樹脂、アミノ樹脂、合成ゴムなどが挙げられる。

また、熱硬化性樹脂、または反応型樹脂の例としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコーン樹脂、ポリアミン樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂などが挙げられる。

また、上述した各結着剤には、磁性粉の分散性を向上させる目的で、－ＳＯ₃Ｍ、－ＯＳＯ₃Ｍ、－ＣＯＯＭ、Ｐ＝Ｏ（ＯＭ）₂などの極性官能基が導入されていてもよい。ここで、式中Ｍは、水素原子、あるいはリチウム、カリウム、ナトリウムなどのアルカリ金属である。

更に、極性官能基としては、－ＮＲ１Ｒ２、－ＮＲ１Ｒ２Ｒ３⁺Ｘ^-の末端基を有する側鎖型のもの、＞ＮＲ１Ｒ２⁺Ｘ^-の主鎖型のものが挙げられる。ここで、式中Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、水素原子、または炭化水素基であり、Ｘ^-は弗素、塩素、臭素、ヨウ素などのハロゲン元素イオン、または無機もしくは有機イオンである。また、極性官能基としては、－ＯＨ、－ＳＨ、－ＣＮ、エポキシ基なども挙げられる。

（添加剤）
記録層１３は、非磁性補強粒子として、酸化アルミニウム（α、βまたはγアルミナ）、酸化クロム、酸化珪素、ダイヤモンド、ガーネット、エメリー、窒化ホウ素、チタンカーバイト、炭化珪素、炭化チタン、酸化チタン（ルチル型またはアナターゼ型の酸化チタン）などをさらに含有していてもよい。

（下地層）
下地層１２は、非磁性粉末および結着剤を主成分として含む非磁性層である。下地層１２が、必要に応じて、導電性粒子、潤滑剤、硬化剤および防錆剤などのうちの少なくとも１種の添加剤をさらに含んでいてもよい。

（下地層の平均厚み）
下地層１２の平均厚みは、好ましくは０．６μｍ以上２．０μｍ以下、より好ましくは０．８μｍ以上１．４μｍ以下である。下地層１２の平均厚みが０．６μｍ未満であると、表面性悪化により電磁変換特性が劣化する虞がある。一方、下地層１２の平均厚みが２．０μｍを超えると、塗膜の乾燥ムラによる粗大突起が発生してしまい、同様に電磁変換特性が劣化する虞がある。なお、上記の下地層１２の平均厚みの算出方法は、記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法と同様である。

（非磁性粉末）
非磁性粉末は、無機物質でも有機物質でもよい。また、非磁性粉末は、カーボンブラックなどでもよい。無機物質としては、例えば、金属、金属酸化物、金属炭酸塩、金属硫酸塩、金属窒化物、金属炭化物、金属硫化物などが挙げられる。非磁性粉末の形状としては、例えば、針状、球状、立方体状、板状などの各種形状が挙げられるが、これに限定されるものではない。

（結着剤）
結着剤は、上述の記録層１３と同様である。

［磁気記録媒体の製造方法］
次に、上述の構成を有する磁気記録媒体の製造方法の一例について説明する。まず、非磁性粉末および結着剤などを溶剤に混練、分散させることにより、下地層形成用塗料を調製する。次に、磁性粉末および結着剤などを溶剤に混練、分散させることにより、記録層形成用塗料を調製する。記録層形成用塗料および下地層形成用塗料の調製には、例えば、以下の溶剤、分散装置および混練装置を用いることができる。

上述の塗料調製に用いられる溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、メタノール、エタノール、プロパノールなどのアルコール系溶媒、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、乳酸エチル、エチレングリコールアセテートなどのエステル系溶媒、ジエチレングリコールジメチルエーテル、２－エトキシエタノール、テトラヒドロフラン、ジオキサンなどのエーテル系溶媒、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒、メチレンクロライド、エチレンクロライド、四塩化炭素、クロロホルム、クロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒などが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、適宜混合して用いてもよい。

上述の塗料調製に用いられる混練装置としては、例えば、連続二軸混練機、多段階で希釈可能な連続二軸混練機、ニーダー、加圧ニーダー、ロールニーダーなどの混練装置を用いることができるが、特にこれらの装置に限定されるものではない。また、上述の塗料調製に用いられる分散装置としては、例えば、ロールミル、ボールミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、スパイクミル、ピンミル、タワーミル、パールミル（例えばアイリッヒ社製「ＤＣＰミル」など）、ホモジナイザー、超音波分散機などの分散装置を用いることができるが、特にこれらの装置に限定されるものではない。

次に、下地層形成用塗料を基体１１の一方の主面に塗布して乾燥させることにより、下地層１２を形成する。続いて、この下地層１２上に記録層形成用塗料を塗布して乾燥させることにより、記録層１３を下地層１２上に形成する。なお、乾燥の際に、例えばソレノイドコイルにより、磁性粉末を基体１１の厚さ方向に磁場配向させる。記録層１３の形成後、必要に応じて、記録層１３上に保護層および潤滑剤層を形成してもよいし、基体１１の他方の主面にバックコート層１４を形成してもよい。

その後、下地層１２および記録層１３が形成された基体１１を大径コアに巻き直し、硬化処理を行う。最後に、下地層１２および記録層１３が形成された基体１１に対してカレンダー処理を行った後、所定の幅に裁断する。以上により、目的とする磁気記録媒体が得られる。

［効果］
本技術の一実施形態に係る磁気記録媒体は、最短記録波長が７５ｎｍ以下である記録再生装置に用いられるものであり、ε酸化鉄粒子の粉末を含む記録層を備える。ε酸化鉄粒子の平均粒子サイズが、２２ｎｍ以下であり、保磁力Ｈｃが、２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下であり、活性化体積Ｖ _ａｃｔ が、５０００ｎｍ ^３ 以下であり、算術平均粗さＲａが、２．５ｎｍ以下であり、磁気記録媒体の走行方向の角形比Ｓが、３０％以下であり、記録層の平均厚みδ _ｍａｇ が、３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下である。これにより、良好なＳＮＲを得ることができ、かつ、ＮＬＴＳを例えば２０％以下に抑制できる。

［変形例］
（変形例１）
上述の一実施形態では、ε酸化鉄粒子がコアシェル構造を有している場合について説明したが、ε酸化鉄粒子が、コアシェル構造に代えて添加剤を含んでいてもよいし、コアシェル構造を有すると共に添加剤を含んでいてもよい。この場合、ε酸化鉄粒子のＦｅの一部が添加元素で置換される。ε酸化鉄粒子が添加剤を含むことによっても、ε酸化鉄粒子全体としての保磁力Ｈｃを記録に適した保磁力Ｈｃに調整できるため、記録容易性が高まる。添加剤は、鉄以外の金属、好ましくは３価の金属元素、より好ましくはＡｌ、ＧａおよびＩｎからなる群より選ばれる１種以上である。

コア部２１に含まれるε酸化鉄は、具体的にはε－Ｆｅ_2-xＭ_xＯ₃結晶（但し、Ｍは鉄以外の金属元素、好ましくは３価の金属元素、より好ましくは、Ａｌ、ＧａおよびＩｎからなる群より選ばれる１種以上である。ｘは、例えば０＜ｘ＜１である。）である。

（変形例２）
上述の一実施形態では、ε酸化鉄粒子が２層構造のシェル部２２を有している場合について説明したが、図４に示すように、ε酸化鉄粒子が単層構造のシェル部２３を有していてもよい。この場合、シェル部２３は、第１シェル部２２ａと同様の構成を有する。但し、ε酸化鉄粒子の特性劣化を抑制する観点からすると、上述した一実施形態におけるように、ε酸化鉄粒子が２層構造のシェル部２２を有していることが好ましい。

（変形例３）
磁気記録媒体が、図５に示すように、基体１１の両主面のうち、バックコート層１４側となる他方の主面（以下「裏面」という。）に設けられた強化層１５をさらに備えていてもよい。この場合、強化層１５上にバックコート層１４が設けられる。

なお、強化層１５は、基体１１の両主面のうちのいずれに設けられていてもよく、基体１１の両主面のうち、記録層１３側となる一方の主面（以下「表面」という。）に強化層１５が設けられていてもよい。この場合、強化層１５上に下地層１２が設けられる。

強化層１５は、磁気記録媒体の機械的強度を高めて、優れた寸法安定性を得るためのものである。強化層１５は、例えば、金属および金属化合物のうちの少なくとも１種を含んでいる。ここで、金属には、半金属が含まれるものと定義する。金属は、例えば、アルミニウムおよび銅のうちの少なくとも１種であり、好ましくは銅である。銅は、安価で蒸気圧が比較的低いため、安価に強化層１５を成膜が可能であるからである。金属化合物は、例えば、金属酸化物である。金属酸化物は、例えば、酸化アルミニウム、酸化銅および酸化シリコンのうちの少なくとも１種であり、好ましくは酸化銅である。蒸着法などにより安価に強化層１５を成膜が可能であるからである。強化層１５は、例えば、真空斜方蒸着法により形成される蒸着膜であってもよいし、スパッタ法により形成されるスパッタ膜であってもよい。

強化層１５は、２層以上の積層構造を有していることが好ましい。強化層１５の厚みを厚くしていくと、外力に対する基体１１の伸縮をより抑えることができる。しかしながら、蒸着法やスパッタリングなどの真空薄膜の作製技術を用いて強化層１５を形成する場合、上記のように強化層１５の厚みを厚くしていくと、強化層１５中に空隙が生じやすくなる虞がある。上記のように強化層１５を２層以上の積層構造とすることで、真空薄膜の作製技術を用いて強化層１５を形成する際に強化層１５中に生じる空隙を抑制し、強化層１５の緻密性を向上できる。したがって、強化層１５の水蒸気透過率を低減できるので、基体１１の膨張をさらに抑制し、磁気記録媒体の寸法安定性をさらに向上できる。強化層１５が２層以上の積層構造を有する場合、各層の材料は同一であってもよいし、異なっていてもよい。

強化層１５の平均厚みは、好ましくは１５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。強化層１５の平均厚みが１５０ｎｍ以上であると、強化層１５として良好な機能（すなわち磁気記録媒体の良好な寸法安定性）が得られる。一方、強化層１５の平均厚みを５００ｎｍを超えて厚くしなくとも、強化層１５として十分な機能が得られる。なお、上記の強化層１５の平均厚みは、上述の記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法と同様にして求められる。

磁気記録媒体が強化層１５を有する場合、長尺状の磁気記録媒体の長手方向のヤング率が、好ましくは７ＧＰａ以上１４ＧＰａ以下である。ヤング率が７ＧＰａ以上であると、良好な磁気ヘッド当たりを得ることができ、かつ、エッジダメージを抑制することができる。一方、ヤング率が１４ＧＰａ以下であると、良好な磁気ヘッド当たりを得ることができる。

また、磁気記録媒体の湿度膨張係数が、好ましくは０．５ｐｐｍ／％ＲＨ以上、４ｐｐｍ／％ＲＨ以下である。湿度膨張係数が上記範囲であると、磁気記録媒体の寸法安定性をさらに向上できる。

（変形例４）
磁気記録媒体が、図６に示すように、強化層１５上に設けられたカッピング抑制層１６をさらに備えていてもよい。なお、下地層１２およびカッピング抑制層１６が基体１１の裏面側に設けられた場合、バックコート層１４はカッピング抑制層１６上に設けられる。一方、下地層１２およびカッピング抑制層１６が基体１１の表面側に設けられた場合、下地層１２はカッピング抑制層１６上に設けられる。

カッピング抑制層１６は、基体１１上に強化層１５を形成したことにより発生するカッピングを抑制するためのものである。ここで、カッピングとは、長尺状の基体１１の幅方向に発生する湾曲を意味する。強化層１５には内部応力として引っ張り応力、すなわち基体１１の両主面のうち強化層１５が設けられた主面側を幅方向に且つ凹形状に湾曲させる応力が働く。これに対して、カッピング抑制層１６には、内部応力として圧縮応力、すなわち基体１１の両主面のうちカッピング抑制層１６が設けられた主面側を幅方向に且つ凸形状に湾曲させる応力が働く。このため、強化層１５とカッピング抑制層１６との内部応力が相殺し合って、磁気記録媒体にカッピングが発生することを抑制できる。したがって、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触状態を良好な状態に保持でき、かつトラック幅方向における高い寸法安定性を有する、オフトラック特性に優れた高ＳＮの磁気記録媒体を提供できる。

カッピング抑制層１６は、例えば、炭素薄膜である。炭素薄膜は、ダイヤモンドライクカーボン（以下「ＤＬＣ」という。）を含む硬質炭素薄膜であることが好ましい。カッピング抑制層１６は、例えば、化学気相成長（Chemical Vapor Deposition：ＣＶＤ）法により形成されるＣＶＤ膜であってもよいし、スパッタ法により形成されるスパッタ膜であってもよい。

カッピング抑制層１６は、２層以上の積層構造を有していることが好ましい。磁気記録媒体の寸法安定性をさらに向上できるからである。なお、その原理は、強化層１５を２層以上の積層構造とする場合と同様である。カッピング抑制層１６が２層以上の積層構造を有する場合、各層の材料は同一であってもよいし、異なっていてもよい。

カッピング抑制層１６の平均厚みは、好ましくは１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。カッピング抑制層１６の平均厚みが１０ｎｍ未満であると、カッピング抑制層１６の圧縮応力が小さくなりすぎる虞がある。一方、カッピング抑制層１６の平均厚みが２００ｎｍを超えると、カッピング抑制層１６の圧縮応力が大きくなりすぎる虞がある。なお、カッピング抑制層１６の平均厚みは、上述の記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法と同様にして求められる。

（変形例５）
磁気記録媒体は、図７に示すように、基体１１の表面上に設けられた第１強化層１７と、基体１１の裏面上に設けられた第２強化層１８と、第２強化層１８上に設けられた凝着抑制層１９とをさらに備えていてもよい。この場合、バックコート層１４は、凝着抑制層１９上に設けられる。基体１１、第１強化層１７、第２強化層１８および凝着抑制層１９により積層体１０が構成される。

なお、凝着抑制層１９は、第１、第２強化層１７、１８のうちいずれかの層上に設けられていればよく、第１強化層１７上に凝着抑制層１９が設けられていてもよい。この場合、下地層１２は、凝着抑制層１９上に設けられる。この構成において凝着抑制層１９が炭素薄膜である場合には、表面改質処理により凝着抑制層１９の表面の濡れ性を改善することが好ましい。炭素薄膜に対する下地層形成用塗料の塗布性を改善できるからである。

第１、第２強化層１７、１８は、磁気記録媒体の機械的強度を高めて、優れた寸法安定性を得るためのものである。第１、第２強化層１７、１８の材料としては、変形例３の強化層１５と同様の材料を例示することができる。なお、第１、第２強化層１７、１８の材料は同一の材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。第１、第２強化層１７、１８はそれぞれ、２層以上の積層構造を有していることが好ましい。磁気記録媒体の寸法安定性をさらに向上できるからである。なお、その原理は、変形例３において強化層１５を２層以上の積層構造とする場合と同様である。

第１、第２強化層１７、１８の平均厚みは、好ましくは７５ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。第１、第２強化層１７、１８の平均厚みが７５ｎｍ以上であると、第１、第２強化層１７、１８として良好な機能（すなわち磁気記録媒体の良好な寸法安定性）が得られる。一方、第１、第２強化層１７、１８の平均厚みを３００ｎｍを超えて厚くすると、磁気記録媒体の厚みが厚くなってしまう虞がある。また、第１、第２強化層１７、１８の平均厚みを３００ｎｍを超えて厚くしなくとも、第１、第２強化層１７、１８として十分な機能が得られる。なお、第１、第２強化層１７、１８の平均厚みは、上述の記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法と同様にして求められる。

第１、第２強化層１７、１８は、内部応力として引っ張り応力が働くものである。具体的には、第１強化層１７は、基体１１の表面側を幅方向に且つ凹形状に湾曲させる応力が働くものであり、第２強化層１８は、基体１１の裏面側を幅方向に且つ凹形状に湾曲させる応力が働くものである。したがって、第１、第２強化層１７、１８の内部応力が相殺し合って、磁気記録媒体にカッピングが発生することを抑制できる。ここで、カッピングとは、長尺状の基体１１の幅方向に発生する湾曲を意味する。

第１、第２強化層１７、１８の平均厚みは、同一であってもよいし、異なっていてもよいが、同一またはほぼ同一であることが好ましい。基体１１の両面に設けられた第１、第２強化層１７、１８の内部応力（引っ張り応力）が同一またはほぼ同一となり、カッピングの発生をより抑制できるからである。ここで、第１、第２強化層１７、１８の平均厚みがほぼ同一とは、第１、第２強化層１７、１８の平均厚み差が５ｎｍ以内であることを意味する。

凝着抑制層１９は、積層体１０をロール状に巻き取った場合に、第１、第２強化層１７、１８が金属凝着して貼り付くことを抑制するためのものである。凝着抑制層１９は、導電性を有していてもよいし、絶縁性を有していてもよい。凝着抑制層１９は、内部応力として圧縮応力（すなわち基体１１の両主面のうち、凝着抑制層１９が設けられた面側を幅方向に且つ凸形状に湾曲させる応力）が働くものであってもよいし、内部応力として引っ張り応力（すなわち基体１１のうち、凝着抑制層１９が設けられた面側を幅方向に且つ凹形状に湾曲させる応力）が働くものであってもよい。

第１、第２強化層１７、１８の引っ張り応力（内部応力）が異なる場合には、第１、第２強化層１７、１８のうち、より引っ張り応力が大きい強化層上に、内部応力として圧縮応力が働く凝着抑制層１９を設けるようにしてもよい。第１、第２強化層１７、１８の引っ張り応力の違いにより相殺仕切れなかった引っ張り応力を、凝着抑制層１９の圧縮応力により相殺することができるからである。また、第１、第２強化層１７、１８のうち、より引っ張り応力が小さい強化層上に、内部応力として引っ張り応力が働く凝着抑制層１９を設けるようにしてもよい。第１、第２強化層１７、１８の引っ張り応力の違いにより発生した圧縮応力を、凝着抑制層１９の引っ張り応力により相殺することができるからである。

凝着抑制層１９の平均厚みは、好ましくは１ｎｍ以上１００ｎｍ以下、より好ましくは２ｎｍ以上２５ｎｍ以下、さらにより好ましくは２ｎｍ以上２０ｎｍ以下である。凝着抑制層１９の平均厚みが１ｎｍ以上であると、凝着抑制層１９の平均厚みが薄くなりすぎ、凝着抑制層１９としての機能が低下することを抑制できる。一方、凝着抑制層１９の平均厚みが１００ｎｍ以下であると、凝着抑制層１９の平均厚みが厚くなりすぎる、すなわち凝着抑制層１９の内部応力が大きくなりすぎることを抑制できる。凝着抑制層１９の平均厚みは、上述の記録層１３の平均厚みδ_magの算出方法と同様にして求められる。

第２強化層１８の平均厚みＤ２が７５ｎｍ以上３００ｎｍ以下である場合、第２強化層１８の平均厚みＤ２に対する凝着抑制層１９の平均厚みＤ４の比率（Ｄ４／Ｄ２）が、０．００５以上０．３５以下であることが好ましい。比率（Ｄ４／Ｄ２）が０．００５以上であると、第２強化層１８の平均厚みＤ２に対して凝着抑制層１９の平均厚みＤ４が薄くなりすぎ、凝着抑制層１９としての機能が低下することを抑制できる。一方、比率（Ｄ４／Ｄ２）が０．３５以下であると、第２強化層１８の平均厚みＤ２に対して凝着抑制層１９の平均厚みＤ４が厚くなりすぎる、すなわち第２強化層１８の引っ張り応力に対して凝着抑制層１９の圧縮応力が大きくなりすぎることを抑制できる。したがって、カッピングの発生をより抑制できる。

凝着抑制層１９は、例えば、炭素および金属酸化物のうちの少なくとも１種を含んでいる。凝着抑制層１９は、炭素を主成分とする炭素薄膜または金属酸化物を主成分とする金属酸化物膜であることが好ましい。炭素は、ダイヤモンドライクカーボン（以下「ＤＬＣ」という。）であることが好ましい。金属酸化物は、酸化アルミニウム、酸化銅および酸化コバルトのうちの少なくとも１種を含むことが好ましい。凝着抑制層１９は、例えば、化学気相成長（Chemical Vapor Deposition：ＣＶＤ）法により形成されるＣＶＤ膜であってもよいし、スパッタ法により形成されるスパッタ膜であってもよい。

凝着抑制層１９は、２層以上の積層構造を有していることが好ましい。磁気記録媒体の寸法安定性をさらに向上できるからである。なお、その原理は、変形例３において強化層１５を２層以上の積層構造とする場合と同様である。凝着抑制層１９が２層以上の積層構造を有する場合、各層の材料は同一であってもよいし、異なっていてもよい。

上述の構成を有する磁気記録媒体では、第１、第２強化層１７、１８の内部応力（引っ張り応力）が相殺し合って、磁気記録媒体にカッピングが発生することを抑制できる。したがって、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触状態を良好な状態に保持でき、かつトラック幅方向における高い寸法安定性を有する、オフトラック特性に優れた高ＳＮの磁気記録媒体を提供できる。また、磁気記録媒体の製造工程において、積層体１０をロール状に巻き取った際に、凝着抑制層１９が第１、第２強化層１７、１８の間に介在するため、第１、第２強化層１７、１８の金属凝着を抑制することができる。

（変形例６）
磁気記録媒体が、リング型ヘッド以外の記録ヘッドを備える記録再生装置を用いて、７５ｎｍ以下の最短記録波長で信号を記録可能に構成されていてもよい。

以下、実施例により本技術を具体的に説明するが、本技術はこれらの実施例のみに限定されるものではない。

以下の実施例１～１６、比較例１～１２において、平均粒子サイズＤ、保磁力Ｈｃ、活性化体積Ｖ_act、算術平均粗さＲａ、角形比Ｓおよび記録層の平均厚みδ_magは、上述の一実施形態にて説明した方法により求められたものである。

表１は、実施例１～１６、比較例１～１２で用いた磁性粉末の構成を示す。

なお、“Ａｌを添加したε酸化鉄”とは、ε酸化鉄に含まれるＦｅの一部をＡｌで置換したものを意味し、“Ｇａを添加したε酸化鉄”とは、ε酸化鉄に含まれるＦｅの一部をＧａで置換したものを意味する。

［実施例１］
（記録層形成用塗料の調製工程）
記録層形成用塗料を以下のようにして調製した。まず、下記配合の第一組成物をエクストルーダで混練した。次に、ディスパーを備えた攪拌タンクに、第一組成物と、下記配合の第二組成物を加えて予備混合を行った。その後、さらにサンドミル混合を行い、フィルター処理を行い、記録層形成用塗料を調製した。

（第一組成物）
粒子Ａの磁性粉末：１００質量部（平均粒子サイズ１７ｎｍ（表２参照））
塩化ビニル系樹脂（シクロヘキサノン溶液３０質量％）：１０質量部
（重合度３００、Ｍｎ＝１００００、極性基としてＯＳＯ₃Ｋ＝０．０７ｍｍｏｌ／ｇ、２級ＯＨ＝０．３ｍｍｏｌ／ｇを含有する。）
酸化アルミニウム粉末：５質量部
（α－Ａｌ₂Ｏ₃、平均粒径０．２μｍ）
カーボンブラック：２質量部
（東海カーボン社製、商品名：シーストＴＡ）

（第二組成物）
塩化ビニル系樹脂：１．１質量部
（樹脂溶液：樹脂分３０質量％、シクロヘキサノン７０質量％）
ｎ－ブチルステアレート：２質量部
メチルエチルケトン：１２１．３質量部
トルエン：１２１．３質量部
シクロヘキサノン：６０．７質量部

（下地層形成用塗料の調製工程）
下地層形成用塗料を以下のようにして調製した。まず、下記配合の第三組成物をエクストルーダで混練した。その後、ディスパーを備えた攪拌タンクに、第三組成物と、下記配合の第四組成物を加えて予備混合を行った。その後、さらにサンドミル混合を行い、フィルター処理を行い、下地層形成用塗料を調製した。

（第三組成物）
針状酸化鉄粉末：１００質量部
（α－Ｆｅ₂Ｏ₃、平均長軸長０．１５μｍ）
塩化ビニル系樹脂：５５．６質量部
（樹脂溶液：樹脂分３０質量％、シクロヘキサノン７０質量％）
カーボンブラック：１０質量部
（平均粒径２０ｎｍ）

（第四組成物）
ポリウレタン系樹脂ＵＲ８２００（東洋紡績製）：１８．５質量部
ｎ－ブチルステアレート：２質量部
メチルエチルケトン：１０８．２質量部
トルエン：１０８．２質量部
シクロヘキサノン：１８．５質量部

（バックコート層形成用塗料の調製工程）
バックコート層形成用塗料を以下のようにして調製した。まず、下記原料を、ディスパーを備えた攪拌タンクで混合を行い、フィルター処理を行うことで、バックコート層形成用塗料を調製した。
カーボンブラック（旭社製、商品名：＃８０）：１００質量部
ポリエステルポリウレタン：１００質量部
（日本ポリウレタン社製、商品名：Ｎ－２３０４）
メチルエチルケトン：５００質量部
トルエン：４００質量部
シクロヘキサノン：１００質量部

次に、上述のようにして作製した記録層形成用塗料、および下地層形成用塗料のそれぞれに、硬化剤として、ポリイソシアネート（商品名：コロネートＬ、日本ポリウレタン社製）：４質量部と、ミリスチン酸：２質量部とを添加した。

（成膜工程）
上述のようにして作製した塗料を用いて、非磁性支持体である厚さ６．２μｍのポリエチレンナフタレートフィルム（ＰＥＮフィルム）上に下地層、および記録層を以下のようにして形成した。まず、ＰＥＮフィルム上に、下地層形成用塗料を塗布、乾燥させることにより、ＰＥＮフィルム上に下地層を形成した。次に、下地層上に、記録層形成用塗料を塗布し、乾燥させることにより、下地層上に記録層を形成した。なお、乾燥の際に、ソレノイドコイルにより、磁性粉末をＰＥＮフィルムの厚さ方向に磁場配向させた。続いて、下地層、および記録層が形成されたＰＥＮフィルムに対してカレンダー処理を行い、記録層表面を平滑化した。

上記の成膜工程において各種条件を調整することで、表２に示すように、保磁力Ｈｃを２５０ｋＡ／ｍ、活性化体積Ｖ_actを４８００ｎｍ³、算術平均粗さＲａを２．０ｍｍ、磁気テープの走行方向（長手方向）の角形比Ｓを２５％、下地層の平均厚みを１１００ｎｍ、記録層の平均厚みδ_magを７０ｎｍとした。その後、記録層とは反対側の面に、バックコート層形成用塗料を膜厚０．６μｍに塗布し乾燥することにより、バックコート層を形成した。

（裁断の工程）
上述のようにして下地層、記録層およびバックコート層が形成されたＰＥＮフィルムを１／２インチ（１２．６５ｍｍ）幅に裁断し、目的とする磁気テープを得た。

［実施例２、３、比較例１］
粒子Ａの磁性粉末の平均粒子サイズを、表２、表３に示すように２０ｎｍ、１４ｎｍ、２５ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、磁気テープを得た。

［実施例４、５、比較例２、３］
粒子Ａの軟磁性シェル層（第１シェル部）の厚みを調整し、保磁力Ｈｃを、表２、表３に示すように３１０ｋＡ／ｍ、２２０ｋＡ／ｍ、２００ｋＡ／ｍ、３５０ｋＡ／ｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、磁気テープを得た。

［実施例６、比較例４］
粒子Ａの磁性粉末の分散状態を調整し、活性化体積Ｖ_actを、表２、表３に示すように２６００ｎｍ³、１００００ｎｍ³としたこと以外は実施例１と同様にして、磁気テープを得た。

［実施例７、８、比較例５］
カレンダ処理の圧力を調整し、算術平均粗さＲａを、表２、表３に示すように２．５ｎｍ、１．５ｎｍ、３．０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして、磁気テープを得た。

［実施例９、１０、比較例６、７］
記録層の形成時の配向磁場中、乾燥風の風量を調整し、表２、表３に示すように磁気テープの走行方向（長手方向）の角形比Ｓを３０％、２０％、４５％、３５％としたこと以外は、実施例１と同様にして磁気テープを得た。

［実施例１１、１２、比較例８、９］
記録層形成用塗料の塗布厚およびカレンダー処理の圧力を調整することにより、表２、表３に示すように記録層の平均厚みδ_magを１２０ｎｍ、４０ｎｍ、１５０ｎｍ、２５ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして磁気テープを得た。

［実施例１３～１６、比較例１０］
表２、表３に示すように、粒子Ａの磁性粉末に代えて、粒子Ｂ、粒子Ｃ、粒子Ｄ、粒子Ｅ、粒子Ｆの磁性粉末を用いたこと以外は実施例１と同様にして磁気テープを得た。

［比較例１１］
表３に示すように、粒子Ａの磁性粉末に代えて、バリウムフェライト（ＢａＦｅ）粒子の磁性粉末を用いたこと以外は実施例１と同様にして磁気テープを得た。

［比較例１２］
表３に示すように、粒子Ａの磁性粉末に代えて、Ｆｅ－Ｃｏ合金系のメタル磁性粉末を用いたこと以外は実施例１と同様にして磁気テープを得た。

［磁気テープの評価］
上述のようにして得られた実施例１～１６、比較例１～１２の磁気テープに以下の評価を行った。

（ＮＬＴＳの測定）
図８に、測定装置の構成を示す。ＮＬＴＳの測定は、得られた磁気テープを用いて、記録／再生ヘッド、及び、記録／再生アンプを１／２インチテープ走行装置（Mountain Engineering II社製MTS Transport）に取り付けて測定した。記録ヘッドにはギャップ長０．２μｍのリングヘッド、また、再生ヘッドにはシールド間距離０．１μｍのＧＭＲヘッドを用い、相対速度は６ｍ／ｓ、記録クロック周波数は１６０ＭＨｚとした。記録信号系列には生成多項式：ｘ⁷＋ｘ³＋１による１２７ビット疑似ランダム信号（Ｍ系列）を用いて記録再生を行った。ＮＬＴＳの計測は、得られた再生信号からダイビットエコー抽出法により抽出されたエコーパルスと主ダイパルスの振幅比［％］で定量化した。

＜ダイビットエコー抽出法＞
ＮＬＴＳは記録再生系のダイビット応答を算出することで抽出可能なことが、下記文献（Ａ）、（Ｂ）等で知られている。
（Ａ）D.Palmer, P.Ziperovich, R.Wood, T.D.Howell: ”Identification of Nonlinear Write Effects Using Pseudorandom Sequences.”,IEEE Trans. Man., 23,pp.2377-2379(1997)
（Ｂ）上原,真島,小川: “磁気記録における非線形磁化遷移点シフトの測定法に関する検討”, テレビジョン学会誌 Vol. 49, No. 11, pp. 1522～1528 (1995)
ダイビット応答の算出には、上述の１２７ビット疑似ランダム信号系列Ｐ（ｔ）とデジタイザーにより採取された再生信号系列Ｄ（ｔ）を用いた。これら信号系列の離散フーリエ変換処理を行い、系の伝達関数Ｔ（ｆ）＝Ｆｏｕｒｉｅｒ［Ｄ（ｔ）］／Ｆｏｕｒｉｅｒ［Ｐ（ｔ）］を算出し、この伝達関数Ｔ（ｆ）の逆フーリエ変換処理を行うことで、ダイパルス応答Ｔ（ｔ）を求めた。ダイパルス応答上には疑似ランダム信号の生成多項式と非線形歪みの要因によって決まる位置に主ダイパルスのエコーが現れ、そのエコーの発生位置や大きさにより記録再生系の非線形歪みを定量的に見積もることができる。

（ＳＮＲ）
磁気テープのＳＮＲ（電磁変換特性）は以下のようにして測定した。記録／再生ヘッド、記録／再生アンプ、及び、走行メカ装置は前述のＮＬＴＳ測定と同様のもの用い、相対速度、及び、記録クロック周波数についても同一条件で測定を行った。
ＳＮＲの算出には、文献（Ｃ）を参考にした。
（Ｃ）Y.Okazaki: ”An Error Rate Emulation System.”,IEEE Trans. Man., 31,pp.3093-3095(1995)

表２は、実施例１～１６の磁気テープの構成および評価結果を示す。

表３は、比較例１～１２の磁気テープの構成および評価結果を示す。

但し、表２、３中、Ｄ、Ｈｃ、Ｖ_act、Ｒａ、Ｓおよびδ_magは以下の内容を意味する。
Ｄ：平均粒子サイズ、Ｈｃ：保磁力、Ｖ_act：活性化体積、Ｒａ：算術平均粗さ、Ｓ：磁気テープの走行方向（長手方向）の角形比、δ_mag：記録層の平均厚み

表２、表３から以下のことがわかる。
磁性粉末としてε酸化鉄粒子の粉末を用い、ε酸化鉄粒子の平均粒子サイズＤを２２ｎｍ以下、保磁力Ｈｃを２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下、活性化体積Ｖ_actを５０００ｎｍ³以下、算術平均粗さＲａを２．５ｎｍ以下、磁気テープの走行方向の角形比Ｓを３０％以下、記録層の平均厚みδ_magを３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下とすることで、良好なＳＮＲを得ることができ、かつ、ＮＬＴＳを２０％以下に抑制できることがわかる。
また、ε酸化鉄粒子をコアシェル構造とすることでも、ε酸化鉄粒子に添加剤を加えることでも、保磁力Ｈｃを３２０ｋＡ／ｍ以下に調整できることがわかる。

以上、本技術の実施形態および実施例について具体的に説明したが、本技術は、上述の実施形態および実施例に限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

例えば、上述の実施形態および実施例において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、化合物等の化学式は代表的なものであって、同じ化合物の一般名称であれば、記載された価数等に限定されない。

また、上述の実施形態および実施例の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
最短記録波長が７５ｎｍ以下である記録再生装置に用いられる磁気記録媒体であって、
ε酸化鉄を含む粒子の粉末を含む記録層を備え、
前記粒子の平均粒子サイズが、２２ｎｍ以下であり、
保磁力Ｈｃが、２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下であり、
非線形転移点シフトが２０％以下である磁気記録媒体。
（２）
前記粒子は、コアシェル構造を有する（１）に記載の磁気記録媒体。
（３）
前記粒子は、
ε酸化鉄を含むコア部と、
軟磁性体を含むシェル部と
を備える（１）または（２）に記載の磁気記録媒体。
（４）
前記シェル部は、
前記コア部上に設けられた第１シェル部と、
前記第１シェル部上に設けられた第２シェル部と
を備え、
前記第１シェル部は、α－Ｆｅ、ＮｉＦｅ合金またはＦｅＳｉＡｌ合金を含み、
前記第２シェル部は、α酸化鉄、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素を含む（３）に記載の磁気記録媒体。
（５）
前記粒子は、鉄以外の金属をさらに含む（１）に記載の磁気記録媒体。
（６）
前記金属は、アルミニウム、ガリウムおよびインジウムのうちの少なくとも１種である（５）に記載の磁気記録媒体。
（７）
前記記録層の平均厚みは、３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下である（１）から（６）のいずれかに記載の磁気記録媒体。
（８）
活性化体積Ｖ_actが、５０００ｎｍ³以下である（１）から（７）のいずれかに記載の磁気記録媒体。
（９）
磁気記録媒体の走行方向に測定した角形比が、３０％以下である（１）から（８）のいずれかに記載の磁気記録媒体。
（１０）
前記記録層が設けられている側の表面の算術平均粗さＲａは、２．５ｎｍ以下である（１）から（９）のいずれかに記載の磁気記録媒体。

１１ 基体
１２ 下地層
１３ 記録層
１４ バックコート層
１５ 強化層
１６ カッピング抑制層
１７ 第１強化層
１８ 第２強化層
１９ 凝着抑制層
２１ コア部
２２ シェル部
２２ａ 第１シェル部
２２ｂ 第２シェル部

Claims (6)

1. 最短記録波長が７５ｎｍ以下である記録再生装置に用いられる磁気記録媒体であって、
   ε酸化鉄を含む粒子の粉末を含む記録層を備え、
   前記粒子の平均粒子サイズが、２２ｎｍ以下であり、
   保磁力Ｈｃが、２２０ｋＡ／ｍ以上３２０ｋＡ／ｍ以下であり、
   活性化体積Ｖ _ａｃｔ が、５０００ｎｍ ^３ 以下であり、
   前記記録層が設けられている側の表面の算術平均粗さＲａが、２．５ｎｍ以下であり、
   磁気記録媒体の走行方向に測定した角形比が、３０％以下であり、
   前記記録層の平均厚みが、３０ｎｍ以上１２０ｎｍ以下であり、
   非線形転移点シフトが２０％以下である磁気記録媒体。
2. 前記粒子は、コアシェル構造を有する請求項１に記載の磁気記録媒体。
3. 前記粒子は、
   ε酸化鉄を含むコア部と、
   軟磁性体を含むシェル部と
   を備える請求項１に記載の磁気記録媒体。
4. 前記シェル部は、
   前記コア部上に設けられた第１シェル部と、
   前記第１シェル部上に設けられた第２シェル部と
   を備え、
   前記第１シェル部は、α－Ｆｅ、ＮｉＦｅ合金またはＦｅＳｉＡｌ合金を含み、
   前記第２シェル部は、α酸化鉄、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素を含む請求項３に記載の磁気記録媒体。
5. 前記粒子は、鉄以外の金属をさらに含む請求項１に記載の磁気記録媒体。
6. 前記金属は、アルミニウム、ガリウムおよびインジウムのうちの少なくとも１種である請求項５に記載の磁気記録媒体。

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