JP7114161B2 - ガス検出装置及びガス検出方法 - Google Patents
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Description
このようなガス検出装置にあっては、ガス検出感度や検出対象とするガスを選択するというガス選択性の向上が必要である。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、微量のガスを検出可能なガス検出装置及びガス検出方法を提供することを目的とする。
このような極薄の基板21を感熱抵抗素子2に用いることで、熱容量が小さくなり高感度で、かつ熱応答性の優れたガスセンサ1が実現可能となる。
さらに、このガス検出方法は、検知対象物Gからリークする特定のガスが密閉空間形成部20内を拡散し、ガスセンサ1に検知されるステップを含んでいる。
さらにまた、感熱抵抗素子2の熱暴走現象を利用することにより、微量の特定のガスの濃度検出の向上を図ることが可能となる。
(実験例1)
本実験例では、本実施形態のガス検出装置10によるヘリウム(He)ガスのリーク検出出力の確認を行っており、その測定結果を図9に示している。
(実験例2)
本実験例では、環境温度が異なる場合のガス検出装置10による水素(H2)ガスのリーク検出出力の確認を行っており、その測定結果を図10に示している。
アンモニア(NH3)ガスの検出測定にあたっては、密閉収容体20a内にアンモニア(NH3)水が封入された未開封の樹脂製容器Btを収容した。
2・・・・・感熱抵抗素子
3・・・・・ガス分子吸着部材
4・・・・・ベース部材
5・・・・・外装ケース
10・・・・ガス検出装置
10a・・・測定装置
12・・・・マイコン
17・・・・電源回路
18・・・・加熱及び/又は冷却装置(温度コントロールユニット)
18a・・・ガスセンのサ設置部(設置部材)
18c・・・流通孔
19・・・・データ処理部
20・・・・密閉空間形成部
20a・・・密閉収容体
20b・・・パイプ部
20c・・・開閉部
20bg・・呼気採取バッグ
21c・・・蓋部
21・・・・基板
22・・・・導電層
22b・・・リード部
23・・・・薄膜素子層
24・・・・保護絶縁層
42・・・・導電端子部
51・・・・通気部
G・・・・・検知対象物
Te・・・・熱電素子
Claims (8)
- 検知対象物からリークする検知対象ガスを検知する感熱抵抗素子を有するガスセンサと、前記ガスセンサ及び前記検知対象物を同一空間内に収容し、強制的に前記検知対象ガスを導入する手段を用いることなく、前記検知対象ガスを前記空間内に前記検知対象ガスの拡散現象を利用して拡散させる密閉空間形成部と、を具備し、前記密閉空間形成部は、前記検知対象物が収容される少なくとも一つの密閉収容体と、前記ガスセンサが設置される設置部材と、前記密閉収容体と前記設置部材とを密閉的に連通状態に繋ぐパイプ部とを有し、前記パイプ部の連通路には、連通路を開閉可能な少なくとも一つの開閉部が設けられていることを特徴とするガス検出装置。
- 前記密閉収容体には、前記検知対象物を収容するための開閉可能な少なくとも一つの蓋部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のガス検出装置。
- 前記密閉空間形成部の密閉が真空度1000Pa以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガス検出装置。
- 前記ガスセンサは、感熱抵抗素子と、前記感熱抵抗素子と熱的に結合されるとともに、加熱、冷却により特定のガス分子が吸着、脱離される多孔性のガス分子吸着材料とを有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 前記感熱抵抗素子は、基板に薄膜素子層が成膜されて形成されており、前記基板の厚さ寸法は10μm~100μmであるとともに、前記感熱抵抗素子にはリード部が溶接された状態で接続されていることを特徴とする請求項4に記載のガス検出装置。
- 前記ガスセンサを一定の温度に保持する加熱及び/又は冷却装置を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 感熱抵抗素子と熱的に結合されるとともに、加熱により特定のガス分子が脱離される多孔性のガス分子吸着材料を有するガスセンサと、前記ガスセンサ及び検知対象物が収容され、強制的に前記検知対象物からリークする検知対象ガスを導入する手段を用いることなく、前記検知対象ガスの拡散現象を利用して拡散させる密閉空間形成部とを備え、前記密閉空間形成部は、前記検知対象物が収容される少なくとも一つの密閉収容体と、前記ガスセンサが設置される設置部材と、前記密閉収容体と前記設置部材とを密閉的に連通状態に繋ぐパイプ部とを有し、前記パイプ部の連通路には、連通路を開閉可能な少なくとも一つの開閉部が設けられているガス検出装置におけるガス検出方法であって、前記ガスセンサを一定の温度に保持するステップと、前記多孔性のガス分子吸着材料を加熱状態とする加熱ステップと、前記加熱による前記感熱抵抗素子の出力の変化によって特定のガスを検出する検出ステップと、を具備することを特徴とするガス検出方法。
- 請求項7に記載のガス検出方法において、検知対象ガスを検出するために、予め基準となるガスの出力の測定が行われることを特徴とするガス検出方法。
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