JP7111810B2 - 固体撮像装置および撮像システム - Google Patents

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Description

本発明は、固体撮像装置および撮像システムに関する。
イメージセンサの高ダイナミックレンジ(HDR)化を実現するために、高感度信号と低感度信号とを合成する方法が一般的に使用されている。高感度信号は、感度が高い画素で得られた信号である。低感度信号は、感度が低い画素で得られた信号である。高感度信号および低感度信号を得る方法として、各信号を得るときの蓄積時間が信号毎に異なる方法が多く使用されている。また、サイズが異なる2種類の画素を画素領域内に配置する方法がある。加算される画素信号の数を変えることにより、感度が異なる複数の画素から信号を得る方法もある。
各信号を得るときの蓄積時間が信号毎に異なる方法において、各信号を得る露光期間の長さが信号毎に異なる。そのため、移動物体がある場合には、複数の信号を合成した信号において、露光期間のずれにより偽信号が発生する。
サイズが異なる2種類の画素を画素領域内に配置する方法において、高感度信号を得るための画素の位置と、低感度信号を得るための画素の位置とが異なる。そのため、合成した信号において、画素の位置ずれにより偽信号が発生し、かつ画質が劣化する。この位置ずれは予め分かっているため、信号の補正は容易である。しかし、サイズが異なる複数の画素を配置する必要があるため、パターンのレイアウトが複雑である。画素の特性はレイアウトに非常に敏感であるため、サイズが異なる複数の画素を1つのチップ内に造り込むことは難しい。画素サイズが均一な通常のイメージセンサに比べ、歩留まりが低下する。
加算される画素信号の数を変えることにより、高感度信号および低感度信号を得る方法が特許文献1および特許文献2に開示されている。
日本国特開2015-89036号公報 日本国特開2017-055350号公報
Charge Coupled Devices(CCD)型固体撮像装置を用いた場合、高感度信号と低感度信号とで露光期間のずれは発生しない。行方向もしくは列方向に隣接した複数の画素で得られた画素信号が加算される。そのため、画像の解像度が水平方向と垂直方向とで大きく異なり、かつ合成した信号において、画質が劣化する。
Complementary Metal Oxide Semiconductor(CMOS)型固体撮像装置を用いた場合、信号の加算は、行方向もしくは列方向に隣接した複数の画素で得られた画素信号の加算に限定されない。特許文献1および特許文献2に開示されている方法では、高感度信号を得るための露光期間と、低感度信号を得るための露光期間とのずれが少なくとも1H期間もしくは1フレーム期間において発生する。そのため、合成した信号において、画質が劣化する。
本発明は、イメージセンサの高ダイナミックレンジ(HDR)化を実現するために、高感度信号と低感度信号とを合成した信号において、画質の劣化を抑制することができる固体撮像装置および撮像システムを提供することを目的とする。
本発明の第1の態様によれば、固体撮像装置は、行列状に配置された複数の光電変換素子を有する。前記固体撮像装置は、複数の画素グループを有する。前記複数の光電変換素子の各々は、前記複数の画素グループのいずれか1つに属する。前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも3つの前記光電変換素子を含む。前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、第1の電荷を生成する少なくとも2つの第1の光電変換素子と、第2の電荷を生成する少なくとも1つの第2の光電変換素子とからなる。前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、少なくとも2行および少なくとも2列に配置されている。前記複数の画素グループの各々は、フローティングディフュージョン、第1のメモリ、および第2のメモリを有する。第1の露光期間に前記第1の光電変換素子で前記第1の電荷が生成される。前記第1の電荷は第1のタイミングで前記フローティングディフュージョンに転送される。少なくとも2つの前記第1の光電変換素子で生成された2つの前記第1の電荷は前記フローティングディフュージョンにおいて加算され、かつ前記フローティングディフュージョンに保持される。前記第1のメモリは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する。第2の露光期間に前記第2の光電変換素子で前記第2の電荷が生成される。前記第2の露光期間の少なくとも一部は前記第1の露光期間と重なる。前記第2の電荷は第2のタイミングで前記フローティングディフュージョンに転送され、かつ前記フローティングディフュージョンに保持される。前記第2のタイミングは前記第1のタイミングと異なる。前記第2のメモリは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、前記固体撮像装置は、第1の基板および第2の基板を有してもよい。前記第1の基板は、前記複数の光電変換素子を有してもよい。前記第2の基板は、前記第1の基板に積層され、かつ前記第1のメモリおよび前記第2のメモリを有してもよい。
本発明の第3の態様によれば、第1または第2の態様において、前記複数の画素グループの各々は、転送トランジスタ、第1のスイッチ、および第2のスイッチを有してもよい。前記転送トランジスタは、前記第1の電荷および前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに転送してもよい。前記第1のスイッチは、前記フローティングディフュージョンおよび前記第1のメモリに接続されてもよい。前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンおよび前記第2のメモリに接続されてもよい。前記第1のスイッチがオンであるとき、前記第1のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷を前記第1のメモリに転送し、かつ前記第2のスイッチはオフであってもよい。前記第2のスイッチがオンであるとき、前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに転送し、かつ前記第1のスイッチはオフであってもよい。
本発明の第4の態様によれば、第1または第2の態様において、前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの前記光電変換素子を含んでもよい。前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されてもよい。
本発明の第5の態様によれば、第3の態様において、前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの前記光電変換素子を含んでもよい。前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されてもよい。
本発明の第6の態様によれば、第5の態様において、前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、少なくとも2つの前記第1の光電変換素子と、少なくとも2つの前記第2の光電変換素子とからなってもよい。前記転送トランジスタは、前記第2の光電変換素子で生成された前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに順次転送してもよい。前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに順次転送してもよい。前記第2のメモリは、少なくとも2組の前記第2の電荷に基づく少なくとも2組の前記第2の画素信号を別々に記憶してもよい。
本発明の第7の態様によれば、第6の態様において、前記固体撮像装置は、複数回の撮像を実行してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第1の光電変換素子は前記第1の電荷を生成してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第2の光電変換素子は前記第2の電荷を生成してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記転送トランジスタは、前記第1の電荷および前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに転送してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第1のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷を前記第1のメモリに転送してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに転送してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第1のメモリは、前記第1の画素信号を記憶してもよい。前記複数回の撮像の各々において、前記第2のメモリは、前記第2の画素信号を記憶してもよい。前記複数の画素グループの各々において、少なくとも2つの前記第1の光電変換素子の組み合わせは前記撮像毎に異なってもよい。前記複数の画素グループの各々において、少なくとも2つの前記第2の光電変換素子の組み合わせは前記撮像毎に異なってもよい。
本発明の第8の態様によれば、固体撮像装置は、行列状に配置された複数の光電変換素子を有する。前記固体撮像装置は、複数の画素グループを有する。前記複数の光電変換素子の各々は、前記複数の画素グループのいずれか1つに属する。前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも3つの前記光電変換素子を含む。前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、第1の電荷を生成する少なくとも2つの第1の光電変換素子と、第2の電荷を生成する少なくとも1つの第2の光電変換素子とからなる。前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、少なくとも2行および少なくとも2列に配置されている。前記複数の画素グループの各々は、第1のフローティングディフュージョン、および第2のフローティングディフュージョンを有する。露光期間に前記第1の光電変換素子で前記第1の電荷が生成される。前記第1の電荷は第1のタイミングで前記第1のフローティングディフュージョンに転送される。少なくとも2つの光電変換素子で生成される2つの前記第1の電荷は前記第1のフローティングディフュージョンにおいて加算され、かつ前記第1のフローティングディフュージョンに保持される。前記露光期間に前記第2の光電変換素子で前記第2の電荷が生成される。前記第2の電荷は第2のタイミングで前記第2のフローティングディフュージョンに転送され、かつ前記第2のフローティングディフュージョンに保持される。前記第2のタイミングは前記第1のタイミングと同じである。前記第1のフローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷に基づく第1の画素信号は第1の信号線に出力される。前記第2のフローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷に基づく第2の画素信号は、前記第1の信号線と異なる第2の信号線に出力される。
本発明の第9の態様によれば、撮像システムは、前記固体撮像装置および信号処理回路を有する。前記信号処理回路は、前記第1の画素信号に基づく第1の画像信号と、前記第2の画素信号に基づく第2の画像信号とを合成する。
上記の各態様によれば、固体撮像装置および撮像システムは合成した信号において、画質の劣化を抑制することができる。
本発明の第1の実施形態の撮像システムの構成を示すブロック図である。 本発明の第1の実施形態の固体撮像装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第1の実施形態の画素グループの構成を示す回路図である。 本発明の第1の実施形態の固体撮像装置の断面図および平面図である。 本発明の第1の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態の変形例の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態の画素グループの構成を示す回路図である。 本発明の第2の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第3の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第4の実施形態の画素グループの構成を示す回路図である。 本発明の第4の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第4の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第5の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第5の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第6の実施形態の画素グループの構成を示す回路図である。 本発明の第6の実施形態の固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。
図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態の撮像システム200の構成を示す。撮像システム200は、撮像機能を有する電子機器である。例えば、撮像システム200は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、および内視鏡などである。図1に示す撮像システム200は、レンズ201、固体撮像装置202、信号処理部203(信号処理回路)、表示部204、駆動制御部205、レンズ制御部206、カメラ制御部207、カメラ操作部208、および記憶部209を有する。
レンズ201は、被写体の光学像を固体撮像装置202の撮像面に結像する。レンズ制御部206は、レンズ201の絞りおよびレンズ201の焦点位置などを制御する。固体撮像装置202は、レンズ201によって結像された被写体の光学像に基づいてデジタルの画像信号を生成する。固体撮像装置202は、第1の画像信号および第2の画像信号を出力する。第1の画像信号は高感度信号に基づいて生成され、かつ第2の画像信号は低感度信号に基づいて生成される。駆動制御部205は、固体撮像装置202を駆動し、かつ、固体撮像装置202の動作を制御する。
信号処理部203は、固体撮像装置202から出力された画像信号に画像処理を行う。信号処理部203は、第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bを有する。第1の画像処理部203aは、記録のために画像信号を処理する。第2の画像処理部203bは、表示のために画像信号を処理する。第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、固体撮像装置202から出力された第1の画像信号と、固体撮像装置202から出力された第2の画像信号とを合成する。これにより、第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、ダイナミックレンジが高い画像を生成する。固体撮像装置202は、第1の画像信号と第2の画像信号とを合成する信号処理回路を有してもよい。
表示部204は、第2の画像処理部203bによって処理された画像信号に基づいて画像を表示する。表示部204は、静止画像を再生し、かつ表示することができる。表示部204は、被写体の画像を動画としてリアルタイムに表示することができる。
記憶部209は、第1の画像処理部203aによって処理された画像信号を記憶する。例えば、記憶部209はメモリカードである。記憶部209は、撮像システム200に対して着脱可能であってもよい。つまり、記憶部209は、撮像システム200に固有の構成である必要はない。
カメラ制御部207は、撮像システム200全体を制御する。カメラ制御部207の動作は、プログラムに規定されている。そのプログラムは、撮像システム200に内蔵されたROMに格納されている。カメラ制御部207は、そのプログラムを読み出して、そのプログラムが規定する内容に従って、各種の制御を行う。
カメラ操作部208は、ユーザが撮像システム200に対する各種の操作入力を行うための各種部材を有する。カメラ操作部208は、操作入力の結果に基づく信号をカメラ制御部207に出力する。
図2は、固体撮像装置202の構成を示す。固体撮像装置202は、画素部2、垂直走査回路3、列処理回路4、水平読み出し回路5、出力アンプ6、および制御回路7を有する。画素部2は、複数の画素1を有する。図2に示す各回路要素の配置位置は実際の配置位置と必ずしも一致するわけではない。
画素部2において、複数の画素1は2次元の行列状に配置されている。複数の画素1の配列における行数と、複数の画素1の配列における列数とは、2以上である。複数の画素グループ1aが配置されている。複数の画素1の各々は、複数の画素グループ1aのいずれか1つに属する。複数の画素グループ1aの各々は、少なくとも3つの画素1を含む。図2に示す例において、複数の画素グループ1aの各々は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置された少なくとも4つの画素1を含む。複数の画素グループ1aの各々において、2つ以上の画素1が行方向および列方向に連続的に配置されている。1つの画素グループ1aに属する4つの画素1は、FD(フローティングディフュージョン)を共有する。
図2に示す画素1の配列は一例である。画素1の配列における行数は、図2に示す行数と同じでなくてもよい。画素1の配列における列数は、図2に示す列数と同じでなくてもよい。1つの画素グループ1aに含まれる画素1の数は、4つでなくてもよい。画素信号は、読み出し領域から読み出される。第1の実施形態において読み出し領域は、固体撮像装置202が有する全ての画素1を含む。読み出し領域は、全ての画素1を含む領域の一部であってもよい。読み出し領域は、有効画素領域の外側に配置されているオプティカルブラック画素を含んでもよい。オプティカルブラック画素は、常時遮光されている。オプティカルブラック画素から読み出された画素信号は、例えば暗電流成分の補正に使用される。
垂直走査回路3は、例えばシフトレジスタを含む。垂直走査回路3は、画素1および画素グループ1aの駆動制御を行単位で行う。この駆動制御には、リセット動作、蓄積動作、および信号読み出し等が含まれる。この駆動制御を行うために、垂直走査回路3は、行毎に配置されている制御信号線(不図示)を経由して画素1および画素グループ1aに制御信号(制御パルス)を出力する。この駆動制御の結果、画素グループ1aの配列における列毎に配置されている垂直信号線(不図示)に画素信号が出力される。
列処理回路4は、垂直信号線に接続されている。列処理回路4は、垂直信号線に出力された画素信号に対して信号処理を行う。この信号処理は、ノイズ除去および増幅等を含む。水平読み出し回路5は、例えばシフトレジスタを含む。水平読み出し回路5は、列処理回路4によって処理された画素信号を出力アンプ6に出力する。出力アンプ6は、画素信号を増幅することにより画像信号を生成する。画像信号は、出力端子11から固体撮像装置202の外部へ出力される。
制御回路7は、クロック信号および制御信号等を生成する。クロック信号および制御信号は、垂直走査回路3、列処理回路4、および水平読み出し回路5等の動作の基準となる。制御回路7によって生成された信号は、垂直走査回路3、列処理回路4、および水平読み出し回路5等に出力される。画素信号のデジタル化は、固体撮像装置202内の回路で行われてもよいし、あるいは固体撮像装置202外の回路で行われてもよい。
図3は、画素グループ1aの構成を示す。1つの画素グループ1aは、連続する2行かつ連続する2列に配置された画素1に対応する。図3に示す画素グループ1aは、4つの光電変換素子10a,10b,10c,10dと、4つの転送トランジスタ11a,11b,11c,11dと、FD12(フローティングディフュージョン)と、第1のリセットトランジスタ13と、第1の増幅トランジスタ14と、第1の電流源16と、クランプ容量17と、2つのメモリユニット8a,8bとを有する。
メモリユニット8aは、サンプルトランジスタ18a、メモリ19a、第2のリセットトランジスタ20a、第2の増幅トランジスタ21a、および選択トランジスタ22aを有する。メモリユニット8bは、サンプルトランジスタ18b、メモリ19b、第2のリセットトランジスタ20b、第2の増幅トランジスタ21b、および選択トランジスタ22bを有する。
画素グループ1aの概略構成について説明する。固体撮像装置202は、行列状に配置された複数の光電変換素子10a,10b,10c,10dを有する。固体撮像装置202は、複数の画素グループ1aを有する。複数の光電変換素子10a,10b,10c,10dの各々は、複数の画素グループ1aのいずれか1つに属する。複数の画素グループ1aの各々は、複数の光電変換素子10a,10b,10c,10dに含まれる少なくとも3つの光電変換素子を含む。少なくとも3つの光電変換素子は、第1の電荷を生成する少なくとも2つの第1の光電変換素子と、第2の電荷を生成する少なくとも1つの第2の光電変換素子とからなる。少なくとも3つの光電変換素子は、少なくとも2行および少なくとも2列に配置されている。
第1の露光期間に少なくとも2つの第1の光電変換素子で少なくとも2つの第1の電荷が生成される。少なくとも2つの第1の電荷は第1のタイミングでFD12に転送される。少なくとも2つの第1の電荷はFD12において加算され、かつFD12に保持される。メモリ19a(第1のメモリ)は、FD12に保持された第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する。第2の露光期間に少なくとも1つの第2の光電変換素子で第2の電荷が生成される。第2の露光期間の少なくとも一部は第1の露光期間と重なる。第2の電荷は第2のタイミングでFD12に転送され、かつFD12に保持される。第2のタイミングは第1のタイミングと異なる。メモリ19b(第2のメモリ)は、FD12に保持された第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。
画素グループ1aの詳細な構成について説明する。複数の画素グループ1aの各々は、複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの光電変換素子を含む。少なくとも4つの光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されている。図3に示す画素グループ1aは、2行かつ2列に配置された4つの光電変換素子10a,10b,10c,10dを含む。1つの画素グループ1aに含まれる光電変換素子の数は5以上であってもよい。1つの画素グループ1aに含まれる光電変換素子の配列の行数は3以上であってもよい。1つの画素グループ1aに含まれる光電変換素子の配列の列数は3以上であってもよい。1つの画素グループ1aに含まれる光電変換素子の配列において、行数および列数が同じでなくてもよい。
FD12、第1のリセットトランジスタ13、第1の増幅トランジスタ14、第1の電流源16、およびクランプ容量17は、画素グループ1a内で共有されている。図3に示す各回路要素の配置位置は実際の配置位置と必ずしも一致するわけではない。
光電変換素子10aおよび転送トランジスタ11aは、第1の画素に対応する。光電変換素子10bおよび転送トランジスタ11bは、第2の画素に対応する。光電変換素子10cおよび転送トランジスタ11cは、第3の画素に対応する。光電変換素子10dおよび転送トランジスタ11dは、第4の画素に対応する。以下では、1つの画素グループ1aに含まれる4つの画素1のうち第1の画素の構成について説明する。第2の画素、第3の画素、および第4の画素の構成は、第1の画素の構成と同様である。以下では、メモリユニット8aの構成について説明する。メモリユニット8bの構成は、メモリユニット8aの構成と同様である。
光電変換素子10aの第1端は、グランドに接続されている。転送トランジスタ11aのドレインは、光電変換素子10aの第2端に接続されている。転送トランジスタ11aのゲートは、垂直走査回路3に接続されている。転送パルスS11aが垂直走査回路3から転送トランジスタ11aのゲートに供給される。
FD12の第1端は、転送トランジスタ11aのソース、転送トランジスタ11bのソース、転送トランジスタ11cのソース、および転送トランジスタ11dのソースに接続されている。FD12の第2端は、グランドに接続されている。第1のリセットトランジスタ13のドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。第1のリセットトランジスタ13のソースは、転送トランジスタ11aのソース、転送トランジスタ11bのソース、転送トランジスタ11cのソース、転送トランジスタ11dのソース、およびFD12の第1端に接続されている。第1のリセットトランジスタ13のゲートは、垂直走査回路3に接続されている。第1のリセットパルスS13が垂直走査回路3から第1のリセットトランジスタ13のゲートに供給される。
第1の増幅トランジスタ14のドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。第1の増幅トランジスタ14のゲートは、転送トランジスタ11aのソース、転送トランジスタ11bのソース、転送トランジスタ11cのソース、転送トランジスタ11dのソース、およびFD12の第1端に接続されている。第1の電流源16の第1端は、第1の増幅トランジスタ14のソースに接続されている。第1の電流源16の第2端は、グランドに接続されている。クランプ容量17の第1端は、第1の増幅トランジスタ14のソースおよび第1の電流源16の第1端に接続されている。
サンプルトランジスタ18aのドレインは、クランプ容量17の第2端に接続されている。サンプルトランジスタ18aのゲートは、垂直走査回路3に接続されている。サンプルパルスS18aが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18aのゲートに供給される。第2のリセットトランジスタ20aのドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。第2のリセットトランジスタ20aのソースは、サンプルトランジスタ18aのソースに接続されている。第2のリセットトランジスタ20aのゲートは、垂直走査回路3に接続されている。第2のリセットパルスS20aが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20aのゲートに供給される。
メモリ19aの第1端は、サンプルトランジスタ18aのソースに接続されている。メモリ19aの第2端は、グランドに接続されている。第2の増幅トランジスタ21aのドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。第2の増幅トランジスタ21aのゲートは、サンプルトランジスタ18aのソースおよびメモリ19aの第1端に接続されている。選択トランジスタ22aのドレインは、第2の増幅トランジスタ21aのソースに接続されている。選択トランジスタ22aのソースは、垂直信号線9に接続されている。選択トランジスタ22aのゲートは、垂直走査回路3に接続されている。選択パルスS22aが垂直走査回路3から選択トランジスタ22aのゲートに供給される。
光電変換素子10aは、フォトダイオードである。光電変換素子10aは、被写体を撮像し、かつ画素信号を出力する。具体的には、光電変換素子10aは、光電変換素子10aに入射した光の量に基づく電荷を生成し、かつ生成された電荷を保持および蓄積する。光電変換素子10aは、画素信号として電荷を出力する。
転送トランジスタ11aは、光電変換素子10aおよびFD12に接続されている。転送トランジスタ11aは、第1の状態と第2の状態とを切り替える。第1の状態において、光電変換素子10aとFD12とは電気的に接続される。第2の状態において、光電変換素子10aとFD12とは電気的に絶縁される。転送トランジスタ11aがオンであるとき、光電変換素子10aとFD12とは電気的に接続される。転送トランジスタ11aがオフであるとき、光電変換素子10aとFD12とは電気的に絶縁される。光電変換素子10aとFD12とが電気的に接続されたとき、転送トランジスタ11aは、光電変換素子10aに蓄積された電荷をFD12に転送する。転送トランジスタ11aのオンと転送トランジスタ11aのオフとは、垂直走査回路3から供給される転送パルスS11aに基づいて制御される。
転送パルスS11bが垂直走査回路3から転送トランジスタ11bのゲートに供給される。転送パルスS11cが垂直走査回路3から転送トランジスタ11cのゲートに供給される。転送パルスS11dが垂直走査回路3から転送トランジスタ11dのゲートに供給される。
FD12は、光電変換素子10a,10b,10c,10dから転送された電荷を一時的に保持および蓄積し、電圧に変換する。
第1のリセットトランジスタ13は、電源およびFD12に接続されている。第1のリセットトランジスタ13は、第1の状態と第2の状態とを切り替える。第1の状態において、電源とFD12とは電気的に接続される。第2の状態において、電源とFD12とは電気的に絶縁される。第1のリセットトランジスタ13がオンであるとき、電源とFD12とは電気的に接続される。第1のリセットトランジスタ13がオフであるとき、電源とFD12とは電気的に絶縁される。電源とFD12とが電気的に接続されたとき、第1のリセットトランジスタ13はFD12をリセットする。第1のリセットトランジスタ13のオンと第1のリセットトランジスタ13のオフとは、垂直走査回路3から供給される第1のリセットパルスS13に基づいて制御される。転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオンであるとき、光電変換素子10aがリセットされる。光電変換素子10aおよびFD12のリセットにより、光電変換素子10aおよびFD12に蓄積されている電荷の量が制御される。このリセットにより、光電変換素子10aおよびFD12の状態(電位)が基準状態(基準電位、リセットレベル)に設定される。
第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号としてソースから出力する。第1の電流源16は、第1の増幅トランジスタ14の負荷として機能し、かつ第1の増幅トランジスタ14を駆動する電流を第1の増幅トランジスタ14に供給する。第1の増幅トランジスタ14および第1の電流源16は、ソースフォロア回路である。
クランプ容量17は、第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号の電圧レベルをクランプ(固定)する。サンプルトランジスタ18aは、クランプ容量17およびメモリ19aに接続されている。サンプルトランジスタ18aは、第1の状態と第2の状態とを切り替える。第1の状態において、クランプ容量17とメモリ19aとは電気的に接続される。第2の状態において、クランプ容量17とメモリ19aとは電気的に絶縁される。サンプルトランジスタ18aがオンであるとき、クランプ容量17とメモリ19aとは電気的に接続される。サンプルトランジスタ18aがオフであるとき、クランプ容量17とメモリ19aとは電気的に絶縁される。クランプ容量17とメモリ19aとが電気的に接続されたとき、サンプルトランジスタ18aは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。これによって、サンプルトランジスタ18aは、第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号をメモリ19aに転送する。サンプルトランジスタ18aのオンとサンプルトランジスタ18aのオフとは、垂直走査回路3から供給されるサンプルパルスS18aに基づいて制御される。
メモリ19aは、サンプルトランジスタ18aによってサンプリングされた画素信号を保持する。例えば、メモリ19aとして、Metal Insulator Metal(MIM)容量またはMetal Oxide Semiconductor(MOS)容量が使用される。MIM容量およびMOS容量は、リークの少ない容量である。これによって、ノイズに対する耐性が向上し、かつ高品質な信号が得られる。
第2のリセットトランジスタ20aは、電源およびメモリ19aに接続されている。第2のリセットトランジスタ20aは、第1の状態と第2の状態とを切り替える。第1の状態において、電源とメモリ19aとは電気的に接続される。第2の状態において、電源とメモリ19aとは電気的に絶縁される。第2のリセットトランジスタ20aがオンであるとき、電源とメモリ19aとは電気的に接続される。第2のリセットトランジスタ20aがオフであるとき、電源とメモリ19aとは電気的に絶縁される。電源とメモリ19aとが電気的に接続されたとき、第2のリセットトランジスタ20aはメモリ19aをリセットする。第2のリセットトランジスタ20aのオンと第2のリセットトランジスタ20aのオフとは、垂直走査回路3から供給される第2のリセットパルスS20aに基づいて制御される。サンプルトランジスタ18aおよび第2のリセットトランジスタ20aがオンであるとき、クランプ容量17がリセットされる。クランプ容量17およびメモリ19aのリセットにより、クランプ容量17およびメモリ19aに蓄積されている電荷の量が制御される。このリセットにより、クランプ容量17およびメモリ19aの状態(電位)が基準状態(基準電位、リセットレベル)に設定される。
第2の増幅トランジスタ21aは、メモリ19aに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号としてソースから出力する。垂直信号線9に接続された第2の電流源23は、第2の増幅トランジスタ21aの負荷として機能し、かつ第2の増幅トランジスタ21aを駆動する電流を第2の増幅トランジスタ21aに供給する。第2の増幅トランジスタ21aおよび第2の電流源23は、ソースフォロア回路である。
選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aおよび垂直信号線9に接続されている。選択トランジスタ22aは、第1の状態と第2の状態とを切り替える。第1の状態において、第2の増幅トランジスタ21aと垂直信号線9とは電気的に接続される。第2の状態において、第2の増幅トランジスタ21aと垂直信号線9とは電気的に絶縁される。選択トランジスタ22aがオンであるとき、第2の増幅トランジスタ21aと垂直信号線9とは電気的に接続される。選択トランジスタ22aがオフであるとき、第2の増幅トランジスタ21aと垂直信号線9とは電気的に絶縁される。第2の増幅トランジスタ21aと垂直信号線9とが電気的に接続されたとき、選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aから出力された画素信号を垂直信号線9に出力する。選択トランジスタ22aのオンと選択トランジスタ22aのオフとは、垂直走査回路3から供給される選択パルスS22aに基づいて制御される。
サンプルパルスS18bが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18bのゲートに供給される。第2のリセットパルスS20bが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20bのゲートに供給される。選択パルスS22bが垂直走査回路3から選択トランジスタ22bのゲートに供給される。
転送トランジスタ11a,11b,11c,11dは、第1の電荷および第2の電荷をFD12に転送する。サンプルトランジスタ18a(第1のスイッチ)は、FD12およびメモリ19a(第1のメモリ)に接続されている。サンプルトランジスタ18b(第2のスイッチ)は、FD12およびメモリ19b(第2のメモリ)に接続されている。サンプルトランジスタ18aがオンであるとき、サンプルトランジスタ18aは、FD12に保持された第1の電荷をFD12からメモリ19aに転送し、かつサンプルトランジスタ18bはオフである。サンプルトランジスタ18bがオンであるとき、サンプルトランジスタ18bは、FD12に保持された第2の電荷をFD12からメモリ19bに転送し、かつサンプルトランジスタ18aはオフである。
図3に示す画素グループ1aに含まれるトランジスタは、NMOSトランジスタである。画素グループ1aに含まれるトランジスタは、PMOSトランジスタであってもよい。この場合、電源の極性およびグランドの極性は、図3に示すそれぞれの極性の反対となる。
図4は、固体撮像装置202の断面構造202aおよび固体撮像装置202の平面構造202bを示す。固体撮像装置202は、積層された2枚の基板を含む。2枚の基板は、第1の基板30および第2の基板31である。光電変換素子10a,10b,10c,10dは、第1の基板30に配置されている。メモリ19a,19b,19c,19dは、第2の基板31に配置されている。
第1の基板30は、複数の光電変換素子10a,10b,10c,10dを有する。第2の基板31は、第1の基板30に積層され、かつメモリ19a,19bを有する。この構成により、光電変換素子10a,10b,10c,10dの面積を大きくすることができる。この構成により、メモリ19a,19bに保持されている画素信号への光ノイズの影響を抑制することができる。画素グループ1aに含まれる他の回路要素は、第1の基板30および第2の基板31のいずれか1つに配置される。第1の基板30および第2の基板31は電気的に接続され、かつ、第1の基板30および第2の基板31の間で電気信号が転送される。
第1の基板30は、2つの主面として第1の面および第2の面を有する。主面の表面積は、側面の表面積よりも相対的に大きい。光Lが照射される第1の面側に光電変換素子10a,10b,10c,10dが配置されている。第1の基板30に照射された光Lは光電変換素子10a,10b,10c,10dに入射する。第1の基板30の第2の面には、多数のマイクロパッド32が画素グループ1a毎に配置されている。マイクロパッド32は、第1の基板30と第2の基板31とを接続するための電極である。
第2の基板31は、2つの主面として第3の面および第4の面を有する。第2の基板31の第3の面は、第1の基板30の第2の面と対向する。第2の基板31は、第1の基板30の第2の面に積層されている。第2の基板31の第3の面において、マイクロパッド32と対応する位置には、多数のマイクロパッド33が配置されている。マイクロパッド33は、第1の基板30と第2の基板31とを接続するための電極である。マイクロパッド32とマイクロパッド33との間にはマイクロバンプ34が配置されている。第1の基板30および第2の基板31は、マイクロパッド32およびマイクロパッド33が互いに対向した状態で重ねられる。第1の基板30および第2の基板31は、マイクロパッド32とマイクロパッド33とがマイクロバンプ34によって電気的に接続された状態で一体化されている。マイクロパッド32、マイクロバンプ34、およびマイクロパッド33は、第1の基板30と第2の基板31とを接続する接続電極である。
光電変換素子10a,10b,10c,10d、転送トランジスタ11a,11b,11c,11d、FD12、第1のリセットトランジスタ13、および第1の増幅トランジスタ14は、第1の基板30に配置されている。第1の電流源16、クランプ容量17、サンプルトランジスタ18a,18b、第2のリセットトランジスタ20a,20b、メモリ19a,19b、第2の増幅トランジスタ21a,21b、および選択トランジスタ22a,22bは、第2の基板31に配置されている。この場合、第1の基板30の第1の増幅トランジスタ14のソースと、第2の基板31のクランプ容量17の一端との間に接続電極が配置される。第1の基板30の第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、接続電極を経由して第2の基板31に入力される。第1の基板30および第2の基板31に配置される回路要素の組み合わせは上記の組み合わせに限らない。接続電極は、光電変換素子10a,10b,10c,10dからメモリ19a,19bまでの電気的に接続された経路上の任意の位置に配置されていてもよい。
第1の基板30の第2の面の周辺部には、マイクロパッド32と同様の構造を有するマイクロパッド35が配置されている。第2の基板31の第3の面において、マイクロパッド35と対応する位置には、マイクロパッド33と同様の構造を有するマイクロパッド36が配置されている。マイクロパッド35とマイクロパッド36との間にはマイクロバンプ37が配置されている。第1の基板30に配置された回路要素、または第2の基板31に配置された回路要素を駆動するための電源電圧等は、マイクロパッド35、マイクロバンプ37、およびマイクロパッド36を経由して、第1の基板30から第2の基板31へ、または第2の基板31から第1の基板30へ供給される。
第2の基板31の第3の面の周辺部には、第1の基板30および第2の基板31以外の系とのインターフェースとして使用されるパッド38が配置されている。パッド38に代えて、第2の基板31を貫通する貫通電極が配置され、かつ貫通電極が外部接続用の電極として使用されてもよい。図4に示す例では、第1の基板30の主面の面積と第2の基板31の主面の面積とが異なる。第1の基板30の主面の面積と第2の基板31の主面の面積とが同じであってもよい。マイクロバンプが配置されなくてもよい。その場合、第1の基板30の表面に配置されたマイクロパッド(第1の電極)と、第2の基板31の表面に配置されたマイクロパッド(第2の電極)とが直接貼り合わされてもよい。
固体撮像装置202は、積層された2枚の基板を含む。画素サイズに比較的余裕があり、かつ迷光などの対策を施すことができる場合には、全ての回路要素が1枚の基板に配置されてもよい。迷光は、光ノイズの要因となる。
図5は、固体撮像装置202の動作を示す。図5において、各パルスの波形が示されている。図5における横方向は時間を示し、かつ図5における縦方向は電圧を示す。図5に示す動作において、光電変換素子10a,10dが高感度信号(第1の画素信号)を生成し、かつその信号がメモリ19aに保持される。図5に示す動作において、光電変換素子10bが低感度信号(第2の画素信号)を生成し、かつその信号がメモリ19bに保持される。
時刻t1よりも前では、各パルスのレベルはL(Low)レベルである。時刻t1において、転送パルスS11a、転送パルスS11d、および第1のリセットパルスS13がLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオンになる。時刻t1において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dがリセットされる。時刻t1よりも後の時刻t2において、転送パルスS11a、転送パルスS11d、および第1のリセットパルスS13がHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t2において光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、撮像を開始する。つまり、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号(高感度信号)の生成を開始する。
時刻t2よりも後の時刻t3において、転送パルスS11bおよび第1のリセットパルスS13がLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11bおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになる。時刻t3において、光電変換素子10bがリセットされる。時刻t3よりも後の時刻t4において、転送パルスS11bおよび第1のリセットパルスS13がHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11bおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t4において光電変換素子10bは、撮像を開始する。つまり、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t4よりも後の時刻t5において、第1のリセットパルスS13がLレベルからHレベルに変化する。そのため、第1のリセットトランジスタ13がオンになる。時刻t5において、FD12がリセットされる。時刻t5よりも後の時刻t6において、第1のリセットパルスS13がHレベルからLレベルに変化する。そのため、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t5において、サンプルパルスS18aおよび第2のリセットパルスS20aがLレベルからHレベルに変化する。そのため、サンプルトランジスタ18aおよび第2のリセットトランジスタ20aがオンになる。時刻t5において、クランプ容量17およびメモリ19aがリセットされる。時刻t6において、第2のリセットパルスS20aがHレベルからLレベルに変化する。そのため、第2のリセットトランジスタ20aがオフになる。
時刻t6よりも後の時刻t7において、転送パルスS11aおよび転送パルスS11dがLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11aおよび転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t7において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々から出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t7よりも後の時刻t8において、転送パルスS11aおよび転送パルスS11dがHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11aおよび転送トランジスタ11dがオフになる。時刻t8において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、撮像を終了する。つまり、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T11において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々に入射した光に基づく電荷が光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々に蓄積される。露光期間T11は、時刻t2から時刻t8までの期間である。光電変換素子10aから出力された電荷と、光電変換素子10dから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。
時刻t7において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18aがオンであるため、サンプルトランジスタ18aは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t8において、メモリ19aは画素信号(高感度信号)を保持する。
時刻t8よりも後の時刻t9において、第1のリセットパルスS13がLレベルからHレベルに変化する。そのため、第1のリセットトランジスタ13がオンになる。時刻t9において、FD12がリセットされる。時刻t9よりも後の時刻t10において、第1のリセットパルスS13がHレベルからLレベルに変化する。そのため、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t9において、サンプルパルスS18bおよび第2のリセットパルスS20bがLレベルからHレベルに変化する。そのため、サンプルトランジスタ18bおよび第2のリセットトランジスタ20bがオンになる。時刻t9において、クランプ容量17およびメモリ19bがリセットされる。時刻t10において、第2のリセットパルスS20bがHレベルからLレベルに変化する。そのため、第2のリセットトランジスタ20bがオフになる。
時刻t10よりも後の時刻t11において、転送パルスS11bがLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11bがオンになる。時刻t11において、光電変換素子10bから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t11よりも後の時刻t12において、転送パルスS11bがHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11bがオフになる。時刻t12において、光電変換素子10bは、撮像を終了する。つまり、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T12において、光電変換素子10bに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10bに蓄積される。露光期間T12は、時刻t4から時刻t12までの期間である。光電変換素子10bから出力された電荷は、FD12に保持される。
時刻t11において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18bがオンであるため、サンプルトランジスタ18bは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t12において、メモリ19bは画素信号(低感度信号)を保持する。
図5に示す動作は、固体撮像装置202に配置された全ての画素グループ1aで同時に行われる。そのため、グローバル電子シャッター動作が実現される。
読み出し期間Treadにおいて、メモリ19aおよびメモリ19bに保持された画素信号が読み出される。読み出し期間Treadは、時刻t12よりも後の時刻t13から開始される。第2の増幅トランジスタ21aは、メモリ19aに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21bは、メモリ19bに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22bは、第2の増幅トランジスタ21bから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。第1の画素信号が垂直信号線9に出力されるタイミングと、第2の画素信号が垂直信号線9に出力されるタイミングとは、互いに異なる。
図5に示す動作において、露光期間T11(第1の露光期間)に少なくとも2つの第1の光電変換素子で少なくとも2つの第1の電荷が生成される。第1の光電変換素子は、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dである。少なくとも2つの第1の電荷は時刻t7においてFD12に転送される。FD12に転送された少なくとも2つの第1の電荷はFD12において加算され、かつFD12に保持される。メモリ19aは、FD12に保持された第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する。露光期間T12(第2の露光期間)に少なくとも1つの第2の光電変換素子で第2の電荷が生成される。第2の光電変換素子は、光電変換素子10bである。露光期間T12の少なくとも一部は露光期間T11と重なる。第2の電荷は時刻t11においてFD12に転送され、かつFD12に保持される。メモリ19bは、FD12に保持された第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。
図5に示す動作において、光電変換素子10a,10dが高感度信号の取得に使用され、かつ光電変換素子10bが低感度信号の取得に使用される。2つの光電変換素子10a,10dの行位置は互いに異なり、かつ2つの光電変換素子10a,10dの列位置は互いに異なる。FD12が各光電変換素子で共有される限り、任意の光電変換素子の組み合わせで高感度信号および低感度信号の各々を得ることができる。そのため、電荷の加算に係わる複数の画素の配置方向は水平方向または垂直方向に限らない。
光電変換素子10aの電荷と光電変換素子10dの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。光電変換素子10bのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。また、高感度信号を生成するための露光期間T11の長さと、低感度信号を生成するための露光期間T12の長さとは、同じである。露光期間T12の少なくとも一部は露光期間T11と重なる。露光期間T11と露光期間T12とのずれは、光電変換素子から出力された信号をメモリに保持するために必要な時間である。その時間は、数μsecである。通常の露光時間は、例えば1フレーム時間であり、その長さは33.3msecである。上記のずれは、通常の露光時間に対して非常に短い。
したがって、第1の画像信号と第2の画像信号とを合成することにより、画質の劣化が抑制された高ダイナミックレンジの画像を得ることができる。第1の画像信号は、高感度信号に基づいて生成される。第2の画像信号は、低感度信号に基づいて生成される。固体撮像装置202および撮像システム200は画質の劣化を抑制することができる。
(第1の実施形態の変形例)
図6は、第1の実施形態の変形例の固体撮像装置202の動作を示す。図6において、図5に示す部分と同じ部分の説明を省略する。図6に示す動作において、光電変換素子10a,10c,10dが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19aに保持される。図6に示す動作において、光電変換素子10bが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19bに保持される。
時刻t1において、転送パルスS11a、転送パルスS11c、転送パルスS11d、および第1のリセットパルスS13がLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11c、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオンになる。時刻t1において、光電変換素子10a、光電変換素子10c、および光電変換素子10dがリセットされる。時刻t1よりも後の時刻t2において、転送パルスS11a、転送パルスS11c、転送パルスS11d、および第1のリセットパルスS13がHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11c、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t3から時刻t6までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t3から時刻t6までの固体撮像装置202の動作と同じである。時刻t7において、転送パルスS11a、転送パルスS11c、および転送パルスS11dがLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11c、および転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t7において、光電変換素子10a、光電変換素子10c、および光電変換素子10dの各々から出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t8において、転送パルスS11a、転送パルスS11c、および転送パルスS11dがHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11c、および転送トランジスタ11dがオフになる。光電変換素子10aから出力された電荷と、光電変換素子10cから出力された電荷と、光電変換素子10dから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。時刻t9から時刻t12までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t9から時刻t12までの固体撮像装置202の動作と同じである。
図5に示す動作において、2つの光電変換素子から出力された2つの電荷が加算される。図6に示す動作において、3つの光電変換素子から出力された3つの電荷が加算される。そのため、図6に示す動作において、高感度信号と低感度信号との信号比が、図5に示す動作における信号比に比べて大きくなる。また、被写体に移動物がない場合、露光期間のずれが画質に影響しない。その場合、高感度信号と低感動信号との露光時間の差が大きく設定されてもよい。これにより、高感度信号と低感度信号との信号比を大きくすることができる。
(第2の実施形態)
図2に示す固体撮像装置202を使用して、本発明の第2の実施形態を説明する。第2の実施形態において、図3に示す画素グループ1aは、図7に示す画素グループ1bに変更される。図7は、画素グループ1bの構成を示す。図3に示す構成と同じ構成の説明を省略する。
画素グループ1bは、図3に示す画素グループ1aの構成に加えて、メモリユニット8cおよびメモリユニット8dを有する。メモリユニット8cは、サンプルトランジスタ18c、メモリ19c、第2のリセットトランジスタ20c、第2の増幅トランジスタ21c、および選択トランジスタ22cを有する。メモリユニット8dは、サンプルトランジスタ18d、メモリ19d、第2のリセットトランジスタ20d、第2の増幅トランジスタ21d、および選択トランジスタ22dを有する。メモリユニット8cおよびメモリユニット8dの各々の構成は、メモリユニット8aの構成と同様である。第2の実施形態において、メモリユニットの数は光電変換素子の数と同じである。図7に示す各回路要素の配置位置は実際の配置位置と必ずしも一致するわけではない。
サンプルパルスS18cが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18cのゲートに供給される。第2のリセットパルスS20cが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20cのゲートに供給される。選択パルスS22cが垂直走査回路3から選択トランジスタ22cのゲートに供給される。
サンプルパルスS18dが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18dのゲートに供給される。第2のリセットパルスS20dが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20dのゲートに供給される。選択パルスS22dが垂直走査回路3から選択トランジスタ22dのゲートに供給される。
第2の実施形態において、高感度信号および低感度信号を得るための固体撮像装置202の駆動方法は、第1の実施形態の固体撮像装置202の駆動方法と同様である。第2の実施形態において、4つのメモリユニットが配置されているため、メモリユニット8aが高感度信号を保持する必要はなく、かつメモリユニット8bが低感度信号を保持する必要はない。高感度信号および低感度信号はそれぞれ任意のメモリユニットに保持されてもよい。
図8は、固体撮像装置202の動作を示す。図8において、図5に示す部分と同じ部分の説明を省略する。図8に示す動作において、全ての画素1の画素信号がグローバルシャッター動作により読み出される。
時刻t1よりも前では、各パルスのレベルはLレベルである。時刻t1において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10aがリセットされる。時刻t1よりも後の時刻t2において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t2において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を開始する。
時刻t2よりも後の時刻t3において、転送トランジスタ11bおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10bがリセットされる。時刻t3よりも後の時刻t4において、転送トランジスタ11bおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t4において、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を開始する。
時刻t4よりも後の時刻t5において、転送トランジスタ11cおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10cがリセットされる。時刻t5よりも後の時刻t6において、転送トランジスタ11cおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t6において、光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を開始する。
時刻t6よりも後の時刻t7において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10dがリセットされる。時刻t7よりも後の時刻t8において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t8において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を開始する。
時刻t8よりも後の時刻t9において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t9よりも後の時刻t10において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t9において、サンプルトランジスタ18aおよび第2のリセットトランジスタ20aがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19aがリセットされる。時刻t10において、第2のリセットトランジスタ20aがオフになる。
時刻t10よりも後の時刻t11において、転送トランジスタ11aがオンになる。時刻t11において、光電変換素子10aから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t11よりも後の時刻t12において、転送トランジスタ11aがオフになる。時刻t12において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T11において、光電変換素子10aに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10aに蓄積される。露光期間T11は、時刻t2から時刻t12までの期間である。
時刻t11において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18aは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t12において、メモリ19aは画素信号を保持する。
時刻t12よりも後の時刻t13において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t13よりも後の時刻t14において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t13において、サンプルトランジスタ18bおよび第2のリセットトランジスタ20bがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19bがリセットされる。時刻t14において、第2のリセットトランジスタ20bがオフになる。
時刻t14よりも後の時刻t15において、転送トランジスタ11bがオンになる。時刻t15において、光電変換素子10bから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t15よりも後の時刻t16において、転送トランジスタ11bがオフになる。時刻t16において、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T12において、光電変換素子10bに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10bに蓄積される。露光期間T12は、時刻t4から時刻t16までの期間である。
時刻t15において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18bは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t16において、メモリ19bは画素信号を保持する。
時刻t16よりも後の時刻t17において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t17よりも後の時刻t18において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t17において、サンプルトランジスタ18cおよび第2のリセットトランジスタ20cがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19cがリセットされる。時刻t18において、第2のリセットトランジスタ20cがオフになる。
時刻t18よりも後の時刻t19において、転送トランジスタ11cがオンになる。時刻t19において、光電変換素子10cから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t19よりも後の時刻t20において、転送トランジスタ11cがオフになる。時刻t20において、光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T13において、光電変換素子10cに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10cに蓄積される。露光期間T13は、時刻t6から時刻t20までの期間である。
時刻t19において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18cは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t20において、メモリ19cは画素信号を保持する。
時刻t20よりも後の時刻t21において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t21よりも後の時刻t22において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t21において、サンプルトランジスタ18dおよび第2のリセットトランジスタ20dがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19dがリセットされる。時刻t22において、第2のリセットトランジスタ20dがオフになる。
時刻t22よりも後の時刻t23において、転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t23において、光電変換素子10dから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t23よりも後の時刻t24において、転送トランジスタ11dがオフになる。時刻t24において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T14において、光電変換素子10dに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10dに蓄積される。露光期間T14は、時刻t8から時刻t24までの期間である。
時刻t23において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18dは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t24において、メモリ19dは画素信号を保持する。
図8に示す動作は、固体撮像装置202に配置された全ての画素グループ1bで同時に行われる。そのため、グローバル電子シャッター動作が実現される。
読み出し期間Treadにおいて、メモリ19a、メモリ19b、メモリ19c、およびメモリ19dに保持された画素信号が読み出される。読み出し期間Treadは、時刻t24よりも後の時刻t25から開始される。
第2の実施形態の固体撮像装置202は、第1のモードおよび第2のモードのいずれか1つで動作する。固体撮像装置202は、固体撮像装置202に設定されるモードを第1のモードと第2のモードとの間で切り替えることができる。固体撮像装置202は、第1のモード(図5)において、高感度信号および低感度信号を得る。固体撮像装置202は、第2のモード(図8)において、全ての画素1の画素信号を得る。固体撮像装置202は、状況に応じて最適な撮像を行うことができる。
(第3の実施形態)
図2に示す固体撮像装置202を使用して、本発明の第3の実施形態を説明する。第3の実施形態の固体撮像装置202は、図7に示す画素グループ1bを含む。第3の実施形態において、複数の画素グループ1bの各々は、複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの光電変換素子を含む。少なくとも4つの光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されている。
少なくとも4つの光電変換素子は、少なくとも2つの第1の光電変換素子と、少なくとも2つの第2の光電変換素子とからなる。第1の光電変換素子は、高感度信号として第1の電荷を生成する。第2の光電変換素子は、低感度信号として第2の電荷を生成する。転送トランジスタは、少なくとも2つの第2の光電変換素子で生成された少なくとも2組の第2の電荷をFD12に順次転送する。第2のスイッチは、FD12に保持された少なくとも2組の第2の電荷をFD12から第2のメモリに順次転送する。第2のメモリは、少なくとも2組の第2の電荷に基づく少なくとも2組の第2の画素信号を別々に記憶する。
以下の例において第2の光電変換素子は、光電変換素子10b,10cである。転送トランジスタ11b,11cは、光電変換素子10b,10cで生成された2組の第2の電荷をFD12に順次転送する。以下の例において第2のスイッチは、サンプルトランジスタ18b,18cである。以下の例において第2のメモリは、メモリ19b,19cである。サンプルトランジスタ18b,18cは、FD12に保持された2組の第2の電荷をメモリ19b,19cに順次転送する。メモリ19b,19cは、2組の第2の画素信号を別々に記憶する。
図9は、固体撮像装置202の動作を示す。図9において、図5に示す部分と同じ部分の説明を省略する。図9に示す動作において、光電変換素子10a,10dが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19aに保持される。図9に示す動作において、光電変換素子10b,10cが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19b,19cに保持される。
時刻t1よりも前では、各パルスのレベルはL(Low)レベルである。時刻t1から時刻t5までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t1から時刻t5固体撮像装置202の動作と同じである。時刻t2において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号(高感度信号)の生成を開始する。
時刻t3から時刻t4までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t3から時刻t4までの固体撮像装置202の動作と同じである。時刻t4において、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t4よりも後の時刻t5において、転送トランジスタ11cおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10cがリセットされる。時刻t5よりも後の時刻t6において、転送トランジスタ11cおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t6において、光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t7から時刻t10までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t5から時刻t8までの固体撮像装置202の動作と同じである。時刻t9において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々から出力された電荷がFD12に転送される。時刻t10において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T11において、光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々に入射した光に基づく電荷が光電変換素子10aおよび光電変換素子10dの各々に蓄積される。露光期間T11は、時刻t2から時刻t10までの期間である。光電変換素子10aから出力された電荷と、光電変換素子10dから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。時刻t10において、メモリ19aは画素信号(高感度信号)を保持する。
時刻t11から時刻t14までの固体撮像装置202の動作は、図5に示す時刻t9から時刻t12までの固体撮像装置202の動作と同じである。時刻t13において、光電変換素子10bから出力された電荷がFD12に転送される。時刻t14において、光電変換素子10bは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T12において、光電変換素子10bに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10bに蓄積される。露光期間T12は、時刻t4から時刻t14までの期間である。光電変換素子10bから出力された電荷は、FD12に保持される。時刻t14において、メモリ19bは画素信号(低感度信号)を保持する。
時刻t14よりも後の時刻t15において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t15よりも後の時刻t16において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t15において、サンプルトランジスタ18cおよび第2のリセットトランジスタ20cがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19cがリセットされる。時刻t16において、第2のリセットトランジスタ20cがオフになる。
時刻t16よりも後の時刻t17において、転送トランジスタ11cがオンになる。時刻t17において、光電変換素子10cから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t17よりも後の時刻t18において、転送トランジスタ11cがオフになる。時刻t18において、光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T13において、光電変換素子10cに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10cに蓄積される。露光期間T13は、時刻t6から時刻t18までの期間である。光電変換素子10cから出力された電荷は、FD12に保持される。時刻t18において、メモリ19cは画素信号(低感度信号)を保持する。
時刻t17において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18cは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t18において、メモリ19cは画素信号(低感度信号)を保持する。
図9に示す動作は、固体撮像装置202に配置された全ての画素グループ1bで同時に行われる。そのため、グローバル電子シャッター動作が実現される。
読み出し期間Treadにおいて、メモリ19a,19b,19cに保持された画素信号が読み出される。読み出し期間Treadは、時刻t18よりも後の時刻t19から開始される。第2の増幅トランジスタ21aは、メモリ19aに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21bは、メモリ19bに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22bは、第2の増幅トランジスタ21bから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21cは、メモリ19cに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22cは、第2の増幅トランジスタ21cから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。
第1の画素信号が垂直信号線9に出力されるタイミングと、第2の画素信号が垂直信号線9に出力されるタイミングとは、互いに異なる。2組の第2の画素信号が垂直信号線9に出力されるタイミングは、互いに異なる。
図9に示す時刻t13において、転送トランジスタ11bは、光電変換素子10bで生成された第2の電荷をFD12に転送する。時刻t13において、サンプルトランジスタ18bは、FD12に保持された第2の電荷をメモリ19bに転送する。時刻t14において、メモリ19bは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。
図9に示す時刻t17において、転送トランジスタ11cは、光電変換素子10cで生成された第2の電荷をFD12に転送する。時刻t17において、サンプルトランジスタ18cは、FD12に保持された第2の電荷をメモリ19cに転送する。時刻t17において、メモリ19cは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。
1つの画素グループ1bが5つ以上の光電変換素子を含む場合、3つ以上の第2の光電変換素子で3つ以上の第2の電荷が生成されてもよい。転送トランジスタは、3つ以上の第2の光電変換素子で生成された3つ以上の第2の電荷をFD12に順次転送してもよい。第2のスイッチは、FD12に保持された3組以上の第2の電荷を第2のメモリに順次転送してもよい。第2のメモリは、3組以上の第2の電荷に基づく3組以上の第2の画素信号を別々に記憶してもよい。
図9に示す動作において、メモリユニット8dは画素信号を保持しない。そのため、画素グループ1bはメモリユニット8dを有していなくてもよい。
光電変換素子10aの電荷と光電変換素子10dの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。光電変換素子10bのみの電荷に基づいて低感度信号が得られ、かつ光電変換素子10cのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。
固体撮像装置202は、高感度信号に基づく第1の画像信号と、低感度信号に基づく第2の画像信号とを出力する。第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、固体撮像装置202から出力された2組の第2の画像信号を平均してもよい。固体撮像装置202は、2組の第2の画像信号を平均する信号処理回路を有してもよい。
2組の第2の画像信号は、同じ画素グループ1bから出力される。2つの第1の光電変換素子の重心位置は、画素グループ1bの重心位置と同じである。2つの第2の光電変換素子の重心位置は、画素グループ1bの重心位置と同じである。そのため、第1の電荷が得られる2つの第1の光電変換素子の重心位置と、第2の電荷が得られる2つの第2の光電変換素子の重心位置とは、同じである。つまり、第1の画素信号(高感度信号)の画素重心位置と、第2の画素信号(低感度信号)の画素重心位置とは、同じである。
第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、第1の画像信号および第2の画像信号を合成する。第1の画像信号は第1の画素信号に基づいて生成され、かつ第2の画像信号は第2の画素信号に基づいて生成される。第1の画素信号の画素位置と第2の画素信号の画素位置とが同じであるため、高品質な合成画像が得られる。
(第4の実施形態)
図2に示す固体撮像装置202を使用して、本発明の第4の実施形態を説明する。第4の実施形態において、図7に示す画素グループ1bは、図10に示す画素グループ1cに変更される。図10は、画素グループ1cの構成を示す。図7に示す構成と同じ構成の説明を省略する。
画素グループ1cは、図7に示す画素グループ1bの構成に加えて、メモリユニット8eおよびメモリユニット8fを有する。メモリユニット8eは、サンプルトランジスタ18e、メモリ19e、第2のリセットトランジスタ20e、第2の増幅トランジスタ21e、および選択トランジスタ22eを有する。メモリユニット8fは、サンプルトランジスタ18f、メモリ19f、第2のリセットトランジスタ20f、第2の増幅トランジスタ21f、および選択トランジスタ22fを有する。メモリユニット8eおよびメモリユニット8fの各々の構成は、メモリユニット8aの構成と同様である。図10に示す各回路要素の配置位置は実際の配置位置と必ずしも一致するわけではない。
サンプルパルスS18eが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18eのゲートに供給される。第2のリセットパルスS20eが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20eのゲートに供給される。選択パルスS22eが垂直走査回路3から選択トランジスタ22eのゲートに供給される。
サンプルパルスS18fが垂直走査回路3からサンプルトランジスタ18fのゲートに供給される。第2のリセットパルスS20fが垂直走査回路3から第2のリセットトランジスタ20fのゲートに供給される。選択パルスS22fが垂直走査回路3から選択トランジスタ22fのゲートに供給される。
固体撮像装置202は、複数回の撮像を実行する。複数回の撮像の各々において、第1の光電変換素子は第1の電荷を生成する。複数回の撮像の各々において、第2の光電変換素子は第2の電荷を生成する。複数回の撮像の各々において、転送トランジスタは、第1の電荷および第2の電荷をFD12に転送する。複数回の撮像の各々において、第1のスイッチは、FD12に保持された第1の電荷をFD12から第1のメモリに転送する。複数回の撮像の各々において、第2のスイッチは、FD12に保持された第2の電荷をFD12から第2のメモリに転送する。複数回の撮像の各々において、第1のメモリは、第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する。複数回の撮像の各々において、第2のメモリは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する。複数の画素グループ1cの各々において、少なくとも2つの第1の光電変換素子の組み合わせは撮像毎に異なる。複数の画素グループ1cの各々において、少なくとも2つの第2の光電変換素子の組み合わせは撮像毎に異なる。
以下の例において、固体撮像装置202は、2回の撮像を実行する。1回目の撮像における第1の光電変換素子は、光電変換素子10a,10dである。1回目の撮像における第2の光電変換素子は、光電変換素子10b,10cである。
1回目の撮像において転送トランジスタ11a,11dは、光電変換素子10a,10dで生成された第1の電荷をFD12に転送する。1回目の撮像においてサンプルトランジスタ18aは、FD12に保持された第1の電荷に基づく信号をメモリ19aに転送する。1回目の撮像においてメモリ19aは、第1の画素信号を記憶する。
1回目の撮像において転送トランジスタ11b,11cは、光電変換素子10b,10cで生成された第2の電荷をFD12に転送する。1回目の撮像においてサンプルトランジスタ18b,18cは、FD12に保持された第2の電荷に基づく信号をメモリ19b,19cに転送する。1回目の撮像においてメモリ19b,19cは、第2の画素信号を記憶する。
2回目の撮像における第1の光電変換素子は、光電変換素子10b,10cである。2回目の撮像における第2の光電変換素子は、光電変換素子10a,10dである。
2回目の撮像において転送トランジスタ11b,11cは、光電変換素子10b,10cで生成された第1の電荷をFD12に転送する。2回目の撮像においてサンプルトランジスタ18dは、FD12に保持された第1の電荷に基づく信号をメモリ19dに転送する。2回目の撮像においてメモリ19dは、第1の画素信号を記憶する。
2回目の撮像において転送トランジスタ11a,11dは、光電変換素子10a,10dで生成された第2の電荷をFD12に転送する。2回目の撮像においてサンプルトランジスタ18e,18fは、FD12に保持された第2の電荷に基づく信号をメモリ19e,19fに転送する。2回目の撮像においてメモリ19e,19fは、第2の画素信号を記憶する。
図11および図12は、固体撮像装置202の動作を示す。図11および図12において、図9に示す部分と同じ部分の説明を省略する。
図11は、1回目の撮像における固体撮像装置202の動作を示す。図11に示す動作において、光電変換素子10a,10dが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19aに保持される。図11に示す動作において、光電変換素子10b,10cが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19b,19cに保持される。
図12は、2回目の撮像における固体撮像装置202の動作を示す。図12に示す動作において、光電変換素子10b,10cが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19dに保持される。図12に示す動作において、光電変換素子10a,10dが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19e,19fに保持される。
図11に示す時刻t1から時刻t18までの固体撮像装置202の動作は、図9に示す時刻t1から時刻t18までの固体撮像装置202の動作と同じである。
時刻t18よりも後の時刻t19において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10bおよび光電変換素子10cがリセットされる。時刻t19よりも後の時刻t20において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t20において、光電変換素子10bおよび光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号(高感度信号)の生成を開始する。
時刻t20よりも後の時刻t21において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10aがリセットされる。時刻t21よりも後の時刻t22において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t22において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t22よりも後の時刻t23において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10dがリセットされる。時刻t23よりも後の時刻t24において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t24において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t24よりも後の時刻t25において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t25よりも後の時刻t26において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t25において、サンプルトランジスタ18dおよび第2のリセットトランジスタ20dがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19dがリセットされる。時刻t26において、第2のリセットトランジスタ20dがオフになる。
時刻t26よりも後の時刻t27において、転送トランジスタ11bおよび転送トランジスタ11cがオンになる。時刻t27において、光電変換素子10bおよび光電変換素子10cの各々から出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t27よりも後の時刻t28において、転送トランジスタ11bおよび転送トランジスタ11cがオフになる。時刻t28において、光電変換素子10bおよび光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T21において、光電変換素子10bおよび光電変換素子10cの各々に入射した光に基づく電荷が光電変換素子10bおよび光電変換素子10cの各々に蓄積される。露光期間T21は、時刻t20から時刻t28までの期間である。光電変換素子10bから出力された電荷と、光電変換素子10cから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。
時刻t27において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18dは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t28において、メモリ19dは画素信号(高感度信号)を保持する。
時刻t28よりも後の時刻t29において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t29よりも後の時刻t30において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t29において、サンプルトランジスタ18eおよび第2のリセットトランジスタ20eがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19eがリセットされる。時刻t30において、第2のリセットトランジスタ20eがオフになる。
時刻t30よりも後の時刻t31において、転送トランジスタ11aがオンになる。時刻t31において、光電変換素子10aから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t31よりも後の時刻t32において、転送トランジスタ11aがオフになる。時刻t32において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T22において、光電変換素子10aに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10aに蓄積される。露光期間T22は、時刻t22から時刻t32までの期間である。光電変換素子10aから出力された電荷は、FD12に保持される。
時刻t31において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18eは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t32において、メモリ19eは画素信号(低感度信号)を保持する。
時刻t32よりも後の時刻t33において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t33よりも後の時刻t34において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t33において、サンプルトランジスタ18fおよび第2のリセットトランジスタ20fがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19fがリセットされる。時刻t34において、第2のリセットトランジスタ20fがオフになる。
時刻t34よりも後の時刻t35において、転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t35において、光電変換素子10dから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t35よりも後の時刻t36において、転送トランジスタ11dがオフになる。時刻t36において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T23において、光電変換素子10dに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10dに蓄積される。露光期間T23は、時刻t24から時刻t36までの期間である。光電変換素子10dから出力された電荷は、FD12に保持される。
時刻t35において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18fは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t36において、メモリ19fは画素信号(低感度信号)を保持する。
図11および図12に示す動作は、固体撮像装置202に配置された全ての画素グループ1cで同時に行われる。そのため、グローバル電子シャッター動作が実現される。
読み出し期間Treadにおいて、メモリ19a,19b,19c,19d,19e,19fに保持された画素信号が読み出される。読み出し期間Treadは、時刻t36よりも後の時刻t37から開始される。第2の増幅トランジスタ21aは、メモリ19aに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21bは、メモリ19bに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22bは、第2の増幅トランジスタ21bから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21cは、メモリ19cに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22cは、第2の増幅トランジスタ21cから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。
第2の増幅トランジスタ21dは、メモリ19dに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22dは、第2の増幅トランジスタ21dから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21eは、メモリ19eに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22eは、第2の増幅トランジスタ21eから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21fは、メモリ19fに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22fは、第2の増幅トランジスタ21fから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。
図11および図12に示す動作において、固体撮像装置202は、2回の撮像を実行する。1回目の撮像において、光電変換素子10a,10dは第1の電荷を生成する。1回目の撮像において、光電変換素子10b,10cは第2の電荷を生成する。1回目の撮像において、転送トランジスタ11a,11dは、第1の電荷に基づく信号をFD12に転送し、かつ転送トランジスタ11b,11eは、第2の電荷に基づく信号をFD12に転送する(時刻t9、時刻t13、および時刻t17)。1回目の撮像において、サンプルトランジスタ18aは、第1の電荷に基づく信号をFD12からメモリ19aに転送する(時刻t9)。1回目の撮像において、サンプルトランジスタ18b,18cは、第2の電荷に基づく信号をFD12からメモリ19b,19cに転送する(時刻t13および時刻t17)。1回目の撮像において、メモリ19aは、第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する(時刻t10)。1回目の撮像において、メモリ19b,19cは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する(時刻t14および時刻t18)。
2回目の撮像において、光電変換素子10b,10cは第1の電荷を生成する。2回目の撮像において、光電変換素子10a,10dは第2の電荷を生成する。2回目の撮像において、転送トランジスタ11b,11cは、第1の電荷に基づく信号をFD12に転送し、かつ転送トランジスタ11a,11dは、第2の電荷に基づく信号をFD12に転送する(時刻t27、時刻t31、および時刻t35)。2回目の撮像において、サンプルトランジスタ18dは、第1の電荷に基づく信号をFD12からメモリ19dに転送する(時刻t27)。2回目の撮像において、サンプルトランジスタ18e,18fは、第2の電荷に基づく信号をFD12からメモリ19e,19fに転送する(時刻t31および時刻t35)。2回目の撮像において、メモリ19dは、第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する(時刻t28)。2回目の撮像において、メモリ19e,19fは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する(時刻t32および時刻t36)。
1回目の撮像において、光電変換素子10aの電荷と光電変換素子10dの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。1回目の撮像において、光電変換素子10bのみの電荷に基づいて低感度信号が得られ、かつ光電変換素子10cのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。2つの光電変換素子10a,10dの行位置は互いに異なり、かつ2つの光電変換素子10a,10dの列位置は互いに異なる。2つの光電変換素子10b,10cの行位置は互いに異なり、かつ2つの光電変換素子10b,10cの列位置は互いに異なる。
2回目の撮像において、光電変換素子10bの電荷と光電変換素子10cの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。2回目の撮像において、光電変換素子10aのみの電荷に基づいて低感度信号が得られ、かつ光電変換素子10dのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。したがって、2回の撮像により、2種類の高感度信号と、4種類の低感度信号とが得られる。
第1の組み合わせおよび第2の組み合わせは、互いに異なる。第1の組み合わせは、1回目の撮像において高感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第2の組み合わせは、2回目の撮像において高感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第3の組み合わせおよび第4の組み合わせは、互いに異なる。第3の組み合わせは、1回目の撮像において低感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第4の組み合わせは、2回目の撮像において低感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。
固体撮像装置202は、2回の撮像により得られた高感度信号に基づく第1の画像信号と、2回の撮像により得られた低感度信号に基づく第2の画像信号とを出力する。第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、1回目の撮像により固体撮像装置202から出力された第1の画像信号および第2の画像信号と2回目の撮像により固体撮像装置202から出力された第1の画像信号および第2の画像信号をそれぞれ平均してもよい。また、第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、1回目の撮像により固体撮像装置202から出力された2組の第2の画像信号を平均してもよい。第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、2回目の撮像により固体撮像装置202から出力された2組の第2の画像信号を平均してもよい。固体撮像装置202は、2組の第2の画像信号を平均する信号処理回路を有してもよい。
2回の撮像それぞれにおいて、2組の第2の画像信号は、同じ画素グループ1cから出力される。2つの第1の光電変換素子の重心位置は、画素グループ1cの重心位置と同じである。2つの第2の光電変換素子の重心位置は、画素グループ1cの重心位置と同じである。そのため、第1の電荷が得られる2つの第1の光電変換素子の重心位置と、第2の電荷が得られる2つの第2の光電変換素子の重心位置とは、同じである。つまり、第1の画素信号(高感度信号)の画素重心位置と、第2の画素信号(低感度信号)の画素重心位置とは、同じである。
第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、第1の画像信号および第2の画像信号を合成する。第1の画像信号は第1の画素信号に基づいて生成され、かつ第2の画像信号は第2の画素信号に基づいて生成される。第1の画素信号の画素重心位置と第2の画素信号の画素重心位置とが同じであるため、高品質な合成画像が得られる。
(第5の実施形態)
図2に示す固体撮像装置202を使用して、本発明の第5の実施形態を説明する。第5の実施形態の固体撮像装置202は、図7に示す画素グループ1bを含む。
以下の例において、固体撮像装置202は、2回の撮像を実行する。1回目の撮像における第1の光電変換素子は、光電変換素子10a,10b,10cである。1回目の撮像における第2の光電変換素子は、光電変換素子10dである。
1回目の撮像において転送トランジスタ11a,11b,11cは、光電変換素子10a,10b,10cで生成された第1の電荷に基づく信号をFD12に転送する。1回目の撮像においてサンプルトランジスタ18aは、FD12に保持された第1の電荷をメモリ19aに転送する。1回目の撮像においてメモリ19aは、第1の画素信号を記憶する。
1回目の撮像において転送トランジスタ11dは、光電変換素子10dで生成された第2の電荷に基づく信号をFD12に転送する。1回目の撮像においてサンプルトランジスタ18bは、FD12に保持された第2の電荷をメモリ19bに転送する。1回目の撮像においてメモリ19bは、第2の画素信号を記憶する。
2回目の撮像における第1の光電変換素子は、光電変換素子10b,10c,10dである。2回目の撮像における第2の光電変換素子は、光電変換素子10aである。
2回目の撮像において転送トランジスタ11b,11c,11dは、光電変換素子10b,10c,10dで生成された第1の電荷をFD12に転送する。2回目の撮像においてサンプルトランジスタ18cは、FD12に保持された第1の電荷に基づく信号をメモリ19cに転送する。2回目の撮像においてメモリ19cは、第1の画素信号を記憶する。
2回目の撮像において転送トランジスタ11aは、光電変換素子10aで生成された第2の電荷をFD12に転送する。2回目の撮像においてサンプルトランジスタ18dは、FD12に保持された第2の電荷に基づく信号をメモリ19dに転送する。2回目の撮像においてメモリ19dは、第2の画素信号を記憶する。
図13および図14は、固体撮像装置202の動作を示す。図13は、1回目の撮像における固体撮像装置202の動作を示す。図13に示す動作において、光電変換素子10a,10b,10cが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19aに保持される。図13に示す動作において、光電変換素子10dが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19bに保持される。
図14は、2回目の撮像における固体撮像装置202の動作を示す。図14に示す動作において、光電変換素子10b,10c,10dが高感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19cに保持される。図14に示す動作において、光電変換素子10aが低感度信号を生成し、かつその信号がメモリ19dに保持される。
時刻t1において、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cがリセットされる。時刻t1よりも後の時刻t2において、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t2において、光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号(高感度信号)の生成を開始する。
時刻t2よりも後の時刻t3において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10dがリセットされる。時刻t3よりも後の時刻t4において、転送トランジスタ11dおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t4において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t4よりも後の時刻t5において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t5よりも後の時刻t6において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t5において、サンプルトランジスタ18aおよび第2のリセットトランジスタ20aがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19aがリセットされる。時刻t6において、第2のリセットトランジスタ20aがオフになる。
時刻t6よりも後の時刻t7において、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11b、および転送トランジスタ11cがオンになる。時刻t7において、光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cの各々から出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t7よりも後の時刻t8において、転送トランジスタ11a、転送トランジスタ11b、および転送トランジスタ11cがオフになる。時刻t8において、光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T11において、光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cの各々に入射した光に基づく電荷が光電変換素子10a、光電変換素子10b、および光電変換素子10cの各々に蓄積される。露光期間T11は、時刻t2から時刻t8までの期間である。光電変換素子10aから出力された電荷と、光電変換素子10bから出力された電荷と、光電変換素子10cから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。
時刻t7において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18aは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t8において、メモリ19aは画素信号(高感度信号)を保持する。
時刻t8よりも後の時刻t9において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t9よりも後の時刻t10において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t9において、サンプルトランジスタ18bおよび第2のリセットトランジスタ20bがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19bがリセットされる。時刻t10において、第2のリセットトランジスタ20bがオフになる。
時刻t10よりも後の時刻t11において、転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t11において、光電変換素子10dから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t11よりも後の時刻t12において、転送トランジスタ11dがオフになる。時刻t12において、光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T12において、光電変換素子10dに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10dに蓄積される。露光期間T12は、時刻t4から時刻t12までの期間である。光電変換素子10dから出力された電荷は、FD12に保持される。
時刻t11において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18bは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t12において、メモリ19bは画素信号(低感度信号)を保持する。
時刻t12よりも後の時刻t13において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dがリセットされる。時刻t13よりも後の時刻t14において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、転送トランジスタ11d、および第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t14において、光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号(高感度信号)の生成を開始する。
時刻t14よりも後の時刻t15において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつ光電変換素子10aがリセットされる。時刻t15よりも後の時刻t16において、転送トランジスタ11aおよび第1のリセットトランジスタ13がオフになる。時刻t16において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号(低感度信号)の生成を開始する。
時刻t16よりも後の時刻t17において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t17よりも後の時刻t18において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t17において、サンプルトランジスタ18cおよび第2のリセットトランジスタ20cがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19cがリセットされる。時刻t18において、第2のリセットトランジスタ20cがオフになる。
時刻t18よりも後の時刻t19において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および転送トランジスタ11dがオンになる。時刻t19において、光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dの各々から出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t19よりも後の時刻t20において、転送トランジスタ11b、転送トランジスタ11c、および転送トランジスタ11dがオフになる。時刻t20において、光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T21において、光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dの各々に入射した光に基づく電荷が光電変換素子10b、光電変換素子10c、および光電変換素子10dの各々に蓄積される。露光期間T21は、時刻t14から時刻t20までの期間である。光電変換素子10bから出力された電荷と、光電変換素子10cから出力された電荷と、光電変換素子10dから出力された電荷とは、FD12において加算され、かつFD12に保持される。
時刻t19において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18cは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t20において、メモリ19cは画素信号(高感度信号)を保持する。
時刻t20よりも後の時刻t21において、第1のリセットトランジスタ13がオンになり、かつFD12がリセットされる。時刻t21よりも後の時刻t22において、第1のリセットトランジスタ13がオフになる。
時刻t21において、サンプルトランジスタ18dおよび第2のリセットトランジスタ20dがオンになり、かつクランプ容量17およびメモリ19dがリセットされる。時刻t22において、第2のリセットトランジスタ20dがオフになる。
時刻t22よりも後の時刻t23において、転送トランジスタ11aがオンになる。時刻t23において、光電変換素子10aから出力された電荷がFD12に転送される。
時刻t23よりも後の時刻t24において、転送トランジスタ11aがオフになる。時刻t24において、光電変換素子10aは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。
露光期間T22において、光電変換素子10aに入射した光に基づく電荷が光電変換素子10aに蓄積される。露光期間T22は、時刻t16から時刻t24までの期間である。光電変換素子10aから出力された電荷は、FD12に保持される。
時刻t23において、第1の増幅トランジスタ14は、FD12に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号として出力する。第1の増幅トランジスタ14から出力された画素信号は、クランプ容量17に保持される。サンプルトランジスタ18dは、クランプ容量17の第2端の電圧をサンプリングする。時刻t24において、メモリ19dは画素信号(低感度信号)を保持する。
図13および図14に示す動作は、固体撮像装置202に配置された全ての画素グループ1bで同時に行われる。そのため、グローバル電子シャッター動作が実現される。
読み出し期間Treadにおいて、メモリ19a、メモリ19b、メモリ19c、およびメモリ19dに保持された画素信号が読み出される。読み出し期間Treadは、時刻t24よりも後の時刻t25から開始される。第2の増幅トランジスタ21aは、メモリ19aに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22aは、第2の増幅トランジスタ21aから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21bは、メモリ19bに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22bは、第2の増幅トランジスタ21bから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。
第2の増幅トランジスタ21cは、メモリ19cに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ22cは、第2の増幅トランジスタ21cから出力された第1の画素信号を垂直信号線9に出力する。第2の増幅トランジスタ21dは、メモリ19dに保持された画素信号に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ22dは、第2の増幅トランジスタ21dから出力された第2の画素信号を垂直信号線9に出力する。
図13および図14に示す動作において、固体撮像装置202は、2回の撮像を実行する。1回目の撮像において、光電変換素子10a,10b,10cは第1の電荷を生成する。1回目の撮像において、光電変換素子10dは第2の電荷を生成する。1回目の撮像において、転送トランジスタ11a,11b,11c,11dは、第1の電荷および第2の電荷をFD12に転送する(時刻t7および時刻t11)。1回目の撮像において、サンプルトランジスタ18aは、FD12に保持された第1の電荷に基づく信号をメモリ19aに転送する(時刻t7)。1回目の撮像において、サンプルトランジスタ18bは、FD12に保持された第2の電荷に基づく信号をメモリ19bに転送する(時刻t11)。1回目の撮像において、メモリ19aは、第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する(時刻t8)。1回目の撮像において、メモリ19bは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する(時刻t12)。
2回目の撮像において、光電変換素子10b,10c,10dは第1の電荷を生成する。2回目の撮像において、光電変換素子10aは第2の電荷を生成する。2回目の撮像において、転送トランジスタ11a,11b,11c,11dは、第1の電荷および第2の電荷をFD12に転送する(時刻t19および時刻t23)。2回目の撮像において、サンプルトランジスタ18cは、FD12に保持された第1の電荷に基づく信号をメモリ19cに転送する(時刻t19)。2回目の撮像において、サンプルトランジスタ18dは、FD12に保持された第2の電荷に基づく信号をメモリ19dに転送する(時刻t23)。2回目の撮像において、メモリ19cは、第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶する(時刻t20)。2回目の撮像において、メモリ19dは、第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する(時刻t24)。
1回目の撮像において、光電変換素子10aの電荷と光電変換素子10bの電荷と光電変換素子10cの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。1回目の撮像において、光電変換素子10dのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。2回目の撮像において、光電変換素子10bの電荷と光電変換素子10cの電荷と光電変換素子10dの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。2回目の撮像において、光電変換素子10aのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。したがって、2回の撮像により、2種類の高感度信号と、2種類の低感度信号とが得られる。
第1の組み合わせおよび第2の組み合わせは、互いに異なる。第1の組み合わせは、1回目の撮像において高感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第2の組み合わせは、2回目の撮像において高感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第3の組み合わせおよび第4の組み合わせは、互いに異なる。第3の組み合わせは、1回目の撮像において低感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。第4の組み合わせは、2回目の撮像において低感度信号を生成する光電変換素子の組み合わせである。
固体撮像装置202は、2回の撮像により得られた高感度信号に基づく第1の画像信号と、2回の撮像により得られた低感度信号に基づく第2の画像信号とを出力する。第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、1回目の撮像により固体撮像装置202から出力された第1の画像信号および第2の画像信号と2回目の撮像により固体撮像装置202から出力された第1の画像信号および第2の画像信号をそれぞれ平均してもよい。
第1の画像処理部203aおよび第2の画像処理部203bは、第1の画像信号および第2の画像信号を合成する。第1の画像信号は第1の画素信号に基づいて生成され、かつ第2の画像信号は第2の画素信号に基づいて生成される。第1の画素信号の画素位置と第2の画素信号の画素位置とが同じであるため、高品質な合成画像が得られる。
図11および図12に示す動作において、2つの光電変換素子から出力された電荷が加算される。図13および図14に示す動作において、3つの光電変換素子から出力された電荷が加算される。そのため、図13および図14に示す動作において、高感度信号と低感度信号との信号比が、図11および図12に示す動作における信号比に比べて大きくなる。
(第6の実施形態)
図2に示す固体撮像装置202を使用して、本発明の第6の実施形態を説明する。第6の実施形態において、図3に示す画素グループ1aは、図15に示す画素グループ1dに変更される。図15は、画素グループ1dの構成を示す。
1つの画素グループ1dは、2行かつ2列に配置された画素1に対応する。図15に示す画素グループ1dは、4つの光電変換素子110a,110b,110c,110dと、8つの転送トランジスタ111a,111b,111c,111d,211a,211b,211c,211dと、FD112,212と、リセットトランジスタ113,213と、増幅トランジスタ114,214と、選択トランジスタ115,215とを有する。
画素グループ1dの概略構成について説明する。第1の露光期間に少なくとも2つの第1の光電変換素子で少なくとも2つの第1の電荷が生成される。少なくとも2つの第1の電荷は第1のタイミングでFD112(第1のフローティングディフュージョン)に転送される。少なくとも2つの第1の電荷はFD112において加算され、かつFD112に保持される。第2の露光期間に少なくとも1つの第2の光電変換素子で第2の電荷が生成される。第2の露光期間は第1の露光期間と同じである。第2の電荷は第2のタイミングでFD212(第2のフローティングディフュージョン)に転送され、かつFD212に保持される。第2のタイミングは第1のタイミングと同じである。FD112に保持された第1の電荷に基づく第1の画素信号は垂直信号線119(第1の信号線)に出力される。FD212に保持された第2の電荷に基づく第2の画素信号は、垂直信号線119と異なる垂直信号線219(第2の信号線)に出力される。
画素グループ1dの詳細な構成について説明する。FD112、FD212、リセットトランジスタ113、リセットトランジスタ213、増幅トランジスタ114、増幅トランジスタ214、選択トランジスタ115、および選択トランジスタ215は、画素グループ1d内で共有されている。図15に示す各回路要素の配置位置は実際の配置位置と必ずしも一致するわけではない。
光電変換素子110a、転送トランジスタ111a、および転送トランジスタ211aは、第1の画素に対応する。光電変換素子110b、転送トランジスタ111b、および転送トランジスタ211bは、第2の画素に対応する。光電変換素子110c、転送トランジスタ111c、および転送トランジスタ211cは、第3の画素に対応する。光電変換素子110d、転送トランジスタ111d、および転送トランジスタ211dは、第4の画素に対応する。以下では、1つの画素グループ1dに含まれる4つの画素1のうち第1の画素の構成について説明する。第2の画素、第3の画素、および第4の画素の構成は、第1の画素の構成と同様である。
以下では、FD112、リセットトランジスタ113、増幅トランジスタ114、および選択トランジスタ115について説明する。FD212、リセットトランジスタ213、増幅トランジスタ214、および選択トランジスタ215は、FD112、リセットトランジスタ113、増幅トランジスタ114、および選択トランジスタ115とそれぞれ同様である。FD112、リセットトランジスタ113、増幅トランジスタ114、および選択トランジスタ115は、高感度信号を出力するための回路である。FD212、リセットトランジスタ213、増幅トランジスタ214、および選択トランジスタ215は、低感度信号を出力するための回路である。
光電変換素子110aの第1端は、グランドに接続されている。転送トランジスタ111aのドレインは、光電変換素子110aの第2端に接続されている。転送トランジスタ111aのゲートは、垂直走査回路3に接続されている。転送パルスS111aが垂直走査回路3から転送トランジスタ111aのゲートに供給される。
FD112の第1端は、転送トランジスタ111aのソース、転送トランジスタ111bのソース、転送トランジスタ111cのソース、および転送トランジスタ111dのソースに接続されている。FD112の第2端は、グランドに接続されている。リセットトランジスタ113のドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。リセットトランジスタ113のソースは、転送トランジスタ111aのソース、転送トランジスタ111bのソース、転送トランジスタ111cのソース、転送トランジスタ111dのソース、およびFD112の第1端に接続されている。リセットトランジスタ113のゲートは、垂直走査回路3に接続されている。リセットパルスS113が垂直走査回路3からリセットトランジスタ113のゲートに供給される。
増幅トランジスタ114のドレインは、電源電圧VDDを供給する電源に接続されている。増幅トランジスタ114のゲートは、転送トランジスタ111aのソース、転送トランジスタ111bのソース、転送トランジスタ111cのソース、転送トランジスタ111dのソース、およびFD112の第1端に接続されている。選択トランジスタ115のドレインは、増幅トランジスタ114のソースに接続されている。選択トランジスタ115のソースは、垂直信号線119に接続されている。選択トランジスタ115のゲートは、垂直走査回路3に接続されている。選択パルスS115が垂直走査回路3から選択トランジスタ115のゲートに供給される。
光電変換素子110aは、図3に示す光電変換素子10aと同様である。転送トランジスタ111aは、図3に示す転送トランジスタ11aと同様である。転送トランジスタ111aがオンであるとき、光電変換素子110aとFD112とは電気的に接続される。光電変換素子110aとFD112とが電気的に接続されたとき、転送トランジスタ111aは、光電変換素子110aに蓄積された電荷をFD112に転送する。転送トランジスタ111aのオンと転送トランジスタ111aのオフとは、垂直走査回路3から供給される転送パルスS111aに基づいて制御される。
転送パルスS111bが垂直走査回路3から転送トランジスタ111bのゲートに供給される。転送パルスS111cが垂直走査回路3から転送トランジスタ111cのゲートに供給される。転送パルスS111dが垂直走査回路3から転送トランジスタ111dのゲートに供給される。転送パルスS211aが垂直走査回路3から転送トランジスタ211aのゲートに供給される。転送パルスS211bが垂直走査回路3から転送トランジスタ211bのゲートに供給される。転送パルスS211cが垂直走査回路3から転送トランジスタ211cのゲートに供給される。転送パルスS211dが垂直走査回路3から転送トランジスタ211dのゲートに供給される。
FD112は、光電変換素子110a,110b,110c,110dから転送された電荷を一時的に保持および蓄積し、電圧に変換する。
リセットトランジスタ113は、図3に示す第1のリセットトランジスタ13と同様である。リセットトランジスタ113がオンであるとき、電源とFD112とは電気的に接続される。電源とFD112とが電気的に接続されたとき、リセットトランジスタ113はFD112をリセットする。リセットトランジスタ113のオンとリセットトランジスタ113のオフとは、垂直走査回路3から供給されるリセットパルスS113に基づいて制御される。転送トランジスタ111aおよびリセットトランジスタ113がオンであるとき、光電変換素子110aがリセットされる。光電変換素子110aおよびFD112のリセットにより、光電変換素子110aおよびFD112に蓄積されている電荷の量が制御される。このリセットにより、光電変換素子110aおよびFD112の状態(電位)が基準状態(基準電位、リセットレベル)に設定される。
増幅トランジスタ114は、FD112に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を画素信号としてソースから出力する。垂直信号線119に接続された電流源123は、増幅トランジスタ114の負荷として機能し、かつ増幅トランジスタ114を駆動する電流を増幅トランジスタ114に供給する。増幅トランジスタ114および電流源123は、ソースフォロア回路である。
電流源223が垂直信号線219に接続されている。増幅トランジスタ214および電流源223は、ソースフォロア回路である。
選択トランジスタ115は、増幅トランジスタ114および垂直信号線119に接続されている。選択トランジスタ115は、図3に示す選択トランジスタ22aと同様である。選択トランジスタ115がオンであるとき、増幅トランジスタ114と垂直信号線119とは電気的に接続される。増幅トランジスタ114と垂直信号線119とが電気的に接続されたとき、選択トランジスタ115は、増幅トランジスタ114から出力された画素信号を垂直信号線119に出力する。選択トランジスタ115のオンと選択トランジスタ115のオフとは、垂直走査回路3から供給される選択パルスS115に基づいて制御される。
リセットパルスS213が垂直走査回路3からリセットトランジスタ213のゲートに供給される。選択パルスS215が垂直走査回路3から選択トランジスタ215のゲートに供給される。
図16は、固体撮像装置202の動作を示す。図16において、各パルスの波形が示されている。図16における横方向は時間を示し、かつ図16における縦方向は電圧を示す。図16に示す動作において、光電変換素子110a,110dが高感度信号を生成し、かつその信号がFD112に保持される。図16に示す動作において、光電変換素子110bが低感度信号を生成し、かつその信号がFD212に保持される。図16に示す動作において、高感度信号および低感度信号は、ローリングシャッター動作により並列に読み出される。
図16において、水平同期信号HDの波形が示されている。1水平期間は、水平ブランキング期間および水平有効期間を含む。水平ブランキング期間において、水平同期信号HDのレベルはLレベルである。水平有効期間において、水平同期信号HDのレベルはHレベルである。水平ブランキング期間において、固体撮像装置202は、画素グループ1dの配列における所定の行を選択する。選択された行の画素グループ1dにおいて、リセット動作、蓄積動作、および信号読み出しが実行される。水平ブランキング期間において、列処理回路4は、ノイズ除去および増幅等を行う。列処理回路4によって処理された信号は、水平有効期間に固体撮像装置202の外部へ出力される。
図16に示す各パルスは、画素グループ1dの配列における2つの行に供給される。以下では、第n行の画素グループ1dの動作を説明する。
時刻t1よりも前では、各パルスのレベルはLレベルである。時刻t1において、転送パルスS111a、転送パルスS111b、転送パルスS111c、転送パルスS111d、転送パルスS211a、転送パルスS211b、転送パルスS211c、転送パルスS211d、リセットパルスS113、およびリセットパルスS213がLレベルからHレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ111a、転送トランジスタ111b、転送トランジスタ111c、転送トランジスタ111d、転送トランジスタ211a、転送トランジスタ211b、転送トランジスタ211c、転送トランジスタ211d、リセットトランジスタ113、およびリセットトランジスタ213がオンになる。時刻t1において、光電変換素子110a、光電変換素子110b、光電変換素子110c、および光電変換素子110dがリセットされる。
時刻t1よりも後の時刻t2において、転送パルスS111a、転送パルスS111b、転送パルスS111c、転送パルスS111d、転送パルスS211a、転送パルスS211b、転送パルスS211c、転送パルスS211d、リセットパルスS113、およびリセットパルスS213がHレベルからLレベルに変化する。そのため、転送トランジスタ111a、転送トランジスタ111b、転送トランジスタ111c、転送トランジスタ111d、転送トランジスタ211a、転送トランジスタ211b、転送トランジスタ211c、転送トランジスタ211d、リセットトランジスタ113、およびリセットトランジスタ213がオフになる。時刻t2において光電変換素子110a、光電変換素子110b、光電変換素子110c、および光電変換素子110dは、撮像を開始する。つまり、光電変換素子110a、光電変換素子110b、光電変換素子110c、および光電変換素子110dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を開始する。
光電変換素子110cで生成された電荷は、信号処理に使用されない。光電変換素子110cから溢れた電荷が他の回路に影響を与える。その影響を抑制するために光電変換素子110cもリセットされる。
図16に示す動作において、各光電変換素子は、高感度信号のための転送トランジスタ(111a~111d)、高感度信号のためのリセットトランジスタ(113)、低感度信号のための転送トランジスタ(211a~211d)、および低感度信号のためのリセットトランジスタ(213)によってリセットされる。各光電変換素子は、高感度信号のための転送トランジスタ(111a~111d)および高感度信号のためのリセットトランジスタ(113)のみによってリセットされてもよい。各光電変換素子は、低感度信号のための転送トランジスタ(211a~211d)および低感度信号のためのリセットトランジスタ(213)のみによってリセットされてもよい。
時刻t2よりも後の時刻t3において、選択パルスS115がLレベルからHレベルに変化する。そのため、選択トランジスタ115がオンになる。時刻t3において、選択パルスS215がLレベルからHレベルに変化する。そのため、選択トランジスタ215がオンになる。
時刻t3よりも後の時刻t4において、リセットパルスS113がLレベルからHレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタ113がオンになる。時刻t4において、FD112がリセットされる。増幅トランジスタ114は、リセットされたFD112の電圧を増幅し、かつ増幅された電圧をリセット信号として出力する。選択トランジスタ115は、増幅トランジスタ114から出力されたリセット信号を垂直信号線119に出力する。
時刻t4において、リセットパルスS213がLレベルからHレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタ213がオンになる。時刻t4において、FD212がリセットされる。増幅トランジスタ214は、リセットされたFD212の電圧を増幅し、かつ増幅された電圧をリセット信号として出力する。選択トランジスタ215は、増幅トランジスタ214から出力されたリセット信号を垂直信号線219に出力する。
時刻t4よりも後の時刻t5において、リセットパルスS113がHレベルからLレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタ113がオフになる。時刻t5において、リセットパルスS213がHレベルからLレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタ213がオフになる。
時刻t5よりも後の時刻t6において、転送パルスS111aおよび転送パルスS111dがLレベルからHレベルになる。そのため、転送トランジスタ111aおよび転送トランジスタ111dがオンになる。時刻t6において、光電変換素子110aおよび光電変換素子110dの各々から出力された電荷がFD112に転送される。
時刻t6において、転送パルスS211bがLレベルからHレベルになる。そのため、転送トランジスタ211bがオンになる。時刻t6において、光電変換素子110bから出力された電荷がFD212に転送される。
時刻t6よりも後の時刻t7において、転送パルスS111aおよび転送パルスS111dがHレベルからLレベルになる。そのため、転送トランジスタ111aおよび転送トランジスタ111dがオフになる。時刻t7において、光電変換素子110aおよび光電変換素子110dは、撮像を終了する。つまり、光電変換素子110aおよび光電変換素子110dは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。光電変換素子110aから出力された電荷と、光電変換素子110dから出力された電荷とは、FD112において加算される。加算された電荷は、高感度信号としてFD112に保持される。
増幅トランジスタ114は、FD112に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第1の画素信号として出力する。選択トランジスタ115は、増幅トランジスタ114から出力された第1の画素信号を垂直信号線119に出力する。列処理回路4は、第1の画素信号とリセット信号との差を示す信号を生成する。
時刻t7において、転送パルスS211bがHレベルからLレベルになる。そのため、転送トランジスタ211bがオフになる。時刻t7において、光電変換素子110bは、撮像を終了する。つまり、光電変換素子110bは、電荷の蓄積すなわち画素信号の生成を終了する。光電変換素子110bから出力された電荷は、低感度信号としてFD212に保持される。
増幅トランジスタ214は、FD212に保持された電荷に基づく電圧を増幅し、かつ増幅された電圧を第2の画素信号として出力する。選択トランジスタ215は、増幅トランジスタ214から出力された第2の画素信号を垂直信号線219に出力する。列処理回路4は、第2の画素信号とリセット信号との差を示す信号を生成する。
時刻t7よりも後の時刻t8において、選択パルスS115がHレベルからLレベルに変化する。そのため、選択トランジスタ115がオフになる。時刻t8において、選択パルスS215がHレベルからLレベルに変化する。そのため、選択トランジスタ215がオフになる。
光電変換素子110a、光電変換素子110b、および光電変換素子110dは撮像を同時に開始し、かつ撮像を同時に終了する。高感度信号のための露光期間と、低感度信号のための露光期間とは同じである。
時刻t8よりも後の時刻t9から始まる水平有効期間において、固体撮像装置202は、第n行の第1の画素信号に基づく第1の画像信号と、第n行の第2の画素信号に基づく第2の画像信号とを固体撮像装置202の外部へ出力する。
固体撮像装置202は、上記の動作を画素グループ1dの配列における行毎に実行する。各行の動作のタイミングは、1水平期間ずつずれている。そのため、ローリングシャッター動作が実現される。
時刻t7において、2つの第1の光電変換素子で生成された2つの第1の電荷はFD112に転送される。第1の光電変換素子は、光電変換素子110aおよび光電変換素子110dである。2つの第1の電荷はFD112において加算され、かつFD112に保持される。時刻t7において、第2の光電変換素子で生成された第2の電荷はFD212に転送され、かつFD212に保持される。第2の光電変換素子は、光電変換素子110bである。FD112に保持された第1の電荷に基づく第1の画素信号は、時刻t7において垂直信号線119に出力される。FD212に保持された第2の電荷に基づく第2の画素信号は、時刻t7において垂直信号線219に出力される。
3つ以上の第1の光電変換素子で3つ以上の第1の電荷が生成されてもよい。2つ以上の第2の光電変換素子で2つ以上の第2の電荷が生成されてもよい。
図16に示す動作において、光電変換素子110a,110dが高感度信号の取得に使用され、かつ光電変換素子110bが低感度信号の取得に使用される。2つの光電変換素子10a,10dの行位置は互いに異なり、かつ2つの光電変換素子10a,10dの列位置は互いに異なる。FD112およびFD212が各光電変換素子で共有される限り、任意の光電変換素子の組み合わせで高感度信号および低感度信号の各々を得ることができる。そのため、電荷の加算に係わる複数の画素の配置方向は水平方向または垂直方向に限らない。
光電変換素子110aの電荷と光電変換素子110dの電荷とを加算することにより高感度信号が得られる。光電変換素子110bのみの電荷に基づいて低感度信号が得られる。また、高感度信号を生成するための露光期間と、低感度信号を生成するための露光期間とは、同じである。
したがって、第1の画像信号と第2の画像信号とを合成することにより、画質の劣化が抑制された高ダイナミックレンジの画像を得ることができる。第1の画像信号は、高感度信号に基づいて生成される。第2の画像信号は、低感度信号に基づいて生成される。固体撮像装置202および撮像システム200は画質の劣化を抑制することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれら実施形態およびその変形例に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付のクレームの範囲によってのみ限定される。
本発明の各実施形態によれば、固体撮像装置および撮像システムは画質の劣化を抑制することができる。
1 画素
1a,1b,1c,1d 画素グループ
2 画素部
3 垂直走査回路
4 列処理回路
5 水平読み出し回路
6 出力アンプ
7 制御回路
8a,8b,8c,8d,8e,8f メモリユニット
10a,10b,10c,10d,110a,110b,110c,110d 光電変換素子
11a,11b,11c,11d,111a,111b,111c,111d,211a,211b,211c,211d 転送トランジスタ
12,112,212 FD
13 第1のリセットトランジスタ
14 第1の増幅トランジスタ
16 第1の電流源
17 クランプ容量
18a,18b,18c,18d,18e,18f サンプルトランジスタ
19a,19b,19c,19d,19e,19f メモリ
20a,20b,20c,20d,20e,20f 第2のリセットトランジスタ
21a,21b,21c,21d,21e,21f 第2の増幅トランジスタ
22a,22b,22c,22d,22e,22f,115,215 選択トランジスタ
23 第2の電流源
30 第1の基板
31 第2の基板
32,33,35,36 マイクロパッド
34,37 マイクロバンプ
38 パッド
113,213 リセットトランジスタ
114,214 増幅トランジスタ
123,223 電流源
200 撮像システム
201 レンズ
202 固体撮像装置
203 信号処理部
203a 第1の画像処理部
203b 第2の画像処理部
204 表示部
205 駆動制御部
206 レンズ制御部
207 カメラ制御部
208 カメラ操作部
209 記憶部

Claims (9)

  1. 行列状に配置された複数の光電変換素子と、
    複数の画素グループと、
    を有し、
    前記複数の光電変換素子の各々は、前記複数の画素グループのいずれか1つに属し、
    前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも3つの前記光電変換素子を含み、
    前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、第1の電荷を生成する少なくとも2つの第1の光電変換素子と、第2の電荷を生成する少なくとも1つの第2の光電変換素子とからなり、
    前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、少なくとも2行および少なくとも2列に配置され、
    前記複数の画素グループの各々は、
    フローティングディフュージョンと、
    第1のメモリと、
    第2のメモリと、
    を有し、
    第1の露光期間に前記第1の光電変換素子で前記第1の電荷が生成され、
    前記第1の電荷は第1のタイミングで前記フローティングディフュージョンに転送され、
    少なくとも2つの前記第1の光電変換素子で生成された2つの前記第1の電荷は前記フローティングディフュージョンにおいて加算され、かつ前記フローティングディフュージョンに保持され、
    前記第1のメモリは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷に基づく第1の画素信号を記憶し、
    第2の露光期間に前記第2の光電変換素子で前記第2の電荷が生成され、前記第2の露光期間の少なくとも一部は前記第1の露光期間と重なり、
    前記第2の電荷は第2のタイミングで前記フローティングディフュージョンに転送され、かつ前記フローティングディフュージョンに保持され、前記第2のタイミングは前記第1のタイミングと異なり、
    前記第2のメモリは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷に基づく第2の画素信号を記憶する
    固体撮像装置。
  2. 前記複数の光電変換素子を有する第1の基板と、
    前記第1の基板に積層され、かつ前記第1のメモリおよび前記第2のメモリを有する第2の基板と、
    を有する
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記複数の画素グループの各々は、
    前記第1の電荷および前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに転送する転送トランジスタと、
    前記フローティングディフュージョンおよび前記第1のメモリに接続された第1のスイッチと、
    前記フローティングディフュージョンおよび前記第2のメモリに接続された第2のスイッチと、
    を有し、
    前記第1のスイッチがオンであるとき、前記第1のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷を前記第1のメモリに転送し、かつ前記第2のスイッチはオフであり、
    前記第2のスイッチがオンであるとき、前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに転送し、かつ前記第1のスイッチはオフである
    請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。
  4. 前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの前記光電変換素子を含み、
    前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されている
    請求項1または請求項2に記載の固体撮像装置。
  5. 前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも4つの前記光電変換素子を含み、
    前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、連続する少なくとも2行および連続する少なくとも2列に配置されている
    請求項3に記載の固体撮像装置。
  6. 前記少なくとも4つの前記光電変換素子は、少なくとも2つの前記第1の光電変換素子と、少なくとも2つの前記第2の光電変換素子とからなり、
    前記転送トランジスタは、前記第2の光電変換素子で生成された前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに順次転送し、
    前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに順次転送し、
    前記第2のメモリは、少なくとも2組の前記第2の電荷に基づく少なくとも2組の前記第2の画素信号を別々に記憶する
    請求項5に記載の固体撮像装置。
  7. 前記固体撮像装置は、複数回の撮像を実行し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第1の光電変換素子は前記第1の電荷を生成し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第2の光電変換素子は前記第2の電荷を生成し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記転送トランジスタは、前記第1の電荷および前記第2の電荷を前記フローティングディフュージョンに転送し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第1のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷を前記第1のメモリに転送し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第2のスイッチは、前記フローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷を前記第2のメモリに転送し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第1のメモリは、前記第1の画素信号を記憶し、
    前記複数回の撮像の各々において、前記第2のメモリは、前記第2の画素信号を記憶し、
    前記複数の画素グループの各々において、少なくとも2つの前記第1の光電変換素子の組み合わせは前記撮像毎に異なり、
    前記複数の画素グループの各々において、少なくとも2つの前記第2の光電変換素子の組み合わせは前記撮像毎に異なる
    請求項6に記載の固体撮像装置。
  8. 行列状に配置された複数の光電変換素子と、
    複数の画素グループと、
    を有し、
    前記複数の光電変換素子の各々は、前記複数の画素グループのいずれか1つに属し、
    前記複数の画素グループの各々は、前記複数の光電変換素子に含まれる少なくとも3つの前記光電変換素子を含み、
    前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、第1の電荷を生成する少なくとも2つの第1の光電変換素子と、第2の電荷を生成する少なくとも1つの第2の光電変換素子とからなり、
    前記少なくとも3つの前記光電変換素子は、少なくとも2行および少なくとも2列に配置され、
    前記複数の画素グループの各々は、
    第1のフローティングディフュージョンと、
    第2のフローティングディフュージョンと、
    を有し、
    露光期間に前記第1の光電変換素子で前記第1の電荷が生成され、
    前記第1の電荷は第1のタイミングで前記第1のフローティングディフュージョンに転送され、
    少なくとも2つの光電変換素子で生成された2つの前記第1の電荷は前記第1のフローティングディフュージョンにおいて加算され、かつ前記第1のフローティングディフュージョンに保持され、
    前記露光期間に前記第2の光電変換素子で前記第2の電荷が生成され、
    前記第2の電荷は第2のタイミングで前記第2のフローティングディフュージョンに転送され、かつ前記第2のフローティングディフュージョンに保持され、前記第2のタイミングは前記第1のタイミングと同じであり、
    前記第1のフローティングディフュージョンに保持された前記第1の電荷に基づく第1の画素信号は第1の信号線に出力され、
    前記第2のフローティングディフュージョンに保持された前記第2の電荷に基づく第2の画素信号は、前記第1の信号線と異なる第2の信号線に出力される
    固体撮像装置。
  9. 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の固体撮像装置と、
    前記第1の画素信号に基づく第1の画像信号と、前記第2の画素信号に基づく第2の画像信号とを合成する信号処理回路と、
    を有する撮像システム。
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