JP7110030B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布装置および塗布方法に関する。

半導体装置の製造においては、多数個の素子を一括して造り込まれたウェーハをダイシングして個々の半導体チップに分離し、これを一個ずつリードフレーム等の所定位置にボンディングするというチップボンディングの手法が採用されている。そして、このチップボンディングにはダイボンダ（半導体装置の製造装置）が用いられる。

リードフレーム（基板）１は、その長手方向に沿って所定ピッチ（定ピッチ）で複数のアイランド２を有し、このアイランド２にダイ３（半導体チップ等）が配置接合される。このため、ダイホンダでは、基板１の複数のアイランド２に接着剤４を供給し、この接着剤４が供給されたアイランド２にダイ３（半導体チップ等）をボンディングすることになる。接着剤４を供給する手段として、特許文献１や特許文献２等に記載された塗布装置（ディスペンサ）がある。

特許文献１に記載の塗布装置（ディスペンサ）は、接着剤を内部に保持するとともに塗布ノズルを有するシリンジと、このシリンジを互いに直交する３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）方向に移動させる駆動ロボットと、塗布ノズルの先端のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向における位置を検出する位置検出手段とを備えたものである。

特許文献１では、前記のように構成することによって、塗布ノズルの先端のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向における位置を、人為的影響を受けること無く、容易かつ正確に検出、設定できるというものである。

また、この特許文献１には、塗布ノズルの先端部を清掃する清掃手段を備えている。これによって、塗布ノズル周辺に付いた不要な液体材料が飛んで周囲の部材を汚染することを防止することができるというものである。

特許文献２に記載の装置（ディスペンサ）も、前記特許文献１に記載のものと同様、先端ノズル（塗布ノズル）を有するシリンジを備え、このシリンジがＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の３軸方向に駆動可能となっている。

特開２０００－３５４８１６号公報 特開平７－２６５７７１号公報

ところで、塗布工程の高速化や、接着剤等の塗布剤を塗布するワークサイズや塗布範囲等により、２機のディスペンスユニットを用いて塗布工程を行うことを提案できる。このように、２機のディスペンスユニットを用いる場合、２機のディスペンスユニットを同時に用いることによって、塗布作業の短縮化が可能となる。

しかしながら、ディスペンスユニットの塗布剤（ペースト等）が無くなれば、一旦、装置の停止（各ディスペンスユニットによる塗布動作の停止）を行う。そして、装置の停止の状態で、シリンジの交換作業を行い、このシリンジの交換に伴って、吐出圧の調整、泡抜き、捨て打ち確認、塗布位置の調整、及びノズルクリーニング等の作業を行うことになる。

このため、装置の停止の時間が大となり、この停止の間は、各ディスペンスユニットによる塗布動作が停止されることになる。このため、２機のディスペンスユニットを用いるにも関わらず、生産性に劣ることになっていた。

本発明は、上記課題に鑑みて、２機のディスペンスユニットを用い、塗布工程（塗布動作）が途切れることなく連続的に行うことができ、生産性に優れた塗布装置および塗布方法を提供する。

本発明の塗布装置は、ワーク上に塗布剤を塗布する一対のディスペンスユニットを備え、各ディスペンスユニットは、塗布剤を吐出するノズルを有するシリンジと、このシリンジを水平方向のＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平方向のＹ軸方向、およびＸ軸方向とＹ軸方向に直交する鉛直方向のＺ軸方向に駆動させる駆動機構とを有する塗布装置であって、前記一対のディスペンスユニットのいずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作又は両ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を指令する動作指令手段と、一のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作中に、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのノズルの位置調整を行うためのノズル位置を検出するノズル位置検出手段と、一のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作中に、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのノズルのクリーニングを行うノズルクリーニング手段とを備えたものである。

本発明の塗布装置によれば、動作指令手段からの指令にて、一対のディスペンスユニットのいずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を行ったり、２機のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を行ったりできる。このため、ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を途切れさせることがない。

また、一のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を行っている間においては、他のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を停止でき、この停止中に、ノズル位置検出手段によるこの停止中のディスペンスユニットのノズル位置検出を行ったり、ノズルクリーニング手段によるノズルのクリーニングを行ったりできる。すなわち、停止中に、この停止中のディスペンスユニットのシリンジを交換することができ、この交換に伴って生じたノズルの位置ずれをノズル位置検出手段にて検出できる。この場合、ノズルに位置ずれが生じていれば、ノズルを正規の位置に合わせる工程も行える。また、ノズルクリーニング手段によるノズルのクリーニングは、シリンジを交換することなく、行うものであってもよい。シリンジを交換した場合であっても、捨て打ち等によって、ノズルの先端部に塗布剤が付着する場合があり、このような場合に、ノズルのクリーニングにて、ノズルの先端部に付着した余分な塗布剤を除去できる。

ノズル位置検出手段にて検出されたノズル位置が規定位置に対してずれている際に、前記駆動機構による、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の少なくなくともいずれか一つの方向のシリンジの駆動量の補正にてノズル位置補正を行う制御手段を備えたものであってもよい。

このように、制御手段を備えたものでは、ノズルに位置ずれが生じていれば、駆動機構によるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向の移動量にこのずれ量を付加することによって、塗布すべき部位に安定して塗布剤を塗布することができる。すなわち、この種の既存の塗布装置が有する駆動機構をそのまま使用することによって、ノズルの位置合わせを行うことができる。しかも、この位置合わせを自動にて行うことができ、作業者の技量によることなく、正確に行うことができる。

ノズル位置検出手段及びノズルクリーニング手段が一対のディスペンスユニットの間に配設されているのが好ましい。このように配置することによって、いずれのディスペンスユニットにおいても、ノズル位置検出手段およびノズルクリーニング手段への移動距離を小さくでき、作業効率の向上を図ることができるとともに、装置全体のコンパクト化を達成できる。

本発明の塗布方法は、塗布剤を吐出するノズルを有するシリンジを備えた一対のディスペンスユニットによってワーク上に塗布剤を塗布する塗布方法であって、両ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作と、いずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作との選択を可能としたものである。

本発明の塗布方法によれば、一対のディスペンスユニットのいずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を行ったり、２機のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を行ったりできる。このため、ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を途切れさせることがない。

一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのシリンジの交換を行うシリンジ交換工程を備えたものであっても、シリンジのノズルの位置を検出してノズルの位置を補正するための位置検出工程を備えたものであっても、シリンジのノズルのクリーニングを行うノズルクリーニング工程を備えたものであっても、シリンジのノズルからの塗布剤の吐出圧の調整を行う吐出圧調整工程を備えたものであっても、シリンジのノズルの泡抜きを行う泡抜き工程を備えたものであっても、捨て打ちを行った後に行う捨て打ち確認工程を備えたものであってもよい。

本発明では、ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を途切れさせることがないので、塗布作業の生産性の向上を図ることができる。

本発明の塗布装置の簡略平面図である。 塗布装置のディスペンスユニットの斜視図である。 塗布装置のディスペンスユニットの要部簡略図である。 ノズル位置検出手段の簡略平面図である。 ノズルクリーニング手段の断面正面図である。 ノズルクリーニング手段の断面側面図である。 塗布装置の構成を示すブロック図である。 本発明の塗布方法の工程図である。 リードフレームへのチップのボンディング方法を示す簡略図である。

以下本発明の実施の形態を図１～図８に基づいて説明する。

図１と図２は本発明に係る塗布装置を示し、この塗布装置は、ワークＷであるリードフレームなどの基板１１のアイランド９に接着剤である塗布剤Ｓを供給（塗布）するための装置である。すなわち、基板１１は、その長手方向に沿って所定ピッチ（定ピッチ）で複数のアイランド９を有し、各アイランド９に図示省略のチップ（半導体チップ等）が配置接合される。このため、基板１１の複数のアイランド９にこの塗布装置を用いて、塗布剤Ｓを塗布し、この塗布剤Ｓが供給されたアイランド９にチップをボンディングすることになる。

この場合、基板１１は、例えば、保持板１２に保持された状態で、搬送ステージ１３に搭載され、搬送ステージ１３によって、その長手方向に沿って搬送される。このため、アイランド９は、長手方向に沿って所定ピッチ（定ピッチ）で配設される搬送方向列と、この搬送列と直交する方向に所定ピッチ（定ピッチ）で配設される搬送方向直交列とがある。この実施形態では、搬送方向直交列の配設ピッチが搬送方向列の配設ピッチよりも小さく設定されているが、勿論これに限るものではない。

この塗布装置は、一対（２機）のディスペンスユニット２１（２１Ａ，２１Ｂ）を備える。ディスペンスユニット２１（２１Ａ，２１Ｂ）の間に、図１に示すうように、ノズル位置検出手段２２およびノズルクリーニング手段２３が配置されている。

各ディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂは、同一構成である。各ディスペンスユニット２１Ａ、２１Ｂは、塗布剤を吐出するノズル２４を有するシリンジ２５と、このシリンジ２５を水平方向のＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平方向のＹ軸方向、およびＸ軸方向とＹ軸方向に直交する鉛直方向のＺ軸方向に駆動させる駆動機構２６（２６Ａ，２６Ｂ）とを備える。

シリンジ２５は、カメラ２７が取付られたフレーム（アーム）２８にて支持され、このアーム２８が駆動機構２６にて駆動される。すなわち、アーム２８は、シリンジ２５を保持するシリンジ保持部２８ａと、カメラ２７を保持するカメラ保持部２８ｂと、シリンジ保持部２８ａとカメラ保持部２８ｂとを連結する連結部２８ｃとで構成されている。シリンジ保持部２８ａとカメラ保持部２８ｂは、それぞれ水平方向（ワークＷの表面と平行を成すように）配設され、連結部２８ｃは鉛直方向（ワークＷの表面に直交する方向）に配設されている。カメラ保持部２８ｂは、連結部２８ｃを介してシリンジ保持部２８ａの上方に接続されている。シリンジ保持部２８ａにおけるカメラ直下の部分には、孔部２８ｄが設けてあり、カメラ２７はこの孔部２８ｄを通してワークＷの表面を撮像することができるようになっている。

駆動機構２６は、フレーム（アーム）２８を介してシリンジ２５を移動させる３つの駆動部３１，３２，３３を備える。具体的には、駆動機構２６は、シリンジ２５をワークＷの長手方向（Ｘ方向）に往復移動させるＸ方向駆動部３１と、シリンジをワークＷの幅方向（Ｙ方向）に往復移動させるＹ方向駆動部３２と、シリンジ２等をワークＷに対して接近離間する方向（Ｚ方向）に移動させるＺ方向駆動部（接離方向駆動部）３３とを備えている。なお、駆動機構２６は、ＸＹＺ軸ステージやＸＹＺアームを用いることができる。

また、カメラ２７には、駆動機構２６を制御する制御手段３０（図７参照）が接続されている。すなわち、制御手段３０には、カメラ２７にて撮像されたアイランド９や塗布された塗布剤等の画像が入力され、制御手段３０はこの画像に基づいて駆動機構２６の駆動を制御する。

ノズル位置検出手段２２は、図４に示すように、第１センサ３５と第２センサ３６とを備える。第１センサ３５は、検出用光（平行光）Ｌ１を投光する投光器３５ａと、この投光器３５ａからの検出光Ｌ１を受ける受光器３５ｂとからなり、第２センサ３６は、検出用光（平行光）Ｌ２を投光する投光器３６ａと、この投光器３６ａからの検出光Ｌ２を受ける受光器３６ｂとからなる。この場合、第１センサ３５の検出光Ｌ１は、Ｘ軸方向に沿って投光され、第２センサ３６の検出光Ｌ２は、Ｘ軸と直交するＹ軸方向に沿って投光さ
る。また、第１センサ３５の検出用光Ｌ１と第２センサ３６の検出用光Ｌ２とは同一水平面に配設されている。すなわち、検出用光Ｌ１と検出用光Ｌ２とが同一高さに設定される。

このため、検出光Ｌ１と検出光Ｌ２とがクロスする部位Ｌ３にノズル２４が位置する状態が、ノズルが正規位置及び正規姿勢に取り付けられる状態とすることができる。このため、これらのセンサ３５，３６にて、ノズル２４が位置ずれしていか否かを検出でき、しかも、ずれ量も検出することができる。この場合、ノズル２４の位置ずれとしては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向があり、このノズル位置検出手段２２は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向のずれを検出することができる。

また、ノズルクリーニング手段２３は、公知公用の手段にて構成できる。例えば、特開２００７－２１６１９１号公報に記載の塗布ノズル清掃装置を用いることができる。この塗布ノズル清掃装置（ノズルクリーニング手段）は、図５に示すように、上下開口の逆円錐状凹部４１と、凹部４１の下端開口から真下に延在する筒状清掃穴４２と、凹部４１と清掃穴４２の間に開口させた吹出口４４を有するエアー供給流路４３と、清掃穴から下方および側方に延在するエアー吸引流路４５を備える。そして、このエアー吸引流路４５には、フィルター４７を介してエアー吸引装置４８が接続されている。

また、この塗布ノズル清掃装置は、図６に示すように、縦穴５１とこれに連通された横穴５２とが設けられ、縦穴５１が連通路５３を介して、エアー供給流路４３に連通されている。そして、横穴５２には、エアー供給装置５５が接続されている。

この場合、凹部４１と清掃穴４２に塗布ノズル２４のノズル先端部２４ａを挿入する。ノズル先端部２４ａが凹部４１との間に所定の隙間Ｇ１をもって挿入され、ノズル先端部２４ａの下端である下端部分２４ａ１が清掃穴４２の略中央部へと挿入され、下端部分２４ａ１と清掃穴４２の間に所定の隙間Ｇ２が形成される。

この状態でエアー供給装置５５を作動させて圧縮エアーをエアー供給流路４３に給送し、エアー吸引装置４８を作動させてエアー吸引流路４５を真空吸引する。エアー供給流路４３の先端の吹出口４４から吹き出された圧縮エアーはノズル先端部２４ａの逆円錐状の外周に沿って流下し、下端部分２４ａ１を真下に流下する。この間に、圧縮エアーがノズル下端部分２４ａ１に付着した塗布剤Ｓに衝突して、真下に吹き落とす。３６０度の吹出口４４から噴出された圧縮エアーは、下端部分２４ａ１の全周の塗布剤Ｓに直接に衝突するので、弱い圧縮エアーであっても全周の塗布剤Ｓを効率よく吹き落とす。同時にエアー吸引流路４５が真空吸引されているので、清掃穴４２を流下する圧縮エアーと吹き落とされた塗布剤Ｓがエアー吸引流路４５に積極的に吸引され、フィルター４７に送給される。フィルター４７は不織布などであり、エアーが通過する間に塗布剤Ｓを捕捉して吸着する。フィルター４７に所望量の塗布剤Ｓが付着すると、取り外されて廃棄処理される。塗布ノズル２４から除去された塗布剤Ｓは、エアー吸引流路４５のみを流れてフィルター４７に捕捉されるので、塗布作業空間に飛散せず、作業環境が清浄に保たれる。

図７は、この塗布装置の制御部を示し、制御部は、一対のディスペンスユニット２１（２１Ａ，２１Ｂ）のいずれかのディスペンスユニット２１Ａ又は２１Ｂによる塗布剤Ｓの塗布動作又は両ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を指令する動作指令手段６１と、動作指令手段６１からの指令に基づいて、両ディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂの駆動機構２６（２６Ａ，２６Ｂ）を制御して両ディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂを駆動させる前記制御手段３０等を備える。この制御手段３０には、ノズル位置補正を行う位置補正手段６３が含まれている。この位置補正手段６３は、ノズル位置検出手段２２にて検出されたノズル位置が規定位置に対してずれている際に、駆動機構２６にて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の少なくなくともいずれか一つの方向のシリンジ２５の駆動量の補正にてノズル位置補正を行うものである。

動作指令手段６１は、制御手段３０に指令して、ディスペンスユニット２１（２１Ａ，２１Ｂ）の駆動機構２６（２６Ａ，２６Ｂ）を駆動させるものであり、ディスペンスユニット２１Ａ又はディスペンスユニット２１Ｂのみに、塗布動作させたり、両ディスペンスユニット２１Ａ、２１Ｂに塗布動作させたりする。

ところで、制御手段３０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターである。また、指令手段６１は記憶手段にて構成でき、記憶手段としての記憶装置は、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ－Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。

次に、前記のように構成された塗布装置の動作について説明する。いずれか一のディスペンスユニット２１（２１Ａ又は２１Ｂ）のみの塗布動作を説明する。塗布剤Ｓの塗布予定箇所であるアイランド上に塗布剤Ｓの塗布を行う前に、まず、アイランドの位置検出を行う。アイランド９の位置検出は、カメラによってアイランドの画像を取り込み、制御手段３０で画像処理することによって行うことができる。

その後、ノズル２４を、上記位置検出されたアイランド９上に移動させる。このとき、位置補正が必要な場合は、制御手段３０がＸ方向駆動部３１又はＹ方向駆動部３２に指示を出し、ノズル２４をＸ方向又はＹ方向に移動させその位置を補正する。アイランド９上に移動したノズル２４をＺ方向駆動部３３にてＺ方向に下降させ、ノズル２４から塗布剤Ｓをアイランド９上に塗布する。

このような塗布工程が終了すれば、ノズル２４をＺ方向駆動部３３にてＺ方向に沿って上昇させ、次に塗布剤Ｓを塗布すべきアイランド９に対して塗布剤Ｓを塗布することになる。なお、塗布剤Ｓを塗布する際には、アイランド９側のみを移動させても、ノズル２４側のみを移動させても、アイランド９側およびノズル２４側を移動させてもよい。

また、アイランド９上に塗布剤Ｓの塗布を終えたら、塗布された塗布剤Ｓの状態を確認するための検査を行う。塗布剤Ｓの状態確認検査は、カメラ２７によってアイランド９の塗布済みの箇所の画像を取り込み制御手段３０で画像処理することによって行う。なお、この塗布剤Ｓの状態の確認工程は、１個乃至複数個（例えば、１列分）のアイランド９上に塗布剤Ｓの塗布を終えた後に行っても、一つのワークＷの全アイランド９の塗布が終了したときに行ってもよい。

このように、１つのいずれか１のディスペンスユニット２１（２１Ａ又は２１Ｂ）のみの塗布動作を行っている間においては、この塗布動作を行っていない方のディスペンスユニット２１（２１Ｂ又は２１Ａ）に対しては、図８に示すような作業を行うことができる。

図８に示す作業工程は、ディスペンスユニット２１のシリンジ２５を交換するシリンジ交換工程７１と、シリンジ２５のノズル２４からの塗布剤Ｓの吐出圧を調整する吐出圧調整工程７２と、シリンジ２５乃至ノズル２４の泡抜きを行う泡抜き工程７３と、捨て打ち確認工程７４と、ディスペンスユニット２１のシリンジ２５のノズル位置を補正するためのノズル位置検出工程７５と、ディスペンスユニット２１のシリンジ２５のノズルをクリーニングするノズルクリーニング工程７６とを備える。

シリンジ交換工程７１は、ペースト切れが発生したシリンジ２５乃至発生するおそれがあるシリンジ２５等を交換する作業である。なお、各ディスペンスユニット２１は、それぞれカバー内に収容されており、この交換の際、塗布動作を行っていない側のディスペンスユニット２１のカバーを開けることによって、行うことができる。

ところで、塗布剤Ｓを塗布（吐出）する場合、シリンジ２５に接続された図示省略のディスペンスコントローラ等からシリンジ２５内に一定時間エア圧を負荷することにより塗布剤Ｓがノズル２４から押し出される。このため、吐出圧調整工程７２とは、負荷するエア圧を適切なものに設定（設定値）するとともに、負荷する時間を調節することにより塗布剤Ｓの押し出し量を調節することである。

泡抜き工程７３は、シリンジ２５内に塗布剤を圧送することによって、塗布ノズル２４から塗布剤とともに気泡を排出させることである。捨て打ち確認工程７４とは、捨て打ちステージ等に、塗布剤Ｓをシリンジ２５から吐出させて、これを認識手段（カメラ）で認識して吐出圧や吐出量等の良否を判断する工程である。

ノズル検出工程７５は、ノズル位置検出手段２２にて、ノズル２４がアーム１８に正規の位置に取付られているか否かが判断され、正規の位置に取付られていなければ（シリンジ交換後のノズル位置が、交換前のノズル位置と異なる場合）、駆動機構２６によるシリンジのＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向の移動量を、この位置ずれ量を考慮することによって、塗布すべきアイランド９に安定して塗布できる。なお、正規の位置に取付られていれば、この取付状態のまま塗布動作を行うことができる。

ノズルクリーニング工程７６は、図５と図６に示す塗布ノズル清掃装置（ノズルクリーニング手段２３を用いて、ノズル２４のクリーニングを行うことである。

その後は、図８に示す工程を終了したディスペンサユニット２１を用いて塗布動作を行うことになる。このディスペンサユニット２１を用いる場合は、今まで塗布動作を行っていたディスペンサユニット２１に対しては、塗布動作を行わせることなく、図８に示す工程を行うことになる。

この場合、一のディスペンサユニット２１で一つのワークＭである一つのリードフレーム１１の全アイランド９に対して塗布剤Ｓを塗布する工程を行って、他のリードフレーム１１のアイランド９に対して塗布する際に、他のディスペンサユニット２１を用いるようにしても、一のディスペンサユニット２１で一つのリードフレーム１１の所定範囲のアイランド９に対して塗布剤Ｓを塗布した後、このリードフレーム１１の他の範囲のアイランド９に対して他のディスペンサユニット２１で塗布剤Ｓを塗布するようにしてもよい。このように、一つのリードフレーム１１のアイランド９に対して、ディスペンサユニット２１を変更する場合、ディスペンサユニット２１Ａとディスペンサユニット２１Ｂとを交互に複数回使用するようなものであってもよい。

また、動作指令手段６１による指令が、２機のディスペンサユニット２１Ａ、２１Ｂを同時に使用するものであれば、２機のディスペンサユニット２１Ａ、２１Ｂによる塗布動作が可能である。この際、動作している２機のディスペンサユニット２１Ａ、２１Ｂが干渉し合わないように、両ディスペンサユニット２１Ａ、２１Ｂの塗布範囲等を設定する必要がある。

本発明の塗布装置によれば、動作指令手段６１からの指令にて、一対のディスペンスユニット２１（２１Ａ，２１Ｂ）のいずれかのディスペンスユニット２１Ａ又は２１Ｂによる塗布剤Ｓの塗布動作を行ったり、２機のディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂによる塗布剤Ｓの塗布動作を行ったりできる。このため、ディスペンスユニット２１による塗布剤Ｓの塗布動作を途切れさせることがなく、塗布作業の生産性の向上を図ることができる。

また、一のディスペンスユニット２１Ａ又は２１Ｂによる塗布剤Ｓの塗布動作を行っている間においては、他のディスペンスユニット２１Ｂ又は２１Ａによる塗布剤Ｓの塗布動作を停止でき、この停止中に、ノズル位置検出手段２２によるこの停止中ディスペンスユニット２１Ｂ又は２１Ａのノズル位置検出を行ったり、ノズルクリーニング手段２３によるノズル２３のクリーニングを行ったりできる。すなわち、停止中に、この停止中のディスペンスユニット２１Ｂ又は２１Ａのシリンジ２５を交換することができ、この交換に伴って生じたノズル２４の位置ずれをノズル位置検出手段２２にて検出できる。この場合、ノズル２４に位置ずれが生じていれば、ノズル２４を正規の位置に合わせる工程も行える。また、ノズルクリーニング手段２３によるノズル２４のクリーニングは、シリンジ２５を交換することなく、行うものであってもよい。シリンジ２５を交換した場合であっても、捨て打ち等によって、ノズル２４の先端部２４ａ乃至下端部分２４ａ１に塗布剤Ｓが付着する場合があり、このような場合に、ノズル２４のクリーニングにて、ノズル２４の先端部２４ａ乃至下端部分２４ａ１に付着した余分な塗布剤Ｓを除去できる。

ノズル位置検出手段２２にて検出されたノズル位置が規定位置に対してずれている際に、駆動機構２６による、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の少なくなくともいずれか一つの方向のシリンジ２５の駆動にてノズル位置補正を行う制御手段３０を備えたものであってもよい。

このように、制御手段３０を備えたものでは、ノズル２４に位置ずれが生じていれば、駆動機構２６によるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び／又はＺ軸方向の移動量にこのずれ量を付加することによって、塗布すべき部位に安定して塗布剤Ｓを塗布することができる。すなわち、この種の既存の塗布装置が有する駆動機構２６をそのまま使用することによって、ノズル２４の位置合わせを行うことができる。しかも、この位置合わせを自動にて行うことができ、作業者の技量によることなく、正確に行うことができる。

ノズル位置検出手段２２及びノズルクリーニング手段２３が一対のディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂの間に配設されているのが好ましい。このように配置することによって、いずれのディスペンスユニット２１Ａ，２１Ｂにおいても、ノズル位置検出手段２２およびノズルクリーニング手段２３への移動距離を小さくでき、作業効率の向上を図ることができるとともに、装置全体のコンパクト化を達成できる。

この塗布装置では、一のディスペンスユニット２１の塗布剤の塗布動作中においては、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニット２１のシリンジ２５の交換を行うシリンジ交換工程７１、シリンジ２５のノズル２４からの塗布剤Ｓの吐出圧の調整を行う吐出圧調整工程７２、シリンジ２５のノズル２４の泡抜きを行う泡抜き工程７３、捨て打ちを行った後の行う捨て打ち確認工程７４、シリンジ２５のノズル２４の位置を検出してノズル２４の位置を補正するための位置検出工程７５、及びシリンジ２５のノズル２４のクリーニングを行うノズルクリーニング工程７６を行うことができ、各ディスペンスユニット２１，２１による塗布動作を安定して正確に行うことができる。

本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記実施形態では、塗布動作を行っていない場合、図８に示す工程を全て行っていたが、６個の工程の内、省略される工程があってもよい。この場合、いずれか１個の工程のみを省略したり、いずれかの２個乃至５個の工程を省略したりするものであってもよい。また、基板１１のアイランド数、アイランドの配設ピッチ等は任意に変更でき、配設ピッチは等間隔ピッチでなくてもよい。塗布剤Ｓである接着剤として、はんだペースト、樹脂ペースト、樹脂フィルム等がある。また、樹脂ペーストや樹脂フィルムとしては、エポキシ系、ポリアミド系の種々の樹脂接合材料を用いることができる。

ノズル位置検出手段２２の前記実施形態では、透過型のセンサ３５，３６を用いたが、反射型のセンサ等を用いてもよい。また、ノズルクリーニング手段２３として、図５と図６に示した塗布ノズル清掃装置に限るものではなく、他の公知公用の装置（例えば、特開２０００－３５４８１６号公報の図３や図６に示されるもの）であってもよい。

２１、２１Ａ、２１Ｂ ディスペンスユニット
２２ ノズル位置検出手段
２３ ノズルクリーニング手段
２４ 塗布ノズル
２５ シリンジ
２６ 駆動機構
６１ 動作指令手段
７１ シリンジ交換工程
７２ 吐出圧調整工程
７３ 泡抜き工程
７４ 捨て打ち確認工程
７５ ノズル位置検出工程
７６ ノズルクリーニング工程
Ｓ 塗布剤
Ｗ ワーク

Claims (9)

1. ワーク上に塗布剤を塗布する一対のディスペンスユニットを備え、各ディスペンスユニットは、塗布剤を吐出するノズルを有するシリンジと、このシリンジを水平方向のＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平方向のＹ軸方向、およびＸ軸方向とＹ軸方向に直交する鉛直方向のＺ軸方向に駆動させる駆動機構とを有する塗布装置であって、
   前記一対のディスペンスユニットのいずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗
   布動作又は両ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作を指令する動作指令手段と、
   一のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作中に、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのノズルの位置調整を行うためのノズル位置を検出するノズル位置検出手段と、
   一のディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作中に、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのノズルのクリーニングを行うノズルクリーニング手段と、
   クロスする部位が形成される一対の検出光が投光されて、このクロス部にノズルが位置する状態が、ノズルが正規位置及び正規に取付られた状態となるノズル位置検出手段と
   前記ノズル位置検出手段にて検出されたノズル位置が規定位置に対してずれている際に、駆動機構による、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の少なくともいずれか一つの方向のシリンジの駆動量の補正にてノズル位置補正を行う制御手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。
2. 前記ノズル位置検出手段及びノズルクリーニング手段が一対のディスペンスユニットの間に配設されていることをと特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
3. 塗布剤を吐出するノズルを有するシリンジを備えた一対のディスペンスユニットによってワーク上に塗布剤を塗布する塗布方法であって、
   両ディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作と、いずれかのディスペンスユニットによる塗布剤の塗布動作との選択を可能とし、クロスする部位が形成される一対の検出光が投光されて、このクロス部にノズルが位置する状態を、ノズルが正規位置及び正規に取り付けられた状態とし、ノズル位置が規定位置に対してずれている際に、駆動機構による、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の少なくともいずれか一つの方向のシリンジの駆動量の補正にてノズル位置補正を行う制御をすることを特徴とする塗布方法。
4. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのシリンジの交換を行うシリンジ交換工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
5. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのシリンジのノズルの位置を検出してノズルの位置を補正するための位置検出工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
6. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのノズルのクリーニングを行うノズルクリーニング工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
7. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのシリンジのノズルからの塗布剤の吐出圧の調整を行う吐出圧調整工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
8. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットのシリンジのノズルの泡抜きを行う泡抜き工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。
9. 一のディスペンスユニットの塗布剤の塗布動作中において、塗布動作を行っていない他のディスペンスユニットによる捨て打ちを行った後の捨て打ち確認工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の塗布方法。

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