JP7105319B2

JP7105319B2 - 監視装置、監視方法及び基板処理装置

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Publication number: JP7105319B2
Application number: JP2020559231A
Authority: JP
Inventors: 恭満山口; 光赤田; 悠一郎松岡
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2018-12-13
Filing date: 2019-12-03
Publication date: 2022-07-22
Anticipated expiration: 2039-12-03
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Description

本開示は、監視装置、監視方法及び基板処理装置に関する。

特許文献１には、床部に取り外し可能な床面が配置されたクリーンルームの内部を監視するためのクリーンルームの監視装置が開示されている。このクリーンルームの監視装置は、作業員が通行可能な通路の上記取り外し可能な床面を撮像する監視カメラを備えている。監視カメラで得られた画像信号から、上記取り外し可能な床面が取り外された開口部の有無が検出され、開口部が有る場合は当該開口部に接近する作業員の有無が監視カメラの画像信号から検出される。そしてこのクリーンルームの監視装置は、作業員が検出された際に警報信号を出力する監視部と、監視部から警報信号を受け、警報を発する警報発生手段とを備えている。

特許第６０１８８２１号

本開示にかかる技術は、クリーンルーム内のグレーチングが外されて開口した際に作業員の安全性を向上させる。

本開示の一態様は、クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視装置であって、グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、当該監視装置は、前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する。

本開示によれば、クリーンルーム内のグレーチングが外されて開口した際に作業員の安全性を向上させることができる。

第１実施形態にかかる監視装置を有する監視システムの全体構成の概略を示す平面図である。第１実施形態にかかる監視装置としての基板処理装置の、監視処理にかかる構成の概略を示すブロック図である。グレーチングが取り外されたときのクリーンルームの床を模式的に示す平面図である。開口部が閉じられたか否かの判定方法の他の例を説明するための図である。開口部が閉じられたか否かの判定方法の他の例を説明するための図である。アンテナの取り付け位置の他の例を説明するための図である。光学式屋内ＧＰＳを用いてグレーチングの位置検出を行う場合における、監視システムの全体構成の概略を示す平面図である。光学式屋内ＧＰＳを用いてグレーチングの位置検出を行う場合における、監視装置としての基板処理装置の、監視処理にかかる構成の概略を示すブロック図である。第２実施形態にかかる監視装置を説明するための図であり、クリーンルームの床を構成するグレーチングＧの側面を示している。動作検知部の他の例を説明する図である。第３実施形態にかかる監視装置を説明するための図である。

従来から、例えば半導体装置を製造するための半導体製造ラインでは、多数の半導体製造装置が、清浄雰囲気とされたクリーンルーム内に配設されている。このようなクリーンルームでは、床部分には多数の格子状の通気部を有するグレーチングが配設されている。また、グレーチングの下部空間には配管や各種電気機器、ポンプ類、薬液タンク等が収容されている。たとえばこれら配管や各種電気機器、ポンプ類等の設置や保守、故障時には、作業員がグレーチングの下部空間に降りて作業をする必要があるため、グレーチングは取り外し自在となっている。

このようにグレーチングを取り外した状態で、グレーチング下部の空間に作業員が入り作業を行えるようになっている。しかしながらグレーチングを取り外した場合、多数のグレーチングによって構成されているクリーンルームの床面に開口部が形成されるため、作業員がこの開口部から下部空間へと落下する危険性がある。とりわけグレーチング上で他の作業を行なっている作業員にとっては、開口部が形成されていることを知らずに作業をしていることがあり、従来から作業員に注意を促すことが行われている。

特許文献１に記載の技術は、グレーチングを撮像する監視カメラと、当該監視カメラで得られた画像信号に基づいて、グレーチングが取り外された開口部の有無を検出し、作業員がいる場合には、警報信号を出力して警報発生手段から警報を発するようにしている。

かかる技術によって、作業員の安全性は向上したが、監視カメラの設置など高価な装置の設置が必要である。そこでより低コストで構築可能な監視システムを本開示は提供する。以下に実施形態にかかる監視装置を説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態にかかる監視装置を有する監視システムの全体構成の概略を示す平面図である。図２は、第１実施形態にかかる監視装置の監視処理にかかる構成の概略を示すブロック図である。
図１の監視システム１は、クリーンルーム内のグレーチングＧで構成された床を監視装置によって監視するものである。
監視システム１の監視対象の床には、例えば、基板処理装置２が載置される。床の上において、基板処理装置２は、その四面の内のうちの一面、例えば背面がグレーチングＧ_８０１～グレーチングＧ_８１２上に位置し、当該一面と対向する正面がＧ_５０１～グレーチングＧ_５１２上に位置する。また、基板処理装置２の一側面は、グレーチングＧ_１０１、Ｇ_２０１、Ｇ_３０１、Ｇ_４０１、Ｇ_５０１上に位置し、他側面はグレーチングＧ_１１２、Ｇ_２１２、Ｇ_３１２、Ｇ_４１２、Ｇ_５１２上に位置する。

監視システム１は、上述のように位置する基板処理装置２の周囲の床を監視し、具体的には、基板処理装置２の周囲のグレーチングＧのうち、基板処理装置２が上方に位置しておらず開口部を形成し得るグレーチングＧを監視している。なお、以下の説明では、基板処理装置２の正面側のグレーチングＧのみが開口部を形成し得るものとする。つまり、以下の説明では、監視システム１は、基板処理装置２の正面側のグレーチングＧ_６０１～グレーチングＧ_６１２、グレーチングＧ_７０１～グレーチングＧ_７１２、グレーチングＧ_８０１～グレーチングＧ_８１２を監視する。

監視対象のグレーチングＧにはそれぞれ、当該グレーチングＧの位置を検出するための通信を行う通信部としてのＲＦＩＤタグ３１が取り付けられている。ＲＦＩＤタグ３１は、例えばグレーチングＧの上面中央に貼り付けられて取り付けられる。ＲＦＩＤタグ３１は、不図示の記憶部とアンテナを有し、上記記憶部には、ＲＦＩＤタグ３１毎に固有の、すなわち、グレーチングＧ毎に固有の識別情報が記憶されている。このように構成されるＲＦＩＤタグ３１は、監視装置として機能する基板処理装置２が有する後述のアンテナ２１から電波を受信すると、上記記憶部に記憶されている識別情報等の情報を信号化して、当該ＲＦＩＤタグ３１が有するアンテナからその信号を発信する。

監視システム１は、このＲＦＩＤタグ３１と、監視装置としての基板処理装置２を有する。
監視装置としての基板処理装置２は、半導体ウェハ等の基板に対しレジスト液塗布処理等の各種処理を行う基板処理部を複数有し、さらに、図２に示すように、受信部としてのアンテナ２１と、リーダライタ２２と、制御部２３と、警報部２４と、表示部２５とを有する。

アンテナ２１は、ＲＦＩＤタグ３１の識別情報を読み取ること等を目的として変調波（電波）をＲＦＩＤタグ３１へ放射したり、ＲＦＩＤタグ３１からの信号波を受信したりする。このアンテナ２１は、例えば基板処理装置２の基板処理部を覆う筐体２ａを構成する天板に１つ取り付けられている。なお、１つのアンテナ２１による電波の放射範囲及び受信範囲では監視対象の領域全体を覆うことができないときは、アンテナ２１は複数設けられる。本例では、監視対象のグレーチングＧが基板処理装置２の正面側のみであるが、基板処理装置２の周囲全体のグレーチングＧを監視対象とする場合は、上記筐体２ａを構成する前後左右の４つの側壁それぞれにアンテナ２１を取り付けても良い。
また、アンテナ２１は、各ＲＦＩＤタグ３１の３次元位置すなわち各グレーチングＧの３次元位置が特定できるように、例えば、当該アンテナ２１の姿勢を変化可能に構成されている。

リーダライタ２２は、例えばアンテナ２１に隣接して設けられており、アンテナ２１を駆動するものである。

制御部２３は、例えばＣＰＵやメモリ等を備えたコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、基板処理装置２における処理を制御するプログラムが格納されている。また、後述の監視処理を実現させるためのプログラムも格納されている。なお、上記プログラムは、コンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、当該記憶媒体から制御部２３にインストールされたものであってもよい。
また、制御部２３は、例えば基板処理装置２の筐体２ａの内部に設けられる。

さらに、制御部２３には、監視処理を実現させるためのプログラムの指示に従ったＣＰＵの処理により、位置検出部２３ａ、正常状態情報記憶部２３ｂ及び判定部２３ｃが実装される。

位置検出部２３ａは、ＲＦＩＤタグ３１との通信結果に基づいて、現在のグレーチングの位置の検出を行う。具体的には、位置検出部２３ａは、リーダライタ２２を制御して、アンテナ２１の姿勢を変化させながら当該アンテナ２１から電波を送出させる。また、その電波に対する応答波として、各ＲＦＩＤタグ３１が、識別情報を含む信号波を送出するので、位置検出部２３ａは、アンテナ２１を介して上述の信号波をＲＦＩＤタグ３１毎に複数回受信させる。そして、位置検出部２３ａは、それぞれのＲＦＩＤタグ３１について、つまりは、監視対象のグレーチングＧそれぞれについて、アンテナ２１の姿勢変化の情報と、姿勢に応じた応答波の信号強度とに基づいて、現在の３Ｄ位置を検出する。

正常状態情報記憶部２３ｂは、正常状態のグレーチングＧの位置に関する情報（以下、「グレーチングＧの正常状態情報」ということがある。）を記憶する。正常状態とは、グレーチングＧが取り外されて生じる開口部が監視対象領域の床に存在しない状態である。

判定部２３ｃは、位置検出部２３ａによる、現在のグレーチングＧの位置の検出結果と、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶されている、グレーチングＧの正常状態情報とに基づいて、床の監視対象領域に、グレーチングＧが取り外されたことによる開口部が存在するか判定する。

警報部２４及び表示部２５は、判定部２３ｃによる上記開口部が存在するかの否かの判定結果に応じて出力を行う出力部である。
警報部２４は、判定部２３ｃにより上記開口部が存在すると判定された場合、光及び音の少なくともいずれか一方により警報を発する。音による警報は、警報音を反する形態であっても、音声によって警告メッセージを読み上げる形態であってもよい。この警報部２４は例えば基板処理装置２の筐体２ａの上方に設けられる。
表示部２５は、各種画像を表示するものであって、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等から構成されている。表示部２５は、判定部２３ｃにより上記開口部が存在すると判定された場合、上記開口部が存在することを示す画像及び上記開口部の位置を示す画像の少なくともいずれか一方を表示する。この表示部２５は例えば基板処理装置２の正面側に設けられる。

次に、監視システム１による監視処理の一例について図３を用いて説明する。
まず、監視システム１の設置時等に、グレーチングＧの正常状態情報が取得される。具体的には、位置検出部２３ａが、いずれのグレーチングＧも取り外されておらず開口部が存在しない正常状態で、リーダライタ２２を制御する。これにより、位置検出部２３ａは、アンテナ２１の姿勢を変化させながら、全ＲＦＩＤタグ３１について、アンテナ２１を介した電波の送信と、当該電波に対する応答波である、前述の識別情報を含む信号波の受信と、を行う。そして、位置検出部２３ａが、受信結果に基づいて、正常状態での各ＲＦＩＤタグ３１の３Ｄ位置を検出することで、正常状態での各グレーチングＧの３Ｄ位置を検出する。これら３Ｄ位置の情報は、グレーチングＧの正常状態情報として正常状態情報記憶部２３ｂに記憶される。

監視システム１の設置が完了すると、監視システム１は以下のように動作する。すなわち、位置検出部２３ａが、一定間隔毎に、リーダライタ２２を制御して、アンテナ２１の姿勢を変化させる。これにより、位置検出部２３ａが、一定間隔毎（例えば１秒毎）に、全てのＲＦＩＤタグ３１について、アンテナ２１を介した電波の送信と、当該電波に対する応答波である、前述の識別情報を含む信号波の受信と、を行う。次いで、位置検出部２３ａが、受信結果に基づいて、現在の各ＲＦＩＤタグ３１の３Ｄ位置を検出することで、現在の各グレーチングＧの３Ｄ位置を検出する。そして、判定部２３ｃが、位置検出部２３ａでの検出結果と、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報とに基づいて、現在の各グレーチングＧの位置が正常状態の位置に一致するか否か判定する。そして、その判定結果に基づいて、判定部２３ｃが、開口部の有無の判定を行う。

図３に示すように、例えば、一部のグレーチングＧの現在の水平面内における位置が正常状態から変化している場合（図の例ではグレーチングＧ_７０５の水平面内における位置が正常状態から変化している）は、判定部２３ｃは開口部Ｋが形成されていると判定する。
開口部Ｋが形成されていると判定した場合、警報部２４が例えば光による警報を発する。

警報を発している間も、位置検出部２３ａが、上述と同様に、一定間隔毎に、現在の各グレーチングＧの３Ｄ位置を検出する。また、この位置検出部２３ａでの検出結果と、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報とに基づいて、判定部２３ｃが、現在の各グレーチングＧの位置が正常状態の位置に一致するか判定する。そして、その判定結果に基づいて、判定部２３ｃが、開口部Ｋが閉じられたか否かを判定する。例えば、全てのグレーチングＧの現在の位置が正常状態の位置に一致する場合、判定部２３ｃは、開口部Ｋが閉じられたと判定し、警報部２４からの警報が停止される。

本実施形態では、ＲＦＩＤタグ３１との通信結果を用いた現在のグレーチングＧの位置の検出結果と正常状態情報とに基づいて、開口部の有無を判定し、判定結果に応じた出力を行っている。したがって、現場にいる作業員は、開口部が存在することを直ちに知ることができる。それゆえ作業中であっても、警報が発せられている間は開口部が存在すると知覚して、作業を行うことになり、誤って開口部から落ちてしまうという事態を防止できる。
また、本実施形態の監視システムは、監視カメラ等の高価な装置が不要であるため、低コストで構築することができる。
さらに、本実施形態の監視システムの構築は、監視対象とするグレーチングＧ上に、ＲＦＩＤタグ３１を順次貼り付けることで行うことができ、ＲＦＩＤタグ３１と監視装置とを接続する配線作業等も不要である。そのため、本実施形態の監視システムは、構築作業が極めて簡単、かつ迅速に行うことができる。もちろん既存のグレーチングを監視対象とするのも容易である。

なお、上述の例では、現在の各グレーチングＧの位置が正常状態の位置に一致するか否かの判定は、水平面内における位置に基づいて行ったが、高さ方向にかかる位置に基づいて行っても良いし、水平面内における位置及び高さ方向にかかる位置の両方に基づいて行ってもよい。

（開口部の有無の判定方法の他の例１）
判定部２３ｃによる開口部の有無の判定方法は上述の例に限られない。
例えば、正常状態情報を取得する際に、正常状態での各グレーチングＧの３Ｄ位置を検出したときに、当該検出結果から、位置検出部２３ａが、正常状態でのグレーチングＧの水平面内における配列（以下、単に「配列」という。）を算出するようにする。また、位置検出部２３ａが、この配列の情報を、グレーチングＧの正常状態情報として正常状態情報記憶部２３ｂに記憶させる。そして、監視の際は、一定間隔毎に現在の各グレーチングＧの３Ｄ位置が検出されたときに、当該検出結果から、位置検出部２３ａが、現在のグレーチングＧの配列を算出する。この算出結果と正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報に基づいて、判定部２３ｃが、現在のグレーチングＧの配列が、正常状態でのグレーチングＧの配列と一致するか判定する。この判定結果に基づいて、判定部２３ｃが、開口部の有無の判定を行う。正常状態でのグレーチングＧの配列に一致しない場合は、開口部があると判定され、例えば警報部２４から警報が発せられる。
なお、判定部２３ｃによる、開口部が閉じられたか否かの判定にも、この方法を用いることができる。

（開口部の有無の判定方法の他の例２）
判定部２３ｃによる開口部の有無の判定方法は以下のような方法であってもよい。
正常状態情報を取得する際に、正常状態での各グレーチングＧの３Ｄ位置を検出したときに、当該検出結果から、位置検出部２３ａが、正常状態でのグレーチングＧの間隔を算出するようにする。例えば、正常状態での各グレーチングＧと、当該グレーチングＧに最も近い３つの他のグレーチングＧとの距離を算出するようにする。この正常状態での間隔の情報が、グレーチングＧの正常状態情報として正常状態情報記憶部２３ｂに記憶される。そして、監視の際は、一定間隔毎に現在の各グレーチングＧの３Ｄ位置が検出されたときに、当該検出結果から、位置検出部２３ａが、グレーチングＧ毎に、グレーチングＧの間隔を算出する。この算出結果と正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報に基づいて、判定部２３ｃが、グレーチングＧ毎に、現在のグレーチングＧの間隔が正常状態のものと一致するか否か判定する。そして、その判定結果に基づいて、判定部２３ｃが、開口部の有無の判定を行う。例えば、一部のグレーチングＧにおいて、グレーチングＧの間隔が正常状態のものと一致しない場合は、開口部があると判定され、例えば警報部２４から警報が発せられる。
なお、判定部２３ｃによる、開口部が閉じられたか否かの判定にも、この方法を用いることができる。

（開口部が閉じられたか否かの判定方法の他の例）
図４に示すように複数のグレーチングＧが取り外された場合において、グレーチングＧを戻したときに図５に示すように位置が入れ替わることがある。図５の例では、グレーチングＧ_７０５とグレーチングＧ_７０６とを戻したときにこれらの位置が入れ替わっている。
この場合、開口部が存在しないが、開口部が閉じられたか否かの判定方法として、前述の方法（各グレーチングＧの水平面内での位置に基づいて判定する方法や現在のグレーチングＧの配列に基づいて判定する方）では開口部が存在すると判定される。
これを避けるため、開口部が閉じられたか否かの判定は、取り外されたグレーチングＧの現在の高さ方向の位置が正常状態の高さ方向の位置に一致するか否かの判定結果に基づいて行ってもよい。なお、正常状態における各グレーチングＧの高さ方向の位置の情報は正常状態情報記憶部２３ｂに記憶される。
また、この例の場合、開口部が閉じられたと判定されたときは、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報を、開口部が閉じられたと判定されたときの情報に更新するとよい。

（アンテナ２１の位置の他の例）
図６は、アンテナ２１の取り付け位置の他の例を説明するための図である。
上述の例では、アンテナ２１は、基板処理装置２の筐体２ａに取り付けられていた。しかし、アンテナ２１の取り付け位置は、この例に限られない。アンテナ２１は、例えばクリーンルームの天井Ｒに取り付けられてもよい。また、アンテナ２１は、クリーンルーム内を移動する移動体に取り付けられてもよい。上記移動体とは、例えば、クリーンルーム内において、天井Ｒに沿って移動するＯＨＴ１００や、グレーチングＧにより構成される床上を走行するＡＧＶ１０１である。

（通信部の他の例）
以上の例では、監視対象の各グレーチングＧに取り付けられ、当該グレーチングＧの位置を検出するための通信を行う通信部として、パッシブ型無線ＩＣタグであるＲＦＩＤタグ３１が用いられていた。しかし、通信部は、無線ＬＡＮ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＺｉｇＢｅｅ（登録商標）等を用いて通信するアクティブ型無線ＩＣタグであってもよい。
なお、アクティブ型無線ＩＣタグからは一定期間毎に前述の識別情報を含む信号波が送出されている。したがって、ＲＦＩＤタグ３１を用いた場合に当該ＲＦＩＤタグ３１から上記信号波を送出させるのに必要であった、アンテナ２１からの変調波の放射は不要となる。

（位置検出の他の例）
以上の例では、グレーチングＧの位置検出を、グレーチングＧに取り付けられた無線ＩＣタグからの信号波の強度等に基づいて行っていた。しかし、グレーチングＧの位置検出の方法はこの方法に限られず、光学式屋内ＧＰＳを用いた方法であってもよい。この方法を用いる場合、グレーチングＧの位置を検出するための通信を行う通信部として、光学式屋内ＧＰＳ用の受信機が用いられる。

図７は、光学式屋内ＧＰＳを用いてグレーチングＧの位置検出を行う場合における、監視システム１の全体構成の概略を示す平面図である。図８は、光学式屋内ＧＰＳを用いてグレーチングＧの位置検出を行う場合における、監視装置としての基板処理装置２の監視処理にかかる構成の概略を示すブロック図である。
本例の監視システム１は、図７に示すように、光学式屋内ＧＰＳ用の複数のレーザ発振機４１が、監視対象の領域（グレーチングＧ_６０１～グレーチングＧ_６１２、グレーチングＧ_７０１～グレーチングＧ_７１２、グレーチングＧ_８０１～グレーチングＧ_８１２）を囲むように設けられている。また、監視対象のグレーチングＧそれぞれに、光学式屋内ＧＰＳ用の受信機としての光学センサ４２が、レーザ発振機４１からの光を受光可能に、取り付けられている。なお、各レーザ発振機４１は、例えば後述の制御部４４の制御により、予め定められたタイミングでパルスレーザ光を出射し、各光学センサ４２は受光結果をＡ／Ｄ変換して出力する。

図８に示すように、本例の監視装置としての基板処理装置２は、位置算出エンジン４３及び制御部４４等を有する。

位置算出エンジン４３は、各光学センサ４２と通信し、各光学センサ４２での受光強度等に基づいて、各光学センサ４２の位置を算出することで、各グレーチングＧの位置を検出する。なお、位置算出エンジン４３と各光学センサ４２とは無線接続されている。
位置算出エンジン４３での位置検出結果は、グレーチングＧの正常状態情報として用いられたり、後述の判定部４４ａでの判定に用いられたりする。

制御部４４は、制御部２３と同様、例えばＣＰＵやメモリ等を備えたコンピュータである。また、制御部４４は、監視処理を実現させるためのプログラムの指示に従ったＣＰＵの処理により、判定部４４ａ等が実装される。

判定部４４ａは、位置算出エンジン４３による、現在のグレーチングＧの位置の検出結果と、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶されている、グレーチングＧの正常状態情報とに基づいて、床の監視対象領域に開口部が存在するか判定する。

本例の監視装置としての基板処理装置２においても、判定部４４ａによる判定結果に応じて、警報部２４及び表示部２５から出力がなされる。

（正常状態情報記憶部及び判定部の他の例）
図２等を用いて説明した例では、正常状態情報は、制御部２３の正常状態情報記憶部２３ｂに記憶され、開口部の有無の判定は制御部２３の判定部２３ｃで行っていた。
これに代えて、リーダライタ２２を用いて、正常状態情報を各ＲＦＩＤタグ３１に書き込み記憶させ、監視時は各ＲＦＩＤタグ３１から識別情報と共に正常状態情報が取得されるようにし、開口部の有無をリーダライタ２２で行うようにしてもよい。
これにより、上位コントローラである制御部２３の負荷を減らすことができる。

（第２実施形態）
図９は、第２実施形態にかかる監視装置を説明するための図であり、クリーンルームの床を構成するグレーチングＧの側面を示している。
本実施形態では、図９に示すように、各グレーチングＧに、当該グレーチングＧの位置検出用のＲＦＩＤタグ３１の他に、動作検知部としての加速度センサ及びジャイロセンサを内蔵するアクティブ型無線ＩＣタグ５０が取り付けられている。アクティブ型無線ＩＣタグ５０は、加速度センサ及びジャイロセンサでのグレーチングＧに対する動作検知結果を含む信号波を一定期間毎に放射し、この信号波は、監視装置のアンテナを介して受信される。

そして、本実施形態では、監視装置が有する、床における開口部の有無の判定を行う判定部が、以下の（Ａ）～（Ｃ）を基に、上記判定を行う。
（Ａ）ＲＦＩＤタグ３１からの信号波の受信結果に基づいて検出された、現在の各グレーチングＧの位置
（Ｂ）正常状態情報記憶部に記憶の正常状態情報
（Ｃ）加速度センサ及びジャイロセンサでの検知結果

例えば、一部のグレーチングＧの位置が正常状態の位置と一致しない場合は、当該グレーチングＧについての加速度センサ及びジャイロセンサによる動作検知結果によらず、上記開口部が存在すると判定される。また、一部のグレーチングＧに対する動作が加速度センサ及びジャイロセンサによって検知された場合は、当該グレーチングＧの位置が正常状態の位置と一致するか否かによらず、上記開口部が存在すると判定される。

本実施形態によれば、ＲＦＩＤタグ３１を用いた上記開口部の有無の判定と、動作検知部を用いた上記開口部の有無の判定とのいずれか一方が、正常に行われない場合でも、少なくとも開口部が存在するときには、より確実に開口部が存在すると判定することができる。つまり、本実施形態によれば、安全性をより高めることができる。

（動作検知部の他の例）
図１０は、動作検知部の他の例を説明する図である。
図１０の例では、動作検知部としての重量センサ（圧力センサ）を内蔵するアクティブ型無線ＩＣタグ６０が、グレーチングＧの載置部分Ｇｐそれぞれに取り付けられている。

（第３実施形態）
図１１は、第３実施形態にかかる監視装置を説明するための図である。
第１実施形態では、基板処理装置２が監視装置を兼ねていた。それに対し、図１１の監視システム１では、作業者Ｗが有する携帯型端末装置Ｍが監視装置として機能する。
具体的には、携帯型端末装置Ｍが、図２を用いて説明した、アンテナ２１、リーダライタ２２、制御部２３、警報部２４及び表示部２５を有する。そして、携帯型端末装置Ｍのアンテナ２１を介して受信した結果に基づいて、開口部が存在すると判定された場合、例えば警報部２４から音による警報や、表示部２５による開口部の位置を示す画像の表示が行われる。
なお、本実施形態の場合、開口部の有無の判定は、現在のグレーチングの配列が正常状態のものに一致するかに基づいて行うことが好ましい。なぜならば、携帯型端末装置Ｍの向きが変わり、アンテナ２１の向きが変わっても、開口部の有無の判定に、正常状態情報記憶部２３ｂに記憶の正常状態情報をそのまま利用でき、アンテナ２１の向きの変更直後であっても当該判定を正確に行うことができるからである。

なお、本実施形態では、振動する振動部を携帯型端末装置Ｍに設けておき、開口部が存在すると判定された場合に、作業者Ｗに振動で警告するようにしてもよい。
また、本実施形態において、制御部２３、警報部２４及び表示部２５の監視処理にかかる機能は、基板処理装置２に設けるようにしてもよい。

以上の例では、監視対象のグレーチングを基板処理装置の周囲としていたが、基板処理装置周囲以外の部分のグレーチングを監視対象としてもよい。また、基板処理装置が載置される前のクリーンルーム内全体を監視対象としてもよい。

また、以上の例では、開口部の有無の判定に、グレーチングＧに取り付けられたＲＦＩＤタグ３１等の通信部に記憶された識別情報を用いていた。しかし、当該識別情報を用いなくてもよい。
識別情報を用いない場合でも、どのグレーチングの位置かは判別できないが、グレーチングの位置自体は検出できる。したがって、識別情報を用いない場合は、例えば、監視対象の全グレーチングの位置情報の集合が、現在と正常状態とで相違するか否かに基づいて、開口部の有無を判定してもよい。

なお、本開示に係る技術は、クリーンルーム以外の空間の床に適用することができ、また、グレーチング以外の床部材により構成される床にも適用することができる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。

（１）クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視装置であって、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該監視装置は、
前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、
前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する、監視装置。
前記（１）によれば、現場にいる作業員は、開口部が存在することを直ちに知ることができる。それゆえ作業中であっても、警報が発せられている間は開口部が存在すると知覚して、作業を行うことになり、誤って開口部から落ちてしまうという事態を防止できる。また、監視カメラ等の高価な装置が不要であるため、前記（１）による監視システムは低コストで構築することができる。さらに、前記（１）による監視システムは、構築作業が極めて簡単、かつ迅速に行うことができる。

（２）前記判定部は、現在のグレーチングの位置が前記正常状態の位置と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、前記（１）に記載の監視装置。

（３）前記判定部は、現在のグレーチングの配列が前記正常状態の配列と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、前記（１）に記載の監視装置。

（４）前記判定部は、現在のグレーチングの間隔が前記正常状態の間隔と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、前記（１）に記載の監視装置。

（５）前記判定部は、
さらに、前記開口部が閉じられたか否かの判定を行い、
前記開口部が形成された後、現在のグレーチングの高さ方向にかかる位置が前記正常状態の位置と一致した場合に、前記開口部が閉じられたと判定する、前記（２）または（３）に記載の監視装置。

（６）グレーチングに対し、当該グレーチングに対する動作を検知する動作検知部が設けられており、
前記判定部は、現在のグレーチングの位置の検出結果と、前記正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、前記動作検知部での検知結果と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、前記（１）に記載の監視装置。
前記（６）によればさらに安全性を高めることができる。

（７）前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルーム内の床上に設置される基板処理装置に設けられている、前記（１）～（６）のいずれか１に記載の監視装置。

（８）前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルームの天井に設けられている、前記（１）～（６）のいずれか１に記載の監視装置。

（９）前記通信部からの信号を受信する受信部は、携帯型端末装置に設けられている、前記（１）～（６）のいずれか１に記載の監視装置。

（１０）前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルーム内を移動する移動体に設けられている、前記（１）～（６）のいずれか１に記載の監視装置。

（１１）前記出力部は、前記開口部が存在する場合に、光及び音の少なくともいずれか一方による警報を発する警報器である、前記（１）～（１０）のいずれか１に記載の監視装置。

（１２）前記出力部は、前記開口部が存在する場合に、当該開口部が存在することを示す画像及び当該開口部の位置を示す画像の少なくともいずれか一方を表示する表示部である、前記（１）～（１１）のいずれか１に記載の監視装置。

（１３）前記通信部は、パッシブ型の無線ＩＣタグである、前記（１）～（１２）のいずれか１に記載の監視装置。

（１４）前記通信部は、アクティブ型の無線ＩＣタグである、前記（１）～（１２）のいずれか１に記載の監視装置。

（１５）前記通信部は、光学式屋内ＧＰＳの受信機である、前記（１）～（１２）のいずれか１に記載の監視装置。

（１６）クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視方法であって、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該監視方法は、
前記通信部との通信結果に基づいて、現在のグレーチングの位置の検出を行う工程と、
前記検出の結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報とに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う工程と、
前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力工程と、を有する、監視方法。

（１７）基板を処理する基板処理装置であって、
当該基板処理装置は、クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床上に載置されるものであり、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該基板処理装置は、
前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、
前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する、基板処理装置。

２基板処理装置
２３ｃ、４４ａ判定部
２４警報部
２５表示部
３１ＲＦＩＤタグ
４２光学センサ
Ｇグレーチング
Ｋ開口部
Ｍ携帯型端末装置

Claims

クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視装置であって、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該監視装置は、
前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、
前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する、監視装置。
前記判定部は、現在のグレーチングの位置が前記正常状態の位置と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、請求項１に記載の監視装置。
前記判定部は、現在のグレーチングの配列が前記正常状態の配列と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、請求項１に記載の監視装置。
前記判定部は、現在のグレーチングの間隔が前記正常状態の間隔と一致するかに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、請求項１に記載の監視装置。
前記判定部は、
さらに、前記開口部が閉じられたか否かの判定を行い、
前記開口部が形成された後、現在のグレーチングの高さ方向にかかる位置が前記正常状態の位置と一致した場合に、前記開口部が閉じられたと判定する、請求項２または３に記載の監視装置。
グレーチングに対し、当該グレーチングに対する動作を検知する動作検知部が設けられており、
前記判定部は、現在のグレーチングの位置の検出結果と、前記正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、前記動作検知部での検知結果と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う、請求項１に記載の監視装置。
前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルーム内の床上に設置される基板処理装置に設けられている、請求項１～６のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルームの天井に設けられている、請求項１～６のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部からの信号を受信する受信部は、携帯型端末装置に設けられている、請求項１～６のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部からの信号を受信する受信部は、クリーンルーム内を移動する移動体に設けられている、請求項１～６のいずれか１項に記載の監視装置。
前記出力部は、前記開口部が存在する場合に、光及び音の少なくともいずれか一方による警報を発する警報器である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の監視装置。
前記出力部は、前記開口部が存在する場合に、当該開口部が存在することを示す画像及び当該開口部の位置を示す画像の少なくともいずれか一方を表示する表示部である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部は、パッシブ型の無線ＩＣタグである、請求項１～１２のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部は、アクティブ型の無線ＩＣタグである、請求項１～１２のいずれか１項に記載の監視装置。
前記通信部は、光学式屋内ＧＰＳの受信機である、請求項１～１２のいずれか１項に記載の監視装置。
クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視方法であって、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該監視方法は、
前記通信部との通信結果に基づいて、現在のグレーチングの位置の検出を行う工程と、
前記検出の結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報とに基づいて、前記開口部の有無の判定を行う工程と、
前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力工程と、を有する、監視方法。
基板を処理する基板処理装置であって、
当該基板処理装置は、クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床上に載置されるものであり、
グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、
当該基板処理装置は、
前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、
前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する、基板処理装置。