JP7101565B2 - 接続端子および半導体装置の検査方法 - Google Patents
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Description
すなわち、一方の端部及び他方の端部を有し、前記他方の端部に開口部が設けられ、筒状の形状を備えるアウターピンと、前記アウターピンの内側に、前記一方の端部から前記他方の端部に渡って設けられ、前記他方の端部の近傍にインナーピン先端部が設けられたインナーピンと、を有し、前記アウターピンは、前記一方の端部から前記他方の端部の間に、内側面と外側面を貫通する異物排出口と、前記異物排出口から前記開口部の間の内側面に設けられた溝部と、を備える接続端子とする。
接続端子100は、上方の配線基板700に一方の端部が固定されたインナーピン106と、同じく上方において一方の端部が配線基板700に固定され、他方の端部に開口部108が設けられ下側からの押圧によって紙面縦方向に伸縮可能なアウターピン104を有する。
図4は、接続端子100が被測定基板600上の電極610に接触する前の状態であって、その電極610上に、接続端子100との電気的接触性を損なうような異物620が付着している状態を示している。一方の端部が配線基板700のランド部760に電気的に接続されたインナーピン106は、インナーピン先端部107を電極610へ向けて、被測定基板600に対し垂直に設置されている。アウターピン104は、その一方の端部が配線基板700に接続され、筒状形状の一方の端部側の上部が保持基板720aで支えられている。アウターピン104の筒状形状の他方の端部側の下部は保持基板720bで周囲を囲まれ、他方の端部に設けられている開口部108は、インナーピン先端部107の先端と同じ位置に揃えられている。アウターピン104の一方の端部と他方の端部の間に設けられた異物排出口102は、保持基板720aと保持基板720bの間の保持基板720b側に位置し、弾性体103は垂直方向の圧力を受けずに伸張している。
接続端子200は、上方の配線基板700に一方の端部が固定され、下側からの他方の端部に対する押圧によって紙面縦方向に伸縮可能なインナーピン206と、同じく上方において一方の端部が配線基板700に固定され、他方の端部に開口部208が設けられたアウターピン204を有する。
溝部205や、振動装置201は、第1の実施形態と同様であり、インナーピン206とアウターピン204の間に取り込まれた異物を異物排出口202へ導く役割を果たす。
図11は、接続端子200が被測定基板600上の電極610に接触する前の状態であって、その電極610上に、接続端子200との電気的接触性を損なうような異物620が付着している状態を示している。一方の端部が配線基板700のランド部760に電気的に接続されたインナーピン206は、インナーピン先端部207を電極610へ向けて、被測定基板600に対し垂直に設置されている。アウターピン204は、その一方の端部が配線基板700に接続され、筒状形状の一方の端部側の上部が保持基板720aで支えられている。アウターピン204の筒状形状の他方の端部側の下部は保持基板720bで周囲を囲まれ、他方の端部に設けられている開口部208は、インナーピン先端部207の先端よりも上の位置に設けられている。アウターピン204の一方の端部と他方の端部の間に設けられた異物排出口202は、保持基板720aと保持基板720bの間の保持基板720b側に位置している。また、インナーピン206に備えられた弾性体203は垂直方向の圧力を受けずに伸張している。
例えば、図16に示すように、第1実施形態の接続端子100を有する検査装置10において、それぞれの接続端子100内に振動装置を配置せずに、各接続端子100の外側面に同時に振動を印加できる振動板770を配置するような構成でも構わない。このように接続端子100内部に振動装置を設けない事で接続端子100の構造を簡略化し、個々の振動装置の故障等のメンテナンスを低減することができる。
102、202、302 異物排出口
103、203 弾性体
104、204、304 アウターピン
105、205、305 溝部
106、306、306 インナーピン
107、307、307 インナーピン先端部
108、208、308 開口部
600 被測定基板
610 電極
620 異物
700 配線基板
710 ホルダ
720a、720b 保持基板
730 異物収集管
740 異物収集口
750 貫通孔
760 ランド部
770 振動板
Claims (7)
- 一方の端部及び他方の端部を有し、前記他方の端部に開口部が設けられ、筒状の形状を備えるアウターピンと、
前記アウターピンの内側に、前記一方の端部から前記他方の端部に渡って設けられ、前記他方の端部の近傍にインナーピン先端部が設けられたインナーピンと、
を有し、
前記アウターピンは、前記一方の端部から前記他方の端部の間に、内側面と外側面を貫通する異物排出口と、前記異物排出口から前記開口部の間の内側面に設けられた溝部と、を備える接続端子。 - 前記インナーピンまたは前記アウターピンのいずれかの前記一方の端部から前記他方の端部の間に、外部からの押圧に対し伸縮可能な弾性体を備える請求項1に記載の接続端子。
- 前記溝部は前記内側面において螺旋状に設けられている請求項1または2に記載の接続端子。
- 前記アウターピンの前記内側面または前記外側面に接して振動装置が配置されている請求項1乃至3のいずれか一項に記載の接続端子
- 前記異物排出口にバキューム装置が接続されている請求項1乃至4のいずれか一項に記載の接続端子
- 請求項1に記載の前記接続端子によって電気的検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記接続端子を前記半導体装置の電極表面に接触させる工程と、
前記接続端子を前記電極に対して押圧し、前記インナーピン先端部を前記電極内部へ潜り込ませ、前記溝部に前記電極上の異物を取り込む工程と、
前記異物を前記溝部において前記他方の端部から前記一方の端部の方向へ移動させ、前記異物排出口から前記接続端子の外へ排出する工程と、
を含む半導体装置の検査方法。 - 前記異物の前記他方の端部から前記一方の端部の方向への移動は、
前記異物排出口から前記開口部の間の内側面に螺旋状の溝部が設けられた前記アウターピンを振動させることによって行う請求項6に記載の半導体装置の検査方法。
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