JP7098376B2 - Heating device - Google Patents

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本明細書に開示される技術は、加熱装置に関する。 The techniques disclosed herein relate to heating devices.

対象物（例えば、半導体ウェハ）を保持しつつ所定の処理温度（例えば、４００～６５０℃程度）に加熱する加熱装置（「サセプタ」とも呼ばれる）が知られている（例えば、特許文献１参照）。加熱装置は、例えば、成膜装置（ＣＶＤ成膜装置やスパッタリング成膜装置等）やエッチング装置（プラズマエッチング装置等）といった半導体製造装置の一部として使用される。 A heating device (also referred to as "susceptor") that heats an object (for example, a semiconductor wafer) to a predetermined processing temperature (for example, about 400 to 650 ° C.) while holding it is known (see, for example, Patent Document 1). .. The heating device is used as a part of a semiconductor manufacturing device such as a film forming apparatus (CVD film forming apparatus, sputtering film forming apparatus, etc.) or an etching apparatus (plasma etching apparatus, etc.).

一般に、加熱装置は、保持体と支持体とを備える。保持体は、所定の方向（以下、「第１の方向」という）に略直交する表面（以下、「保持面」という）と、保持面とは反対側の表面（以下、「裏面」という）とを有する板状の部材である。また、支持体は、保持体の裏面に接合され、上記第１の方向に延びる貫通孔が形成された管状の部材である。保持体の内部には、抵抗発熱体が配置されており、保持体の裏面には、抵抗発熱体に電気的に接続された受電電極（電極パッド）が配置されている。また、支持体に形成された貫通孔内には、電極端子が収容されており、該電極端子は、金属ろう材を介して、保持体の裏面に配置された受電電極に接合されている。電極端子および受電電極を介して抵抗発熱体に電圧が印加されると、抵抗発熱体が発熱し、保持体の保持面上に保持された対象物（例えば、半導体ウェハ）が例えば４００～６５０℃程度に加熱される。 Generally, the heating device includes a holder and a support. The holding body has a surface (hereinafter referred to as "holding surface") substantially orthogonal to a predetermined direction (hereinafter referred to as "first direction") and a surface opposite to the holding surface (hereinafter referred to as "back surface"). It is a plate-shaped member having and. Further, the support is a tubular member that is joined to the back surface of the holding body and has a through hole extending in the first direction. A resistance heating element is arranged inside the holding body, and a power receiving electrode (electrode pad) electrically connected to the resistance heating element is arranged on the back surface of the holding body. Further, an electrode terminal is housed in a through hole formed in the support, and the electrode terminal is joined to a power receiving electrode arranged on the back surface of the holder via a metal brazing material. When a voltage is applied to the resistance heating element via the electrode terminal and the power receiving electrode, the resistance heating element generates heat, and the object (for example, a semiconductor wafer) held on the holding surface of the holding body is, for example, 400 to 650 ° C. It is heated to the extent.

特表２０１１－５２５７１９号公報Japanese Patent Publication No. 2011-525719

従来の加熱装置の構成では、電極端子は受電電極と接合されているため、電極端子に対して上記第１の方向の荷重が作用すると、電極端子と受電電極との接合部に上記第１の方向の応力（引張応力または圧縮応力）が集中し、この応力集中を原因として該接合部が損傷するおそれがある、という課題がある。 In the configuration of the conventional heating device, since the electrode terminal is joined to the power receiving electrode, when a load in the first direction acts on the electrode terminal, the first one is applied to the joint portion between the electrode terminal and the power receiving electrode. There is a problem that stress in the direction (tensile stress or compressive stress) is concentrated, and the joint portion may be damaged due to this stress concentration.

本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。 This specification discloses a technique capable of solving the above-mentioned problems.

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。 The techniques disclosed herein can be realized, for example, in the following forms.

（１）本明細書に開示される加熱装置は、絶縁体により構成され、第１の方向に略直交する略平面状の第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状の保持体と、絶縁体により構成され、前記保持体の前記第２の表面に接合され、前記第１の方向に延びる第１の貫通孔が形成された管状の支持体と、前記保持体の内部に配置された抵抗発熱体と、前記第１の方向視で、前記保持体の前記第２の表面における前記支持体の前記第１の貫通孔に重なる位置に配置され、前記抵抗発熱体に電気的に接続された受電電極と、少なくとも一部分が前記支持体の前記第１の貫通孔内に配置され、金属ろう材を介して前記受電電極に接合された電極端子と、を備え、前記保持体の前記第１の表面上に保持された対象物を加熱する加熱装置において、さらに、前記支持体に対する前記第１の方向への相対移動が規制されるように前記支持体に支持されたキャップ部材であって、前記第１の方向に延びる第２の貫通孔が形成されたキャップ部材を備え、前記電極端子は、前記電極端子の一部分が前記キャップ部材の前記第２の貫通孔内に収容された状態で、前記キャップ部材に対する前記第１の方向への移動が規制されるように前記キャップ部材に固定されている。本加熱装置は、支持体に対する第１の方向への相対移動が規制されるように支持体に支持されたキャップ部材を備える。支持体は保持体と接合されているため、キャップ部材は、保持体に対する第１の方向への相対移動が規制されていると言える。また、キャップ部材には、第１の方向に延びる第２の貫通孔が形成されており、電極端子は、その一部分がキャップ部材の第２の貫通孔内に収容された状態で、キャップ部材に対する第１の方向への移動が規制されるようにキャップ部材に固定されている。そのため、本加熱装置では、キャップ部材の存在により、保持体に対する電極端子の第１の方向への相対移動が規制される。換言すれば、保持体の第２の表面に形成された受電電極に対する電極端子の第１の方向への相対移動が規制される。従って、本加熱装置によれば、電極端子に対して第１の方向の荷重が作用しても、キャップ部材の存在によって受電電極に対する電極端子の第１の方向への相対移動が規制されるために、電極端子と受電電極との接合部に第１の方向の応力（引張応力または圧縮応力）が集中することを抑制することができ、電極端子と受電電極との接合部が破損することを抑制することができる。 (1) The heating device disclosed in the present specification is composed of an insulator, and has a substantially planar first surface substantially orthogonal to the first direction and a second surface opposite to the first surface. A tubular shape that is composed of a plate-shaped retainer having a surface, an insulator, and is joined to the second surface of the retainer to form a first through hole extending in the first direction. At a position where the support, the resistance heating element arranged inside the holder, and the first through hole of the support on the second surface of the holder overlap with the first through hole in the first direction. A power receiving electrode arranged and electrically connected to the resistance heating element, and an electrode having at least a part thereof arranged in the first through hole of the support and bonded to the power receiving electrode via a metal brazing material. In a heating device comprising a terminal and heating an object held on the first surface of the holder, the relative movement of the holder to the support in the first direction is further restricted. A cap member supported by the support and having a second through hole extending in the first direction is provided, and the electrode terminal has a part of the electrode terminal of the cap member. While housed in the second through hole, the cap member is fixed to the cap member so as to be restricted from moving in the first direction with respect to the cap member. The heating device comprises a cap member supported by the support so that relative movement in the first direction with respect to the support is restricted. Since the support is joined to the holder, it can be said that the cap member is restricted from moving relative to the holder in the first direction. Further, the cap member is formed with a second through hole extending in the first direction, and the electrode terminal is provided with respect to the cap member in a state where a part of the electrode terminal is housed in the second through hole of the cap member. It is fixed to the cap member so that the movement in the first direction is restricted. Therefore, in this heating device, the presence of the cap member restricts the relative movement of the electrode terminals with respect to the holder in the first direction. In other words, the relative movement of the electrode terminals in the first direction with respect to the power receiving electrode formed on the second surface of the holder is restricted. Therefore, according to this heating device, even if a load in the first direction acts on the electrode terminals, the relative movement of the electrode terminals with respect to the power receiving electrode in the first direction is restricted by the presence of the cap member. In addition, it is possible to suppress the concentration of stress (tensile stress or compressive stress) in the first direction on the joint between the electrode terminal and the power receiving electrode, and the joint between the electrode terminal and the power receiving electrode is damaged. It can be suppressed.

（２）上記加熱装置において、前記電極端子は、ネジ止めにより、前記キャップ部材に対する前記第１の方向への移動が規制されるように前記キャップ部材に固定されている、ことを特徴とする構成としてもよい。本加熱装置によれば、容易にかつ強固に、電極端子をキャップ部材に固定することができる。 (2) In the heating device, the electrode terminal is fixed to the cap member by screwing so as to restrict the movement of the cap member in the first direction. May be. According to this heating device, the electrode terminals can be easily and firmly fixed to the cap member.

なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、加熱装置、半導体製造装置、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。 The techniques disclosed in the present specification can be realized in various forms, for example, in the form of a heating device, a semiconductor manufacturing device, a manufacturing method thereof, and the like.

実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic appearance structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in embodiment. 図２のＸ１部における加熱装置１００の断面構成を拡大して示す説明図である。It is explanatory drawing which enlarges and shows the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in the X1 part of FIG. 図２のＸ２部における加熱装置１００の断面構成を拡大して示す説明図である。It is explanatory drawing which enlarges and shows the cross-sectional structure of the heating apparatus 100 in the X2 part of FIG.

Ａ．実施形態：
Ａ－１．加熱装置１００の構成：
図１は、実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２から図６は、実施形態における加熱装置１００の断面構成を概略的に示す説明図である。図２には、図３から図６のＩＩ－ＩＩの位置における加熱装置１００のＸＺ断面構成が示されており、図３には、図２のＩＩＩ－ＩＩＩの位置における加熱装置１００のＸＹ断面構成が示されており、図４には、図２のＩＶ－ＩＶの位置における加熱装置１００のＸＹ断面構成が示されており、図５には、図２のＶ－Ｖの位置における加熱装置１００のＸＹ断面構成が示されており、図６には、図２のＶＩ－ＶＩの位置における加熱装置１００のＸＹ断面構成が示されている。また、図７は、図２のＸ１部における加熱装置１００の断面構成を拡大して示す説明図であり、図８は、図２のＸ２部における加熱装置１００の断面構成を拡大して示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。図９以降についても同様である。また、本明細書では、Ｚ軸方向に直交する方向を、面方向ともいう。 A. Embodiment:
A-1. Configuration of heating device 100:
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an external configuration of the heating device 100 in the embodiment, and FIGS. 2 to 6 are explanatory views schematically showing a cross-sectional configuration of the heating device 100 in the embodiment. FIG. 2 shows the XZ cross-sectional configuration of the heating device 100 at the positions II-II of FIGS. 3 to 6, and FIG. 3 shows the XY cross-section of the heating device 100 at the positions III-III of FIG. The configuration is shown, FIG. 4 shows the XY cross-sectional configuration of the heating device 100 at the IV-IV position of FIG. 2, and FIG. 5 shows the heating device at the VV position of FIG. The XY cross-sectional configuration of 100 is shown, and FIG. 6 shows the XY cross-sectional configuration of the heating device 100 at the position of VI-VI in FIG. Further, FIG. 7 is an explanatory view showing an enlarged cross-sectional configuration of the heating device 100 in the X1 portion of FIG. 2, and FIG. 8 is an enlarged explanatory view showing the cross-sectional configuration of the heating device 100 in the X2 portion of FIG. It is a figure. Each figure shows XYZ axes that are orthogonal to each other to identify the direction. In the present specification, for convenience, the Z-axis positive direction is referred to as an upward direction, and the Z-axis negative direction is referred to as a downward direction, but the heating device 100 is actually installed in a direction different from such an orientation. You may. The same applies to FIGS. 9 and later. Further, in the present specification, the direction orthogonal to the Z-axis direction is also referred to as a plane direction.

加熱装置１００は、対象物（例えば、半導体ウェハＷ）を保持しつつ所定の処理温度（例えば、４００～６５０℃程度）に加熱する装置であり、サセプタとも呼ばれる。加熱装置１００は、例えば、成膜装置（ＣＶＤ成膜装置やスパッタリング成膜装置等）やエッチング装置（プラズマエッチング装置等）といった半導体製造装置の一部として使用される。図１および図２に示すように、加熱装置１００は、保持体１０と支持体２０とを備える。 The heating device 100 is a device that heats an object (for example, a semiconductor wafer W) to a predetermined processing temperature (for example, about 400 to 650 ° C.) while holding the object, and is also called a susceptor. The heating device 100 is used, for example, as a part of a semiconductor manufacturing device such as a film forming apparatus (CVD film forming apparatus, sputtering film forming apparatus, etc.) or an etching apparatus (plasma etching apparatus, etc.). As shown in FIGS. 1 and 2, the heating device 100 includes a holder 10 and a support 20.

保持体１０は、Ｚ軸方向（上下方向）に略直交する表面（以下、「保持面」という）Ｓ１と、保持面Ｓ１とは反対側の表面（以下、「裏面Ｓ２」という）とを有する略円板状の部材であり、例えばＡｌＮ（窒化アルミニウム）やＡｌ２Ｏ３（アルミナ）を主成分とするセラミックス等の絶縁体により構成されている。なお、本明細書では、主成分とは、含有割合（重量割合）の最も多い成分を意味する。保持体１０の直径は、例えば１００ｍｍ以上、５００ｍｍ以下程度であり、保持体１０の厚さ（Ｚ軸方向における寸法）は、例えば３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下程度である。Ｚ軸方向（上下方向）は、特許請求の範囲における第１の方向に相当し、保持体１０の保持面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、保持体１０の裏面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当する。 The holding body 10 has a surface (hereinafter referred to as “holding surface”) S1 substantially orthogonal to the Z-axis direction (vertical direction) and a surface opposite to the holding surface S1 (hereinafter referred to as “back surface S2”). It is a substantially disk-shaped member, and is composed of, for example, an insulator such as ceramics containing AlN (aluminum nitride) or Al2O3 ( alumina) as a main component. In the present specification, the main component means the component having the highest content ratio (weight ratio). The diameter of the holding body 10 is, for example, about 100 mm or more and 500 mm or less, and the thickness of the holding body 10 (dimensions in the Z-axis direction) is, for example, about 3 mm or more and 20 mm or less. The Z-axis direction (vertical direction) corresponds to the first direction in the claims, the holding surface S1 of the holding body 10 corresponds to the first surface in the claims, and the back surface S2 of the holding body 10. Corresponds to the second surface in the claims.

支持体２０は、Ｚ略方向に延びる略円管状の部材であり、保持体１０と同様に、例えばＡｌＮやＡｌ２Ｏ３を主成分とするセラミックス等の絶縁体により構成されている。図２に示すように、支持体２０には、支持体２０の上面Ｓ３から下面Ｓ４までＺ軸方向に延びる貫通孔２２が形成さている。貫通孔２２のＺ軸方向に直交する断面（ＸＹ断面）の形状は、略円形である（図４等参照）。支持体２０に形成された貫通孔２２は、Ｚ軸方向の略全体にわたって略一定の内径を有するが、図８に示すように、下端部において内径が拡大された拡径部２３を構成している。支持体２０の外径は、例えば３０ｍｍ以上、９０ｍｍ以下程度であり、支持体２０の高さ（Ｚ軸方向における寸法）は、例えば１００ｍｍ以上、３００ｍｍ以下程度である。支持体２０に形成された貫通孔２２は、特許請求の範囲における第１の貫通孔に相当する。 The support 20 is a substantially circular tubular member extending in the substantially Z direction, and is composed of, for example, an insulator such as ceramics containing AlN or Al2O3 as a main component , like the holder 10. As shown in FIG. 2, the support 20 is formed with a through hole 22 extending in the Z-axis direction from the upper surface S3 to the lower surface S4 of the support 20. The shape of the cross section (XY cross section) orthogonal to the Z-axis direction of the through hole 22 is substantially circular (see FIG. 4 and the like). The through hole 22 formed in the support 20 has a substantially constant inner diameter over substantially the entire Z-axis direction, but as shown in FIG. 8, constitutes an enlarged diameter portion 23 having an enlarged inner diameter at the lower end portion. There is. The outer diameter of the support 20 is, for example, about 30 mm or more and 90 mm or less, and the height of the support 20 (dimensions in the Z-axis direction) is, for example, about 100 mm or more and 300 mm or less. The through hole 22 formed in the support 20 corresponds to the first through hole in the claims.

図２および図７に示すように、保持体１０と支持体２０とは、保持体１０の裏面Ｓ２と支持体２０の上面Ｓ３とがＺ軸方向に互いに対向するように配置されている。支持体２０は、保持体１０の裏面Ｓ２の中心部付近に、公知の接合材料により形成された接合部３０を介して接合されている。 As shown in FIGS. 2 and 7, the holding body 10 and the supporting body 20 are arranged so that the back surface S2 of the holding body 10 and the upper surface S3 of the supporting body 20 face each other in the Z-axis direction. The support 20 is joined to the vicinity of the center of the back surface S2 of the holding body 10 via a joining portion 30 formed of a known joining material.

図２および図３に示すように、保持体１０の内部には、保持体１０を加熱するヒータとしての２つの抵抗発熱体５０が配置されている。各抵抗発熱体５０は、例えば、タングステンやモリブデン等の導電性材料により構成されている。本実施形態では、各抵抗発熱体５０は、Ｚ軸方向視で、略同心半円状に延びる線状のパターンを構成している。 As shown in FIGS. 2 and 3, two resistance heating elements 50 as heaters for heating the holding body 10 are arranged inside the holding body 10. Each resistance heating element 50 is made of a conductive material such as tungsten or molybdenum. In the present embodiment, each resistance heating element 50 constitutes a linear pattern extending substantially concentrically in a semicircular shape in the Z-axis direction.

また、図７に示すように、保持体１０の裏面Ｓ２の内、Ｚ軸方向視で支持体２０に形成された貫通孔２２に重なる位置には、複数の（本実施形態では４つの）第１の凹部１１が形成されている。本実施形態では、Ｚ軸方向視での各第１の凹部１１の形状は、略円形である。各第１の凹部１１内には、抵抗発熱体５０への給電のための受電電極（電極パッド）５４が設けられている。すなわち、本実施形態では、保持体１０の裏面Ｓ２の内、Ｚ軸方向視で支持体２０に形成された貫通孔２２に重なる位置に、複数の（本実施形態では４つの）受電電極５４が配置されている。本実施形態では、Ｚ軸方向視での各受電電極５４の形状は、略円形である。 Further, as shown in FIG. 7, a plurality of (four in the present embodiment) th-orders are located on the back surface S2 of the holding body 10 so as to overlap the through holes 22 formed in the support 20 in the Z-axis direction. The recess 11 of 1 is formed. In the present embodiment, the shape of each first recess 11 in the Z-axis direction is substantially circular. A power receiving electrode (electrode pad) 54 for supplying power to the resistance heating element 50 is provided in each of the first recesses 11. That is, in the present embodiment, a plurality of (four in the present embodiment) power receiving electrodes 54 are provided at positions overlapping the through holes 22 formed in the support 20 in the Z-axis direction in the back surface S2 of the holding body 10. Have been placed. In the present embodiment, the shape of each power receiving electrode 54 in the Z-axis direction is substantially circular.

図２および図３に示すように、各抵抗発熱体５０の一方の端部は、Ｚ軸方向視で保持体１０の中心部付近に配置されており、該一方の端部には、保持体１０の中心部付近に配置されたビア導体５２の上端部が接続されている。また、図２および図７に示すように、各抵抗発熱体５０の上記一方の端部に接続されたビア導体５２の下端部は、保持体１０の裏面Ｓ２に配置された受電電極５４に接続されている。また、各抵抗発熱体５０の他方の端部は、保持体１０の外周部付近に配置されており、該他方の端部は、図示しないが、保持体１０に配置されたビア導体５２やドライバ電極（不図示）を介して、保持体１０の裏面Ｓ２に配置された受電電極５４に接続されている。その結果、各抵抗発熱体５０は、ビア導体５２等を介して、受電電極５４と電気的に接続された状態となっている。 As shown in FIGS. 2 and 3, one end of each resistance heating element 50 is arranged near the center of the holding body 10 in the Z-axis direction, and the holding body is attached to the one end. The upper end of the via conductor 52 arranged near the center of 10 is connected. Further, as shown in FIGS. 2 and 7, the lower end of the via conductor 52 connected to the one end of each resistance heating element 50 is connected to the power receiving electrode 54 arranged on the back surface S2 of the holding body 10. Has been done. Further, the other end of each resistance heating element 50 is arranged near the outer peripheral portion of the holding body 10, and the other end is not shown, but the via conductor 52 and the driver arranged on the holding body 10 are arranged. It is connected to a power receiving electrode 54 arranged on the back surface S2 of the holding body 10 via an electrode (not shown). As a result, each resistance heating element 50 is in a state of being electrically connected to the power receiving electrode 54 via the via conductor 52 and the like.

図２に示すように、支持体２０に形成された貫通孔２２内には、複数の（本実施形態では４つの）電極端子ユニット７０が収容されている。各電極端子ユニット７０は、第１の柱状部材７１と、第２の柱状部材７２と、金属撚り線７３とから構成されている。電極端子ユニット７０は、特許請求の範囲における電極端子に相当する。 As shown in FIG. 2, a plurality of (four in this embodiment) electrode terminal units 70 are housed in the through hole 22 formed in the support 20. Each electrode terminal unit 70 is composed of a first columnar member 71, a second columnar member 72, and a metal stranded wire 73. The electrode terminal unit 70 corresponds to an electrode terminal within the scope of claims.

電極端子ユニット７０を構成する第１の柱状部材７１は、金属撚り線７３に対して保持体１０側（すなわち、上側）に配置された略円柱状の導電性部材であり、例えばニッケルにより形成されている。図７に示すように、第１の柱状部材７１の保持体１０側の端部（すなわち、上端部）の径は、他の部分の径（例えば５ｍｍ以上、８ｍｍ以下）より細くなっている。第１の柱状部材７１の上端部は、金属ろう材５６（例えば、金ろう材）を介して受電電極５４に接合されている。また、図２に示すように、第１の柱状部材７１の他方の（下側の）端部は、例えばかしめにより、金属撚り線７３に接合されている。 The first columnar member 71 constituting the electrode terminal unit 70 is a substantially columnar conductive member arranged on the holding body 10 side (that is, the upper side) with respect to the metal stranded wire 73, and is formed of, for example, nickel. ing. As shown in FIG. 7, the diameter of the end portion (that is, the upper end portion) of the first columnar member 71 on the holding body 10 side is smaller than the diameter of the other portion (for example, 5 mm or more and 8 mm or less). The upper end of the first columnar member 71 is joined to the power receiving electrode 54 via a metal brazing material 56 (for example, a gold brazing material). Further, as shown in FIG. 2, the other (lower) end of the first columnar member 71 is joined to the metal stranded wire 73 by, for example, caulking.

電極端子ユニット７０を構成する第２の柱状部材７２は、金属撚り線７３に対して保持体１０から離れた側（すなわち、下側）に配置された略円柱状の導電性部材であり、例えばニッケルにより形成されている。図２に示すように、第２の柱状部材７２の保持体１０側の端部（すなわち、上端部）は、例えばかしめにより、金属撚り線７３に接合されている。また、図２および図８に示すように、第２の柱状部材７２の他方の（下側の）端部は、支持体２０の貫通孔２２から下方に突出している。第２の柱状部材７２の下端部の径は、他の部分の径（例えば５ｍｍ以上、８ｍｍ以下）より細くなっている。また、第２の柱状部材７２の下端部中間には、雄ネジ７９が形成されている。 The second columnar member 72 constituting the electrode terminal unit 70 is a substantially columnar conductive member arranged on the side (that is, the lower side) away from the holding body 10 with respect to the metal stranded wire 73, for example. It is made of nickel. As shown in FIG. 2, the end portion (that is, the upper end portion) of the second columnar member 72 on the holding body 10 side is joined to the metal stranded wire 73 by, for example, caulking. Also, as shown in FIGS. 2 and 8, the other (lower) end of the second columnar member 72 projects downward from the through hole 22 of the support 20. The diameter of the lower end portion of the second columnar member 72 is smaller than the diameter of the other portion (for example, 5 mm or more and 8 mm or less). Further, a male screw 79 is formed in the middle of the lower end portion of the second columnar member 72.

電極端子ユニット７０を構成する金属撚り線７３は、ある程度の可撓性を有する撚り線であり、例えばニッケルにより形成されている。金属撚り線７３の径は、例えば１ｍｍ以上、３ｍｍ以下である。加熱装置１００の使用中には、抵抗発熱体５０の発熱によって保持体１０の温度が高くなるため、保持体１０と支持体２０との間や、保持体１０に比較的近い第１の柱状部材７１と保持体１０から比較的遠い第２の柱状部材７２との間に、熱膨張差が発生することがある。このような熱膨張差が発生すると、電極端子ユニット７０には応力が生ずる。電極端子ユニット７０を構成する金属撚り線７３は、ある程度の可撓性を有するため、電極端子ユニット７０に生ずる応力を吸収・緩和することができる。 The metal stranded wire 73 constituting the electrode terminal unit 70 is a stranded wire having a certain degree of flexibility, and is formed of, for example, nickel. The diameter of the metal stranded wire 73 is, for example, 1 mm or more and 3 mm or less. During the use of the heating device 100, the temperature of the holding body 10 rises due to the heat generated by the resistance heating element 50, so that the first columnar member between the holding body 10 and the support 20 and relatively close to the holding body 10 A thermal expansion difference may occur between the 71 and the second columnar member 72, which is relatively far from the holding body 10. When such a difference in thermal expansion occurs, stress is generated in the electrode terminal unit 70. Since the metal stranded wire 73 constituting the electrode terminal unit 70 has a certain degree of flexibility, the stress generated in the electrode terminal unit 70 can be absorbed and relaxed.

電極端子ユニット７０を構成する第２の柱状部材７２の下端部は、直接、または、コネクタ（不図示）等を介して、電源（不図示）と接続される。電源から各電極端子ユニット７０、各受電電極５４、各ビア導体５２等を介して各抵抗発熱体５０に電圧が印加されると、各抵抗発熱体５０が発熱し、保持体１０の保持面Ｓ１上に保持された対象物（例えば、半導体ウェハＷ）が所定の温度（例えば、４００～６５０℃程度）に加熱される。 The lower end of the second columnar member 72 constituting the electrode terminal unit 70 is connected to a power source (not shown) directly or via a connector (not shown). When a voltage is applied from the power source to each resistance heating element 50 via each electrode terminal unit 70, each power receiving electrode 54, each via conductor 52, etc., each resistance heating element 50 generates heat, and the holding surface S1 of the holding body 10 The object held on the object (for example, the semiconductor wafer W) is heated to a predetermined temperature (for example, about 400 to 650 ° C.).

図２、図４および図５に示すように、支持体２０に形成された貫通孔２２内には、複数の（本実施形態では４つの）絶縁管４０が収容されている。各絶縁管４０は、Ｚ軸方向に延びる略円管状の部材であり、例えばＡｌＮ（窒化アルミニウム）やＡｌ２Ｏ３（アルミナ）を主成分とするセラミックス等の絶縁体により構成されている。図７および図８に示すように、各絶縁管４０には、Ｚ軸方向に延びる貫通孔４２が形成されている。貫通孔４２のＺ軸方向に直交する断面（ＸＹ断面）の形状は、略円形である。 As shown in FIGS. 2, 4 and 5, a plurality of (four in this embodiment) insulating pipes 40 are housed in the through holes 22 formed in the support 20. Each insulating tube 40 is a substantially circular tubular member extending in the Z-axis direction, and is composed of, for example, an insulator such as ceramics containing AlN (aluminum nitride) or Al2O3 ( alumina) as a main component. As shown in FIGS. 7 and 8, each insulating tube 40 is formed with a through hole 42 extending in the Z-axis direction. The shape of the cross section (XY cross section) orthogonal to the Z-axis direction of the through hole 42 is substantially circular.

図７に示すように、保持体１０の裏面Ｓ２には、複数の（４つの）第２の凹部１２が形成されている。各第２の凹部１２は、第１の凹部１１を取り囲むような（すなわち、受電電極５４を取り囲むような）略円環状の溝（スリット）である。各第２の凹部１２の形状は、絶縁管４０の形状に対応しており、各第２の凹部１２には、絶縁管４０における保持体１０に対向する側の先端部（すなわち、上端部）が挿入されている。第２の凹部１２の溝幅は、絶縁管４０の上端部の肉厚と略同一となっている。そのため、各第２の凹部１２は、該第２の凹部１２に挿入された絶縁管４０の上端部における外周面ＯＳと内周面ＩＳとの両方と係合している。絶縁管４０と第２の凹部１２とがこのような構成であるため、保持体１０に対する絶縁管４０（特に、絶縁管４０の上端部）の面方向（Ｚ軸方向に直交する方向）への相対移動が規制されている。なお、保持体１０の裏面Ｓ２に形成された第２の凹部１２（第２の凹部１２の一部分）は、面方向において、絶縁管４０の上端部と係合している段差部であると言える。また、本明細書において、２つの寸法（例えば、上述した第２の凹部１２の溝幅と、絶縁管４０の肉厚）が略同一であるとは、２つの寸法の差の絶対値が、２つの寸法の内の大きい方の値の３０％以下であることを意味する。なお、２つの寸法が略同一である場合において、２つの寸法の差の絶対値が２つの寸法の内の大きい方の値の２０％以下であることがより好ましく、２つの寸法の差の絶対値が２つの寸法の内の大きい方の値の１０％以下であることが一層好ましい。また、本明細書において、２つの部材が係合しているとは、該２つの部材が接触している態様に限られず、該２つの部材の間の距離の最小値が２ｍｍ以下であることを意味する。なお、２つの部材が係合している場合において、該２つの部材の間の距離の最小値が１．５ｍｍ以下であることがより好ましく、該２つの部材の間の距離の最小値が１ｍｍ以下であることが一層好ましい。 As shown in FIG. 7, a plurality of (four) second recesses 12 are formed on the back surface S2 of the holding body 10. Each second recess 12 is a substantially annular groove (slit) that surrounds the first recess 11 (that is, surrounds the power receiving electrode 54). The shape of each second recess 12 corresponds to the shape of the insulating tube 40, and each second recess 12 has a tip end portion (that is, an upper end portion) of the insulating tube 40 on the side facing the holding body 10. Is inserted. The groove width of the second recess 12 is substantially the same as the wall thickness of the upper end portion of the insulating tube 40. Therefore, each second recess 12 is engaged with both the outer peripheral surface OS and the inner peripheral surface IS at the upper end portion of the insulating tube 40 inserted into the second recess 12. Since the insulating tube 40 and the second recess 12 have such a configuration, the insulating tube 40 (particularly, the upper end portion of the insulating tube 40) with respect to the holding body 10 is oriented in the plane direction (direction orthogonal to the Z-axis direction). Relative movement is regulated. It can be said that the second recess 12 (a part of the second recess 12) formed on the back surface S2 of the holding body 10 is a stepped portion that is engaged with the upper end portion of the insulating tube 40 in the surface direction. .. Further, in the present specification, when the two dimensions (for example, the groove width of the second recess 12 and the wall thickness of the insulating tube 40 described above) are substantially the same, the absolute value of the difference between the two dimensions is determined. It means that it is 30% or less of the larger value of the two dimensions. When the two dimensions are substantially the same, it is more preferable that the absolute value of the difference between the two dimensions is 20% or less of the larger value of the two dimensions, and the absolute value of the difference between the two dimensions is absolute. It is more preferred that the value is 10% or less of the larger of the two dimensions. Further, in the present specification, the fact that two members are engaged is not limited to the mode in which the two members are in contact with each other, and the minimum value of the distance between the two members is 2 mm or less. Means. When two members are engaged, the minimum value of the distance between the two members is more preferably 1.5 mm or less, and the minimum value of the distance between the two members is 1 mm. The following is more preferable.

図２、図７および図８に示すように、各絶縁管４０に形成された貫通孔４２内には、電極端子ユニット７０が収容されている。より詳細には、各絶縁管４０に形成された貫通孔４２内には、電極端子ユニット７０の一部分（以下、「第１の部分Ｐ１」という）が収容されている。本実施形態では、電極端子ユニット７０の第１の部分Ｐ１は、電極端子ユニット７０の内、第２の柱状部材７２の下端部分を除く部分である。図７に示すように、絶縁管４０に形成された貫通孔４２の内径Ｒ１は、電極端子ユニット７０における第１の部分Ｐ１の最大外径Ｒ２と略同一となっている。そのため、絶縁管４０に対する電極端子ユニット７０の面方向（Ｚ軸方向に直交する方向）への相対移動が規制されている。 As shown in FIGS. 2, 7, and 8, the electrode terminal unit 70 is housed in the through hole 42 formed in each insulating tube 40. More specifically, a part of the electrode terminal unit 70 (hereinafter referred to as "first portion P1") is housed in the through hole 42 formed in each insulating tube 40. In the present embodiment, the first portion P1 of the electrode terminal unit 70 is a portion of the electrode terminal unit 70 excluding the lower end portion of the second columnar member 72. As shown in FIG. 7, the inner diameter R1 of the through hole 42 formed in the insulating tube 40 is substantially the same as the maximum outer diameter R2 of the first portion P1 in the electrode terminal unit 70. Therefore, the relative movement of the electrode terminal unit 70 with respect to the insulating tube 40 in the plane direction (direction orthogonal to the Z-axis direction) is restricted.

また、図２、図５および図８に示すように、支持体２０に形成された貫通孔２２内における拡径部２３の位置（すなわち、下端に近い位置）には、キャップ部材（以下、後述する他のキャップ部材と区別するために「上側キャップ部材８０」という）が収容されている。上側キャップ部材８０は、Ｚ軸方向視で略円形の板状部材であり、例えばＡｌＮ（窒化アルミニウム）やＡｌ２Ｏ３（アルミナ）を主成分とするセラミックス等の絶縁体により構成されている。上側キャップ部材８０は、リテーナとも呼ばれる。 Further, as shown in FIGS. 2, 5 and 8, the cap member (hereinafter, described later) is located at the position of the enlarged diameter portion 23 (that is, the position near the lower end) in the through hole 22 formed in the support 20. A "upper cap member 80") is housed to distinguish it from other cap members. The upper cap member 80 is a plate-shaped member that is substantially circular in the Z-axis direction, and is composed of, for example, an insulator such as ceramics containing AlN (aluminum nitride) or Al2O3 ( alumina) as a main component. The upper cap member 80 is also called a retainer.

図８に示すように、上側キャップ部材８０の外径は、支持体２０に形成された貫通孔２２における拡径部２３の内径と略同一となっている。そのため、上側キャップ部材８０は、支持体２０に対する面方向への相対移動が規制されるように、支持体２０に支持された状態となっている。なお、例えば無機系の接着剤により、上側キャップ部材８０の外周面と支持体２０に形成された貫通孔２２の拡径部２３の内周面とが接合されていてもよい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向において、上側キャップ部材８０の外周部の上面が、支持体２０に形成された貫通孔２２の段差（拡径部２３とその他の部分との境界）に係合しており、これにより、上側キャップ部材８０の上側への移動が規制されている。 As shown in FIG. 8, the outer diameter of the upper cap member 80 is substantially the same as the inner diameter of the enlarged diameter portion 23 in the through hole 22 formed in the support 20. Therefore, the upper cap member 80 is in a state of being supported by the support 20 so that the relative movement in the plane direction with respect to the support 20 is restricted. In addition, for example, the outer peripheral surface of the upper cap member 80 and the inner peripheral surface of the enlarged diameter portion 23 of the through hole 22 formed in the support 20 may be joined by an inorganic adhesive. Further, in the present embodiment, in the Z-axis direction, the upper surface of the outer peripheral portion of the upper cap member 80 is related to the step (the boundary between the enlarged diameter portion 23 and the other portion) of the through hole 22 formed in the support 20. As a result, the movement of the upper cap member 80 to the upper side is restricted.

また、図５に示すように、上側キャップ部材８０の外周面には、面方向（径方向）に突出する２つの凸部８４が形成されている。上側キャップ部材８０に形成された２つの凸部８４は、支持体２０に形成された貫通孔２２（の拡径部２３）の内周面に形成された２つの凹部（スリット）２４と嵌合している。これにより、支持体２０に対する上側キャップ部材８０の相対回転（Ｚ軸を中心とした回転）が規制されている。 Further, as shown in FIG. 5, two convex portions 84 projecting in the surface direction (diameter direction) are formed on the outer peripheral surface of the upper cap member 80. The two convex portions 84 formed on the upper cap member 80 are fitted with the two concave portions (slits) 24 formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 (the enlarged diameter portion 23) formed in the support 20. is doing. As a result, the relative rotation (rotation about the Z axis) of the upper cap member 80 with respect to the support 20 is restricted.

また、図５および図８に示すように、上側キャップ部材８０には、Ｚ軸方向に延びる複数の（４つの）貫通孔８２が形成されている。各貫通孔８２のＺ軸方向に直交する断面の形状は、略円形である。上側キャップ部材８０に形成された貫通孔８２内には、絶縁管４０の下端部が収容されている。図８に示すように、上側キャップ部材８０に形成された貫通孔８２の内径Ｒ４は、絶縁管４０の下端部の外径Ｒ３と略同一となっている。そのため、上側キャップ部材８０に対する絶縁管４０（特に、絶縁管４０の下端部）の面方向（Ｚ軸方向に直交する方向）への相対移動が規制され、その結果、上側キャップ部材８０を支持する支持体２０に対する絶縁管４０の面方向への相対移動が規制されている。 Further, as shown in FIGS. 5 and 8, a plurality of (four) through holes 82 extending in the Z-axis direction are formed in the upper cap member 80. The shape of the cross section of each through hole 82 orthogonal to the Z-axis direction is substantially circular. The lower end of the insulating tube 40 is housed in the through hole 82 formed in the upper cap member 80. As shown in FIG. 8, the inner diameter R4 of the through hole 82 formed in the upper cap member 80 is substantially the same as the outer diameter R3 of the lower end portion of the insulating tube 40. Therefore, the relative movement of the insulating pipe 40 (particularly, the lower end portion of the insulating pipe 40) with respect to the upper cap member 80 in the plane direction (direction orthogonal to the Z-axis direction) is restricted, and as a result, the upper cap member 80 is supported. The relative movement of the insulating tube 40 with respect to the support 20 in the plane direction is restricted.

図２、図６および図８に示すように、支持体２０に形成された貫通孔２２内における拡径部２３の位置（すなわち、下端に近い位置）であって、上側キャップ部材８０よりも下側の位置には、キャップ部材（以下、上述した上側キャップ部材８０と区別するために「下側キャップ部材９０」という）が収容されている。下側キャップ部材９０は、Ｚ軸方向視で略円形の板状部材であり、例えばＡｌＮ（窒化アルミニウム）やＡｌ２Ｏ３（アルミナ）を主成分とするセラミックス等の絶縁体により構成されている。下側キャップ部材９０は、リテーナとも呼ばれる。下側キャップ部材９０は、特許請求の範囲におけるキャップ部材に相当する。 As shown in FIGS. 2, 6 and 8, the position of the enlarged diameter portion 23 (that is, the position near the lower end) in the through hole 22 formed in the support 20 and below the upper cap member 80. At the position on the side, a cap member (hereinafter, referred to as "lower cap member 90" to distinguish it from the above-mentioned upper cap member 80) is accommodated. The lower cap member 90 is a plate-shaped member that is substantially circular in the Z-axis direction, and is composed of, for example, an insulator such as ceramics containing AlN (aluminum nitride) or Al2O3 ( alumina) as a main component. .. The lower cap member 90 is also called a retainer. The lower cap member 90 corresponds to a cap member within the scope of the claims.

図８に示すように、下側キャップ部材９０の外径は、支持体２０に形成された貫通孔２２における拡径部２３の内径と略同一となっている。そのため、下側キャップ部材９０は、支持体２０に対する面方向への相対移動が規制されるように、支持体２０に支持された状態となっている。なお、例えば無機系の接着剤により、下側キャップ部材９０の外周面と支持体２０に形成された貫通孔２２の拡径部２３の内周面とが接合されていてもよい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向において、下側キャップ部材９０の上面が、上側キャップ部材８０の下面に当接しており、これにより、下側キャップ部材９０の上側への移動が規制されている。 As shown in FIG. 8, the outer diameter of the lower cap member 90 is substantially the same as the inner diameter of the enlarged diameter portion 23 in the through hole 22 formed in the support 20. Therefore, the lower cap member 90 is in a state of being supported by the support 20 so that the relative movement in the plane direction with respect to the support 20 is restricted. The outer peripheral surface of the lower cap member 90 and the inner peripheral surface of the enlarged diameter portion 23 of the through hole 22 formed in the support 20 may be joined to each other by, for example, an inorganic adhesive. Further, in the present embodiment, the upper surface of the lower cap member 90 is in contact with the lower surface of the upper cap member 80 in the Z-axis direction, whereby the movement of the lower cap member 90 to the upper side is restricted. There is.

また、図６に示すように、下側キャップ部材９０の外周面には、面方向（径方向）に突出する２つの凸部９４が形成されている。下側キャップ部材９０に形成された２つの凸部９４は、支持体２０に形成された貫通孔２２（の拡径部２３）の内周面に形成された上述の２つの凹部（スリット）２４と嵌合している。これにより、支持体２０に対する下側キャップ部材９０の相対回転（Ｚ軸を中心とした回転）が規制されている。 Further, as shown in FIG. 6, two convex portions 94 protruding in the surface direction (diameter direction) are formed on the outer peripheral surface of the lower cap member 90. The two convex portions 94 formed on the lower cap member 90 are the above-mentioned two concave portions (slits) 24 formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 (the enlarged diameter portion 23) formed in the support 20. Is fitted with. As a result, the relative rotation (rotation about the Z axis) of the lower cap member 90 with respect to the support 20 is restricted.

また、図６および図８に示すように、下側キャップ部材９０には、Ｚ軸方向に延びる複数の（４つの）貫通孔９２が形成されている。各貫通孔９２のＺ軸方向に直交する断面の形状は、非円形である。より具体的には、図６における一部拡大図に示すように、各貫通孔９２のＺ軸方向に直交する断面の形状は、略Ｄ字形状（すなわち、円を、該円の中心点を通らない直線により２つの部分に分割したときの大きい方の部分の形状）である。下側キャップ部材９０に形成された貫通孔９２内には、電極端子ユニット７０の一部分（以下、「第２の部分Ｐ２」という）が収容されている。本実施形態では、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２は、電極端子ユニット７０の内、上述した第１の部分Ｐ１（絶縁管４０に形成された貫通孔４２内に収容された部分）の下側に隣接する部分である。すなわち、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２は、第２の柱状部材７２における径が縮小された部分の一部分である。電極端子ユニット７０における第２の部分Ｐ２のＺ軸方向に直交する断面の形状は、下側キャップ部材９０に形成された貫通孔９２の断面形状と略同一となっている。すなわち、電極端子ユニット７０における第２の部分Ｐ２の断面形状は、非円形であり、より具体的には、略Ｄ字形状である。下側キャップ部材９０と電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２とがこのような構成であるため、電極端子ユニット７０における第２の部分Ｐ２は、下側キャップ部材９０に対して、Ｚ軸方向に平行な軸を中心として相対回転（Ｚ軸を中心とした回転）することが規制されている。 Further, as shown in FIGS. 6 and 8, a plurality of (four) through holes 92 extending in the Z-axis direction are formed in the lower cap member 90. The shape of the cross section of each through hole 92 orthogonal to the Z-axis direction is non-circular. More specifically, as shown in the partially enlarged view in FIG. 6, the shape of the cross section orthogonal to the Z-axis direction of each through hole 92 is a substantially D-shaped shape (that is, a circle with the center point of the circle). The shape of the larger part when divided into two parts by a straight line that does not pass through). A part of the electrode terminal unit 70 (hereinafter referred to as “second portion P2”) is housed in the through hole 92 formed in the lower cap member 90. In the present embodiment, the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is the above-mentioned first portion P1 (a portion housed in the through hole 42 formed in the insulating tube 40) of the electrode terminal unit 70. It is the part adjacent to the lower side. That is, the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is a part of the portion of the second columnar member 72 whose diameter has been reduced. The cross-sectional shape of the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 orthogonal to the Z-axis direction is substantially the same as the cross-sectional shape of the through hole 92 formed in the lower cap member 90. That is, the cross-sectional shape of the second portion P2 in the electrode terminal unit 70 is non-circular, and more specifically, it is substantially D-shaped. Since the lower cap member 90 and the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 have such a configuration, the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is in the Z-axis direction with respect to the lower cap member 90. Relative rotation (rotation around the Z axis) is restricted around an axis parallel to.

なお、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２が、下側キャップ部材９０に対して、Ｚ軸方向に平行な軸を中心として相対回転することが規制されていることは、例えば、以下のように表現することもできる。すなわち、図６に示すように、本実施形態の加熱装置１００では、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２のＺ軸方向に直交する断面（ＸＹ断面）において、最大径Ｒ５を取る部分（線分）の一端を、下側キャップ部材９０の貫通孔９２の内周面に接触させた状態において、該一端を始点とする貫通孔９２の径Ｒ６として、第２の部分Ｐ２の最大径Ｒ５より小さい径Ｒ６が存在している。この条件が満たされていると、第２の部分Ｐ２が下側キャップ部材９０に対して相対回転することが規制されていると言える。 The fact that the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is restricted from rotating relative to the lower cap member 90 about an axis parallel to the Z-axis direction is, for example, as follows. It can also be expressed in. That is, as shown in FIG. 6, in the heating device 100 of the present embodiment, a portion (line) having a maximum diameter R5 in a cross section (XY cross section) orthogonal to the Z-axis direction of the second portion P2 of the electrode terminal unit 70. In a state where one end of the minute) is in contact with the inner peripheral surface of the through hole 92 of the lower cap member 90, the diameter R6 of the through hole 92 starting from the one end is set from the maximum diameter R5 of the second portion P2. There is a small diameter R6. When this condition is satisfied, it can be said that the second portion P2 is restricted from rotating relative to the lower cap member 90.

図２および図８に示すように、電極端子ユニット７０の下端側の一部分（以下、「第３の部分Ｐ３」という）には、雄ネジ７９が形成されており、この第３の部分Ｐ３にナット６８が螺合している。ナット６８の上面は、下側キャップ部材９０の下面に当接している。このように、電極端子ユニット７０は、ネジ止めにより、下側キャップ部材９０に対するＺ軸方向への移動が規制されるように、下側キャップ部材９０に固定されている。 As shown in FIGS. 2 and 8, a male screw 79 is formed in a part of the electrode terminal unit 70 on the lower end side (hereinafter referred to as “third portion P3”), and the third portion P3 has a male screw 79 formed therein. The nut 68 is screwed. The upper surface of the nut 68 is in contact with the lower surface of the lower cap member 90. In this way, the electrode terminal unit 70 is fixed to the lower cap member 90 so that the movement of the electrode terminal unit 70 in the Z-axis direction with respect to the lower cap member 90 is restricted by screwing.

Ａ－２．加熱装置１００の製造方法：
本実施形態の加熱装置１００の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体１０と支持体２０とを作製する。 A-2. Manufacturing method of heating device 100:
The manufacturing method of the heating device 100 of this embodiment is as follows, for example. First, the holder 10 and the support 20 are made.

保持体１０の作製方法は、例えば以下の通りである。まず、窒化アルミニウム粉末１００重量部に、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）粉末１重量部と、アクリル系バインダ２０重量部と、適量の分散剤および可塑剤とを加えた混合物に、トルエン等の有機溶剤を加え、ボールミルにて混合し、グリーンシート用スラリーを作製する。このグリーンシート用スラリーをキャスティング装置でシート状に成形した後に乾燥させ、グリーンシートを複数枚作製する。 The method for producing the holding body 10 is, for example, as follows. First, an organic such as toluene is added to a mixture of 100 parts by weight of aluminum nitride powder, 1 part by weight of yttrium oxide ( Y2O3 ) powder, 20 parts by weight of an acrylic binder, and an appropriate amount of a dispersant and a plasticizer. A solvent is added and mixed with a ball mill to prepare a slurry for a green sheet. This green sheet slurry is formed into a sheet by a casting device and then dried to prepare a plurality of green sheets.

また、窒化アルミニウム粉末、アクリル系バインダ、テルピネオール等の有機溶剤の混合物に、タングステンやモリブデン等の導電性粉末を添加して混練することにより、メタライズペーストを作製する。このメタライズペーストを例えばスクリーン印刷装置を用いて印刷することにより、特定のグリーンシートに、後に抵抗発熱体５０や受電電極５４等となる未焼結導体層を形成する。また、グリーンシートにあらかじめビア孔を設けた状態で印刷することにより、後にビア導体５２となる未焼結導体部を形成する。 Further, a metallized paste is prepared by adding a conductive powder such as tungsten or molybdenum to a mixture of an organic solvent such as aluminum nitride powder, an acrylic binder and terpineol and kneading the mixture. By printing this metallized paste using, for example, a screen printing device, an unsintered conductor layer that later becomes a resistance heating element 50, a power receiving electrode 54, or the like is formed on a specific green sheet. Further, by printing with the via holes provided in advance on the green sheet, an unsintered conductor portion that will later become the via conductor 52 is formed.

次に、これらのグリーンシートを複数枚（例えば２０枚）熱圧着し、必要に応じて外周を切断して、グリーンシート積層体を作製する。このグリーンシート積層体をマシニングによって切削加工して略円板状の成形体を作製し、この成形体を脱脂し、さらにこの脱脂体を焼成して焼成体を作製する。この焼成体の表面を研磨加工する。以上の工程により、保持体１０が作製される。 Next, a plurality of these green sheets (for example, 20 sheets) are thermocompression bonded, and if necessary, the outer periphery is cut to produce a green sheet laminate. This green sheet laminated body is cut by machining to produce a substantially disk-shaped molded body, the molded body is degreased, and the degreased body is further fired to produce a fired body. The surface of this fired body is polished. The holding body 10 is manufactured by the above steps.

また、支持体２０の作製方法、例えば以下の通りである。まず、窒化アルミニウム粉末１００重量部に、酸化イットリウム粉末１重量部と、ＰＶＡバインダ３重量部と、適量の分散剤および可塑剤とを加えた混合物に、メタノール等の有機溶剤を加え、ボールミルにて混合し、スラリーを得る。このスラリーをスプレードライヤーにて顆粒化し、原料粉末を作製する。次に、貫通孔２２に対応する中子が配置されたゴム型に原料粉末を充填し、冷間静水圧プレスして成形体を得る。得られた成形体を脱脂し、さらにこの脱脂体を焼成する。以上の工程により、支持体２０が作製される。 Further, a method for manufacturing the support 20, for example, is as follows. First, an organic solvent such as methanol is added to a mixture of 100 parts by weight of aluminum nitride powder, 1 part by weight of yttrium oxide powder, 3 parts by weight of PVA binder, and an appropriate amount of a dispersant and a plasticizer, and a ball mill is used. Mix to obtain a slurry. This slurry is granulated with a spray dryer to prepare a raw material powder. Next, the raw material powder is filled in the rubber mold in which the core corresponding to the through hole 22 is arranged, and cold hydrostatic pressure pressing is performed to obtain a molded product. The obtained molded body is degreased, and the degreased body is further fired. The support 20 is manufactured by the above steps.

次に、保持体１０と支持体２０とを接合する。保持体１０の裏面Ｓ２および支持体２０の上面Ｓ３に対して必要によりラッピング加工を行った後、保持体１０の裏面Ｓ２と支持体２０の上面Ｓ３との少なくとも一方に、例えば希土類や有機溶剤等を混合してペースト状にした公知の接合剤を均一に塗布した後、脱脂処理する。次いで、保持体１０の裏面Ｓ２と支持体２０の上面Ｓ３とを重ね合わせ、荷重を掛けながら常圧焼成を行うことにより、保持体１０と支持体２０とを接合する。 Next, the holding body 10 and the supporting body 20 are joined. After wrapping the back surface S2 of the holding body 10 and the upper surface S3 of the support 20 as necessary, for example, rare earths, organic solvents, etc. are applied to at least one of the back surface S2 of the holding body 10 and the upper surface S3 of the support 20. Is uniformly applied to a known bonding agent which has been mixed and made into a paste, and then degreased. Next, the back surface S2 of the holding body 10 and the upper surface S3 of the support body 20 are overlapped with each other, and normal pressure firing is performed while applying a load to join the holding body 10 and the support body 20.

保持体１０と支持体２０との接合の後、支持体２０の各貫通孔２２内に絶縁管４０を挿入する。このとき、絶縁管４０の先端部を、保持体１０の裏面Ｓ２に形成された第２の凹部１２に嵌合させることにより、絶縁管４０を面方向への移動が規制された状態（すなわち、面方向に位置決めされた状態）とする。この状態で、各絶縁管４０に形成された貫通孔４２内に電極端子ユニット７０（の第１の部分Ｐ１）を挿入し、その後、上側キャップ部材８０を設置する。このとき、上側キャップ部材８０に形成された各貫通孔８２に、絶縁管４０の下端部が挿入されるようにする。次に、下側キャップ部材９０を設置する。このとき、下側キャップ部材９０に形成された各貫通孔９２に、電極端子ユニット７０（の第２の部分Ｐ２）が挿入されるようにする。その後、電極端子ユニット７０（具体的には、第１の柱状部材７１）の上端部を受電電極５４に、例えば金ろう材によりろう付けする。 After joining the holding body 10 and the supporting body 20, the insulating tube 40 is inserted into each through hole 22 of the supporting body 20. At this time, by fitting the tip of the insulating tube 40 into the second recess 12 formed in the back surface S2 of the holding body 10, the movement of the insulating tube 40 in the surface direction is restricted (that is, that is). (Positioned in the plane direction). In this state, the electrode terminal unit 70 (first portion P1) is inserted into the through hole 42 formed in each insulating tube 40, and then the upper cap member 80 is installed. At this time, the lower end portion of the insulating tube 40 is inserted into each through hole 82 formed in the upper cap member 80. Next, the lower cap member 90 is installed. At this time, the electrode terminal unit 70 (second portion P2) is inserted into each through hole 92 formed in the lower cap member 90. After that, the upper end portion of the electrode terminal unit 70 (specifically, the first columnar member 71) is brazed to the power receiving electrode 54 with, for example, a gold brazing material.

その後、必要により、上側キャップ部材８０および下側キャップ部材９０を、無機系の接着剤によって支持体２０に接着する。最後に、電極端子ユニット７０（の第３の部分Ｐ３）に形成された雄ネジ７９にナット６８を螺合する。以上の製造方法により、上述した構成の加熱装置１００が製造される。 Then, if necessary, the upper cap member 80 and the lower cap member 90 are adhered to the support 20 with an inorganic adhesive. Finally, the nut 68 is screwed into the male screw 79 formed on the electrode terminal unit 70 (third portion P3). By the above manufacturing method, the heating device 100 having the above-described configuration is manufactured.

Ａ－３．実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の加熱装置１００は、保持体１０と支持体２０とを備える。保持体１０は、Ｚ軸方向に略直交する略平面状の保持面Ｓ１と、保持面Ｓ１とは反対側の裏面Ｓ２とを有する板状の部材である。支持体２０は、保持体１０の裏面Ｓ２に接合され、Ｚ軸方向に延びる貫通孔２２が形成された管状の部材である。また、保持体１０の内部には、抵抗発熱体５０が配置されている。Ｚ軸方向視で、保持体１０の裏面Ｓ２における支持体２０の貫通孔２２に重なる位置には、抵抗発熱体５０に電気的に接続された受電電極５４が配置されている。また、本実施形態の加熱装置１００は、少なくとも一部分が支持体２０の貫通孔２２内に配置された電極端子ユニット７０を備える。電極端子ユニット７０は、金属ろう材５６を介して受電電極５４に接合されている。また、本実施形態の加熱装置１００は、さらに、支持体２０に対するＺ軸方向への相対移動が規制されるように支持体２０に支持された下側キャップ部材９０を備える。下側キャップ部材９０には、Ｚ軸方向に延びる貫通孔９２が形成されている。電極端子ユニット７０は、電極端子ユニット７０の一部分（第２の部分Ｐ２）が下側キャップ部材９０の貫通孔９２内に収容された状態で、電極端子ユニット７０に対するＺ軸方向への移動が規制されるように下側キャップ部材９０に固定されている。本実施形態の加熱装置１００は、このような構成であるため、以下に説明するように、電極端子ユニット７０と受電電極５４との接合部が損傷することを抑制することができる、という効果を奏する。 A-3. Effect of embodiment:
As described above, the heating device 100 of the present embodiment includes the holding body 10 and the supporting body 20. The holding body 10 is a plate-shaped member having a substantially planar holding surface S1 substantially orthogonal to the Z-axis direction and a back surface S2 on the opposite side of the holding surface S1. The support 20 is a tubular member that is joined to the back surface S2 of the holding body 10 and has a through hole 22 extending in the Z-axis direction. Further, a resistance heating element 50 is arranged inside the holding body 10. A power receiving electrode 54 electrically connected to the resistance heating element 50 is arranged at a position overlapping the through hole 22 of the support 20 on the back surface S2 of the holding body 10 in the Z-axis direction. Further, the heating device 100 of the present embodiment includes an electrode terminal unit 70 whose at least a part is arranged in the through hole 22 of the support 20. The electrode terminal unit 70 is joined to the power receiving electrode 54 via a metal brazing material 56. Further, the heating device 100 of the present embodiment further includes a lower cap member 90 supported by the support 20 so that relative movement in the Z-axis direction with respect to the support 20 is restricted. The lower cap member 90 is formed with a through hole 92 extending in the Z-axis direction. The electrode terminal unit 70 is restricted from moving in the Z-axis direction with respect to the electrode terminal unit 70 in a state where a part (second portion P2) of the electrode terminal unit 70 is housed in the through hole 92 of the lower cap member 90. It is fixed to the lower cap member 90 so as to be. Since the heating device 100 of the present embodiment has such a configuration, as described below, it is possible to suppress damage to the joint portion between the electrode terminal unit 70 and the power receiving electrode 54. Play.

加熱装置１００では、電極端子ユニット７０が金属ろう材５６を介して受電電極５４と接合されているため、例えば加熱装置１００のろう付け後の組み立ての際や、加熱装置１００を使用するためのコネクタの接続の際に、電極端子ユニット７０に対してＺ軸方向の荷重が作用すると、電極端子ユニット７０と受電電極５４との接合部にＺ軸方向の応力（引張応力または圧縮応力）が集中し、この応力集中を原因として該接合部が破損するおそれがある。 In the heating device 100, since the electrode terminal unit 70 is joined to the power receiving electrode 54 via the metal brazing material 56, for example, a connector for assembling the heating device 100 after brazing or for using the heating device 100. When a load in the Z-axis direction acts on the electrode terminal unit 70 at the time of connection, stress (tensile stress or compressive stress) in the Z-axis direction is concentrated on the joint portion between the electrode terminal unit 70 and the power receiving electrode 54. The joint may be damaged due to this stress concentration.

しかしながら、本実施形態の加熱装置１００は、支持体２０に対するＺ軸方向への相対移動が規制されるように支持体２０に支持された下側キャップ部材９０を備える。支持体２０は保持体１０と接合されているため、下側キャップ部材９０は、保持体１０に対するＺ軸方向への相対移動が規制されていると言える。また、下側キャップ部材９０には、Ｚ軸方向に延びる貫通孔９２が形成されており、電極端子ユニット７０は、その一部分（第２の部分Ｐ２）が下側キャップ部材９０の貫通孔９２内に収容された状態で、下側キャップ部材９０に対するＺ軸方向への移動が規制されるように下側キャップ部材９０に固定されている。そのため、本実施形態他の加熱装置１００では、下側キャップ部材９０の存在により、保持体１０に対する電極端子ユニット７０のＺ軸方向への相対移動が規制される。換言すれば、保持体１０の裏面Ｓ２に形成された受電電極５４に対する電極端子ユニット７０のＺ軸方向への相対移動が規制される。従って、本実施形態の加熱装置１００によれば、電極端子ユニット７０に対してＺ軸方向の荷重が作用しても、下側キャップ部材９０の存在によって受電電極５４に対する電極端子ユニット７０のＺ軸方向への相対移動が規制されるために、電極端子ユニット７０と受電電極５４との接合部にＺ軸方向の応力（引張応力または圧縮応力）が集中することを抑制することができ、電極端子ユニット７０と受電電極５４との接合部が破損することを抑制することができる。 However, the heating device 100 of the present embodiment includes a lower cap member 90 supported by the support 20 so that relative movement in the Z-axis direction with respect to the support 20 is restricted. Since the support 20 is joined to the holding body 10, it can be said that the lower cap member 90 is restricted from moving relative to the holding body 10 in the Z-axis direction. Further, the lower cap member 90 is formed with a through hole 92 extending in the Z-axis direction, and a part of the electrode terminal unit 70 (second portion P2) is inside the through hole 92 of the lower cap member 90. In the state of being housed in the lower cap member 90, the lower cap member 90 is fixed to the lower cap member 90 so as to be restricted from moving in the Z-axis direction. Therefore, in the heating device 100 of the other embodiment, the presence of the lower cap member 90 restricts the relative movement of the electrode terminal unit 70 with respect to the holding body 10 in the Z-axis direction. In other words, the relative movement of the electrode terminal unit 70 in the Z-axis direction with respect to the power receiving electrode 54 formed on the back surface S2 of the holding body 10 is restricted. Therefore, according to the heating device 100 of the present embodiment, even if a load in the Z-axis direction acts on the electrode terminal unit 70, the Z-axis of the electrode terminal unit 70 with respect to the power receiving electrode 54 due to the presence of the lower cap member 90. Since the relative movement in the direction is restricted, it is possible to suppress the concentration of stress (tensile stress or compressive stress) in the Z-axis direction at the junction between the electrode terminal unit 70 and the power receiving electrode 54, and the electrode terminal. It is possible to prevent the joint portion between the unit 70 and the power receiving electrode 54 from being damaged.

また、本実施形態の加熱装置１００では、電極端子ユニット７０は、ネジ止めにより、下側キャップ部材９０に対するＺ軸方向への移動が規制されるように下側キャップ部材９０に固定されている。そのため、本実施形態の加熱装置１００によれば、容易にかつ強固に、電極端子ユニット７０を下側キャップ部材９０に固定することができる。 Further, in the heating device 100 of the present embodiment, the electrode terminal unit 70 is fixed to the lower cap member 90 by screwing so that the movement of the lower cap member 90 in the Z-axis direction is restricted. Therefore, according to the heating device 100 of the present embodiment, the electrode terminal unit 70 can be easily and firmly fixed to the lower cap member 90.

Ｂ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。 B. Modification example:
The technique disclosed in the present specification is not limited to the above-described embodiment, and can be transformed into various forms without departing from the gist thereof, and for example, the following modifications are also possible.

上記実施形態における加熱装置１００の構成は、あくまで例示であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態において、必ずしも加熱装置１００に、面方向において絶縁管４０と係合している段差部（第２の凹部１２）が形成されている必要はない。 The configuration of the heating device 100 in the above embodiment is merely an example and can be variously modified. For example, in the above embodiment, the heating device 100 does not necessarily have to be formed with a step portion (second recess 12) that is engaged with the insulating pipe 40 in the plane direction.

また、上記実施形態では、電極端子ユニット７０が、第１の柱状部材７１と第２の柱状部材７２と金属撚り線７３との３つの部材から構成されているが、電極端子ユニット７０が、１つまたは２つの部材から構成されるとしてもよいし、４つ以上の部材から構成されるとしてもよい。 Further, in the above embodiment, the electrode terminal unit 70 is composed of three members, that is, a first columnar member 71, a second columnar member 72, and a metal stranded wire 73. It may be composed of one or two members, or may be composed of four or more members.

また、上記実施形態では、電極端子ユニット７０の下端部が、支持体２０の貫通孔２２や絶縁管４０の貫通孔４２から外に突出しているが、電極端子ユニット７０の全体が、支持体２０の貫通孔２２や絶縁管４０の貫通孔４２内に収容されるとしてもよい。また、上記実施形態では、加熱装置１００が絶縁管４０を備えているが、加熱装置１００が絶縁管４０を備えないとしてもよい。この場合において、加熱装置１００が備える各電極端子ユニット７０は、例えば、支持体２０に形成された個別の貫通孔内に収容されるとしてもよい。 Further, in the above embodiment, the lower end portion of the electrode terminal unit 70 projects outward from the through hole 22 of the support 20 and the through hole 42 of the insulating tube 40, but the entire electrode terminal unit 70 is the entire support 20. It may be accommodated in the through hole 22 of the above and the through hole 42 of the insulating tube 40. Further, in the above embodiment, the heating device 100 includes the insulating tube 40, but the heating device 100 may not include the insulating tube 40. In this case, each electrode terminal unit 70 included in the heating device 100 may be housed in, for example, individual through holes formed in the support 20.

また、上記実施形態における下側キャップ部材９０に形成された貫通孔９２のＺ軸方向に直交する断面（ＸＹ断面）の形状と、電極端子ユニット７０における下側キャップ部材９０の貫通孔９２内に収容された部分である第２の部分Ｐ２のＺ軸方向に直交する断面（ＸＹ断面）の形状とは、あくまで一例である。これらの形状は、下側キャップ部材９０の貫通孔９２のＸＹ断面の形状が非円形であり、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２のＸＹ断面の形状が、非円形であり、かつ、第２の部分Ｐ２が下側キャップ部材９０に対してＺ軸方向に平行な軸を中心として相対回転することが規制される形状である限りにおいて、任意に変形可能である。例えば、下側キャップ部材９０の貫通孔９２のＸＹ断面の形状が、五角形や六角形等の多角形であり、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２のＸＹ断面の形状が、貫通孔９２の形状と略同一の多角形であるとしてもよい。また、下側キャップ部材９０の貫通孔９２のＸＹ断面の形状と、電極端子ユニット７０の第２の部分Ｐ２のＸＹ断面の形状とが必ずしも略同一である必要はない。 Further, the shape of the cross section (XY cross section) orthogonal to the Z-axis direction of the through hole 92 formed in the lower cap member 90 in the above embodiment and the inside of the through hole 92 of the lower cap member 90 in the electrode terminal unit 70. The shape of the cross section (XY cross section) orthogonal to the Z-axis direction of the second portion P2 which is the accommodated portion is merely an example. In these shapes, the shape of the XY cross section of the through hole 92 of the lower cap member 90 is non-circular, and the shape of the XY cross section of the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is non-circular, and the shape of the second portion P2 is non-circular. As long as the portion P2 of 2 has a shape that is restricted from rotating relative to the lower cap member 90 about an axis parallel to the Z-axis direction, it can be arbitrarily deformed. For example, the shape of the XY cross section of the through hole 92 of the lower cap member 90 is a polygon such as a pentagon or a hexagon, and the shape of the XY cross section of the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 is the shape of the through hole 92. It may be a polygon substantially the same as the shape. Further, the shape of the XY cross section of the through hole 92 of the lower cap member 90 and the shape of the XY cross section of the second portion P2 of the electrode terminal unit 70 do not necessarily have to be substantially the same.

また、上記実施形態では、上側キャップ部材８０および下側キャップ部材９０が、支持体２０の貫通孔２２内に収容されているが、上側キャップ部材８０と下側キャップ部材９０との少なくとも一方が、支持体２０の貫通孔２２内ではなく、貫通孔２２の外に配置されるとしてもよい。このような構成であっても、上側キャップ部材８０および／または下側キャップ部材９０を、例えば接着剤や接合部材等を用いて支持体２０の他の部分（例えば、支持体２０の下面Ｓ４）に固定することは可能である。 Further, in the above embodiment, the upper cap member 80 and the lower cap member 90 are housed in the through hole 22 of the support 20, but at least one of the upper cap member 80 and the lower cap member 90 is. It may be arranged outside the through hole 22 instead of inside the through hole 22 of the support 20. Even with such a configuration, the upper cap member 80 and / or the lower cap member 90 can be attached to another part of the support 20 (for example, the lower surface S4 of the support 20) by using an adhesive, a joining member, or the like. It is possible to fix it to.

また、上記実施形態では、上側キャップ部材８０の外周面に凸部８４が形成されており、該凸部８４が、支持体２０の貫通孔２２の内周面に形成された凹部２４と嵌合しているが、反対に、上側キャップ部材８０の外周面に凹部が形成されており、該凹部が、支持体２０の貫通孔２２の内周面に形成された凸部と嵌合するとしてもよい。同様に、上記実施形態では、下側キャップ部材９０の外周面に凸部９４が形成されており、該凸部９４が、支持体２０の貫通孔２２の内周面に形成された凹部２４と嵌合しているが、反対に、下側キャップ部材９０の外周面に凹部が形成されており、該凹部が、支持体２０の貫通孔２２の内周面に形成された凸部と嵌合するとしてもよい。なお、各部材に形成される凸部または凹部の個数は、任意に変更可能である。また、必ずしも、各部材にこれらの凸部または凹部が形成されている必要はない。 Further, in the above embodiment, the convex portion 84 is formed on the outer peripheral surface of the upper cap member 80, and the convex portion 84 is fitted with the concave portion 24 formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 of the support 20. However, on the contrary, even if a concave portion is formed on the outer peripheral surface of the upper cap member 80 and the concave portion fits with the convex portion formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 of the support 20. good. Similarly, in the above embodiment, the convex portion 94 is formed on the outer peripheral surface of the lower cap member 90, and the convex portion 94 is the concave portion 24 formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 of the support 20. Although it is fitted, on the contrary, a concave portion is formed on the outer peripheral surface of the lower cap member 90, and the concave portion is fitted with a convex portion formed on the inner peripheral surface of the through hole 22 of the support 20. You may do so. The number of convex portions or concave portions formed on each member can be arbitrarily changed. Further, it is not always necessary that each member has these protrusions or recesses.

また、上記実施形態では、加熱装置１００が、上側キャップ部材８０と下側キャップ部材９０とを備えているが、加熱装置１００が、上側キャップ部材８０と下側キャップ部材９０との少なくとも一方を備えないとしてもよい。また、上記実施形態では、電極端子ユニット７０がネジ止めにより、下側キャップ部材９０に対するＺ軸方向への移動が規制されるように下側キャップ部材９０に固定されているが、電極端子ユニット７０は、ネジ止めに限られず、他の手段（例えば、固定用部材を用いた手段）により固定されていてもよい。 Further, in the above embodiment, the heating device 100 includes the upper cap member 80 and the lower cap member 90, but the heating device 100 includes at least one of the upper cap member 80 and the lower cap member 90. It may not be. Further, in the above embodiment, the electrode terminal unit 70 is fixed to the lower cap member 90 so as to be restricted from moving in the Z-axis direction with respect to the lower cap member 90 by screwing, but the electrode terminal unit 70 is fixed. Is not limited to screwing, and may be fixed by other means (for example, means using a fixing member).

また、上記実施形態の加熱装置１００を構成する各部材の形状や個数は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、加熱装置１００に、電極端子ユニット７０と電極端子ユニット７０に接合される受電電極５４との組合せが、４つ設けられているが、加熱装置１００に設けられる該組合せの個数は任意に設定可能である。なお、上記実施形態では、該組合せのすべてが同様の構成となっているが、該組合せの少なくとも１つが上記実施形態の構成となっていれば、残りの組合せについては他の構成となっていてもよい。 Further, the shape and the number of each member constituting the heating device 100 of the above embodiment are merely examples and can be variously deformed. For example, in the above embodiment, the heating device 100 is provided with four combinations of the electrode terminal unit 70 and the power receiving electrode 54 joined to the electrode terminal unit 70, and the combination is provided in the heating device 100. The number can be set arbitrarily. In the above embodiment, all of the combinations have the same configuration, but if at least one of the combinations has the configuration of the above embodiment, the remaining combinations have other configurations. May be good.

また、上記実施形態の加熱装置１００が、さらに、熱電対や白金抵抗体等の測温体や、高周波電極等の他の構成部材を備えるとしてもよい。 Further, the heating device 100 of the above embodiment may further include a temperature measuring body such as a thermocouple or a platinum resistor, and other constituent members such as a high frequency electrode.

また、上記実施形態における加熱装置１００を構成する各部材の形成材料は、あくまで一例であり、各部材が他の材料により形成されてもよい。例えば、上記実施形態において、保持体１０および支持体２０は、窒化アルミニウムまたはアルミナを主成分とするセラミックス製であるとしてもよいし、他のセラミックス製であるとしてもよいし、セラミックス以外の絶縁材料製であるとしてもよい。 Further, the forming material of each member constituting the heating device 100 in the above embodiment is merely an example, and each member may be formed of another material. For example, in the above embodiment, the holding body 10 and the support 20 may be made of ceramics containing aluminum nitride or alumina as a main component, may be made of other ceramics, or may be an insulating material other than ceramics. It may be made of.

また、上記実施形態における加熱装置１００の製造方法はあくまで一例であり、種々変形可能である。 Further, the method for manufacturing the heating device 100 in the above embodiment is merely an example, and various modifications can be made.

１０：保持体 １１：第１の凹部 １２：第２の凹部 ２０：支持体 ２２：貫通孔 ２３：拡径部 ２４：凹部 ３０：接合部 ４０：絶縁管 ４２：貫通孔 ５０：抵抗発熱体 ５２：ビア導体 ５４：受電電極 ５６：金属ろう材 ６８：ナット ７０：電極端子ユニット ７１：第１の柱状部材 ７２：第２の柱状部材 ７３：金属撚り線 ７９：雄ネジ ８０：上側キャップ部材 ８２：貫通孔 ８４：凸部 ９０：下側キャップ部材 ９２：貫通孔 ９４：凸部 １００：加熱装置 ＩＳ：内周面 ＯＳ：外周面 Ｐ１：第１の部分 Ｐ２：第２の部分 Ｐ３：第３の部分 Ｓ１：保持面 Ｓ２：裏面 Ｓ３：上面 Ｓ４：下面 10: Holding body 11: First concave portion 12: Second concave portion 20: Support 22: Through hole 23: Enlarged portion 24: Recessed portion 30: Joint portion 40: Insulated pipe 42: Through hole 50: Resistance heating element 52 : Via conductor 54: Power receiving electrode 56: Metal brazing material 68: Nut 70: Electrode terminal unit 71: First columnar member 72: Second columnar member 73: Metal stranded wire 79: Male screw 80: Upper cap member 82: Through hole 84: Convex part 90: Lower cap member 92: Through hole 94: Convex part 100: Heating device IS: Inner peripheral surface OS: Outer peripheral surface P1: First part P2: Second part P3: Third Part S1: Holding surface S2: Back surface S3: Top surface S4: Bottom surface

Claims (2)

絶縁体により構成され、第１の方向に略直交する略平面状の第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状の保持体と、
絶縁体により構成され、前記保持体の前記第２の表面に接合され、前記第１の方向に延びる第１の貫通孔が形成された管状の支持体と、
前記保持体の内部に配置された抵抗発熱体と、
前記第１の方向視で、前記保持体の前記第２の表面における前記支持体の前記第１の貫通孔に重なる位置に配置され、前記抵抗発熱体に電気的に接続された受電電極と、
少なくとも一部分が前記支持体の前記第１の貫通孔内に配置され、金属ろう材を介して前記受電電極に接合された電極端子と、
を備え、前記保持体の前記第１の表面上に保持された対象物を加熱する加熱装置において、さらに、
前記支持体に対する前記第１の方向への相対移動が規制されるように前記支持体に支持されたキャップ部材であって、前記第１の方向に延びる第２の貫通孔が形成されたキャップ部材を備え、
前記電極端子は、前記電極端子の一部分が前記キャップ部材の前記第２の貫通孔内に収容された状態で、前記キャップ部材に対する前記第１の方向への移動が規制されるように前記キャップ部材に固定されており、
前記電極端子は、
第１の部分と、
前記第１の部分に対して前記第１の方向に沿って前記第１の表面から離れる側に隣接し、前記第１の部分より外径が小さい第２の部分と、
を有し、
前記電極端子の前記第１の部分と前記第２の部分との境界位置には、前記第１の部分と前記第２の部分との外径の差に起因する段差が存在しており、
前記電極端子は、前記第１の部分における前記段差を構成する表面が前記キャップ部材に接することにより、前記キャップ部材に対する前記第１の方向への移動が規制されている、
ことを特徴とする加熱装置。 A plate-shaped retainer composed of an insulator and having a substantially planar first surface substantially orthogonal to the first direction and a second surface opposite to the first surface.
A tubular support composed of an insulator, joined to the second surface of the retainer, and formed with a first through hole extending in the first direction.
A resistance heating element arranged inside the holder and
In the first directional view, a power receiving electrode arranged at a position overlapping the first through hole of the support on the second surface of the holder and electrically connected to the resistance heating element.
An electrode terminal having at least a part thereof arranged in the first through hole of the support and bonded to the power receiving electrode via a metal brazing material.
Further, in a heating device for heating an object held on the first surface of the holder.
A cap member supported by the support so that relative movement in the first direction with respect to the support is restricted, and a cap member having a second through hole extending in the first direction is formed. Equipped with
The electrode terminal is a cap member so that movement in the first direction with respect to the cap member is restricted while a part of the electrode terminal is housed in the second through hole of the cap member. Is fixed to
The electrode terminal is
The first part and
A second portion adjacent to the first portion along the first direction away from the first surface and having an outer diameter smaller than that of the first portion.
Have,
At the boundary position between the first portion and the second portion of the electrode terminal, there is a step due to the difference in outer diameter between the first portion and the second portion.
The electrode terminal is restricted from moving in the first direction with respect to the cap member because the surface constituting the step in the first portion comes into contact with the cap member.
A heating device characterized by that. 請求項１に記載の加熱装置において、
前記電極端子は、ネジ止めにより、前記キャップ部材に対する前記第１の方向への移動が規制されるように前記キャップ部材に固定されている、
ことを特徴とする加熱装置。 In the heating device according to claim 1,
The electrode terminal is fixed to the cap member by screwing so as to restrict the movement of the cap member in the first direction.
A heating device characterized by that.
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