JP7095803B2 - 樹脂組成物、配線基板及び導電性パターンの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の樹脂組成物は、微粒子として有機顔料(F)を含有することが好ましい。
本発明の樹脂組成物は、炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)(以下、単に「無機粒子(G)」と称することがある。)を含有することが好ましい。無機粒子(G)は、例えば炭素化合物等で表面被覆された粒子である。炭素化合物の例としては、芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素、またはそれらの酸化物、窒化物、硫化物、リン化物等が挙げられる。この中でも低温での無機粒子(G)同士の融着を抑制可能である観点から、芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素またはこれらの酸化物が好ましい。無機粒子(G)を含有することにより、本発明の樹脂組成物の硬化物に導電性や遮光性等の種々の機能を付与することができる。また、無機粒子(G)の表面が炭素を含む被覆層により被覆されているため、低温での無機粒子(G)同士の融着を抑制し、粒子粗大化による解像度の低下や、残渣の発生を抑制することができる。さらに後述の熱によりアミノ基を生じる官能基と反応することにより、密着性を向上させることができる。
W2=π/6×Dp3ρ×n
そして、以下の式から被覆層の平均厚みAを算出することができる。
W1-W2={4/3×π(Dp/2+A)3-π/6×Dp3}×2.0×n
無機粒子(G)である導電性粒子(A)は炭素を含む被覆層を形成する材料の種類により、表面が酸性又は塩基性を帯びることがある。導電性粒子(A)を濃度1質量%で水に懸濁させた懸濁液のpHは4.0~10.0であることが好ましい。このpHは以下のようにして測定される。純水2.7g中に導電性粒子(A)0.3gを加え、濃度1質量%の懸濁液を調製し、その後、5分間攪拌し、15分間静置する。得られた懸濁液の上澄み液を採取し、pHメーターを用いて測定する。pHが4.0以上であることで、炭素被覆層が後述する分散剤と強固に相互作用するため、少ない分散剤含有量でも安定に分散できる。pHが10.0以下であることで、導電性粒子(A)とバインダー樹脂(C)との反応を抑制すると共に、樹脂組成物のpHを適切な範囲に保ち、保存安定性を良好にできる。導電性粒子(A)の懸濁液のpHを制御するためには、例えば、熱プラズマ法により導電性粒子(A)を作製する場合においては、反応性ガスの種類や導入割合を変更することで達成できる。
(i) 樹脂組成物を有機溶媒で希釈し、1H-NMR測定、GC測定及びGC/MS測定をしてその概要を調べる。
(ii) 樹脂組成物を有機溶媒で抽出した後に遠心分離を行い、可溶成分と不溶成分とを分離する。
(iii) 上記不溶成分について、高極性有機溶媒で抽出した後に遠心分離を行い、可溶成分と不溶成分とをさらに分離する。
(iv) 上記(ii)及び(iii)で得られた可溶成分の混合液について、IR測定、1H-NMR測定及びGC/MS測定を行う。さらに、上記混合液をGPC分取する。得られた分取物についてIR測定及び1H-NMR測定を行う。また、該分取物については、必要に応じてGC測定、GC/MS測定、熱分解GC/MS測定及びMALDI/MS測定を行う。
(v) 上記(iii)で得られた不溶成分についてIR測定又はTOF-SIMS測定を行う。有機物が存在することが確認された場合には、熱分解GC/MS又はTPD/MS測定を行う。
(vi) 上記(i)、(iv)及び(v)の測定結果を総合的に判断することで、樹脂組成物が含有する各成分の含有率を求めることができる。なお、上記(iii)で用いる高極性有機溶媒としては、クロロホルム又はメタノール等が好ましい。
本発明の樹脂組成物は、下記一般式(1)で表される構造及び熱によりアミノ基を生じる官能基を有する化合物(B)(以下、単に「化合物(B)」と称することがある。)を含有する。
一方、加熱前の樹脂組成物中では化合物(B)中にアミノ基が存在しないため、化合物(B)が有機顔料(F)または無機粒子(G)の表面と反応せず、安定に存在できる。そのため、樹脂組成物の保存中には、粘度変化や、有機顔料(F)または無機粒子(G)の分散性悪化による機能阻害を防ぎ、樹脂組成物の塗布膜中では現像残渣による基板の透過率低下を引き起こすことがない。また、パターン加工性を向上させることができる。ここで、アミノ基を生じる目的の加熱と、樹脂組成物パターンに機能を付与する目的の加熱を同時に行うこともできる。
本発明の樹脂組成物は、バインダー樹脂(C)を含有する。バインダー樹脂(C)は樹脂組成物の粘度等に合わせて適切に選択されるものであり、特に制限をうけない。バインダー樹脂(C)としては、例えば、エチルセルロース、ニトロセルロースなどのセルロース系樹脂や、ポリビニルブチラールなどのアセタール系樹脂、ブチルメタクリレート、メチルメタクリレートなどを重合して得られるアクリル系樹脂などが好ましく使用されるが、組成設計の容易さの観点より、アクリル系樹脂が特に好ましい。ここでアクリル系樹脂とは、樹脂成分に少なくとも(メタ)アクリル系モノマーを共重合させた樹脂をいう。ここで(メタ)アクリル系モノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-プロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、tert-ブチル(メタ)アクリレート、tert-ブトキシカルボニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、メチルアダマンチル(メタ)アクリレート、シクロへキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロピラニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート又はフェニル(メタ)アクリレートが挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、感光性樹脂組成物として用いる場合、微細なパターンを形成する観点から、感光剤(D)を含有することが好ましい。感光剤(D)を含有することで、樹脂組成物にポジ型あるいはネガ型の感光性を付与することができる。
本発明の樹脂組成物は、分散剤を含有しても構わない。分散剤を含有することで、樹脂組成物中に微粒子を安定的に存在させることができる。
本発明の樹脂組成物は、感光性能を調整し、パターン加工性を向上する観点から、アクリルモノマーを、微粒子が導電性粒子(A)である場合には導電性粒子同士の接触及び融着を阻害しない範囲内で含有しても構わない。
本発明の樹脂組成物は、溶剤を含有しても構わない。溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ダイアセトンアルコール、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、アセト酢酸エチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、1,3-ブチレングリコールジアセテート、シクロヘキサノールアセテート、ジメチルスルホキシド、メチルエチルケトン、酢酸イソブチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル又はアセチルアセトンが挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を適量含有することで、現像後の解像度が向上する。重合禁止剤としては特に限定はなく公知のものが使用でき、たとえば、ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン、ブチルヒドロキシアニソール、ハイドロキノン、4-メトキシフェノール、1,4-ベンゾキノン、t-ブチルカテコールが挙げられる。また、市販の重合禁止剤としては、「IRGANOX 1010」、「IRGANOX 245」、(以上、BASF製)等が挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、得られる硬化物の耐光性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。紫外線吸収剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、透明性、非着色性の面から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物が好ましく用いられる。
本発明の樹脂組成物は、分散性向上や、導電性をコントロールするため、有機顔料(F)や無機粒子(G)以外の他の粒子を含有しても構わない。他の粒子としては、例えば、表面被覆されていない導電性粒子若しくは金属酸化物微粒子又は無機顔料が挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、熱酸発生剤を含有しても構わない。バインダー樹脂(C)が酸解離性基を有するバインダー樹脂である場合、発生した酸によって、酸解離性基の分解が促進され、空気下での熱処理温度を低下させることが可能となる。また、光酸発生剤を含有しても構わない。光酸発生剤は既述の通りである。
本発明の樹脂組成物が光酸発生剤を含有する場合、樹脂組成物はさらに増感剤を含有しても構わない。増感剤は、熱処理により気化するもの、又は、本発明の樹脂組成物の硬化物に残存した場合においても、光照射によって退色するものが好ましく、パターン加工における高解像性の観点から、光照射によって退色するものがより好ましい。
本発明の樹脂組成物は、可視光に吸収を有する顔料及び/又は染料を、微粒子が導電性粒子(A)である場合には導電性粒子同士の接触及び融着を阻害しない範囲で含有しても構わない。樹脂組成物が可視光に吸収を有する無機顔料及び/又は染料を含有することより、加熱後のパターンの可視光反射を抑制できる。前記無機粒子(G)が無機顔料であることも好ましい。
本発明の樹脂組成物は、化合物(B)以外にも、さらに密着改良剤を含有できる。密着改良剤としては、例えば、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン又は3-アクリロキシプロピルトリエトキシシラン等のシランカップリング剤が挙げられる。
本発明の樹脂組成物は、さらに必要に応じて、界面活性剤を含有しても構わない。
本発明の樹脂組成物は、微粒子、化合物(B)、並びにバインダー樹脂(C)を混合させた後、ボールミルや、サンドグラインダー、3本ロールミル、マイルド分散機、メディアレス分散機等の分散機を用いて製造される。微粒子を均一に分散したい場合は、分散剤を用いて、予め有機溶剤中に微粒子を分散させた分散液を調製し、この分散液を、モノマー、ポリマー、密着改良剤、界面活性剤及び重合禁止剤等を含有する溶液と混合する方法により製造しても良い。特に、炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)の分散液は、表面被覆層が損傷を受けるのを防ぐために、マイルド分散機又はメディアレス分散機を用いて分散させることが好ましく、メディアレス分散機を用いて分散させることがより好ましい。炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)の分散液は、例えば、マイルド分散機ナノゲッター(登録商標)(アシザワファインテック(株))又は高圧湿式メディアレス微粒化装置ナノマイザー(ナノマイザー(株))等の分散機を用いて、有機溶剤中に炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)を分散させて製造される。
本発明の導電性パターンの製造方法は、本発明の樹脂組成物を基板上に所望のパターン形状となるように塗布して塗布膜を得る塗布工程と、前記塗布膜を乾燥して乾燥膜を得る乾燥工程と、前記乾燥膜を加熱して導電膜を得る加熱工程と、を備える。
AIBN:2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)
TMAH:テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド。
(F-1)スルホン酸基により表面が修飾されたカーボンブラック(キャボット製TPK1227)。
[炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)]
(A-1)該被覆層の平均厚みが3nmで、1次粒子径が50nmの銀粒子(日清エンジニアリング株式会社製)。濃度1質量%の水の懸濁液のpHが8.0。
(B-1)KBM-585:3-ウレイドプロピルトリメトキシシラン(信越化学株式会社製)
(B-2)KBE-585:3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン(信越化学株式会社製)
(B-3)KBE-9007:3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン(信越化学株式会社製)
(B’-4)KBE-903:3-アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学株式会社製)。
(C-1)
500mlのフラスコにAIBNを2.0g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を38.7g、ベンジルメタクリレートを79.3g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを22.0g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを21.3g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、バインダー樹脂(C-1)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは18,000であった。
500mlのフラスコにAIBNを1.5g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を38.7g、スチレンを46.9g、トリシクロ[5.2.1.0(2,6)]デカン-8-イルメタクリレートを22.0g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを21.3g、ジメチルベンジルアミンを1g、p-メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、得られたアクリルポリマー溶液に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加え、バインダー樹脂(C-2)の溶液を得た。GPC法により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量Mwは14,000であった。
DISPERBYK(登録商標)21116(ビックケミー・ジャパン株式会社製)。
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(三協化学(株)製)
DPM:ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(東邦化学工業(株)製)。
NCI-831E(登録商標)(オキシムエステル系化合物;ADEKA(株)製)。
ライトアクリレート(登録商標)PE-3A(共栄社化学(株)製)。
(P-1)
乾燥窒素気流下、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BAHF;セントラル硝子(株)製)29.3g(0.08モル)、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン1.24g(0.005モル)、末端封止剤として、3-アミノフェノール3.27g(0.03モル)をN-メチル-2-ピロリドン(NMP)150gに溶解した。ここに3,3’,4,4’-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(ODPA;マナック(株)製)31.0g(0.1モル)をNMP50gとともに加えて、20℃で1時間撹拌し、次いで50℃で4時間撹拌した。その後、キシレンを15g添加し、水をキシレンとともに共沸しながら、150℃で5時間撹拌した。撹拌終了後、溶液を水3Lに投入して白色沈殿を集めた。この沈殿をろ過で集めて、水で3回洗浄した後、80℃の真空乾燥機で24時間乾燥し、ポリイミド樹脂を得た。
(S-1)表面にSiO2をスパッタリングしたガラス基板(TU060;TOKEN社製)
(S-2)無アルカリガラス基板(OA-10G;日本電気硝子株式会社製)
(S-3)ポリイミドフィルム(ネオプリム;三菱ガス化学株式会社製)。
<導電性評価>
樹脂組成物1については、(S-1)基板上に、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H-360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、500rpmで1秒の条件でスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で5分間プリベークし、膜厚1μmのプリベーク膜を得た。その後、オーブン(「IHPS-222」;エスペック(株)製)を用いて、230℃で30分(空気中)ポストベークを施すことで、樹脂組成物1からなるベタ膜を得た。得られたベタ膜上に、ポジ型フォトレジスト(P-1)をスピンコーター(ミカサ(株)製「1H-360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、1000rpmで5秒の条件でスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、膜厚1μmのプリベーク膜を得た。プリベーク膜をパラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA-501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介して露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD-1200(商品名)」)を用いて、2.38wt%TMAH水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。得られた基板を濃度55%硝酸第2鉄水溶液へ浸漬させることでエッチングし、露光、現像することでレジストを剥離した。その後、オーブン(「IHPS-222」;エスペック(株)製)を用いて、230℃で30分(空気中)ポストベークを施すことで、体積抵抗率評価パターンを得た。
樹脂組成物1については、(S-1)上に、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H-360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、500rpmで1秒の条件でスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で5分間プリベークし、膜厚1μmのプリベーク膜を得た。その後、オーブン(「IHPS-222」;エスペック(株)製)を用いて、230℃で30分(空気中)ポストベークを施すことで、樹脂組成物1からなるベタ膜を得た。
樹脂組成物2~17を、(S-1)~(S-3)各基板上に、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H-360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、500rpmで1秒の条件でスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で5分間プリベークし、膜厚1μmのプリベーク膜を得た。プリベーク膜をパラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA-501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介して露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD-1200(商品名)」)を用いて、0.07wt%TMAH水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。露光、現像後、5μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量における現像後の最小パターン寸法を測定し、解像度とした。露光量はI線照度計で測定した。
上記の樹脂組成物2~17による体積抵抗率評価パターンが形成された基板の未露光部分について、透過率評価により、基板上の残渣を評価した。具体的には、未露光部分について、膜形成前後の400nmにおける透過率を、分光光度計(U-3410;日立製作所株式会社製)を用いて測定した。そして、膜形成前の透過率をT0、膜形成後の透過率をTとしたときに、式(T0-T)/T0×100で表される透過率変化を算出した。透過率変化が1.0%以下である場合は、残渣抑制の効果が十分であると判断した。
炭素を含む被覆層を有する導電性粒子(A-1)80.00g、DISPERBYK21116を2.00g、PGMEA100.00g、DPM100.00gに対し、ホモジナイザーにて、1200rpm、30分の混合処理を施し、さらに、高圧湿式メディアレス微粒化装置ナノマイザー(ナノマイザー(株))を用いて分散して、銀粒子分散体を得た。この銀微粒子分散体282.00gに対し、一般式(1)で表される構造及び熱によりアミノ基を生じる官能基を有する化合物(B-1)0.50g、固形分濃度40質量%のバインダー樹脂(C-1)を43.75g混合したものに、PGMEA73.75g、DPM100.00gを添加し撹拌することにより、樹脂組成物1を得た。
まず、炭素を含む被覆層を有する導電性粒子(A-1)80.00g、DISPERBYK21116を2.00g、PGMEA100.00g、DPM100.00gに対し、ホモジナイザーにて、1200rpm、30分の混合処理を施し、さらに、高圧湿式メディアレス微粒化装置ナノマイザー(ナノマイザー(株))を用いて分散して、銀粒子分散体を得た。この銀微粒子分散体282.00gに対し、一般式(1)で表される構造及び熱によりアミノ基を生じる官能基を有する化合物(B-1)0.50g、固形分濃度40質量%のバインダー樹脂(C-1)を25.00g、(D)感光剤であるNCI-831Eを1.50g、PE-3Aを6.00g混合したものに、PGMEA85.00g、DPM100.00gを添加し撹拌することにより、樹脂組成物2を得た。
実施例2と同様の方法で、表1~2記載の組成の感光性樹脂組成物3~17を得て、それぞれの感光性樹脂組成物について表1~2記載の基板上で実施例2と同様の評価をした。評価結果を、表1~2に示す。
(着色樹脂組成物1)
スルホン酸基により表面が修飾されたカーボンブラック(キャボット製TPK1227)300g、アクリルポリマー(C-1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40重量%溶液150g、高分子分散剤として3級アミノ基と4級アンモニウム塩を有する“DISPERBYK”(登録商標)LPN-21116を37.5gおよびPGMEA1012.5gをタンクに仕込み、ホモミキサーで20分撹拌し、予備分散液を得た。0.05mmφジルコニアビーズを75体積%充填した遠心分離セパレーターを具備した寿工業(株)製分散機ウルトラアペックスミルに、得られた予備分散液を供給し、回転速度8m/sで3時間分散を行い、固形分濃度25重量%、着色材/樹脂(重量比)=80/20の着色材分散液Bk-1を得た。
スルホン酸基により表面が修飾されたカーボンブラック(キャボット製TPK1227)300g、アクリルポリマー(C-1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40重量%溶液150g、高分子分散剤として3級アミノ基と4級アンモニウム塩を有する“DISPERBYK”(登録商標)LPN-21116を37.5gおよびPGMEA1012.5gをタンクに仕込み、ホモミキサーで20分撹拌し、予備分散液を得た。0.05mmφジルコニアビーズを75体積%充填した遠心分離セパレーターを具備した寿工業(株)製分散機ウルトラアペックスミルに、得られた予備分散液を供給し、回転速度8m/sで3時間分散を行い、固形分濃度25重量%、着色材/樹脂(重量比)=80/20の着色材分散液Bk-1を得た。
着色樹脂組成物2と同様の方法で、表3記載の組成の着色樹脂組成物3~7を得た。
上記の着色樹脂組成物1~7については、着色樹脂組成物の調製直後の粘度および着色樹脂組成物を室温(30℃)で1週間放置した後の粘度を粘度計(東機産業製RE105L)で25.0±0.2℃に温度設定し、回転数50rpmにて測定し、その粘度変化率を算出した。粘度変化率が15%以上のものは保存安定性が不良と判断した。
着色樹脂組成物1を(S-2)上に、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H-DS(商品名)」)を用いてスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で10分間プリベークし、プリベーク膜を得た。その後、オーブン(「IHPS-222」;エスペック(株)製)を用いて、230℃で30分(空気中)ポストベークを施すことで、厚み1.5μmの着色樹脂組成物1からなるベタ膜を得た。
着色樹脂組成物2~7を、(S-2)上に、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H-DS(商品名)」)を用いてスピンコートし、基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW-636(商品名)」)を用いて100℃で10分間プリベークし、プリベーク膜を得た。プリベーク膜をマスクアライナー(ユニオン光学(株)製)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介して露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD-1200(商品名)」)を用いて、0.045質量%KOH水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。露光、現像後、5μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量における現像後の最小パターン寸法を測定し、解像度とした。露光量はI線照度計で測定した。
Claims (13)
- 微粒子、一般式(1)で表される構造及び熱によりアミノ基を生じる官能基を有する化合物(B)、並びにバインダー樹脂(C)を含有し、
前記微粒子が、炭素を含む被覆層を有する無機粒子(G)であり、
前記無機粒子(G)が導電性粒子(A)であり、
前記熱によりアミノ基を生じる官能基が、アミド基、イミン基、ウレイド基、および、イソシアネート基からなる群から選択される少なくとも一種である、樹脂組成物。
- 前記導電性粒子(A)の、濃度1質量%の水の懸濁液のpHが4.0~10.0である、請求項1記載の樹脂組成物。
- 前記微粒子の平均1次粒子径が1~700nmである、請求項1記載の樹脂組成物。
- 前記微粒子100質量部に対し、前記化合物(B)を0.1~2.5質量部含有する、請求項1記載の樹脂組成物。
- 前記無機粒子(G)がさらに無機顔料を含む、請求項1記載の樹脂組成物。
- 前記化合物(B)が、3-トリメトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、3-トリプロポキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、3-トリメトキシシリル-N-(フェニルメチレン)プロピルアミン、3-トリエトキシシリル-N-(フェニルメチレン)プロピルアミン、3-トリプロポキシシリル-N-(フェニルメチレン)プロピルアミン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン及び3-イソシアネートプロピルトリメトキシシランからなる群から選択される少なくとも一種である、請求項1~5のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 前記熱によりアミノ基を生じる官能基が、ウレイド基である、請求項1~6のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 前記バインダー樹脂(C)が酸解離性基を有する、請求項1~7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 請求項1~8のいずれか一項に記載の樹脂組成物の硬化物からなる導電性パターンを具備する配線基板。
- さらに黒色層を有する、請求項9に記載の配線基板。
- 前記導電性パターンの幅が1~6μmである、請求項9または10に記載の配線基板。
- 請求項9~11のいずれか一項に記載の配線基板を有する、タッチパネル。
- 請求項1~8のいずれか一項に記載の樹脂組成物を、基板上に塗布して塗布膜を得る塗布工程と、
前記塗布膜を乾燥して乾燥膜を得る乾燥工程と、
前記乾燥膜を露光して露光膜を得る露光工程と、
前記露光膜を現像してパターンを形成する現像工程と、
前記パターンを加熱して導電膜を得る加熱工程と、
を備える導電性パターンの製造方法。
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