JP7092114B2 - A composition for forming a release layer and a release layer - Google Patents

A composition for forming a release layer and a release layer Download PDF

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Description

本発明は、剥離層形成用組成物及び剥離層に関する。 The present invention relates to a composition for forming a release layer and a release layer.

近年、電子デバイスには曲げるという機能付与や薄型化及び軽量化といった性能が求められている。このことから、従来の重く脆弱で曲げることができないガラス基板に代わって、軽量なフレキシブルプラスチック基板を用いることが求められる。
特に、新世代ディスプレイでは、軽量なフレキシブルプラスチック基板(以下、樹脂基板と表記する)を用いたアクティブマトリクス型フルカラーTFTディスプレイパネルの開発が求められている。この新世代ディスプレイに関する技術は、フレキシブルディスプレイや、フレキシブルスマートフォン、ミラーディスプレイ等の様々な分野への転用が期待されている。
In recent years, electronic devices have been required to have the function of bending and the performance of thinning and weight reduction. For this reason, it is required to use a lightweight flexible plastic substrate instead of the conventional heavy, fragile and inflexible glass substrate.
In particular, in the new generation display, there is a demand for the development of an active matrix type full-color TFT display panel using a lightweight flexible plastic substrate (hereinafter referred to as a resin substrate). The technology related to this new generation display is expected to be diverted to various fields such as flexible displays, flexible smartphones, and mirror displays.

そこで、樹脂フィルムを基板とした電子デバイスの製造方法が各種検討され始めており、新世代ディスプレイでは、既存のTFT設備を転用可能なプロセスで製造検討が進められている。例えば、特許文献1、2及び3では、ガラス基板上にアモルファスシリコン薄膜層を形成し、その薄膜層上にプラスチック基板を形成した後に、ガラス面側からレーザーを照射して、アモルファスシリコンの結晶化に伴い発生する水素ガスによりプラスチック基板をガラス基板から剥離する方法が開示されている。 Therefore, various methods for manufacturing electronic devices using a resin film as a substrate have begun to be studied, and for new-generation displays, manufacturing studies are being carried out by a process in which existing TFT equipment can be diverted. For example, in Patent Documents 1, 2 and 3, an amorphous silicon thin film layer is formed on a glass substrate, a plastic substrate is formed on the thin film layer, and then a laser is irradiated from the glass surface side to crystallize the amorphous silicon. Disclosed is a method of peeling a plastic substrate from a glass substrate by the hydrogen gas generated in the process.

また、特許文献4では、特許文献1~3開示の技術を用いて被剥離層(特許文献4において「被転写層」と記載される)をプラスチックフィルムに貼りつけて液晶表示装置を完成させる方法が開示されている。 Further, in Patent Document 4, a method of attaching a peelable layer (described as “transferred layer” in Patent Document 4) to a plastic film using the techniques disclosed in Patent Documents 1 to 3 to complete a liquid crystal display device. Is disclosed.

しかし、特許文献1~4で開示された方法、特に特許文献4で開示された方法では、レーザー光を透過させるために透光性の高い基板を使用することが必須であること、基板を通過させ、更にアモルファスシリコンに含まれる水素を放出させるのに十分な、比較的大きなエネルギーのレーザー光の照射が必要とされること、レーザー光の照射によって被剥離層に損傷を与えてしまう場合があること、という問題がある。しかも、剥離層が大面積である場合には、レーザー処理に長時間を要するため、デバイス作製の生産性を挙げることが難しい。 However, in the methods disclosed in Patent Documents 1 to 4, in particular, in the method disclosed in Patent Document 4, it is essential to use a highly translucent substrate in order to transmit laser light, and the substrate passes through the substrate. In addition, it is necessary to irradiate a laser beam with a relatively large energy sufficient to release the hydrogen contained in the amorphous silicon, and the irradiation of the laser beam may damage the layer to be peeled off. There is a problem of that. Moreover, when the release layer has a large area, it takes a long time for laser treatment, so that it is difficult to increase the productivity of device fabrication.

特開平10-125929号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125929 特開平10-125931号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125931 国際公開第2005/050754号International Publication No. 2005/050754 特開平10-125930号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125930

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、フレキシブル電子デバイスの樹脂基板に損傷を与えることなく剥離することができる剥離層を形成するための剥離層形成用組成物及び当該剥離層を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a release layer forming composition for forming a release layer that can be peeled without damaging the resin substrate of a flexible electronic device and the release layer. The purpose is to provide.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、樹脂基板の製造において、基体上に形成される剥離層を、特定の構造を有するポリアミック酸、及び有機溶媒を含む剥離層形成用組成物を用いて形成することにより、基体との優れた密着性、及びフレキシブル電子デバイスとして用いられる樹脂基板との適度な密着性と適度な剥離性とを有する剥離層が得られることを見出し、本発明を完成させた。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have made the release layer formed on the substrate a release layer containing a polyamic acid having a specific structure and an organic solvent in the production of a resin substrate. By forming using the forming composition, it is possible to obtain a release layer having excellent adhesion to a substrate, appropriate adhesion to a resin substrate used as a flexible electronic device, and appropriate peelability. Find out and complete the invention.

すなわち、本発明は、
1. 下記式(1)で表される構造単位を含む重量平均分子量5,000以上のポリアミック酸と、有機溶剤とを含有する剥離層形成用組成物、

Figure 0007092114000001
[(式中、X1は、フェニル基又はビフェニル基を表し、Z1は、下記式[Z1]で表される基であり、n1は自然数を表す。)
Figure 0007092114000002
(式[Z1]中、
1は、単結合又は結合基を表し、
2は、単結合、炭素数1~15のアルキレン基若しくは-CH2-CH(OH)-CH2-を表すか、又はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、上記環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、
3は、単結合又は炭素数1~15のアルキレン基を表し、
4は、単結合を表すか、又はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基、又は炭素数17~30のステロイド骨格を有する2価の有機基を表し、上記環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、
5は、ベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、これらの環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、
nは0~4の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一でも異なっていてもよく、
6は、水素原子、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基又は炭素数1~18のフッ化アルコキシ基を表し、
2及びY3におけるアルキレン基、並びに、上記環状基上の置換基又はY6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、直鎖状、枝分かれ状、若しくは環状の何れか又はそれらの組み合わせであってもよく、
またY2及びY3におけるアルキレン基、並びに、Y6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、結合基同士が隣り合わない限り1~3の結合基で中断されていてもよく、
さらにY2、Y4若しくはY5が2価の環状基を表すか、又はY4がステロイド骨格を有する2価の有機基を表すか、又はY2が-CH2-CH(OH)-CH2-を表すか、又はY2若しくはY3がアルキレン基を表すか、又はY6がアルキル基若しくはフッ化アルキル基を表すとき、該2価の環状基、該ステロイド骨格を有する2価の有機基、該-CH2-CH(OH)-CH2-、該アルキレン基、該アルキル基及び該フッ化アルキル基は、それらに隣接する基と結合基を介して結合していてもよく、
そして上記結合基は、-O-、-CH2O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-NHCO-、-NH-CO-O-及び-NH-CO-NH-からなる群から選ばれる基を表し、
但し、Y2~Y6がそれぞれ表すところの単結合、炭素数1~15のアルキレン基、ベンゼン環、シクロヘキサン環、複素環、ステロイド骨格を有する2価の有機基、-CH2-CH(OH)-CH2-、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基及び炭素数1~18のフッ化アルコキシ基の炭素数の合計は6~30である。)]
2. 上記Z1が、下記式[Z2]で表される基である1の剥離層形成用組成物、
Figure 0007092114000003
(式中、Y1は、単結合、-O-又は-NH-を表し、
5は、ベンゼン環及びシクロヘキサン環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、
nは1~3の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一でも異なっていてもよく、
6は、炭素数1~18のアルキル基を表す。)
3. 上記Z1が、下記式[Z3]、[Z4]又は[Z5]で表される基である2の剥離層形成用組成物、
Figure 0007092114000004
(式中、Y6は、互いに独立して、炭素数1~18のアルキル基を表す。)
4. 上記有機溶剤が、式(S1)で表されるアミド類、式(S2)で表されるアミド類及び式(S3)で表されるアミド類から選ばれる少なくとも1つを含む1~3のいずれかの剥離層形成用組成物、
Figure 0007092114000005
(式中、R1及びR2は、互いに独立して、炭素数1~10のアルキル基を表し、R3は、水素原子、又は炭素数1~10のアルキル基を表し、hは、自然数を表す。)
5. 1~4のいずれかの剥離層形成用組成物を用いて形成される剥離層、
6. 1~4のいずれかの剥離層形成用組成物を基体に塗布し、焼成することを含む剥離層の製造方法、
7. 1~4のいずれかの剥離層形成用組成物を基体上に塗布し、焼成して剥離層を形成する工程、
上記剥離層上に、被剥離体を形成する工程、及び
上記被剥離体を、上記剥離層から剥離する工程
を含む被剥離体の製造方法、
8. 5の剥離層を用いることを特徴とする、樹脂基板を備えるフレキシブル電子デバイスの製造方法、
9. 5の剥離層を用いることを特徴とする、樹脂基板を備えるタッチパネルセンサーの製造方法、
10. 上記樹脂基板が、ポリイミド樹脂基板である7又は8の製造方法、
11. フレキシブル電子デバイスに適用される積層体であって、
基体と、
上記基体上に形成される剥離層と、
上記剥離層上に形成される樹脂基板と
を有し、上記剥離層が1~4のいずれかの剥離層形成用組成物により形成され、かつ、上記樹脂基板と上記剥離層との密着力が、上記剥離層と上記基体との密着力より大きいことを特徴とする積層体
を提供する。That is, the present invention
1. 1. A composition for forming a release layer containing a polyamic acid having a weight average molecular weight of 5,000 or more including a structural unit represented by the following formula (1) and an organic solvent.
Figure 0007092114000001
[(In the formula, X 1 represents a phenyl group or a biphenyl group, Z 1 is a group represented by the following formula [Z 1], and n 1 represents a natural number.)
Figure 0007092114000002
(In the formula [Z1],
Y 1 represents a single bond or a binding group
Y 2 represents a single bond, an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms or -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , or a divalent group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocycle. Representing a cyclic group, any hydrogen atom on the cyclic group is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, and 1 to 3 carbon atoms. May be substituted with a fluorinated alkoxy group or a fluorine atom of
Y 3 represents a single bond or an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
Y 4 represents a single bond or a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocycle, or a divalent organic group having a steroid skeleton having 17 to 30 carbon atoms. Any hydrogen atom on the cyclic group is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, and an alkoxy fluoride group having 1 to 3 carbon atoms. Alternatively, it may be substituted with a fluorine atom.
Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocycle, and any hydrogen atom on these cyclic groups is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and 1 carbon atom. It may be substituted with an alkoxy group having 3 to 3, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, or a fluorine atom.
n represents an integer from 0 to 4, and when n is 2 or more, Y 5 may be the same or different.
Y 6 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms.
The alkylene group in Y 2 and Y 3 and the substituent on the cyclic group or the alkyl group, fluorinated alkyl group, alkoxy group and fluorine-containing alkoxy group in Y 6 are linear, branched or cyclic. Or a combination thereof,
Further, the alkylene group in Y 2 and Y 3 and the alkyl group, fluorinated alkyl group, alkoxy group and fluorine-containing alkoxy group in Y 6 are interrupted by 1 to 3 bonding groups unless the bonding groups are adjacent to each other. May,
Further, Y 2 , Y 4 or Y 5 represents a divalent cyclic group, Y 4 represents a divalent organic group having a steroid skeleton, or Y 2 represents -CH 2 -CH (OH) -CH. When 2 -represents, or Y 2 or Y 3 represents an alkylene group, or Y 6 represents an alkyl group or a fluorinated alkyl group, the divalent cyclic group, a divalent organic having the steroid skeleton. The group, the -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , the alkylene group, the alkyl group and the fluoride alkyl group may be bonded to a group adjacent to them via a bonding group.
The binding group consists of -O-, -CH 2 O-, -COO-, -OCO-, -NH-, -NHCO-, -NH-CO-O- and -NH-CO-NH-. Represents a group selected from
However, a single bond represented by Y 2 to Y 6 , an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, a benzene ring, a cyclohexane ring, a heterocycle, a divalent organic group having a steroid skeleton, and -CH 2 -CH (OH). ) -CH 2- , the total number of carbon atoms of the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms and the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms. Is 6 to 30. )]
2. 2. The composition for forming a release layer of 1, wherein Z 1 is a group represented by the following formula [Z 2].
Figure 0007092114000003
(In the equation, Y 1 represents a single bond, -O- or -NH-, and represents.
Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring and a cyclohexane ring.
n represents an integer of 1 to 3, and when n is 2 or more, Y 5 may be the same or different.
Y 6 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms. )
3. 3. The composition for forming a release layer of 2, wherein Z 1 is a group represented by the following formula [Z3], [Z4] or [Z5].
Figure 0007092114000004
(In the formula, Y 6 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms independently of each other.)
4. Any of 1 to 3 in which the organic solvent contains at least one selected from amides represented by the formula (S1), amides represented by the formula (S2) and amides represented by the formula (S3). Composition for forming a release layer,
Figure 0007092114000005
(In the formula, R 1 and R 2 represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms independently of each other, R 3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and h is a natural number. Represents.)
5. A peeling layer formed by using the composition for forming a peeling layer according to any one of 1 to 4.
6. A method for producing a release layer, which comprises applying the composition for forming a release layer according to any one of 1 to 4 to a substrate and firing the composition.
7. A step of applying the composition for forming a release layer according to any one of 1 to 4 onto a substrate and firing it to form a release layer.
A method for producing a stripped body, which comprises a step of forming a stripped body on the peeled layer and a step of peeling the stripped body from the peeled layer.
8. A method for manufacturing a flexible electronic device including a resin substrate, which comprises using the release layer of 5.
9. A method for manufacturing a touch panel sensor including a resin substrate, which comprises using the release layer of 5.
10. The method for manufacturing 7 or 8 in which the resin substrate is a polyimide resin substrate,
11. A laminate applied to flexible electronic devices,
With the substrate
The peeling layer formed on the substrate and
It has a resin substrate formed on the peeling layer, the peeling layer is formed by any of the peeling layer forming compositions 1 to 4, and the adhesive force between the resin substrate and the peeling layer is strong. Provided is a laminate characterized by having a greater adhesion between the release layer and the substrate.

本発明の剥離層形成用組成物を用いることで、基体との優れた密着性及び樹脂基板との適度な密着性と適度な剥離性を有する剥離層を再現性よく得ることができる。本発明の剥離層形成用組成物を用いることで、フレキシブル電子デバイスの製造プロセスにおいて、基体上に形成された樹脂基板や、更にその上に設けられる回路等に損傷を与えることなく、当該回路等とともに当該樹脂基板を、当該基体から分離することが可能となる。したがって、本発明の剥離層形成用組成物は、樹脂基板を備えるフレキシブル電子デバイスの製造プロセスの簡便化やその歩留り向上等に寄与し得る。 By using the composition for forming a release layer of the present invention, it is possible to obtain a release layer having excellent adhesion to a substrate, appropriate adhesion to a resin substrate, and appropriate peelability with good reproducibility. By using the composition for forming a release layer of the present invention, in the manufacturing process of a flexible electronic device, the circuit or the like can be used without damaging the resin substrate formed on the substrate or the circuit or the like provided on the substrate. At the same time, the resin substrate can be separated from the substrate. Therefore, the composition for forming a release layer of the present invention can contribute to the simplification of the manufacturing process of the flexible electronic device provided with the resin substrate and the improvement of the yield thereof.

以下、本発明について、より詳細に説明する。
本発明の剥離層形成用組成物は、下記式(1)で表される構造単位を含む重量平均分子量5,000以上のポリアミック酸と、有機溶剤とを含むものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
The composition for forming a release layer of the present invention contains a polyamic acid having a weight average molecular weight of 5,000 or more including a structural unit represented by the following formula (1) and an organic solvent.

Figure 0007092114000006
Figure 0007092114000006

上記式(1)において、X1は、フェニル基又はビフェニル基を表し、Z1は、下記式[Z1]で表される基を表し、n1は自然数を表す。In the above formula (1), X 1 represents a phenyl group or a biphenyl group, Z 1 represents a group represented by the following formula [Z 1], and n 1 represents a natural number.

Figure 0007092114000007
Figure 0007092114000007

上記式[Z1]において、Y1は単結合又は結合基を表し、Y2は単結合、炭素数1~15のアルキレン基若しくは-CH2-CH(OH)-CH2-を表すか、又はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、上記環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、Y3は単結合又は炭素数1~15のアルキレン基を表し、Y4は単結合を表すか、又はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基、又は炭素数17~30であってステロイド骨格を有する2価の有機基を表し、上記環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、Y5はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、これらの環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよく、nは0~4の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一でも異なっていてもよく、Y6は水素原子、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基又は炭素数1~18のフッ化アルコキシ基を表し、Y2及びY3におけるアルキレン基、並びに、上記環状基上の置換基又はY6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、直鎖状、枝分かれ状、若しくは環状の何れか又はそれらの組み合わせであってもよく、またY2及びY3におけるアルキレン基、並びに、Y6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、結合基同士が隣り合わない限り1~3の結合基で中断されていてもよく、さらにY2、Y4若しくはY5が2価の環状基を表すか、又はY4がステロイド骨格を有する2価の有機基を表すか、又はY2が-CH2-CH(OH)-CH2-を表すか、又はY2若しくはY3がアルキレン基を表すか、又はY6がアルキル基若しくはフッ化アルキル基を表すとき、該2価の環状基、該ステロイド骨格を有する2価の有機基、該-CH2-CH(OH)-CH2-、該アルキレン基、該アルキル基及び該フッ化アルキル基は、それらに隣接する基と結合基を介して結合していてもよく、そして上記結合基は、-O-、-CH2O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-NHCO-、-NH-CO-O-及び-NH-CO-NH-からなる群から選ばれる基を表し、但し、Y2~Y6がそれぞれ表すところの単結合、炭素数1~15のアルキレン基、ベンゼン環、シクロヘキサン環、複素環、ステロイド骨格を有する2価の有機基、-CH2-CH(OH)-CH2-、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基及び炭素数1~18のフッ化アルコキシ基の炭素数の合計は6~30である。In the above formula [Z1], Y 1 represents a single bond or a linking group, and Y 2 represents a single bond, an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms or -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , or. Represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocyclic ring, and any hydrogen atom on the cyclic group is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms. , May be substituted with an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms or a fluorine atom, and Y 3 represents a single bond or an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms. Y 4 represents a single bond or a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocycle, or a divalent organic group having 17 to 30 carbon atoms and having a steroid skeleton. , The arbitrary hydrogen atom on the cyclic group is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, and an alkoxy fluoride having 1 to 3 carbon atoms. It may be substituted with a group or a fluorine atom, and Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocyclic ring, and any hydrogen atom on these cyclic groups is carbon. It may be substituted with an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms or a fluorine atom. Represents an integer of 0 to 4, and when n is 2 or more, Y 5 may be the same or different, and Y 6 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, and a hook having 1 to 18 carbon atoms. Represents an alkyl group, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms or a fluorinated alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, an alkylene group in Y 2 and Y 3 , and a substituent on the cyclic group or an alkyl group in Y 6 . , The alkyl fluoride group, the alkoxy group and the fluorine-containing alkoxy group may be linear, branched or cyclic or a combination thereof, and the alkylene group in Y 2 and Y 3 and Y. The alkyl group, fluorinated alkyl group, alkoxy group and fluorine-containing alkoxy group in 6 may be interrupted by 1 to 3 bonding groups as long as the bonding groups are not adjacent to each other, and further Y 2 , Y 4 or Y 5 Represents a divalent cyclic group, Y 4 represents a divalent organic group having a steroid skeleton, Y 2 represents -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , or Y 2 Or Y 3 Representing an alkylene group, or when Y 6 represents an alkyl group or an alkyl fluoride group, the divalent cyclic group, the divalent organic group having the steroid skeleton, the -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , The alkylene group, the alkyl group and the fluoride alkyl group may be attached to a group adjacent to them via a binding group, and the binding group is -O-, -CH 2 O. Represents a group selected from the group consisting of-, -COO-, -OCO-, -NH-, -NHCO-, -NH-CO-O- and -NH-CO-NH-, but Y 2 to Y 6 Represents a single bond, an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, a benzene ring, a cyclohexane ring, a heterocycle, a divalent organic group having a steroid skeleton, -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , carbon. The total number of carbon atoms of the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the fluoroalkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms and the fluoroalkoxy group having 1 to 18 carbon atoms is 6 to 30.

ここで、本発明において、剥離層とは、樹脂基板が形成される基体(ガラス基体等)直上に設けられる層である。その典型例としては、フレキシブル電子デバイスの製造プロセスにおいて、上記基体と、ポリイミド樹脂やアクリル樹脂等の樹脂からなるフレキシブル電子デバイスの樹脂基板との間に当該樹脂基板を所定のプロセス中において固定するために設けられ、かつ、当該樹脂基板上に電子回路等の形成した後において当該樹脂基板が当該基体から容易に剥離できるようにするために設けられる剥離層が挙げられる。 Here, in the present invention, the release layer is a layer provided directly above a substrate (glass substrate or the like) on which a resin substrate is formed. As a typical example, in the manufacturing process of a flexible electronic device, the resin substrate is fixed between the substrate and the resin substrate of the flexible electronic device made of a resin such as a polyimide resin or an acrylic resin in a predetermined process. In addition, there is a release layer provided on the resin substrate so that the resin substrate can be easily peeled off from the substrate after the electronic circuit or the like is formed on the resin substrate.

本発明で用いるポリアミック酸は、上記の構造を有する限り特に限定されるものではないが、下記特定の構造を有するジアミンを含むジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とを反応させることで得ることができるものである。即ち、ここで得られるポリアミック酸は、側鎖にZ1を有するものである。The polyamic acid used in the present invention is not particularly limited as long as it has the above structure, but can be obtained by reacting a diamine component containing a diamine having the following specific structure with a tetracarboxylic acid dianhydride component. Can be done. That is, the polyamic acid obtained here has Z 1 in the side chain.

本発明において、上記Z1は、下記式[Z1]で表される基を指す。In the present invention, the above Z 1 refers to a group represented by the following formula [Z 1].

Figure 0007092114000008
Figure 0007092114000008

式[Z1]中、Y1は単結合又は結合基を表す。上記結合基は、-O-、-CH2O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-NHCO-、-NH-CO-O-及び-NH-CO-NH-からなる群から選ばれる基を表す。In formula [Z1], Y 1 represents a single bond or a binding group. The binding group consists of a group consisting of -O-, -CH 2 O-, -COO-, -OCO-, -NH-, -NHCO-, -NH-CO-O- and -NH-CO-NH-. Represents the group chosen.

式[Z1]中、Y2は単結合、炭素数1~15のアルキレン基又は-CH2-CH(OH)-CH2-を表す。
また、上記Y2としては、ベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基が挙げられ、これら環状基上の任意の水素原子は、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよい。
In the formula [Z1], Y 2 represents a single bond, an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms or -CH 2 -CH (OH) -CH 2- .
Examples of Y 2 include a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocyclic ring, and any hydrogen atom on these cyclic groups is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. , It may be substituted with an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms or a fluorine atom.

上記炭素数1~15のアルキレン基としては、後述する炭素数1~18のアルキル基のうち炭素数1~15のアルキル基から水素原子を1つ除去した2価の基が挙げられ、その具体例としては、メチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン、ヘキサメチレン、ヘプタメチレン、オクタメチレン基等が挙げられる。 Examples of the alkylene group having 1 to 15 carbon atoms include a divalent group obtained by removing one hydrogen atom from the alkyl group having 1 to 15 carbon atoms among the alkyl groups having 1 to 18 carbon atoms, which will be described later. Examples include methylene, ethylene, propylene, trimethylene, tetramethylene, pentamethylene, hexamethylene, heptamethylene, octamethylene groups and the like.

上記複素環の具体例としては、ピロール環、イミダゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピラゾール環、ピリジン環、ピリミジン環、キノリン環、ピラゾリン環、イソキノリン環、カルバゾール環、プリン環、チアジアゾール環、ピリダジン環、ピラゾリン環、トリアジン環、ピラゾリジン環、トリアゾール環、ピラジン環、ベンズイミダゾール環、シンノリン環、フェナントロリン環、インドール環、キノキサリン環、ベンゾチアゾール環、フェノチアジン環、オキサジアゾール環、アクリジン環等が挙げられ、より好ましいのは、ピロール環、イミダゾール環、ピラゾール環、ピリジン環、ピリミジン環、ピラゾリン環、カルバゾール環、ピリダジン環、ピラゾリン環、トリアジン環、ピラゾリジン環、トリアゾール環、ピラジン環、ベンズイミダゾール環が好ましい。 Specific examples of the above heterocycle include a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxazole ring, a thiazole ring, a pyrazole ring, a pyridine ring, a pyrimidine ring, a quinoline ring, a pyrazoline ring, an isoquinolin ring, a carbazole ring, a purine ring, a thiadiazole ring, and a pyridazine ring. , Pyrazoline ring, triazine ring, pyrazolidine ring, triazole ring, pyrazine ring, benzimidazole ring, cinnoline ring, phenanthroline ring, indole ring, quinoxalin ring, benzothiazole ring, phenothiazine ring, oxadiazole ring, acrydin ring and the like. More preferably, a pyrrole ring, an imidazole ring, a pyrazole ring, a pyridine ring, a pyrimidine ring, a pyrazoline ring, a carbazole ring, a pyridazine ring, a pyrazoline ring, a triazine ring, a pyrazolidine ring, a triazole ring, a pyrazine ring, and a benzimidazole ring are preferable. ..

上記炭素数1~3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基が挙げられ、上記炭素数1~3のアルコキシ基としては、上記炭素数1~3のアルキル基の具体例として挙げた基に酸素原子-O-が結合した基を挙げることができる。また、上記炭素数1~3のフッ化アルキル基及び炭素数1~3のフッ化アルコキシ基としては、上記炭素数1~3のアルキル基及び炭素数1~3のアルコキシ基のうち任意の水素原子がフッ素原子で置換された基を挙げることができる。 Examples of the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group and a cyclopropyl group, and examples of the alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms include the above 1 to 1 carbon atoms. As a specific example of the alkyl group of No. 3, a group in which an oxygen atom —O— is bonded to the group mentioned can be mentioned. Further, as the fluorinated alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and the fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, any hydrogen among the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and the alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is used. A group in which the atom is replaced with a fluorine atom can be mentioned.

上記のベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基のなかでは、合成の容易さの点から、ベンゼン環及びシクロへキサン環から選ばれる2価の環状基が好ましい。 Among the divalent cyclic groups selected from the group consisting of the benzene ring, the cyclohexane ring and the heterocycle, the divalent cyclic group selected from the benzene ring and the cyclohexane ring is preferable from the viewpoint of easiness of synthesis. ..

上記式[Z1]中、Y3は単結合又は炭素数1~15のアルキレン基を表す。上記炭素数1~15のアルキレン基としては、上記で挙げたものと同様のものを挙げることができる。In the above formula [Z1], Y 3 represents a single bond or an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms. Examples of the alkylene group having 1 to 15 carbon atoms include the same groups as those mentioned above.

上記式[Z1]中、Y4は単結合を表すか、又はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、これら環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよい。上記複素環並びに置換基として挙げたアルキル基等は、前述のY2で挙げたものと同様のものが挙げられる。In the above formula [Z1], Y 4 represents a single bond or a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocyclic ring, and any hydrogen atom on these cyclic groups can be used. It may be substituted with an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms or a fluorine atom. Examples of the above-mentioned heterocycle and the alkyl group mentioned as the substituent include the same ones mentioned in the above-mentioned Y 2 .

さらに、上記Y4として、炭素数17~30であってステロイド骨格を有する2価の有機基であってもよい。その好ましい例は、コレステリル、アンドロステリル、β-コレステリル、エピアンドロステリル、エゴステリル、エストリル、11α-ヒドロキシメチルステリル、11α-プロゲステリル、ラノステリル、メストラニル、メチルテストロステリル、ノレチステリル、プレグレノロニル、β-シトステリル、スチグマステリル、テストステリル、及び酢酸コレステロ-ルエステル等から選ばれる構造から水素原子を2個取り去った構造を有する2価の有機基である。より具体的には、例えば、下記に示される2価の有機基を挙げることができる。 Further, the above Y 4 may be a divalent organic group having 17 to 30 carbon atoms and having a steroid skeleton. Preferred examples are cholesteryl, androsteryl , β-cholesteryl, epiandrosteryl, ergosteryl, estril, 11α-hydroxymethylsteryl, 11α-progesteryl, lanosteryl, mestranol, methyltestrosteryl, noretisteryl, pregrenolonyl, β-. It is a divalent organic group having a structure in which two hydrogen atoms are removed from a structure selected from citosteryl, stigmasteryl, teststeryl, acetate cholesterol ester and the like. More specifically, for example, the divalent organic group shown below can be mentioned.

Figure 0007092114000009
(式中、*は結合位置を表す。)
Figure 0007092114000009
(In the formula, * represents the bond position.)

これらのなかでも、合成の容易さの点から、上記Y4はベンゼン環及びシクロへキサン環から選ばれる2価の環状基、並びに炭素数17~30であってステロイド骨格を有する2価の有機基であることが好ましい。Among these, from the viewpoint of ease of synthesis, the above Y 4 is a divalent cyclic group selected from a benzene ring and a cyclohexane ring, and a divalent organic having 17 to 30 carbon atoms and a steroid skeleton. It is preferably a group.

式[Z1]中、Y5はベンゼン環、シクロヘキサン環及び複素環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、これらの環状基上の任意の水素原子が、炭素数1~3のアルキル基、炭素数1~3のアルコキシ基、炭素数1~3のフッ化アルキル基、炭素数1~3のフッ化アルコキシ基又はフッ素原子で置換されていてもよい。これらのなかでも、Y5はベンゼン環及びシクロへキサン環から選ばれる2価の環状基であることが好ましい。上記複素環並びに置換基として挙げたアルキル基等は、前述のY4で挙げたものと同様のものが挙げられる。In the formula [Z1], Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring, a cyclohexane ring and a heterocycle, and any hydrogen atom on these cyclic groups is an alkyl having 1 to 3 carbon atoms. It may be substituted with a group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, an alkyl fluoride group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms or a fluorine atom. Among these, Y 5 is preferably a divalent cyclic group selected from a benzene ring and a cyclohexane ring. Examples of the above-mentioned heterocycle and the alkyl group mentioned as the substituent include the same ones mentioned in the above - mentioned Y4.

式[Z1]中、nは0~4の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一の基であっても異なる基であってもよい。なかでも、原料の入手性や合成の容易さの点から、nは1~3が好ましく、2~3がより好ましい。In the formula [Z1], n represents an integer of 0 to 4, and when n is 2 or more, Y 5 may be the same group or different groups. Among them, n is preferably 1 to 3 and more preferably 2 to 3 from the viewpoint of availability of raw materials and ease of synthesis.

式[Z1]中、Y6は水素原子、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基又は炭素数1~18のフッ化アルコキシ基を表す。
なかでも、上記Y6は炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~10のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基及び炭素数1~10のフッ化アルコキシ基であることが好ましい。より好ましくは、Y6は炭素数1~12のアルキル基及び炭素数1~12のアルコキシ基である。特に好ましくは、Y6は炭素数1~9のアルキル基及び炭素数1~9のアルコキシ基である。
なお、Y4がステロイド骨格を有する2価の有機基である場合は、Y6は水素原子が好ましい。
In the formula [Z1], Y 6 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms. Represents a group.
Among them, Y 6 may be an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms, and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms. preferable. More preferably, Y 6 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. Particularly preferably, Y 6 is an alkyl group having 1 to 9 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 9 carbon atoms.
When Y 4 is a divalent organic group having a steroid skeleton, Y 6 is preferably a hydrogen atom.

上記式[Z1]中の定義において挙げたアルキレン基、アルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、直鎖状、枝分かれ状、若しくは環状の何れか又はそれらの組み合わせであってもよい。 The alkylene group, alkyl group, fluorinated alkyl group, alkoxy group and fluorine-containing alkoxy group mentioned in the definition in the above formula [Z1] are linear, branched, cyclic, or a combination thereof. May be good.

炭素数1~18のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、1-メチル-n-ブチル基、2-メチル-n-ブチル基、3-メチル-n-ブチル基、1,1-ジメチル-n-プロピル基、1,2-ジメチル-n-プロピル基、2,2-ジメチル-n-プロピル基、1-エチル-n-プロピル基、n-ヘキシル基、1-メチル-n-ペンチル基、2-メチル-n-ペンチル基、3-メチル-n-ペンチル基、4-メチル-n-ペンチル基、1,1-ジメチル-n-ブチル基、1,2-ジメチル-n-ブチル基、1,3-ジメチル-n-ブチル基、2,2-ジメチル-n-ブチル基、2,3-ジメチル-n-ブチル基、3,3-ジメチル-n-ブチル基、1-エチル-n-ブチル基、2-エチル-n-ブチル基、1,1,2-トリメチル-n-プロピル基、1,2,2-トリメチル-n-プロピル基、1-エチル-1-メチル-n-プロピル基、1-エチル-2-メチル-n-プロピル基、n-ヘプチル基、1-メチル-n-ヘキシル基、2-メチル-n-ヘキシル基、3-メチル-n-ヘキシル基、1,1-ジメチル-n-ペンチル基、1,2-ジメチル-n-ペンチル基、1,3-ジメチル-n-ペンチル基、2,2-ジメチル-n-ペンチル基、2,3-ジメチル-n-ペンチル基、3,3-ジメチル-n-ペンチル基、1-エチル-n-ペンチル基、2-エチル-n-ペンチル基、3-エチル-n-ペンチル基、1-メチル-1-エチル-n-ブチル基、1-メチル-2-エチル-n-ブチル基、1-エチル-2-メチル-n-ブチル基、2-メチル-2-エチル-n-ブチル基、2-エチル-3-メチル-n-ブチル基、n-オクチル基、1-メチル-n-ヘプチル基、2-メチル-n-ヘプチル基、3-メチル-n-ヘプチル基、1,1-ジメチル-n-ヘキシル基、1,2-ジメチル-n-ヘキシル基、1,3-ジメチル-n-ヘキシル基、2,2-ジメチル-n-ヘキシル基、2,3-ジメチル-n-ヘキシル基、3,3-ジメチル-n-ヘキシル基、1-エチル-n-ヘキシル基、2-エチル-n-ヘキシル基、3-エチル-n-ヘキシル基、1-メチル-1-エチル-n-ペンチル基、1-メチル-2-エチル-n-ペンチル基、1-メチル-3-エチル-n-ペンチル基、2-メチル-2-エチル-n-ペンチル基、2-メチル-3-エチル-n-ペンチル基、3-メチル-3-エチル-n-ペンチル基、n-ノニル基、n-デシル基、n-ウンデシル基、n-ドデシル基、n-トリデシル基、n-テトラデシル基、n-ペンタデシル基等が挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, and an n-pentyl group. 1-Methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2-dimethyl-n-propyl group, 2 , 2-Dimethyl-n-propyl group, 1-ethyl-n-propyl group, n-hexyl group, 1-methyl-n-pentyl group, 2-methyl-n-pentyl group, 3-methyl-n-pentyl group , 4-Methyl-n-pentyl group, 1,1-dimethyl-n-butyl group, 1,2-dimethyl-n-butyl group, 1,3-dimethyl-n-butyl group, 2,2-dimethyl-n -Butyl group, 2,3-dimethyl-n-butyl group, 3,3-dimethyl-n-butyl group, 1-ethyl-n-butyl group, 2-ethyl-n-butyl group, 1,1,2- Trimethyl-n-propyl group, 1,2,2-trimethyl-n-propyl group, 1-ethyl-1-methyl-n-propyl group, 1-ethyl-2-methyl-n-propyl group, n-heptyl group , 1-Methyl-n-hexyl group, 2-methyl-n-hexyl group, 3-methyl-n-hexyl group, 1,1-dimethyl-n-pentyl group, 1,2-dimethyl-n-pentyl group, 1,3-dimethyl-n-pentyl group, 2,2-dimethyl-n-pentyl group, 2,3-dimethyl-n-pentyl group, 3,3-dimethyl-n-pentyl group, 1-ethyl-n- Pentyl group, 2-ethyl-n-pentyl group, 3-ethyl-n-pentyl group, 1-methyl-1-ethyl-n-butyl group, 1-methyl-2-ethyl-n-butyl group, 1-ethyl -2-Methyl-n-butyl group, 2-methyl-2-ethyl-n-butyl group, 2-ethyl-3-methyl-n-butyl group, n-octyl group, 1-methyl-n-heptyl group, 2-Methyl-n-heptyl group, 3-methyl-n-heptyl group, 1,1-dimethyl-n-hexyl group, 1,2-dimethyl-n-hexyl group, 1,3-dimethyl-n-hexyl group , 2,2-Dimethyl-n-hexyl group, 2,3-dimethyl-n-hexyl group, 3,3-dimethyl-n-hexyl group, 1-ethyl-n-hexyl group, 2-ethyl-n-hexyl Group, 3-ethyl-n-hexyl group, 1-methyl-1-ethyl-n-pentyl group, 1-methyl-2-ethyl-n-pentyl group, 1-methyl-3-ethyl-n-pentyl Group, 2-methyl-2-ethyl-n-pentyl group, 2-methyl-3-ethyl-n-pentyl group, 3-methyl-3-ethyl-n-pentyl group, n-nonyl group, n-decyl group , N-undecyl group, n-dodecyl group, n-tridecyl group, n-tetradecyl group, n-pentadecyl group and the like.

炭素数1~18のアルコキシ基としては、上記炭素数1~18のアルキル基に酸素原子(-O-)が結合した基を挙げることができる。その具体例としては、メトキシ、エトキシ、n-プロポキシ、i-プロポキシ、c-プロポキシ、n-ブトキシ、i-ブトキシ、s-ブトキシ、t-ブトキシ、c-ブトキシ、n-ペントキシ、c-ペントキシ、n-ヘキソキシ、n-デシルオキシ、n-ペンタデシルオキシ、n-オクタデシルオキシ基等が挙げられる。 Examples of the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms include a group in which an oxygen atom (—O—) is bonded to the above-mentioned alkyl group having 1 to 18 carbon atoms. Specific examples thereof include methoxy, ethoxy, n-propoxy, i-propoxy, c-propoxy, n-butoxy, i-butoxy, s-butoxy, t-butoxy, c-butoxy, n-pentoxy, c-pentoxy, Examples thereof include n-hexoxy, n-decyloxy, n-pentadecyloxy, n-octadecyloxy group and the like.

炭素数1~18のフッ化アルキル基としては、上記アルキル基における少なくとも1つの水素原子をフッ素原子で置換した基が挙げられる。その具体例としては、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、2,2,2-トリフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル、2,2,2-トリフルオロ-1-(トリフルオロメチル)エチル、ノナフルオロブチル、4,4,4-トリフルオロブチル、ウンデカフルオロペンチル、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフルオロペンチル、トリデカフルオロヘキシル、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,6-ウンデカフルオロヘキシル、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-デカフルオロヘキシル、3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシル等が挙げられる。 Examples of the fluoroalkyl group having 1 to 18 carbon atoms include a group in which at least one hydrogen atom in the above alkyl group is replaced with a fluorine atom. Specific examples thereof include fluoromethyl, difluoromethyl, trifluoromethyl, pentafluoroethyl, 2,2,2-trifluoroethyl, heptafluoropropyl, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl, 2, 2,3,3-Tetrafluoropropyl, 2,2,2-trifluoro-1- (trifluoromethyl) ethyl, nonafluorobutyl, 4,4,4-trifluorobutyl, undecafluoropentyl, 2,2 , 3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl, 2,2,3,3,4,5,5-octafluoropentyl, tridecafluorohexyl, 2,2,3 3,4,4,5,5,6,6-Undecafluorohexyl, 2,2,3,3,4,5,5,6,6-decafluorohexyl, 3,3,4 , 4, 5, 5, 6, 6, 6-nonafluorohexyl and the like.

炭素数1~18のフッ化アルコキシ基としては、上記炭素数1~18のフッ化アルキル基に酸素原子(-O-)が結合した基が挙げられる。その具体例としては、フルオロメトキシ、ジフルオロメトキシ、トリフルオロメトキシ、ペンタフルオロエトキシ、2,2,2-トリフルオロエトキシ、ヘプタフルオロプロポキシ、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロポキシ、2,2,3,3-テトラフルオロプロポキシ、2,2,2-トリフルオロ-1-(トリフルオロメチル)エトキシ、ノナフルオロブトキシ、4,4,4-トリフルオロブトキシ、ウンデカフルオロペンチルオキシ、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチルオキシ、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフルオロペンチルオキシ、トリデカフルオロヘキシルオキシ、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,6-ウンデカフルオロヘキシルオキシ、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-デカフルオロヘキシルオキシ、3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシルオキシ基等が挙げられる。 Examples of the fluoroalkoxy group having 1 to 18 carbon atoms include a group in which an oxygen atom (—O—) is bonded to the above-mentioned alkyl fluoride group having 1 to 18 carbon atoms. Specific examples thereof include fluoromethoxy, difluoromethoxy, trifluoromethoxy, pentafluoroethoxy, 2,2,2-trifluoroethoxy, heptafluoropropoxy, 2,2,3,3,3-pentafluoropropoxy, 2, 2,3,3-Tetrafluoropropoxy, 2,2,2-trifluoro-1- (trifluoromethyl) ethoxy, nonafluorobutoxy, 4,4,4-trifluorobutoxy, undecafluoropentyloxy, 2, 2,3,3,4,4,5,5-Nonafluoropentyloxy, 2,2,3,3,4,5,5-octafluoropentyloxy, tridecafluorohexyloxy, 2, 2,3,3,4,4,5,5,6,6-Undecafluorohexyloxy, 2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-decafluorohexyloxy , 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyloxy group and the like.

上記Y2及びY3におけるアルキレン基、並びに、上記環状基上の置換基又はY6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、直鎖状、枝分かれ状、若しくは環状の何れか又はそれらの組み合わせであってもよい。
また、Y2及びY3におけるアルキレン基、並びに、Y6におけるアルキル基、フッ化アルキル基、アルコキシ基及びフッ素含有アルコキシ基は、結合基同士が隣り合わない限り1~3の結合基で中断されていてもよい。
The alkylene group in Y 2 and Y 3 and the substituent on the cyclic group or the alkyl group, fluorinated alkyl group, alkoxy group and fluorine-containing alkoxy group in Y 6 are linear, branched or cyclic. It may be any or a combination thereof.
Further, the alkylene group in Y 2 and Y 3 and the alkyl group, the fluoroalkyl group, the alkoxy group and the fluorine-containing alkoxy group in Y 6 are interrupted by 1 to 3 bonding groups unless the bonding groups are adjacent to each other. May be.

さらに、Y2、Y4若しくはY5が2価の環状基を表すか、又はY4がステロイド骨格を有する2価の有機基を表すか、又はY2が-CH2-CH(OH)-CH2-を表すか、又はY2若しくはY3がアルキレン基を表すか、又はY6がアルキル基若しくはフッ化アルキル基を表すとき、該2価の環状基、該ステロイド骨格を有する2価の有機基、該-CH2-CH(OH)-CH2-、該アルキレン基、該アルキル基及び該フッ化アルキル基は、それらに隣接する基と結合基を介して結合していてもよい。
また上記結合基は、-O-、-CH2O-、-COO-、-OCO-、-NHCO-、-NH-CO-O-及び-NH-CO-NH-からなる群から選ばれる基を表す。
Further, Y 2 , Y 4 or Y 5 represents a divalent cyclic group, Y 4 represents a divalent organic group having a steroid skeleton, or Y 2 represents -CH 2 -CH (OH)-. When CH 2 -represents, or Y 2 or Y 3 represents an alkylene group, or Y 6 represents an alkyl group or a fluorinated alkyl group, the divalent cyclic group, the divalent having the steroid skeleton. The organic group, the -CH 2 -CH (OH) -CH 2- , the alkylene group, the alkyl group and the fluoride alkyl group may be bonded to a group adjacent to them via a bonding group.
The binding group is a group selected from the group consisting of -O-, -CH 2 O-, -COO-, -OCO-, -NHCO-, -NH-CO-O- and -NH-CO-NH-. Represents.

なお、Y2~Y6がそれぞれ表すところの単結合、炭素数1~15のアルキレン基、ベンゼン環、シクロヘキサン環、複素環、ステロイド骨格を有する2価の有機基、-CH2-CH(OH)-CH2-、炭素数1~18のアルキル基、炭素数1~18のフッ化アルキル基、炭素数1~18のアルコキシ基及び炭素数1~18のフッ化アルコキシ基の炭素数の合計は6~30であり、例えば6~20である。
これらのうち、剥離性等の特性を考慮すると、上記Z1は、炭素数7~18のアルキル基を含む基であることが好ましく、炭素数8~15のアルキル基を含む基であることがより好ましい。
In addition, a single bond represented by Y 2 to Y 6 , an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, a benzene ring, a cyclohexane ring, a heterocycle, a divalent organic group having a steroid skeleton, and -CH 2 -CH (OH). ) -CH 2- , the total number of carbon atoms of the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms and the alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms. Is 6 to 30, for example 6 to 20.
Of these, in consideration of properties such as peelability, Z 1 is preferably a group containing an alkyl group having 7 to 18 carbon atoms, and preferably a group containing an alkyl group having 8 to 15 carbon atoms. More preferred.

上記Z1の好ましい態様としては、例えば、炭素数6~20程度の炭化水素基が挙げられる。炭素数6~20の炭化水素基としては、直鎖状、枝分かれ状若しくは環状の炭素数6~20のアルキル基又は芳香族基を含む炭素数6~20の炭化水素基が挙げられる。Preferred embodiments of Z 1 include, for example, a hydrocarbon group having about 6 to 20 carbon atoms. Examples of the hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms include a linear, branched or cyclic alkyl group having 6 to 20 carbon atoms or a hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms including an aromatic group.

上記Z1のより好ましい態様としては、例えば、上記Y1、Y2及びY4が単結合であり、Y3が単結合又は炭素数1~15のアルキレン基であり、nが0であり、Y6が炭素数1~18のアルキル基であり、Y3とY6の炭素数の合計が6~20であるアルキル基が挙げられる。このようなアルキル基としては、前述のアルキル基のうち、炭素数の合計が6~20であるアルキル基(a-1)が挙げられる。In a more preferable embodiment of Z 1 , for example, Y 1 , Y 2 and Y 4 are single bonds, Y 3 is a single bond or an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, and n is 0. Examples thereof include an alkyl group in which Y 6 has 1 to 18 carbon atoms and Y 3 and Y 6 have a total carbon number of 6 to 20. Examples of such an alkyl group include an alkyl group (a-1) having a total carbon number of 6 to 20 among the above-mentioned alkyl groups.

上記Z1の別の好ましい態様としては、例えば、上記Y1~Y4が単結合であり、nが2~3であり、Y5がベンゼン環及びシクロヘキサン環から選ばれる2価の環状基であり、Y6が炭素数1~18のアルキル基である基(a-2)が挙げられる。このような基(a-2)としては、下記式(a-2-1)~(a-2-7)で表される基が挙げられる。In another preferred embodiment of Z 1 , for example, Y 1 to Y 4 are single bonds, n is 2 to 3, and Y 5 is a divalent cyclic group selected from a benzene ring and a cyclohexane ring. Examples thereof include a group (a-2) in which Y 6 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms. Examples of such a group (a-2) include groups represented by the following formulas (a-2-1) to (a-2-7).

Figure 0007092114000010
(式中、Y6は、炭素数1~18のアルキル基である。)
Figure 0007092114000010
(In the formula, Y 6 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms.)

上記Z1の更に別の好ましい態様としては、例えば、上記Y1~Y3が単結合であり、Y4が炭素数17~30であってステロイド骨格を有する2価の有機基であり、nが0であり、Y6が水素原子である基(a-3)が挙げられる。このような基(a-3)としては、例えば、下記式(a-3-1)~(a-3-8)で表される基が挙げられる。In still another preferred embodiment of Z 1 , for example, Y 1 to Y 3 are single bonds, Y 4 is a divalent organic group having 17 to 30 carbon atoms and having a steroid skeleton, and n. Is 0, and a group (a-3) in which Y 6 is a hydrogen atom can be mentioned. Examples of such a group (a-3) include groups represented by the following formulas (a-3-1) to (a-3-8).

Figure 0007092114000011
(式中、*は結合位置を表す。)
Figure 0007092114000011
(In the formula, * represents the bond position.)

上記Z1としては、剥離性の観点から下記式[Z2]で表される基が特に好ましい。

Figure 0007092114000012
As the Z 1 , a group represented by the following formula [Z 2] is particularly preferable from the viewpoint of peelability.
Figure 0007092114000012

式中、Y1は、単結合、-O-又は-NH-を表し、Y5は、ベンゼン環、シクロヘキサン環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、nは1~3の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一でも異なっていてもよく、Y6は、炭素数1~18のアルキル基を表す。In the formula, Y 1 represents a single bond, -O- or -NH-, Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring and a cyclohexane ring, and n is an integer of 1 to 3. When n is 2 or more, Y 5 may be the same or different, and Y 6 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms.

更には、上記Z1は、下記式[Z3]、[Z4]及び[Z5]で表される基が特に好ましい。Further, the Z 1 is particularly preferably a group represented by the following formulas [Z 3], [Z 4] and [Z 5].

Figure 0007092114000013
Figure 0007092114000013

式中、Y6は、それぞれ独立して、炭素数1~18のアルキル基を表す。In the formula, Y 6 independently represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms.

上記式(1)で表されるポリアミック酸は、上述したとおり、特定の構造を有するジアミンを含むジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物成分とを反応させることで得ることができるものである。以下、本発明で用いるポリアミック酸の合成に使用できるジアミン成分及びテトラカルボン酸二無水物成分について詳細に説明する。 As described above, the polyamic acid represented by the above formula (1) can be obtained by reacting a diamine component containing a diamine having a specific structure with a tetracarboxylic acid dianhydride component. Hereinafter, the diamine component and the tetracarboxylic acid dianhydride component that can be used for the synthesis of the polyamic acid used in the present invention will be described in detail.

上記ポリアミック酸の合成に使用できるジアミンとしては、下記式(B1)で表されるジアミンを挙げることができ、下記式(B1-1)及び式(B1-2)で表されるジアミンが好ましい。本発明では、より弱い力で剥離を可能とする式(B1-2)で表されるジアミンがより好ましい。 Examples of the diamine that can be used for the synthesis of the polyamic acid include diamines represented by the following formula (B1), and diamines represented by the following formulas (B1-1) and (B1-2) are preferable. In the present invention, the diamine represented by the formula (B1-2), which enables peeling with a weaker force, is more preferable.

Figure 0007092114000014
(式中、Z1は上記と同じ。)
Figure 0007092114000014
(In the formula, Z 1 is the same as above.)

Figure 0007092114000015
(式中、Z1は上記と同じ。)
Figure 0007092114000015
(In the formula, Z 1 is the same as above.)

特に好ましい具体例としては、1,3-ジアミノ-4-〔4-(トランス-4-(トランス-4-n-ヘプチルシクロヘキシル)フェノキシ〕ベンゼン、1-(トランス-4-ノルマルヘプチルシクロヘキシル)-2,4-ジアミノベンゼン、1-(トランス-4-ノルマルヘプチルシクロヘキシル)-3,5-ジアミノベンゼン、1,3-ジアミノ-4-{4-〔トランス-4-(トランス-4-n-ペンチルシクロヘキシル)シクロヘキシル〕フェノキシ}ベンゼン、1,3-ジアミノ-4-{4-〔4-(トランス-4-n-ペンチルシクロヘキシル)フェニル〕フェノキシ}ベンゼン等が挙げられる。 Particularly preferred specific examples are 1,3-diamino-4- [4- (trans-4- (trans-4-n-heptylcyclohexyl) phenoxy] benzene, 1- (trans-4-normal heptylcyclohexyl) -2. , 4-Diaminobenzene, 1- (trans-4-normal heptylcyclohexyl) -3,5-diaminobenzene, 1,3-diamino-4- {4- [trans-4- (trans-4-n-pentylcyclohexyl) ) Cyclohexyl] phenoxy} benzene, 1,3-diamino-4- {4- [4- (trans-4-n-pentylcyclohexyl) phenyl] phenoxy} benzene and the like.

式(1)において、上記したように、X1は、フェニル基又はビフェニル基である。In formula (1), as described above, X 1 is a phenyl group or a biphenyl group.

1がとりうるフェニル基及びビフェニル基は、本発明で用いるポリアミック酸を合成する際に、以下のような芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用することで合成が可能である。
すなわち、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
The phenyl group and biphenyl group that X 1 can take can be synthesized by using the following aromatic tetracarboxylic acid dianhydride when synthesizing the polyamic acid used in the present invention.
That is, pyromellitic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3', 4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and the like can be mentioned.

中でも、得られる膜の剥離層としての機能を向上させる観点から、下記式(C1)~(C6)のいずれかで示される芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましく、下記式(C1)~(C5)のいずれかで示される芳香族テトラカルボン酸二無水物がより好ましい。 Among them, the aromatic tetracarboxylic acid dianhydride represented by any of the following formulas (C1) to (C6) is preferable from the viewpoint of improving the function of the obtained film as a release layer, and the following formulas (C1) to (C1) to ( The aromatic tetracarboxylic acid dianhydride represented by any of C5) is more preferable.

Figure 0007092114000016
Figure 0007092114000016

本発明で用いる式(1)で表されるモノマー単位を有するポリアミック酸の重量平均分子量は、5,000以上である必要があり、好ましくは15,000以上、より好ましくは20,000以上、より一層好ましくは30,000以上である。一方、本発明で用いるポリアミック酸の重量平均分子量の上限値は、通常2,000,000以下であるが、樹脂組成物の粘度が過度に高くなることを抑制することや柔軟性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ること等を考慮すると、好ましくは1,000,000以下、より好ましくは200,000以下である。 The weight average molecular weight of the polyamic acid having the monomer unit represented by the formula (1) used in the present invention needs to be 5,000 or more, preferably 15,000 or more, more preferably 20,000 or more, and more. More preferably, it is 30,000 or more. On the other hand, the upper limit of the weight average molecular weight of the polyamic acid used in the present invention is usually 2,000,000 or less, but it is possible to prevent the viscosity of the resin composition from becoming excessively high and the resin thin film has high flexibility. It is preferably 1,000,000 or less, more preferably 200,000 or less, in consideration of obtaining good reproducibility.

本発明で用いるポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位を、50モル%以上、好ましくは60モル%以上、より好ましくは70モル%以上、より一層好ましくは80モル%以上、さらに好ましくは90モル%以上、含有する。このようなモノマー単位の含有量であるポリアミック酸を用いることで、剥離膜に適した特性を持つ樹脂薄膜を再現性よく得ることができる。 The polyamic acid used in the present invention contains the monomer unit represented by the formula (1) in an amount of 50 mol% or more, preferably 60 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, still more preferably 80 mol% or more, and further. It is preferably contained in an amount of 90 mol% or more. By using a polyamic acid having a content of such a monomer unit, a resin thin film having properties suitable for a release film can be obtained with good reproducibility.

本発明の好ましい態様によれば、本発明の剥離層形成用組成物が含むポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位のみからなるポリマー、すなわち、式(1)で表されるモノマー単位が100モル%で含有されるポリマーである。このとき、このようなポリアミック酸におけるモノマー単位は、それが式(1)で表される限り、特定の1種のみであってもよく、2種以上であってもよい。後者の場合、ポリアミック酸が含む式(1)のモノマー単位の数は、好ましくは2~4であり、より好ましくは2~3である。 According to a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid contained in the composition for forming a release layer of the present invention is a polymer consisting only of a monomer unit represented by the formula (1), that is, a monomer represented by the formula (1). It is a polymer contained in 100 mol% of units. At this time, the monomer unit in such a polyamic acid may be only one specific type or two or more types as long as it is represented by the formula (1). In the latter case, the number of monomer units of the formula (1) contained in the polyamic acid is preferably 2 to 4, more preferably 2 to 3.

本発明で用いるポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位以外にも、他のモノマー単位を含んでもよい。このような他のモノマー単位の含有量は、50モル%未満である必要があり、40モル%未満であることが好ましく、30モル%未満であることがより好ましく、20モル%未満であることがより一層好ましく、10モル%未満であることがさらに好ましい。 The polyamic acid used in the present invention may contain other monomer units in addition to the monomer unit represented by the formula (1). The content of such other monomer units should be less than 50 mol%, preferably less than 40 mol%, more preferably less than 30 mol%, and less than 20 mol%. Is even more preferably less than 10 mol%.

このような他のモノマー単位としては、例えば式(2)のモノマー単位が挙げられる。 Examples of such other monomer units include the monomer unit of the formula (2).

Figure 0007092114000017
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式(2)において、X2は、テトラカルボン酸二無水物由来の4価の有機基を表し、Yaは、ジアミン由来の2価の有機基を表し、nは自然数を表す。In the formula (2), X 2 represents a tetravalent organic group derived from tetracarboxylic acid dianhydride, Y a represents a divalent organic group derived from a diamine, and n represents a natural number.

このような他のモノマー単位を与えるジアミンとしては、o-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、2-メチル-1,4-フェニレンジアミン、5-メチル-1,3-フェニレンジアミン、4-メチル-1,3-フェニレンジアミン、2-(トリフルオロメチル)-1,4-フェニレンジアミン、2-(トリフルオロメチル)-1,3-フェニレンジアミン及び4-(トリフルオロメチル)-1,3-フェニレンジアミン、ベンジジン、2,2’-ジメチルベンジジン、3,3’-ジメチルベンジジン、2,3’-ジメチルベンジジン、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、2,3’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、4,4’-ジフェニルエーテル、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’-ジアミノベンズアニリド、5-アミノ-2-(3-アミノフェニル)-1H-ベンゾイミダゾール、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレンといったジアミンが挙げられる。 Examples of the diamine that provides such other monomer units include o-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2-methyl-1,4-phenylenediamine, 5-methyl-1,3-phenylenediamine, and the like. 4-Methyl-1,3-phenylenediamine, 2- (trifluoromethyl) -1,4-phenylenediamine, 2- (trifluoromethyl) -1,3-phenylenediamine and 4- (trifluoromethyl) -1 , 3-Phenylenediamine, Benzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine, 2,3'-dimethylbenzidine, 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine, 3,3'- Bis (trifluoromethyl) benzidine, 2,3'-bis (trifluoromethyl) benzidine, 4,4'-diphenyl ether, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-diaminobenzanilide , 5-Amino-2- (3-aminophenyl) -1H-benzoimidazole, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene and other diamines.

また、テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,4-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸の様な芳香族テトラカルボン酸、それらの二無水物及びその誘導体等や、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸、1,2-ジメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,3,4-テトラメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸、2,3,5-トリカルボキシ-2-シクロペンタン酢酸、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸、2,3,4,5-テトラヒドロフランテトラカルボン酸、3,5,6-トリカルボキシ-2-ノルボルナン酢酸の様な脂環式テトラカルボン酸、それらの二無水物及びその誘導体等や、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸の様な脂肪族テトラカルボン酸、その二無水物及びその誘導体等の化合物を挙げることができる。さらに、上述のフッ素を有する有機基を持つ手テトラカルボン酸成分としては、トリフルオロメチル基やヘキサフルオロイソプロピリデン基を有する、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロイソプロピリデン、4,4’-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸、それらの二無水物及びその誘導体等の化合物が挙げられるが、これら化合物に限定されるものではない。
また、上記テトラカルボン酸成分としては、テトラカルボン酸及びその誘導体から1種又は2種以上の化合物を組み合わせて用いることができる。
Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic acid, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid, 3,3. ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-diphenyl sulfone tetracarboxylic acid, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic acid Aromatic tetracarboxylic acids such as, dianhydrides thereof and derivatives thereof, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid. Acid, 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic acid, 1,2,4,5-cyclohexanetetra Carboxylic acid, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid, 2,3,5-tricarboxy-2-cyclopentaneacetic acid, bicyclo [2. 2.2] Like Oct-7-en-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, 2,3,4,5-tetratetracarboxylic acid, 3,5,6-tricarboxy-2-norbornanacetic acid. Alicyclic tetracarboxylic acids, dianhydrides thereof and derivatives thereof, aliphatic tetracarboxylic acids such as 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, dianhydrides thereof and derivatives thereof, etc. Can be mentioned. Further, as the above-mentioned hand tetracarboxylic acid component having an organic group having fluorine, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoroisopropyridene having a trifluoromethyl group or a hexafluoroisopropyride group. , 4,4'-Hexafluoroisopropyridendiphthalic acid, dianhydrides thereof and derivatives thereof, and the like, but are not limited to these compounds.
Further, as the tetracarboxylic acid component, one kind or a combination of two or more kinds of compounds from tetracarboxylic acid and its derivatives can be used.

本発明の好ましい態様によれば、本発明で用いるポリアミック酸は、酸二無水物としての芳香族テトラカルボン酸二無水物と、式(B1)で表されるジアミンを含むジアミン成分とを反応させることで得ることができる。 According to a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid used in the present invention reacts an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride as an acid dianhydride with a diamine component containing a diamine represented by the formula (B1). Can be obtained by

上記反応において、芳香族テトラカルボン酸二無水物と、上記式(B1)で表されるジアミンを含むジアミン成分の仕込み比(モル比)は、所望するポリアミック酸の分子量やモノマー単位の割合等を勘案して適宜設定することができるが、ジアミン成分1に対して、通常、酸無水物成分が0.7~1.3程度とすることができ、好ましく0.8~1.2程度である。 In the above reaction, the charging ratio (molar ratio) of the aromatic tetracarboxylic acid dianhydride and the diamine component containing the diamine represented by the above formula (B1) is the desired molecular weight of the polyamic acid, the ratio of the monomer unit, and the like. Although it can be appropriately set in consideration of consideration, the acid anhydride component is usually about 0.7 to 1.3, preferably about 0.8 to 1.2, with respect to the diamine component 1. ..

上述した反応に用いる有機溶媒は、反応に悪影響を及ぼさない限り特に限定されないが、その具体例としては、m-クレゾール、2-ピロリドン、N-メチル-2-ピロリドン、N-エチル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-エトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-プロポキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-イソプロポキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-sec-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、3-tert-ブトキシ-N,N-ジメチルプロピルアミド、γ-ブチロラクトン等が挙げられる。なお、有機溶媒は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。 The organic solvent used in the above-mentioned reaction is not particularly limited as long as it does not adversely affect the reaction, and specific examples thereof include m-cresol, 2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone, and N-ethyl-2-pyrrolidone. , N-vinyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, 3-methoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-ethoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-propoxy -N, N-dimethylpropylamide, 3-isopropoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-sec-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3- Examples thereof include tert-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, γ-butyrolactone and the like. The organic solvent may be used alone or in combination of two or more.

特に、反応に用いる有機溶媒は、上述したジアミン、テトラカルボン酸二無水物、ジカルボン酸、ポリアミック酸及びポリアミドをよく溶解することから、式(S1)で表されるアミド類、(S2)で表されるアミド類及び式(S3)で表されるアミド類から選ばれる少なくとも1種が好ましい。 In particular, the organic solvent used in the reaction dissolves the above-mentioned diamine, tetracarboxylic acid dianhydride, dicarboxylic acid, polyamic acid and polyamide well, so the amides represented by the formula (S1) are represented by the formula (S2). At least one selected from the amides to be used and the amides represented by the formula (S3) is preferable.

Figure 0007092114000018
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式中、R1及びR2は、互いに独立して、炭素数1~10のアルキル基を表す。R3は、水素原子、又は炭素数1~10のアルキル基を表す。hは、自然数を表すが、好ましくは1~3、より好ましくは1又は2である。In the formula, R 1 and R 2 represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms independently of each other. R 3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. h represents a natural number, preferably 1 to 3, more preferably 1 or 2.

炭素数1~10のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基、n-ノニル基、n-デシル基等が挙げられる。これらのうち、炭素数1~3のアルキル基が好ましく、炭素数1又は2のアルキル基がより好ましい。 Alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group and n-. Examples thereof include a hexyl group, an n-heptyl group, an n-octyl group, an n-nonyl group, an n-decyl group and the like. Of these, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable, and an alkyl group having 1 or 2 carbon atoms is more preferable.

反応温度は、用いる溶媒の融点から沸点までの範囲で適宜設定すればよく、通常0~100℃程度であるが、得られるポリアミック酸のイミド化を防いでポリアミック酸単位の高含有量を維持するためには、好ましくは0~70℃程度であり、より好ましくは0~60℃程度であり、より一層好ましくは0~50℃程度である。
反応時間は、反応温度や原料物質の反応性に依存するため一概に規定できないが、通常1~100時間程度である。
The reaction temperature may be appropriately set in the range from the melting point to the boiling point of the solvent to be used, and is usually about 0 to 100 ° C., but the imidization of the obtained polyamic acid is prevented and the high content of the polyamic acid unit is maintained. Therefore, it is preferably about 0 to 70 ° C, more preferably about 0 to 60 ° C, and even more preferably about 0 to 50 ° C.
The reaction time cannot be unconditionally defined because it depends on the reaction temperature and the reactivity of the raw material, but it is usually about 1 to 100 hours.

以上説明した方法によって、目的とするポリアミック酸を含む反応溶液を得ることができる。 By the method described above, a reaction solution containing a target polyamic acid can be obtained.

本発明においては、通常、上記反応溶液をろ過した後、そのろ液をそのまま、又は希釈若しくは濃縮して得られる溶液を、本発明の剥離層形成用組成物として用いることができる。このようにすることで、得られる剥離層の密着性、剥離性等の悪化の原因となり得る不純物の混入を低減できるだけでなく、効率よく剥離層形成用組成物を得ることができる。
希釈や濃縮に用いる溶媒は、特に限定されるものではなく、例えば、上記反応の反応溶媒の具体例と同様のものが挙げられ、それらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
In the present invention, a solution obtained by filtering the above reaction solution and then using the filtrate as it is, or by diluting or concentrating the solution can be used as the composition for forming a release layer of the present invention. By doing so, it is possible not only to reduce the mixing of impurities that may cause deterioration of the adhesiveness and peelability of the obtained peeling layer, but also to efficiently obtain a composition for forming the peeling layer.
The solvent used for dilution or concentration is not particularly limited, and examples thereof include the same as the specific examples of the reaction solvent for the above reaction, and they may be used alone or in combination of two or more. ..

上記具体例の中でも、平坦性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ることを考慮すると、用いる溶剤としては、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、N-エチル-2-ピロリドン、γ-ブチロラクトンが好ましい。 Among the above specific examples, considering that a highly flat resin thin film can be obtained with good reproducibility, the solvents used include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and 1. , 3-Dimethyl-2-imidazolidinone, N-ethyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone are preferred.

ポリアミック酸の剥離層形成用組成物の総質量に対する濃度は、作製する薄膜(剥離層)の厚みや組成物の粘度等を勘案して適宜設定するものではあるが、通常0.5~30質量%程度、好ましくは5~25質量%程度である。 The concentration of the polyamic acid with respect to the total mass of the composition for forming the release layer is appropriately set in consideration of the thickness of the thin film (release layer) to be produced, the viscosity of the composition, etc., but is usually 0.5 to 30 mass. %, Preferably about 5 to 25% by mass.

また、剥離層形成用組成物の粘度は、作製する薄膜の厚み等を勘案して適宜設定するものであるが、特に0.05~5μm程度の厚さの樹脂薄膜を再現性よく得ること目的とする場合、通常、25℃で10~10,000mPa・s程度、好ましくは20~1,000mPa・s程度、より好ましくは、20~200mPa・s程度である。ここで、粘度は、市販の液体の粘度測定用粘度計を使用して、例えば、JIS K7117-2に記載の手順を参照して、組成物の温度25℃の条件にて測定することができる。好ましくは、粘度計としては、円錐平板型(コーンプレート型)回転粘度計を使用し、好ましくは同型の粘度計で標準コーンロータとして1°34’×R24を使用して、組成物の温度25℃の条件にて測定することができる。このような回転粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製TVE-25Hが挙げられる。 The viscosity of the composition for forming a release layer is appropriately set in consideration of the thickness of the thin film to be produced, and the purpose is to obtain a resin thin film having a thickness of about 0.05 to 5 μm with good reproducibility. In this case, it is usually about 10 to 10,000 mPa · s at 25 ° C., preferably about 20 to 1,000 mPa · s, and more preferably about 20 to 200 mPa · s. Here, the viscosity can be measured using a commercially available viscometer for measuring the viscosity of a liquid, for example, with reference to the procedure described in JIS K7117-2, under the condition that the temperature of the composition is 25 ° C. .. Preferably, a conical plate type (cone plate type) rotational viscometer is used as the viscometer, and 1 ° 34'× R24 is preferably used as the standard cone rotor in the viscometer of the same type, and the temperature of the composition is 25. It can be measured under the condition of ° C. Examples of such a rotational viscometer include TVE-25H manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.

なお、本発明に係る剥離層形成用組成物は、ポリアミック酸と有機溶媒のほかに、種々の成分を有してもよい。例えば、架橋剤(以下、架橋性化合物ともいう。)を挙げることができるがこれらに限定されない。 The composition for forming a release layer according to the present invention may contain various components in addition to the polyamic acid and the organic solvent. For example, a cross-linking agent (hereinafter, also referred to as a cross-linking compound) can be mentioned, but the present invention is not limited thereto.

上記架橋性化合物としては、例えば、エポキシ基を2個以上含有する化合物、アミノ基の水素原子がメチロール基、アルコキシメチル基又はその両方で置換された基を有する、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体又はグリコールウリルなどが挙げられるが、これらに限定されない。 Examples of the crosslinkable compound include a compound containing two or more epoxy groups, a melamine derivative, a benzoguanamine derivative or glycoluril having a group in which the hydrogen atom of the amino group is substituted with a methylol group, an alkoxymethyl group or both. However, it is not limited to these.

以下に、架橋性化合物の具体例を挙げるが、これに限定されない。
エポキシ基を2個以上含有する化合物としては、エポリードGT-401、エポリードGT-403、エポリードGT-301、エポリードGT-302、セロキサイド2021、セロキサイド3000(以上、株式会社ダイセル製)等のシクロヘキセン構造を有するエポキシ化合物;エピコート1001、エピコート1002、エピコート1003、エピコート1004、エピコート1007、エピコート1009、エピコート1010、エピコート828(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))等のビスフェノールA型エポキシ化合物;エピコート807(ジャパンエポキシレジン株式会社製)等のビスフェノールF型エポキシ化合物;エピコート152、エピコート154(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))、EPPN201、EPPN202(以上、日本化薬株式会社製)等のフェノールノボラック型エポキシ化合物;ECON-102、ECON-103S、ECON-104S、ECON-1020、ECON-1025、ECON-1027(以上、日本化薬株式会社製)、エピコート180S75(ジャパンエポキシレジン株式会社(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ)製)等のクレゾールノボラック型エポキシ化合物;V8000-C7(DIC株式会社製)等のナフタレン型エポキシ化合物;デナコールEX-252(ナガセケムテックス株式会社製)、CY175、CY177、CY179、アラルダイトCY-182、アラルダイトCY-192、アラルダイトCY-184(以上、BASF社製)、エピクロン200、エピクロン400(以上、DIC株式会社製)、エピコート871、エピコート872(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))、ED-5661、ED-5662(以上、セラニーズコーティング株式会社製)等の脂環式エポキシ化合物;デナコールEX-611、デナコールEX-612、デナコールEX-614、デナコールEX-622、デナコールEX-411、デナコールEX-512、デナコールEX-522、デナコールEX-421、デナコールEX-313、デナコールEX-314、デナコールEX-312(以上、ナガセケムテックス株式会社製)等の脂肪族ポリグリシジルエーテル化合物が挙げられる。
Specific examples of the crosslinkable compound are given below, but the present invention is not limited thereto.
Examples of the compound containing two or more epoxy groups include cyclohexene structures such as Epolide GT-401, Epolide GT-403, Epolide GT-301, Epolide GT-302, Celoxide 2021, and Celoxide 3000 (all manufactured by Daicel Co., Ltd.). Epoxy compounds possessed; Epicoat 1001, Epicoat 1002, Epicoat 1003, Epicoat 1004, Epicoat 1007, Epicoat 1009, Epicoat 1010, Epicoat 828 (all manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER (registered trademark)) Bisphenol A type epoxy compound such as (series)); Bisphenol F type epoxy compound such as Epicoat 807 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.); Epicoat 152, Epicoat 154 (all manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) , JER® series)), EPPN201, EPPN202 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and other phenol novolac type epoxy compounds; ECON-102, ECON-103S, ECON-104S, ECON-1020, ECON- Cresol novolak type epoxy compounds such as 1025, ECON-1027 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicoat 180S75 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER (registered trademark) series)); Naphthalene type epoxy compounds such as V8000-C7 (manufactured by DIC Co., Ltd.); Denacol EX-252 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), CY175, CY177, CY179, Araldite CY-182, Araldite CY-192, Araldite CY-184 ( Above, BASF), Epicron 200, Epicron 400 (above, DIC Co., Ltd.), Epicoat 871, Epicoat 872 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently: Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER (registered trademark) series) )), ED-5661, ED-5662 (all manufactured by Ceranies Coating Co., Ltd.) and other alicyclic epoxy compounds; Denacol EX-611, Denacol EX-612, Denacol EX-614, Denacol EX-622, Denacol EX. -411, Denacol EX-512, Denacol EX-522, Denacol EX-421, Denacol EX-313, Denacol EX-314, Denacol EX-312 (above, Nagasechem) Examples thereof include aliphatic polyglycidyl ether compounds (manufactured by TEX Co., Ltd.).

アミノ基の水素原子がメチロール基、アルコキシメチル基又はその両方で置換された基を有する、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体又はグリコールウリルとしては、トリアジン環1個当たりメトキシメチル基が平均3.7個置換されているMX-750、トリアジン環1個当たりメトキシメチル基が平均5.8個置換されているMW-30(以上、株式会社三和ケミカル製);サイメル300、サイメル301、サイメル303、サイメル350、サイメル370、サイメル771、サイメル325、サイメル327、サイメル703、サイメル712等のメトキシメチル化メラミン;サイメル235、サイメル236、サイメル238、サイメル212、サイメル253、サイメル254等のメトキシメチル化ブトキシメチル化メラミン;サイメル506、サイメル508等のブトキシメチル化メラミン;サイメル1141のようなカルボキシ基含有メトキシメチル化イソブトキシメチル化メラミン;サイメル1123のようなメトキシメチル化エトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1123-10のようなメトキシメチル化ブトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1128のようなブトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1125-80のようなカルボキシ基含有メトキシメチル化エトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1170のようなブトキシメチル化グリコールウリル;サイメル1172のようなメチロール化グリコールウリル(以上、三井サイアナミッド株式会社製(現:日本サイテックインダストリーズ株式会社)等が挙げられる。 As a melamine derivative, a benzoguanamine derivative or glycol uryl having a group in which the hydrogen atom of the amino group is substituted with a methylol group, an alkoxymethyl group or both, an average of 3.7 methoxymethyl groups are substituted per triazine ring. MX-750, MW-30 in which an average of 5.8 methoxymethyl groups are substituted per triazine ring (all manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.); Cymel 300, Cymel 301, Cymel 303, Cymel 350, Cymel 370, Cymel 771, Cymel 325, Cymel 327, Cymel 703, Cymel 712 and other methoxymethylated melamines; Butoxymethylated melamines such as Cymel 506, Cymel 508; carboxy group-containing methoxymethylated isobutoxymethylated melamines such as Cymel 1141; methoxymethylated ethoxymethylated benzoguanamines such as Cymel 1123; Cymel 1123-10. Methyl methoxymethylated butoxymethylated benzoguanamine; butoxymethylated benzoguanamine such as Cymel 1128; carboxy group-containing methoxymethylated ethoxymethylated benzoguanamine such as Cymel 1125-80; butoxymethylated glycoluril such as Cymel 1172; Examples thereof include methylolated glycol urilu (all manufactured by Mitsui Sianamid Co., Ltd. (currently Nippon Cytec Industries Co., Ltd.)).

以上説明した本発明の剥離層形成用組成物を基体に塗布して加熱することで、高い耐熱性と、適度な柔軟性と、適度な線膨張係数とを有するポリイミドからなる薄膜(剥離層)を得ることができる。 By applying the composition for forming a release layer of the present invention described above to a substrate and heating it, a thin film (release layer) made of polyimide having high heat resistance, appropriate flexibility, and an appropriate linear expansion coefficient. Can be obtained.

基体(基材)としては、例えば、ガラス、プラスチック(ポリカーボネート、ポリメタクリレート、ポリスチレン、ポリエステル、ポリオレフィン、エポキシ、メラミン、トリアセチルセルロース、ABS、AS、ノルボルネン系樹脂等)、金属(シリコンウェハ等)、木材、紙、スレート等が挙げられ、ガラス又はシリコンウェハを含むものが好ましい。特に、本発明に係る剥離層形成用組成物から得られる剥離層がそれに対する十分な密着性を有することから、ガラスがより好ましい。なお、基体表面は、単一の材料で構成されていてもよく、2以上の材料で構成されていてもよい。2以上の材料で基体表面が構成される態様としては、基体表面のうち、ある範囲はある材料で構成され、その余の表面はその他の材料で構成されている態様、基体表面全体にドットパターン、ラインアンドスペースパターン等のパターン状にある材料がその他の材料中に存在する態様等がある。 Examples of the substrate (base material) include glass, plastic (polycarbonate, polymethacrylate, polystyrene, polyester, polyolefin, epoxy, melamine, triacetyl cellulose, ABS, AS, norbornene resin, etc.), metal (silicon wafer, etc.), and the like. Examples thereof include wood, paper, slate and the like, and those containing glass or silicon wafer are preferable. In particular, glass is more preferable because the release layer obtained from the release layer forming composition according to the present invention has sufficient adhesion to the release layer. The surface of the substrate may be made of a single material or may be made of two or more materials. As an embodiment in which the surface of the substrate is composed of two or more materials, a certain range of the surface of the substrate is composed of a certain material, and the remaining surface is composed of other materials, and a dot pattern is formed on the entire surface of the substrate. , A mode in which a patterned material such as a line-and-space pattern is present in other materials.

塗布する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、キャストコート法、スピンコート法、ブレードコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、インクジェット法、印刷法(凸版、凹版、平版、スクリーン印刷等)等が挙げられる。 The method of coating is not particularly limited, but is, for example, a cast coating method, a spin coating method, a blade coating method, a dip coating method, a roll coating method, a bar coating method, a die coating method, an inkjet method, and a printing method (projection printing method). , Intaglio, lithographic printing, screen printing, etc.).

また、本発明の剥離層形成用組成物中に含むポリアミック酸をイミド化させる方法としては、基体上に塗布した組成物をそのまま加熱する熱イミド化、及び、組成物中に触媒を添加し加熱する触媒イミド化が挙げられる。 Further, as a method for imidizing the polyamic acid contained in the composition for forming a release layer of the present invention, thermal imidization in which the composition applied on the substrate is heated as it is, and heating by adding a catalyst to the composition are performed. Catalytic imidization to be performed.

ポリアミック酸の触媒イミド化は、本発明の剥離層形成用組成物中に触媒を添加し、攪拌することにより触媒添加組成物を調製した後、基体へ塗布、加熱することで樹脂薄膜(剥離層)が得られる。触媒の量はアミド酸基の0.1~30モル倍、好ましくは1~20モル倍である。また触媒添加組成物中に脱水剤として無水酢酸等を加えることもでき、その量はアミド酸基の1~50モル倍、好ましくは3~30モル倍である。 For catalytic imidization of polyamic acid, a catalyst is added to the composition for forming a release layer of the present invention, and the catalyst-added composition is prepared by stirring, and then applied to a substrate and heated to form a resin thin film (release layer). ) Is obtained. The amount of the catalyst is 0.1 to 30 mol times, preferably 1 to 20 mol times, the amic acid group. Further, acetic anhydride or the like can be added as a dehydrating agent to the catalyst-added composition, and the amount thereof is 1 to 50 mol times, preferably 3 to 30 mol times, that of the amic acid group.

イミド化触媒としては三級アミンを用いることが好ましい。三級アミンとしては、ピリジン、置換ピリジン類、イミダゾール、置換イミダゾール類、ピコリン、キノリン、イソキノリンなどが好ましい。 It is preferable to use a tertiary amine as the imidization catalyst. As the tertiary amine, pyridine, substituted pyridines, imidazole, substituted imidazoles, picoline, quinoline, isoquinoline and the like are preferable.

熱イミド化及び触媒イミド化時の加熱温度は、通常50~550℃の範囲内で適宜決定されるが、好ましくは200℃以上、また、好ましくは450℃以下である。加熱温度をこのようにすることで、得られる膜の脆弱化を防ぎつつ、イミド化反応を十分に進行させることが可能となる。加熱時間は、加熱温度によって異なるため一概に規定できないが、通常5分~5時間である。また、イミド化率は、50~100%の範囲であればよい。 The heating temperature at the time of thermal imidization and catalytic imidization is usually appropriately determined within the range of 50 to 550 ° C, but is preferably 200 ° C or higher, and preferably 450 ° C or lower. By setting the heating temperature in this way, it becomes possible to sufficiently proceed the imidization reaction while preventing the resulting film from becoming fragile. The heating time cannot be unconditionally specified because it varies depending on the heating temperature, but it is usually 5 minutes to 5 hours. The imidization rate may be in the range of 50 to 100%.

本発明における加熱態様の好ましい一例としては、得られる樹脂薄膜の耐熱性と使用装置の汎用性を考慮すると、塗布した組成物を50~150℃で5分間~2時間加熱した後に、そのまま段階的に加熱温度を上昇させて最終的に200~300℃で30分間~2時間加熱する手法が挙げられる。特に、80~120℃で5~30分間、次いで、230~300℃で30分間~1時間加熱することが好ましい。 As a preferable example of the heating embodiment in the present invention, considering the heat resistance of the obtained resin thin film and the versatility of the apparatus used, the applied composition is heated at 50 to 150 ° C. for 5 minutes to 2 hours and then stepwise as it is. A method of raising the heating temperature and finally heating at 200 to 300 ° C. for 30 minutes to 2 hours can be mentioned. In particular, it is preferable to heat at 80 to 120 ° C. for 5 to 30 minutes, and then at 230 to 300 ° C. for 30 minutes to 1 hour.

加熱に用いる器具としては、例えば、ホットプレート、オーブン等が挙げられる。加熱雰囲気は、空気下であっても不活性ガス下であってもよく、また、常圧下であっても減圧下であってもよい。 Examples of the appliance used for heating include a hot plate, an oven, and the like. The heating atmosphere may be under air or under an inert gas, and may be under normal pressure or under reduced pressure.

剥離層の厚さは、通常0.01~10μm程度、好ましくは0.05~5μm程度であり、加熱前の塗膜の厚さを調整して所望の厚さの樹脂薄膜を実現する。 The thickness of the release layer is usually about 0.01 to 10 μm, preferably about 0.05 to 5 μm, and the thickness of the coating film before heating is adjusted to realize a resin thin film having a desired thickness.

以上説明した剥離層は、基体、特にガラスの基体との優れた密着性及び樹脂基板との適度な密着性と適度な剥離性を有する。それ故、本発明に係る剥離層は、フレキシブル電子デバイスの製造プロセスにおいて、当該デバイスの樹脂基板に損傷を与えることなく、当該樹脂基板を、その樹脂基板上に形成された回路等とともに、基体から剥離させるために好適に用いることができる。 The peeling layer described above has excellent adhesion to a substrate, particularly a glass substrate, appropriate adhesion to a resin substrate, and appropriate peeling property. Therefore, in the process of manufacturing a flexible electronic device, the release layer according to the present invention can be used to attach the resin substrate from the substrate together with a circuit or the like formed on the resin substrate without damaging the resin substrate of the device. It can be suitably used for peeling.

以下、本発明の剥離層を用いたフレキシブル電子デバイスの製造方法の一例について説明する。
本発明に係る剥離層形成用組成物を用いて、前述の方法によって、ガラス基体上に剥離層を形成する。この剥離層の上に、樹脂基板を形成するための樹脂溶液を塗布し、この塗膜を加熱することで、本発明に係る剥離層を介して、ガラス基体に固定された樹脂基板を形成する。この際、剥離層を全て覆うようにして、剥離層の面積と比較して大きい面積で、樹脂基板を形成する。上記樹脂基板としては、フレキシブル電子デバイスの樹脂基板として代表的なポリイミド樹脂やアクリル樹脂からなる樹脂基板等が挙げられ、それを形成するための樹脂溶液としては、ポリイミド溶液、ポリアミック酸溶液及びアクリルポリマー溶液が挙げられる。当該樹脂基板の形成方法は、常法に従えばよい。
Hereinafter, an example of a method for manufacturing a flexible electronic device using the release layer of the present invention will be described.
Using the composition for forming a release layer according to the present invention, a release layer is formed on a glass substrate by the above-mentioned method. A resin solution for forming a resin substrate is applied on the release layer, and the coating film is heated to form a resin substrate fixed to the glass substrate via the release layer according to the present invention. .. At this time, the resin substrate is formed with an area larger than the area of the release layer so as to cover the entire release layer. Examples of the resin substrate include a resin substrate made of a polyimide resin and an acrylic resin, which are typical resin substrates for flexible electronic devices, and examples of the resin solution for forming the resin substrate include a polyimide solution, a polyamic acid solution, and an acrylic polymer. The solution can be mentioned. The method for forming the resin substrate may be a conventional method.

次に、本発明に係る剥離層を介して基体に固定された当該樹脂基板の上に、所望の回路を形成し、その後、例えば剥離層に沿って樹脂基板をカットし、この回路とともに樹脂基板を剥離層から剥離して、樹脂基板と基体とを分離する。この際、基体の一部を剥離層とともにカットしてもよい。 Next, a desired circuit is formed on the resin substrate fixed to the substrate via the release layer according to the present invention, and then, for example, the resin substrate is cut along the release layer, and the resin substrate is cut together with this circuit. Is peeled off from the peeling layer to separate the resin substrate and the substrate. At this time, a part of the substrate may be cut together with the release layer.

この場合、被剥離体は、一層であっても複数層であってもよい。種々のデバイスを作製するには、複数層であるのが現実的である。
なお、被剥離体層のうち剥離層の直上の層(通常は、樹脂基板)は、用いる剥離層に依存するが、該剥離層との剥離性を良いもの、換言すると用いる剥離層との密着性が良くないもの、を用いるのがよい。
In this case, the material to be peeled off may be one layer or a plurality of layers. In order to fabricate various devices, it is realistic to have multiple layers.
Of the layers to be peeled off, the layer directly above the peeling layer (usually the resin substrate) depends on the peeling layer used, but has good peelability from the peeling layer, in other words, adherence to the peeling layer used. It is better to use the one with poor sex.

また、本発明は、以下の被剥離体の製造方法を提供する。
本発明の剥離層形成用組成物を基体上に塗布し、焼成して剥離層を形成する工程、
上記剥離層上に、被剥離体を形成する工程、及び
上記被剥離体を、上記剥離層から剥離する工程
を含む被剥離体の製造方法を提供する。
The present invention also provides the following method for producing an object to be exfoliated.
A step of applying the composition for forming a release layer of the present invention onto a substrate and firing it to form a release layer.
Provided is a method for producing a peeled body, which comprises a step of forming a peeled body on the peeled layer and a step of peeling the peeled body from the peeled layer.

上記の製造方法において、剥離層を形成する際の焼成条件は、上述した条件を採用できる。
また、「被剥離体」は一層であっても複数層であってもよい。なお、「被剥離体」のうち剥離層の直上の層(通常は、樹脂基板)は、用いる剥離層に依存するが、該剥離層との剥離性を良いもの、換言すると用いる剥離層との密着性が良くないもの、であるのがよい。
In the above-mentioned manufacturing method, the above-mentioned conditions can be adopted as the firing conditions for forming the release layer.
Further, the "exfoliated body" may be one layer or a plurality of layers. The layer directly above the peeling layer (usually the resin substrate) of the "exfoliated body" depends on the peeling layer used, but has good peelability from the peeling layer, in other words, the peeling layer used. It is better that the adhesiveness is not good.

更に、本発明は、フレキシブル電子デバイスに適用される積層体であって、
基体と、
上記基体上に形成される剥離層と、
上記剥離層上に形成される樹脂基板と
を有し、上記剥離層が本発明の剥離層形成用組成物により形成され、かつ、上記樹脂基板と上記剥離層との密着力が、上記剥離層と上記基体との密着力より大きいことを特徴とする積層体を提供する。
なお、ここでいう密着力の大きさは、例えば、後述する実施例で示したクロスカット試験等により確認することができる。
Further, the present invention is a laminate applied to a flexible electronic device.
With the substrate
The peeling layer formed on the substrate and
It has a resin substrate formed on the release layer, the release layer is formed by the composition for forming a release layer of the present invention, and the adhesive force between the resin substrate and the release layer is the release layer. Provided is a laminate characterized by having a greater adhesion than the above-mentioned substrate.
The magnitude of the adhesion force referred to here can be confirmed, for example, by a cross-cut test or the like shown in Examples described later.

以下、合成例、比較合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
[1]化合物の略語
NMP:N-メチルピロリドン
BCS:ブチルセロソルブ
PGME:プロピレングリコールモノメチルエーテル
TFMB:2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
PCH7AB:1-(トランス-4-ノルマルヘプチルシクロヘキシル)-2,4-ジアミノベンゼン
m-PCH7AB:1-(トランス-4-ノルマルヘプチルシクロヘキシル)-3,5-ジアミノベンゼン
PBCH5DAB:1,3-ジアミノ-4-{4-〔トランス-4-(トランス-4-n-ペンチルシクロヘキシル)シクロヘキシル〕フェノキシ}ベンゼン
BPTP:ビス(4-アミノフェノキシ)テレフタレート
CBDA:シクロブタン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BODAxx:ビシクロ[2.2.2]オクタ-2-exo,3-exo,5-exo,6-exo-テトラカルボン酸-2,3:5,6-二無水物
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to synthetic examples, comparative synthetic examples, examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples.
[1] Abbreviation of compound NMP: N-methylpyrrolidone BCS: Butyl cellosolve PGME: Propropylene glycol Monomethyl ether TFMB: 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine PCH7AB: 1- (trans-4-normal heptyl cyclohexyl) -2 , 4-Diaminobenzene m-PCH7AB: 1- (Trans-4-normal heptylcyclohexyl) -3,5-Diaminobenzene PBCH5DAB: 1,3-Diamino-4- {4- [Trans-4- (Trans-4-) n-pentylcyclohexyl) cyclohexyl] phenoxy} benzeneBPTP: bis (4-aminophenoxy) terephthalate CBDA: cyclobutanoic acid dianhydride PMDA: pyromellitic acid dianhydride BODAxx: bicyclo [2.2.2] octa-2-exo , 3-exo, 5-exo, 6-exo-tetracarboxylic acid-2, 3: 5,6-dianhydride

[2]重量平均分子量及び分子量分布の測定
ポリマーの重量平均分子量(以下Mwと略す)及び分子量分布は、日本分光株式会社製GPC装置(カラム:Shodex(登録商標) KF803L及びKF805L)を用い、溶出溶媒としてジメチルホルムアミドを流量1mL/分、カラム温度50℃の条件で測定した。なお、Mwはポリスチレン換算値とした。
[2] Measurement of weight average molecular weight and molecular weight distribution The weight average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mw) and molecular weight distribution of the polymer are eluted using a GPC apparatus (column: Shodex® KF803L and KF805L) manufactured by Nippon Kogaku Co., Ltd. As a solvent, dimethylformamide was measured under the conditions of a flow rate of 1 mL / min and a column temperature of 50 ° C. In addition, Mw was a polystyrene conversion value.

[3]ポリマーの合成
<合成例S1 フィルム用ポリイミド(S1)の合成>
窒素の注入口/排出口、メカニカルスターラー及び冷却器を取り付けた250mLの反応三口フラスコ内に、TFMB 25.61g(0.08mol)を入れた。その後、γ-ブチロラクトン173.86gを添加し、攪拌を開始した。TFMBが溶媒中に完全に溶解した後、その後すぐに、攪拌したBODAxx10g(0.04mol)、CBDA 7.84g(0.04mol)及びγ-ブチロラクトン43.4gを添加し、窒素下140℃に加熱した。その後、1-エチルピペリジン0.348gを溶液内に添加し、窒素下で7時間180℃に加熱した。最終的に加熱を停止し、反応溶液を10%まで希釈し、終夜攪拌を維持した。ポリイミド反応溶液をメタノール2,000g中に添加して30分間攪拌し、その後ポリイミド固体をろ過することによりポリイミドを精製した後、該ポリイミド固体をメタノール2,000g中で30分間攪拌し、ポリイミド固体をろ過した。このポリイミド固体の攪拌及びろ過の精製手順を3回繰り返した。ポリイミド中のメタノール残留物を150℃下の真空オーブンの8時間の乾燥により除去し、最終的に、乾燥した31.16gのポリイミドS1を得たが、ポリイミドS1の質量パーセント収率は74%(Mw=169,802、Mn=55,308)であった。
[3] Polymer synthesis <Synthesis example S1 Synthesis of polyimide (S1) for film>
25.61 g (0.08 mol) of TFMB was placed in a 250 mL reaction three-necked flask equipped with a nitrogen inlet / outlet, a mechanical stirrer and a cooler. Then, 173.86 g of γ-butyrolactone was added, and stirring was started. Immediately after the TFMB was completely dissolved in the solvent, 10 g (0.04 mol) of stirred BODAxx, 7.84 g (0.04 mol) of CBDA and 43.4 g of γ-butyrolactone were added and heated to 140 ° C. under nitrogen. did. Then, 0.348 g of 1-ethylpiperidine was added into the solution, and the mixture was heated to 180 ° C. under nitrogen for 7 hours. Finally, heating was stopped, the reaction solution was diluted to 10% and stirring was maintained overnight. The polyimide reaction solution is added to 2,000 g of methanol and stirred for 30 minutes, and then the polyimide is purified by filtering the polyimide solid, and then the polyimide solid is stirred in 2,000 g of methanol for 30 minutes to obtain the polyimide solid. Filtered. The purification procedure of stirring and filtering the polyimide solid was repeated three times. The methanol residue in the polyimide was removed by drying in a vacuum oven at 150 ° C. for 8 hours to finally obtain 31.16 g of dried polyimide S1, but the weight percent yield of the polyimide S1 was 74% ( Mw = 169,802, Mn = 55,308).

<合成例L1 ポリアミック酸(L1)の合成>
PBCH5DAB 4.022g(9.253mmol)をNMP 44gに溶解し、PMDA 1.977g(9.068mmol)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で2時間反応させた。得られたポリマーのMwは10,400、分子量分布1.89であった。
<Synthesis example L1 Synthesis of polyamic acid (L1)>
4.022 g (9.253 mmol) of PBCH5DAB was dissolved in 44 g of NMP, 1.977 g (9.068 mmol) of PMDA was added, and then the reaction was carried out at 23 ° C. for 2 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 10,400 and the molecular weight distribution was 1.89.

<合成例L2 ポリアミック酸(L2)の合成>
m-PCH7AB 3.842g(10.10mmol)をNMP 44gに溶解し、PMDA 2.158g(9.8934mmol)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で2時間反応させた。得られたポリマーのMwは173,900、分子量分布4.19であった。
<Synthesis example L2 Synthesis of polyamic acid (L2)>
3.842 g (10.10 mmol) of m-PCH7AB was dissolved in 44 g of NMP, 2.158 g (9.8934 mmol) of PMDA was added, and then the reaction was carried out at 23 ° C. for 2 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 173,900 and the molecular weight distribution was 4.19.

<合成例L3 ポリアミック酸(L3)の合成>
PCH7AB 3.842g(10.10mmol)をNMP 44gに溶解し、PMDA 2.158g(9.8934mmol)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で2時間反応させた。得られたポリマーのMwは12,100、分子量分布1.85であった。
<Synthesis example L3 Synthesis of polyamic acid (L3)>
3.842 g (10.10 mmol) of PCH7AB was dissolved in 44 g of NMP, 2.158 g (9.8934 mmol) of PMDA was added, and then the reaction was carried out at 23 ° C. for 2 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 12,100 and the molecular weight distribution was 1.85.

<合成例L4 ポリアミック酸(L4)の合成>
PCH7AB 1.974g(5.1883mmol)とBPTP 1.807g(5.1883mmol)をNMP 44gに溶解し、PMDA2.218g(10.17mmol)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で2時間反応させた。得られたポリマーのMwは53,700、分子量分布1.89であった。
<Synthesis example L4 Synthesis of polyamic acid (L4)>
PCH7AB 1.974 g (5.1883 mmol) and BPTP 1.807 g (5.1883 mmol) were dissolved in NMP 44 g, PMDA 2.218 g (10.17 mmol) was added, and then the mixture was reacted at 23 ° C. for 2 hours under a nitrogen atmosphere. rice field. The Mw of the obtained polymer was 53,700 and the molecular weight distribution was 1.89.

<比較合成例 ポリアミック酸(HL1)の合成>
TFMB 2.86g(0.0089mol)をNMP 35.2gに溶解し、CBDA 1.944g(0.00991mol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは69,200、分子量分布2.2であった。得られた溶液は、PGMEに可溶であった。
<Comparative synthesis example Polyamic acid (HL1) synthesis>
2.86 g (0.0089 mol) of TFMB was dissolved in 35.2 g of NMP, 1.944 g (0.00991 mol) of CBDA was added, and the mixture was reacted at 23 ° C. for 24 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 69,200 and the molecular weight distribution was 2.2. The resulting solution was soluble in PGME.

[4]樹脂基板形成用組成物の調製
合成例S1で得られたポリイミドS1をγ―ブチロラクトンに15質量%となるように溶解させ、樹脂基板形成用組成物として用いた。
[4] Preparation of Composition for Forming a Resin Substrate The polyimide S1 obtained in Synthesis Example S1 was dissolved in γ-butyrolactone in an amount of 15% by mass and used as a composition for forming a resin substrate.

[5]剥離層形成用組成物の調製
[実施例1-1]
合成例L1で得られた反応液に、BCSとNMPを加え、ポリマー濃度が5質量%、BCSが20質量%となるように希釈し、剥離層形成用組成物L1を得た。
[5] Preparation of composition for forming a release layer [Example 1-1]
BCS and NMP were added to the reaction solution obtained in Synthesis Example L1 and diluted so that the polymer concentration was 5% by mass and the BCS was 20% by mass to obtain a release layer forming composition L1.

[実施例1-2~1-4]
合成例L1で得られた反応液の代わりに、それぞれ合成例L2~L4で得られた反応液を用いた以外は、実施例1-1と同様の方法で、剥離層形成用組成物L2~L4を得た。
[Examples 1-2 to 1-4]
The composition for forming a release layer L2 to the same method as in Example 1-1, except that the reaction solutions obtained in Synthesis Examples L2 to L4 were used instead of the reaction solutions obtained in Synthesis Example L1. Obtained L4.

[比較例1-1]
MA-STゾル(日産化学工業株式会社製のシリカゾル)20gにγ-ブチロラクトン14gを加え、エバポレータでメタノールを減圧留去し、シリカゾルのγ-ブチロラクトン溶液20gを作製した。一方、合成例S1で得られたポリイミドS1 3gをγ-ブチロラクトン溶液67gで溶解させ、ポリイミドS1のγ-ブチロラクトン溶液を作製した。その後、この2つの溶液を23℃で2時間攪拌し、剥離層形成用組成物HL1を得た。
[Comparative Example 1-1]
14 g of γ-butyrolactone was added to 20 g of MA-ST sol (silica sol manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), and methanol was distilled off under reduced pressure with an evaporator to prepare 20 g of a γ-butyrolactone solution of silica sol. On the other hand, 3 g of the polyimide S1 obtained in Synthesis Example S1 was dissolved in 67 g of the γ-butyrolactone solution to prepare a γ-butyrolactone solution of the polyimide S1. Then, the two solutions were stirred at 23 ° C. for 2 hours to obtain a release layer forming composition HL1.

[6]剥離層及び樹脂基板の作製
[実施例2-1]
スピンコータ(条件:回転数3,000rpmで約30秒)を用いて、実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1を、ガラス基体としての100mm×100mmガラス基板(以下同様)の上に塗布した。
そして、得られた塗膜を、ホットプレートを用いて120℃で5分間加熱し、その後、オーブンを用いて、空気存在下、240℃で60分間加熱し、ガラス基板上に厚さ約0.1μmの剥離層を形成し、剥離層付きガラス基板を得た。
[6] Preparation of release layer and resin substrate [Example 2-1]
Using a spin coater (condition: rotation speed of 3,000 rpm for about 30 seconds), the release layer forming composition L1 obtained in Example 1-1 was applied to a 100 mm × 100 mm glass substrate (same below) as a glass substrate. Applied on top.
Then, the obtained coating film was heated at 120 ° C. for 5 minutes using a hot plate, and then heated at 240 ° C. for 60 minutes in the presence of air using an oven, and the thickness was about 0. A 1 μm release layer was formed to obtain a glass substrate with a release layer.

バーコーター(ギャップ:250μm)を用いて、ガラス基板上の剥離層(樹脂薄膜)の上に樹脂基板形成用組成物を塗布した。そして、得られた塗膜を、ホットプレートを用いて120℃で10分間加熱し、その後、オーブンを用いて、空気存在下、250℃で60分間加熱し、剥離層上に厚さ約20μmの樹脂基板を形成し、樹脂基板・剥離層付きガラス基板を得た。 Using a bar coater (gap: 250 μm), the composition for forming a resin substrate was applied onto the release layer (resin thin film) on the glass substrate. Then, the obtained coating film is heated at 120 ° C. for 10 minutes using a hot plate, and then heated at 250 ° C. for 60 minutes in the presence of air using an oven to have a thickness of about 20 μm on the release layer. A resin substrate was formed, and a resin substrate and a glass substrate with a release layer were obtained.

[実施例2-2~2-4]
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1の代わりに、それぞれ実施例1-2~1-4で得られた剥離層形成用組成物L2~L4を用いた以外は、実施例2-1と同様の方法で剥離層及び樹脂基板を形成し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を作製した。
[Examples 2-2 to 2-4]
Except that the release layer forming compositions L2 to L4 obtained in Examples 1-2 to 1-4 were used instead of the release layer forming composition L1 obtained in Example 1-1, respectively. A release layer and a resin substrate were formed in the same manner as in Example 2-1 to prepare a glass substrate with a release layer and a resin substrate / a glass substrate with a release layer.

[比較例2-1]
実施例1-1で得られた剥離層形成用組成物L1の代わりに、比較例1-1で得られた剥離層形成用組成物HL1を用いた以外は、実施例2-1と同様の方法で剥離層及び樹脂基板を形成し、剥離層付きガラス基板及び樹脂基板・剥離層付きガラス基板を作製した。
[Comparative Example 2-1]
The same as in Example 2-1 except that the release layer forming composition HL1 obtained in Comparative Example 1-1 was used instead of the release layer forming composition L1 obtained in Example 1-1. A release layer and a resin substrate were formed by the method, and a glass substrate with a release layer and a resin substrate / a glass substrate with a release layer were produced.

[7]剥離性の評価
上記実施例2-1~2-4及び比較例2-1で得られた剥離層付きガラス基板について、剥離層とガラス基板との剥離性を、樹脂基板・剥離層付きガラス基板について、剥離層と樹脂基板との剥離性を、下記手法にて確認した。
<樹脂薄膜のクロスカット試験剥離性評価>
実施例2-1~2-4及び比較例2-1で得られた剥離層付きガラス基板上の剥離層をクロスカット(縦横1mm間隔、以下同様)し、100マスカットを行った。すなわち、このクロスカットにより、1mm四方のマス目を100個形成した。
そして、この100マスカット部分に粘着テープを張り付けて、そのテープを剥がし、以下の基準(5B~0B,B,A,AA)に基づき、剥離の程度を評価した。結果を表1に示す。
<判定基準>
5B:0%剥離(剥離なし)
4B:5%未満の剥離
3B:5~15%未満の剥離
2B:15~35%未満の剥離
1B:35~65%未満の剥離
0B:65%~80%未満の剥離
B:80%~95%未満の剥離
A:95%~100%未満の剥離
AA:100%剥離(すべて剥離)
[7] Evaluation of peelability With respect to the glass substrate with a peeling layer obtained in Examples 2-1 to 2-4 and Comparative Example 2-1 above, the peelability between the peeling layer and the glass substrate was determined by the resin substrate / peeling layer. Regarding the attached glass substrate, the peelability between the release layer and the resin substrate was confirmed by the following method.
<Cross-cut test peelability evaluation of resin thin film>
The peeling layers on the glass substrate with the peeling layer obtained in Examples 2-1 to 2-4 and Comparative Example 2-1 were cross-cut (at intervals of 1 mm in length and width, the same applies hereinafter), and 100 muscats were performed. That is, by this cross cut, 100 squares of 1 mm square were formed.
Then, an adhesive tape was attached to the 100 muscat portion, the tape was peeled off, and the degree of peeling was evaluated based on the following criteria (5B to 0B, B, A, AA). The results are shown in Table 1.
<Judgment criteria>
5B: 0% peeling (no peeling)
4B: Peeling less than 5% 3B: Peeling less than 5-15% 2B: Peeling less than 15-35% 1B: Peeling less than 35-65% 0B: Peeling less than 65% -80% B: 80% -95 Peeling less than% A: Peeling from 95% to less than 100% AA: Peeling 100% (all peeling)

<樹脂基板の初期剥離力の評価>
実施例2-1~2-4及び比較例2-1で得られた樹脂基板・剥離層付きガラス基板の樹脂基板を、カッターを用いて25mm幅の短冊状にカットした。そして、カットした樹脂基板の先端にセロハンテープを張り付け、これを試験片とした。この試験片を、(株)アトニック製プッシュプルテスターを用いて剥離角度が90°となるように剥離試験を行い、下記の基準(5B~0B,B,A,AA)に基づいて剥離力を評価した。結果を表1に示す。
<判定基準>
5B:0%剥離(剥離なし)
4B:5%未満の剥離
3B:5~15%未満の剥離
2B:15~35%未満の剥離
1B:35~65%未満の剥離
0B:65%~80%未満の剥離
B:80%~95%未満の剥離
A:95%~100%未満の剥離
AA:100%剥離(すべて剥離)
<Evaluation of initial peeling force of resin substrate>
The resin substrate of the resin substrate / glass substrate with a release layer obtained in Examples 2-1 to 2-4 and Comparative Example 2-1 was cut into strips having a width of 25 mm using a cutter. Then, a cellophane tape was attached to the tip of the cut resin substrate, and this was used as a test piece. This test piece is subjected to a peeling test using a push-pull tester manufactured by Atonic Co., Ltd. so that the peeling angle is 90 °, and the peeling force is determined based on the following criteria (5B to 0B, B, A, AA). evaluated. The results are shown in Table 1.
<Judgment criteria>
5B: 0% peeling (no peeling)
4B: Peeling less than 5% 3B: Peeling less than 5-15% 2B: Peeling less than 15-35% 1B: Peeling less than 35-65% 0B: Peeling less than 65% -80% B: 80% -95 Peeling less than% A: Peeling from 95% to less than 100% AA: Peeling 100% (all peeling)

Figure 0007092114000019
Figure 0007092114000019

表1に示されるとおり、実施例2~1~2-4の剥離層は、ガラス基板との密着性に優れる一方で、樹脂基板との剥離性にも優れることが確認された。
一方、比較例2-1の剥離層は、ガラス基板との密着性に優れるが、樹脂基板との剥離性に劣っていることが確認された。
As shown in Table 1, it was confirmed that the peeling layers of Examples 2 to 1 to 2-4 were excellent in adhesion to the glass substrate and also excellent in peelability to the resin substrate.
On the other hand, it was confirmed that the peeling layer of Comparative Example 2-1 was excellent in adhesion to the glass substrate but inferior in peelability to the resin substrate.

Claims (10)

下記式(1)で表される構造単位を含む重量平均分子量5,000以上のポリアミック酸と、有機溶剤とを含有する剥離層形成用組成物。
Figure 0007092114000020
[(式中、X1は、フェニル基又はビフェニル基を表し、Z1は、下記式[Z2]で表される基であり、n1は自然数を表す。)
Figure 0007092114000021
(式中、Y1は、単結合、-O-又は-NH-を表し、
5は、ベンゼン環及びシクロヘキサン環からなる群から選ばれる2価の環状基を表し、
nは1~3の整数を表し、nが2以上の場合、Y5同士は同一でも異なっていてもよく、
6は、炭素数1~18のアルキル基を表す。)]
A composition for forming a release layer containing a polyamic acid having a weight average molecular weight of 5,000 or more including a structural unit represented by the following formula (1) and an organic solvent.
Figure 0007092114000020
[(In the formula, X 1 represents a phenyl group or a biphenyl group, Z 1 is a group represented by the following formula [Z 2], and n 1 represents a natural number.)
Figure 0007092114000021
(In the equation, Y 1 represents a single bond, -O- or -NH-, and represents.
Y 5 represents a divalent cyclic group selected from the group consisting of a benzene ring and a cyclohexane ring.
n represents an integer of 1 to 3, and when n is 2 or more, Y 5 may be the same or different.
Y 6 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms. )]
上記Z1が、下記式[Z3]、[Z4]又は[Z5]で表される基である請求項1記載の剥離層形成用組成物。
Figure 0007092114000022
(式中、Y6は、互いに独立して、炭素数1~18のアルキル基を表す。)
The composition for forming a release layer according to claim 1, wherein Z 1 is a group represented by the following formula [Z 3], [Z 4] or [Z 5].
Figure 0007092114000022
(In the formula, Y 6 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms independently of each other.)
上記有機溶剤が、式(S1)で表されるアミド類、式(S2)で表されるアミド類及び式(S3)で表されるアミド類から選ばれる少なくとも1つを含む請求項1又は2記載の剥離層形成用組成物。
Figure 0007092114000023
(式中、R1及びR2は、互いに独立して、炭素数1~10のアルキル基を表し、R3は、水素原子、又は炭素数1~10のアルキル基を表し、hは、自然数を表す。)
Claim 1 or 2 in which the organic solvent comprises at least one selected from the amides represented by the formula (S1), the amides represented by the formula (S2) and the amides represented by the formula (S3). The composition for forming a release layer according to the above.
Figure 0007092114000023
(In the formula, R 1 and R 2 represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms independently of each other, R 3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and h is a natural number. Represents.)
請求項1~3のいずれか1項記載の剥離層形成用組成物を用いて形成される剥離層。 A release layer formed by using the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 3. 請求項1~3のいずれか1項記載の剥離層形成用組成物を基体上に塗布し、焼成することを含む剥離層の製造方法。 A method for producing a release layer, which comprises applying the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 3 onto a substrate and firing the composition. 請求項1~3のいずれか1項記載の剥離層形成用組成物を基体上に塗布し、焼成して剥離層を形成する工程、
上記剥離層上に、被剥離体を形成する工程、及び
上記被剥離体を、上記剥離層から剥離する工程
を含む被剥離体の製造方法。
A step of applying the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 3 onto a substrate and firing it to form a release layer.
A method for producing a stripped body, which comprises a step of forming a stripped body on the peeled layer and a step of peeling the stripped body from the peeled layer.
請求項4記載の剥離層を用いることを特徴とする、樹脂基板を備えるフレキシブル電子デバイスの製造方法。 A method for manufacturing a flexible electronic device including a resin substrate, which comprises using the release layer according to claim 4. 請求項4記載の剥離層を用いることを特徴とする、樹脂基板を備えるタッチパネルセンサーの製造方法。 A method for manufacturing a touch panel sensor including a resin substrate, which comprises using the release layer according to claim 4. 上記樹脂基板が、ポリイミド樹脂基板である請求項又は記載の製造方法。 The manufacturing method according to claim 7 or 8 , wherein the resin substrate is a polyimide resin substrate. フレキシブル電子デバイスに適用される積層体であって、
基体と、
上記基体上に形成される剥離層と、
上記剥離層上に形成される樹脂基板と
を有し、上記剥離層が請求項1~3のいずれか1項記載の剥離層形成用組成物により形成され、かつ、上記樹脂基板と上記剥離層との密着力が、上記剥離層と上記基体との密着力より大きいことを特徴とする積層体。
A laminate applied to flexible electronic devices,
With the substrate
The peeling layer formed on the substrate and
It has a resin substrate formed on the release layer, the release layer is formed by the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 3, and the resin substrate and the release layer are formed. A laminate characterized in that the adhesion with the peeling layer is greater than the adhesion between the release layer and the substrate.
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