JP7083996B2 - 歪センサ素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ε=ΔL/L=(ΔR/R)/K ・・・(1)、すなわち
K=(ΔR/R)/(ΔL/L) ・・・(2)
で表される値である。この値が大きいほど歪センサ素子の伸張量に対するインピーダンス変化が大きく、歪みに対する検出感度が高いと言える。さらに、特許文献2に記載の歪センサ素子は、カーボンナノチューブの断絶による電気インピーダンスの変化を検出するといった機構であるため、伸縮を繰り返すとその検出感度が低下してゆき、耐久性という点ではさらなる改良が望まれている。
(1)構成
本発明の歪センサ素子は、図1及び図2に示すように、弾性部材からなる経糸1に、カーボンナノチューブからなる糸を緯糸2として織り込んでなる長手方向に伸縮可能な帯状の伸縮性織物からなる歪センサ素子10であって、
前記緯糸2は、前記帯状の伸縮性織物の一方の側部3a及び他方の側部3bで折り返すことにより、長手方向の一方の端部から他方の端部まで連続した少なくとも1本の糸で形成されており、前記帯状の伸縮性織物が縮んだ状態のときに、少なくとも1組の隣接する緯糸2a,2b同士が、前記帯状の伸縮性織物の幅方向の少なくとも一部で接触していることを特徴とする。なお、本願明細書において、「カーボンナノチューブ」を「CNT」と略して表記する場合がある。
本発明の歪センサ素子を構成する長手方向に伸縮可能な帯状の伸縮性織物は、緯糸としてカーボンナノチューブからなる糸を使用し、経糸として弾性部材からなる糸を使用して得られる。
本発明の歪センサ素子の緯糸として用いるカーボンナノチューブからなる糸としては、例えば、カーボンナノチューブを紡績して作製した紡績糸を用いる。カーボンナノチューブからなる糸は、10~200 μmの直径を有するのが好ましく、その直径偏差が20%以下であるのが好ましい。
本発明の歪センサ素子の経糸として用いる弾性部材からなる糸としては、限定されないが、伸縮性樹脂からなるものが好ましい。経糸としては、ポリウレタン系弾性繊維、ポリオレフィン系弾性繊維、ポリエステル系弾性繊維、ポリアミド系弾性繊維、天然ゴム系弾性繊維、合成ゴム系弾性繊維、天然ゴムと合成ゴムの複合ゴム系弾性繊維等の弾性繊維からなる糸が好ましく、特にポリウレタン繊維からなる糸が好ましい。
(1) 帯状の伸縮性織物の製造
本発明の歪センサ素子は、弾性部材からなる経糸に、カーボンナノチューブからなる糸を緯糸としてニードル織機を用いて織り込むことによって製造する。
カーボンナノチューブからなる糸は、基板上に垂直配向した多数のカーボンナノチューブ(カーボンナノチューブアレイ)を紡績することによって得られる。本発明の歪センサ素子で用いるカーボンナノチューブからなる糸を製造する方法の一例を以下に説明するが、本発明はこれらの方法に限定されるものではない。
カーボンナノチューブアレイを製造する方法は、金属微粒子からなる反応触媒が表面に形成された基板を形成する工程(第1工程)と、前記基板を用いてカーボンナノチューブを合成する工程(第2工程)とを有する。
まず、図5(a)に示すように、平板状の基板101の表面に、触媒となる金属膜102を形成する。基板としては、酸化膜を形成したシリコン、石英等のSiO2からなる表面に、さらにスパッタ等の方法でAl2O3を成膜したもの、又はAl2O3からなるサファイヤ基板を使用するのが好ましい。これらの基板に、電子ビーム蒸着等の方法により金属膜(例えば、Fe薄膜)102を成膜する。
第1工程で触媒活性を有する金属微粒子102aを形成させた後、引き続き反応容器(CVD装置)内で、還元雰囲気下で炭素源ガス(原料ガス)を供給し、加熱することにより、基板1上に形成された金属微粒子102aから気相合成法によってカーボンナノチューブ103が形成される(図5(c))。第2工程は、昇温過程、合成過程及び冷却過程を有している。これらの過程について以下に詳述する。
炉内の温度を300~1000℃まで昇温する。昇温速度は特に限定されないが、50~1000℃/minであるのが好ましく、100~500℃/minであるのがより好ましい。炭素源ガスの供給は、この昇温過程の開始と同時、又は昇温過程の途中で開始するのが好ましい。炭素源ガスの供給は、昇温後に行ってもよい。
反応容器を昇温した後、還元雰囲気に炭素源ガスを混合してなる混合ガス中で、1~100分間保持することにより、供給した炭素源ガスから気相合成法によりカーボンナノチューブが合成される。炭素源ガスとしては、特に限定されない。混合ガス(還元ガス+炭素源ガス)中の炭素源ガスの濃度は、1~100体積%であるのが好ましく、5~60体積%であるのがより好ましい。保持温度は500~900℃であるのがより好ましい。また保持時間は、1~20分であるのがより好ましい。
合成が終了した後、還元性ガス及び炭素源ガスを止めて(又は真空にして)反応容器を室温まで冷却する。降温速度は特に限定されない。
図6は基板上に形成されたカーボンナノチューブアレイ104から紡績糸を作製する工程を模式的に示す。前述の方法によって得られたカーボンナノチューブアレイ104は図6(a)に示すように、基板上に垂直に配向して形成されている。この基板の一つの辺から、図6(b)に示すように、3~5 mmの部分をその辺に平行に割って、小さい側の基板片101aを水平方向に引き離すと、大きい側の基板片101bと小さい側の基板片101aとの間にカーボンナノチューブ103が連続的に配向し、複数の繊維131を形成する(図6(c)参照)。このようにして引き出された複数の繊維131に、例えば、基板片101bを引き出し方向を軸にして回転させて縒りをかけ、カーボンナノチューブ103からなる紡績糸132を形成する(図6(d)参照)。このようにして得られた紡績糸132は、ボビン105等に巻き付ける。
(1) カーボンナノチューブからなる糸の作製
シリコンの平板(6インチシリコンウェハ(100)を20 mm×40 mmに切出したもの)の表面に、熱酸化によりSiO2の薄膜を形成し、さらにスパッタによりAl2O3を成膜した。Al2O3を成膜した後のシリコン平板に有機溶剤洗浄及びオゾン処理を施した後、電子ビーム蒸着によりFe薄膜を形成し基板を得た。
ポリウレタン(44デシテックス)にナイロン(登録商標)(8デシテックス)を横巻きして得られた複合繊維を経糸として使用し、得られたカーボンナノチューブからなる糸を緯糸としてニードル織機を用いて織り込むことによって帯状の伸縮性織物(幅5 mm、緯糸のピッチ0.23 mm)からなる歪センサ素子を作製した。なお緯糸のピッチは、緯糸ループ(緯糸2本組)の繰り返しの間隔である。すなわち、1 cmあたりに44組の緯糸ループを形成するように織物を作製した。
緯糸のピッチを0.15 mm及び0.55 mmとした以外実施例1と同様にして、それぞれ実施例2及び実施例3の帯状の伸縮性織物からなる歪センサ素子を作製した。得られた伸縮性織物の顕微鏡写真を図12及び図13に示す。
伸縮性織物の幅及び緯糸のピッチを表1に示すように変更した以外実施例1と同様にして、実施例4~実施例8の帯状の伸縮性織物からなる歪センサ素子を作製した。
歪センサ素子の伸張量に対するインピーダンスの関係から、伸張率(ΔL/L)が20%、40%及び60%のときのゲージ率を求めた。結果を表1に示す。
1・・・経糸
2a,2b・・・緯糸
3a・・・一方の側部
3b・・・他方の側部
4・・・緯糸ループ
5・・・止め糸
101・・・基板
101a、101b・・・基板片
102・・・金属膜
102a・・・金属微粒子
103・・・カーボンナノチューブ
104・・・カーボンナノチューブアレイ
131・・・繊維
132・・・紡績糸
105・・・ボビン
Claims (10)
- 弾性部材からなる経糸に、カーボンナノチューブからなる糸を緯糸として織り込んでなる長手方向に伸縮可能な帯状の伸縮性織物からなる歪センサ素子であって、
前記緯糸が、前記帯状の伸縮性織物の一方の側部及び他方の側部で折り返すことにより、長手方向の一方の端部から他方の端部まで連続した少なくとも1本の糸で形成されており、
前記帯状の伸縮性織物が縮んだ状態のときに、少なくとも1組の隣接する緯糸同士が、前記帯状の伸縮性織物の幅方向の少なくとも一部で接触していることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1に記載の歪センサ素子において、
前記隣接する緯糸同士の接触部分が、前記帯状の伸縮性織物の伸びに応じて減少してゆくことを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項2に記載の歪センサ素子において、
前記隣接する緯糸同士の接触部分の減少に伴って、長手方向の一方の端部と他方の端部との間のインピーダンスが変化することを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項3に記載の歪センサ素子において、
前記歪センサ素子が伸張する前の長さをL、外力による前記歪センサ素子の伸張量をΔL、前記歪センサ素子が伸張する前のインピーダンスをR、前記歪センサ素子が伸張したときのインピーダンス変化量をΔRとしたとき、
前記歪センサ素子の伸張率(ΔL/L)が20~60%の範囲でゲージ率Kが2以上[ただし、ゲージ率Kは、式:K=(ΔR/R)/(ΔL/L)で表される値である。]であることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項4に記載の歪センサ素子において、
前記歪センサ素子の伸張率(ΔL/L)が20~60%の範囲でゲージ率Kが10以上であることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1~5のいずれかに記載の歪センサ素子において、
前記弾性部材からなる経糸が、伸縮性樹脂からなることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1~6のいずれかに記載の歪センサ素子において、
前記弾性部材からなる経糸が、前記伸縮性樹脂からなる本体部と、前記本体部の周面に螺旋状に巻き付けたポリアミド又はPETの糸からなる被覆部とを有することを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1~7のいずれかに記載の歪センサ素子において、
前記カーボンナノチューブからなる糸が、80~350μmの長さを有するカーボンナノチューブからなる紡績糸であることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1~8のいずれかに記載の歪センサ素子において、
前記カーボンナノチューブからなる糸が、10~200μmの直径を有し、直径偏差が20%以下であることを特徴とする歪センサ素子。 - 請求項1~9に記載の長手方向に伸縮可能な帯状の伸縮性織物からなる歪センサ素子を製造する方法であって、
弾性部材からなる経糸に、カーボンナノチューブからなる糸を緯糸としてニードル織機を用いて織り込むことを特徴とする歪センサ素子の製造方法。
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