JP7076280B2 - Measuring method and measuring device - Google Patents
Measuring method and measuring device Download PDFInfo
- Publication number
- JP7076280B2 JP7076280B2 JP2018087428A JP2018087428A JP7076280B2 JP 7076280 B2 JP7076280 B2 JP 7076280B2 JP 2018087428 A JP2018087428 A JP 2018087428A JP 2018087428 A JP2018087428 A JP 2018087428A JP 7076280 B2 JP7076280 B2 JP 7076280B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- image
- plane
- angle
- acquiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
Description
本発明は、シート状または板状の対象物から画像を取得する技術に関連し、取得された画像は、好ましくは、対象物の厚さや表面形状の変化の特性を取得するために利用される。 The present invention relates to a technique for acquiring an image from a sheet-shaped or plate-shaped object, and the acquired image is preferably used to acquire the characteristics of changes in the thickness and surface shape of the object. ..
従来より、連続的にシート状または板状の部材を製造する技術が知られている。例えば、特許文献1のロール成形装置では、ダイから押し出された溶融樹脂がロールに挟まれつつ連続的に搬送され、シートが成形される。
Conventionally, a technique for continuously manufacturing a sheet-shaped or plate-shaped member has been known. For example, in the roll forming apparatus of
一方、連続的に製造されたシートを検査する様々な技術も提案されている。例えば、特許文献2の検査方法では、光源とスクリーンとの間にシート状のフィルムをスクリーンに対して傾斜して配置し、スクリーンを撮影することにより、フィルム表面の緩やかな波状の凹凸に起因して生じるフィルムの厚みむらが検査される。特許文献3の欠陥状態検出方法では、透明粘着シート体の幅方向に対して直管蛍光管を傾斜して配置し、シートの長さ方向に沿う筋状欠陥部の陰影をカメラで検出する技術が開示されている。 On the other hand, various techniques for inspecting continuously manufactured sheets have also been proposed. For example, in the inspection method of Patent Document 2, a sheet-like film is arranged at an angle with respect to the screen between the light source and the screen, and the screen is photographed, resulting in gentle wavy irregularities on the film surface. The resulting uneven thickness of the film is inspected. In the defect state detection method of Patent Document 3, a straight tube fluorescent tube is arranged at an angle with respect to the width direction of the transparent adhesive sheet body, and a shadow of a streak defect portion along the length direction of the sheet is detected by a camera. Is disclosed.
ところで、シートや板が連続的に搬送されつつ製造される場合、様々な要因により、幅方向に伸びる凸状または凹状の厚さまたは表面形状の変化が現れる。厚さまたは表面形状の変化は、欠陥と評価される場合もあれば、製品の質のレベルとして評価される場合もある。いずれの場合においても、光の透過または反射のばらつきの特性を取得することにより、変化が生じる原因の究明、変化を低減する装置調整、変化を低減する余地があるか否かの判断等に、取得された特性を役立てることが期待される。 By the way, when a sheet or a plate is manufactured while being continuously conveyed, a change in the thickness or surface shape of a convex or concave shape extending in the width direction appears due to various factors. Changes in thickness or surface shape may be assessed as defects or as a level of product quality. In either case, by acquiring the characteristics of variation in light transmission or reflection, it is possible to investigate the cause of the change, adjust the device to reduce the change, and determine whether there is room to reduce the change. It is expected that the acquired characteristics will be useful.
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、シート状または板状の対象物における光の透過または反射のばらつきの特性を示す画像を取得することを主たる目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is mainly to obtain an image showing the characteristics of variation in light transmission or reflection in a sheet-shaped or plate-shaped object.
請求項1に記載の発明は、搬送方向に連続的に搬送されつつ製造されたシート状または板状の対象物から前記対象物の特性を示す測定値を取得する測定方法であって、a)前記対象物の面が予め定められたXY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行、かつ、前記対象物の前記面の法線とX方向とのなす角度が所定の角度となるように前記対象物を配置する工程と、b)Y方向に関して平行または収束または発散する光を前記X方向から前記対象物に照射する工程と、c)前記対象物を透過もしくは反射した光がスクリーンに投影された像を取得することにより、または、前記対象物を透過もしくは反射した光を受光することにより画像を取得する工程と、d)前記搬送方向に対応する方向における前記画像の明度変化の最大値を取得する工程と、e)前記対象物の前記面が前記XY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行な状態を維持しながら、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を変更しつつ、前記b)ないしd)工程を繰り返すことにより、複数の画像を取得して前記複数の画像のそれぞれの前記明度変化の最大値を取得する工程と、f)前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度と、前記明度変化の最大値との関係を取得する工程とを備える。
The invention according to
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の測定方法であって、前記e)工程において、前記対象物を前記XY平面に垂直な軸を中心に回転させる。
The invention according to claim 2 is the measuring method according to
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の測定方法であって、前記e)工程において、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を15度以下の角度だけ変更しつつ前記b)ないしd)工程が繰り返される。 The invention according to claim 3 is the measuring method according to claim 1 or 2, wherein in the step e), the angle between the normal of the surface of the object and the X direction is 15 degrees or less. The steps b) to d) are repeated while changing only the angle of.
請求項4に記載の発明は、搬送方向に連続的に搬送されつつ製造されたシート状または板状の対象物から前記対象物の特性を示す測定値を取得する測定装置であって、前記対象物の面が予め定められたXY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行な状態を維持しながら、前記対象物の前記面の法線とX方向とのなす角度が相対的に変更可能なように前記対象物を保持する保持部と、Y方向に関して平行または収束または発散する光を前記X方向から前記対象物に照射する照明部と、前記対象物を透過もしくは反射した光がスクリーンに投影された像を取得することにより、または、前記対象物を透過もしくは反射した光を受光することにより画像を取得する撮像部と、前記搬送方向に対応する方向における前記画像の明度変化の最大値を取得する演算部と、前記撮像部および前記保持部を制御する制御部とを備え、前記制御部の制御により、前記保持部が前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を変更しつつ前記撮像部が画像を繰り返し取得することにより複数の画像が取得され、前記演算部が、前記複数の画像のそれぞれの前記明度変化の最大値を取得し、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度と、前記明度変化の最大値との関係を取得する。 The invention according to claim 4 is a measuring device for acquiring a measured value indicating the characteristics of the object from a sheet-shaped or plate-shaped object manufactured while being continuously conveyed in the transport direction. While maintaining a state in which the surface of the object is perpendicular to the predetermined XY plane and the transport direction is parallel to the XY plane, the normal line of the surface of the object and the X direction are formed. A holding unit that holds the object so that the angle can be changed relatively, an illuminating unit that irradiates the object with light parallel to, converging, or diverging in the Y direction from the X direction, and transmitting the object. Alternatively, the image pickup unit that acquires an image by acquiring an image of the reflected light projected on the screen, or by receiving the light transmitted or reflected from the object, and the imager in a direction corresponding to the transport direction. It includes a calculation unit that acquires the maximum value of the change in brightness of an image, a control unit that controls the image pickup unit and the holding unit, and the holding unit controls the normal to the surface of the object by the control of the control unit. A plurality of images are acquired by the imaging unit repeatedly acquiring images while changing the angle between the image and the X direction, and the arithmetic unit acquires the maximum value of the brightness change of each of the plurality of images. Then, the relationship between the angle formed by the normal line of the surface of the object and the X direction and the maximum value of the change in brightness is acquired .
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の測定装置であって、前記保持部が、前記対象物を前記XY平面に垂直な軸を中心に回転させる。 The invention according to claim 5 is the measuring device according to claim 4 , wherein the holding portion rotates the object around an axis perpendicular to the XY plane.
請求項6に記載の発明は、請求項4または5に記載の測定装置であって、前記制御部の制御により、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を15度以下の角度だけ変更しつつ前記複数の画像が取得される。 The invention according to claim 6 is the measuring device according to claim 4 or 5 , wherein the angle formed by the normal line of the surface of the object and the X direction is controlled by the control unit. The plurality of images are acquired while changing only the angle of 15 degrees or less .
本発明によれば、搬送方向における対象物の光の透過または反射のばらつきの特性を示す画像を取得することができる。 According to the present invention, it is possible to obtain an image showing the characteristics of variation in light transmission or reflection of an object in the transport direction.
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る測定装置1を示す正面図である。測定装置1は、画像取得装置11と、コンピュータ12と、ディスプレイ13とを含む。図2は、画像取得装置11の平面図である。図1および図2では、説明の都合上、X方向、Y方向およびZ方向を示している。X方向、Y方向およびZ方向は互いに垂直である。測定の対象となる対象物9は、所定の搬送方向に連続的に搬送されつつ製造されたシート状または板状の部材である。対象物9は、例えば、樹脂により成形される。対象物9は、好ましくは、タッチパネル用ガラスの代替品であるプラスチック製品であるが、対象物9の用途はこれには限定されない。対象物9は樹脂以外の材料により成形されてもよい。第1の実施の形態では、対象物9は透明であり、対象物9の両主面はほぼ平面である。
FIG. 1 is a front view showing a
図1および図2に示すように、画像取得装置11は、対象物9を保持する保持部21と、対象物9に光を照射する照明部22と、スクリーン23と、撮像部24と、制御部25とを含む。図2では制御部25の図示を省略している。保持部21は、対象物9の面が、XY平面に対して垂直、かつ、対象物9上の製造時の搬送方向に対応する方向がXY平面に対して平行となるように対象物9を保持する。対象物9の「面」とは、対象物9が有する最も大きな面である。XY平面とは、X方向およびY方向に対して平行な予め定められた仮想的な1つの面である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
保持部21は、対象物9を保持するフレーム211と、モータ212とを含む。モータ212は、フレーム211をZ方向に平行な、すなわち、XY平面に垂直な軸J1を中心に回転させる。保持部21は、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度が相対的に変更可能なように対象物9を保持する。図2では、フレーム211が回転する様子を二点鎖線にて示している。
The
照明部22は、光源221と、光出射部222と、レンズ223とを含む。図2では、光源221の図示を省略している。照明部22の光軸J2はX方向に平行、すなわち、YZ平面に対して垂直である。本実施の形態では、光源221はLEDである。光源221として他のものが用いられてもよい。光源221にて生成された光は、光ファイバを介して光出射部222へと導かれる。光出射部222は、ピンホールから光を出射する。すなわち、光出射部222は点光源である。光源221と光出射部222とは1つのユニットになっていてもよい。光出射部222から出射された光は、レンズ223にて平行光71に変換される。図1および図2では光出射部222やレンズ223を保持する構成要素の図示を省略している。
The
照明部22により、平行光71はX方向から対象物9に照射される。対象物9を透過した光はスクリーン23に導かれる。これにより、対象物9を透過した光がスクリーン23に投影される。撮像部24は、スクリーン23に投影された像を取得する。正確に表現すれば、撮像部24はスクリーン23に投影された対象物9の像を表すデータを取得する。撮像部24は、保持部21のフレーム211とは干渉しない位置からスクリーン23を撮像する。撮像部24はスクリーン23を斜め上から撮像するため、取得された画像は正面から撮像した場合と同形状になるように補正される。図1および図2ではスクリーン23および撮像部24を支持する構成要素を省略している。制御部25は、保持部21のモータ212および撮像部24を制御する。
The
図3は、対象物9が製造される様子を示す概略図である。図3は、特開2010-46798号公報にて開示される製造方法にて製造される様子を示しているが、対象物9の製造方法はこの方法には限定されない。ダイ81から押し出されるシート状の溶融樹脂は、まず、高剛性の主ロール82と第1金属弾性ロール83との間の間隙内に導かれる。樹脂は、主ロール82と第1金属弾性ロール83との間に挟まれて成形され、主ロール82の回転により主ロール82上にて搬送される。樹脂は、さらに主ロール82と第2金属弾性ロール84との間の間隙内に導かれ、主ロール82と第2金属弾性ロール84との間に挟まれてさらに成形される。
FIG. 3 is a schematic view showing how the
樹脂は第2金属弾性ロール84の回転により、第2金属弾性ロール84上にて搬送され、連続する対象物90となって符号91にて示す搬送方向に搬送される。対象物90の一部を切り出したものが、図1および図2に示す対象物9である。
The resin is conveyed on the second metal
図4は、対象物9を示す図である。図3の搬送方向91に対応する方向を示す矢印に符号91を付している。以下の説明では、搬送方向91に対応する対象物9上の方向も、「搬送方向91」と呼ぶ。また、対象物9の面に平行、かつ、搬送方向91に垂直な方向を幅方向92と呼ぶ。図1および図2では、幅方向92はXY平面に垂直である。
FIG. 4 is a diagram showing an
図5は、測定装置1の動作の流れを示す図である。まず、対象物9が保持部21のフレーム211に取り付けられる。既述のように、対象物9の面はXY平面に対して垂直、かつ、搬送方向91はXY平面に対して平行である。制御部25はモータ212を回転させ、対象物9は予め定められた最初の回転位置に配置される。これにより、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度が、初期の第1の角度となるように対象物9が配置される(ステップS11)。対象物9の面の法線(正確には、法線方向)は面上の各位置の厳密な意味での法線ではなく、フレーム211に保持された対象物9の面のおよその法線方向を指し、フレーム211やモータ212の回転軸に対して固定された方向である。
FIG. 5 is a diagram showing an operation flow of the measuring
光源221で生成された光は光出射部222から出射され、平行光71がX方向から対象物9に照射される(ステップS12)。もちろん、ステップS11とステップS12との順序は入れ替えられてもよい。対象物9への光の照射により、対象物9を透過した光がスクリーン23に投影されて対象物9の投影像が形成される。制御部25の制御により、撮像部24は投影像の画像を取得する(ステップS13)。画像のデータは、制御部25を介してコンピュータ12の記憶部に記憶される。
The light generated by the
制御部25は、モータ212を回転させて対象物9を次の回転位置に配置する。これにより、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度が、第2の角度となるように対象物9が配置される(ステップS14,S15)。なお、対象物9は軸J1を中心に回転するため、対象物9の面がXY平面に対して垂直、かつ、搬送方向91がXY平面に対して平行な状態は維持される。撮像部24による画像取得を再度実行することにより、2番目の画像のデータがコンピュータ12の記憶部に記憶される(ステップS13)。
The
制御部25の制御により、対象物9の面とX方向とのなす第2の角度を変更しつつ、撮像部24による撮像が繰り返される(ステップS13~S15)。これにより、複数の画像が取得され、そのデータがコンピュータ12に記憶される。その後、照明部22による対象物9への光の照射は停止される(ステップS16)。
By the control of the
ステップS15での対象物9の回転角度のピッチは、15度以下であることが好ましい。また、回転方向および回転角度のピッチは様々に変更可能であるが、好ましくは、回転方向および回転角度のピッチは一定である。なお、上記説明では、対象物9の面の法線とX方向とのなす最初の角度を「第1の角度」と呼び、2番目以降の角度を「第2の角度」と呼んでいるが、これらは説明の都合上の表現であり、必ずしも区別される必要はない。以下の他の実施の形態においても同様である。
The pitch of the rotation angle of the
図6は、取得された画像の一例である画像60を示す図である。図6の横方向61は、対象物9上における搬送方向91に対応する方向である。縦方向62は、対象物9の幅方向92に対応する方向である。図6では、画像60中に縦方向62に伸びる多数の筋が現れることを縦方向62に伸びる多数の破線にて表現している。これらの筋は、搬送方向91において対象物9の厚さまたは表面形状が変化することに起因する。筋は対象物9の幅方向92に伸びるため、以下、「横筋」と呼ぶ。
FIG. 6 is a diagram showing an
符号63にて示す矩形は、画像60のうちコンピュータ12の演算部121にて処理される領域を示す。以下、この領域63を「画像処理範囲」と呼ぶ。図7は画像処理範囲63を拡大して示す図である。画像処理範囲63は、縦方向62に伸びる多数の細長い単位領域64に分けられている。多数の単位領域64は横方向61に配列される。1つの単位領域64の横方向61の幅は、1画素以上の幅であり、本実施の形態では、各単位領域64において横方向61に4画素が並ぶ。
The rectangle indicated by
演算部121は、各単位領域64の画素値の平均を当該単位領域64の明度として求める。実際には、照明光の強度の不均一さや光学系の影響を解消する補正が行われる。具体的には、予め、対象物9が存在しない状態で撮像部24がスクリーン23の画像を取得する。演算部121は、画像中の各単位領域64の明度を参照明度として求める。そして、対象物9が存在する状態で取得された画像中の各単位領域64の明度が参照明度で除算される。これにより、補正された明度が得られる。補正された明度は、単位領域64に対応する対象物9上の領域の透過率を示す。以下の説明において、補正された明度を単に「明度」と呼ぶ。
The
演算部121は、ステップS13を繰り返すことにより取得された複数の画像に対して上記演算を行う。これにより、各画像の横方向61、すなわち、搬送方向91に対応する方向における明度の変化が取得される(ステップS17)。図8は明度変化の一例を示す図である。横軸は単位領域64の番号を示し、縦軸は明度を示す。図8から、何らかの原因により明度が変化していることが分かる。また、明度の変化は、ある程度の周期性を有することが分かる。
The
演算部121は、各画像における明度変化の最大値を求める。明度の変化としては様々なものが利用可能であるが、本実施の形態では、互いに隣接する単位領域64の間の明度差、すなわち、一方の明度から他方の明度を減算した値の絶対値が明度の変化として取得される。そして、各画像から明度変化の最大値が取得される。以下、明度変化の最大値を「コントラスト」と呼ぶ。各画像は各回転位置にそれぞれ対応することから、対象物9の1つのサンプルから取得された各画像のコントラストを求めることにより、回転位置とコントラストとの関係が得られる。
The
図9は、対象物9の回転位置とコントラストとの関係を例示する図である。図9に示す情報は図1のディスプレイ13に表示される(ステップS18)。符号901、902、903は、異なる対象物9に対する測定結果を示す。ただし、図9は実際に得られた測定結果を正確には表現しておらず、実際の測定結果に基づいて回転位置に対するコントラストの典型的な関係を描いている。回転位置は、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度を示すことから、以下、回転位置を「入射角」とも呼ぶ。入射角0度は、平行光71が対象物9に垂直に入射する状態である。
FIG. 9 is a diagram illustrating the relationship between the rotation position of the
一般的に、コントラストは、入射角が大きくなると大きくなる。これは、対象物9への照明光の入射角が大きくなると、隣接する単位領域64間での明度差が大きくなるからである。しかし、明度変化の1周期の長さが短い場合、照明光の入射角が大きくなりすぎると、1周期の長さが1つの単位領域64内に含まれてしまい、明度の変化が逆に低下する。その結果、コントラストが低下する。
In general, the contrast increases as the angle of incidence increases. This is because as the angle of incidence of the illumination light on the
図9の例の場合、符号901を付す線では、入射角が60度でコントラストが最大となる。符号902を付す線では、入射角が70度でコントラストが最大となる。符号903を付す線では、入射角が0度から80度に至るまでコントラストが単調に増加する。明度の変化は搬送方向91における対象物9の厚さや表面形状の変化を示すことから、符号901の場合、対象物9に周期長が短い周期的な厚さまたは表面形状の変化が存在し、符号902の場合、対象物9に符号901の場合よりも周期長が長い周期的な厚さまたは表面形状の変化が存在し、符号903の場合、対象物9に符号902の場合よりも周期長が長い周期的な厚さまたは表面形状の変化が存在するといえる。図9に示される情報である測定値は、搬送方向91における対象物9の厚さまたは表面形状の変化の周期的な特性、すなわち、対象物9上の横筋の特性を示す。より正確には、横筋による光の透過または反射のばらつきの特性を示す。なお、コントラストが増加から減少に転じる位置は、単位領域64の横方向61の幅の影響を受ける。すなわち、コントラストが増加から減少に転じる位置は、撮像部24の画素のサイズおよび単位領域64の横方向61の画素数に依存する。
In the case of the example of FIG. 9, in the line with
測定装置1では、対象物9を回転させることにより、容易に、横筋の特性を2次元空間で数値化およびグラフ化することができる。
In the
上記のようにして得られた情報は、様々な用途に利用することができる。例えば、図9において、コントラストが右側で大きい場合、対象物9上に、幅方向92に伸び、かつ、搬送方向91に関して長周期の横筋が生じているといえる。コントラストが左側で大きい場合、対象物9上に、幅方向92に伸び、かつ、搬送方向91に関して短周期の横筋が生じているといえる。したがって、コントラストを示す線が左上に存在すると、短周期の目立ちやすい横筋が対象物9に存在するといえる。これにより、例えば、入射角が破線911にて示す70度以下である場合に、コントラストが破線912にて示す0.2以上であると、製造された部材が品質基準を満たさないと判断することができる。照明光の入射角とコントラストの2つのパラメータを用いて品質を評価することができることから、例えば、対象物9がタッチパネル用の透明板の場合、必要な視野角で横筋が目立たないか否かをグラフを参照して定量的に評価することができる。
The information obtained as described above can be used for various purposes. For example, in FIG. 9, when the contrast is large on the right side, it can be said that a horizontal streak extending in the
また、図9の情報は、製造装置の立ち上げ時等における調整に利用することも可能である。コントラストが最大となる入射角は、製造装置の調整不良箇所に応じて決まる。装置の調整不良とは、例えば、互いに噛み合うギアの位置調整の不良、溶融樹脂の不適切な温度、ロール間の不適切な速度差、ダイとロール間隙との間の距離の調整不良等である。これらの成形条件の調整不良に起因して特有の周期性を有する横筋が対象物9に現れることがある。したがって、図9に示す情報を取得することにより、装置の調整不良の原因を迅速に把握することが可能となる。例えば、横筋の特性から、横筋がいずれのギアに起因するギアマークとして現れているのかを特定することが可能となり、調整を要する箇所を迅速に特定することができる。
Further, the information in FIG. 9 can also be used for adjustment at the time of starting up the manufacturing apparatus. The angle of incidence that maximizes the contrast is determined by the misaligned location of the manufacturing equipment. Misadjustment of the device is, for example, improper adjustment of the position of the gears that mesh with each other, improper temperature of the molten resin, improper speed difference between rolls, improper adjustment of the distance between the die and the roll gap, and the like. .. Horizontal streaks having a peculiar periodicity may appear on the
図9の情報は、操作者による製造装置の操作能力の評価にも利用することができる。上述の調整不良とまではいえない横筋が存在する場合、同じ材料で製造する際に熟練者が装置を操作した場合の情報を得ておくことにより、現在の操作者の能力をさらに向上する余地があるか否かを判断することができる。また、装置のどの部分の微妙な操作をさらに学ぶ必要があるか判断する材料にもなる。 The information in FIG. 9 can also be used for the operator to evaluate the operating ability of the manufacturing apparatus. If there are horizontal streaks that are not misaligned as described above, there is room to further improve the capabilities of the current operator by obtaining information when an expert operates the device when manufacturing with the same material. It is possible to judge whether or not there is. It also helps determine which parts of the device need to be further learned.
測定装置1では、上記演算以外の処理が行われてもよい。画像取得装置11にて複数の角度から対象物9を透過した光により形成される複数の画像が取得されることにより、これらの画像に基づいて搬送方向91における対象物9の厚さや表面形状の変化の特性を把握することができ、様々な判断を行うことができる。
The measuring
図10は、本発明の第2の実施の形態に係る測定装置の画像取得装置11を示す平面図である。測定装置の画像取得装置11以外の部分は、図1と同様である。図10では照明部22の光源221や制御部25の図示を省略している。以下の説明では、第1の実施の形態と同機能を有する構成要素には同符号を付す。画像取得装置11の撮像部24は、対象物9からの反射光を受光する。対象物9は透明であってもよく、透明でなくてもよい。対象物9の照明光が照射される面はほぼ平面である。
FIG. 10 is a plan view showing an
保持部21および照明部22の構造は、図1および図2と同様である。図10においても、照明部22の光軸の方向をX方向として定め、対象物9の面はXY平面に対して垂直、かつ、対象物9上の搬送方向91はXY平面に対して平行である。
The structures of the holding
撮像部24は、レンズ241と、センサ部242と、支持部243とを含む。レンズ241およびセンサ部242は支持部243に固定される。図示を省略するが、二点鎖線にて示すように、保持部21の軸J1を中心に撮像部24を回転させる回転機構がさらに設けられる。これにより、対象物9が軸J1を中心に回転した際に反射光が撮像部24に入射するように撮像部24が移動する。撮像部24に入射した反射光は、レンズ241を介してセンサ部242に導かれ、画像のデータが制御部25を介してコンピュータ12の記憶部に記憶される。
The
測定装置1の動作は、第1の実施の形態と同様である。図5に示すように、まず、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度が、初期の第1の角度となるように対象物9が配置される(ステップS11)。平行光71がX方向から対象物9に照射され(ステップS12)、対象物9で反射した光を撮像部24が受光することにより画像が取得される(ステップS13)。画像のデータは、制御部25を介してコンピュータ12の記憶部に記憶される。
The operation of the measuring
制御部25は、モータ212を回転させて対象物9を次の回転位置に配置する。これにより、対象物9の面の法線とX方向とのなす角度が、第2の角度となるように対象物9が配置される(ステップS14,S15)。反射光が入射するように撮像部24も移動する。撮像部24による画像取得を再度実行することにより、2番目の画像のデータがコンピュータ12の記憶部に記憶される(ステップS13)。
The
制御部25の制御により、対象物9の面とX方向とのなす第2の角度および撮像部24の位置を変更しつつ、撮像部24による撮像が繰り返される(ステップS13~S15)。これにより、複数の画像が取得され、そのデータがコンピュータ12に記憶される。その後、照明部22による対象物9への光の照射は停止される(ステップS16)。
By the control of the
取得された画像は第1の実施の形態と同様の処理により、各単位領域64の明度(正確には補正後の明度)を取得する。明度の補正に用いられる参照明度は、保持部21に平坦な反射板を保持させて取得した画像から求められる。演算部121は、複数の画像に対して上記演算を行う。これにより、各画像の横方向61、すなわち、搬送方向91に対応する方向における明度の変化が取得される(ステップS17)。明度の変化は、周期性を有する。演算部121は、第1の実施の形態と同様の処理により、各画像における明度変化の最大値であるコントラストを求める。
The acquired image acquires the brightness of each unit region 64 (more accurately, the corrected brightness) by the same processing as in the first embodiment. The reference brightness used for correcting the brightness is obtained from an image obtained by holding a flat reflector on the holding
撮像部24が反射光を受光する場合、明度の変化は搬送方向91における対象物9の表面の形状の変化を示す。コントラストを各画像から取得することにより、図9に準じた情報である測定値が得られる。すなわち、入射角とコントラストとの関係が得られる。入射角とコントラストの関係はディスプレイ13に表示される(ステップS18)。測定値は、搬送方向91における対象物9の表面形状の変化の周期的な特性、すなわち、対象物9上の横筋の特性を示す。より正確には、横筋による光の反射のばらつきの特性を示す。また、測定装置では、対象物9を回転させることにより、容易に、横筋の特性を2次元空間で数値化およびグラフ化することができる。
When the
反射型の測定装置である第2の実施の形態から得られる情報についても、第1の実施の形態と同様に、製造物の良否判定、装置の調整不良、操作者の熟練度の判定等の様々な用途に利用することができる。 Regarding the information obtained from the second embodiment, which is a reflection type measuring device, as in the first embodiment, the quality of the product, the misadjustment of the device, the judgment of the skill level of the operator, etc. It can be used for various purposes.
測定装置では、上記演算以外の処理が行われてもよい。複数の角度にて対象物9上で反射した光により形成される複数の画像が取得されることにより、これらの画像に基づいて搬送方向91における対象物9の表面形状の変化の特性を把握することができ、様々な判断を行うことができる。
The measuring device may perform processing other than the above calculation. By acquiring a plurality of images formed by the light reflected on the
上記実施の形態では、多数の画像が取得されるが、取得される画像は2つのみでもよい。すなわち、ステップS14による繰り返し処理は、1回でもよい。取得される画像が2つのみであっても、搬送方向91における対象物9の厚さや表面形状の変化の特性を把握することができる。もちろん、既述の通り、好ましくは、対象物9の面の法線とX方向とのなす角を15度以下の角度だけ変更しつつ画像を繰り返し取得することが好ましい。これにより、搬送方向91における対象物9の厚さまたは表面形状の変化の特性をより的確に把握することができる。画像取得時間を考慮した場合、実用上は、変更する角度は1度以上である。
In the above embodiment, a large number of images are acquired, but only two images may be acquired. That is, the iterative process in step S14 may be performed once. Even if only two images are acquired, it is possible to grasp the characteristics of changes in the thickness and surface shape of the
上記実施の形態に係る画像取得装置11および測定装置1は、様々に変更が可能である。
The
第1の実施の形態では、スクリーン23に投影された対象物9の像を撮像部24が取得するが、第2実施の形態と同様に、対象物9を透過した光を撮像部24が直接的に受光することにより、画像が取得されてもよい。同様に、第2の実施の形態において、対象物9にて反射した光をスクリーンに導き、スクリーンに投影された像を撮像部24が取得してもよい。このように、画像取得装置11は、対象物9に由来する画像を様々な手法にて取得してよい。
In the first embodiment, the
撮像部24が対象物9からの光を直接的に受ける場合、図10に示すように、センサ部242の受光面が対象物9からの光束の断面よりも小さい場合は、光を集光させるレンズ241が必要になる。しかし、センサ部242の受光面が対象物9からの光束の断面よりも大きい場合は、レンズ241は省略可能である。
When the
対象物9に照射される光は、平行光には限定されない。Y方向に関して平行または収束または発散するのであれば、Z方向に関しては散乱してもよい。Y方向に関する収束または発散とは、Y方向における光束の幅が光源からの距離に応じて漸次狭まるまたは漸次広がることを指す。もちろん、照明光はZ方向に関して収束または発散する光であってもよい。照明光がY方向に関して収束または発散する場合は、対象物9上の搬送方向91の位置が異なると、当該位置とスクリーン23または撮像部24との間の距離が異なるため、距離に応じて画像の各部位を拡大または縮小する処理が行われる。これらの処理は照明部22と、対象物9と、スクリーン23または撮像部24との幾何学的位置関係から容易に行うことができる。
The light emitted to the
図10の第2の実施の形態では、対象物9の回転に同期して撮像部24が回転するが、対象物9の向きを固定し、照明部22および撮像部24を軸J1を中心に回転させてもよい。図2および図10の例では、対象物9をXY平面に垂直な軸を中心に回転させることにより、対象物9への照明光の入射角を容易に変更することができる。
In the second embodiment of FIG. 10, the
図2の第1の実施の形態では、対象物9は透明には限定されない。例えば、撮像部24が赤外線カメラの場合は、対象物9は赤外線を透過するものであればよく、透明でなくてもよい。対象物9は照明光に対して透過性を有すればよい。
In the first embodiment of FIG. 2, the
上記実施の形態では、1組の照明部22と撮像部24とを用いて複数回の撮像を行っているが、複数組の照明部22と撮像部24とが測定装置1に設けられてもよい。この場合、照明光の入射角度が異なる複数の画像を同時に取得することができる。複数組の照明部22と撮像部24とを測定装置1に設けることにより、対象物9を製造する製造装置に測定装置1をインラインにて設けることも可能になる。これにより、リアルタイムでの製品検査や品質評価が実現される。
In the above embodiment, one set of the
コンピュータ12の演算部121における処理は、上記実施の形態にて説明したものには限定されず、対象物9の横筋の特性を示す値を求める様々な演算が行われてよい。例えば、得られた複数の画像のそれぞれにおいて、対象物9の幅方向92に対応する上下方向に並ぶ画素の値の平均値を求め、搬送方向91に対応する方向における当該平均値の変化をフーリエ変換して横筋の特性が求められてもよい。横筋の特性は、複数の画像を人が目視にて確認することにより把握されてもよい。複数の角度にて対象物9を透過または反射した光から得られる複数の画像は、横筋による光の透過または反射のばらつきの特性を示すことから、演算の場合であっても目視の場合であっても、横筋の特性を容易に把握することができる。
The processing in the
上記実施形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。 The configurations in the above embodiments and the modifications may be appropriately combined as long as they do not conflict with each other.
9 対象物
11 画像取得装置
21 保持部
22 照明部
24 撮像部
25 制御部
23 スクリーン
60 画像
91 搬送方向
S11~S18 ステップ
9
Claims (6)
a)前記対象物の面が予め定められたXY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行、かつ、前記対象物の前記面の法線とX方向とのなす角度が所定の角度となるように前記対象物を配置する工程と、
b)Y方向に関して平行または収束または発散する光を前記X方向から前記対象物に照射する工程と、
c)前記対象物を透過もしくは反射した光がスクリーンに投影された像を取得することにより、または、前記対象物を透過もしくは反射した光を受光することにより画像を取得する工程と、
d)前記搬送方向に対応する方向における前記画像の明度変化の最大値を取得する工程と、
e)前記対象物の前記面が前記XY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行な状態を維持しながら、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を変更しつつ、前記b)ないしd)工程を繰り返すことにより、複数の画像を取得して前記複数の画像のそれぞれの前記明度変化の最大値を取得する工程と、
f)前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度と、前記明度変化の最大値との関係を取得する工程と、
を備えることを特徴とする測定方法。 It is a measuring method for acquiring a measured value indicating the characteristics of the object from a sheet-shaped or plate-shaped object manufactured while being continuously transported in the transport direction.
a) The surface of the object is perpendicular to a predetermined XY plane, the transport direction is parallel to the XY plane, and the normal of the surface of the object is in the X direction. The process of arranging the object so that the angle becomes a predetermined angle, and
b) A step of irradiating the object with light parallel to, converging or diverging in the Y direction from the X direction.
c) A step of acquiring an image by acquiring an image in which light transmitted or reflected by the object is projected on a screen, or by receiving light transmitted or reflected by the object.
d) A step of acquiring the maximum value of the change in brightness of the image in the direction corresponding to the transport direction, and
e) The normal of the surface of the object and the X direction while maintaining a state in which the surface of the object is perpendicular to the XY plane and the transport direction is parallel to the XY plane. By repeating the steps b) to d) while changing the angle between the two, a plurality of images are acquired and the maximum value of the brightness change of each of the plurality of images is acquired.
f) A step of acquiring the relationship between the angle formed by the normal of the surface of the object and the X direction and the maximum value of the change in brightness.
A measurement method characterized by comprising.
前記e)工程において、前記対象物を前記XY平面に垂直な軸を中心に回転させることを特徴とする測定方法。 The measurement method according to claim 1.
A measuring method , characterized in that, in the step e ), the object is rotated about an axis perpendicular to the XY plane.
前記e)工程において、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を15度以下の角度だけ変更しつつ前記b)ないしd)工程が繰り返されることを特徴とする測定方法。 The measuring method according to claim 1 or 2.
In the step e), the measurement method is characterized in that the steps b) to d) are repeated while changing the angle formed by the normal of the surface of the object and the X direction by an angle of 15 degrees or less. ..
前記対象物の面が予め定められたXY平面に対して垂直、かつ、前記搬送方向が前記XY平面に対して平行な状態を維持しながら、前記対象物の前記面の法線とX方向とのなす角度が相対的に変更可能なように前記対象物を保持する保持部と、
Y方向に関して平行または収束または発散する光を前記X方向から前記対象物に照射する照明部と、
前記対象物を透過もしくは反射した光がスクリーンに投影された像を取得することにより、または、前記対象物を透過もしくは反射した光を受光することにより画像を取得する撮像部と、
前記搬送方向に対応する方向における前記画像の明度変化の最大値を取得する演算部と、
前記撮像部および前記保持部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御により、前記保持部が前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を変更しつつ前記撮像部が画像を繰り返し取得することにより複数の画像が取得され、
前記演算部が、前記複数の画像のそれぞれの前記明度変化の最大値を取得し、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度と、前記明度変化の最大値との関係を取得することを特徴とする測定装置。 A measuring device that acquires measured values indicating the characteristics of the object from a sheet-shaped or plate-shaped object manufactured while being continuously conveyed in the transport direction.
While maintaining a state in which the surface of the object is perpendicular to the predetermined XY plane and the transport direction is parallel to the XY plane, the normal and the X direction of the surface of the object A holding unit that holds the object so that the angle formed by the object can be changed relatively.
An illuminating unit that irradiates the object with light parallel to, converging, or diverging in the Y direction from the X direction.
An image pickup unit that acquires an image by acquiring an image in which light transmitted or reflected by the object is projected on a screen, or by receiving light transmitted or reflected by the object.
An arithmetic unit that acquires the maximum value of the change in brightness of the image in the direction corresponding to the transport direction, and
A control unit that controls the image pickup unit and the holding unit,
Equipped with
Under the control of the control unit, a plurality of images are acquired by the imaging unit repeatedly acquiring images while changing the angle formed by the holding unit between the normal of the surface of the object and the X direction.
The calculation unit acquires the maximum value of the brightness change of each of the plurality of images, and the relationship between the angle formed by the normal of the surface of the object and the X direction and the maximum value of the brightness change. A measuring device characterized by acquiring .
前記保持部が、前記対象物を前記XY平面に垂直な軸を中心に回転させることを特徴とする測定装置。 The measuring device according to claim 4 .
A measuring device in which the holding portion rotates the object around an axis perpendicular to the XY plane.
前記制御部の制御により、前記対象物の前記面の法線と前記X方向とのなす角度を15度以下の角度だけ変更しつつ前記複数の画像が取得されることを特徴とする測定装置。 The measuring device according to claim 4 or 5 .
A measurement characterized in that a plurality of images are acquired while changing the angle formed by the normal of the surface of the object and the X direction by an angle of 15 degrees or less by the control of the control unit. Equipment .
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018087428A JP7076280B2 (en) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | Measuring method and measuring device |
PCT/JP2019/009327 WO2019207973A1 (en) | 2018-04-27 | 2019-03-08 | Image acquisition method, measurement method and image acquisition device |
CN201980026383.0A CN112005104B (en) | 2018-04-27 | 2019-03-08 | Measuring method and measuring device |
TW108112807A TWI795552B (en) | 2018-04-27 | 2019-04-12 | Measuring method and measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018087428A JP7076280B2 (en) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | Measuring method and measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019191112A JP2019191112A (en) | 2019-10-31 |
JP7076280B2 true JP7076280B2 (en) | 2022-05-27 |
Family
ID=68293843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018087428A Active JP7076280B2 (en) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | Measuring method and measuring device |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7076280B2 (en) |
CN (1) | CN112005104B (en) |
TW (1) | TWI795552B (en) |
WO (1) | WO2019207973A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230174235A (en) | 2021-04-22 | 2023-12-27 | 히다치 조센 가부시키가이샤 | inspection device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005148568A (en) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Optical film and method for manufacturing the same |
US20070008522A1 (en) | 2003-03-29 | 2007-01-11 | Pilkington Plc | Glazing inspection |
JP2007065168A (en) | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Substrate for color filter, inspection method thereof and inspection device |
JP2007211092A (en) | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Sekisui Chem Co Ltd | Method for inspection of transparent film, and transparent film |
JP2012078144A (en) | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kaneka Corp | Surface defect inspection device for transparent body sheet-like material |
US20120147178A1 (en) | 2009-08-21 | 2012-06-14 | Pilkington Automotive Deutschland Gmbh | Heatable glazing inspection |
JP2015172565A (en) | 2014-02-19 | 2015-10-01 | 東レ株式会社 | film inspection method and film manufacturing method using the same |
JP2017134958A (en) | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 住友電装株式会社 | Battery terminal |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0723211U (en) * | 1993-10-04 | 1995-04-25 | 三菱樹脂株式会社 | Inspection device for transparent plastic plate |
JPH07243819A (en) * | 1994-02-28 | 1995-09-19 | Takiron Co Ltd | Method and apparatus for inspection of strain of transparent resin plate |
JPH07306152A (en) * | 1994-03-16 | 1995-11-21 | Sekisui Chem Co Ltd | Optical distortion inspecting device |
JP2007170961A (en) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Fujifilm Corp | Inspection device and inspection method |
JP4801457B2 (en) * | 2006-02-02 | 2011-10-26 | 株式会社リコー | Surface defect inspection apparatus, surface defect inspection method, and surface defect inspection program |
JP5361268B2 (en) * | 2008-07-18 | 2013-12-04 | 株式会社ミツトヨ | Oblique incidence interferometer |
JP2011085520A (en) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Kaneka Corp | Defect discrimination device, defect discrimination method, and sheet-like material |
CN102023068A (en) * | 2010-10-10 | 2011-04-20 | 徐建康 | Film stress measuring equipment and film stress measuring method |
JP5769572B2 (en) * | 2011-03-30 | 2015-08-26 | 株式会社Screenホールディングス | Substrate inspection apparatus and substrate inspection method |
KR101376450B1 (en) * | 2011-06-01 | 2014-03-19 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | Image Acquisition Apparatus, Pattern Inspection Apparatus, and Image Acquisition Method |
JP6213662B2 (en) * | 2014-03-07 | 2017-10-18 | 新日鐵住金株式会社 | Surface texture indexing device, surface texture indexing method and program |
JP6370177B2 (en) * | 2014-09-05 | 2018-08-08 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection apparatus and inspection method |
CN107735673A (en) * | 2015-06-25 | 2018-02-23 | 杰富意钢铁株式会社 | The manufacture method of detection method of surface flaw, surface defect detection apparatus and steel |
US9952037B2 (en) * | 2015-06-26 | 2018-04-24 | Glasstech, Inc. | System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured sheet |
MY194719A (en) * | 2016-02-05 | 2022-12-15 | Toray Industries | Inspection device for sheet object, and inspection method for sheet object |
-
2018
- 2018-04-27 JP JP2018087428A patent/JP7076280B2/en active Active
-
2019
- 2019-03-08 WO PCT/JP2019/009327 patent/WO2019207973A1/en active Application Filing
- 2019-03-08 CN CN201980026383.0A patent/CN112005104B/en active Active
- 2019-04-12 TW TW108112807A patent/TWI795552B/en active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070008522A1 (en) | 2003-03-29 | 2007-01-11 | Pilkington Plc | Glazing inspection |
JP2005148568A (en) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Optical film and method for manufacturing the same |
JP2007065168A (en) | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Substrate for color filter, inspection method thereof and inspection device |
JP2007211092A (en) | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Sekisui Chem Co Ltd | Method for inspection of transparent film, and transparent film |
US20120147178A1 (en) | 2009-08-21 | 2012-06-14 | Pilkington Automotive Deutschland Gmbh | Heatable glazing inspection |
JP2012078144A (en) | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kaneka Corp | Surface defect inspection device for transparent body sheet-like material |
JP2015172565A (en) | 2014-02-19 | 2015-10-01 | 東レ株式会社 | film inspection method and film manufacturing method using the same |
JP2017134958A (en) | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 住友電装株式会社 | Battery terminal |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112005104B (en) | 2024-03-12 |
WO2019207973A1 (en) | 2019-10-31 |
CN112005104A (en) | 2020-11-27 |
TW201945977A (en) | 2019-12-01 |
JP2019191112A (en) | 2019-10-31 |
TWI795552B (en) | 2023-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7471383B2 (en) | Method of automated quantitative analysis of distortion in shaped vehicle glass by reflected optical imaging | |
CN102023164B (en) | For detecting the apparatus and method of the local defect of transparent plate | |
JP4511978B2 (en) | Surface flaw inspection device | |
JP5014003B2 (en) | Inspection apparatus and method | |
US20120307041A1 (en) | Image acquisition apparatus, pattern inspection apparatus, and image acquisition method | |
TWI471542B (en) | Tire shape inspection device and tire shape inspection method | |
JP2012078144A (en) | Surface defect inspection device for transparent body sheet-like material | |
KR101211438B1 (en) | Apparatus for inspecting defects | |
WO2010092744A1 (en) | External appearance inspecting device and resin molded article manufacturing method | |
JP2016003906A (en) | Device and method for measuring sharpness | |
JP7076280B2 (en) | Measuring method and measuring device | |
JP2008298557A (en) | Method and apparatus for inspecting optical film | |
JP2009115715A (en) | Apparatus for measuring length of tread rubber of tire | |
CN111103309A (en) | Method for detecting flaws of transparent material object | |
WO2022224636A1 (en) | Inspection device | |
JP2008286646A (en) | Surface flaw inspection device | |
JP2012107952A (en) | Optical unevenness inspection device | |
JP2012122753A (en) | Defect examination apparatus, defect examination method and manufacturing apparatus for lens sheets | |
JP2012037425A (en) | Method for inspecting polycrystal silicon wafer and device thereof | |
JP2010101692A (en) | Method and device for inspecting sheetlike article | |
JP6074284B2 (en) | Method and apparatus for measuring shape of belt-like rubber member | |
JP2004212353A (en) | Optical inspection apparatus | |
JP2009168615A (en) | Visual inspection apparatus and visual inspection method | |
TW202028729A (en) | Image inspection device | |
TWM457889U (en) | Panel defect detection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220502 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7076280 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |