JP7072846B2 - ハイブリッドレーザー加工装置 - Google Patents
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Description
このハイブリッドレーザー加工装置は、液体ビーム内にレーザービームを導入してワークに照射するようにしているので、ワークの温度上昇を防ぎ、精度よく、穿孔加工や切断加工を行える利点がある。
例えば、支持テーブルとして、石英製のものとすることができるが、石英は高価であるという難点がある。
また、ハニカム状の支持テーブルを用いた場合、液体ビームが支持テーブルに触れると、液体(水)を跳ね上げ、一緒に小さな加工物を跳ね上げ、位置ずれが生じ、加工不良を招いたり、最悪、紛失したりする不具合がある。また液体が跳ね上げられることによって霧化し、視界不良、作業環境の悪化を招く不具合がある。
すなわち、本発明に係るハイブリッドレーザー加工装置は、ワークを保持する保持台と、該保持台上に保持されたワークに向けて、液体ビームを噴射すると共に前記液体ビーム内に導入されたレーザービームを照射する加工ヘッドを有するハイブリッドレーザー加工装置において、前記保持台は、上面側が開口された有底容器の台本体と、該台本体の開口凹部内に収容され、上面に加工すべきワークが保持される、合成樹脂製であって、弾性を有し連続気孔のスポンジ状をなす台座部とを有することを特徴とする。
また、前記台座部の厚さを50~60mmとすることができる。
前記台座部をポリウレタン樹脂製とすると好適である。
また、前記台本体の側壁に、前記台本体内の空気を吸引して、前記台座部の表面に負圧吸引力を形成する吸引機構を設けるようにすることができる。
前記台本体の開口凹部底面に設けた支持孔に、前記台座部を貫通してワークの外周の位置決めをする位置決めピンを抜き差し自在に嵌入すると好適である。
すなわち、本発明によれば、コストの低減化が図れ、また液体の跳ね上げ、霧化を防止し、精度よくワークの加工が行えるハイブリッドレーザー加工装置を提供することができる。
図1はハイブリッドレーザー加工装置10の全体の概要を示す説明図、図2は保持台12の斜視図、図3は保持台12の断面図である。
ハイブリッドレーザー加工装置10は、ワーク14を保持する保持台12と、該保持台12上に保持したワーク14に向けて、液体ビームを噴射すると共に液体ビーム内に導入されたレーザービームを照射する加工ヘッド16を有する。
符号18はレーザー発振器18であり、レーザー発振器18から放出されるレーザー光は集光レンズ20で集光されてレーザービームとして加工ヘッド16に入射される。
符号22は液体供給装置であり、図示しない加圧ポンプを備え、高圧液体(水)を加工ヘッド16に供給する。
加工ヘッド16内には、液体供給装置22から供給される液体を、例えば、ビーム径が50μm程度の液体ビームに絞るノズル(図示せず)を備える。液体ビームのビーム径は、10μm~70μm程度の径に調整可能になっている。また液体ビームの圧力は、20MPa~50MPa程度が好適である。
液体ビーム内に導入されたレーザービームは、液体ビームが恰も光ファイバーのような作用をすることから、液体ビーム外に漏出することなく、液体ビームと共に、ワーク14に向けて照射、噴出される。
なお、レーザー光は特に限定されることはないが、YAGレーザー、グリーンレーザー等を好適に用いることができる。
加工ヘッド16は、XY駆動装置(図示せず)により水平面内で任意の方向に移動可能となっている。
保持台12は支持台28上に載置されている。
なお、加工ヘッド16に替えて、支持台28をXY駆動装置に構成して、保持台12側を水平面内で任意の方向に移動可能に構成してもよい。
台座部26は、比重が0.2~0.33で、気孔径が0.2~0.4mmのスポンジ状とするのが好適である。このように、台座部26を、比重が0.2~0.33のスポンジ状とすることにより、柔軟性を有し、かつ弾性を有するものとすることができる。
前記のように、液体ビームおよびレーザービームが比較的深いところまで届くことから、台座部26の厚さは50~60mmとすることが好ましい。
上記のように、台座部26を厚さが50~60mm程度の厚いものにすること、および、貯留槽となる第2の開口凹部30b内に液体が所要量貯留されることにより、レーザービームが拡散、吸収され、レーザービームにより台本体24が損傷されるのを防止できる。
吸引機構によって、台座部26表面に均等に負圧吸引力が形成されるから、台座部26上に載置されたワーク14がその負圧吸引力によって台座部26表面に良好に保持される。また、ワーク14が、複数の個片に切断分離された場合にも、切断された各個片が台座部26表面に吸引保持され、液体ビームにより跳ね飛ばされることはない。
なお、台座部26自体が、保水機能を備えているので、ワーク14は、台座部26に保持される液体の表面張力によっても台座部26上に保持可能であるので、上記吸引機構は必ずしも設けなくともよい。
位置決めピン36は、予め台座部26の所要位置に設けられている貫通孔を貫通して、第2の開口凹部30bの底面に設けられている支持孔(図示せず)にその下端部が抜き差し自在に嵌入されることにより、固定して使用される。
図2および図3には複数の位置決めピン36が図示されているが、保持すべきワーク14の大きさによって、適宜選択して用いられる。位置決めピン36は、ワーク14の外周(ノッチ部やオリエンテーションフラットも含む)に当接するように固定され、これにより、ワーク14の位置決めをする。
各支持ピンは一定の高さを有していて、ワーク14を水平に支持するようになっている。すなわち、台座部26上に載置されたワーク14が、吸引機構により台座部26に負圧吸引力が作用して、台座部26に吸引され、台座部26内に沈み込む際に、ワーク14に当接して、ワーク14を水平に維持するように作用する。
なお、台座部26が所要の硬さを有している場合には、ワーク14がほとんど台座部26内に沈み込まず、台座部26の表面によって水平に維持されるので、上記支持ピンは必ずしも設けなくともよい。
ワーク14の加工は次のようにしてなされる。
まず、位置決めピン36を用いて、ワーク14を台座部26の所定位置に位置決めして載置、保持する。
次いで、加工ヘッド16より、台座部26上に保持されているワーク14に向けて、液体ビームを噴射すると共にレーザービームを照射する。
この一連の動作は、制御部(図示せず)により、所要のプログラムに従って行うことができる。
台座部26は、合成樹脂製の安価なものとすることができ、コストの低減が図れる。
大口径(例えば200mm)ウェーハ14aから小口径(例えば12.5mm:1/2インチ)のウェーハ14bを多数切り出す加工を行った。
まず、大口径ウェーハ14aを保持台12の台座部26上に上記のように位置決めピン36を用いて位置決めして保持した。また、吸引機構(図示せず)を作動して、大口径ウェーハ14aを、台座部26の表面に吸着するようにした。
なお、42はノッチ部である。
図4における実線は切り出す小口径ウェーハ14bの仮想位置を示している。
オリフラ線40は、図4に示すように、大口径ウェーハ14aにおいて、小口径ウェーハ14bの切出位置が特定の方向に列をなし、各列の各小口径ウェーハ14bを横切るようにして、各列ごとに一括して形成した。すなわち、加工ヘッド16を、列方向に走行させて、各列ごとにオリフラ線40を一括して形成した。
小口径ウェーハ14bは、個片に切断されるが、吸引機構によって台座部26表面上に吸着保持されるので、切り出される個片が位置ずれすることなく保持され、これにより精度よく切断加工することができた。
Claims (7)
- ワークを保持する保持台と、該保持台上に保持されたワークに向けて、液体ビームを噴射すると共に前記液体ビーム内に導入されたレーザービームを照射する加工ヘッドを有するハイブリッドレーザー加工装置において、
前記保持台は、
上面側が開口された有底容器の台本体と、
該台本体の開口凹部内に収容され、上面に加工すべきワークが保持される、合成樹脂製であって、弾性を有し連続気孔のスポンジ状をなす台座部とを有し、
前記台座部の厚さが50~60mmであることを特徴とするハイブリッドレーザー加工装置。 - ワークを保持する保持台と、該保持台上に保持されたワークに向けて、液体ビームを噴射すると共に前記液体ビーム内に導入されたレーザービームを照射する加工ヘッドを有するハイブリッドレーザー加工装置において、
前記保持台は、
上面側が開口された有底容器の台本体と、
該台本体の開口凹部内に収容され、上面に加工すべきワークが保持される、合成樹脂製であって、弾性を有し連続気孔のスポンジ状をなす台座部とを有し、
前記台本体の開口凹部底面に設けた支持孔に、前記台座部を貫通してワークの外周の位置決めをする位置決めピンを抜き差し自在に嵌入されていることを特徴とするハイブリッドレーザー加工装置。 - ワークを保持する保持台と、該保持台上に保持されたワークに向けて、液体ビームを噴射すると共に前記液体ビーム内に導入されたレーザービームを照射する加工ヘッドを有するハイブリッドレーザー加工装置において、
前記保持台は、
上面側が開口された有底容器の台本体と、
該台本体の開口凹部内に収容され、上面に加工すべきワークが保持される、合成樹脂製であって、弾性を有し連続気孔のスポンジ状をなす台座部とを有し、
前記台座部の厚さが50~60mmであり、
前記台本体の開口凹部底面に設けた支持孔に、前記台座部を貫通してワークの外周の位置決めをする位置決めピンを抜き差し自在に嵌入されていることを特徴とするハイブリッドレーザー加工装置。 - 前記台座部が、比重が0.2~0.33で、気孔径が0.2~0.4mmのスポンジ状をなすことを特徴とする請求項1~3いずれか1項記載のハイブリッドレーザー加工装置。
- 前記台座部がポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項1~4いずれか1項記載のハイブリッドレーザー加工装置。
- 前記台本体に2段の開口凹部が形成され、前記台座部が上段側の第1の開口凹部内に収容され、下段側の第2の開口凹部が、前記液体ビームとして噴出される液体が貯留される貯留槽に形成され、前記台本体の側壁の前記第2の開口凹部の底面よりも高い位置に液抜き孔が形成されていることを特徴とする請求項1~5いずれか1項記載のハイブリッドレーザー加工装置。
- 前記台本体の側壁に、前記台本体内の空気を吸引して、前記台座部の表面に負圧吸引力を形成する吸引機構を有することを特徴とする請求項1~6いずれか1項記載のハイブリッドレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018072387A JP7072846B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | ハイブリッドレーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018072387A JP7072846B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | ハイブリッドレーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019181491A JP2019181491A (ja) | 2019-10-24 |
JP7072846B2 true JP7072846B2 (ja) | 2022-05-23 |
Family
ID=68338807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018072387A Active JP7072846B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | ハイブリッドレーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7072846B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117038553B (zh) * | 2023-09-28 | 2023-12-12 | 江苏希太芯科技有限公司 | 一种便于定位的晶圆测厚装置 |
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JP2007245571A (ja) | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 積層シート及びその製造方法 |
JP3188320U (ja) | 2013-01-17 | 2014-01-16 | “ペルコム・ドゥブナ・マシーン−ビルディング・ファクトリー”・リミテッド | レーザー放射によって非金属透明材料を処理するためのテーブル |
JP2014113626A (ja) | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2017123400A (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02130103A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Toshiba Corp | ダイシング用治具 |
-
2018
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Patent Citations (5)
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JP2017123400A (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019181491A (ja) | 2019-10-24 |
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A977 | Report on retrieval |
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