JP7070557B2 - フーリエ変換型赤外分光光度計 - Google Patents
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Description
a)移動鏡を直線的に往復動させる移動鏡駆動手段と、
b)受光面を有する光位置センサと、
c)前記受光面に対して光を照射する光源と、
d)前記移動鏡と共に移動し、その移動範囲の少なくとも一端において前記受光面と前記光源との間に進入する遮光部と、
e)前記遮光部の移動に伴う、前記受光面における前記光源からの入射光の重心位置の変化に基づいて前記移動鏡の移動方向を特定する移動方向特定手段と、
を有することを特徴としている。
f)前記受光面における前記光源からの入射光の重心位置に基づいて前記移動鏡の現在位置を特定する位置特定手段、
を有するものとすることもできる。
a)移動鏡を直線的に往復動させる移動鏡駆動手段と、
b)前記移動鏡と共に移動する反射部と、
c)前記反射部に向けて光を照射する光源と、
d)受光面を有し、少なくとも前記移動鏡がその移動範囲の一端の所定の範囲に位置している状態において、前記光源から出射されて前記反射部で反射された光が前記受光面に入射するよう配置された光位置センサと、
e)前記反射部の移動に伴う、前記受光面における前記反射部からの反射光の重心位置の変化に基づいて前記移動鏡の移動方向を特定する移動方向特定手段と、
を有することを特徴としている。
f)前記受光面における前記反射部からの反射光の重心位置に基づいて前記移動鏡の現在位置を特定する位置特定手段、
を有するものとすることもできる。
図1は、本発明の第1の実施形態によるフーリエ変換型赤外分光光度計(FT-IR)の概略構成図である。なお、既に図14で示したものと同一又は対応する構成要素については下二桁が共通する符号を付し、適宜説明を省略する。
続いて、本発明の第2の実施形態によるFT-IRについて説明する。図9及び図10は本実施形態のFT-IRにおける移動鏡216の周辺部の構成を示す図であって、図9は該周辺部を上方から見た状態を示し、図10は側方から見た状態を示している。なお、既に説明した図2~図4で示したものと同一又は対応する構成要素については下二桁が共通する符号を付し、適宜説明を省略する。また、本実施形態によるFT-IRでは、移動方向検知機構以外の構成は図1で示したものと同様であるため、ここでは説明を省略する。
111、311…赤外光源
114、314…ビームスプリッタ
115、315…固定鏡
116、216、316…移動鏡
119、130、319、330、331…光検出器
123、323…データ処理部
125、325…レーザ光源
132、332、333…波形整形器
140、340…試料室
150、250、350…ボイスコイルモータ
151、251、351…駆動軸
152、252、352…ボイスコイル
160、260、360…リニアガイド
161、261、361…レール
162、262、362…スライダ
170、270…移動方向検知機構
171、171a、171b…検知部
175、175a、175b…LED
176、176a、176b、282、282a、282b…PSD
177…遮光部
281…ピンスポット光源
283…反射部
327…位相板
329…偏光ビームスプリッタ
334…アップ/ダウン・カウンタ
Claims (1)
- 赤外光源、ビームスプリッタ、移動鏡、及び固定鏡を含み、前記赤外光源から発せられる赤外光の干渉光である干渉赤外光を生成する主干渉計と、レーザ光源、前記ビームスプリッタ、前記移動鏡、及び前記固定鏡を含み、前記レーザ光源から発せられるレーザ光の干渉光である干渉レーザ光を生成するコントロール干渉計と、を具備するフーリエ変換型赤外分光光度計であって、
印加電圧により前記移動鏡を直線的に往復動させる移動鏡駆動手段と、
受光面を有する光位置センサと、
前記受光面に対して光を照射する光源と、
前記移動鏡と共に移動し、その移動範囲の少なくとも一端において前記受光面と前記光源との間に進入する遮光部と、
前記移動鏡の移動範囲の端部において、前記遮光部の移動に伴う、前記受光面における前記光源からの入射光の重心位置の変化に基づいて前記移動鏡の移動方向を特定し、前記移動鏡の移動範囲の端部を除く範囲において、前記移動鏡駆動手段に印加する電圧の向きに基づき前記移動鏡の移動方向を特定する移動方向特定手段と、
前記干渉レーザ光を検出する光検出器と、
前記光検出器からの検出信号をパルス信号に変換する波形整形器と、
前記波形整形器から出力される前記パルス信号のカウント数に基づいて所定の位置からの前記移動鏡の移動距離を特定する移動距離特定手段と、
を有し、
前記移動方向及び前記移動距離から前記移動鏡の現在位置を特定することを特徴とするフーリエ変換型赤外分光光度計。
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