JP7066507B2 - Photocurable adhesive resin composition and adhesive tape using it - Google Patents

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本発明は、被着体を一時的に固定又は保護するために使用される光硬化性粘着剤樹脂組成物、およびそれを用いた粘着テープに関する。 The present invention relates to a photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition used for temporarily fixing or protecting an adherend, and a pressure-sensitive adhesive tape using the same.

一般に、電子部品の製造工程においては、様々な分野で粘着剤付きテープが使用されており、例えばプリント配線板に電子部品を実装する際に部品を固定するキャリアテープや、シリコンウエハーからチップにカットする際にウエハーを固定するダイシングテープなどが挙げられる。これらのテープは、電子部品やウエハーを固定する際には充分な接着力を有し、更に固定の必要がなくなった際には容易に剥離できることが求められている。 Generally, in the manufacturing process of electronic components, tapes with adhesives are used in various fields. For example, carrier tapes for fixing components when mounting electronic components on printed wiring boards or cutting from silicon wafers to chips. Examples thereof include a dicing tape for fixing the wafer at the time of performing. These tapes are required to have sufficient adhesive strength when fixing electronic components and wafers, and to be easily peeled off when the need for fixing is eliminated.

こうした用途への粘着剤組成物として、例えば水親和性アクリル系粘着剤と活性エネルギー線硬化性化合物と光重合開始剤と架橋剤からなる再剥離型粘着剤組成物が提案されている(特許文献1)。また製造工程において高温条件下に耐え得る耐熱性を有する粘着剤として、アクリロニトリルに由来する繰り返し単位を有するアクリル系ポリマーとエネルギー線重合性オリゴマーと重合開始剤と架橋剤からなる耐熱仮着用の粘着剤なども提案されている(特許文献2)。 As a pressure-sensitive adhesive composition for such applications, for example, a re-peelable pressure-sensitive adhesive composition comprising a water-affinitive acrylic pressure-sensitive adhesive, an active energy ray-curable compound, a photopolymerization initiator, and a cross-linking agent has been proposed (Patent Documents). 1). Further, as a heat-resistant pressure-sensitive adhesive that can withstand high-temperature conditions in the manufacturing process, a heat-resistant temporary-wearing pressure-sensitive adhesive composed of an acrylic polymer having a repeating unit derived from acrylonitrile, an energy ray-polymerizable oligomer, a polymerization initiator, and a cross-linking agent. Etc. have also been proposed (Patent Document 2).

これらは、エネルギー線を照射する前は強い粘着力を示し、被着体を適切に固定、保護する一方で、エネルギー線を照射して粘着層を硬化させると粘着力が低下し、被着体の剥離を容易にすることができるというものである。しかしながら、これらの組成物ではエネルギー線照射後の粘着力がまだ高く、粘着力を安定して更に低下させたいというニーズには答えられず、改善の余地があった。 These show strong adhesive strength before being irradiated with energy rays, and while properly fixing and protecting the adherend, when the adhesive layer is cured by irradiating with energy rays, the adhesive strength is reduced and the adherend is adhered. It is possible to facilitate the peeling of the energy. However, these compositions still have high adhesive strength after irradiation with energy rays, and cannot meet the needs for stable and further reduction of adhesive strength, and there is room for improvement.

特開2000-345131号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-345131 特開2012-177084号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-177084

本発明の課題は、電子部品やシリコンウエハなどの被着体を一時的に固定するために使用される粘着テープに使用される粘着樹脂組成物であって、光硬化前には被着体を保持するのに充分な初期粘着力を有するのに対し、光硬化を行うことにより粘着力が大幅に低下し、被着体を糊残り無く容易に剥離することが可能となる仮固定用の光硬化性粘着樹脂組成物、およびそれを用いた粘着テープを提供することにある。 An object of the present invention is an adhesive resin composition used for an adhesive tape used for temporarily fixing an adherend such as an electronic component or a silicon wafer, and the adherend is provided before photocuring. While it has sufficient initial adhesive strength to hold it, the adhesive strength is significantly reduced by photo-curing, and the adherend can be easily peeled off without adhesive residue. It is an object of the present invention to provide a curable pressure-sensitive adhesive resin composition and a pressure-sensitive adhesive tape using the same.

請求項1記載の発明は、被着体を一時的に固定又は保護するために使用される粘着剤であって、メチルメタクリレートとブチルアクリレートから構成されるトリブロック共重合体(A)と、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)と、光重合開始剤(C)と、を含み、前記(A)の全固形分に対する配合比率が30~80重量%であることを特徴とする光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
The invention according to claim 1 is a pressure-sensitive adhesive used for temporarily fixing or protecting an adherend, which is a triblock copolymer (A) composed of methyl methacrylate and butyl acrylate, and many. It contains a functional (meth) acrylate monomer (B) and a photopolymerization initiator (C), and is characterized in that the blending ratio of the above (A) to the total solid content is 30 to 80% by weight. An adhesive resin composition is provided.

請求項2記載の発明は、前記(B)の全固形分に対する配合比率が29.7~49.5%であることを特徴とする請求項1記載の光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
The invention according to claim 2 provides the photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition according to claim 1, wherein the compounding ratio to the total solid content of the above (B) is 29.7 to 49.5%. do.

請求項3記載の発明は、前記(B)が3官能以上の(メタ)アクリレートを含むことを特徴とする請求項1又は2いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を提供する。
The invention according to claim 3 provides the photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (B) contains a trifunctional or higher (meth) acrylate .

請求項4記載の発明は、請求項1~3いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を、プラスチックフィルム上に塗布した粘着テープであり、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープであることを特徴とする粘着テープを提供する。 The invention according to claim 4 is an adhesive tape obtained by applying the photocurable adhesive resin composition according to any one of claims 1 to 3 on a plastic film, and is a carrier tape or dicing tape used in a manufacturing process of electronic parts. Provided is an adhesive tape characterized by being present.

本発明の光硬化性粘着樹脂組成物は、電子部品の製造工程で被着体を一時的に固定又は保護するために用いる粘着テープに使用される粘着樹脂組成物として有用である。 The photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition of the present invention is useful as a pressure-sensitive adhesive resin composition used for a pressure-sensitive adhesive tape used for temporarily fixing or protecting an adherend in a manufacturing process of an electronic component.

以下本発明について詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の粘着剤樹脂組成物の構成は、MMAとBAから構成されるトリブロック共重合体(A)と、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)と、光重合開始剤(C)である。なお、本明細書において(メタ)アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの双方を包含する。 The composition of the pressure-sensitive adhesive resin composition of the present invention is a triblock copolymer (A) composed of MMA and BA, a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), and a photopolymerization initiator (C). .. In addition, in this specification, (meth) acrylate includes both acrylate and methacrylate.

本発明で使用するMMAとBAから構成されるトリブロック共重合体(A)は、粘着剤を構成する主要ポリマーで、P(ポリ)MMAからなるハードセグメントと、P(ポリ)BAからなるソフトセグメントから構成されており、例えばソフトセグメントの両端をハードセグメントで挟んだトリブロック構造などが挙げられる。そのためPMMAが持つ透明性や耐候性と、PBAが持つ柔軟性や接着性を併せ持つという特徴がある。 The triblock copolymer (A) composed of MMA and BA used in the present invention is a main polymer constituting an adhesive, and is a hard segment composed of P (poly) MMA and soft composed of P (poly) BA. It is composed of segments, and examples thereof include a triblock structure in which both ends of a soft segment are sandwiched between hard segments. Therefore, it has the characteristics of having both the transparency and weather resistance of PMMA and the flexibility and adhesiveness of PBA.

前記(A)のPMMAの共重合比率は、光硬化前後の粘着力が適度となるよう、重量比で20~60%が好ましく、25~55%が更に好ましい。PMMAの共重合比率が20%未満の場合は、硬化物の硬度が低くなりすぎて粘着力が大きくなり剥離した時に糊残りがしやすくなり、60%超の場合は硬度が高くなりすき粘着力が低下する傾向がある。 The copolymerization ratio of PMMA in (A) is preferably 20 to 60%, more preferably 25 to 55% by weight so that the adhesive strength before and after photo-curing is appropriate. If the copolymerization ratio of PMMA is less than 20%, the hardness of the cured product becomes too low and the adhesive strength becomes large, and when peeled off, adhesive residue is likely to occur. If it exceeds 60%, the hardness becomes high and the adhesive strength becomes plow. Tends to decrease.

前記(A)は、PMMA比率の異なる共重合体を2種類以上組み合わせて使用しても良い。その場合の配合比率は、単独で使用する場合と同様にPMMA比率が目安となり、異なる共重合体の各々のPMMA比率に、その含有比率を掛け合わせた値の和が20重量%以上となることが好ましい(例えば、PMMA比率50重量%の配合量が40%で、PMMA比率30重量%の配合量が60%の場合は、50重量%×0.4+30重量%×0.6=38重量%)。 In (A), two or more kinds of copolymers having different PMMA ratios may be used in combination. In that case, the PMMA ratio is a guideline as in the case of using it alone, and the sum of the values obtained by multiplying the PMMA ratio of each of the different copolymers by the content ratio is 20% by weight or more. (For example, when the compounding amount of the PMMA ratio of 50% by weight is 40% and the compounding amount of the PMMA ratio of 30% by weight is 60%, 50% by weight × 0.4 + 30% by weight × 0.6 = 38% by weight. ).

前記(A)の全固形分に対する配合比率は、20~80重量%であることが好ましく、30~75重量%であることが更に好ましい。20重量%未満では光硬化前で剥離したときの糊残りが発生しやすくなり、80重量%超では光硬化後の剥離強度を低下させにくくなる。 The blending ratio of (A) to the total solid content is preferably 20 to 80% by weight, more preferably 30 to 75% by weight. If it is less than 20% by weight, adhesive residue is likely to occur when peeled before photo-curing, and if it exceeds 80% by weight, it is difficult to reduce the peeling strength after photo-curing.

前記(A)の重量平均分子量は、30000~130000が好ましく、50000~100000が更に好ましい。30000未満では硬化物の凝集力が低すぎて皮膜強度が弱くなり、130000超では組成物の粘度が高くなり作業性が低下する。なお重量平均分子量(以下「Mw」と表記)はゲル透過クロマトグラフィー法により、標準ポリスチレン換算の分子量を測定、算出した。 The weight average molecular weight of (A) is preferably 30,000 to 130,000, more preferably 50,000 to 100,000. If it is less than 30,000, the cohesive force of the cured product is too low and the film strength becomes weak, and if it exceeds 130,000, the viscosity of the composition becomes high and the workability deteriorates. The weight average molecular weight (hereinafter referred to as "Mw") was calculated by measuring and calculating the molecular weight in terms of standard polystyrene by a gel permeation chromatography method.

市販のMMAとBAのトリブロック共重合体としてはクラリティLA4285、LA2270、LA2250、LA2140(商品名:クラレ社製)などがある。 Commercially available triblock copolymers of MMA and BA include Clarity LA4285, LA2270, LA2250, and LA2140 (trade name: manufactured by Kuraray Co., Ltd.).

本願発明で使用する多官能(メタ)アクリレート(B)は、光照射により粘着層を硬化させ、剥離強度を低下させるために配合する。例えば2官能(メタ)アクリレートとしては、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングルコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1.4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、4.6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1.9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1.10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。 The polyfunctional (meth) acrylate (B) used in the present invention is blended in order to cure the adhesive layer by light irradiation and reduce the peel strength. For example, the bifunctional (meth) acrylate includes (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, and di (poly) propylene glycol di (meth) acrylate. Propropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, 1.4-butanediol di (meth) acrylate, 4.6-hexanediol di (meth) acrylate, 1.9-nonanediol di (meth) acrylate ) Acrylate, 1.10-decanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate and the like.

また3官能以上の(メタ)アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスルトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられ単独あるいは2種類以上を組み合わせて使用できる。これらの中では、硬化物の分子量の高分子化や反応性を高くし、硬化皮膜の剥離強度を低下させるため、3官能以上の(メタ)アクリレートを含むことが好ましく、例えばイソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好適である。 Examples of the trifunctional or higher (meth) acrylate include trimethylol propanetri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, isocyanuric acid EO-modified triacrylate, and trimethylolpropanetetra (trimethylol propanetetra (meth) acrylate. Meta) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc. may be used alone or in combination of two or more. Can be used in combination. Among these, it is preferable to contain a trifunctional or higher functional (meth) acrylate in order to increase the molecular weight and reactivity of the cured product and reduce the peeling strength of the cured film, for example, isocyanuric acid EO-modified bird. Acrylate and dipentaerythritol hexaacrylate are suitable.

上記(B)は多官能の光重合性オリゴマーであっても良い。例えばポリウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレートなどが挙げられ単独あるいは2種類以上を組み合わせて使用できる。 The above (B) may be a polyfunctional photopolymerizable oligomer. For example, polyurethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate and the like can be mentioned, and they can be used alone or in combination of two or more.

本発明で使用される光重合開始剤(C)は、紫外線や電子線などの照射でラジカルを生じ、そのラジカルが重合反応のきっかけとなるもので、ベンジルケタール系、アセトフェノン系、フォスフィンオキサイド系等汎用の光重合開始剤が使用できる。重合開始剤の光吸収波長を任意に選択することによって、紫外線領域から可視光領域にいたる広い波長範囲にわたって硬化性を付与することができる。具体的にはベンジルケタール系として2.2-ジメトキシ-1.2-ジフェニルエタン-1-オンが、α-ヒドロキシアセトフェノン系として1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン及び1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オンが、α-アミノアセトフェノン系として2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オンが、アシルフォスフィンオキサイド系として2.4.6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド及びビス(2.4.6‐トリメチルベンゾイル)‐フェニルフォスフィンオキサイド等があり、単独または2種以上を組み合わせて使用できる。 The photopolymerization initiator (C) used in the present invention generates radicals by irradiation with ultraviolet rays, electron beams, etc., and the radicals trigger a polymerization reaction. A general-purpose photopolymerization initiator can be used. By arbitrarily selecting the light absorption wavelength of the polymerization initiator, curability can be imparted over a wide wavelength range from the ultraviolet region to the visible light region. Specifically, 2.2-dimethoxy-1.2-diphenylethan-1-one as a benzyl ketal system, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone and 1- [4- (2- (2-) as an α-hydroxyacetophenone system. Hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one is 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1 as an α-aminoacetophenone system. -On is an acylphosphine oxide system such as 2.4.6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphinoxide and bis (2.4.6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphinoxide, which may be used alone or in combination of two or more. Can be used in combination.

これらの中では、内部硬化性に優れるアシルフェスフィンオキサイド系を含むことが好ましい。また配合量はラジカル重合性成分100重量部に対して、0.3~10重量部配合することが好ましく、0.5~5重量部がさらに好ましい。この範囲で配合する事により、組成物を効率的に硬化させる事ができる。市販品としてはIrgacureTPO及び同819(商品名:BASFジャパン社製)、OmniradTPO H(iGM社製)などがある。 Among these, it is preferable to include an acylfestine oxide system having excellent internal curability. The blending amount is preferably 0.3 to 10 parts by weight, more preferably 0.5 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the radically polymerizable component. By blending in this range, the composition can be efficiently cured. Commercially available products include Igacure TPO, 819 (trade name: manufactured by BASF Japan), Omnirad TPO H (manufactured by iGM), and the like.

上記に加えて、本組成物には更にレベリング剤を含んでも良い。レベリング剤は塗膜表面に薄い膜状に広がることで溶剤の蒸発速度を制御しつつ表面張力の均一化を図り、塗膜形成まえに欠陥を直し表面のレベリングを向上させる。アクリル系、ビニル系、シリコーン系、フッ素系などがあり、これらの中では、表面張力の低下能力が高いシリコーン系が好ましい。中でもポリジメチルシロキサンを基本構造とするポリエーテル変性シリコーン系は特に好ましい。市販品としてはBYK-UV3500(商品名:ビックケミー社製、アクリル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン)、TEGO Glide ZG-400(商品名:Evonic社製、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン)などがある。 In addition to the above, the composition may further contain a leveling agent. The leveling agent spreads on the surface of the coating film in the form of a thin film to control the evaporation rate of the solvent and to make the surface tension uniform, repair defects before forming the coating film, and improve the leveling of the surface. There are acrylic type, vinyl type, silicone type, fluorine type and the like, and among these, the silicone type having a high ability to reduce the surface tension is preferable. Of these, a polyether-modified silicone system having a basic structure of polydimethylsiloxane is particularly preferable. Commercially available products include BYK-UV3500 (trade name: Big Chemie, manufactured by Big Chemie, a polyether-modified polydimethylsiloxane containing an acrylic group), TEGO Glide ZG-400 (trade name: manufactured by Evonic, a polyether-modified polydimethylsiloxane) and the like.

前記レベリング剤の配合量は固形分全体に対して40重量%以下が好ましく、30重量%以下が更に好ましい。40重量%超は過剰配合でコストが上がり、また逆にレベリング悪化による外観の悪化や、皮膜強度等の物性低下を招く。 The blending amount of the leveling agent is preferably 40% by weight or less, more preferably 30% by weight or less, based on the total solid content. If it exceeds 40% by weight, the cost increases due to excessive blending, and conversely, the appearance deteriorates due to the deterioration of leveling, and the physical properties such as the film strength deteriorate.

上記に加えて、本発明の樹脂組成物は、性能を損なわない範囲で、必要に応じ帯電防止剤、粘着付与剤、酸化防止剤、難燃剤、充填剤、着色剤、消泡剤、シランカップリング剤などの各種添加剤を併用することができる。 In addition to the above, the resin composition of the present invention can be used as an antistatic agent, a tackifier, an antioxidant, a flame retardant, a filler, a colorant, an antifoaming agent, and a silane cup, if necessary, as long as the performance is not impaired. Various additives such as ring agents can be used in combination.

本発明の樹脂組成物は、有機溶剤に溶解させた形態として使用する。使用する有機溶剤としてはMMAとBAのブロック共重合体と相溶性に優れるものでなければならず、例えばベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類、アセトン、メチルエチルケトン(以下「MEK」と表記)、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(以下「PGM」と表記)などのエーテル類を挙げることができる。これらの中では揮発のしやすさの点で酢酸エチルが好適である。有機溶剤の配合量としては、固形分で30~70重量%となる量が例示されるが、この範囲を超えても良く、フィルムへの塗工に適した粘度になるよう配合すれば良い。 The resin composition of the present invention is used in the form of being dissolved in an organic solvent. The organic solvent used must be highly compatible with the block copolymer of MMA and BA, such as aromatics such as benzene, toluene and xylene, and acetate esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate. Classes, acetone, methyl ethyl ketone (hereinafter referred to as "MEK"), methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone and other ketones, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether (hereinafter referred to as "PGM") and other ethers. Can be done. Among these, ethyl acetate is preferable in terms of easiness of volatilization. As the blending amount of the organic solvent, an amount of 30 to 70% by weight in solid content is exemplified, but it may exceed this range and may be blended so as to have a viscosity suitable for coating on a film.

本発明の樹脂組成物を塗布する方法としては、特に制限はなく、公知のスプレーコート、ロールコート、ダイコート、エアナイフコート、ブレードコート、スピンコート、リバースコート、グラビアコート、ワイヤーバーなどの塗工法またはグラビア印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷などの印刷法により形成できる。塗布する膜厚は、硬化膜厚として20μm~300μmを例示できるが、溶剤の乾燥性及び被着物を確実に固定するため50μm~100μmが好ましい。 The method for applying the resin composition of the present invention is not particularly limited, and is a coating method such as a known spray coat, roll coat, die coat, air knife coat, blade coat, spin coat, reverse coat, gravure coat, wire bar, or the like. It can be formed by printing methods such as gravure printing, screen printing, and offset printing. The film thickness to be applied can be exemplified as a cured film thickness of 20 μm to 300 μm, but is preferably 50 μm to 100 μm in order to ensure the drying property of the solvent and the adherend.

本発明の樹脂組成物を塗布する基材であるプラスチックフィルムとしては種々公知なものが使用でき、例えばポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、ジアセチルセルロースフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、アセチルセルロースブチレートフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリスルフォンフィルム、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルフォンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリイミドフィルム、フッソ樹脂フィルム、ナイロンフィルム、アクリルフィルム、シクロオレフィン(コ)ポリマーフィルム等を挙げることができる。また基材であるプラスチックフィルムは単層であっても、2層以上の積層体であっても良い。これらの中では、耐熱性、寸法安定性、透光性、入手性等からポリエステル系のPETフィルムが好適である。 Various known plastic films can be used as the base material on which the resin composition of the present invention is applied. For example, polyester film, polyethylene film, polypropylene film, cellophane, diacetylcellulose film, triacetylcellulose film, acetylcellulosebutyrate can be used. Film, Polyvinyl Chloride Film, Vinylidene Chloride Film, Polyvinyl Alcohol Film, Ethylene Vinyl Alcohol Film, Polystyrene Film, Polycarbonate Film, Polymethylpentene Film, Polysulphon Film, Polyether Ether Ketone Film, Polyether Sulphon Film, Polyetherimide Examples thereof include films, polyimide films, fluorine resin films, nylon films, acrylic films, cycloolefin (co) polymer films and the like. Further, the plastic film as the base material may be a single layer or a laminated body having two or more layers. Among these, a polyester-based PET film is suitable from the viewpoint of heat resistance, dimensional stability, translucency, availability, and the like.

本発明の樹脂組成物をプラスチックフィルム上に塗布した粘着テープは、電子部品やシリコンウエハなどの被着体に対する初期粘着力が充分に高く、光を照射し硬化させると粘着力が大幅に低下し、被着体の剥離が糊残り無く容易に出来るという特徴を有する。 The adhesive tape obtained by applying the resin composition of the present invention on a plastic film has a sufficiently high initial adhesive force to an adherend such as an electronic component or a silicon wafer, and when it is cured by irradiating it with light, the adhesive force is significantly reduced. It has a feature that the adherend can be easily peeled off without adhesive residue.

本発明の樹脂組成物からなる75μmの粘着剤層を介して、厚さ75μmのPETフィルムとガラスが積層された際、光硬化後の25℃における剥離速度が1000mm/minの条件下で180°引き剥がし粘着力剥離強度は、0.1N/25mm以下であることが好ましい。また容易に剥離できる点から、0.08N/25mm以下であることが更に好ましく、0.05N/25mm以下であることが特に好ましい。0.1N/25mm超では剥離した際に糊残りが出やすくなる。 When a PET film having a thickness of 75 μm and glass are laminated via a 75 μm pressure-sensitive adhesive layer made of the resin composition of the present invention, the peeling speed at 25 ° C. after photocuring is 180 ° under the condition of 1000 mm / min. Peeling adhesive strength The peeling strength is preferably 0.1 N / 25 mm or less. Further, it is more preferably 0.08 N / 25 mm or less, and particularly preferably 0.05 N / 25 mm or less from the viewpoint of easy peeling. If it exceeds 0.1 N / 25 mm, adhesive residue is likely to appear when peeled off.

以下、本発明を実施例、比較例に基づき詳細に説明するが、具体例を示すものであって特にこれらに限定するものではない。なお表記が無い場合は、室温は23℃相対湿度65%の条件下で測定を行った。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on Examples and Comparative Examples, but only specific examples thereof are shown and the present invention is not particularly limited thereto. Unless otherwise indicated, the measurement was performed under the conditions that the room temperature was 23 ° C. and the relative humidity was 65%.

実施例1
PMMAとPBAのトリブロック共重合体(A)としてクラリティーLA2270(商品名:クラレ社製、MMA含有量約40%、Mw約80000)を、多官能(メタ)アクリレート(B)としてDPHA(商品名:日本化薬社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)を、光重合開始剤(C)としてOmnirad TPOH(商品名:iGM社製、アシルフェスフィンオキサイド系)を用い、表1の配合量で固形分が60重量%となるよう酢酸エチルで希釈し、撹拌脱泡機を用いて均一に溶解するまで攪拌して実施例1の光硬化性粘着樹脂組成物を調整した。なお配合表の単位は重量部とする。
Example 1
Clarity LA2270 (trade name: manufactured by Claret, MMA content: about 40%, Mw: about 80,000) as a triblock copolymer (A) of PMMA and PBA, and DPHA (commodity) as a polyfunctional (meth) acrylate (B). Name: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Omnirad TPOH (trade name: manufactured by iGM, acylfesfin oxide-based) as the photopolymerization initiator (C), and solidified in the blending amount shown in Table 1. The photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition of Example 1 was prepared by diluting with ethyl acetate so that the content was 60% by weight, and stirring with a stirring defoaming machine until the mixture was uniformly dissolved. The unit of the formulation table is the part by weight.

実施例2~8
実施例1で用いた材料に加え、(A)としてクラリティーLA2140(商品名:クラレ社製、MMA含有量約28%、Mw約80000)及びLA4285(商品名:クラレ社製、MMA含有量約50%、Mw約70000)を、(B)としてM-315(商品名:東亞合成、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート)を、レベリング剤としてBYK-UV3500(商品名:ビックケミー社製、アクリル基を有するポリエ-テル変性ポリジメチルシロキサン)およびTEGO Glide ZG-400(商品名:Evonic社製、ポリエ-テル変性ポリジメチルシロキサン)を用い、表1の配合量で固形分が60重量%となるよう酢酸エチルで希釈し、撹拌脱泡機を用いて均一に溶解するまで攪拌して実施例2~8の光硬化性粘着樹脂組成物を調整した。
Examples 2-8
In addition to the materials used in Example 1, as (A), clarity LA2140 (trade name: manufactured by Clare, MMA content of about 28%, Mw of about 80,000) and LA4285 (trade name: manufactured by Clare, MMA content of about 80,000) and LA4285 (trade name: manufactured by Clare). 50%, Mw about 70,000), M-315 (trade name: Toa Synthetic, isocyanuric acid EO-modified triacrylate) as (B), BYK-UV3500 (trade name: manufactured by Big Chemie, acrylic group) as a leveling agent. Polyether-modified polydimethylsiloxane) and TEGO Glide ZG-400 (trade name: Polyether-modified polydimethylsiloxane manufactured by Evonic) were used, and ethyl acetate was used so that the solid content was 60% by weight in the blending amount shown in Table 1. The photocurable pressure-sensitive adhesive resin compositions of Examples 2 to 8 were prepared by stirring with a stirring defoamer until the mixture was uniformly dissolved.

比較例1~5
実施例で用いた材料の他、アクリル系ポリマーとしてクラリティーLA1114(商品名:クラレ社製、Mw約80000、ジブロック構造)及びNeocry B-811(商品名:DSM社製、ポリメチルメタクリレート、Mw約40000)及びをNeocry B-731(商品名:DSM社製、ポリイソブチルメタクリレート、Mw約55000)及びDegalan P24(商品名:Evonic社製、ブチルメタクリレートとメチルメタクリレートとの共重合体、Mw約180000)を、単官能アクリレートとしてACMO(商品名:KJケミカルズ社製、アクリロイルモルフォリン)を用い、表1の配合量で固形分が60重量%となるよう酢酸エチルで希釈し、撹拌脱泡機を用いて均一に溶解するまで攪拌して比較例1~5の光硬化性粘着樹脂組成物を調整した。
Comparative Examples 1 to 5
In addition to the materials used in the examples, as acrylic polymers, Clarity LA1114 (trade name: Claret, Mw about 80,000, diblock structure) and Neocry B-811 (trade name: DSM, polymethylmethacrylate, Mw). Approximately 40,000) and Neocry B-731 (trade name: DSM, polyisobutyl methacrylate, Mw, approximately 55,000) and Degalan P24 (trade name: Evonic, copolymer of butyl methacrylate and methyl methacrylate, Mw, approximately 180000). ) Is used as a monofunctional acrylate, ACMO (trade name: Acryloylmorpholine manufactured by KJ Chemicals Co., Ltd.), diluted with ethyl acetate so that the solid content becomes 60% by weight in the blending amount shown in Table 1, and a stirring defoamer is used. The photocurable adhesive resin compositions of Comparative Examples 1 to 5 were prepared by stirring until they were uniformly dissolved.

表1

Figure 0007066507000001

Table 1
Figure 0007066507000001

評価方法は以下の通りとした。 The evaluation method was as follows.

評価用サンプルの作成
PETフィルムであるA4300(商品名:東洋紡社製、厚さ75μm)上に乾燥膜厚で75μmとなるように光硬化性粘着樹脂組成物塗布し、110℃で180秒乾燥後、離型フィルムであるE7002(商品名:東洋紡社製、厚さ50μm)でラミネートして、粘着シートを作成した。その後剥離フィルムをはがし厚さ2mmのガラス板に貼り合せた。
Preparation of evaluation sample A photocurable adhesive resin composition was applied on A4300 (trade name: manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness 75 μm), which is a PET film, so as to have a dry film thickness of 75 μm, and dried at 110 ° C. for 180 seconds. , E7002 (trade name: manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness 50 μm), which is a release film, was laminated to prepare an adhesive sheet. After that, the release film was peeled off and attached to a glass plate having a thickness of 2 mm.

UV硬化前剥離強度:PETフィルムを25mm幅にカットした評価用サンプルを用い、23℃の環境下、剥離スピード1000mm/分での180°剥離強度を測定し、0.1N以上を○、0.1N未満を×とした。 Peeling strength before UV curing: Using an evaluation sample in which a PET film was cut to a width of 25 mm, 180 ° peel strength was measured at a peeling speed of 1000 mm / min in an environment of 23 ° C. Less than 1N was defined as x.

UV硬化後剥離強度:フュージョンUVシステムズジャパン社製の無電極UV照射装置F300S/LC-6Bを用い、Hバルブ、1300mW/cm、300mJ/cmの条件で、PETフィルムを25mm幅にカットした評価用サンプルを照射して粘着層を光硬化させた後、上記条件で剥離強度を測定し、0.1N以下を○、0.1N超を×とした。 Peeling strength after UV curing: Using the electrodeless UV irradiation device F300S / LC-6B manufactured by Fusion UV Systems Japan, the PET film was cut to a width of 25 mm under the conditions of H valve, 1300 mW / cm 2 , and 300 mJ / cm 2 . After irradiating the evaluation sample to photo-cure the adhesive layer, the peel strength was measured under the above conditions, and 0.1 N or less was designated as ◯ and more than 0.1 N was designated as x.

糊残り:剥離強度測定後の評価用サンプルを用い、ガラス面側に粘着剤が付着しているかを目視にて評価し、糊残り無しを○、糊残り有りを×とした。 Adhesive residue: Using an evaluation sample after measuring the peel strength, it was visually evaluated whether or not the adhesive adhered to the glass surface side, and the absence of adhesive residue was marked as ◯, and the presence of glue residue was marked as x.

評価結果
表2

Figure 0007066507000002

Evaluation results <br /> Table 2
Figure 0007066507000002

実施例の各光硬化性粘着樹脂組成物はUV硬化前後の剥離強度、糊残りいずれの評価においても良好な結果を得た。 Each of the photocurable pressure-sensitive adhesive resin compositions of Examples gave good results in both evaluation of peel strength and adhesive residue before and after UV curing.

一方、単官能アクリレートを使用した比較例1はUV硬化後に糊残りがあり、PMMAとPBAのジブロック共重合体を使用した比較例2は乾燥後に製膜できず、ポリメチルメタクリレートを用いた比較例3及びポリイソブチルメタクリレートを用いた比較例4は溶媒である酢酸エチルに溶解せず、ブチルメタクリレートとメチルメタクリレートの共重合体を用いた比較例5はUV硬化前の粘着力が弱くまた糊残りも有り、いずれも本願発明に適さないものであった。 On the other hand, Comparative Example 1 using a monofunctional acrylate had adhesive residue after UV curing, and Comparative Example 2 using a diblock copolymer of PMMA and PBA could not form a film after drying, and was compared using polymethylmethacrylate. Example 3 and Comparative Example 4 using polyisobutyl methacrylate did not dissolve in ethyl acetate as a solvent, and Comparative Example 5 using a copolymer of butyl methacrylate and methyl methacrylate had weak adhesive strength before UV curing and adhesive residue. None of them were suitable for the present invention.

本願発明の光硬化性粘着樹脂組成物は、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープとして有用である。


The photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition of the present invention is useful as a carrier tape or dicing tape used in the manufacturing process of electronic components.


Claims (4)

被着体を一時的に固定又は保護するために使用される粘着剤であって、メチルメタクリレートとブチルアクリレートのみから構成されるトリブロック共重合体(A)と、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)と、光重合開始剤(C)と、を含み、前記(A)の全固形分に対する配合比率が30~80重量%であることを特徴とする光硬化性粘着樹脂組成物。 A pressure-sensitive adhesive used to temporarily fix or protect an adherend, which is a triblock copolymer (A) composed only of methyl methacrylate and butyl acrylate, and a polyfunctional (meth) acrylate monomer (meth). A photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition containing B) and a photopolymerization initiator (C), wherein the blending ratio of the above (A) to the total solid content is 30 to 80% by weight. 記(B)の全固形分に対する配合比率が29.7~49.5%であることを特徴とする請求項1記載の光硬化性粘着樹脂組成物。 The photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition according to claim 1, wherein the compounding ratio of (B) to the total solid content is 29.7 to 49.5%. 前記(B)が3官能以上の(メタ)アクリレートを含むことを特徴とする請求項1又は2いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物。 The photocurable pressure-sensitive adhesive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (B) contains a trifunctional or higher functional (meth) acrylate. 請求項1~3いずれか記載の光硬化性粘着樹脂組成物を、プラスチックフィルム上に塗布した粘着テープであり、電子部品の製造工程で用いるキャリアテープもしくはダイシングテープであることを特徴とする粘着テープ。
An adhesive tape obtained by applying the photocurable adhesive resin composition according to any one of claims 1 to 3 on a plastic film, and is a carrier tape or a dicing tape used in a manufacturing process of electronic components. ..
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