JP7066305B2 - 波動歯車装置 - Google Patents

Description

本発明は、波動歯車装置に関し、更に詳しくは、波動歯車装置における外歯歯車の内周面と、この内周面に接触する波動発生器の外輪外周面との間の潤滑構造に関する。

波動歯車装置の波動発生器として、剛性のプラグと波動発生器ベアリングとを備え、波動発生器ベアリングが、プラグの非円形外周面と外歯歯車の内周面との間に装着されているものが知られている。波動発生器ベアリングの外輪外周面と外歯歯車の内周面との間の潤滑状態は、一般に境界潤滑である。このため、波動歯車装置が、一方向低速回転運転、高負荷運転などの特定の運転条件の下で動作する場合には、外輪外周面、および、これに接触する外歯歯車の内周面には、フレッティング摩耗が発生する。外輪外周面と外歯歯車の内周面との間の接触状態を改善してフレッティング摩耗を抑制する必要がある。

特許文献１に記載の波動歯車装置においては、外輪外周面あるいは外歯歯車の内周面に、潤滑剤保持用の凹部または凸部を離散した状態で形成している。外輪外周面と外歯歯車の内周面との間に潤滑剤を保持してフレッティング摩耗を抑制している。一方、特許文献２には、フェムト秒レーザーを用いた表面加工により、摺動面に微細なグレーティング状凹凸の周期構造を形成し、潤滑不足による摩擦増加、焼き付けを防止している。

実開平２－８７１５２号公報 特開２０１７－２１４９９６号公報

本発明の目的は、フェムト秒レーザー等を用いた表面加工等によって形成される微細な溝を利用して、波動歯車装置における外歯歯車の内周面と、この内周面に接触する波動発生器の外輪外周面との間の接触状態を改善してフレッティング摩耗を抑制できるようにすることにある。

本発明の波動歯車装置は、剛性の内歯歯車、可撓性の外歯歯車および波動発生器を備えており、波動発生器は、剛性のプラグおよび波動発生器ベアリングを備え、波動発生器ベアリングは、プラグの非円形外周面と外歯歯車の内周面との間に装着される。この構成の波動歯車装置において、外歯歯車の内周面と、この内周面に接触する波動発生器の外輪外周面との間を潤滑する潤滑構造を次のように構成している。

外歯歯車の内周面は、第１内周面部分および第２内周面部分を含んでいる。第１内周面部分は、少なくとも、波動発生器ベアリングの外輪における外輪外周面に接触する外輪接触内周面部分を含んでいる。第２内周面部分は、第１内周面部分に対して中心軸線の方向に隣接している内周面部分である。第２内周面部分には、外輪接触内周面部分に向けて潤滑剤を案内するための潤滑剤案内溝が形成されている。潤滑剤案内溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。外歯歯車の第１内周面部分および波動発生器ベアリングの外輪外周面のうちの一方の面、または双方の面には、潤滑剤を保持するための潤滑剤保持溝が形成されている。潤滑剤保持溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。

外歯歯車の第２内周面部分に形成されている微細な潤滑剤案内溝は、数マイクロメートル以下の幅および深さの微細な溝であり、潤滑剤との濡れ性が良い。外歯歯車の内側に供給される潤滑剤は、潤滑剤案内溝に沿って移動する。潤滑剤案内溝の溝幅、溝深さ、および方向を、適切に設定しておくことで、潤滑剤案内溝に接した潤滑剤は、隣接する第１内周面部分に向けて案内され、外輪接触内周面部分と外輪外周面の間の接触部分に供給される。

外歯歯車の外輪接触内周面部分と波動発生器ベアリングの外輪外周面との間には、微細な潤滑剤保持溝が形成されている。潤滑剤保持溝は、数マイクロメートル以下の幅および深さの微細な溝であり、潤滑剤との濡れ性が良く、効率良く潤滑剤が保持され（担持効果）、高剛性な油膜が形成され、その油膜厚さも増加する（動圧効果）。また、接触金属の馴染みを促進する効果も得られる。これらの効果は、潤滑剤案内溝によって、接触部分に潤滑剤が供給されることで、一層、促進される。

この結果、外歯歯車の外輪接触内周面部分と波動発生器ベアリングの外輪外周面との間の接触状態、摺動特性、耐焼き付き性などを改善でき、フレッティング摩耗を効果的に抑制できる。また、接触部分の油膜保持能力が向上するので、潤滑剤塗布量を削減できる。潤滑剤塗布量の削減により、潤滑剤撹拌抵抗が低減して、波動歯車装置の効率が高まるという効果も得られる。

本発明を適用した波動歯車装置の一例を示す概略縦断面図および概略端面図である。 （ａ）は外輪外周面の潤滑剤保持溝を示す説明図、（ｂ１）、（ｂ２）は外歯歯車の内周面の潤滑剤保持溝、潤滑剤案内溝を示す説明図である。 （ａ）～（ｇ）は、潤滑剤保持溝、潤滑剤案内溝の配列パターンの各例を示す説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した潤滑構造を備えた波動歯車装置の実施の形態を説明する。以下の説明は、本発明をカップ型波動歯車装置に適用した例である。本発明は、シルクハット型波動歯車装置あるいはフラット型波動歯車装置に対しても同様に適用可能である。

図１（ａ）はカップ型波動歯車装置（以下、単に、「波動歯車装置」と呼ぶ。）の全体構成を示す概略縦断面図であり、図１（ｂ）はその概略端面図である。波動歯車装置１は、環状の剛性の内歯歯車２と、この内側に同軸に配置されたカップ形状の可撓性の外歯歯車３と、この内側にはめ込まれた楕円状輪郭の波動発生器４から構成されている。

外歯歯車３は、胴部３１、ダイヤフラム３２およびボス３３を備え、全体としてカップ形状をしている。胴部３１は円筒形状をしており、半径方向に撓み可能である。胴部３１の一方の端は開口端３４となっており、開口端３４の側における胴部外周面部分に、外歯３５が形成されている。胴部３１の他方の端に連続して、ダイヤフラム３２が半径方向の内側に延びている。ダイヤフラム３２の内周縁に連続して、円環状のボス３３が形成されている。ボス３３は、外歯歯車３を他の部材（図示せず）に取り付けるための剛体部分である。内歯歯車２は、外歯歯車３の外歯３５を取り囲む状態に配置されている。内歯歯車２の内周面に形成されている内歯２１に、外歯３５はかみ合い可能である。

波動発生器４は、中空ハブ４１と、その外周に、オルダム継手４２を介して、装着した剛性の波動発生器プラグ４３と、波動発生器プラグ４３の楕円形のプラグ外周面４４（非円形外周面）に嵌めた波動発生器ベアリング４５から構成されている。波動発生器ベアリング４５は、内輪４６および外輪４７と、これらの間に装着された複数個のボール４８（転動体）を備えている。波動発生器４によって、外歯歯車３の胴部３１における外歯３５が形成されている部分は、初期形状の真円から楕円形に撓められている。外歯３５は、楕円形の長軸Ｌｍａｘの両端の位置を含む部分で、内歯歯車２の内歯２１にかみ合っている。

波動発生器４が中心軸線１ａを中心として回転すると、両歯車２、３のかみ合い位置が円周方向に移動する。この結果、外歯３５と内歯２１の歯数差に応じて、外歯歯車３と内歯歯車２の間に、相対回転が生じる。例えば、内歯歯車２を固定し、波動発生器４を高速回転入力要素とすれば、外歯歯車３は減速回転出力要素となり、ここから、両歯車２、３の歯数差に応じて減速された回転出力が取り出される。

外歯歯車３の胴部３１の内周面３６において、その開口端３４の側の内周面部分は、外輪接触内周面部分３７を含む第１内周面部分３７Ａである。外輪接触内周面部分３７は、波動発生器ベアリング４５の外輪４７の外輪外周面４９に接触している。内周面３６において、第１内周面部分３７Ａからダイヤフラム３２までの間の内周面部分が、第２内周面部分３８である。なお、本例では、内周面３６において、外輪接触内周面部分３７と開口端３４との間に、外輪外周面４９に接触していない、僅かな幅の開口端側内周面部分３９が形成されている。本例では、外輪接触内周面部分３７と開口端側内周面部分３９を含む内周面部分が、第１内周面部分３７Ａである。第１内周面部分３７Ａに対して中心軸線１ａの方向に隣接する内周面部分が、第２内周面部分３８である。

図２（ａ）は、波動発生器４の外輪外周面４９に形成される潤滑剤保持溝の溝パターンの一例を示す説明図である。図２（ｂ１）および図２（ｂ２）は、外歯歯車３の第１内周面部分３７Ａに形成される潤滑剤保持溝の溝パターンの一例、および第２内周面部分３８に形成される潤滑剤案内溝の溝パターンの一例を示す説明図である。

波動発生器ベアリング４５の外輪外周面４９には、潤滑剤を保持するための第１潤滑剤保持溝５が形成されている。外歯歯車３の第１内周面部分３７Ａにも、潤滑剤を保持するための第２潤滑剤保持溝６が形成されている。第１、第２潤滑剤保持溝５、６は、それぞれ、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。本例では、加工等の観点から、開口端側内周面部分３９にも、外輪接触内周面部分３７と同様に、第２潤滑剤保持溝６が形成されている。外歯歯車３の第２内周面部分３８には、外輪接触内周面部分３７に向けて潤滑剤を案内するための潤滑剤案内溝７が形成されている。潤滑剤案内溝７は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。微細な第１、第２潤滑剤保持溝５、６、および微細な潤滑剤案内溝７は、例えば、フェムト秒レーザーを用いたレーザー加工により形成できる。機械加工、エッチングなどの加工法によって、これらのパターンを形成することも可能である。また、第１、第２潤滑剤保持溝５、６、潤滑剤案内溝７のそれぞれは、矩形断面、半円形断面、Ｖ溝など、各種の断面形状とすることができる。

図２（ａ）には、外輪外周面４９の一部を拡大して模式的に示してある。この図に示すように、波動発生器ベアリング４５の外輪外周面４９には、その全周に亘って、一定のピッチで、溝加工領域４９ａと溝未加工領域４９ｂとが交互に形成されている。また、外輪外周面４９の幅方向（中心軸線１ａに沿った方向）においても、溝加工領域４９ａと溝未加工領域４９ｃとが交互に形成されている。溝加工領域４９ａには、第１潤滑剤保持溝５の平行配列溝パターンが形成されている。すなわち、平行配列溝パターンを構成している第１潤滑剤保持溝５のそれぞれは、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの直線状の溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成され、外輪４７の幅方向に延びている。

図２（ｂ２）には、外歯歯車３の第１内周面部分３７Ａの一部および第２内周面部分３８の一部を、それぞれ拡大して模式的に示してある。これらの図に示すように、外歯歯車３の第１内周面部分３７Ａには、その円周方向に沿って、一定のピッチで、溝加工領域３７ａと溝未加工領域３７ｂとが交互に形成されている。また、第１内周面部分３７Ａにおいて、中心軸線１ａの方向においても、一定のピッチで、溝加工領域３７ａと溝未加工領域３７ｃとが交互に形成されている。溝加工領域３７ａには、第２潤滑剤保持溝６の平行配列溝パターンが形成されている。すなわち、平行配列溝パターンを構成している第２潤滑剤保持溝６のそれぞれは、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの直線状の溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。第２潤滑剤保持溝６は、外歯歯車３の中心軸線１ａに沿った方向に平行に延びている。なお、第２潤滑剤保持溝６から構成される平行配列溝パターンは、開口端側内周面部分３９にも、同様に、形成されている。

一方、外歯歯車３の第２内周面部分３８には、潤滑剤案内溝７の螺旋状配列溝パターンが形成されている。すなわち、第２内周面部分３８には、中心軸線１ａに沿った方向に一定のピッチで、多数本の螺旋状に延びる潤滑剤案内溝７が形成されている。螺旋状の潤滑剤案内溝７は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている。

このように、本例の波動歯車装置１においては、外歯歯車３の内周面３６において、その第２内周面部分３８の全体に、微細な潤滑剤案内溝７の螺旋状配列溝パターンが形成され、その外輪接触内周面部分３７を含む第１内周面部分３７Ａには、微細な第２潤滑剤保持溝６の平行配列溝パターンが形成されている。また、外輪外周面４９にも、微細な第１潤滑剤保持溝５の平行配列溝パターンが形成されている。

波動歯車装置１は、例えば、波動発生器４に回転が入力され、減速回転が外歯歯車３のボス３３から負荷側に取り出される。波動歯車装置１の運転時には、減速回転する外歯歯車３の第２内周面部分３８の全体に形成されている微細な潤滑剤案内溝７によって、潤滑剤が効果的に、外輪接触内周面部分３７に向けて案内され、外輪接触内周面部分３７と外輪外周面４９との間の接触部分に供給される。潤滑剤は、潤滑剤案内溝７から第２潤滑剤保持溝６に向けて供給されて、第２潤滑剤保持溝６、および、外輪外周面４９の側の第１潤滑剤保持溝５に保持される。

外輪接触内周面部分３７および外輪外周面４９に、微細な第１、第２潤滑剤保持溝５、６を形成してあるので、これらの金属接触部分の馴染みが促進される。また、微細な第１、第２潤滑剤保持溝５、６に保持される潤滑剤、および、潤滑剤案内溝７の側から供給される潤滑剤によって、接触面間の潤滑剤担持効果が改善される。さらに、高剛性な油膜厚さを増加させることができ、動圧効果が改善される。よって、接触面間の接触状態を改善でき、外輪接触内周面部分３７、外輪外周面４９に発生するフレッティング摩耗を抑制できる。さらには、接触面間の油膜保持能力の向上により、接触面間の潤滑剤塗布量を削減できる。それによって、潤滑剤撹拌抵抗が低減するので、波動歯車装置１の効率を改善できるという付随効果も得られる。

［潤滑剤保持溝、潤滑剤案内溝］
潤滑剤保持溝（上記の例では、第１、第２潤滑剤保持溝５、６）および潤滑剤案内溝（上記の例では、潤滑剤案内溝７）は、次のように、各種の形態で形成できる。

（溝加工部位）
潤滑剤保持溝は、上記の例のように、外歯歯車３の外輪接触内周面部分３７および外輪外周面４９に形成できる。この代わりに、外輪接触内周面部分３７にのみ潤滑剤保持溝を形成してもよい。また、外輪外周面４９にのみ潤滑剤保持溝を形成してもよい。潤滑剤案内溝は、外歯歯車３の第２内周面部分３８に形成される。

（溝加工範囲）
潤滑剤保持溝は、外輪接触内周面部分３７の全面に亘って形成できる。また、外輪接触内周面部分３７において、その円周方向あるいはその中心軸線１ａの方向に沿って、潤滑剤保持溝が形成されている溝加工部分と、潤滑剤保持溝が形成されていない溝未加工部分とが交互に形成されていてもよい。同様に、外輪外周面４９の全面に亘って潤滑剤保持溝を形成できる。また、外輪外周面４９において、その円周方向あるいは、その幅方向に沿って、潤滑剤保持溝が形成されている溝加工部分と、潤滑剤保持溝が形成されていない溝未加工部分とが交互に形成されていてもよい。一方、潤滑剤案内溝は、外歯歯車３の第２内周面部分３８の全面あるいは一部に形成できる。また、第２内周面部分３８には、その円周方向あるいは、中心軸線１ａの方向に沿って、潤滑剤案内溝が形成されている溝加工部分と、潤滑剤案内溝が形成されていない溝未加工部分とが交互に形成されていてもよい。

（溝形成方向）
外歯歯車３の外輪接触内周面部分３７に形成される潤滑剤保持溝は、中心軸線１ａに沿った方向に延びる溝、円周方向に延びる溝、中心軸線１ａに沿った方向に対して傾斜した方向に延びる斜行溝、螺旋状に延びる螺旋溝、網目状パターンの溝などとすることができる。外輪外周面４９に形成される潤滑剤保持溝も、その幅方向に沿った方向に平行に延びる溝、円周方向に延びる溝、幅方向に対して傾斜した方向に延びる斜行溝、螺旋状に延びる螺旋溝、網目状パターンの溝などとすることができる。潤滑剤案内溝は、外歯歯車３の第２内周面部分３８において、中心軸線１ａに沿った方向に延びる溝、円周方向に延びる溝、中心軸線１ａに沿った方向に対して傾斜した方向に延びる斜行溝、螺旋状に延びる螺旋溝、網目状パターンの溝などとすることができる。

（溝形状）
潤滑剤保持溝、潤滑剤案内溝の溝形状は、直線、曲線、波形状（蛇行状）にすることができる。また、溝幅は一定にすることができる。溝幅が、溝の長さ方向に沿って、漸増、あるいは漸減してもよい。溝幅、溝深さ、溝間隔（ピッチ）は、数マイクロメートルから数ナノメートルの範囲内の値にすることができる。

（溝配列パターン）
溝配列パターンとしては、例えば、外歯歯車３の中心軸線１ａ（外輪外周面４９の幅方向）に平行な溝からなる溝配列パターンに、円周方向に延びる溝からなる溝配列パターンが交差する状態に形成された組み合わせパターンであってもよい。各種の溝配列パターンの組み合わせを採用することができる。

（潤滑剤案内溝と潤滑剤保持溝の境界部分）
外歯歯車３の内周面３６において、第１内周面部分３７Ａの側の第２潤滑剤保持溝６と第２内周面部分３８の側の潤滑剤案内溝７とは、相互に繋がっている場合、相互に離れている場合、一部の溝が相互に繋がっている場合などがある。潤滑剤案内溝７から第２潤滑剤保持溝６に、潤滑剤が速やかに案内されるように、これらの溝６、７の境界部分を形成すればよい。

例えば、第２潤滑剤保持溝６と潤滑剤案内溝７とを、相互に離れた状態にすることができる。すなわち、第１内周面部分３７Ａと第２内周面部分３８との境界部分に、内周面３６の円周方向の全面に、所定の幅で、溝未加工領域を形成しておく。また、第２潤滑剤保持溝６と潤滑剤案内溝７とが相互に隣接する状態に、これらの溝を形成することができる。さらに、第２潤滑剤保持溝６と潤滑剤案内溝７を、内周面３６の円周方向において、相互に重なった状態に形成されている部分と、一定の間隔で離れている部分とを、交互に形成しておくことも可能である。さらにまた、第２潤滑剤保持溝６と潤滑剤案内溝７とが、内周面３６の円周方向の全面に亘って、所定の幅で相互に重なった状態に形成しておくことも可能である。

（溝配列パターンの例）
図３は、第１、第２潤滑剤保持溝５、６、潤滑剤案内溝７の配列パターンの各例を模式的に示す説明図である。以下においては、溝が形成される第１内周面部分３７Ａ、第２内周面部分３８、外輪外周面４９を、溝形成面として説明し、第１、第２潤滑剤保持溝５、６、潤滑剤案内溝７を、微細溝として説明する。なお、図３は代表的な配列パターンを例示したものであり、本発明において採用可能な配列パターンが図３に示す各例に限定されるものではない。

溝形成面には、微細溝が、所定のピッチで所定の方向に、直線状あるいは曲線状に延びる配列パターンで形成される。例えば、図３（ａ）に示すように、溝形成面には、微細溝が、一定のピッチで、溝形成面の円周方向（外輪外周面４９の円周方向、あるいは外歯歯車３の胴部３１の内周面３６の円周方向）に、直線状に延びる配列パターンを形成できる。また、図３（ｂ）に示すように、溝形成面において、微細溝が、一定のピッチで、円周方向に波状に延びる配列パターンを形成できる。

図３（ｃ）に示すように、溝形成面において、微細溝が、一定のピッチで、溝形成面の円周方向に直交する中心軸線の方向（外輪外周面４９の幅方向、あるいは、外歯歯車の胴部３１の内周面３６の中心軸線の方向）に、直線状に延びる配列パターンを形成できる。図３（ｄ）に示すように、溝形成面において、微細溝が、一定のピッチで、溝形成面の円周方向に直交する中心軸線方向に波状に延びる配列パターンを形成できる。また、図３（ｅ）に示すように、溝形成面において、微細溝が、一定のピッチで、溝形成面の円周方向および中心軸線の方向に対して傾斜する斜め方向に直線状に延びる傾斜配列パターンを形成できる。

また、図３（ｆ）、（ｇ）に示すように、同一の溝形成面において、微細溝が、一定のピッチで第１の方向に延びる第１方向配列パターンと、一定のピッチで第１方向とは異なる第２の方向に延びる第２方向配列パターン溝とが交差している交差配列パターンを形成できる。図３（ｆ）に示す交差配列パターンでは、第１方向配列パターンは、円周方向に直線状に延びる微細溝からなり、第２方向配列パターンは、軸線方向に直線状に延びる微細溝からなる。図３（ｇ）に示す交差配列パターンでは、第１方向配列パターンは、円周方向および軸線方向に対して４５度傾斜した方向に延びる直線状の微細溝から形成される傾斜配列パターンであり、第２方向配列パターンは、円周方向および軸線方向に対して逆方向に４５度傾斜した方向に延びる直線状の微細溝から形成される傾斜配列パターンである。さらに、溝形成面に、図３（ａ）に示す配列パターンと、図３（ｂ）に示す配列パターンとが重なった状態の交差配列パターンを形成することも可能である。

Claims (2)

1. 剛性の内歯歯車、可撓性の外歯歯車および波動発生器を備え、
   前記外歯歯車は半径方向に撓み可能な円筒形状の胴部を備え、前記胴部に外歯が形成されており、
   前記波動発生器は、剛性のプラグおよび波動発生器ベアリングを備え、前記波動発生器ベアリングは、前記プラグの非円形外周面と前記外歯歯車の前記胴部の内周面との間に装着されている波動歯車装置において、
   前記外歯歯車の前記胴部の前記内周面は、第１内周面部分および第２内周面部分を含み、前記第１内周面部分は、少なくとも、前記波動発生器ベアリングの外輪における外輪外周面に接触する外輪接触内周面部分を含み、前記第２内周面部分は、前記第１内周面部分に対して中心軸線の方向に隣接しており、
   前記第２内周面部分には、前記第１内周面部分に向けて潤滑剤を案内するための潤滑剤案内溝の螺旋状配列溝パターンが形成されており、
   前記潤滑剤案内溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されており、前記中心軸線に沿った方向に螺旋状に延びており、
   前記外歯歯車の前記第１内周面部分および前記波動発生器ベアリングの前記外輪外周面のうちの一方の面、または双方の面には、その円周方向に沿って、一定のピッチで、溝加工領域と溝未加工領域とが交互に形成されており、
   前記溝加工領域には、前記潤滑剤を保持するための潤滑剤保持溝の平行配列溝パターンが形成されており、前記潤滑剤保持溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さであり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されており、前記中心軸線に沿った方向に平行に延びている波動歯車装置。
2. 環状の剛性の内歯歯車と、この内側に同軸に配置されたカップ形状の可撓性の外歯歯車と、この内側にはめ込まれた楕円状輪郭の波動発生器とを備え、
   前記外歯歯車は、胴部、ダイヤフラムおよびボスを備え、全体としてカップ形状をしており、
   前記胴部は円筒形状をしており、半径方向に撓み可能であり、
   前記胴部の一方の端は開口端となっており、この開口端の側における胴部外周面部分に、外歯が形成されており、前記胴部の他方の端に連続して、前記ダイヤフラムが半径方向の内側に延びており、このダイヤフラムの内周縁に連続して、円環状の前記ボスが形成されており、
   波動発生器は、剛性の波動発生器プラグと、この波動発生器プラグの楕円形のプラグ外周面に嵌めた波動発生器ベアリングとを備えており、
   前記外歯歯車の前記胴部の内周面において、前記開口端の側の内周面部分は、外輪接触内周面部分を含む第１内周面部分であり、前記外輪接触内周面部分は、前記波動発生器ベアリングの外輪の外輪外周面に接触しており、
   前記胴部の前記内周面において、前記第１内周面部分から前記ダイヤフラムまでの間の内周面部分が、第２内周面部分であり、
   前記波動発生器ベアリングの前記外輪外周面には、その全周に亘って、一定のピッチで、溝加工領域と溝未加工領域とが交互に形成されており、前記溝加工領域には、潤滑剤を保持するための第１潤滑剤保持溝の平行配列溝パターンが形成されており、前記第１潤滑剤保持溝のそれぞれは、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの直線状の溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成され、前記外輪の幅方向に延びており、
   前記外歯歯車の前記第１内周面部分には、その円周方向に沿って、一定のピッチで、溝加工領域と溝未加工領域とが交互に形成されており、前記溝加工領域には、潤滑剤を保持するための第２潤滑剤保持溝の平行配列溝パターンが形成されており、前記第２潤滑剤保持溝のそれぞれは、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの直線状の溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成され、中心軸線に沿った方向に平行に延びており、
   前記外歯歯車の前記第２内周面部分には、その全体に亘って、前記外輪接触内周面部分に向けて潤滑剤を案内するための潤滑剤案内溝の螺旋状配列溝パターンが形成されており、前記螺旋状配列溝パターンは、前記中心軸線に沿った方向に螺旋状に延びる前記潤滑剤案内溝によって構成されており、前記潤滑剤案内溝のそれぞれは、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さの溝であり、数マイクロメートルから数十ナノメートルの間隔で形成されている波動歯車装置。

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