JP7064459B2 - 作動検知モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、作動検知モジュールに関し、特に、薄型ポータブル式装置に内蔵され、ガスの検測を行う、作動検知モジュールに関するものである。
近年、人々は環境中のガスに注目し、特に、生活環境における一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス、揮発性有機物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄ、ＶＯＣ）、ＰＭ２．５、一酸化窒素、一酸化硫黄などのガスは、健康に影響を与えるため、各国において、環境ガスの品質が重視され、早期対策の必要がある課題として挙げられている。
ガスの品質を検測する方法としては、ガス検測器を用いて周囲環境のガスを検測することは有効であるが、素早く検測された情報を提示し、環境にいる人々に予防又は避難対策を提供することや、健康への影響や怪我などが起こすことを回避することなども望ましい。そのため、ガス検測器は、予防又は避難対策に優れるため、広く使用されている。
従来のガス検測器のガス検知は、環境の気流を利用して、ガスを検測器表面に輸送して検測を行うことは一般的である。しかし、このようなガス検測器では、アクチュエータによるガスの導入が行われないため、ガス気流の流速が増加すると、ガス検測器にガスの移動は時間がかかり、検測効率が良くないという問題点がある。仮に、アクチュエータを設けて作動検知モジュールを形成する場合においても、アクチュエータが作動していると、高速且つ継続に振動することで、熱が発生し、その熱は、ガス検測器の周囲に伝達される場合がある。この熱によって、検測器の周囲にある検測予定のガスと作動検知モジュールが検測する外部にあるガスとの差異が生じるため、ガス検測器の検測結果に影響を与えることがある。また、作動検知モジュールが装置（例えば、ポータブル式電子装置）に設けられると、装置内の電子素子（例えば、回路基板、処理器など）が作動した後、装置内にガス汚染及び熱が発生するため、作動検知モジュール内にある検測予定のガスと混合し、ガス検測器の検測品質に影響を与える。このため、作動検知モジュール外部の検測予定のガスの実際の特性及び成分を測定することができず、検測結果に誤差が生じる場合がある。
上記の問題点を解決するために、検測効率を向上させるとともに、作動検知モジュールで検測すべき所定のガスを検測し、他の外部要素によるガス検測器への影響を低減させることが、実現されるべきである。
本発明の目的は、薄型ポータブル式装置に内蔵され、且つ、ガス検測を行うことができる作動検知モジュールを提供することである。作動検知モジュールは、本体とアクチュエータとガス検測器とを備える。アクチュエータを設けることによって、ガスをガス検測器の表面に輸送して検測を行うことを加速させ、ガス検測器の検測効率を向上させることができる。また、本体は、単方向のガスを導入及び導出するための、単方向の開口を有する検測チャンバーを備え、アクチュエータの作動により共振板がガスを輸送し、薄型ポータブル式装置外部のガスを作動検知モジュールに導入して検測を行う。なお、ここでの作動検知モジュールに検測されるガスの特性は、薄型ポータブル式装置外部のガス特性と同じであることを意味している。
本発明の作動検知モジュールは、本体と、微粒子検測基台と、複数のアクチュエータと、複数のセンサーとを備える。前記本体は、複数の分割チャンバーを組み合わせて構成され、前記複数の分割チャンバーは、第１分割チャンバーと第２分割チャンバーとを含み、前記第１分割チャンバーは、内部が第１分割板により第１ハウジングと第２ハウジングとに分割され、且つ、前記第１ハウジングと連通する第１吸気口と、第２ハウジングと連通する第１排気口と、前記第１分割板に前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとを連通する第１連通口とを設けている。前記第２分割チャンバーは、前記第１分割チャンバーと一体化に結合され、内部は、載置のための分割板により、第３ハウジングと第４ハウジングとに分割され、且つ、第３ハウジングと連通する第２吸気口と、第４ハウジングと連通する第２排気口と、載置のための分割板に設けられる前記第３ハウジングと前記第４ハウジングとを連通する第２連通口とを設けている。前記微粒子検測基台は、前記第２分割チャンバーの前記第３ハウジングと前記載置のための分割板との間に設けられ、検測経路が設けられ、且つ、前記検測経路の一端に収納溝を有し、前記検測経路と連通する。前記複数のアクチュエータは、第１アクチュエータと第２アクチュエータとを含み、前記第１アクチュエータは、前記第２ハウジングと前記第１分割板との間に設けられ、ガスが前記第１吸気口より前記第１ハウジングに導入され、且つ前記第１連通口により連通して前記第２ハウジングに輸送され、前記第１排気口から排出され、前記第１分割チャンバーにおける単方向のガス輸送を構成するように用いられる。前記第２アクチュエータは、前記微粒子検測基台の前記収納溝に設けられ、前記検測経路の一端を密封し、ガスが前記第２吸気口より前記第３ハウジングに導入して前記検測経路に導入され、前記第２連通口の連通により前記第４ハウジングに輸送され、前記第２排気口から排出され、前記第２分割チャンバーにおける単方向のガス運送を構成するように用いられる。前記複数のセンサーは、第１センサーと第２センサーと第３センサーと含み、前記第１センサーは、前記第１ハウジングに設けられ、且つ前記第１アクチュエータと互いに間隔を保持し、表面に流通されるガスを検測するように用いられ、前記第２センサーは、前記第３ハウジングに設けられ、前記第３ハウジングに導入されるガスを検測するように用いられ、前記第３センサーは、前記載置のための分割板に配置され、且つ前記微粒子検測基台の前記検測経路に位置され、前記検測経路に導入されるガスを検測するように用いられる。
本発明の作動検知モジュールにおける第１分割チャンバーの断面図である。 本発明の作動検知モジュールにおける第２分割チャンバーの断面図である。 本発明の作動検知モジュールが薄型ポータブル式装置に適用する状態を示す図である。 図３に示す作動検知モジュールが薄型ポータブル式装置の第１分割チャンバーに適用する状態での断面図である。 図３に示す作動検知モジュール薄型ポータブル式装置の第２分割チャンバーに適用する状態での断面図である。 図６Ａは本発明の作動検知モジュールにおける第１アクチュエータの分解図である。図６Ｂは本発明の作動検知モジュールにおける第１アクチュエータを他の角度から見た分解図である。 図７Ａは本発明の作動検知モジュールにおける第１アクチュエータの断面図である。図７Ｂ～７Ｄは本発明の作動検知モジュールにおける第１アクチュエータが作動する状態を示す図である。 本発明の作動検知モジュールにおける第２アクチュエータの分解図である。 図９Ａは本発明の作動検知モジュールにおける第２アクチュエータが微粒子検測基台に設けられる状態の断面図である。図９Ｂ及び図９Ｃは本発明の作動検知モジュールにおける、微粒子検測基台に設けられた第２アクチュエータが作動している状態を示す図である。 本発明の作動検知モジュールにおける第１分割チャンバーの他の実施形態での断面図である。 図１１Ａは本発明の作動検知モジュールの他の実施形態における弁を示す図である。図１１Ｂ本発明の作動検知モジュールの他の実施形態において弁が作動している状態を示す図である。 本発明の作動検知モジュールにおける第３分割チャンバーの他の実施形態での断面図である。 本発明の作動検知モジュールの他の実施形態における、第３分割チャンバーが薄型ポータブル式装置における対応の第４貫通孔に適用する状態を示す図である。 本発明の作動検知モジュールの他の実施形態における、第３分割チャンバーが薄型ポータブル式装置に適用する状態での断面図である。
本発明の特徴及び利点をより具体化した例示的な実施形態は、以下のように詳細に説明する。また、本発明は、異なる態様に変化可能であり、いずれも本発明請求の範囲に含まれる。なお、以下の説明及び図面は、本発明を説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。
図１～図３、及び図５～図６に示すように、本発明の作動検知モジュールは、少なくとも１つの本体１と、少なくとも１つの微粒子検測基台２と、複数のアクチュエータと、複数のセンサーと、少なくとも１つの第１分割チャンバー１ａと、少なくとも１つの第２分割チャンバー１ｂと、少なくとも１つの第１分割板１１ｃと、少なくとも１つの第１ハウジング１１ｄと、少なくとも１つの第２ハウジング１１ｅと、少なくとも１つの第１吸気口１１ｆと、少なくとも１つの第１排気口１１ｇと、少なくとも１つの第１連通口１１ｈと、少なくとも１つの載置のための分割板１２ｃと、少なくとも１つの第３ハウジング１２ｄと、少なくとも１つの第４ハウジング１２ｅと、少なくとも１つの第２吸気口１２ｆと、少なくとも１つの第２排気口１２ｇと、少なくとも１つの第２連通口１２ｈと、少なくとも１つの検測経路２１と、少なくとも１つの収納溝２２と、少なくとも１つの第１アクチュエータ３１と、少なくとも１つの第２アクチュエータ３２と、少なくとも１つの第１センサー４１と、少なくとも１つの第２センサー４２と、少なくとも１つの第３センサー４３とを備える。以下の実施形態における本体１、微粒子検測基台２、第１分割チャンバー１ａ、第２分割チャンバー１ｂ、第１分割板１１ｃ、第１ハウジング１１ｄ、第２ハウジング１１ｅ、第１吸気口１１ｆ、第１排気口１１ｇ、第１連通口１１ｈ、載置のための分割板１２ｃ、第３ハウジング１２ｄ、第４ハウジング１２ｅ、第２吸気口１２ｆ、第２排気口１２ｇ、第２連通口１２ｈ、検測経路２１、収納溝２２、第１アクチュエータ３１、第２アクチュエータ３２、第１センサー４１、第２センサー４２及び第３センサー４３の個数が１つであることを例として説明するが、これには限定されない。本体１、微粒子検測基台２、第１分割チャンバー１ａ、第２分割チャンバー１ｂ、第１分割板１１ｃ、第１ハウジング１１ｄ、第２ハウジング１１ｅ、第１吸気口１１ｆ、第１排気口１１ｇ、第１連通口１１ｈ、載置のための分割板１２ｃ、第３ハウジング１２ｄ、第４ハウジング１２ｅ、第２吸気口１２ｆ、第２排気口１２ｇ、第２連通口１２ｈ、検測経路２１、収納溝２２、第１アクチュエータ３１、第２アクチュエータ３２、第１センサー４１、第２センサー４２及第３センサー４３は、複数組み合わせて使用しても良い。
図１～図５に示すように、本発明の作動検知モジュールは、本体１と、微粒子検測基台２と、複数のアクチュエータと、複数のセンサーとを備える。そのうち、図３～図５に示すように、本体１は、複数の分割チャンバーを組み合わせて構成される。複数の分割チャンバーは、第１分割チャンバー１ａと、第２分割チャンバー１ｂとを含み、第２分割チャンバー１ｂと、第１分割チャンバー１ａとは一体化に結合される。複数のアクチュエータは、第１アクチュエータ３１と第２アクチュエータ３２とを備える。複数のセンサーは、第１センサー４１と、第２センサー４２と、第３センサー４３とを備える。
また、図１に示すように、上記の第１分割チャンバー１ａは、第１筐体１１ａと、第２筐体１１ｂと、第１分割板１１ｃとを備え、第１筐体１１ａと第２筐体１１ｂとが対向に取付けられ、第１分割板１１ｃは、第１筐体１１ａと第２筐体１１ｂとの間に設けられ、第１筐体１１ａと第２筐体１１ｂとからなる内部空間は、第１分割板１１ｃにより、第１ハウジング１１ｄと第２ハウジング１１ｅとに分割される。また、第１筐体１１ａと第１分割板１１ｃとの間には、第１ハウジング１１ｄと連通する第１吸気口１１ｆを有し、第２筐体１１ｂと第１分割板１１ｃとの間には、第２ハウジング１１ｅと連通する第１排気口１１ｇを有する。さらに、第１分割板１１ｃは、連通口１１ｈを有し、第１ハウジング１１ｄと第２ハウジング１１ｅとを連通して、本体１内部において、第１吸気口１１ｆと、第１ハウジング１１ｄと、第１連通口１１ｈと、第２ハウジング１１ｅと、第１排気口１１ｇとで、ガスを単方向に導入及び導出するガス経路が形成される（図１の矢印で示す経路方向）。第１アクチュエータ３１は、第２筐体１１ｂと第１分割板１１ｃとの間に設けられ、且つ、密封する。本実施形態においては、第１アクチュエータ３１は、第２ハウジング１１ｅと第１分割板１１ｃとの間に位置され、一端が第２本体１１ｂに固設され、他端が第１分割板１１ｃに固設され、第２ハウジング１１ｅを密封する。第１アクチュエータ３１の動作によりガスが輸送され、第１ハウジング１１ｄに負圧が形成し、ガスが第１吸気口１１ｆより第１ハウジング１１ｄに導入され、第１連通口１１ｈを通して第２ハウジング１１ｅに導入される。その後、第１アクチュエータ３１の動作によりガスの輸送を行い、第２ハウジング１１ｅ内に導入されたガスを第１排気口１１ｇより排出させ、単方向のガス輸送を実現する。第１センサー４１は第１ハウジング１１ｄに設けられ、且つ第１アクチュエータ３１と互いに隔離を保持される。第１センサー４１は、表面に流れてきたガスに対して検測を行う。上記の第１分割板１１ｃは、第１センサー４１と第１アクチュエータ３１と互いに隔離を保持させるため、第１アクチュエータ３１の動作によりガス輸送を行うことで生じた熱及び振動は、第１分割板１１ｃにより、第１センサー４１の検測への影響を抑えられる。
上記の第１センサー４１は、ガスセンサーであっても良く、例えば、酸素ガスセンサー、一酸化炭素ガスセンサー、二酸化炭素ガスセンサー、温度センサー、オゾンガスセンサー、揮発性有機物センサーののうち少なくとも１つ又はそれらの組合せである。また、上記のガスセンサーは、細菌、ウイルス、及び微生物のうちの少なくとも１つ又はそれらの任意の組合せを検測するガス検測器であっても良い。
図１に示すように、第１分割チャンバー１ａの第１筐体１１ａは、第１接続孔１１ｉを有し、フレキシブル電気回路基板５が第１接続孔１１ｉを挿入して第１センサー４１と接続し、且つ、ガスが第１ハウジング１１ｄに導入されないように、封止材で第１接続孔１１ｉを密封する。第２筐体１１ｂは、第２接続孔１１ｊを有し、フレキシブル電気回路基板５が第２接続孔１１ｊを挿入して第１アクチュエータ３１と接続し、且つ、ガスが第２ハウジング１１ｅに導入されないように、封止材で第２接続孔１１ｊを密封する。これによって、作動検知モジュールは、単方向に開口のある検測チャンバーに構成され、単方向にガスを輸送して検測を行うことができる。
図２に示すように、上記の第２分割チャンバー１ｂは、第３筐体１２ａと、第４筐体１２ｂと、載置のための分割板１２ｃとを備える。第３筐体１２ａと第４筐体１２ｂとが対向して取付けられ、載置のための分割板１２ｃは、第３筐体１２ａと第４筐体１２ｂとの間に設けられ、第３筐体１２ａと載置のための分割板１２ｃとの間に第３ハウジング１２ｄが構成され、第４筐体１２ｂと載置のための分割板１２ｃとの間に第４ハウジング１２ｅが構成される。ここで、第３筐体１２ａと載置のための分割板１２ｃとの間には、第２吸気口１２ｆを有し、第２吸気口１２ｆと第３ハウジング１２ｄとが連通され、第４筐体１２ｂと載置のための分割板１２ｃとの間には、第２排気口１２ｇを有し、第２排気口１２ｇと第４ハウジング１２ｅとが連通される。第２センサー４２は、第３ハウジング１２ｄ内部に設けられ、第３ハウジング１２ｄ内部に導入されたガスを検測することに用いられる。また、載置のための分割板１２ｃは、第２連通口１２ｈを有し、第３ハウジング１２ｄと第４ハウジング１２ｅとが第２連通口１２ｈを介して連通される。
上記の第３筐体１２ａは、第３接続孔１２ｉと第４接続孔１２ｊとを有し、第３接続孔１２ｉによりフレキシブル電気回路基板５が挿入して第２センサー４２と接続されることができ、第４接続孔１２ｊによりフレキシブル電気回路基板５が挿入して第２アクチュエータ３２と接続されることができる。また、接続後に封止材で第３接続孔１２ｉと第４接続孔１２ｊとを密封し、ガスが、第４ハウジング１２ｅに導入されず、第２吸気口１２ｆより第３ハウジング１２ｄに導入される。載置のための分割板１２ｃは、延伸し、且つ第２分割チャンバー１ｂの外部に露出する露出部分（図示せず）を有し、露出部分には、フレキシブル電気回路基板５の挿入・接続、又は、載置のための分割板１２ｃの電気的な接続・信号伝送のための接続器１２ｋが設けられる。
上述の微粒子検測基台２は、載置のための分割板１２ｃに設けられ、第２分割チャンバー１ｂにおける第３ハウジング１２ｄと載置のための分割板１２ｃとの間に位置される。微粒子検測基台２は、検測経路２１を有し、検測経路２１の一端には、検測経路２１と連通する収納溝２２を有する。第３センサー４３は、載置のための分割板１２ｃに配置して設けられ、且つ、微粒子検測基台２の検測経路２１内に位置され、検測経路２１内部に導入された空気を検測するように用いられる。載置のための分割板１２ｃは、電気回路基板であっても良く、このような構造によって、微粒子検測基台２と第３センサー４３とが載置のための分割板１２ｃに配置して設けられ、電気的な接続及び信号伝送の機能を果たすことができる。
上記の微粒子検測基台２は、レーザー２３とビーム経路２４とを更に備える。レーザー２３と載置のための分割板１２ｃとが電気的に接続され、ビーム経路２４と検測経路２１とが垂直に連通され、レーザー２３から発射されたレーザー光がビーム経路２４を通過した後検測経路２１に照射し、検測経路２１を通過するガスにおける浮遊微粒子が、ビーム照射後、第３センサー４３に映す光点の投影により、第３センサー４３でのガス検測を行う。
上記の第３センサー４３は、光学センサーであって良い。浮遊微粒子がビーム照射後光学センサーに映す光点の投影を検測し、映された光点の投影で浮遊微粒子の粒子径及び濃度を計算する。本実施形態においては、光学センサーがＰＭ２．５センサーである。
図３～図５に示すように、上記作動検知モジュールは薄型ポータブル式装置１０内部に設けて使用されても良い。薄型ポータブル式装置１０は、第１貫通孔１０ａと、第２貫通孔１０ｂと、第３貫通孔１０ｃとを有する。薄型ポータブル式装置１０に設けられた作動検知モジュールは、第１分割チャンバー１ａの第１吸気口１１ｆが第１貫通孔１０ａに対応し、第１排気口１１ｇが第２貫通孔１０ｂに対応し、第２分割チャンバー１ｂの第２吸気口１２ｆ及び第２排気口１２ｇが第３貫通孔１０ｃに対応して設けられる。この構成によって、薄型ポータブル式装置１０外部のガスが薄型ポータブル式装置１０に導入されて検測することができる。第１アクチュエータ３１の作動操作によって、薄型ポータブル式装置１０外部のガスが第１ハウジング１１ｄを介して第２ハウジング１１ｅに導入され、第１ハウジング１１ｄ内に負圧が形成され、ガスが第１吸気口１１ｆより第１ハウジング１１ｄ内に導入される。その後、第１連通口１１ｈを介して第２ハウジング１１ｅ内に導入され、第１アクチュエータ３１の作動操作によりガスが第２ハウジング１１ｅに導入されて、第１排気口１１ｇより排出される。これによって、単方向のガス輸送・検測ができる。第２分割チャンバー１ｂは、第２アクチュエータ３２によって、ガスが第２分割チャンバー１ｂ内部に導入され、第２センサー４２を利用して温度・湿度を検測する。第３センサー４３は、浮遊微粒子の濃度を検測する。本発明の作動検知モジュールは、他の影響要因（内部アクチュエータの熱、薄型ポータブル式装置１０内発生したガス汚染、熱又は他の影響など）による複数のセンサーへの影響を避けられることに加えて、複数のアクチュエータを設けることによって、ガスを導入・導出し、且つガスを複数のセンサーの表面に輸送して検測することを加速させることができる。これによって、複数のセンサーの検測効率を向上させ、且つ、作動検知モジュールが実際の薄型ポータブル式装置１０外部のガスに対して検測することができ、作動検知モジュール内に検測されたガス特性は、薄型ポータブル式装置１０外部のガス特性と同等であることを保証することができる。
以上は、上記の作動検知モジュールの特徴について説明したが、以下、第１アクチュエータ３１及び第２アクチュエータ３２の構造及び作動形態について説明する。
図６Ａ～図７Ａに示すように、上記の第１アクチュエータ３１はガスポンプであり、順次積層されるガス進入板３１１と、共振板３１２と、圧電アクチュエータ３１３と、絶縁シート３１４と、導電シート３１５とを備える。ガス進入板３１１は、少なくとも１つのガス進入孔３１１ａと、少なくとも１つの合流排孔３１１ｂと、合流チャンバー３１１ｃとを備え、上記のガス進入孔３１１ａと合流排孔３１１ｂとの個数は同じであり、本実施形態においては、ガス進入孔３１１ａと合流排孔３１１ｂとの個数は４つであることを例示しているが、これに限定されない。４つのガス進入孔３１１ａは、それぞれ、４つの合流排孔３１１ｂを貫通し、且つ、４つの合流排孔３１１ｂが合流チャンバー３１１ｃに合流する。
上記の共振板３１２は、粘着式によりガス進入板３１１に設けられ、共振板３１２には、中空孔３１２ａと、可動部材３１２ｂと、固定部材３１２ｃとを有し、中空孔３１２ａが共振板３１２の中心部に位置され、ガス進入板３１１の合流チャンバー３１１ｃに対応する。中空孔３１２ａの周囲に位置され、且つ合流チャンバー３１１ｃに対応する領域は可動部材３１２ｂで構成され、共振板３１２の外縁部に設けられ、且つガス進入板３１１に貼り付けて固定される領域は、固定部材３１２ｃで構成される。
上記の圧電アクチュエータ３１３は、浮遊板３１３ａと、外枠３１３ｂと、少なくとも１つの接続部材３１３ｃと、圧電素子３１３ｄと、少なくとも１つの隙間３１３ｅと、凸部３１３ｆとを備える。浮遊板３１３ａは、正方形の浮遊板であり、第１表面３１３１ａと、第１表面３１３１ａに対応する第２表面３１３２ａとを有する。外枠３１３ｂは、浮遊板３１３ａの周縁を囲むように設けられる。外枠３１３ｂは、取付け表面３１３１ｂと下表面３１３２ｂとを有し、且つ、少なくとも１つの接続部材３１３ｃを介して浮遊板３１３ａと外枠３１３ｂとの間に連結され、弾力性により浮遊板３１３ａを支持する支持力を提供する。ここで、隙間３１３ｅは、浮遊板３１３ａと外枠３１３ｂと接続部材３１３ｃとの間にある隙間であり、ガス通過のために用いられる。
浮遊板３１３ａの第１表面３１３１ａには凸部３１３ｆが形成され、本実施形態において、凸部３１３ｆは、凸部３１３ｆの周縁且つ接続部材３１３ｃと隣接する連結部をエッチング工程で凹ませ、浮遊板３１３ａの凸部３１３ｆが第１表面３１３１ａよりも高いように、段差構造を形成している。
図７Ａに示すように、本実施形態における浮遊板３１３ａは、下方に凹むようにプレス成形により形成され、凹む距離は、少なくとも１つの接続部材３１３ｃが浮遊板３１３ａと外枠３１３ｂとの間に形成することによって調整することができる。浮遊板３１３ａにおける凸部３１３ｆの表面と外枠３１３ｂにおける取付け表面３１３１ｂとの両者が同一平面でないように形成され、すなわち、凸部３１３ｆの表面は、外枠３１３ｂの取付け表面３１３１ｂよりも低く、且つ浮遊板３１３ａの第２表面３１３２ａは、外枠３１３ｂの下表面３１３２ｂよりも低くする。圧電素子３１３ｄは、浮遊板３１３ａの第２表面３１３２ａに貼り付けられ、凸部３１３ｆに対向して設けられる。圧電素子３１３ｄに駆動電圧が印加されることで、圧電効果による変形が生じられ、浮遊板３１３ａが湾曲振動するように連動する。外枠３１３ｂの取付け表面３１３１ｂに塗布される少量の粘着剤を介して、熱圧着方式により圧電アクチュエータ３１３が共振板３１２の固定部材３１２ｃに粘結されることによって、圧電アクチュエータ３１３は、共振板３１２と連結するように取付けられる。
絶縁シート３１４及び導電シート３１５は、いずれも薄い枠状のシートであり、圧電アクチュエータ３１３の下方に順次積層されている。本実施形態においては、絶縁シート３１４は、圧電アクチュエータ３１３における外枠３１３ｂの下表面３１３２ｂに貼り付けられている。
図７Ａに示すように、第１アクチュエータ３１のガス進入板３１１、共振板３１２、圧電アクチュエータ３１３、絶縁シート３１４、導電シート３１５は、順次積層して結合された後、浮遊板３１３ａの第１表面３１３１ａと共振板３１２との間にチャンバー間隔ｇが形成される。チャンバー間隔ｇは、第１アクチュエータ３１の輸送効果に影響を与えるので、一定のチャンバー間隔ｇを保持することは、第１アクチュエータ３１が安定な輸送効果を奏することに極めて重要である。本発明の第１アクチュエータ３１は、浮遊板３１３ａに対してプレス加工方式を用い、浮遊板３１３ａの第１表面３１３１ａと外枠３１３ｂの取付け表面３１３１ｂとの両者が同一平面でないように下方に凹ませ、すなわち、浮遊板３１３ａの第１表面３１３１ａは外枠３１３ｂの取付け表面３１３１ｂよりも低く、且つ浮遊板３１３ａの第２表面３１３２ａは外枠３１３ｂの下表面３１３２ｂよりも低くする。これによって、圧電アクチュエータ３１３の浮遊板３１３ａを凹ませて空間を形成し、共振板３１２と調整可能なチャンバー間隔ｇを形成する。上記圧電アクチュエータ３１３の浮遊板３１３ａは陥凹成形によりチャンバー空間３１６を形成する構造改良で、所定のチャンバー間隔ｇは、調整圧電アクチュエータ３１３の浮遊板３１３ａの陥凹成形により実現されることができ、チャンバー間隔ｇを調整する構造設計が有効に簡単化され、製造工程も単純化され、製造時間の短縮などの利点を達成することができる。
図７Ｂ～図７Ｄは、図７Ａに示す第１アクチュエータ３１が作動している状態を示している。まず、図７Ｂを参照されたい。圧電アクチュエータ３１３の圧電素子３１３ｄは、駆動電圧を印加することによって変形し、浮遊板３１３ａが下方に変位するように連動される。この時、チャンバー空間３１６の容積が増大し、チャンバー空間３１６内に負圧を形成する。これによって、合流チャンバー３１１ｃ内部のガスがチャンバー空間３１６内に進入しやすくなる。同時に、共振板３１２は、共振原理の影響を受けて下方に変位する。変位は、合流チャンバー３１１ｃの容積が増大することを連動し、また、合流チャンバー３１１ｃ内部のガスがチャンバー空間３１６に進入することによって、合流チャンバー３１１ｃ内部も負圧状態になる。これによって、合流排孔３１１ｂと吸気口３１１ａとを介して、合流チャンバー３１１ｃ内部にガスが吸い込まれる。次に、図７Ｃを参照されたい。圧電素子３１３ｄは、浮遊板３１３ａが上方に変位することを連動し、チャンバー空間３１６を圧縮する。チャンバー空間３１６内部のガスは隙間３１３ｅを通して下方に輸送され、ガス輸送の機能を果たす。同時に、共振板３１２は、浮遊板３１３ａによる共振で上方に変位し、合流チャンバー３１１ｃ内部のガスをチャンバー空間３１６に移送させることができる。最後に、図７Ｄに示すように、浮遊板３１３ａが下方に変位されると、共振板３１２も下方に変位する。この時の共振板３１２は、チャンバー空間３１６内部のガスを圧縮させて隙間３１３ｅに輸送させ、且つ合流チャンバー３１１ｃ内部の容積を増大させる。これにより、ガスが吸気口３１１ａ、合流排孔３１１ｂを持続的に通して、合流チャンバー３１１ｃ内部に合流される。上記のステップを繰り返すことで、第１アクチュエータ３１によりガスが吸気口３１１ａに連続的に導入され、隙間３１３ｅより下方に輸送させ、ガスが第１センサー４１に輸送される機能を果たして、第１センサー４１での検測にガスを提供し、ガス検測効率を向上させることができる。
次に、図７Ａに示すように、第１アクチュエータ３１の別の実施形態では、微小な電気機械システム製造方法を用いて、第１アクチュエータ３１が微小な電気機械ガスポンプとしても良い。なお、ガス進入板３１１と、共振板３１２と、圧電アクチュエータ３１３と、絶縁シート３１４と、導電シート３１５とは、いずれも、表面マイクロマシニング製造方法により製造されることができ、第１アクチュエータ３１の体積を減少させることができる。
図８に示すように、上述の第２アクチュエータ３２は、順次積層された吹付け孔シート３２１と、チャンバーフレーム３２２と、アクチュエータユニット３２３と、絶縁フレーム３２４と、導電フレーム３２５とを備える。吹付け孔シート３２１は、複数の架台３２１ａと、浮遊シート３２１ｂと、中空穴３２１ｃとを有し、浮遊シート３２１ｂが湾曲振動することができ、複数の架台３２１ａが浮遊シート３２１ｂの周縁に隣接する。本実施形態では、架台３２１ａの個数は４つであり、それぞれ、浮遊シート３２１ｂの４隅に隣接するが、これに限定されない。中空穴３２１ｃは、浮遊シート３２１ｂの中心部に位置される。チャンバーフレーム３２２は、浮遊シート３２１ｂに積み重ねて設けられ、アクチュエータユニット３２３は、チャンバーフレーム３２２に積み重ねて設けられ、且つ、圧電担持板３２３ａと、調整共振板３２３ｂと、圧電板３２３ｃとを備える。圧電担持板３２３ａは、チャンバーフレーム３２２に積み重ねて設けられ、調整共振板３２３ｂは、圧電担持板３２３ａに積み重ねて設けられ、圧電板３２３ｃは、調整共振板３２３ｂに積み重ねて設けられる。これらの設計は、電圧印加による変形で圧電担持板３２３ａと調整共振板３２３ｂとを往復に湾曲振動させる。絶縁フレーム３２４は、アクチュエータユニット３２３の圧電担持板３２３ａに積み重ねて設けられ、導電フレーム３２５は、絶縁フレーム３２４に積み重ねて設けられる。なお、アクチュエータユニット３２３と、チャンバーフレーム３２２と、当該浮遊シート３２１ｂとの間に共振チャンバー３２６を形成し、調整共振板３２３ｂの厚みは圧電担持板３２３ａの厚みより大きい。調整共振板３２３ｂは、圧電板３２３ｃと圧電担持板３２３ａとの間に位置され、緩衝材として圧電担持板３２３ａの振動周波数を調節する。また、調整共振板３２３ｂの厚みは、圧電担持板３２３ａの厚みよりも大きいので、異なる調整共振板の厚さで第２アクチュエータ３２の振動周波数を調節することができ、吹付け孔シート３２１の振動周波数と整合するように、第２アクチュエータ３２の振動周波数を制御することができる。第２アクチュエータ３２の振動周波数は、１０Ｋ～３０ＫＨｚが好ましい。
図９Ａ～図９Ｃを参照されたい。図９Ｂ、図９Ｃは、図９Ａに示す本発明の第２アクチュエータ３２の作動状態を示す図である。まず、図９Ａに示すように、第２アクチュエータ３２は、架台３２１ａを介して、第２アクチュエータ３２が微粒子検測基台２の収納溝２２の上方に設けられ、吹付け孔シート３２１は、収納溝２２の底面と間隔をあけるように設けられ、両者間に気流チャンバー３２７を形成する。図９Ｂに示すように、アクチュエータユニット３２３の圧電板３２３ｃに電圧を印加すると、圧電板３２３ｃは、圧電効果により変形し、調整共振板３２３ｂと圧電担持板３２３ａとを同期に連動する。この際、吹付け孔シート３２１は、ヘルムホルツ共鳴（Ｈｅｌｍｈｏｌｔｚ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）原理によって連動され、アクチュエータユニット３２３が上方に移動する。アクチュエータユニット３２３の上方移動によって、吹付け孔シート３２１と収納溝２２の底面との間にある気流チャンバー３２７の容積が増大し、内部気圧は負圧に形成される。第２アクチュエータ３２外部にあるガスは、圧力勾配により、吹付け孔シート３２１の架台３２１ａと収納溝２２の側壁との間の隙間より気流チャンバー３２７に進入し、気圧が上昇する。最後に、図９Ｃに示すように、ガスは、気流チャンバー３２７内部に持続的に進入し、気流チャンバー３２７内部の気圧は正圧に形成される。この時、アクチュエータユニット３２３は、印加電圧により下方に移動するように駆動され、気流チャンバー３２７の容積を圧縮し、気流チャンバー３２７内のガスが押し込まれる。ガスが、検測経路２１内部に入り、第３センサー４３に供給され、第３センサー４３がガス中の浮遊微粒子濃度を検測する。
図１０に示すように、作動検知モジュールにおける第１分割チャンバー１ａの別の実施形態では、少なくとも１つの弁６を更に備えても良い。本実施形態においては、弁６の個数が２つであり、それぞれ、第１吸気口１１ｆと第１排気口１１ｇとに配置して設けられる。弁６は、第１吸気口１１ｆ及び第１排気口１１ｇを開閉し、特に、揮発性有機物を検測する場合、揮発性有機物の沸点が低いため、外因の影響を受けやすい場合がある。したがって、揮発性有機物を検測する場合、弁６で第１吸気口１１ｆ及び第１排気口１１ｇを閉じて、第１筐体１１ａと第２筐体１１ｂとで第１分割チャンバー１ａ内部への外部影響要素による影響を避けられ、そして、第１分割板１１ｃを用いて、当該第１アクチュエータ３１による第１センサー４１への影響を避けられ、第１センサー４１は、影響を受けない状態で、第１分割チャンバー１ａ内部のガスに含まれている揮発性有機物の含有量を検測することができる。
図１１Ａ～図１１Ｂに示すように、弁６は、保持部材６１と、密封部材６２と、変位部材６３とを備える。変位部材６３は、保持部材６１と密封部材６２との間に位置され、且つ両者間に変位することができる。保持部材６１は、複数の貫通孔６１１を有し、変位部材６３は、保持部材６１の貫通孔６１１に対応する位置に貫通孔６３１が設けられ、保持部材６１の貫通孔６１１と変位部材６３の貫通孔６３１とは、互いに合わせて位置される。密封部材６２には、複数の貫通孔６２１が設けられ、且つ、密封部材６２の貫通孔６２１と保持部材６１の貫通孔６１１とは、互いにずれて位置される。弁６の保持部材６１と、密封部材６２と、変位部材６３とは、フレキシブル電気回路基板５によって処理器（図示せず）に接続して、変位部材６３が保持部材６１に接近することを制御し、弁６の開放を構成する。
上述の弁６の第１実施形態では、変位部材６３は帯電材料であり、保持部材６１は二極性導電材料である。保持部材６１がフレキシブル電気回路基板５の処理器に電気的に接続され、保持部材６１の極性（正極性又は負極性）を制御する。変位部材６３が負電荷材料である場合、弁６が制御により開けられると、保持部材６１が正極性を形成し、ここで、変位部材６３と保持部材６１とが異なる極性となるので、変位部材６３が保持部材６１に接近して、弁６の開放状態を形成する（図１１Ｂを参照）。一方、変位部材６３が負電荷材料である場合、弁６が制御により閉じられると、保持部材６１が負極性を形成し、ここで、変位部材６３と保持部材６１とが同極性となり、変位部材６３が密封部材６２に接近して、弁６の閉鎖状態を形成する（図１１Ａを参照）。
上記の弁６の第２実施形態では、変位部材６３は磁性材料であり、保持部材６１は極性変換可能に制御できる磁性材料である。保持部材６１がフレキシブル電気回路基板５の処理器に電気的に接続され、保持部材６１の極性（正極性又は負極性）を制御する。変位部材６３は負極性のある磁性材料である場合、弁６が制御により開けられると、保持部材６１が正極性の磁性を形成し、ここで、変位部材６３と保持部材６１とが異なる極性となるので、変位部材６３が保持部材６１に接近して、弁６の開放状態を形成する（図１１Ｂを参照）。一方、変位部材６３が負極性のある磁性材料である場合、弁６が制御により閉じられると、保持部材６１が負極性の磁性を形成し、ここで、変位部材６３と保持部材６１とが同極性となるので、変位部材６３が密封部材６２に接近して、弁６の閉鎖状態を形成する（図１１Ａを参照）。
図１２に示すように、本発明の作動検知モジュールの第２分割チャンバー１ｂの別の実施形態では、第２吸気口１２ｆは、検測経路２１の位置に直接対応しており、検測経路２１と垂直に位置される通気経路が最短に形成でき、通気経路における気流抵抗をできる限り減少することができる。これによって、第２アクチュエータ３２が作動されると、ガスが第２吸気口１２ｆから検測経路２１内部まで直接進入することができるため、対流ガスが形成され、ガスの輸送効率を向上させることができる。
図１３及び図１４に示すように、上記第２分割チャンバー１ｂの別の実施形態では、作動検知モジュールが薄型ポータブル式装置１０に取り付けられる場合、薄型ポータブル式装置１０は、第４貫通孔１０ｄを更に備え、薄型ポータブル式装置１０の第３貫通孔１０ｃが第２分割チャンバー１ｂの第２排気口１２ｇに直接対応し、第４貫通孔１０ｄが第２分割チャンバー１ｂの第２吸気口１２ｆに直接対応し、ガスが対流して第２分割チャンバー１ｂに出入りすることができ、ガスの輸送効果を向上させることができる。
上述したように、本発明が提供する作動検知モジュールは、アクチュエータの浮遊板が陥凹することによって、アクチュエータが作動検知モジュール内部にガスを迅速かつ安定的に導入させ、検測効率を向上させることができる。また、複数の分割チャンバーを介して各センサーを互いに仕切らせ、複数のセンサーが同時検測する時の相互干渉を回避することができ、且つ他のアクチュエータによる影響も避けられることができる。これによって、作動検知モジュールが実際の薄型ポータブル式装置外部のガスを導入して検測する時においても、薄型ポータブル式装置内部の処理器又は他の構成要素に影響されず、作動検知モジュールを薄型ポータブル式装置に設けて、いつでもどこでも検測できる目的を達成することができる。
本発明は、当業者による任意の変更、改良をすることができ、いずれも本願特許請求の範囲内であることを留意されたい。
１０：薄型ポータブル式装置
１０ａ：第１貫通孔
１０ｂ：第２貫通孔
１０ｃ：第３貫通孔
１０ｄ：第４貫通孔
１：本体
１ａ：第１分割チャンバー
１１ａ：第１筐体
１１ｂ：第２筐体
１１ｃ：第１分割板
１１ｄ：第１ハウジング
１１ｅ：第２ハウジング
１１ｆ：第１吸気口
１１ｇ：第１排気口
１１ｈ：第１連通口
１１ｉ：第１接続孔
１１ｊ：第２接続孔
１ｂ：第２分割チャンバー
１２ａ：第３筐体
１２ｂ：第４筐体
１２ｃ：載置のための分割板
１２ｄ：第３ハウジング
１２ｅ：第４ハウジング
１２ｆ：第２吸気口
１２ｇ：第２排気口
１２ｈ：第２連通口
１２ｉ：第３接続孔
１２ｊ：第４接続孔
１２ｋ：接続器
２：微粒子検測基台
２１：検測経路
２２：収納溝
３１：第１アクチュエータ
３１１：ガス進入板
３１１ａ：ガス進入孔
３１１ｂ：合流排孔
３１１ｃ：合流チャンバー
３１２：共振板
３１２ａ：中空孔
３１２ｂ：可動部材
３１２ｃ：固定部材
３１３：圧電アクチュエータ
３１３ａ：浮遊板
３１３１ａ：第１表面
３１３２ａ：第２表面
３１３ｂ：外枠
３１３１ｂ：取付け表面
３１３２ｂ：下表面
３１３ｃ：接続部材
３１３ｄ：圧電素子
３１３ｅ：隙間
３１３ｆ：凸部
３１４：絶縁シート
３１５：導電シート
３１６：チャンバー空間
３２：第２アクチュエータ
３２１：吹付け孔シート
３２１ａ：架台
３２１ｂ：浮遊シート
３２１ｃ：中空穴
３２２：チャンバーフレーム
３２３：アクチュエータユニット
３２３ａ：圧電担持板
３２３ｂ：調整共振板
３２３ｃ：圧電板
３２４：絶縁フレーム
３２５：導電フレーム
３２６：共振チャンバー
３２７：気流チャンバー
４１：第１センサー
４２：第２センサー
４３：第３センサー
５：フレキシブル電気回路基板
６：弁
６１：保持部材
６２：密封部材
６３：変位部材
ｇ：チャンバー間隔

Claims (10)

  1. 作動検知モジュールであって、本体と、微粒子検測基台と、複数のアクチュエータと、複数のセンサーとを備え、
    前記本体は、複数の分割チャンバーを組み合わせて構成され、
    前記複数の分割チャンバーは、第１分割チャンバーと、第２分割チャンバーとを含み、
    前記第１分割チャンバーは、内部が第１分割板により第１ハウジングと第２ハウジングとに分割され、且つ、前記第１ハウジングと連通する第１吸気口と、前記第２ハウジングと連通する第１排気口と、前記第１分割板に前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとを連通する第１連通口とを設け、
    前記第２分割チャンバーは、前記第１分割チャンバーと一体化に結合され、内部が、載置のための分割板により、第３ハウジングと第４ハウジングとに分割され、且つ、前記第３ハウジングと連通する第２吸気口と、前記第４ハウジングと連通する第２排気口と、前記載置のための分割板に設けられる前記第３ハウジングと前記第４ハウジングとを連通する第２連通口とを設け、
    前記微粒子検測基台は、前記第２分割チャンバーの前記第３ハウジングと前記載置のための分割板との間に設けられ、検測経路が設けられ、且つ、前記検測経路の一端に収納溝を有し、前記検測経路と連通し、
    前記複数のアクチュエータは、第１アクチュエータと第２アクチュエータとを含み、
    前記第１アクチュエータは、前記第２ハウジングと前記第１分割板との間に設けられ、ガスが前記第１吸気口より前記第１ハウジングに導入され、且つ前記第１連通口の連通により前記第２ハウジングに輸送され、前記第１排気口から排出され、前記第１分割チャンバーにおける単方向のガス輸送を構成するように用いられ、
    前記第２アクチュエータは、前記微粒子検測基台の前記収納溝に設けられ、前記検測経路の一端を密封し、ガスが前記第２吸気口より前記第３ハウジングに導入して前記検測経路に導入され、前記第２連通口の連通により前記第４ハウジングに輸送されて、前記第２排気口から排出され、前記第２分割チャンバーにおける単方向のガス運送を構成するように用いられ、
    前記複数のセンサーは、第１センサーと第２センサーと第３センサーとを含み、
    前記第１センサーは、前記第１ハウジングに設けられ、且つ前記第１アクチュエータと互いに隔離を保持され、表面に流通されるガスの検測を行い、
    前記第２センサーは、前記第３ハウジングに設けられ、前記第３ハウジングに導入されるガスに対して検測を行い、
    前記第３センサーは、前記載置のための分割板に配置され、且つ前記微粒子検測基台の前記検測経路に位置され、前記検測経路に導入されるガスに対して検測を行う、ことを特徴とする作動検知モジュール。
  2. 前記第１分割チャンバーは、第１筐体と第２筐体とを含み、前記第１筐体と前記第２筐体とが対向して取付けられ、且つ、前記第１分割板が前記第１筐体と前記第２筐体との間に設けられ、前記第１筐体と前記第１分割板との間に前記第１ハウジングが構成され、前記第２筐体と前記第１分割板との間に前記第２ハウジングが構成され、前記第１吸気口が前記第１筐体と前記第１分割板との間に設けられ、前記第１ハウジングと連通し、前記第１排気口が前記第２筐体と前記第１分割板との間に設けられ、前記第２ハウジングと連通する、ことを特徴とする請求項１に記載の作動検知モジュール。
  3. 前記第２分割チャンバーは、第３筐体と第４筐体とを含み、前記第３筐体と前記第４筐体とが対向して取付けられ、且つ、前記載置のための分割板が前記第３筐体と前記第４筐体との間に設けられ、前記第３筐体と前記載置のための分割板との間に前記第３ハウジングが構成され、前記第４筐体と前記載置のための分割板との間に前記第４ハウジングが構成され、前記第２吸気口が前記第３筐体と前記載置のための分割板との間に設けられ、第３ハウジングと連通し、前記第２排気口が前記第４筐体と前記載置のための分割板との間に設けられ、前記第４ハウジングと連通する、ことを特徴とする請求項１に記載の作動検知モジュール。
  4. 前記第１センサーはガスセンサーであり、前記第２センサーは温度センサー及び湿度センサーのうち少なくとも１つであり、前記第３センサーは光学センサーであり、前記光学センサーはＰＭ２．５センサーである、ことを特徴とする請求項１に記載の作動検知モジュール。
  5. 前記ガスセンサーは、酸素ガスセンサー、一酸化炭素ガスセンサー、二酸化炭素ガスセンサー、揮発性有機物センサー、細菌センサー、ウイルスセンサー及び微生物センサーのうち少なくとも１つ又は任意の組合せである、ことを特徴とする請求項４に記載の作動検知モジュール。
  6. 前記第１アクチュエータはガスポンプであり、ガス進入板と共振板と圧電アクチュエータとを含み、
    前記ガス進入板は、少なくとも１つのガス進入孔と、少なくとも１つの合流排孔と、合流チャンバーとを有し、前記少なくとも１つのガス進入孔は気流の導入に用いられ、前記合流排孔は前記ガス進入孔に対応し、且つ前記ガス進入孔の気流を前記合流チャンバーに合流させるように導入し、
    前記共振板、合流チャンバーに対応する中空孔を有し、且つ前記中空孔の周囲は可動部材であり、
    前記圧電アクチュエータは、前記共振板に対応して設けられ、
    前記圧電アクチュエータは、浮遊板と外枠と少なくとも１つの架台と圧電素子とを含み、
    前記浮遊板は、正方形の浮遊板であり、且つ、第１表面と第２表面とを有し、前記第１表面は凸部を有し、
    前記外枠は、前記浮遊板の外側を囲むように設けられ、且つ取付け表面を有し、
    前記少なくとも１つの架台は、前記浮遊板と前記外枠との間に連結され、弾性力を提供して前記浮遊板を支持し、
    前記圧電素子は、前記浮遊板の前記第２表面に貼り付けられ、電圧を印加して前記浮遊板の湾曲振動を駆動するように用いられ、
    前記少なくとも１つの架台が前記浮遊板と前記外枠との間に形成され、且つ前記浮遊板の前記第１表面と前記外枠の前記取付け表面とが同一平面でないように形成され、前記浮遊板の前記第１表面と前記共振板とが一定のチャンバー間隔を保持し、
    前記共振板と前記圧電アクチュエータとの間に隙間を有し、チャンバー空間を形成し、前記圧電アクチュエータが駆動されると、気流が前記ガス進入板の前記少なくとも１つのガス進入孔より導入され、前記少なくとも１つの合流排孔を通して前記合流チャンバーに合流され、前記共振板の前記中空孔を通して、前記圧電アクチュエータと前記共振板の前記可動部材との共振が生じて、気流を輸送する、ことを特徴とする請求項１に記載の作動検知モジュール。
  7. 前記第１筐体は、フレキシブル電気回路基板が貫通して前記第１センサーと接続する第１接続孔を有し、且つ、接続後に封止材で前記第１接続孔を密封し、前記第２筐体は、フレキシブル電気回路基板が貫通して第１アクチュエータと接続する第２接続孔を有し、且つ、接続後に封止材で前記第２接続孔を密封する、ことを特徴とする請求項２に記載の作動検知モジュール。
  8. 前記第３筐体は、フレキシブル電気回路基板が貫通して前記第２センサーと接続する第３接続孔を有し、且つ、接続後に封止材で前記第３接続孔を密封し、前記第３筐体は、フレキシブル電気回路基板が貫通して前記第２アクチュエータと接続する第４接続孔を有し、且つ、接続後に封止材で前記第４接続孔を密封する、ことを特徴とする請求項３に記載の作動検知モジュール。
  9. 前記第２アクチュエータは、吹付け孔シートとチャンバーフレームとアクチュエータユニットと絶縁フレームと導電フレームとを含み、
    前記吹付け孔シートは、複数の架台と、浮遊シートと、中空穴とを含み、前記浮遊シートが湾曲振動可能であり、前記複数の架台が前記浮遊シートの周縁に隣接し、前記中空穴が前記浮遊シートの中心位置に形成され、前記複数の架台を介して前記微粒子検測基台の前記収納溝上方に設けられ、弾性力を提供して前記浮遊シートを支持し、前記吹付け孔シートと前記収納溝との間に気流チャンバーが形成され、前記複数の架台と前記浮遊シートとの間に少なくとも１つの隙間が形成され、
    前記チャンバーフレームは、前記浮遊シートに載置して設けられ、
    前記アクチュエータユニットは、前記チャンバーフレームに載置して設けられ、電圧を受けて往復に湾曲振動され、
    前記アクチュエータユニットは、圧電担持板と調整共振板と圧電板とを含み、
    前記圧電担持板は、前記チャンバーフレームに積み重ねて設けられ、
    前記調整共振板は、前記圧電担持板に積み重ねて設けられ、且つ前記調整共振板の厚みが前記圧電担持板の厚みより厚く、
    前記圧電板は、前記調整共振板に積み重ねて設けられ、電圧を受けて前記圧電担持板と前記調整共振板とが往復に湾曲振動することを駆動させ、
    前記絶縁フレームは、前記アクチュエータユニットに積み重ねて設けられ、
    前記導電フレームは、前記絶縁フレームに積み重ねて設けられ、
    前記アクチュエータユニットと、前記チャンバーフレームと、前記浮遊シートとの間に、共振チャンバーが形成され、前記アクチュエータユニットの駆動により前記吹付け孔シートが共振するように連動され、前記吹付け孔シートの前記浮遊シートが往復に振動するように変位することで、前記ガスが前記少なくとも１つの隙間を通して前記気流チャンバーに導入され、前記検測経路から排出され、前記ガスの輸送を実現する、ことを特徴とする請求項１に記載の作動検知モジュール。
  10. 作動検知モジュールは、少なくとも１つの本体と、少なくとも１つの微粒子検測基台と、複数のアクチュエータと、複数のセンサーとを含み、
    前記少なくとも１つの本体は、複数の分割チャンバーを組み合わせて構成され、
    前記複数の分割チャンバーは、少なくとも１つの第１分割チャンバーと、少なくとも１つの第２分割チャンバーとを含み、
    前記少なくとも１つの第１分割チャンバーは、内部が、少なくとも１つの第１分割板により少なくとも１つの第１ハウジングと少なくとも１つの第２ハウジングとに分割され、且つ、前記第１ハウジングと連通する少なくとも１つの第１吸気口と、前記第２ハウジングと連通する少なくとも１つの第１排気口と、前記第１分割板に第１ハウジングと前記第２ハウジングとを連通する少なくとも１つの第１連通口とを有し、
    前記少なくとも１つの第２分割チャンバーは、前記第１分割チャンバーと一体化に結合され、内部が、少なくとも１つの載置のための分割板により、少なくとも１つの第３ハウジングと少なくとも１つの第４ハウジングとに分割され、且つ、前記第３ハウジングと連通する少なくとも１つの第２吸気口と、前記第４ハウジングと連通する少なくとも１つの第２排気口と、前記載置のための分割板に設けられる前記第３ハウジングと前記第４ハウジングとを連通する少なくとも１つの第２連通口とを設け、
    前記少なくとも１つの微粒子検測基台は、前記第２分割チャンバーの前記第３ハウジングと、前記載置のための分割板との間に設けられ、少なくとも１つの検測経路を有し、且つ、前記検測経路の一端に少なくとも１つの収納溝を有し、前記検測経路と連通し、
    前記複数のアクチュエータは、少なくとも１つの第１アクチュエータと、少なくとも１つの第２アクチュエータとを含み、
    前記少なくとも１つの第１アクチュエータは、前記第２ハウジングと前記第１分割板との間に設けられ、ガスが前記第１吸気口より前記第１ハウジングに導入され、前記第１連通口の連通により前記第２ハウジングに導入され、前記第１排気口から排出され、前記第１分割チャンバーの単方向のガス輸送を構成するように用いられ、
    前記少なくとも１つの第２アクチュエータは、前記微粒子検測基台の前記収納溝に設けられ、前記検測経路の一端を密封し、ガスが前記第２吸気口より前記第３ハウジングに導入され、前記検測経路に導入され、前記第２連通口の連通により前記第４ハウジングに輸送され、前記第２排気口から排出され、前記第２分割チャンバーの単方向のガス輸送を構成するように用いられ、
    前記複数のセンサーは、少なくとも１つの第１センサーと少なくとも１つの第２センサーと少なくとも１つの第３センサーとを含み、
    前記少なくとも１つの第１センサーは、前記第１ハウジングに設けられ、前記第１アクチュエータと互いに隔離を保持され、表面に流通されるガスの検測を行い、
    前記少なくとも１つの第２センサーは、前記第３ハウジングに設けられ、前記第３ハウジングに導入されるガスに対して検測を行い、
    前記少なくとも１つの第３センサーは、前記載置のための分割板に設けられ、前記微粒子検測基台の前記検測経路に位置され、前記検測経路に導入されるガスに対して検測を行う、ことを特徴とする作動検知モジュール。
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