JP7063447B2 - 検査チップ、検査装置、及び検査システム - Google Patents

Description

本発明は、試料液中の細菌や細胞等の誘電体粒子を検査する検査チップ、検査装置、及び検査システムに関する。

試料液中に含まれる細菌や細胞等を、誘電泳動を利用して検査する検査方法が知られている。

例えば、特許文献１は、検体液中に含まれる細菌や微生物等の微粒子を、誘電泳動を利用して検出する微生物検出方法を開示している。特許文献１の方法では、一対の薄膜電極が形成された検出基板上の検出領域を、電極間隙の各直線部の全長を数十分割する検出単位面に区切り、各検出単位面において、誘電泳動によって電極の縁に一端が付着した微粒子の数を計数している。さらに、検出単位面を順次走査して、微粒子の数を合算することにより、検出領域内に存在していた微粒子の総数を検出している。

特開２００８－１９６８６０号公報 特開２０００－１２５８４６号公報

本発明の目的は、試料液中に含まれる細菌や細胞等の誘電体粒子の検査を行い易くすることができる検査チップ、検査装置および検査システムを提供することである。

本発明の一態様に係る検査チップは、試料液中に含まれる誘電体粒子の検査を行うための検査チップである。検査チップは、流路と、第１の電極群と、第２の電極群とを備える。流路には、試料液が流れる。第１の電極群は、流路において互いに間隔をあけて配置された複数の電極を含む。第２の電極群は、流路の長手方向において第１の電極群に並び、互いに間隔をあけて配置された複数の電極を含む。流路は、第１の電極群が配置された範囲における流路幅よりも第２の電極群が配置された範囲における流路幅を狭める狭窄部を備える。

本発明の一態様に係る検査装置は、検査チップと、電源部と、ポンプ部とを備える。電源部は、流路を流れる試料液中の誘電体粒子が誘電泳動を起こすように、所定周波数の交流電圧を各電極群に印加する。ポンプ部は、交流電圧の印加中に試料液を流路に送液し、交流電圧が印加された電極群に応じて送液の速度を変化させる。

本発明の一態様に係る検査システムは、試料液中に含まれる誘電体粒子の検査を行う。検査システムは、検査チップと、ポンプ部と、電源部と、検出部とを備える。検査チップは、流路と、流路の長手方向に並んだ複数の電極であって交互に配置された２組の電極を含む電極群とを備える。検出部は、電極群の２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスを検出する。

本発明の別の態様に係る検査チップは、流路と、電極群と、電極パッドと、テストポートとを備える。電極群は、流路の長手方向に並んだ複数の電極を含む。電極パッドは、電極群に交流電圧が印加されるように、電極群において交互に配置された２組の電極にそれぞれ配線される。テストポートは、電極群の２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスが検出されるように、各組の電極に配線される。

本発明に係る検査チップ、検査装置及び検査システムによると、試料液中に含まれる誘電体粒子の検査を行い易くすることができる。

実施形態１に係る検査システムの構成を示すブロック図 実施形態１に係る検査チップの構成を示す図 実施形態１に係る検査チップの構成部材を示す図 検査チップにおける狭窄部の近傍の拡大図 本システムにおける検査方法の原理を説明するための図 本システムにおける撮像方法を説明するための図 検査システムの動作を説明するためのフローチャート

以下、添付の図面を参照して本発明に係る検査チップ、検査装置、及び検査システムの実施の形態を説明する。なお、以下の各実施形態において、同様の構成要素については同一の符号を付している。

（実施形態１）
１．構成
１－１．システム構成
実施形態１に係る検査システムの全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、実施形態１に係る検査システムの構成を示すブロック図である。本実施形態に係る検査システムは、誘電泳動装置１と、制御装置２０と、情報処理装置２１と、廃液チャンバ２２と、テスタ２３とを備える。本検査システムは、誘電泳動装置１において、試料液（サンプル）中の細菌や細胞の誘電泳動を利用して、細菌等の検査を行うシステムである。本実施形態に係るシステムにおいて、誘電泳動装置１は制御装置２０で制御され、誘電泳動装置１において細菌等の検査対象が捕集された状態は、情報処理装置２１において表示される。

誘電泳動装置１は、ポンプ部１０と、電源部１１と、撮像部１２と、検査チップ３とを備える。誘電泳動装置１は、本実施形態における検査装置の一例である。

ポンプ部１０は、例えばシリンジポンプで構成され、駆動部１０ａと、サンプルシリンジ１０ｂとを備える。駆動部１０ａは、モータなどを備えて構成され、制御装置２０により駆動制御される。サンプルシリンジ１０ｂは、試料液を保持するシリンジである。サンプルシリンジ１０ｂにおける送液部分には、検査チップ３が接続される。ポンプ部１０では、駆動部１０ａの駆動制御によってサンプルシリンジ１０ｂから試料液が、流速や流量を適宜設定されて、検査チップ３に送液される。

検査チップ３は、試料液が流れる流路３０と、例えばマイクロオーダで形成された電極群とを備える。ポンプ部１０から送液された試料液は、検査チップ３内の流路３０を貫流して、廃液チャンバ２２に廃液される。上記の電極群は、流路３０に重畳するように設けられる。検査チップ３では、流路３０中の電極群上に試料液が流れている際に、電源部１１から電極群に所定の交流電圧が印加される。これにより、試料液中における検査対象の細菌などが、誘電泳動を起こして電極群に捕集される。検査チップ３の構成の詳細については後述する。

電源部１１は、例えばファンクションジェネレータで構成される。電源部１１は、制御装置２０の制御により、所望の周波数及び電圧振幅を有する交流電圧を発生して、検査チップ３に供給する。

撮像部１２は、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなどの撮像素子１２ａと、光学顕微鏡モジュール１２ｂとを備える。光学顕微鏡モジュール１２ｂは、位相差顕微鏡であってもよいし、落射顕微鏡であってもよい。また、光学顕微鏡モジュール１２ｂは、例えばレンズ交換などにより、位相差顕微鏡と落射顕微鏡とに切替え可能に構成されてもよい。また、蛍光観察を行う場合、適宜、蛍光フィルタを用いる。撮像部１２は、検査チップ３における電極群上の所定の領域（詳細は後述）を撮像し、撮像画像を情報処理装置２１に出力する。撮像部１２の撮像動作は、制御装置２０によって制御されてもよいし、情報処理装置２１によって制御されてもよい。

制御装置２０は、例えばＣＰＵ、ＭＰＵを備える。制御装置２０は、ポンプ部１０による試料液の送液や電源部１１による交流電圧の供給などの誘電泳動装置１の動作を制御する。制御装置２０は、フラッシュメモリなどの内部メモリを備え、内部メモリに格納されたプログラムに基づいて種々のデータ等を利用して演算処理を行うことにより、各種の機能を実現する。制御装置２０は、専用に設計された電子回路や再構成可能な電子回路などのハードウェア回路（ＡＳＩＣ，ＦＰＧＡ等）で構成されてもよい。制御装置２０の機能は、ハードウェアとソフトウェアとの協働で実現されてもよいし、ハードウェア（電子回路）のみで実現されてもよい。

情報処理装置２１は、例えばパーソナルコンピュータで構成される。情報処理装置２１は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ（表示部）を備え、撮像部１２の撮像画像を表示する。情報処理装置２１は、フラッシュメモリなどの内部メモリを備え、内部メモリに格納されたプログラムに基づいて、各種の機能を実現する。例えば、情報処理装置２１は、撮像部１２の撮像画像の画像解析を行い、撮像画像中で所定の条件に該当する領域（スリット）の数を計数する。情報処理装置２１は、撮像部１２の撮像動作を制御してもよい。また、情報処理装置２１と制御装置２０とは、情報処理装置２１において制御装置２０の各種機能を実現することで、一体的に構成されてもよい。情報処理装置２１は、本実施形態における表示部の一例であり、且つ撮像部１２の撮像結果を解析する画像解析部の一例である。

廃液チャンバ２２は、誘電泳動装置１の検査チップ３を貫流した試料液を溜めるチャンバである。廃液チャンバ２２は、誘電泳動装置１の内部に組み込まれてもよい。

テスタ２３は、例えばデジタルテスタ又はアナログテスタであり、検査チップ３の電極群に電気接続して、電圧、電流、抵抗値等を測定する。テスタ２３は、該電極群におけるコンダクタンス、インピーダンス等を検出する検出部の一例である。テスタ２３は、誘電泳動装置１の内部に組み込まれてもよい。

１－２．検査チップの構成
本実施形態に係る検査チップ３の構成について、以下、図２～４を参照して説明する。

図２（ａ）は、検査チップ３の平面図を示す。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ－Ａ’線に沿った断面における検査チップ３の断面図を示す。検査チップ３は、図２（ａ）に示すように略矩形の平板形状を有する。以下、検査チップ３の長手方向をＸ方向とし、幅方向をＹ方向とし、厚さ方向をＺ方向とする。

検査チップ３は、図２（ａ）に示すように、入口３０ａ及び出口３０ｂを有する流路３０と、各種電極とを備える。各種電極は、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２と、４つの電極パッド３３ａと、４つのテストポート３３ｂとを含む。図２（ｂ）に示すように、検査チップ３は、厚さ方向（Ｚ方向）において、カバー板３１と、スペーサ３２と、電極フィルム３３とを順次、重ね合わせた構造で構成される。

図３（ａ）は、検査チップ３におけるカバー板３１の平面図を示す。図３（ｂ）は、スペーサ３２の平面図を示す。図３（ｃ）は、電極フィルム３３の平面図を示す。

カバー板３１は、検査チップ３において流路３０等を覆う板部材であり、例えば透明のアクリル板などである。図２（ａ），３（ａ）に示すように、流路３０の入口３０ａと出口３０ｂとは、それぞれカバー板３１における挿通孔として設けられる。また、カバー板３１には、電極パッド３３ａの位置を囲む切欠き部３１ａと、テストポート３３ｂの位置を囲む切欠き部３１ｂとが設けられる。

スペーサ３２は、カバー板３１と電極フィルム３３との間で流路３０となる空間を規定する。スペーサ３２は、例えば透明のＰＥＴ（ポリエステル）テープに、流路３０の形状を規定する穴を設けて構成される（図３（ｂ））。スペーサ３２は、カバー板３１と電極フィルム３３とに接着し、両者の間隔（流路３０の高さＨ１）をスペーサ３２の厚さ（例えば０．１ｍｍ）で規定する（図２（ｂ））。また、スペーサ３２には、カバー板３１の各々の切欠き部３１ａ，３１ｂと同じ形状の凹部３２ａ，３２ｂが設けられる。

電極フィルム３３は、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルムなどの透明のフィルム基材において流路３０に面する側の主面上に、各種電極ＣＨ１，ＣＨ２，３３ａ，３３ｂ及び電極間の配線が設けられた部材である。電極フィルム３３における上記の電極等は、例えば蒸着法やスパッタリング法によってクロム等の金属材料で形成される。上記の各種電極は、単層構造で形成されてもよいし、多層構造(例えば２層）で形成されてもよい。以上の各種構成部材３１～３３の材質は、検査チップ３における寄生抵抗及び寄生容量等の観点から適宜、設定されてもよい。

本実施形態に係る検査チップ３において、流路３０は上記の各構成部材３１，３２，３３に囲まれて構成される。図２（ａ），３（ａ），（ｂ）に示すように、スペーサ３２において流路３０の穴は、カバー板３１における挿通孔の入口３０ａと出口３０ｂとの間に対応する範囲に延在する。本実施形態において、流路３０の長手方向はＸ方向であり、流路３０の幅方向はＹ方向であり、流路３０の高さ方向はＺ方向である。

流路３０の底面となる電極フィルム３３上では、図３（ｃ）に示すように、第１の電極群ＣＨ１と第２の電極群ＣＨ２とが、流路３０の長手方向（Ｘ方向）に沿って並置される。本実施形態において、第１の電極群ＣＨ１は、検査対象の細菌等を捕捉するために用いられ、第２の電極群ＣＨ２よりも流路３０の入口３０ａ側（上流側）に位置する。第２の電極群ＣＨ２は、細菌等の量を計測するために用いられる。第２の電極群ＣＨ２近傍の電極フィルム３３の拡大図を図４（ａ）に示す。

第２の電極群ＣＨ２は、櫛歯状のパターンをそれぞれ有する２つのパターン電極４１，４２を含む。各パターン電極４１，４２は、それぞれ上記のパターンにおける１本の櫛歯に対応するライン電極４１ａ，４２ａを複数、含む。各ライン電極４１ａ，４２ａは、流路３０を幅方向（Ｙ方向）に横断するように延在する。

図４（ａ）に示すように、第２の電極群ＣＨ２における２つのパターン電極４１，４２の各ライン電極４１ａ，４２ａは、流路３０の長手方向（Ｘ方向）において、互いに間隔をあけて交互に配置される。各ライン電極４１ａ，４２ａの線幅Ｗａ（Ｘ方向）は、例えば１００μｍであり、厚さ（Ｚ方向）は例えば１００ｎｍ程度である。ライン電極４１ａ，４２ａ間の間隔（スリット幅）Ｗｓは、例えば１μｍ～５０μｍである。第２の電極群ＣＨ２におけるライン電極４１ａ，４２ａの本数は、例えば１０本である。

第１の電極群ＣＨ１は、例えば第２の電極群ＣＨ２と同様に、１組のライン電極４３ａで構成されるパターン電極４３と、１組のライン電極４４ａで構成されるパターン電極４４とを含む。本実施形態における第１の電極群ＣＨ１は、図３（ｃ）に示すように、流路３０の長手方向（Ｘ方向）において、第２の電極群ＣＨ２のサイズＬ２よりも大きいサイズＬ１を有する。例えば、第１の電極群ＣＨ１は、第２の電極群ＣＨ２のライン電極４１ａ，４２ａと同じ寸法において、第２の電極群ＣＨ２よりも多い本数のライン電極４３ａ，４４ａを含む（例えば３００本）。

第１の電極群ＣＨ１の各パターン電極４３，４４と、第２の電極群ＣＨ２の各パターン電極４１，４２とは、それぞれ電極フィルム３３上の配線により（図３（ｃ））、別々の電極パッド３３ａに接続される。電極パッド３３ａは、検査チップ３の構成部材３１～３３を重ね合わせた状態において、切欠き部３１ａ及び凹部３２ａにより、図２（ａ）に示すように露出する。電極パッド３３ａは、本検査システム（図１）の電源部１１に対する接続点を構成する。

本実施形態に係る検査チップ３には、電源部１１から電圧を印加するための電極パッド３３ａとは別に、テスタ２３等により各電極群ＣＨ１，ＣＨ２におけるコンダクタンスを検出するためのテストポート３３ｂが設けられる。テストポート３３ｂの詳細については、後述する。

以上のような検査チップ３において、流路３０はチューブ等を介して、入口３０ａにおいて本検査システム（図１）のポンプ部１０に連結され、出口３０ｂにおいて廃液チャンバ２２に連結される。これにより、本検査システムでは、検査チップ３において入口３０ａから試料液を流路３０に流入して、出口３０ｂから流出させることができる。検査チップ３によると、電機接続や流路の接続が簡単に行え、誘電泳動装置１において細菌などの捕集後、使い捨てしたり、使い回ししたりすることが容易に行える。

１－２－１．狭窄部について
本実施形態に係る検査チップ３において、流路３０は、長手方向（Ｘ方向）における途中の一部分において流路幅を狭める狭窄部３０ｃを備える。流路３０における狭窄部３０ｃについて説明する。

狭窄部３０ｃは、流路３０において第２の電極群ＣＨ２が配置された範囲に重畳する。流路３０は、流路幅として、狭窄部３０ｃの範囲外では所定の第１の幅Ｗ１を有し、狭窄部３０ｃの内部において第１の幅Ｗ１よりも小さい第２の幅Ｗ２を有する（例えばＷ１＝５ｍｍ，Ｗ２＝０．５ｍｍ）。狭窄部３０ｃ近傍の流路３０の様子を、図４（ｂ）に示す。

図４（ｂ）に示すように、狭窄部３０ｃは、流路３０の幅方向（Ｙ方向）における両側に対向して設けられている。流路３０において、狭窄部３０ｃによって流路幅が第２の幅Ｗ２に狭められた領域は、第２の電極群ＣＨ２が配置された範囲全体を含む。狭窄部３０ｃは、Ｙ方向における一方の側に設けられてもよい。

狭窄部３０ｃは、第１の幅Ｗ１から第２の幅Ｗ２まで連続的に流路幅を狭めるように、Ｘ方向に対して所定の傾斜角度（例えば４５度）を有する直線的な形状で形成されている。狭窄部３０ｃの形状はこれに限らず、種々の傾斜角度を有してもよいし、湾曲した形状であってもよい。

第１の電極群ＣＨ１は、流路３０における狭窄部３０ｃよりも上流側（入口３０ａ側）であって、流路幅が第１の幅Ｗ１の範囲に位置する。このため、第１の電極群ＣＨ１が配置された範囲の流路３０において、隣り合うライン電極４３ａ，４４ａ間には、第１の幅Ｗ１と同じ長さを有するスリット状の領域（「スリット領域」ともいう）Ｒｓ１が形成される。

狭窄部３０ｃによると、第２の電極群ＣＨ２が配置された範囲の流路３０の流路幅は、第２の幅Ｗ２に狭められる。これに応じて、第２の電極群ＣＨ２の隣り合うライン電極４１ａ，４２ａ間には、Ｙ方向における長さが第１の幅Ｗ１よりも短い第２の幅Ｗ２のスリット領域Ｒｓ２が形成される。スリット領域Ｒｓ２は、Ｘ方向に並んで配置される。

以上のように、狭窄部３０ｃによって各電極群ＣＨ１，ＣＨ２に重畳する流路３０の流路幅を変化させることにより、流路３０の長手方向（Ｘ方向）に並ぶスリット領域Ｒｓ１、Ｒｓ２の長さを異ならせることができる（以下、「スリット領域」を「スリット」と略記する場合がある）。これにより、検査チップ３におけるスリットの計数による細菌等の定量評価のダイナミックレンジを適切に設定することができる。このように、狭窄部３０ｃを備えた検査チップ３によると、細菌等の検査を行い易くすることができる。

また、本実施形態において、各電極群ＣＨ１，ＣＨ２のライン電極４１ａ～４４ａは、例えば第１の幅Ｗ１よりも大きい長さを有し、各々の端部が流路３０からはみ出すように設定されている。換言すると、電極フィルム３３上で２つのパターン電極４３，４４（４１，４２）の間で複数のスリット領域Ｒｓ１（又はＲｓ２）を連結する領域は、流路３０の外部でスペーサ３２に埋められている。これにより、流路３０が延在する所定方向（液流方向）に並んだ複数のスリット領域Ｒｓ１，Ｒｓ２は、流路３０中においては連結せずに、互いに分離する。例えば、流路３０から第１の電極群ＣＨ１のライン電極４３ａ，４４ａがはみ出す長さは、０．３ｍｍ等に設定される。

なお、各電極群ＣＨ１，ＣＨ２のライン電極４１ａ～４４ａの寸法は、同じでなくてもよく、例えば、第２の電極群ＣＨ２のライン電極４１ａ，４２ａの長さが、（第２の流路幅Ｗ２以上であって）第１の電極群ＣＨ１のライン電極４３ａ，４４ａよりも小さくてもよい。また、例えば第１の電極群ＣＨ１等でスリット領域Ｒｓ１を形成する必要がない場合、ライン電極４３ａ，４４ａの長さは第１の幅Ｗ１以下であってもよい。

１－２－２．テストポートについて
本実施形態に係る検査チップ３におけるテストポート３３ｂの詳細について、以下説明する。

図３（ｃ）に示すように、４つのテストポート３３ｂは、それぞれ電極フィルム３３上の配線により、第１の電極群ＣＨ１の各パターン電極４３，４４と、第２の電極群ＣＨ２の各パターン電極４１，４２とに別々に接続される。

図４（ａ）に示すように、第２の電極群ＣＨ２におけるパターン電極４１，４２は、それぞれ１組のライン電極４１ａ，４２ａによる櫛歯形状で構成される。第２の電極群ＣＨ２に対するテストポート３３ｂは、例えば電極フィルム３３において、パターン電極４１，４２を２層配線で形成しておき、各組のライン電極４１ａ，４２ａを全て通るように配線して、電極パッド３３ａの対向面に設けられる（図３（ｃ））。第１の電極群ＣＨ１に対するテストポート３３ｂも、上記と同様に構成できる。

検査チップ３において、テストポート３３ｂは、切欠き部３１ｂ及び凹部３２ｂにより、電極パッド３３ａと同様に露出する（図２（ａ））。テストポート３３ｂは、本検査システム（図１）のテスタ２３に対する接続点を構成する。

本検査システムにおいて、テスタ２３は、検査チップ３のテストポート３３ｂを介して各々のパターン電極４１～４４に電気接続することにより、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２の各々におけるコンダクタンス（或いは等価的に抵抗値）を計測する。各電極群ＣＨ１，ＣＨ２においては、種々の寄生容量も想定される。テスタ２３は、各電極群ＣＨ１，ＣＨ２におけるインピーダンスを計測してもよい。

例えば、ユーザは検査チップ３を用いた細菌等の検査前にテスタ２３を用いて、電源部１１から電極パッド３３ａに交流又は直流で通電しながら、テストポート３３ｂを介してコンダクタンス等を計測する。これにより、誘電泳動装置１における検査チップ３の接点が正常に取れているのかを予め判別可能になる。何らかの要因で電極フィルム３３上の配線が断線した等の異常が生じた場合、テストポート３３ｂを用いて導通確認を行うことにより、このような異常を検知できる。

例えば、第２の電極群ＣＨ２においてライン電極４１ａ，４２ａの１本あたりの寄生抵抗が１０Ωであるとした場合、すべてのライン電極４１ａ，４２ａ（計１０本とする）が正常であれば合計抵抗値はＲ＝１／（１／１０＋１／１０＋…）＝１Ωとなる。これに対して、１本のライン電極４１ａ（４２ａ）が欠損すると抵抗値が上がることから、テスタ２３の計測結果に基づいて、検査チップ３の異常を検出することができる。このように、テストポート３３ｂを備えた検査チップ３によると、細菌等の検査を行い易くすることができる。

２．動作及び検査方法
本システムの動作及び本システムにおける検査方法について、以下説明する。

２－１．検査方法の原理について
図５は、本実施形態に係る検査方法の原理を説明するための図である。

本実施形態に係る検査システム及び検査方法では、誘電泳動を利用して、試料液に含まれる検査対象の細菌等を捕集する。図５（ａ）に示すように、パターン電極４１，４２間に周波数ωの交流電圧を供給した場合に、流路３０を流れる試料液中の生菌や死菌などの細菌に作用する誘電泳動力Ｆ_ＤＥＰは、次式で表される。
Ｆ_ＤＥＰ＝２πｒ^３ε_ｍＲｅ［Ｋ（ω）］∇Ｅ^２ …（１）

上式（１）において、ｒは検査対象の生菌や死菌などの誘電体粒子の半径であり、ε_ｍは試料液の媒質の誘電率であり、Ｅは電場の強度である。また、Ｒｅ［Ｘ］は複素数Ｘの実部を表す。Ｋ（ω）は、Clausius-Mossotti因子であり、次式で表される。
Ｋ（ω）＝（ε_ｐ ^＊－ε_ｍ ^＊）／（ε_ｐ ^＊＋２ε_ｍ ^＊） …（２）

上式（２）において、ε_ｐ ^＊（＝ε_ｐ＋ρ_ｐ／（ｊω））は、誘電体粒子の複素誘電率である（ε_ｐは誘電体粒子の誘電率で、ρ_ｐはその導電率）。また、ε_ｍ ^＊（＝ε_ｍ＋ρ_ｍ／（ｊω））は、媒質の複素誘電率である（ρ_ｍは媒質の導電率）。

上式（１）において、Ｒｅ［Ｋ（ω）］＞０であるとき、パターン電極４１，４２の設置方向に対して正の誘電泳動力Ｆ_ＤＥＰが誘電体粒子に作用し、誘電体粒子はパターン電極４１，４２近傍に引きつけられてスリットＲｓに吸着される。一方、Ｒｅ［Ｋ（ω）］＜０であるとき、負の誘電泳動力Ｆ_ＤＥＰが誘電体粒子に作用し、誘電体粒子はパターン電極４１，４２に対して反発する。このため、周波数ωを適宜、設定することにより、検査対象外の夾雑物等を排除しながら、検査対象を選択的にスリットＲｓ２に吸着させることができる。

試料液中の細菌は、正の誘電泳動力Ｆ_ＤＥＰを作用させることで、スリットＲｓ２に捕集される。細菌は所定サイズを有するので、スリットＲｓ２において一定量の細菌が捕集されると、スリットＲｓ２が、細菌で埋め尽くされて飽和する。また、本システムでは、流路３０中で複数のスリットＲｓ２が液流方向に所定間隔を空けて配置されるように電極群を設定しているので、流路３０中で上流のスリットＲｓ２から順番に飽和することとなる。

そこで、本検査方法では、本システムのユーザにより、試料液中に含まれる細菌等の量を、以下のように計測する。

まず、１つのスリットＲｓ２で飽和が生じた場合に捕集される細菌等の量（飽和量）をあらかじめ求めておく。

次に、誘電泳動装置１を制御装置２０で制御して、ポンプ部１０から試料液を検査チップ３の流路３０に流しながら、電源部１１から流路３０中の電極群に所定周波数の交流電圧を供給し、検査対象に正の誘電泳動力を作用させる。

次に、電極群においてスリットＲｓ２が並んだ領域Ｒｃ（図３参照）を撮像し、撮像画像において、飽和したスリットＲｓ２の数を計数する。スリット数の計数は、情報処理装置２１が撮像画像に対する画像解析によって行ってもよいし、情報処理装置２１に表示された撮像画像に基づき、ユーザが行ってもよい。また、領域Ｒｃを撮像せずに、ユーザが直接、光学顕微鏡を覗いて、飽和したスリットＲｓ２の計数を行ってもよい。

試料液に含まれる検査対象の細菌等の量は、あらかじめ求めた飽和量と計数結果のスリット数との積で求められる。このため、細菌等が付着して飽和したスリットの数を測定することで、試料液に含まれる検査対象を簡単に定量評価することができる。

スリットＲｓ２の飽和量は、検査対象の細菌等の種類やサイズに基づいて算出できる。また、検査対象に応じて、正の誘電泳動力が作用するように交流電圧の周波数ωを設定し、交流電圧の電圧振幅や流路３０中の流速も適宜、制御する。これにより、種々の検査対象を選択的に捕集して、簡単に定量評価することができる（詳細は後述）。

例えば、周波数制御により、細菌における生菌（活性菌）と死菌（損傷菌）を区別するか否かを切り替えることができる。図５（ａ）は、生菌と死菌とを共に捕集する場合の例を示す。例えば周波数ω＝１００ｋＨｚでパターン電極４１，４２に交流電圧を供給することにより、生菌と死菌との双方に正の誘電泳動力を作用させて、生菌と死菌との双方を他のものと区別して捕集することができ、定量評価することができる。

図５（ｂ）は、生菌を選択的に捕集する場合の例を示す。図５（ｂ）に示す例では、図５（ａ）に示すように周波数ω＝１００ｋＨｚでの動作後、周波数ωを３ＭＨｚにまで上げている。すると、生菌には正の誘電泳動力が作用する一方、死菌には作用しなくなる。これにより、生菌のみをスリットＲｓ２に吸着して、死菌を除いた生菌の量を簡単に定量評価することができる。

２－２．評価方法について
本システムでは、種々の観察法を用いて、電極群において細菌等で飽和したスリットを計数し、細菌等の定量評価をすることができる。以下、図６（ａ）～（ｅ）を参照して、本システムにおける菌量の評価方法について説明する。

図６（ａ），（ｂ）は、位相差観察法における誘電泳動を行う前後の状態の撮像例を示す。図６（ｃ），（ｄ）は、明視野観察法における誘電泳動を行う前後の状態の撮像例を示す。図６（ｅ）は、蛍光観察法における誘電泳動を行った後の状態の撮像例を示す。

本実施形態において、位相差観察を行う場合、撮像部１２（図１参照）において位相差顕微鏡を用いる。この場合に、誘電泳動を行う前の初期状態において、電極群の領域Ｒｃ（図４（ｂ））を観察（撮像）すると、図６（ａ）に示すように、ライン電極４１ａ，４２ａが暗く映る一方、スリットＲｓ２は明るく映る。これは、電極４１ａ，４２ａが不透明である一方、スリットＲｓ２は透明であるためである。

これに対して、誘電泳動を行い、細菌がスリットＲｓに捕集されると、図６（ｂ）に示すように、飽和したスリットＲｓ２が暗くなる。これは、飽和したスリットＲｓ２において細菌が集積することにより、スリットＲｓ２が不透明化するためである。よって、誘電泳動を行う前後において明るく映し出されたままのスリット数を計数したり、暗くなったスリット数を計数したりすることで、細菌の量を定量評価することができる。

また、明視野観察を行う場合、撮像部１２において落射顕微鏡を用いる。この場合に、誘電泳動を行う前の初期状態において、電極群の領域Ｒｃを観察すると、落射顕微鏡から出射した光の反射光の調整により、図６（ｃ）に示すように、電極４１ａ，４２ａもスリットＲｓ２も、暗く映る。

これに対して、誘電泳動を行い、細菌がスリットＲｓ２に捕集されると、捕集された菌からの反射光により、図６（ｄ）に示すように、飽和したスリットＲｓ２が明るく映し出される。この場合、誘電泳動を行った後に明るく映し出されたスリット数を計数することで、細菌の量を定量評価することができる。

また、蛍光観察を行う場合、試料液中の検査対象に対して、蛍光標識を用いる。また、撮像部１２において、例えば蛍光フィルタ等を適宜、設定した落射顕微鏡（蛍光顕微鏡）を用いる。この場合における誘電泳動を行う前の初期状態は、明視野観察の場合（図６（ｃ））と同様である。これに対して、誘電泳動装置１において誘電泳動を行い、細菌がスリットＲｓに捕集されると、図６（ｅ）に示すように、飽和したスリットＲｓ２が蛍光発光する。このため、誘電泳動を行った後に飽和したスリットＲｓ２がより明瞭に映し出され、スリット数を計数しやすくなる。

２－３．検査処理について
本実施形態では、検査チップ３を用いて、第１の電極群ＣＨ１で検査対象の細菌等を捕捉して、捕捉した誘電体粒子により飽和した第２の電極群ＣＨ２のスリットＲｓ２を計数する検査処理を行うことができる。以下、本実施形態に係る検査処理について、図７を用いて説明する。

図７は、本実施形態に係る検査チップを用いた検査処理を説明するためのフローチャートである。図７のフローチャートの各処理は、本検査システムの制御装置２０によって実行される。本フローチャートは、本検査システムにおいて、検査される試料液及び検査チップが準備された状態で開始される。

まず、制御装置２０は、電源部１１を制御して、第１の電極群ＣＨ１に、所定期間（例えば１～１００分）、所定の周波数を有する交流電圧を印加する（Ｓ１）。当該周波数は、検査対象の細菌等に正の誘電泳動力を作用させるための周波数であり、例えば１００ｋＨｚ（生菌及び死菌を捕集）に設定される。

次に、制御装置２０は、交流電圧の印加中（Ｓ１）にポンプ部１０を制御して、ポンプ部１０に所定の第１の送液速度で試料液を送液させる（Ｓ２）。送液速度は、ポンプ部１０が単位時間あたりに送液する流量で規定される。第１の送液速度は、第１の幅Ｗ１の流路３０における流速の検査対象を上記の誘電泳動力で効率良く捕捉する観点から適宜、設定される（例えば０．０１～１ｍｌ／ｍｉｎ）。

第１の送液速度による送液（Ｓ２）は、第１の電極群ＣＨ１に対する交流電圧の印加（Ｓ１）の期間中、ポンプ部１０によって継続される。この際、第１の電極群ＣＨ１上を流れる細菌等に対して正の誘電泳動力が働き、第１の電極群ＣＨ１の各スリットＲｓ１に、検査対象の細菌等が捕捉され続ける。なお、ステップＳ１，Ｓ２の処理の開始順は特に限定されず、ステップＳ２，Ｓ１の順番であってもよいし、同時であってもよい。

上記の所定期間の経過後、制御装置２０は、第１の電極群ＣＨ１に対する交流電圧の印加を停止するように、電源部１１を制御する（Ｓ３）。ステップＳ３によると、流路３０（図４（ｂ））において第１の電極群ＣＨ１に捕捉された細菌等が、第１の電極群ＣＨ１から解放される。解放された細菌等は、試料液の流れに応じて第２の電極群ＣＨ２側に移動する。この際、流路３０の内部では、狭窄部３０ｃにより流路幅が狭まるため、試料液の流速が、第１の電極群ＣＨ１近傍よりも第２の電極群ＣＨ２近傍において速くなることが想定される。

そこで、制御装置２０は、試料液の送液を、第１の送液速度よりも小さい第２の送液速度に減速するように、ポンプ部１０を制御する（Ｓ４）。第２の送液速度は、例えば第１の幅Ｗ１に対する第２の幅Ｗ２の比率Ｗ２／Ｗ１分（例えば１／１０倍）、第１の送液速度よりも小さい値に設定される。これにより、第１の電極群ＣＨ１から解放された細菌等は、第１の電極群ＣＨ１に捕捉されたときと同等の流速において第２の電極群ＣＨ２上に流れ込むこととなる。

次に、制御装置２０は、電源部１１を制御して、例えば第１の電極群ＣＨ１に印加した交流電圧と同じ交流電圧を、第２の電極群ＣＨ２に印加する（Ｓ５）。これにより、第２の電極群ＣＨ２上に流れ込んだ細菌等に対して誘電泳動力が働き、第２の電極群ＣＨ２の上流側のスリットＲｓ２から順に、検査対象の細菌等が捕捉される。

制御装置２０は、第２の送液速度による送液（Ｓ４）及び第２の電極群ＣＨ２に対する交流電圧の印加（Ｓ５）を、所定期間（例えば１～１０分）、継続する。なお、ステップＳ３～Ｓ５の処理の順番は特に限定されず、上記の説明とは異なる順番であってもよいし、一部又は全てが同時であってもよい。

次に、制御装置２０は、撮像部１２を制御して、第２の電極群ＣＨ２においてスリットＲｓ２が並ぶ特定の領域を撮像する（Ｓ６）。当該領域は、例えば、第２の電極群ＣＨ２における最も上流のスリットを含む領域Ｒｃである（図４（ｂ）参照）。撮像部１２は、当該領域の撮像画像を示すデータを生成し、生成したデータを情報処理装置２１に送信する。なお、ステップＳ６の撮像部１２の制御は、情報処理装置２１から行ってもよい。

制御装置２０は、上記の撮像画像が得られると（Ｓ６）、本フローチャートによる処理を終了する。

以上の処理によると、狭窄部３０ｃによって第２の電極群ＣＨ２近傍の流路幅を第２の幅Ｗ２に狭めることで、試料液における検査対象の細菌等の量が少ない場合であっても、短尺なスリットＲｓ２（長さ「Ｗ２」）を飽和させることができる（Ｓ４，５）。このような第２の電極群ＣＨ２の領域Ｒｃの撮像画像に基づいて（Ｓ６）、飽和したスリットＲｓ２を計数することにより、検査対象の細菌等の簡単な定量評価を精度良く行うことができる。

以上のステップＳ１，Ｓ２では、第１の電極群ＣＨ１における複数のスリットＲｓ１にわたって、捕捉される細菌等がばらつくことを許容する流量（第１の送液速度）を設定して、細菌等の捕捉を行う。これにより、第２の電極群ＣＨ２におけるスリットＲｓ２の計数前に、高流量で処理を行って試料液に含まれる細菌等を効率良く捕捉し、検査対象の細菌等を濃縮することができる。

また、ステップＳ３～Ｓ５では、第１の電極群ＣＨ１に捕捉された細菌等を解放して、第２の電極群ＣＨ２において再度、捕捉する。この際、第１の電極群ＣＨ１から解放された細菌等は、当初の試料液よりも濃縮された状態で、流路３０の底面近傍を流れて第２の電極群ＣＨ２に到達する。このため、第２の電極群ＣＨ２においては、上流側のスリットＲｓ２から順番に捕捉（飽和）させることを精度良く実現できる。

より具体的に、流路３０においては、高さ（Ｚ方向）を小さく設定していることから、試料液は層流となる。このため、Ｚ方向において放物線上の速度勾配が生じ、流路３０においてＺ方向の中央の流速が最速となり、底面及び上面の近傍では壁面の効果で遅くなる。このため、流路３０内で高さ方向に分散した細菌等を第１の電極群ＣＨ１で捕捉しておくことにより（Ｓ１，Ｓ２）、後段の第２の電極群ＣＨ２における捕捉の精度を良くすることができる。

また、上記のように第２の電極群ＣＨ２に到達する細菌等は底面近傍を流れることから、第１の電極群ＣＨ１による捕捉時より流速を大きくしても、充分に捕捉されることが考えられる。このことから、第２の送液速度は、検査効率と検査精度を考慮して適宜、設定されてもよい。

また、以上のような検査処理において、検査チップ３のテストポート３３ｂを利用してもよい。検査チップ３では、菌が捕捉される際に、パターン電極４３，４４（４１，４２）間が菌により導通することとなり、このような変化はテストポート３３ｂを介して計測することができる。具体的に、菌が捕捉される程、計測されるコンダクタンスは増加し、インピーダンスは低下する。この際、電圧値は低下することもある。以上のようなコンダクタンス変化と菌量との相関を検出する方法としては、誘電泳動インピーダンス計測法（ＤＥＰＩＭ）という公知の方法を適用することができる（例えば特許文献２参照）。

上記のようなコンダクタンス検出を用いて、本実施形態に係る検査処理（図７）におけるステップＳ１，Ｓ２の継続期間を決定するようにしてもよい。検査チップ３においては、試料液として流入する菌の濃度は未知数である一方、菌を捕捉するとコンダクタンスが変化する。そこで、例えば第１の電極群ＣＨ１における菌の捕捉中（Ｓ１，Ｓ２）に、制御装置２０（又はユーザ）はテスタ２３により第１の電極群ＣＨ１におけるコンダクタンスをモニタして、検出されるコンダクタンスの変化が一定になったときに、菌の捕捉を停止して（Ｓ３）、菌数の計測動作に入る（Ｓ４，Ｓ５）。これにより、試料液中の菌数が極端に多い場合や少ない等の事情からステップＳ１，Ｓ２の適切な継続期間を予測しづらい場合であっても、テストポート３３ｂで検出されるコンダクタンスを目安に利用することができる。

３．まとめ
以上のように、本実施形態に係る検査チップ３は、試料液中に含まれる細菌等の誘電体粒子の検査を行うための検査チップ３である。検査チップ３は、流路３０と、第１の電極群ＣＨ１と、第２の電極群ＣＨ２とを備える。流路３０には、試料液が流れる。第１の電極群ＣＨ１は、流路３０において互いに間隔をあけて配置された複数のライン電極４３ａ，４４ａを含む。第２の電極群ＣＨ２は、流路３０の長手方向において第１の電極群ＣＨ１に並び、互いに間隔をあけて配置された複数のライン電極４１ａ，４２ａを含む。流路３０は、第１の電極群ＣＨ１が配置された範囲における流路幅（Ｗ１）よりも第２の電極群ＣＨ２が配置された範囲における流路幅（Ｗ２）を狭める狭窄部３０ｃを備える。

以上の検査チップ３によると、流路幅が第１の幅Ｗ１の第１の電極群ＣＨ１と、流路幅が第２の幅Ｗ２に狭まった第２の電極群ＣＨ２とにおける誘電泳動によって、細菌等を効率良く捕捉したり、精度良く定量評価したりすることができる。

また、本実施形態に係る誘電泳動装置１（検査装置）は、検査チップ３と、電源部１１と、ポンプ部１０とを備える。電源部１１は、流路３０を流れる試料液中の誘電体粒子が誘電泳動を起こすように、所定周波数の交流電圧を各電極群ＣＨ１，ＣＨ２に印加する。ポンプ部１０は、交流電圧の印加中に試料液を流路３０に送液し、交流電圧が印加された電極群に応じて送液の速度を変化させる。

以上の誘電泳動装置１によると、検査チップ３において、流路幅が異なる各電極群ＣＨ１，ＣＨ２に適した送液速度において、細菌等の捕捉を行うことができる。

また、本実施形態に係る検査チップ３は、流路３０と、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２と、電極パッド３３ａと、テストポート３３ｂとを備える。各電極群ＣＨ１，ＣＨ２は、流路３０の長手方向に並んだ複数のライン電極４１ａ～４４ａを含む。電極パッド３３ａは、第１の電極群ＣＨ１（及び第２の電極群ＣＨ２）に交流電圧が印加されるように、第１の電極群ＣＨ１（及び第２の電極群ＣＨ２）において交互に配置された２組のライン電極４３ａ，４４ａ（４１ａ，４２ａ）、即ち２つのパターン電極４３，４４（４１，４２）にそれぞれ配線される。テストポート３３ｂは、各電極群の２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスが検出されるように、各組の電極に配線される。

以上の検査チップ３によると、テストポート３３ｂを介して、ライン電極４１ａ～４４ａの断線等をコンダクタンスの変化により検出することができる。

また、本実施形態に係る検査システムは、試料液中に含まれる誘電体粒子の検査を行う。検査システムは、検査チップ３と、ポンプ部１０と、電源部１１と、検出部の一例であるテスタ２３とを備える。検査チップ３は、流路３０と、流路３０の長手方向に並んだ複数の電極であって交互に配置された２組の電極を含む電極群とを備える。テスタ２３は、電極群の２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスを検出する。

以上の検査チップ３によると、テスタ２３により、ライン電極４１ａ～４４ａの断線等をコンダクタンスの変化により検出することができる。

（他の実施形態）
上記の実施形態１では、第１の電極群ＣＨ１が、スリットＲｓ２の計数前に細菌等を捕捉（濃縮）するために用いられたが、これに限らず、第１の電極群ＣＨ１はスリットＲｓ１の計数（菌量の計測）用に用いられてもよい。第１の電極群ＣＨ１と第１の電極群ＣＨ２とに、異なる流路幅Ｗ１，Ｗ２を設定することで、各々のスリットＲｓ１，Ｒｓ２で定量評価される菌量のオーダを変化させることができる。

例えば、第１の電極群ＣＨ１のスリットＲｓ１の本数が１０本であり、１本のスリットＲｓ１が飽和する菌量が１０^５個オーダの場合、第１の電極群ＣＨ１では最大で１０^６個オーダの菌量を計測可能になる。この場合において、Ｗ２／Ｗ１＝１／１０に設定すると、第２の電極群ＣＨ２におけるスリットＲｓ２を用いて１０^４個のオーダの菌量が計測できる。このように、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２により、１０^４～１０^６のような二桁の菌量の定量評価を行うことができる。例えばこのような場合、第１の電極群ＣＨ１は、第２の電極群ＣＨ２よりも下流側（出口３０ｂ側）に設けられてもよい。これにより、上流側の電極群において低いオーダの菌量を計測し、それを超えると下流側でも捕捉するようにすることができる。

また、上記の場合において、第２の電極群ＣＨ２のスリットＲｓ２の本数は、例えば１０本に設定すると、全てのスリットＲｓ２が飽和したときに第１の電極群ＣＨ１の１本のスリットＲｓ１と同等の菌量を計測することができる。第２の電極群ＣＨ２のスリットＲｓ２の本数は、第１の電極群ＣＨ１のスリットＲｓ１の本数と同じに設定されてもよいし、流路幅の比Ｗ１，Ｗ２の比に合わせて設定されてもよい。各スリットＲｓ１，Ｒｓ２の本数は、１０本に限らず、適宜設定することができる。

また、上記の各実施形態では、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２を検査チップ３に設けたが、検査チップには、１つ又は３つ以上の電極群が設けられてもよい。それぞれの電極群の寸法や流路幅は、各電極群の用途に応じて適宜、設定することができる。

また、上記の各実施形態では、検査チップ３におけるスリットＲｓ１，Ｒｓ２の計数によって菌量の計測を行ったが、これに限らず、例えばテストポート３３ｂを用いてＤＥＰＩＭによって菌量の計測を行ってもよい。検査チップ３によると、図７の検査処理と同様の処理によって、第１の電極群ＣＨ１で菌等を効率的に捕捉し（Ｓ１，Ｓ２）、捕捉した菌等を後段に移動させることにより（Ｓ３～Ｓ５）、菌等は狭窄部３０ｃにおける第２の電極群ＣＨ２に集中することとなる。これにより、効率的にコンダクタンス変化を計測でき、高感度に菌等の検出を行うことが可能となる。

また、上記の各実施形態では、検査チップ３におけるテストポート３３ｂを用いてコンダクタンス計測やＤＥＰＩＭを行ったが、これに限らず、例えば電極パッド３３ａにテスタ２３等を接続して、上記と同様のコンダクタンス計測等を行ってもよい。この場合、検査チップ３においてテストポート３３ｂは省略されてもよい。

また、上記の各実施形態において、図７のフローチャートにおける各ステップの処理は、制御装置２０によって実行されたが、本システムのユーザによって行われてもよく、ユーザが制御装置２０を操作することにより行われてもよい。

また、上記の各実施形態において、図７のステップＳ１において供給する交流電圧の第１の周波数として、１ｋＨｚを例示した。生菌のみを検査対象とする場合、例えば、ステップＳ１において供給する交流電圧の第１の周波数を、３ＭＨｚなどの生菌のみに誘電泳動力が作用する値に設定してもよい。これにより、図７のステップＳ６において、生菌のみが第２の電極群ＣＨ２において順番に充填されたスリットの撮像画像が得られる。

また、図７の検査処理では、１種類の周波数（第１の周波数）の交流電圧を用いたが、複数の周波数の交流電圧を用いてもよい。例えば、第１及び第２の電極群ＣＨ１，ＣＨ２間で、交流電圧の周波数を切り替えることで、生菌と死菌を分離して捕集してもよい。

また、上記の各実施形態において、検査チップ３のライン電極４１ａ～４４ａ、及び各スリットＲｓ１，Ｒｓ２が、液流方向と直交する方向（Ｙ方向）に延在する例を図示した。検査チップにおけるスリットは液流方向（流路３０の長手方向）と直交しなくてもよく、例えば液流方向に対して所定角度（例えば４５度以上）において交差してもよい。

また、上記の各実施形態において、スリットＲｓ１，Ｒｓ２が、所定のスリット幅Ｗｓで直線的に形成される例を図示したが、スリットの形状は、例えば湾曲したり、屈曲したりしていてもよいし、スリット毎の幅が異なっていてもよい。また、複数のスリットは、互いに平行でなくてもよく、例えば所定角度の範囲内において横並びに配置されてもよい。

また、上記の各実施形態では、１つの流路３０を備えた検査チップ３について説明した。検査チップはこれに限らず、例えば、複数の流路や枝分かれした流路を設けてもよいし、各流路に対して１つ又は複数の電極群を設けてもよい。また、上記の各実施形態の流路３０は直線状であったが、これに限らず、流路は曲線状に設けられてもよく、例えば螺旋状に設けられてもよい。

また、上記の各実施形態において、撮像部１２を備える誘電泳動装置１（検査装置）について説明した。本発明に係る検査装置は、撮像部１２を備えなくてもよく、例えば撮像部１２に代えて（又はこれに加えて）、ユーザが直接、領域Ｒｃを観察するための接眼レンズ等を有する顕微鏡を備えてもよい。

また、上記の各実施形態における検査システムによる画像解析は、例えば面積解析法によって行われてもよい。具体的に、画像解析部（情報処理装置２１）は、観察対象の領域Ｒｃにおいて飽和したスリットＲｓ２の面積を計算し、計算した面積を、流路３０内のスリットＲｓ２が並ぶ領域全体中の領域Ｒｃの有効面積の割合で除算する。これにより、飽和したスリットの計数、即ち菌量の計測を高精度に行うことができる。

また、上記の各実施形態において、情報処理装置２１が表示部及び画像解析部を構成する検査システムの一例を説明したが、検査システムにおける表示部及び画像解析部は、別体で構成されてもよい。また、表示部又は画像解析部は、検査装置（誘電泳動装置１）と一体的に構成されてもよい。また、スリットの計数がユーザの目視によって行われる場合、検査システムにおいて画像解析部は省略されてもよい。

また、上記の各実施形態において、本システムの検査対象として細菌や細胞を例示した。本システムの検査対象は、細菌や細胞に限らず、誘電体粒子であればよく、例えば微生物や、真菌、芽胞、ウイルスであってもよい。

１ 誘電泳動装置
１０ ポンプ部
１１ 電源部
１２ 撮像部
２０ 制御装置
２１ 情報処理装置
３ 検査チップ
３０ 流路
ＣＨ１ 第１の電極群
ＣＨ２ 第２の電極群
４１～４４ パターン電極
４１ａ～４４ａ ライン電極

Claims (7)

1. 試料液中に含まれる誘電体粒子の検査を行うための検査チップであって、
   前記試料液が流れる流路と、
   前記流路において互いに間隔をあけて配置された複数のライン電極を含む第１の電極群と、
   前記流路の長手方向において前記第１の電極群に並び、互いに間隔をあけて配置された複数のライン電極を含む第２の電極群とを備え、
   前記流路は、前記第１の電極群が配置された範囲における流路幅よりも前記第２の電極群が配置された範囲における流路幅を狭める狭窄部を備え、
   前記第２の電極群が、前記狭窄部において並ぶ複数のスリットを形成するように配置された
   検査チップ。
2. 前記第１の電極群は、前記流路において並ぶ複数のスリットを形成するように配置され、
   前記第１の電極群のスリットの長さよりも、前記第２の電極群のスリットの長さを短くするように、前記狭窄部が設けられた
   請求項１に記載の検査チップ。
3. 前記第２の電極群における複数のスリットの総面積が、前記第１の電極群における一のスリットの面積に対応するように構成された
   請求項１又は２に記載の検査チップ。
4. 前記狭窄部及び前記第２の電極群は、前記流路において前記第１の電極群よりも上流に設けられた
   請求項１～３のいずれか１項に記載の検査チップ。
5. 前記各電極群に交流電圧が印加されるように、前記各電極群において交互に配置された２組の電極にそれぞれ配線された電極パッドと、
   前記各電極群の２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスが検出されるように、各組の電極に配線されたテストポートと
   をさらに備えた、請求項１～４のいずれか１項に記載の検査チップ。
6. 請求項１～５のいずれか１項に記載の検査チップと、
   前記流路を流れる試料液中の誘電体粒子が誘電泳動を起こすように、所定周波数の交流電圧を各電極群に印加する電源部と、
   前記交流電圧の印加中に前記試料液を前記流路に送液し、前記交流電圧が印加された電極群に応じて前記送液の速度を変化させるポンプ部と
   を備えた検査装置。
7. 請求項６に記載の検査装置と、
   前記各電極群において交互に配置された２組の電極に含まれる各々の電極に応じたコンダクタンスを検出する検出部と
   を備えた検査システム。

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