JP7051459B2

JP7051459B2 - 振動波モータ及び光学機器

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Publication number: JP7051459B2
Application number: JP2018006553A
Authority: JP
Inventors: 大樹伊藤; 泰史山本
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Priority date: 2017-03-28
Filing date: 2018-01-18
Publication date: 2022-04-11
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Also published as: JP2018166397A

Description

本発明は、振動波モータ及びそれを備えた光学機器に関する。

例えばカメラのレンズ等の駆動源として、無音動作、低速から高速までの駆動が可能、高トルク出力等の特徴を活かして超音波モータが採用されている。特許文献１には、振動子の摺動部と、スライダーとが摩擦接触し、振動子に振動を発生させることにより、振動子をスライダーに対し相対的に駆動する超音波モータが開示されている。

特開２０１６－９２９１１号公報

特許文献１に開示されている超音波モータでは、スライダーがユニット支持部材により支持されるが、ユニット支持部材は、スライダーのうち、駆動方向の両端部であって、振動子が摩擦接触する側の面を支持する。そのため、振動子とユニット支持部材との干渉を避けるべく、振動子の駆動方向の可動範囲外にユニット支持部材を配置する必要があり、駆動方向の小型化を妨げていた。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、振動波モータにおいて駆動方向の小型化を実現することを目的とする。

本発明の振動波モータは、振動子と、前記振動子と接触する摩擦接触面、及びその反対側の面である裏面を有する摩擦部材と、前記摩擦部材を支持する支持部材とを備え、前記振動子に発生する振動により、前記振動子と前記摩擦部材とが駆動方向に相対移動する振動波モータであって、前記振動子は、前記摩擦部材の前記摩擦接触面に接触する接触部を備え、前記摩擦部材は、該摩擦部材を前記支持部材に固定するための締結部材を挿入する締結穴を備え、前記締結穴は、前記接触部に接触する領域と前記駆動方向にて並ぶ位置であって、前記振動子と前記摩擦部材とが最大量だけ相対移動した状態で、前記振動子の前記接触部と前記振動子の前記駆動方向における最外部との間に位置するように配置され、前記締結部材は、前記摩擦部材の前記裏面側から前記締結穴に挿入されることを特徴とする。

本発明によれば、振動波モータにおいて駆動方向の小型化を実現することができる。

第１の実施形態に係る超音波モータを示す分解斜視図である。第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。振動子を保持部材で保持した状態を示す斜視図である。振動子を示す斜視図である。ガイド部材を示す斜視図である。第１の実施形態に係る超音波モータを駆動方向と直交する方向から見た側面図である。第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向と直交する方向に沿う断面図である。第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。第２の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。第３の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。第４の実施形態に係る超音波モータを示す分解斜視図である。第４の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。第４の実施形態に係る超音波モータの駆動方向に沿う断面図である。超音波モータを搭載したレンズ鏡筒を示す断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る振動波モータである超音波モータを模式的に示す分解斜視図である。また、図２は、第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａに沿う断面図である。
１は振動子であり、長板状の振動体２と、振動体２に接合される圧電素子３とを備えて構成される。４はスライダーとも呼ばれる長板状の摩擦部材であり、振動子１と接触する摩擦接触面４ａ、及びその反対側の面である裏面４ｂを有する。振動子１と摩擦部材４とは、詳細は後述するが、振動子１の圧電効果による超音波振動を直動に変換することで、長手方向を駆動方向Ａとして相対移動可能となっている。

５は枠状の保持部材であり、振動子１を保持する。６は枠状の動力伝達部材であり、その内側に保持部材５が配置され、保持部材５が嵌合部５ｃを介して駆動方向Ａにガタなく組み付けられる。７は介在部材であり、保持部材５の内側に配置され、振動子１の圧電素子３に接触する。８は加圧部材であり、介在部材７に重ねるようにして配置される。９はガイド部材であり、振動子１及び摩擦部材４を挟んで保持部材５や動力伝達部材６と反対側に配置され、雄ねじ１０により動力伝達部材６に組み付けられる。１１は弾性部材である引張りばねであり、加圧部材８の引っ掛け部８ａとガイド部材９の引っ掛け部９ｅとに係合し、加圧部材８とガイド部材９とが相互に近づく方向に付勢力を付す。振動子１は、加圧部材８により介在部材７を介して加圧され、所謂加圧接触状態にて摩擦部材４の摩擦接触面４ａに接触する。

１２は支持部材である枠状のベース部材であり、摩擦部材４の裏面４ｂを支持する。摩擦部材４の長手方向（駆動方向Ａ）の両端部が、締結部材である雄ねじ１３によりベース部材１２に締結固定される。なお、図１ではベース部材１２の上方にガイド部材９を図示するが、ガイド部材９はベース部材１２の裏面１２ｃ側に配置され、ベース部材１２の内側から壁部９ｂ、９ｃや引っ掛け部９ｅが上方に突出するかたちとなる。ベース部材１２は、詳細は後述するが、転動部材であるボール１４を介してガイド部材９を駆動方向Ａにガイドする。

このようにした超音波モータにおいては、振動子１、保持部材５、動力伝達部材６、介在部材７、加圧部材８、ガイド部材９、引張りばね１１、及び雄ねじ１０が、振動子１と一体的に移動するユニットを構成する（以下、「振動子１を含むユニット」と呼ぶ）。この振動子１を含むユニットが、摩擦部材４及びそれを支持するベース部材１２と駆動方向Ａに相対移動することになる。

以下、第１の実施形態に係る超音波モータの各部の詳細を説明する。
図３は、振動子１を保持部材５で保持した状態を示す斜視図であり、摩擦部材４に接触させる側から見た図である。また、図４は、振動子１を示す斜視図であり、圧電素子３を接合する側から見た図である。
図４に示すように、振動体２の一方の面に、圧電素子３が接着等により接合される。圧電素子３は、複数の圧電素子膜を積層して一体化したものである。
また、図３に示すように、振動体２の他方の面には、その長手方向に並べた２個の接触部１ａが設けられており、これら接触部１ａを摩擦部材４の摩擦接触面４ａに接触させる。

振動体２の長手方向の両端部には、腕部１ｂが形成されている。接触部１ａは、一対の腕部１ｂの間に配置される。図３に示すように、振動子１の一対の腕部１ｂが、保持部材５の長手方向の両端部のボス状の接合部５ａに接着や溶接等により接合される。腕部１ｂは、振動子１が振動するように弾性支持する役割を担う。腕部１ｂには穴１ｃが形成されており、この穴１ｃに、保持部材５に設けられた突起部５ｂを挿入することで、振動子１と保持部材５との位置決めがなされる。

振動子１において、圧電素子３に所望の交流電圧を印加することで励振させ、圧電素子３が接合された振動体２に２つの振動モードを励起する。このとき、２つの振動モードの振動位相が所望の位相差となるように設定することで、接触部１ａには図３の矢印で示すような楕円運動が発生する。このように接触部１ａに楕円運動を発生させ、摩擦部材４の摩擦接触面４ａに伝達することで、振動子１と摩擦部材４とを駆動方向Ａに相対移動させることができる。上述の原理で振動子１は駆動しており、接触部１ａの楕円運動をより効率よく発生させることで駆動効率の良い超音波モータとなる。そのため、腕部１ｂは、接触部１に発生する楕円駆動を極力妨げないように、接触部１ａから所定の距離以上離すように配置される。

図５は、ガイド部材９を示す斜視図である。また、図６は、第１の実施形態に係る超音波モータを駆動方向Ａと直交する方向から見た側面図である。また、図７は、第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａと直交する方向に沿う断面図である。
図５に示すように、ガイド部材９は、底面９ａと、対向する一対の壁部９ｂ、９ｃとを備える。底面９ａには、駆動方向Ａに延びる長穴状のガイド溝９ｄが３箇所に形成されている。これらガイド溝９ｄの上側の開口付近には、Ｖ字状の斜面が形成される。
また、ベース部材１２には、図７に示すように、ガイド部材９のガイド溝９ｄに対応させて、Ｖ字状の溝部１２ａと、平面状のガイド部１２ｂとが設けられる。
ボール１４は、ガイド溝９ｄに対応して３個設けられる。ボール１４は、引張りばね１１の付勢力により、ガイド部材９のガイド溝９ｄと、ベース部材１２の溝部１２ａ及びガイド部１２ｂとの間で転動自在に狭持される。これにより、ガイド部材９とベース部材１２とが、すなわち振動子１を含むユニットと摩擦部材４及びベース部材１２とが、駆動方向Ａにガイドされて相対移動可能となっている。

加圧部材８の各コーナ部付近には、引張りばね１１の一端のフックを係合させるための引っ掛け部９ａが設けられる。また、ガイド部材９の各コーナ部付近には、引張りばね１１の他端のフックを係合させるための引っ掛け部９ｅが設けられる。本実施形態のように振動子１の接触部１ａを囲むように引張りばね１１を４点配設することにより、接触部１ａを略均一な加圧力で摩擦部材４の摩擦接触面４ａに接触させることができる。

ここで、摩擦部材４の支持構成について説明する。図２に示すように、摩擦部材４は、裏面４ｂにおいてベース部材１２と当接する。摩擦部材４の長手方向の両端部に、雄ねじ１３を挿入して締結するねじ穴である締結穴４ｃが形成されている。また、ベース部材１２において、締結穴４ｃに対応する位置に、挿通穴１２ｄが形成されている。雄ねじ１３は、ベース部材１２の裏面１２ｃ側からベース部材１２の挿通穴１２ｄを挿通し、摩擦部材４の裏面４ｂ側から締結穴４ｃに挿入されて、摩擦部材４を締結固定する。したがって、雄ねじ１３の頭部（ねじ頭）１３ａは、ベース部材１２の裏面１２ｃ側に位置することになる。

図８は、第１の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａに沿う断面図であり、振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態を示す。駆動方向Ａの両側には、振動子１と摩擦部材４との相対移動の可動範囲を定める駆動端部材１５が配置される。振動子１を含むユニットが駆動端部材１５に当接することにより（本実施形態においては動力伝達部材６が駆動端部材１５に当接する）、それ以上の振動子１と摩擦部材４との相対移動が規制される。

このように振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態で、摩擦部材４の締結穴４ｃは、振動子１の接触部１ａと、振動子１を含むユニットの駆動方向Ａにおける最外部との間（図中の領域Ｂ）に位置するように配置される。なお、本実施形態では、振動子１の駆動方向Ａにおける最外部が、振動子１を含むユニットの駆動方向Ａにおける最外部に一致する。既述したように、振動子１において腕部１ｂは接触部１ａから所定の距離以上離すように配置されるので、領域Ｂは振動子１の支持のために必要なスペースである。このように振動子１の支持のために必要なスペースにおいて、摩擦部材４を固定するためのスペースを確保することができ、駆動方向Ａの小型化が可能となる。

また、雄ねじ１３においては頭部１３ａが他の部位に比べて大径となるが、この頭部１３ａがベース部材１２の裏面１２ｃ側に位置するので、頭部１３ａが振動子１の接触部１ａに干渉することがない。したがって、接触部１ａを締結穴４ｃの近傍にまで移動させることができ、駆動方向Ａの小型化が可能となる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態は、摩擦部材４の締結穴４ｃの形状を変更した例である。なお、超音波モータの基本構成は第１の実施形態で述べたとおりであり、以下では、第１の実施形態との相違点を中心に説明し、第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図９は、第２の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａに沿う断面図であり、振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態を示す。
第１の実施形態では、締結穴４ｃは裏面４ｂに開口し、摩擦接触面４ａまで貫通する形状としたが、第２の実施形態では、締結穴４ｃは裏面４ｂに開口し、摩擦接触面４ａまで貫通しない形状にする。

締結穴４ｃが摩擦接触面４ａまで貫通しないことにより、振動子１の接触部１ａは摩擦接触面４ａと接触しながら、締結穴４ｃの直上を通過することが可能となる。したがって、締結穴４ｃの位置の自由度を高めることができる。
本実施形態において、締結穴４ｃは、摩擦部材４の長手方向の３箇所、より詳細には摩擦部材４の長手方向の両端部に加えて、その中間位置にも設けられている。摩擦部材４には、振動子１に発生する超音波振動との共振により、音が発生することがある。これを避けるために、摩擦部材４の厚み、幅、長さ、材質によって決まる共振周波数を、振動子１に発生する超音波振動の周波数と異ならせる必要がある。締結穴４ｃの位置の自由度を高めることにより、締結穴４ｃを増やして摩擦部材４に振動の節を配設することが可能となり、形状の自由度が増し、音の発生等を防ぐことができる。

（第３の実施形態）
第３の実施形態は、雄ねじ１３を駆動端部材として機能させるようにした例である。なお、超音波モータの基本構成は第１の実施形態で述べたとおりであり、以下では、第１の実施形態との相違点を中心に説明し、第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図１０は、第３の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａに沿う断面図であり、振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態を示す。
第３の実施形態では、締結穴４ｃに挿入された雄ねじ１３の先端部が摩擦接触面４ａから突出するようにして、雄ねじ１３を駆動端部材として利用する。すなわち、振動子１の接触部１ａが雄ねじ１３の先端部に当接することにより、それ以上の振動子１と摩擦部材４との相対移動が規制される。これにより、第１、２の実施形態のように駆動端部材１５を別途設ける必要がなくなり、それだけ小型化が可能になる。

（第４の実施形態）
第４の実施形態は、摩擦部材４とベース部材１２との締結構造を変更した例である。なお、超音波モータの基本構成は第１の実施形態で述べたとおりであり、以下では、第１の実施形態との相違点を中心に説明し、第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図１１は、第４の実施形態に係る振動波モータである超音波モータを模式的に示す分解斜視図である。また、図１２、図１３は、第４の実施形態に係る超音波モータの駆動方向Ａに沿う断面図である。
第１乃至第３の実施形態では、雄ねじ１３の頭部１３ａがベース部材１２の裏面１２ｃ側に位置する構成としたが、第４の実施形態では、雄ねじ１３の挿入方向を変えて、雄ねじ１３の頭部１３ａが摩擦部材４の摩擦接触面４ａ側に位置する構成とする。

摩擦部材４の長手方向の両端部には、摩擦接触面４ａ及び裏面４ｂとは異なる平面部４ｄが設けられる。具体的には、摩擦部材４の長手方向の両端部において、摩擦接触面４ａよりも一段下げたかたちで平面部４ｄが形成される。すなわち、平面部４ｄは、摩擦接触面４ａと裏面４ｂとの間に配置されることになる。

平面部４ｄには、雄ねじ１３を挿通する挿通穴４ｅが形成されている。第１乃至第３の実施形態の締結穴４ｃは、雄ねじ１３を締結するねじ穴であるのに対して、第４の実施形態の挿通穴４ｅは、雄ねじ１３を挿通するねじ形状ではない貫通穴である。また、ベース部材１２において、挿通穴４ｅに対応する位置に、締結穴１２ｅが形成されている。第１乃至第３の実施形態の挿通穴１２ｄは、雄ねじ１３を挿通するねじ形状ではない貫通穴であるのに対して、第４の実施形態の締結穴１２ｅは、雄ねじ１３を締結するねじ穴である。なお、挿通穴４ｅ、１２ｄがねじ形状ではない貫通穴であるとしたが、ねじ形状の貫通穴としてもよい。

図１２に示すように、摩擦部材４は、裏面４ｂにおいてベース部材１２と当接する。雄ねじ１３は、摩擦部材４の摩擦接触面４ａ側から平面部４ｄの挿通穴４ｅを挿通し、ベース部材１２の締結穴１２ｅに挿入されて、摩擦部材４を締結固定する。したがって、雄ねじ１３の頭部１３ａは、摩擦部材４の摩擦接触面４ａ側に位置し、平面部４ｄに当接することになる。

図１３は、振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態を示す。このように振動子１と摩擦部材４とが最大量だけ相対移動した状態で、摩擦部材４の挿通穴４ｅ及び雄ねじ１３の頭部１３ａは、振動子１の接触部１ａと、振動子１を含むユニットの駆動方向Ａにおける最外部との間（図中の領域Ｃ）に位置するように配置される。なお、本実施形態では、振動子１の駆動方向Ａにおける最外部が、振動子１を含むユニットの駆動方向Ａにおける最外部に一致する。既述したように、振動子１において腕部１ｂは接触部１ａから所定の距離以上離すように配置されるので、領域Ｃは振動子１の支持のために必要なスペースである。このように振動子１の支持のために必要なスペースにおいて、摩擦部材４を固定するためのスペースを確保することができ、駆動方向Ａの小型化が可能となる。

また、摩擦接触面４ａと裏面４ｂとの間に平面部４ｄが配置されるので、平面部４ｄに当接する雄ねじ１３の頭部１３ａが、摩擦接触面４ａを超えて上方に突出する量を抑えることができる。これにより、振動子１を含むユニットにおいて摩擦部材４の摩擦接触面４ａの方向（加圧部材８による加圧方向）に突出する突起部５ｂのような構造があるときでも、該構造との十分なクリアランスを確保することができる。

（超音波モータの光学機器への搭載例）
図１４は、本発明を適用した超音波モータを搭載した光学機器の例であるレンズ鏡筒を示す断面図である。本実施形態では、カメラ本体１０１に対して交換可能な交換レンズユニット１０２がレンズ鏡筒を構成し、超音波モータ１００がフォーカスレンズの駆動源として機能する例を説明する。なお、交換レンズユニット（レンズ鏡筒）１０２は略回転対称形であるため、上半分だけを図示する。
カメラ本体１０１には交換レンズユニット１０２が着脱自在に取り付けられる。カメラ本体１０１内には撮像素子１０３が設けられており、交換レンズユニット１０２を介して被写体像が撮像素子１０３に結像する。

マウント１０４は、交換レンズユニット１０２をカメラ本体１０１に装着するためのバヨネット部を有する。固定筒１０５は、マウント１０４のフランジ部と当接し、不図示のビスによってマウント１０４に固定される。固定筒１０５には、レンズ１０６を保持する前鏡筒１０７と、レンズ１０８を保持する後鏡筒１０９が固定される。
保持枠１１０はフォーカスレンズ１１１を保持し、前鏡筒１０７と後鏡筒１０９とに保持されたガイドバー１１２によって直進移動可能になっている。

超音波モータ１００では、駆動部１１４が駆動すると、その駆動力が駆動力伝達部１１５を介して保持枠１１０に伝達され、地板１１３に対して保持枠１１０が移動する構成となっている。
より詳細には、超音波モータ１００の地板１１３にはフランジ部が形成されており、後鏡筒１０９にビス等により固定されている。超音波モータ１００の駆動部１１４が駆動すると、その駆動力は、駆動力伝達部１１５を介して保持枠１１０に伝達される。保持枠１１０はガイドバー１１２に沿って直線移動し、被駆動部材であるフォーカスレンズ１１１を前後に移動させる。
なお、図１４に例示する超音波モータ１００は、上記実施形態で述べたものと細部において必ずしも一致しないが、超音波モータとしての基本構成や基本動作は変わるものではなく、保持枠１１０、駆動部１１４及び駆動力伝達部１１５が実施形態でいう振動子１を含むユニットに相当する構成といえ、地板１１３が実施形態でいう摩擦部材４及びベース部材１２に相当する構成といえる。

以上、本発明を実施形態と共に説明したが、上記実施形態は本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
例えば図１に示した超音波モータの構成は一例であり、例えば振動子１を含むユニットの構成要素の数や形状等はこれに限定されるものではない。
また、光学機器としてレンズ鏡筒となる交換レンズユニットを説明したが、これに限定されるものではなく、振動波モータにより駆動される被駆動部材を備えるものであればよい。

１：振動子、１ａ：接触部、１ｂ：腕部、２：振動体、３：圧電素子、４：摩擦部材、４ａ：摩擦接触面、４ｂ：裏面、４ｃ：締結穴、５：保持部材、６：動力伝達部材、７：介在部材、８：加圧部材、９：ガイド部材、１１：引張りばね、１２：ベース部材、１３：雄ねじ、１３ａ：頭部、１４：ボール

Claims

振動子と、
前記振動子と接触する摩擦接触面、及びその反対側の面である裏面を有する摩擦部材と、
前記摩擦部材を支持する支持部材とを備え、
前記振動子に発生する振動により、前記振動子と前記摩擦部材とが駆動方向に相対移動する振動波モータであって、
前記振動子は、前記摩擦部材の前記摩擦接触面に接触する接触部を備え、
前記摩擦部材は、該摩擦部材を前記支持部材に固定するための締結部材を挿入する締結穴を備え、
前記締結穴は、前記接触部に接触する領域と前記駆動方向にて並ぶ位置であって、前記振動子と前記摩擦部材とが最大量だけ相対移動した状態で、前記振動子の前記接触部と前記振動子の前記駆動方向における最外部との間に位置するように配置され、
前記締結部材は、前記摩擦部材の前記裏面側から前記締結穴に挿入されることを特徴とする振動波モータ。
前記締結穴は、前記摩擦部材の前記裏面に開口し、前記摩擦接触面まで貫通することを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
前記締結穴に挿入された前記締結部材が前記摩擦接触面から突出するようにして、前記締結部材が前記振動子と前記摩擦部材との相対移動の可動範囲を定める駆動端部材として機能することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
前記締結穴は、前記摩擦部材の前記裏面に開口し、前記摩擦接触面まで貫通しないことを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
前記支持部材は、前記摩擦部材の前記裏面を支持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
前記締結部材は雄ねじであり、その頭部が前記摩擦部材の前記裏面側に位置することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
前記振動子の長手方向の両端部には、該振動子を支持するための一対の腕部が設けられ、
前記接触部は、前記一対の腕部の間に配置されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
振動子と、
前記振動子と接触する摩擦接触面、及びその反対側の面である裏面を有する摩擦部材と、
前記摩擦部材を支持する支持部材とを備え、
前記振動子に発生する振動により、前記振動子と前記摩擦部材とが駆動方向に相対移動する振動波モータであって、
前記支持部材は、前記摩擦部材の前記裏面を支持し、
前記摩擦部材は、該摩擦部材を前記支持部材に固定するための雄ねじを挿入する締結穴を備え、
前記雄ねじは、前記支持部材の裏面側から前記支持部材を挿通し、前記摩擦部材の前記裏面側から前記締結穴に挿入されて、その頭部が前記支持部材の前記裏面側に位置することを特徴とする振動波モータ。
振動子と、
前記振動子と接触する摩擦接触面、及びその反対側の面である裏面を有する摩擦部材と、
前記摩擦部材を支持する支持部材とを備え、
前記振動子に発生する振動により、前記振動子と前記摩擦部材とが駆動方向に相対移動する振動波モータであって、
前記振動子は、前記摩擦部材の前記摩擦接触面に接触する接触部を備え、
前記摩擦部材は、該摩擦部材を前記支持部材に固定するための締結部材を挿通する挿通穴を備え、
前記締結部材は雄ねじであり、その頭部が前記摩擦部材の前記摩擦接触面側に位置し、
前記挿通穴は、前記接触部に接触する領域と前記駆動方向にて並ぶ位置に配置され、前記挿通穴及び前記雄ねじの前記頭部は、前記振動子と前記摩擦部材とが最大量だけ相対移動した状態で、前記振動子の前記接触部と前記振動子の前記駆動方向における最外部との間に位置するように配置されることを特徴とする振動波モータ。
前記摩擦部材は、前記摩擦接触面及び前記裏面とは異なる平面部を有し、前記平面部に前記挿通穴が形成され、前記平面部において前記雄ねじの前記頭部と当接することを特徴とする請求項９に記載の振動波モータ。
前記平面部は、前記摩擦接触面と前記裏面との間に配置されることを特徴とする請求項９又は１０に記載の振動波モータ。
前記支持部材は、前記摩擦部材の前記裏面を支持することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の振動波モータ。
圧電素子と振動体で構成される振動子と、
前記振動子と接触する第１の面、及び前記第１の面の反対側の面である第２の面を有する摩擦部材と、を備え、
前記振動子に発生する振動により、前記振動子と前記摩擦部材とが駆動方向に相対移動する振動波モータであって、
前記摩擦部材を前記第２の面側で支持する支持部材と、
前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧部材と、を備え、
前記摩擦部材は、前記摩擦部材を前記支持部材に固定するための固定部が設けられていて、
前記振動子は、前記加圧部材による加圧方向において前記振動子の少なくとも一部と固定部とが重なる位置に移動可能であることを特徴とする振動波モータ。
前記摩擦部材と前記支持部材とを固定する締結部材を備え、
前記摩擦部材の固定部は穴形状であって、
前記締結部材は、前記固定部に挿入されて前記摩擦部材と前記支持部材とを固定することを特徴とする請求項１３に記載の振動波モータ。
前記締結部材は、前記第２の面側から前記固定部に挿入されて前記摩擦部材と前記支持部材とを固定することを特徴とする請求項１４に記載の振動波モータ。
前記締結部材は、前記第１の面側から前記固定部に挿入されて前記摩擦部材と前記支持部材とを固定することを特徴とする請求項１４に記載の振動波モータ。
前記摩擦部材は、前記固定部が設けられている位置の周囲の前記加圧方向の長さが前記振動子と接触する位置の前記加圧方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項１６に記載の振動波モータ。
前記振動子は、前記加圧方向に突出した突出部により前記摩擦部材と接触し、
前記加圧方向において、前記締結部材の前記第１の面から前記振動子側へ突出する長さは、前記突出部の長さより短いことを特徴とする請求項１６に記載の振動波モータ。
前記振動子を保持する保持部材を備え、
前記振動子は、前記保持部材によって保持される一対の腕部を有していて、
前記振動子は、前記加圧方向において前記一対の腕部と前記固定部とが重なる位置に移動可能であることを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか１項に記載の振動波モータ。
請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の振動波モータと、
前記振動波モータにより駆動される被駆動部材とを備えたことを特徴とする光学機器。
前記光学機器はレンズを備え、
前記振動波モータによりレンズの位置を移動させることを特徴とする請求項２０に記載の光学機器。
前記光学機器は、カメラに着脱自在に取り付けられる交換レンズユニットであることを特徴とする請求項２１に記載の光学機器。